JP2579406Y2 - 液体の連続供給装置 - Google Patents
液体の連続供給装置Info
- Publication number
- JP2579406Y2 JP2579406Y2 JP1990099068U JP9906890U JP2579406Y2 JP 2579406 Y2 JP2579406 Y2 JP 2579406Y2 JP 1990099068 U JP1990099068 U JP 1990099068U JP 9906890 U JP9906890 U JP 9906890U JP 2579406 Y2 JP2579406 Y2 JP 2579406Y2
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- Japan
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- container
- cap
- liquid
- pressurized gas
- liquid storage
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- Filling Of Jars Or Cans And Processes For Cleaning And Sealing Jars (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はレジスト液等を連続して供給する装置に関す
る。
る。
（従来の技術） LSIや薄膜トランジスタの製造には、半導体ウェハや
ガラス基板等の表面にノズル先端からレジスト液を滴下
し、これをスピンナで拡散してマスク等になる膜を形成
する工程がある。
ガラス基板等の表面にノズル先端からレジスト液を滴下
し、これをスピンナで拡散してマスク等になる膜を形成
する工程がある。
そして、ノズルにレジスト液を連続して供給するため
従来は、レジスト液を貯溜する容器内にガスを供給する
とともに液面よりも下方まで液体取り出しパイプを差し
込み、ガス圧によってレジスト液をノズル先端まで供給
するようにしている。
従来は、レジスト液を貯溜する容器内にガスを供給する
とともに液面よりも下方まで液体取り出しパイプを差し
込み、ガス圧によってレジスト液をノズル先端まで供給
するようにしている。
（考案が解決しようとする課題） 上述した従来方式では、容器内のレジスト液を使い切
ってしまうと、液体を満たした新たな容器内にガスを供
給するとともに液体取り出しパイプを再び差し込む作業
を行なわなければならず、そのための手間と時間が無視
できない。
ってしまうと、液体を満たした新たな容器内にガスを供
給するとともに液体取り出しパイプを再び差し込む作業
を行なわなければならず、そのための手間と時間が無視
できない。
また、容器交換を人手で行なうと容器を揺らし気泡を
発生しやすい。そして、一旦発生した気泡は液体の粘度
が高いと極めて抜きにくい。
発生しやすい。そして、一旦発生した気泡は液体の粘度
が高いと極めて抜きにくい。
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決すべく本考案に係る液体連続供給装置
は、液体貯溜容器を載置する一対のテーブルと、これら
各テーブルを昇降せしめるバンタグラフ式昇降機構と、
上限位置にある液体貯溜容器の上端口部内に入り込むテ
ーパ部を備えるとともに加圧ガスの供給口、加圧ガスの
排出口及び液体取り出しパイプの挿入口を形成したキャ
ップとを装置本体に設けた。
は、液体貯溜容器を載置する一対のテーブルと、これら
各テーブルを昇降せしめるバンタグラフ式昇降機構と、
上限位置にある液体貯溜容器の上端口部内に入り込むテ
ーパ部を備えるとともに加圧ガスの供給口、加圧ガスの
排出口及び液体取り出しパイプの挿入口を形成したキャ
ップとを装置本体に設けた。
（作用） 一方の容器が空になると、バルブの切換え等によって
他方の容器の液体をノズル等へ供給する。また空になっ
た容器はパンタグラフ式昇降機構により交換位置まで下
げ新たな容器と交換するか液体を容器内に供給する。
他方の容器の液体をノズル等へ供給する。また空になっ
た容器はパンタグラフ式昇降機構により交換位置まで下
げ新たな容器と交換するか液体を容器内に供給する。
（実施例） 以下に本考案の実施例を添付図面に基いて説明する。
第１図は本考案に係る液体の連続供給装置の正面図、
第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図のＢ
−Ｂ線断面図である。
第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図のＢ
−Ｂ線断面図である。
液体の連続供給装置は装置本体１の支持板1aに上下方
向のレール２を左右に離間して設け、これら各レール２
にテーブル3,3のスライダ４を係合し、テーブル３がガ
イドプレート５に沿って上下動可能となっている。そし
て、テーブル３の上面にはレジスト液等を貯溜する容器
６のセット位置を定める位置決め用突部７を形成してい
る。
向のレール２を左右に離間して設け、これら各レール２
にテーブル3,3のスライダ４を係合し、テーブル３がガ
イドプレート５に沿って上下動可能となっている。そし
て、テーブル３の上面にはレジスト液等を貯溜する容器
６のセット位置を定める位置決め用突部７を形成してい
る。
また各テーブル３と装置本体１の底板1bとの間にはパ
ンタグラフ式昇降装置10を配置している。
ンタグラフ式昇降装置10を配置している。
このパンタグラフ式昇降装置10は第１図及び第４図に
示すように、底板1bに設けた軸11の両端にリンクバー1
2,13の下端部を枢着し、これらリンクバー12,13の上端
部に中間部が軸14にて回動自在に連結されたリンクバー
15,16の下端部を枢着し、これらリンクバー15,16の上端
部をテーブル３の下面に設けた軸17に上端部を枢着した
リンクバー18,19の下端部に連結し、そして左右のリン
クバー15,15及びリンクバー16,16の下端間に第１図に示
すようにプレート20,20（リンクバー16,16間のプレート
については省略）を架設し、このプレート20,20間にロ
ッドガイド21,22を固着し、ロッドガイド21,22にエアシ
リンダ23のピストンロッド24を摺動自在に貫通せしめ、
ロッドガイド21から突出した端部にナット25を螺合して
いる。またロッドガイド21,22の下方の底板1b上にはス
プリング26を設け、パンタグラフ式昇降装置が最も縮ん
だ際に緩衝作用を発揮するようにしている。
示すように、底板1bに設けた軸11の両端にリンクバー1
2,13の下端部を枢着し、これらリンクバー12,13の上端
部に中間部が軸14にて回動自在に連結されたリンクバー
15,16の下端部を枢着し、これらリンクバー15,16の上端
部をテーブル３の下面に設けた軸17に上端部を枢着した
リンクバー18,19の下端部に連結し、そして左右のリン
クバー15,15及びリンクバー16,16の下端間に第１図に示
すようにプレート20,20（リンクバー16,16間のプレート
については省略）を架設し、このプレート20,20間にロ
ッドガイド21,22を固着し、ロッドガイド21,22にエアシ
リンダ23のピストンロッド24を摺動自在に貫通せしめ、
ロッドガイド21から突出した端部にナット25を螺合して
いる。またロッドガイド21,22の下方の底板1b上にはス
プリング26を設け、パンタグラフ式昇降装置が最も縮ん
だ際に緩衝作用を発揮するようにしている。
一方、装置本体１の天板1cには開口30を形成し、この
開口30にキャップ31を摺動自在に嵌め込み、また開口30
の周囲にボルト32を立設し、このボルト32にキャップ31
の上端に固着したフランジ部33を挿通し、このフランジ
部33と天板1cとの間にスプリング34を縮装し、このスプ
リング34で上方からの衝撃例えば液体取り出しパイプ35
をキャップ31に形成したパイプ挿入口36に差込む場合等
に生じる衝撃を緩和するようにしている。
開口30にキャップ31を摺動自在に嵌め込み、また開口30
の周囲にボルト32を立設し、このボルト32にキャップ31
の上端に固着したフランジ部33を挿通し、このフランジ
部33と天板1cとの間にスプリング34を縮装し、このスプ
リング34で上方からの衝撃例えば液体取り出しパイプ35
をキャップ31に形成したパイプ挿入口36に差込む場合等
に生じる衝撃を緩和するようにしている。
またキャップ31には加圧ガスの供給口37及び加圧ガス
の排出口38を形成するとともにキャップ下面の中央に上
昇してきた液体貯溜容器６の口部6aを受けて容器の位置
決めを行なうテーパ部39を設けている。第６図に示すよ
うに、前記パイプ挿入口36には加圧ガスの供給口37及び
加圧ガスの排出口38が開口している。
の排出口38を形成するとともにキャップ下面の中央に上
昇してきた液体貯溜容器６の口部6aを受けて容器の位置
決めを行なうテーパ部39を設けている。第６図に示すよ
うに、前記パイプ挿入口36には加圧ガスの供給口37及び
加圧ガスの排出口38が開口している。
以上において、液体貯溜容器６内の液体をパイプ35に
介してノズル等に供給するには、第１図の右側部に示す
ようにエアシリンダユニット23を伸張せしめ、パンタグ
ラフ式昇降機構10を折畳み、テーブル３を最も下方に位
置させ、この位置でテーブル３上に液体貯溜容器６をセ
ットする。次いでエアシリンダユニット23を圧縮し、パ
ンタグラフ式昇降機構10を伸し、液体貯溜容器６を上昇
させる。一方、パイプ35は挿入口36を介して液体貯溜容
器６内に入り込みその下端を液体貯溜容器６内の液体表
面よりも下方にする。
介してノズル等に供給するには、第１図の右側部に示す
ようにエアシリンダユニット23を伸張せしめ、パンタグ
ラフ式昇降機構10を折畳み、テーブル３を最も下方に位
置させ、この位置でテーブル３上に液体貯溜容器６をセ
ットする。次いでエアシリンダユニット23を圧縮し、パ
ンタグラフ式昇降機構10を伸し、液体貯溜容器６を上昇
させる。一方、パイプ35は挿入口36を介して液体貯溜容
器６内に入り込みその下端を液体貯溜容器６内の液体表
面よりも下方にする。
このとき、挿入孔36の上端部においてパイプ35と挿入
孔36とは気密にシールされ、それ以外の部分ではパイプ
35と挿入孔36との間には隙間が設けられ、またキャップ
31に形成された加圧ガスの供給口37および加圧ガスの排
出口38は手動バルブで閉じられており、更に加圧ガスの
供給口37および加圧ガスの排出口38とパイプ35との間に
は隙間が形成されている。
孔36とは気密にシールされ、それ以外の部分ではパイプ
35と挿入孔36との間には隙間が設けられ、またキャップ
31に形成された加圧ガスの供給口37および加圧ガスの排
出口38は手動バルブで閉じられており、更に加圧ガスの
供給口37および加圧ガスの排出口38とパイプ35との間に
は隙間が形成されている。
そして、本考案にあっては容器６の口部6aがキャップ
31のテーパ部39に当接するまで上昇するが、口部6aがテ
ーパ部39に当たった際の衝撃は昇降機構がパンタグラフ
式であるため昇降機構自身によって吸収する。またパイ
プ35をキャップ31に挿入する際に引っ掛かった様な場合
にはスプリング34に抗してキャップ31が下がることで吸
収する。
31のテーパ部39に当接するまで上昇するが、口部6aがテ
ーパ部39に当たった際の衝撃は昇降機構がパンタグラフ
式であるため昇降機構自身によって吸収する。またパイ
プ35をキャップ31に挿入する際に引っ掛かった様な場合
にはスプリング34に抗してキャップ31が下がることで吸
収する。
この後、パイプ35とノズルとの間のバルブ及び大気と
繋がるバルブを閉じ、加圧ガスの供給口37から容器６内
にガスを所定圧になるまで供給し、所定圧になったなら
ばパイプ35とノズルとの間のバルブを開にして液体を供
給する。
繋がるバルブを閉じ、加圧ガスの供給口37から容器６内
にガスを所定圧になるまで供給し、所定圧になったなら
ばパイプ35とノズルとの間のバルブを開にして液体を供
給する。
そして、一方の容器６が空になったならば予め用意し
ておいた隣の容器６にバルブを切換え、空になった容器
６は下方に下げて新たな容器と交換するか液体を補充す
る。
ておいた隣の容器６にバルブを切換え、空になった容器
６は下方に下げて新たな容器と交換するか液体を補充す
る。
ここで、前記空になった容器６を下方に下げる前に加
圧ガスの排出口38を閉塞している手動バルブを開いて、
容器６内に残っている加圧ガスを抜き、容器６内を大気
圧状態にする。
圧ガスの排出口38を閉塞している手動バルブを開いて、
容器６内に残っている加圧ガスを抜き、容器６内を大気
圧状態にする。
尚、図示例にあってはキャップの上端フランジと装置
本体の天板との間にスプリングを設けてキャップを上方
に付勢したが、キャップの上下動をガイドするボルト頭
とキャップの上端フランジとの間にスプリングを介在せ
しめてキャップを下方に付勢してもよい。このようにす
ることで下方からの容器の突き当りに対しての緩衝効果
がより高くなる。
本体の天板との間にスプリングを設けてキャップを上方
に付勢したが、キャップの上下動をガイドするボルト頭
とキャップの上端フランジとの間にスプリングを介在せ
しめてキャップを下方に付勢してもよい。このようにす
ることで下方からの容器の突き当りに対しての緩衝効果
がより高くなる。
（効果） 以上に説明したように本考案によれば、液体貯溜容器
を載置する一対のテーブルをパンタグラフ式昇降機構に
よって液体供給位置と容器交換位置との間で昇降可能と
したので、いちいち人手によって新たな容器を液供給位
置にセットする必要がなく極めて効率良く液体の供給を
行なうことができる。
を載置する一対のテーブルをパンタグラフ式昇降機構に
よって液体供給位置と容器交換位置との間で昇降可能と
したので、いちいち人手によって新たな容器を液供給位
置にセットする必要がなく極めて効率良く液体の供給を
行なうことができる。
また容器をパンタグラフ式昇降機構によって昇降せし
めるようにしたので、容器上端の口部がキャップに押し
当てられた場合に緩衝作用が発揮され気泡の発生を防止
でき、更にキャップには液体貯溜容器の上端口部内に入
り込むテーパ部を備えているので、容器の位置が自動的
に調整される。
めるようにしたので、容器上端の口部がキャップに押し
当てられた場合に緩衝作用が発揮され気泡の発生を防止
でき、更にキャップには液体貯溜容器の上端口部内に入
り込むテーパ部を備えているので、容器の位置が自動的
に調整される。
第１図は本考案に係る液体の連続供給装置の正面図、第
２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図のＢ−
Ｂ線断面図、第４図はパンタグラフ式昇降装置の拡大
図、第５図はキャップの平面図、第６図はキャップの側
断面図である。 尚、図面中３はテーブル、６は液体貯溜容器、10はパン
タグラフ式昇降装置、23はエアシリンダユニット、31は
キャップ、35は液体取り出しパイプである。
２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図のＢ−
Ｂ線断面図、第４図はパンタグラフ式昇降装置の拡大
図、第５図はキャップの平面図、第６図はキャップの側
断面図である。 尚、図面中３はテーブル、６は液体貯溜容器、10はパン
タグラフ式昇降装置、23はエアシリンダユニット、31は
キャップ、35は液体取り出しパイプである。
フロントページの続き (72)考案者 佐合 宏仁 神奈川県座間市入谷４丁目2469番地の34 パンシオン座間202号 (72)考案者 山本 正治 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−227999（ＪＰ，Ａ) 実開 昭54−154957（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−75499（ＪＰ，Ｕ) 実公 平１−37704（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F04F 1/06 B67C 9/00
Claims (1)
- 【請求項１】液体貯溜容器を載置する一対のテーブル
と、これら各テーブルを昇降せしめるパンタグラフ式昇
降機構と、上限位置にある液体貯溜容器の上端口部内に
入り込むテーパ部を備えるキャップとからなり、このキ
ャップには液体取り出しパイプの挿入口とこの挿入口に
一端が開口する加圧ガスの供給口及び加圧ガスの排出口
が形成されていることを特徴とする液体の連続供給装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990099068U JP2579406Y2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 液体の連続供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990099068U JP2579406Y2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 液体の連続供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0457700U JPH0457700U (ja) | 1992-05-18 |
| JP2579406Y2 true JP2579406Y2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=31840723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990099068U Expired - Fee Related JP2579406Y2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 液体の連続供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2579406Y2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5914834B2 (ja) * | 1976-10-21 | 1984-04-06 | 株式会社東芝 | 読取専用半導体記憶装置 |
| JPS57171584A (en) * | 1981-04-17 | 1982-10-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Automatic control method for distance between tip and object to be welded |
| JPS63227999A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-22 | Giken Seisakusho:Kk | ウォータージェットポンプの支持装置 |
| JPH0525924Y2 (ja) * | 1987-09-02 | 1993-06-30 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP1990099068U patent/JP2579406Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0457700U (ja) | 1992-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |