JP2576563Y2 - テープ切れ誤検出防止機構付ｔａｂ用試験装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案はＴＡＢ用試験装置、よ
り具体的にはたとえばＴＡＢがリールにゆるく巻かれた
ことによりテンション機構の検出センサが誤動作してＴ
ＡＢ用試験装置が停止することを防止したＴＡＢ用試験
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＴＡＢとは、例えば実願昭63-155847号
明細書にも記載されている通り、テープ状のフィルムに
半導体チップを形成したものである。このようなＴＡＢ
を試験するＴＡＢ試験装置の構成を図３により説明す
る。図３の２１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂはローラ、
１Ａと１Ｂはリール、２４Ａと２４Ｂはスプロケット、
２５はＴＡＢ、２６は測定部である。

【０００３】図３の試験装置は、左右対称になってお
り、ＴＡＢ２５は右方向にも左方向にも搬送することが
できる。例えばリール１Ａに試験前のＴＡＢ２５を巻い
ておき、リール１Ｂに測定部２６で測定が終わったＴＡ
Ｂ２５を巻き取る。スプロケット２４Ａ・２４Ｂは、リ
ール１Ａからリール１ＢまでＴＡＢ２５を搬送する。

【０００４】次に、図３のローラ２１Ａ部分の構成を図
４により説明する。ＴＡＢ２５を搬送し、位置決めをす
る場合、ＴＡＢ２５の屈曲や波打ちを無くすためにＴＡ
Ｂ２５にある程度の張力をかける。

【０００５】図４の２７Ａはローラ案内、２８Ａはプー
リ、２９Ａはロープ、３０Ａは重りである。この構成に
より、ローラ２１Ａには絶えず重り３０Ａ分の張力が与
えられている。

【０００６】このテンション機構を使用したＴＡＢ用試
験装置の構成を図５により説明する。図５の３１Ａ、３
２Ａはセンサ、３３Ａはテープ切れ検出センサ、３４Ａ
はローラ２１Ａに取り付けられた検出板である。

【０００７】リール１Ａが固定され、２４Ａのスプロケ
ットにより右方向にＴＡＢ２５が搬送されると、ローラ
２１Ａも追従し右方向へ移動し、検出板３４Ａがセンサ
３１Ａで検出される。この時リール１Ａは、ＴＡＢ２５
を送り方向にＴＡＢ２５の搬送速度より早い速度で回転
を始める。

【０００８】図６は、図５からローラ２１Ａが左方向へ
移動した状態図である。図５からリール１Ａが回転する
とローラ２１ＡはＴＡＢ２５の送りに関係なく左方向に
移動する。

【０００９】図７は、図６からローラ２１Ａが更に左方
向へ移動した状態図である。図７の様に検出板３４Ａ
は、センサ３２Ａで検出されると、リール１ＡはＴＡＢ
２５の送りに関係なく停止する。図７からＴＡＢ２５を
搬送することにより、ローラ２１Ａは図５の状態になる
まで、右方向へ移動する。なお、図３〜図７を用いて説
明した上記内容は、この願出願人が先に出願した実願平
2-41356号明細書に記載され ている。

【００１０】

【考案が解決しようとする課題】図７に示す従来技術に
おいて、検出板３４Ａがセンサ３２Ａにより検出される
ことによりリール１Ａは必ず停止するが、ＴＡＢ２５が
切れてしまうとローラ２１Ａは更に左方向へ移動するた
め、テープ切れ検出センサ３３Ａにより検出板３４Ａが
検出されて試験装置自体が停止する構造になっている。

【００１１】 しかしながら従来技術では、リール１Ａ
が停止したにも関わらず、ＴＡＢ２５が切れる以外にロ
ーラ２１Ａが左方向へ移動して、テープ切れセンサ３３
Ａが検出板３４Ａを検出してしまう状態が発生すること
がある。この状態をこの明細書では「テープ切れ誤検
出」と称し、以下に詳細に説明する。

【００１２】図８は、リール回転ユニットの断面図であ
り、１はリール、２はリールシャフト、３はキー溝に入
るキー、４はリールを固定するストッパ、５はリール幅
調整用のカラー、６はプレート、７は回転軸、８はガイ
ドシャフト、９はばねである。

【００１３】プレート６は４本のガイドシャフト８を案
内として、ばね９により絶えずリール１をストッパ４方
向に押している。カラー５は、リール１の幅が変更され
た場合の調整用スペーサの役割をしていて、カラー５と
プレート６によりリール１をはさみこむ構成となってい
る。

【００１４】 リールシャフト２は、モータ（図示せ
ず）に連結された回転軸７にさらに連結されている。キ
ー３はリール１のキー溝の案内となっており、リールシ
ャフト２が回転することにより、リール１を回転させ
る。

【００１５】 次に、図７に戻り、テープ切れ誤検出の
発生状況を説明する。リール１Ａが回転し、検出板３４
Ａがセンサ３２Ａにて検出されることにより、リール１
Ａは停止するため、ローラ２１Ａも停止しようとする。
この状態でＴＡＢ２５がリール１Ａにゆるく巻かれてい
ると、ローラ２１Ａを停止させようとする力の反力（ロ
ーラ２１Ａが左へ移動しようとする力）がＴＡＢ２５が
現状を維持しようとする力（ゆるく巻かれている状態を
保持しようとする力）より勝ってしまう。このため、Ｔ
ＡＢ２５をリール１Ａよりひきずり出してしまい、ロー
ラ２１Ａは停止せず、さらに左へ移動する。

【００１６】ここで、ＴＡＢ２５が20mmひきずり出され
ると、ローラ２１Ａはセンサ３２Ａよりさらに約10mm左
方向へ移動してしまう。センサ３２Ａとテープ切れ検出
センサ３３Ａ間が10mm以内であれば、検出板３４Ａはテ
ープ切れ検出センサ３３Ａにて検出されてしまい、テー
プ切れとなり試験装置は停止してしまう。

【００１７】このような「テープ切れ誤検出」を避ける
ため、たとえばセンサ３２Ａとテープ切れ検出センサ３
３Ａ間を伸ばすことが考えられるが、その分、装置自体
が大きくなってしまう。また、ＴＡＢ２５がリール１Ａ
にゆるく巻かれる度合が把握できないため、センサ間寸
法を特定できないという欠点も生じる。したがって、セ
ンサ３２Ａとテープ切れ検出センサ３３Ａ間を単に伸ば
すだけでは従来技術の欠点を解決することはできなかっ
た。

【００１８】この考案はこのような従来技術の欠点を解
消し、装置自体を大きくせずに「テープ切れ誤検出」の
防止を可能とするテープ切れ誤検出防止機構付ＴＡＢ用
試験装置を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】この考案は上述の課題を
解決するために、ＴＡＢ２５を測定後にリール１に巻き
取るＴＡＢ用試験装置は、ＴＡＢを搬送するスプロケッ
ト２４と、搬送されるＴＡＢ２５をこの搬送される方向
と概ね反対の方向に所定の張力で引っ張ることによりＴ
ＡＢ２５の屈曲、波打ちを解消するローラ２１と、ロー
ラ２１の移動方向を検出することによりＴＡＢ２５が形
成されるフィイルム状のテープが切れたことを検出する
センサ３３とを有する。そして、このＴＡＢ用試験装置
は、センサ３３がローラ２１を検出した時点でスプロケ
ット２４を停止してリール１を逆回転し、これによりロ
ーラ２１がセンサ３３で検出されなくなった場合には通
常動作に復帰する。

【００２０】

【作用】この考案によれば、検出板３４Ａがテープ切れ
検出センサ３３Ａにて検出された場合に即座に装置自体
を停止させず、一旦復帰動作をさせ、それでも復帰しな
い場合はテープ切れとしてＴＡＢ用試験装置の停止を行
う。また、復帰動作により復帰した場合は、実際にはテ
ープ切れが生じていないので、テープ切れ検出センサ３
３Ａの誤検出として通常動作に戻す。

【００２１】

【実施例】次に添付図面を参照してこの考案によるＴＡ
Ｂ用試験装置の実施例を詳細に説明する。なお、図３〜
図８で説明した構成はこの実施例でも同様であり、重複
する説明はここでは省略する。

【００２２】図１はこの考案によるテープ切れ誤検出防
止機構付ＴＡＢ用試験装置の実施例を示す説明図であ
る。図１において、４０はスプロケット２４の回転・停
止や、リール１の正回転・逆回転・停止などを行う駆動
系である。また、４２はセンサ３１・３２およびテープ
切れ検出センサ３３より検出信号を入力し、これにより
駆動系４０を制御する制御系である。

【００２３】制御系４２はまた、警報回路４４に接続さ
れ、ＴＡＢ２５のテープ切れが検出されると、可聴信号
音または警報ランプなどの警報出力制御を行う。なお、
図１において、スプロケット２４やセンサ３１・３２・
３３の符号“Ａ”または“Ｂ”を省いたのは、左半分と
右半分とどちらでも適用可能であるからである。

【００２４】図２は図１に示したこの実施例の動作を示
すフローチャートである。図１、図２および図３を用い
てこの実施例の動作を説明する。なお、このフローチャ
ートは図４から図７のようにＴＡＢ２５を左から右へ搬
送した場合の図３における左半分のものであり、この動
作例では図１も左半分として説明するが、右半分も同等
の処理を行うことができる。

【００２５】まず、通常動作として、リール１Ａの停止
状態で駆動系４０によりスプロケット２４Ａ・２４Ｂを
反時計方向に回転させ、ＴＡＢ２５を右へ搬送する。こ
のときローラ２１Ａも、ローラ２１Ａに取り付いている
検出板３４Ａがセンサ３１Ａにて検出されるまでは右へ
移動する（Ｓ２００）。

【００２６】次に、検出板３４Ａがセンサ３１Ａに検出
されると、その時点でこの検出情報が制御系４２に通知
される（Ｓ２０２）。制御系４２は、センサ３１Ａより
検出情報を入力すると、ＴＡＢ２５を送出するため駆動
系４０を制御してリール１Ａを時計方向に回転させ、Ｔ
ＡＢ２５を送出する。このとき、ローラ２１Ａは検出板
３４Ａがセンサ３２Ａにて検出されるまで左へ移動する
（Ｓ２０４）。

【００２７】次に、検出板３４Ａがセンサ３２Ａにて検
出されると、この検出情報が制御系４２に通知される
（Ｓ２０６）。制御系４２は、センサ３２Ａより検出情
報を入力すると、リール１Ａの停止を駆動系４０に命じ
る。これにより、リール１Ａは停止し、ローラ２１Ａも
停止しようとする（Ｓ２０８）。

【００２８】このとき、テープ切れが起きていない場合
でもローラ２１Ａが停止せず、センサ３２より左方向に
移動することがある。このため、次に、この状態でテー
プ切れ検出センサ３３Ａが検出板３４Ａを検出している
かどうかを確認する。そして、テープ切れ検出センサ３
３Ａの検出情報が制御系４２に通知されていない場合に
は、制御系４２は通常動作を続行する（Ｓ２１０）。ま
た、センサ３３Ａの検出情報が制御系４２に通知された
場合は（Ｓ２１０）、制御系４２は駆動系４０を制御し
て、まずスプロケット４Ａ、４Ｂを停止させ（Ｓ２１
２）、その後リール１ＡをＴＡＢ５を巻き込む反時計方
向に逆回転させる（Ｓ２１４）。

【００２９】ここで実際にＴＡＢ２５が切れていると、
ＴＡＢ２５はリール１Ａに巻きついてもローラ２１Ａは
その位置から移動しないため、テープ切れ検出センサ３
３Ａは検出板３４Ａを検出したままの状態となる（Ｓ２
１６）。制御系４２はここで初めて装置を停止させ、警
報回路４４に警報出力を命じ警報を発生させる（Ｓ２１
８）。

【００３０】逆に、ＴＡＢ２５がリール１Ａにゆるく巻
かれていたために、テープ切れ検出センサ３３Ａが検出
板３４Ａを検出していると、ＴＡＢ２５を巻き込むこと
によりローラ２１Ａは右へ移動し、検出板３４Ａはテー
プ切れ検出センサ３３Ａより右方向に移動し、このセン
サ３３Ａで検出されなくなる。検出板３４Ａがセンサ３
３Ａで検出されなくなった場合には、テープ切れ誤検出
として検出板３４Ａがセンサ３２Ａに検出されるまでリ
ール１Ａを逆回転させる。そして、制御系４２は検出し
た時点で通常動作に復帰させる。

【００３１】

【考案の効果】この考案によれば、ＴＡＢがリールにゆ
るく巻かれたことにより誤ってテープ切れ検出センサを
検出してしまったのか、または実際にテープが切れてし
まったのかを装置自体で認識し、誤検出の場合は自動で
復旧し、装置を無意味に停止することを防止することが
可能となる。また、リール１を回転させるリールシャフ
トとリールホブのガタによるテープ切れ検出センサの誤
検出の防止にも効果的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案によるＴＡＢ用試験装置の実施例を示
す説明図である。

【図２】図１の動作を説明するフローチャートである。

【図３】ＴＡＢ用試験装置の構成図である。

【図４】図３のローラ２１Ａ部分の構成図である。

【図５】図４のテンション機構の構成図である。

【図６】図５からローラ２１Ａが左方向へ移動した状態
図である。

【図７】図６からローラ２１Ａが更に左方向へ移動した
状態図である。

【図８】リール回転ユニットの断面図である。

【符号の説明】 １ リール ２１ ローラ ２２ ローラ ２４ スプロケット ２５ ＴＡＢ ３１ センサ ３２ センサ ３３ テープ切れ検出センサ ３４ 検出板 ４０ 駆動系 ４２ 制御系 ４４ 警報回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/60 321 H01L 21/60 311 H01L 21/66

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＴＡＢ(25)を測定後にリール(1) に巻き
   取るＴＡＢ用試験装置において、 ＴＡＢを搬送するスプロケット(24)と、 搬送されるＴＡＢ(25)をこの搬送される方向と概ね反対
   の方向に所定の張力で引っ張ることによりＴＡＢ(25)の
   屈曲、波打ちを解消するローラ(21)と、 ローラ(21)の移動方向を検出することによりＴＡＢ(25)
   が形成されるフィイルム状のテープが切れたことを検出
   するセンサ(33)とを有し、 センサ(33)がローラ(21)を検出した時点でスプロケット
   (24)を停止してリール(1) を逆回転し、これによりロー
   ラ(21)がセンサ(33)で検出されなくなった場合には通常
   動作に復帰することを特徴とするテープ切れ誤検出防止
   機構付ＴＡＢ用試験装置。