JP2564235B2

JP2564235B2 - 片面加工用自動研磨装置及び研磨方法

Info

Publication number: JP2564235B2
Application number: JP32240992A
Authority: JP
Inventors: ブイ．セスナジョセフ
Original assignee: Speedfam Corp
Current assignee: Speedfam Corp
Priority date: 1991-11-07
Filing date: 1992-11-06
Publication date: 1996-12-18
Anticipated expiration: 2011-12-18
Also published as: US5224304A; JPH0663863A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被加工物の片面を自動
的に研磨加工するための装置及び方法に関するものであ
り、さらに詳しくは、被加工物の装填、加工、及び取出
しを含む研磨加工の全工程にわたり、複数の被加工物を
一まとめにして同時処理することが可能な自動研磨装置
及び方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】自由研磨加工装置すなわちラッピングホ
イールは、当該技術分野ではよく知られており、特定装
置の構成部品として用いられる実質的に平らな部品の表
面を滑らかにするために、一般に回転ホイールに研磨剤
を加えることによって加工が行われる。自由研磨機は一
般に、平らな環状の回転可能なホイールを備え、その上
には複数の作業部が配置されている。各作業部は大きく
重い保持リングにより区切られ、その内部には機械加工
する被加工物を入れるための空間がある。被加工物の表
面は、回転ホイールに対して該被加工物を一定位置にお
いて保持する保持リングを用いて機械加工される。保持
リングの上に置かれた加圧板によって保持リング内の被
加工物に圧力が加えられ、この加圧板は保持リングの内
径にぴったり嵌合しており、回転ホイールに対して被加
工物を下向きに押付ける。通常は、ある種の液体の中に
懸濁されている研磨剤が、被加工物を研削し滑らかにす
るためにラッピングホイール上に供給される。

【０００３】ラッピングホイール上の被加工物の装填、
取出し、及び位置決めは、これまでは手動で行われてい
た。手動でこの操作を行うことにより、実際には常に機
械による位置付けを行うのに助手が必要となる。これは
多くの場合、賃金、保険、傷害、誤操作、疲労、その他
の形で操業費用がかさむ原因となる。

【０００４】自動化のための種々の試みが行われたが、
操作員が全く必要なくなるわけではなく、あるいは機械
加工する被加工物の装填及び取出しに必要な機械の休止
時間も減少しなかった。例えば、米国特許第３，４４
３，３４２号においてシュルツ（Ｓｃｈｕｌｚ）により
開示された自動装填及び取出し手段には、ラッピングホ
イールの装填及び取出し工程がいくつか必要である。ラ
ッピングホイールは一度に３個の部品のウェアリングを
ラップするため、また一度にわずか１個のリングしかラ
ッピングホイールに装填又は取出しされないため、ラッ
ピングホイールの稼働時間は部品を仕上げるのに要する
全時間の３分の１である。その結果、被加工物をラップ
する実際の時間は、各ウェアリングを装填及び取出しす
るのに必要な時間の長さによって増加する。このように
被加工物が完全に仕上げられる前にラッピングホイール
が停止及び始動することにより、必然的に装置の休止時
間が増加する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】そこでこの発明の主要
目的は、完全に自動化した自由研磨装置及び研磨方法を
提供することである。本発明のもう一つの目的は、操作
員の必要のない装置及び方法を提供し、したがって操作
員の疲労と誤操作をなくすことによって作業の効率を高
めることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の一つの態様によ
れば、複数の実質的に類似した被加工物を自動的に研磨
加工するための装置が提供される。この装置は一般に、
複数の被加工物を同じ方向に向けるための位置決め装
置、前記複数の被加工物を所定の配置に配列するための
配列用台部、複数の被加工物を搬送するための割出し
台、割出し台を水平方向及び垂直方向に動かすための手
段、配列用台部と割出し台との間で複数の被加工物を動
かすための第一移動手段、複数の被加工物を研磨するた
めの加工部、及び割出し台と加工部との間で複数の被加
工物を動かすための第二移動手段が含まれている。

【０００７】本発明において、前記位置決め装置は、実
質的に類似した複数の被加工物を同じ方向へ向ける。ま
た前記配列用台部は、一対の回転盤の回りに配置された
一対の環状部材を備えていて、この回転盤は位置決め装
置から被加工物を受けとり、それを回転盤の回りに配置
された環状部材の内部に円形平面状に配置する。

【０００８】割出し台は、実質的に表面が平らで、回転
盤に隣接し、さらにラップ手段に隣接している。該割出
し台は、この割出し台を水平方向及び垂直方向に動かす
ために駆動手段によって操作される。第一移動手段は、
環状部材とこの環状部材により区切られた部分に配置さ
れた被加工物とを回転盤の表而から割出し台の表面へと
滑動させることによって移動させるため、エアシリンダ
を有していることが望ましい。

【０００９】ラップ手段は、ラッピングホイール、被加
工物を円形平面状の配置に保持するための保持リング、
被加工物とラッピングホイールの接触を保つための加圧
板、及び、ラッピングホイール上に一定表面を維持する
よう位置する調整リングとかみ合った逆転歯車、を有す
ることが望ましい。したがって、割出し台と第一及び第
二移動手段により、操作員の必要なしに被加工物を自動
的及び連続的に加工する構造が得られる。

【００１０】本発明のもう一つの態様によれば、被加工
物の片面を自動的に加工するための方法が提供される。
複数の類似した被加工物の同じ面を一つの方向にそろえ
る。次に、それらの被加工物を所定の平面状配置に配列
する。また次にそれらの被加工物を、隣接する割出し台
へ移動させる。同時に、同様の配列を維持する仕上げ済
被加工物を、ラップ手段から前記割出し台へと移動させ
る。次に、片方の半部に未仕上げ被加工物が平面配置に
載せられ、もう他方の半部に仕上げ済被加工物が平面配
置に載せられた割出し台が低くなり、外側へ動く。また
次に、割出し台が上がり、未仕上げ被加工物がラップ手
段に移送され、仕上げ済被加工物が別の仕上げ機へ移送
される。割出し台はそのあと下げられ、もとの位置に戻
って、新たな工程が開始される。

【００１１】

【実施例】本発明の特徴については、以下の詳細な説明
と付属の特許請求の範囲で詳しく述べられる。本発明の
いくつかの態様については、先の導入部及び概要説明の
中に示した。その他の目的、特徴、及び利点は、添付図
面に関連して述べる以下の説明により、技術精通者には
明白である。

【００１２】本発明は一般に、図１に示すように、配列
用の台部１０、割出し部１１、及び加工部１２から構成
されている。台部１０は、図１及び図２に示すように、
位置決め装置１３、配列面１４、及び一対の回転盤１７
と１８の回りに配置された一対の環状部材１５と１６を
有している。

【００１３】位置決め装置１３は、市販のものでよく、
技術精通者には自明であるように、これは、第１面（上
面）及び第２面（下面）を有する未仕上げ被加工物１９
を振動させるか、あるいは別の手段を用いて、被加工物
１９の希望の面が下向きに配置されるようにするもので
ある。位置決め装置１３は、複数の未仕上げ被加工物１
９を受けるための大きな保持容器１３ａを含む。

【００１４】ランプ２０と２１が、位置決め装置１３か
ら少し下方へ向けて延びている。ランプ２０と２１は、
それぞれ回転盤１７と１８の表面まで延びて、位置決め
装置１３から回転盤１７と１８へと被加工物１９を導く
導管の役目を果たす。位置決め装置にはまた、ランプ２
０と２１内にある被加工物の数を調節するための適宜手
段（図示せず）も含まれている。

【００１５】位置決め装置１３の隣りには、配列面１４
がある。配列面１４は全般に表面が平らな長方形であ
り、摩擦係数の低い材質でできていることが望ましい。
図２に示すように、回転盤１７と１８は一般に、配列面
１４の中央にそれと同一平面上にあるように配置され
る。回転盤１７と１８は、技術精通者には自明であるよ
うに、配列面１４の下側に取付けた（図示せず）標準電
気モーターにより垂直軸のまわりを回転することができ
る。

【００１６】配列面１４の上には一般に、長方形の推進
板２２がある。推進板２２の一方の長辺２３に沿って２
つの切込み２４と２５があり、この実施例では各々が環
状部材１５と１６の外面に合う形状をしている。切込み
２４と２５は、環状部材１５と１６が推進板２２にしっ
かりと取付けられるように空間を形成している。

【００１７】押え棒２６と２７が、それぞれ環状部材１
５と１６の内壁２８から直角方向に延びて、回転盤１７
と１８の表面上に置かれている。位置決め装置１３の基
部３１から延びるエアシリンダ３０が、推進板２２のも
う一方の長辺３２に取付けられている。

【００１８】推進板２２と環状部材１５及び１６は、エ
アシリンダ３０が延びると配列面１４との接触を保った
まま側方へ動く。推進板２２と環状部材１５及び１６
は、ガイドロッド３３と３４により一つの経路に沿って
保持される。ガイドロッド３３と３４は、それぞれ端部
３３ａと３４ａによって配列面１４にしっかり取付けら
れている。ガイドロッド３３と３４は、図２のように推
進板２２の各隅に配置されたブッシング３５〜３８を通
って水平に延びている。

【００１９】図１に示すように、割出し部１１には、駆
動手段により垂直方向及び水平方向に移動可能な割出し
台３９が含まれている。割出し台３９は、配列面１４に
隣接している。割出し台３９は一般に、配列面１４と幅
がほぼ等しく、長さがほぼ２倍の長方形の台である。

【００２０】割出し台３９は、全般的に平らな表面４１
を備えた剛性板４０を備えている。配列面１４と似たこ
の剛性板４０は、摩擦係数の低い頑丈な材質でつくるこ
とが望ましい。剛性板４０は、該剛性板４０の下側４３
に取付けられたエアシリンダ４２により支えられてい
る。

【００２１】前記駆動手段の一部であるエアシリンダ４
２は、トラック４５に沿って移動可能な台車４４の上に
垂直に取付けられている。前記台車４４は剛性ベース４
６を備え、このベース４６は各隅に水平に配置された４
個のプッシング４７〜５０を備えている。車軸５１と５
２は、それぞれプッシング４７と４８、４９と５０を通
して水平に延びている。車輪５３〜５６は、トラック４
５に沿って転動自在であるように、車軸５１と５２のそ
れぞれの端にしっかりと取付けられている。台車４４
は、任意の公知の動力手段によってトラック４５に沿っ
て動くようになっているが、その動力手段としては、ベ
ース４６に取付けた連結器５８に水平に連結されたエア
シリング５７であることが望ましい。

【００２２】加工部１２は、スピードファム（Ｓｐｅｅ
ｄｆａｍ）社製の４８インチの自由研磨加工装置のよう
な、（技術精通者には既知である）従来型のラッピング
ホイール機構と同等のものでよい。図１に示した実施例
の加工部には、ラッピングホイール５９、保持リング６
０と６１、加圧板６２と６３、逆転歯車６４、及び調整
リング６５が配設されている。

【００２３】ラッピングホイール５９は、水平に配置さ
れた円形鋼合金の面を備え、技術精通者には既知の、適
切な駆動手段（図示せず）によって、垂直軸の回りを回
転する。

【００２４】逆転歯車６４は、ラッピングホイール５９
の中央に配置される。逆転歯車６４の形は環状で、外周
に歯を有している。逆転歯車６４は、時計方向又は反時
計方向に回すことができ、ラッピングホイール５９のた
めの駆動手段とは異なる別の駆動手段により駆動され
る。ラッピングホイール５９は、図のように反時計方向
に回転する。

【００２５】環状の調整リング６５が、ラッピングホイ
ール５９の表面に配置されている。調整リング６５に
は、歯付き外周があり、これが逆転歯車６４の歯とかみ
合っている。調整リング６５はさらに、ラッピングホイ
ール５９の表面と接触し、ラッピングホイール５９の平
面度を保つための水準装置として作用する。逆転歯車６
４は調整リング６５とかみ合って時計方向又は反時計方
向に回転し、ラッピングホイールの平面度を保つための
水準装置として作用する。

【００２６】調整リング６５と同じ大きさの一対の保持
リング６０と６１が、ラッピングホイール５９の表面上
に配置されている。図３に示すように、保持リング６０
と６１はそれぞれ内部空間６８を有し、滑らかな外周６
９を備えている。保持リング６０と６１は逆転歯車６４
とはかみ合っていないが、自由に軸心のまわりを回転す
る。

【００２７】加圧板６２と６３が保持リング６０と６１
のすぐ上に配置されている。加圧板６２と６３は、直径
が保持リング６０と６１の内部空間６８の直径よりもほ
んのわずかに小さく、水平に配置された平らな円形をな
している。被加工物を加工するとき、該被加工物は一般
に、保持リング６０と６１の内部空間６８内に配置され
る。エアシリンダ７０と７１は垂直に配置され、一方の
端が自由研磨加工装置１２の支持梁７２に取付けられ、
もう一方の端が加圧板６２と６３の中心に取付けられ
て、これらの加圧板６２と６３を保持リング６０と６１
の内部空間６８内に下向きに動かす。加圧板６２と６３
は被加工物１９に当接し、回転しているラッピングホイ
ール５９に対し定位置において該被加工物１９を保持し
たまま下向きの力を加える。

【００２８】保持リング６０と６１はさらに、Ｕ字型推
進部材８０によりラッピングホイール５９上の定位置に
保持される。複数のベアリング８１がＵ字型推進部材８
０の内部に配置されている。前記保持リング６０と６１
は、外周に小さな溝６２ａを有し、それがＵ字型推進部
材８０のベアリング８１とかみ合っている。この溝によ
って、推進部材８０を保持リング６０と６１にしっかり
と係止させ、図１と図３のように保持リング６０と６１
を支えることができ、同時に保持リング６０と６１をそ
の垂直軸のまわりに回転させることができる。

【００２９】Ｕ字型推進部材８０は、水平に配置された
エアシリンダ８６に取付けられ、このエアシリンダ８６
はＵ字型推進部材８０をラッピングホイール５９と割出
し台３９のあいだで動かす。図８に示すように、Ｕ字型
推進部材８０はラッピングホイール５９又は割出し台３
９とは接触していないが、保持リング６０と６１がラッ
ピングホイール５９又は割出し台３９によって支持され
ていないときには、該保持リング６０と６１を支持して
いることに注目すべきである。

【００３０】加工部にはさらに、ラッピングホイール５
９と割出し台３９のあいだにぴったり嵌合し、被加工物
１９と保持リング６０と６１をラッピングホイール５９
と割出し台３９のあいだで滑らせるための連続面を形成
する拡張台９０が設けられている。

【００３１】本発明の装置は、複数の未仕上げ被加工物
が位置決め装置１３の保持容器１３ａ内に装填される
と、作動を開始する。位置決め装置１３は、この技術分
野では既知の方法で各被加工物１９の同じ面が下向きに
なるように該被加工物を配列する。次に、同様に配置さ
れた被加工物１９が、重力によってランプ２０と２１を
通って回転盤１７と１８の表面上へと送られる。回転盤
１７と１８のまわりに配置された環状部材１５と１６
が、被加工物を平面円形状配置に保持する。被加工物１
９が送られているあいだ、回転盤１７と１８は図のよう
に時計方向に動いている。被加工物が回転盤へ送られる
と、環状部材から回転盤１７と１８の上に延びている押
え棒２６と２７が、該被加工物１９を回転盤１７と１８
上の定位置に保持することにより、後続の被加工物を回
転盤１７と１８上に送ることができるよう空間をつく
り、それを維持する。被加工物１９は回転盤１７と１８
上に連続的に送られ、回転盤の表面が平面状に配置され
た被加工物１９で覆われるまで環状部材１５と１６内に
供給される。

【００３２】技術精通者には自明のように、適切な計数
手段（図示せず）を用いて、回転盤１７と１８へ送られ
る被加工物の数を測定することができる。所定の数にし
たがっていったん回転盤１７と１８に被加工物が装填さ
れると、計数手段は信号を送ってエアシリンダ３０を伸
長させ、環状部材１５と１６に固く取付けられた推進板
２２を移動させる。環状部材１５と１６の内部空間内に
平面的に配置された被加工物１９は、配列面１４に沿っ
て割出し台３９の一方の半部まで水平方向に動く。環状
部材１５と１６が水平方向に動いているあいだ、被加工
物１９は平面配置のまま保持され、配列面１４の上を容
易に滑ることができる。割出し台３９の表面は、一般に
配列面１４と同一平面であるが、環状部材１５と１６の
内部に保持された被加工物が配列面と割出し台３９のあ
いだの継目１００の上を滑るときに互いに飛び越したり
重なったりしないように、ごくわずかに垂直方向に下げ
ることができる。例えば、図２では、環状部材１５と１
６は割出し台３９の上に移動している。

【００３３】いったん環状部材１５と１６が割出し台３
９上に移動し、被加工物１９が割出し台３９により支持
されると、エアシリンダ４２が作動することによって割
出し台３９は下がり、図３に示すように推進板２２がも
との位置に戻る。その結果、被加工物１９は割出し台３
９の一方の半部に平面円形状に配列される。被加工物１
９が割出し台３９の一方の半部上に移載されるのと同時
に、Ｕ字型推進部材８０に取付けられたエアシリンダ８
６が保持リング６０と６１を割出し台３９の他方の半部
上へと動かす。図３のように割出し台が下がると、保持
リング６０及び６１と推進部材８０は、エアシリンダ８
６により割出し台３９の上方に保持される。

【００３４】割出し台３９が約５〜６インチ下がると、
割出し台３９が台車４４によりトラック４５に沿って側
方へ動き、図８のように、被加工物１９が配置されてい
る割出し台３９の半部が、Ｕ字型推進部材８０とエアシ
リンダ８６によって支持された保持リング６０と６１の
すぐ下にくる。そのあと割出し台３９がエアシリンダ８
６によって上げられ、割出し台３９の表面は保持リング
６０と６１の底面と接触する。割出し台３９の表面はま
た、ラッピングホイール５９と拡張台９０の表面と同一
平面になる。図５に示すように、被加工物１９は、割出
し台３９により支持された円形平面状配置のまま、さら
に保持リング６０と６１によって囲まれれた内部空間６
８に配置される。

【００３５】図６に示すように、次にエアシリンダ８６
が伸びて、Ｕ字型推進部材８０を側方に動かし、保持リ
ング６０と６１及びそれらの内部に配置された被加工物
１９がラッピングホイール５９上に配置される。Ｕ字型
推進部材８０がラッピングホイール５９の表面に接触し
ていないことに注目すべきである。また、一般にラッピ
ングホイール及び拡張台９０は同一平面にあるが、被加
工物１９がラッピングホイール５９上の所定位置へ向か
って割出し台３９とラッピングホイール５９の上を滑る
ときに弾かれてひっくり返ったりしないよう、割出し台
３９をラッピングホイール５９の表面上にわずかに上げ
ることができる。

【００３６】保持リング６０と６１が被加工物１９とい
っしょにラッピングホイール５９上に配置されると、図
６のように、保持リング６０と６１の内部空間６８内に
ぴったり嵌合した状態で被加工物１９をラッピングホイ
ール５９の表面に押付けるべく、加圧板６２と６３がエ
アシリンダ７０と７２によって下向きに動く。次にラッ
ピングホイール５９は回転し、液体研磨剤がラッピング
ホイール５９に加えられ、この技術分野では既知の方法
で被加工物１９が加工される。

【００３７】加工が完了すると、加圧板６２と６３は上
昇し、Ｕ字型推進部材８０に取付けられたエアシリンダ
８６が引っ込んで、図７のように、保持リング６０及び
６１と仕上げ済被加工物１９を割出し台３９上へと移す
べく側方に移動する。いま割出し台３９上にある仕上げ
済被加工物１９は、割出し台３９の右半部に配置されて
いることに注目すべきである。保持リング６０及び６１
と被加工物１９が割出し台３９の右半部に配置されると
同時に、先に述べた方法で、未仕上げ被加工物１９も割
出し台３９の左半部に推進板２２によって配置される。

【００３８】次に図８に示すように、仕上げ済被加工物
１９を円形平面状配置に保持したまま、割出し台３９は
エアシリンダ４２によって下げられる。同時に、図３の
ように、未仕上げ被加工物１９が割出し台３９の表面上
に配置される。前と同様に、割出し台３９上に配置され
た未仕上げ被加工物１９が保持リング６０と６１の下に
来るように、割出し台３９は下降してトラック４５に沿
って側方へ動く。そのあと割出し台は、図４に示すよう
に、保持リング６０と６１の内部空間６８に対応する位
置に配置されている未仕上げ被加工物１９と、割出し台
３９の表面上に配置されている仕上げ済被加工物１９と
いっしょに上昇する。次に、図９のように、未仕上げ被
加工物１９は前と同様にしてラッピングホイール５９上
へと移載され、また仕上げ済被加工物１９は、運搬装置
１０２又はその他の機械によって別の機械へと移載され
る。推進棒１０４は剛性構造であり、運搬装置１０２上
に仕上げ済被加工物を押し動かすために用いられる。技
術精通者には既知の手段によって、推進棒１０４が運搬
装置１０２の方へ伸び、それによって仕上げ済被加工物
１９を隣接する運搬装置１０２の上へ動かす。

【００３９】この装置によって、場合により助手による
未仕上げ被加工物１９の位置決め装置の再装填が必要で
ある以外は、機械操作員の必要なしに仕上げ済被加工物
１９の連続供給を行うことができる。本発明の好ましい
実施例について述べたが、とくに以上の説明に照らして
技術精通者は変更を行うことができるため、本発明が上
記実施例に限定されるものでないことは明白である。

【００４０】

【発明の効果】このように本発明によれば、被加工物の
装填、加工、及び取出しを含む研磨加工の全工程にわた
り、複数の被加工物を一まとめにして同時処理すること
が可能な、完全に自動化された研磨方法及び装置を得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す要部斜視図である。

【図２】図１とは異なる動作状態にある第１移動手段を
示す要部斜視図である。

【図３】第１移動手段と割出し台を示す要部斜視図であ
る。

【図４】水平に移動した状態の割出し台を示す要部斜視
図である。

【図５〜８】第二移動手段の異なる動作状態を示す側面
図である。

【図９】仕上げ済被加工物といっしょに完全に側方へ移
動した割出し台を示す断面図である。１０台部１１割出し部１２加工部１３位置決め
装置１３ａ保持容器１５，１６環
状部材１７，１８回転盤１９被加工物３０，４２，５７エアシリンダ３９割出し台４４台車４６ベース５９ラッピングホイール６０，６１保
持リング６２，６３加圧板６４逆転歯車６５調整リング８６エアシリ
ンダ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】実質的に類似する被加工物を複数個ずつ
まとめて同時処理することにより、これらの被加工物の
片面を自動的に研磨するための装置であって、複数の未仕上げ被加工物を同じ向きに揃えて配列用台部
に移送する位置決め装置と；前記位置決め装置で向きを揃えられた複数の未仕上げ被
加工物を所定の配置に配列するための前記配列用台部
と；複数の被加工物の片面を研磨するためのラップ手段と；前記配列用台部からの未仕上げ被加工物をラップ手段へ
の供給位置に搬送すると共に、ラップ手段からの仕上げ
済被加工物を他の処理機械への供給位置に搬送する割出
し台と；前記割出し台を水平方向および垂直方向に移動させる駆
動手段と；前記配列用台部上に配列された複数の未仕上げ被加工物
を前記割出し台上へ移動させる第一移動手段と；前記ラップ手段と割出し台とのあいだで複数の未仕上げ
被加工物及び仕上げ済被加工物を移動させる第二移動手
段と；を有することを特徴とする片面加工用自動研磨装置。
【請求項２】前記位置決め装置が、実質的に平らな上
面および下面を有する被加工物を保持するための振動容
器を含み、該容器により被加工物を上面又は下面が下向
きになるように変向可能であることを特徴とする請求項
１記載の自動研磨装置。
【請求項３】前記割出し台の駆動手段が、ベースと、
該ベースを水平方向に移動させるための動力手段と、前
記ベース上に垂直に取付けられ、前記割出し台の下側に
連結されたエアシリンダとを有することを特徴とする請
求項１記載の自動研磨装置。
【請求項４】前記配列用台部が、実質的に平らな平面
によって囲まれた所定の直径を有する一対の平らで回転
可能な円盤と、前記円盤を回すための手段と、前記円盤
のまわりに配置される一対の環状部材とを有することを
特徴とする請求項１記載の自動研磨装置。
【請求項５】前記第一移動手段が、エアシリンダを有
することを特徴とする請求項１記截の自動研磨装置。
【請求項６】前記ラップ手段が、回転可能なラッピン
グホイールと、一対の保持リングと、加圧板と、逆転歯
車と、逆転歯車とかみ台う調整リングとを有することを
特徴とする請求項１記載の自動研磨装置。
【請求項７】前記第二移動手段が、エアシリンダアセ
ンブリを有することを特徴とする請求項１記載の自動研
磨装置。
【請求項８】実質的に類似する被加工物を複数個ずつ
まとめて同時処理することにより、これらの被加工物の
片面を自動的に研磨するための装置であって、複数の未仕上げ被加工物を同じ向きに揃えて回転盤上に
移送する位置決め装置と；前記位置決め装置に隣接して配設され、向きを揃えられ
た複数の未仕上げ被加工物を所定の平面配置に配列し維
持するための、一対の環状部材を有する前記一対の回転
盤と；前記一対の回転盤に隣接する被加工物搬送用の割出し台
と；前記割出し台を垂直方向および水平方向に動かす駆動手
段と；前記回転盤と割出し台とのあいだで前記複数の未仕上げ
被加工物を移動させるための第一移動手段と；複数の未仕上げ被加工物の所定の面を加工するためのラ
ッピングホイールと、加工中に前記被加工物を所定配置
に保持する一対の保持リングと、前記ラッピングホイー
ルに対して被加工物を押付けるための加圧板と、逆転歯
車と、前記ラッピングホイールを一定の状態に保つため
の前記逆転歯車とかみ合う調整リングとを有するラップ
手段と；前記ラップ手段と割出し台とのあいだで複数の未仕上げ
被加工物及び加工済被加工物を動かすための第二移動手
段と；を有することを特徴とする片面加工用自動研磨装置。
【請求項９】前記割出し台の駆動手段が、ベースと、
該ベースを水平方向に移動させるための動力手段と、前
記ベース上に垂直に取付けられ、前記割出し台の下側に
連結されたエアシリンダとを有することを特徴とする請
求項８記載の自動研磨装置。
【請求項１０】前記第一移動手段が、前記回転盤と割
出し台のあいだで前記一対の環状部材を動かすためのエ
アシリンダを有することを特徴とする請求項８記截の自
動研磨装置。
【請求項１１】前記第二移動手段が、ラッピングホイ
ールと割出し台のあいだで一対の保持リングを水平方向
に滑らせるために該保持リングに連結されたエアシリン
ダを有することを特徴とする請求項８記載の自動研磨装
置。
【請求項１２】実質的に類似する被加工物を複数個ず
つまとめて同時処理することにより、これらの被加工物
の片面を自動的に研磨するための方法であって、片面を加工するため複数の未仕上げ被加工物を平坦位置
に向きを揃えて配列する工程と；向きを揃えられ且つ配列された前記複数の未仕上げ被加
工物を加工部へ搬送する工程と；向きを揃えられ且つ配列された複数の未仕上げ被加工物
を同時に研磨する工程と；向きを揃えられ且つ配列された前記複数の未仕上げ被加
工物を、垂直方向及び水平方向に移動可能な被加工物搬
送用の割出し台へ移動させると同時に、前記加工部から
複数の仕上げ済被加工物を該割出し台へ取り出す工程
と；を含むことを特徴とする片而加工用自動研磨方法。
【請求項１３】実質的に類似する被加工物を複数個ず
つまとめて同時処理することにより、これらの被加工物
の片面を自動的に研磨するための方法であって、片面を加工するため複数の未仕上げ被加工物を平坦位置
に向きを揃えて配列する工程と；向きを揃えられ且つ配列された前記複数の未仕上げ被加
工物を、垂直方向及び水平方向に移動可能な割り出し台
によって加工部へ搬送する工程と；前記複数の未仕上げ被加工物を研磨する工程と；前記加工部から複数の仕上げ済被加工物を取り出す工程
と；を含むことを特徴とする片面加工用自動研磨方法。
【請求項１４】実質的に類似する被加工物を複数個ず
つまとめて同時処理することにより、これらの被加工物
の片面を自動的に研磨するための装置であって、複数の未仕上げ被加工物を平坦位置において所要の向き
に配列するた蓼の配列用台部と；配列された前記複数の未仕上げ被加工物を加工部に搬送
するための割出し台と；搬送された前記複数の未仕上げ被加工物の片面を同時に
研磨するための加工部と；複数の未仕上げ被加工物を前記配列用台部から割出し台
へ移動させるのと同時に、加工部から複数の仕上げ済被
加工物を取り出すための移動手段と；を有することを特徴とする片面加工用自動研磨装置。
【請求項１５】前記割出し台が、垂直方向及び水平方
向に移動可能であることを特徴とする請求項１４に記載
の片面加工用自動研磨装置。
【請求項１６】実質的に類似する被加工物を複数個ず
つまとめて同時処理することにより、これらの被加工物
の片面を自動的に研磨するための装置であって、複数の未仕上げ被加工物を平坦位置において所要の向き
に配列するための配列用台部と；配列された前記複数の未仕上げ被加工物を加工部に搬送
するための割出し台と；前記配列用台部から割出し台へと、配列された複数の未
仕上げ被加工物を移動させるための第一移動手段と；搬送された前記複数の未仕上げ被加工物の片面を同時に
研磨するための加工部と；未仕上げ被加工物を配列用台部から割出し台へ移動させ
る前記第一移動手段と同時に作動して、前記加工部から
複数の仕上げ済被加工物を取り出す第二移動手段と；を有することを特徴とする片而加工用自動研磨装置。