JP2574600Y2 - 磁気バブル素子 - Google Patents
磁気バブル素子Info
- Publication number
- JP2574600Y2 JP2574600Y2 JP1989087094U JP8709489U JP2574600Y2 JP 2574600 Y2 JP2574600 Y2 JP 2574600Y2 JP 1989087094 U JP1989087094 U JP 1989087094U JP 8709489 U JP8709489 U JP 8709489U JP 2574600 Y2 JP2574600 Y2 JP 2574600Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic bubble
- bubble
- diameter
- transfer element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、回転数検出器に使用される磁気バブル素子
に関するものである。
に関するものである。
〈従来の技術〉 磁気バブルを利用した回転数検出器は、特願昭61-221
670号で広く知られている。第４図は、この公知例を更
に具体化したものであり、回転数検出器の磁気バブル素
子に形成された転送素子１のパターンを示す図である。
また、第５図は第４図の（ａ）部の拡大図である。
670号で広く知られている。第４図は、この公知例を更
に具体化したものであり、回転数検出器の磁気バブル素
子に形成された転送素子１のパターンを示す図である。
また、第５図は第４図の（ａ）部の拡大図である。
第４図、第５図において、１は、バブル材料上に配置
された転送素子である。個々の転送素子１は、磁性体
（例えばパーマロイ）の薄片で構成され、第４図のよう
にループ状に形成される。磁気バブル（図示せず）は、
面内回転磁界に応じてパーマロイの転送素子１に生じる
磁極に引きつけられながら、１ステップずつ移動して、
転送素子ループを巡回する。上記回転磁界は、測定対象
であるモータなどのシャフトに取付けられた磁石（図示
せず）により加えられる。
された転送素子である。個々の転送素子１は、磁性体
（例えばパーマロイ）の薄片で構成され、第４図のよう
にループ状に形成される。磁気バブル（図示せず）は、
面内回転磁界に応じてパーマロイの転送素子１に生じる
磁極に引きつけられながら、１ステップずつ移動して、
転送素子ループを巡回する。上記回転磁界は、測定対象
であるモータなどのシャフトに取付けられた磁石（図示
せず）により加えられる。
第４図のような転送素子ループにおいて、磁気バブル
を確実に転送するため、磁気バブルの大きさと転送素子
１の形状寸法との関係は、次のように設定することが知
られている。
を確実に転送するため、磁気バブルの大きさと転送素子
１の形状寸法との関係は、次のように設定することが知
られている。
例えば、磁気バブルの直径が10μｍの場合、転送素子
１の最小線幅６μｍとし、その最小間隙は４μｍとす
る。また、磁気バブルの直径が５μｍの場合では、同じ
く３μｍと２μｍとする（第５図参照）。即ち、磁気バ
ブル径の60％の最小線幅と、40％の最小間隙となるよう
に転送素子１の形状を形成するのが、最適設計だと広く
知られている。
１の最小線幅６μｍとし、その最小間隙は４μｍとす
る。また、磁気バブルの直径が５μｍの場合では、同じ
く３μｍと２μｍとする（第５図参照）。即ち、磁気バ
ブル径の60％の最小線幅と、40％の最小間隙となるよう
に転送素子１の形状を形成するのが、最適設計だと広く
知られている。
〈考案が解決しようとする課題〉 この様に、使用する磁気バブルの大きさが決まれば、
これに応じて転送素子１の寸法を定めることができる
が、実際には磁気バブルの直径が変化するため、次の問
題がある。
これに応じて転送素子１の寸法を定めることができる
が、実際には磁気バブルの直径が変化するため、次の問
題がある。
第２図はバイアス磁界と磁気バブル直径との関係を示
す図である。
す図である。
第４図の転送素子ループに発生された磁気バブルは、
保持用磁石（図示せず）でバイアス磁界が与えられるこ
とにより消滅せず、存在し続ける。ここで磁気バブル用
垂直磁化膜における磁気バブルの直径は、バイアス磁界
を印加しない状態で、垂直磁化膜内に生じるストライプ
磁区の磁区幅として定義されている。しかし第２図に示
すように実際には、磁気バブルを保持するために印加す
るバイアス磁界の大きさによって磁気バブルの直径は、
大きく変化する。
保持用磁石（図示せず）でバイアス磁界が与えられるこ
とにより消滅せず、存在し続ける。ここで磁気バブル用
垂直磁化膜における磁気バブルの直径は、バイアス磁界
を印加しない状態で、垂直磁化膜内に生じるストライプ
磁区の磁区幅として定義されている。しかし第２図に示
すように実際には、磁気バブルを保持するために印加す
るバイアス磁界の大きさによって磁気バブルの直径は、
大きく変化する。
バイアス磁界の大きさは、温度変化、磁界の不均一な
どの原因により変化する。このためバイアス磁界が大き
くなり、磁気バブルの直径が小さくなると（第２図参
照）、前記した最適な設計関係を外れて磁気バブルが安
定に転送できなくなる問題があった。
どの原因により変化する。このためバイアス磁界が大き
くなり、磁気バブルの直径が小さくなると（第２図参
照）、前記した最適な設計関係を外れて磁気バブルが安
定に転送できなくなる問題があった。
更に、磁気バブルが安定に転送できるバイアス磁界範
囲内においても、同じ原因から生じる大きな問題点があ
る。この問題点とは、第４図，第５図中に示した薄膜型
ストレッチャ（以下、単にストレッチャと呼ぶ。）部分
（ｂ）で球状の磁気バブルがストライプ磁区に伸び切れ
ず、その結果、磁気バブルの有無を検出できないという
問題である。これを説明する。
囲内においても、同じ原因から生じる大きな問題点があ
る。この問題点とは、第４図，第５図中に示した薄膜型
ストレッチャ（以下、単にストレッチャと呼ぶ。）部分
（ｂ）で球状の磁気バブルがストライプ磁区に伸び切れ
ず、その結果、磁気バブルの有無を検出できないという
問題である。これを説明する。
回転数検出器では、第４図の転送素子ループに磁気バ
ブル検出器２を設け、ここを通過する磁気バブルを検出
することにより回転数を測定する。ここで元来、磁気バ
ブルは、直径が数μｍと小さいため、磁気バブルの有無
を第４図に示す磁気バブル検出器（例えば、磁気抵抗素
子）２でS/N比よく検出しにくい。そこでストレッチャ
と称する部分（ｂ）を磁気バブル検出器２の周辺に配置
して、球状の磁気バブルを進行方向に垂直にストライプ
状に引伸し、磁気バブルからの漏れ磁界の総量を多くし
てS/N比を改善すると言う方法が一般的にとられる。
ブル検出器２を設け、ここを通過する磁気バブルを検出
することにより回転数を測定する。ここで元来、磁気バ
ブルは、直径が数μｍと小さいため、磁気バブルの有無
を第４図に示す磁気バブル検出器（例えば、磁気抵抗素
子）２でS/N比よく検出しにくい。そこでストレッチャ
と称する部分（ｂ）を磁気バブル検出器２の周辺に配置
して、球状の磁気バブルを進行方向に垂直にストライプ
状に引伸し、磁気バブルからの漏れ磁界の総量を多くし
てS/N比を改善すると言う方法が一般的にとられる。
ところが、バイアス磁界が大きくなり磁気バブルの直
径が小さくなると、ストレッチャ（ｂ）で磁気バブルが
ストライプ磁区に伸びることができず、球状の磁区のま
まストレッチャ内を転送されていくため、S/N比よく磁
気バブルを検出することができなくなり、磁気バブルの
検出を安定に行なうことができなくなる。
径が小さくなると、ストレッチャ（ｂ）で磁気バブルが
ストライプ磁区に伸びることができず、球状の磁区のま
まストレッチャ内を転送されていくため、S/N比よく磁
気バブルを検出することができなくなり、磁気バブルの
検出を安定に行なうことができなくなる。
本考案の目的は、大きなバイアス磁界が印加されても
S/N比よく磁気バブルを検出することができる磁気バブ
ル素子を提供することである。
S/N比よく磁気バブルを検出することができる磁気バブ
ル素子を提供することである。
〈課題を解決するための手段〉 本考案は、上記課題を解決するために 磁気バブルを転送する転送素子（１）がループ状に形
成された転送素子ループと、外部から加えられた駆動磁
界により前記転送素子ループ内を巡回する磁気バブルを
検出する磁気バブル検出器（２）とを備え、前記転送素
子ループ内に発生した磁気バブルが消失しないようにバ
イアス磁界が加えられた磁気バブル素子において、 前記磁気バブルの磁区をストライプ磁区に引き伸ばす
ストレッチャ（ｂ）を磁気バブル検出器（２）の両側の
転送素子ループ内に形成し、 使用するバイアス磁界の最大値に対応する磁気バブル
の直径（Ｄ）に基づき、前記ストレッチャ（ｂ）部のみ
を形成する転送素子（１）の最小線幅を前記直径（Ｄ）
の60％とし、この転送素子の相互の最小間隙を前記直径
（Ｄ）の40％にしたものである。
成された転送素子ループと、外部から加えられた駆動磁
界により前記転送素子ループ内を巡回する磁気バブルを
検出する磁気バブル検出器（２）とを備え、前記転送素
子ループ内に発生した磁気バブルが消失しないようにバ
イアス磁界が加えられた磁気バブル素子において、 前記磁気バブルの磁区をストライプ磁区に引き伸ばす
ストレッチャ（ｂ）を磁気バブル検出器（２）の両側の
転送素子ループ内に形成し、 使用するバイアス磁界の最大値に対応する磁気バブル
の直径（Ｄ）に基づき、前記ストレッチャ（ｂ）部のみ
を形成する転送素子（１）の最小線幅を前記直径（Ｄ）
の60％とし、この転送素子の相互の最小間隙を前記直径
（Ｄ）の40％にしたものである。
〈作用〉 使用するバイアス磁界の最大値に対応する磁気バブル
の直径に基づいて、ストレッチャ部のみを形成する転送
素子の最小線幅と、最小間隙を定めているので、これ以
上磁気バブルが小さくなることはなく、確実にストライ
プ磁区に磁気バブルを引き伸ばすことができる。
の直径に基づいて、ストレッチャ部のみを形成する転送
素子の最小線幅と、最小間隙を定めているので、これ以
上磁気バブルが小さくなることはなく、確実にストライ
プ磁区に磁気バブルを引き伸ばすことができる。
〈実施例〉 以下、図面を用いて本考案を詳しく説明する。
第１図は本考案に係る磁気バブル素子の要部実施例を
示す図、第３図はバイアス磁界と磁気バブル検出器の出
力信号の関係を示す図である。
示す図、第３図はバイアス磁界と磁気バブル検出器の出
力信号の関係を示す図である。
第１図は、第４図のストレッチャ（ｂ）と磁気バブル
検出器２に相当する部分を拡大して描いたものである。
検出器２に相当する部分を拡大して描いたものである。
第３図は、磁気バブル検出器２から得られた信号のピ
ーク値を示している。第２図と第３図より、磁気バブル
の直径が５μｍを切るようにバイアス磁界が設定される
と（第２図参照）、磁気バブルがストレッチャ（ｂ）で
ストライプ磁区に伸び切れないため、磁気バブル検出器
２の出力信号が急激に小さくなることが分る（第３図参
照）。
ーク値を示している。第２図と第３図より、磁気バブル
の直径が５μｍを切るようにバイアス磁界が設定される
と（第２図参照）、磁気バブルがストレッチャ（ｂ）で
ストライプ磁区に伸び切れないため、磁気バブル検出器
２の出力信号が急激に小さくなることが分る（第３図参
照）。
第１図は、磁気バブルの最小直径（使用するバイアス
磁界が最大時における磁気バブルの直径）が４μｍの場
合、この様な条件で使用する磁気バブル素子のストレッ
チャ（ｂ）部を示したものである。なお、通常時、磁気
バブルの平均直径は５μｍとする。
磁界が最大時における磁気バブルの直径）が４μｍの場
合、この様な条件で使用する磁気バブル素子のストレッ
チャ（ｂ）部を示したものである。なお、通常時、磁気
バブルの平均直径は５μｍとする。
この様な場合、従来は磁気バブルの平均直径５μｍを
基準として、転送素子１の最小線幅を３μｍ、最小間隙
を２μｍに定めていた（第５図）。しかし本考案におい
ては、バイアス磁界が最大の時における磁気バブルの直
径４μｍを基準にしているので、最小線幅は2.4μｍ、
最小間隙は1.6μｍとなる。この際、最小線幅と最小間
隙は、磁気バブル径４μｍの60％、40％である。但し、
ストレッチャ（ｂ）部を形成しない他の転送素子１に関
しては従来通り磁気バブルの平均直径５μｍを基準とす
る。即ち、最小線幅は３μｍ、最小間隙は２μｍであ
る。
基準として、転送素子１の最小線幅を３μｍ、最小間隙
を２μｍに定めていた（第５図）。しかし本考案におい
ては、バイアス磁界が最大の時における磁気バブルの直
径４μｍを基準にしているので、最小線幅は2.4μｍ、
最小間隙は1.6μｍとなる。この際、最小線幅と最小間
隙は、磁気バブル径４μｍの60％、40％である。但し、
ストレッチャ（ｂ）部を形成しない他の転送素子１に関
しては従来通り磁気バブルの平均直径５μｍを基準とす
る。即ち、最小線幅は３μｍ、最小間隙は２μｍであ
る。
なお、第１図の各転送素子１を形成するパターンの寸
法は、この製作に使用する露光装置とフォトレジストか
ら決まる製造限界を満たしていなければならない。従っ
て実際上は、この製造限界に近い微細パターンでストレ
ッチャ部のみを形成している。磁気バブル素子では、ス
トレッチャ部は、磁気バブル素子の面積の10％しか占め
ないので、ストレッチャ部のみの設計精度を厳しくして
もストレッチャ部以外の部分の設計精度を従前のように
しておけば磁気バブル素子の歩留を極端に下げることは
ない。
法は、この製作に使用する露光装置とフォトレジストか
ら決まる製造限界を満たしていなければならない。従っ
て実際上は、この製造限界に近い微細パターンでストレ
ッチャ部のみを形成している。磁気バブル素子では、ス
トレッチャ部は、磁気バブル素子の面積の10％しか占め
ないので、ストレッチャ部のみの設計精度を厳しくして
もストレッチャ部以外の部分の設計精度を従前のように
しておけば磁気バブル素子の歩留を極端に下げることは
ない。
〈本考案の効果〉 以上述べたように本考案によれば、使用条件における
磁気バブル直径の最小値を基準としてストレッチャ部分
のみの転送素子１の最小線幅と最小間隙を定めているの
で、磁気バブルを検出できなかったり、磁気バブルを転
送することができないなどという問題は生じない。
磁気バブル直径の最小値を基準としてストレッチャ部分
のみの転送素子１の最小線幅と最小間隙を定めているの
で、磁気バブルを検出できなかったり、磁気バブルを転
送することができないなどという問題は生じない。
第１図は本考案に係る磁気バブル素子の要部実施例を示
す図、第２図はバイアス磁界とバブル径の関係を示す
図、第３図はバイアス磁界と磁気バブル検出器の出力信
号の関係を示す図、第４図と第５図は従来例を示す図で
ある。 １……転送素子、２……磁気バブル検出器、（ｂ）……
ストレッチャ。
す図、第２図はバイアス磁界とバブル径の関係を示す
図、第３図はバイアス磁界と磁気バブル検出器の出力信
号の関係を示す図、第４図と第５図は従来例を示す図で
ある。 １……転送素子、２……磁気バブル検出器、（ｂ）……
ストレッチャ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 工藤 良昭 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横 河電機株式会社内 (72)考案者 坂巻 康弘 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横 河電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−129982（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−97187（ＪＰ，Ａ) 特公 昭58−30769（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭59−8901（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】磁気バブルを転送する転送素子（１）がル
ープ状に形成された転送素子ループと、外部から加えら
れた駆動磁界により前記転送素子ループ内を巡回する磁
気バブルを検出する磁気バブル検出器（２）とを備え、
前記転送素子ループ内に発生した磁気バブルが消失しな
いようにバイアス磁界が加えられた磁気バブル素子にお
いて、 前記磁気バブルの磁区をストライブ磁区に引き伸ばす薄
膜型ストレッチャ（ｂ）を磁気バブル検出器（２）の両
側の転送素子ループ内に形成し、 使用するバイアス磁界の最大値に対応する磁気バブルの
直径（Ｄ）に基づき、前記薄膜型ストレッチャ（ｂ）部
のみを形成する転送素子（１）の最小線幅を前記直径
（Ｄ）の60％とし、この転送素子の相互の最小間隙を前
記直径（Ｄ）の40％にしたことを特徴とする磁気バブル
素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989087094U JP2574600Y2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 磁気バブル素子 |
| US07/410,359 US4990909A (en) | 1988-09-30 | 1989-09-21 | Revolution counter using a magnetic bubble device for multi-turn absolute encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989087094U JP2574600Y2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 磁気バブル素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328592U JPH0328592U (ja) | 1991-03-22 |
| JP2574600Y2 true JP2574600Y2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=31636746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989087094U Expired - Lifetime JP2574600Y2 (ja) | 1988-09-30 | 1989-07-25 | 磁気バブル素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2574600Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4517241B2 (ja) * | 2005-12-01 | 2010-08-04 | 天昇電気工業株式会社 | 仰側臥対応三層構造マットレス |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5830769A (ja) * | 1981-08-18 | 1983-02-23 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置の安全装置 |
| JPS598901A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-18 | 株式会社三元商会 | スライドフアスナ− |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP1989087094U patent/JP2574600Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0328592U (ja) | 1991-03-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A045 | Written measure of dismissal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20040624 |