JP2563274Y2 - 試料加熱２軸傾斜ホルダ - Google Patents
試料加熱２軸傾斜ホルダInfo
- Publication number
- JP2563274Y2 JP2563274Y2 JP715493U JP715493U JP2563274Y2 JP 2563274 Y2 JP2563274 Y2 JP 2563274Y2 JP 715493 U JP715493 U JP 715493U JP 715493 U JP715493 U JP 715493U JP 2563274 Y2 JP2563274 Y2 JP 2563274Y2
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- Japan
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- push rod
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は試料内に傾斜機構が組み
込まれ、傾斜機構内部において試料を固定し、かつ加熱
するようにした試料加熱２軸傾斜ホルダに関するもので
ある。
込まれ、傾斜機構内部において試料を固定し、かつ加熱
するようにした試料加熱２軸傾斜ホルダに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】２軸傾斜ホルダは試料ホルダ内に試料を
固定すると共に、試料を加熱するための傾斜機構が組み
込まれ、試料操作軸内を軸方向に可動な押し棒を押し引
きすることにより１軸方向の傾斜を行い、試料操作軸を
回転することにより、もう一方の軸方向の傾斜を行うよ
うにしている。なお、試料の加熱は、試料固定部分に組
み込まれているヒータに電流を流して試料を加熱する傍
熱加熱方式と、試料自体を抵抗とし、試料に直接電流を
流して加熱する直接加熱方式とが用いられている。
固定すると共に、試料を加熱するための傾斜機構が組み
込まれ、試料操作軸内を軸方向に可動な押し棒を押し引
きすることにより１軸方向の傾斜を行い、試料操作軸を
回転することにより、もう一方の軸方向の傾斜を行うよ
うにしている。なお、試料の加熱は、試料固定部分に組
み込まれているヒータに電流を流して試料を加熱する傍
熱加熱方式と、試料自体を抵抗とし、試料に直接電流を
流して加熱する直接加熱方式とが用いられている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】前述したどちらの加熱
方式においても、試料ホルダ操作軸先端部と傾斜機構間
を電気的に接続し、傾斜機構内部に加熱電流を導入する
必要があるが、従来は銅線等をスパイラル状に巻いて試
料傾斜の動きを許容し、妨げないようにして電流を導入
するようにしていた。しかしながら、このような従来の
方式では、スパイラル状に巻いた線材が固いため抵抗が
大きく、傾斜運動をスムーズに行うことが困難であり、
また、傾斜機構を動かすのには大きな駆動力が必要とな
り、極めて微妙に試料を傾斜させて行う試料観察におい
て、スムーズな動きができないために像が突然観察でき
なくなったりするという問題がある。
方式においても、試料ホルダ操作軸先端部と傾斜機構間
を電気的に接続し、傾斜機構内部に加熱電流を導入する
必要があるが、従来は銅線等をスパイラル状に巻いて試
料傾斜の動きを許容し、妨げないようにして電流を導入
するようにしていた。しかしながら、このような従来の
方式では、スパイラル状に巻いた線材が固いため抵抗が
大きく、傾斜運動をスムーズに行うことが困難であり、
また、傾斜機構を動かすのには大きな駆動力が必要とな
り、極めて微妙に試料を傾斜させて行う試料観察におい
て、スムーズな動きができないために像が突然観察でき
なくなったりするという問題がある。
【０００４】本考案は上記課題を解決するためのもの
で、傾斜運動に対する加熱電流導入線の抵抗を小さく
し、傾斜をスムーズに行えると共に、傾斜駆動力が小さ
くてすむ試料加熱２軸傾斜ホルダを提供することを目的
とする。
で、傾斜運動に対する加熱電流導入線の抵抗を小さく
し、傾斜をスムーズに行えると共に、傾斜駆動力が小さ
くてすむ試料加熱２軸傾斜ホルダを提供することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案は、試料ホルダ操
作軸を回転して１軸方向に傾斜させ、該操作軸内で摺動
する押し棒を操作軸方向に押し引きして試料傾斜機構を
駆動することにより他の軸方向に傾斜させるようにした
通電加熱試料ホルダにおいて、前記押し棒先端部に設け
られたホルダ電流導入部と、前記試料傾斜機構内に設け
られた試料固定電流導入部との間をアコーディオン式に
折り畳まれた金属箔で接続したことを特徴とする。
作軸を回転して１軸方向に傾斜させ、該操作軸内で摺動
する押し棒を操作軸方向に押し引きして試料傾斜機構を
駆動することにより他の軸方向に傾斜させるようにした
通電加熱試料ホルダにおいて、前記押し棒先端部に設け
られたホルダ電流導入部と、前記試料傾斜機構内に設け
られた試料固定電流導入部との間をアコーディオン式に
折り畳まれた金属箔で接続したことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本考案はホルダ電流導入部と試料固定電流導入
部との間をアコーディオン式に折り畳まれた金属箔で接
続することにより、必要な電流容量を確保すると共に、
傾斜運動に対する電流導入線の抵抗を小さくし、必要な
傾斜駆動力を小さくしてスムーズな試料傾斜を行うこと
が可能となる。
部との間をアコーディオン式に折り畳まれた金属箔で接
続することにより、必要な電流容量を確保すると共に、
傾斜運動に対する電流導入線の抵抗を小さくし、必要な
傾斜駆動力を小さくしてスムーズな試料傾斜を行うこと
が可能となる。
【０００７】
【実施例】図１は本考案の試料加熱２軸傾斜ホルダの構
成を示す図で、図１（ａ）は試料ホルダの電子線光軸方
向から見た平面図、図１（ｂ）は試料傾斜機構の側断面
図、図１（ｃ）は試料ホルダの側断面図、図１（ｄ）は
試料操作軸部分の横断面図である。図中、１は試料ホル
ダ固定部、２はフレーム、３は押し棒、４は突起、５は
てこ、６はピン、７は傾斜機構、８はバネ、９は傾斜
軸、１０はホルダ電流導入部、１１は碍子、１２は金属
箔、１３は試料固定電流導入部、１４は試料、１５，１
６，１７はネジ、１８はリード線、１９，２０はＯリン
グである。
成を示す図で、図１（ａ）は試料ホルダの電子線光軸方
向から見た平面図、図１（ｂ）は試料傾斜機構の側断面
図、図１（ｃ）は試料ホルダの側断面図、図１（ｄ）は
試料操作軸部分の横断面図である。図中、１は試料ホル
ダ固定部、２はフレーム、３は押し棒、４は突起、５は
てこ、６はピン、７は傾斜機構、８はバネ、９は傾斜
軸、１０はホルダ電流導入部、１１は碍子、１２は金属
箔、１３は試料固定電流導入部、１４は試料、１５，１
６，１７はネジ、１８はリード線、１９，２０はＯリン
グである。
【０００８】電子顕微鏡の鏡筒壁から挿入される試料操
作軸の先端部の試料ホルダ固定部１にはフレーム２が取
り付けられている。フレーム２には傾斜軸９を中心に回
動可能に傾斜機構７が取り付けられている。傾斜機構７
は、ピン６に一端が取付けられたバネ８により時計方向
に回動するように付勢されると共に、操作軸内を摺動可
能に延びる押し棒３の突起４と係合し、押棒３を押すこ
とによりピン６を中心に時計方向に回動するてこ５によ
り、反時計方向に回動するように付勢されている。従っ
て、押し棒３の押し引きにより傾斜機構７は矢印Ａ（図
１（ｃ））で示すように傾斜することになる。また、操
作軸全体を軸廻りに回転することにより、もう一方の方
向の傾斜が行われる。押し棒３先端部には碍子１１によ
り押し棒との絶縁が図られたホルダ電流導入部１０が設
けられ、リード線１８がろう付けされている。ホルダ電
流導入部１０にはアコーディオン式に折り畳まれた金属
箔１２の一端が接続固定されると共に、金属箔１２の他
端は傾斜機構７に設けられた試料固定電流導入部１３に
接続されている。金属箔は、金箔、銅箔等電気的抵抗値
が小さくかつ柔らかい箔を使用することが望ましい。試
料固定電流導入部１３の先端部にはネジ１５により試料
１４の一端が固定され、試料の他端はネジ１６により固
定されており、リード線１８、金属箔１２、試料固定電
流導入部１３を通して試料１４に通電できるようになっ
ている。なお、試料１４のネジ１６に接続された側はグ
ランド側に接続されてアースされている。また、試料操
作軸はＯリング１９によりシールされると共に、押し棒
３と試料操作軸間はＯリング２０でシールされている。
作軸の先端部の試料ホルダ固定部１にはフレーム２が取
り付けられている。フレーム２には傾斜軸９を中心に回
動可能に傾斜機構７が取り付けられている。傾斜機構７
は、ピン６に一端が取付けられたバネ８により時計方向
に回動するように付勢されると共に、操作軸内を摺動可
能に延びる押し棒３の突起４と係合し、押棒３を押すこ
とによりピン６を中心に時計方向に回動するてこ５によ
り、反時計方向に回動するように付勢されている。従っ
て、押し棒３の押し引きにより傾斜機構７は矢印Ａ（図
１（ｃ））で示すように傾斜することになる。また、操
作軸全体を軸廻りに回転することにより、もう一方の方
向の傾斜が行われる。押し棒３先端部には碍子１１によ
り押し棒との絶縁が図られたホルダ電流導入部１０が設
けられ、リード線１８がろう付けされている。ホルダ電
流導入部１０にはアコーディオン式に折り畳まれた金属
箔１２の一端が接続固定されると共に、金属箔１２の他
端は傾斜機構７に設けられた試料固定電流導入部１３に
接続されている。金属箔は、金箔、銅箔等電気的抵抗値
が小さくかつ柔らかい箔を使用することが望ましい。試
料固定電流導入部１３の先端部にはネジ１５により試料
１４の一端が固定され、試料の他端はネジ１６により固
定されており、リード線１８、金属箔１２、試料固定電
流導入部１３を通して試料１４に通電できるようになっ
ている。なお、試料１４のネジ１６に接続された側はグ
ランド側に接続されてアースされている。また、試料操
作軸はＯリング１９によりシールされると共に、押し棒
３と試料操作軸間はＯリング２０でシールされている。
【０００９】このような構成において、試料加熱はリー
ド線１８、金属箔を通して試料に通電することにより行
われ、試料の２軸傾斜は、操作軸自体を回転することに
より一方向の傾斜が、また、押し棒３を押し引きするこ
とにより突起４と係合するてこ５とバネ８により傾斜機
構７が矢印Ａ方向に傾斜することにより行われる。この
傾斜運動に際して、金属箔１２はアコーディオン式に折
り畳んだものを少し広げた状態で取り付けているため、
抵抗を小さくすることができ、また数μｍ厚みの金属箔
を使用しても箔の幅を充分にとれば、電流を流すために
充分な断面積がとれ、電気抵抗を小さくして発熱を抑え
ることができる。この金属箔と同じ断面積の線材を使用
した場合には、線径が太くなってしまい、傾斜に対する
抵抗が大きくなり、スムーズな傾斜を行うことができな
いが、本考案においては極めてスムーズな傾斜を行わせ
ることができる。
ド線１８、金属箔を通して試料に通電することにより行
われ、試料の２軸傾斜は、操作軸自体を回転することに
より一方向の傾斜が、また、押し棒３を押し引きするこ
とにより突起４と係合するてこ５とバネ８により傾斜機
構７が矢印Ａ方向に傾斜することにより行われる。この
傾斜運動に際して、金属箔１２はアコーディオン式に折
り畳んだものを少し広げた状態で取り付けているため、
抵抗を小さくすることができ、また数μｍ厚みの金属箔
を使用しても箔の幅を充分にとれば、電流を流すために
充分な断面積がとれ、電気抵抗を小さくして発熱を抑え
ることができる。この金属箔と同じ断面積の線材を使用
した場合には、線径が太くなってしまい、傾斜に対する
抵抗が大きくなり、スムーズな傾斜を行うことができな
いが、本考案においては極めてスムーズな傾斜を行わせ
ることができる。
【００１０】
【考案の効果】以上のように本考案によれば、試料加熱
２軸傾斜ホルダで薄い金属箔をアコーディオン式に幾つ
かに畳んだものを少し広げた状態で使用することにより
試料傾斜時の電流導入線の抵抗が小さくなり、傾斜がス
ムーズになって傾斜駆動力を小さくすることが可能であ
り、また電流導入線の断面積を大きくとれるので、直接
加熱方式に使用して極めて有効である。
２軸傾斜ホルダで薄い金属箔をアコーディオン式に幾つ
かに畳んだものを少し広げた状態で使用することにより
試料傾斜時の電流導入線の抵抗が小さくなり、傾斜がス
ムーズになって傾斜駆動力を小さくすることが可能であ
り、また電流導入線の断面積を大きくとれるので、直接
加熱方式に使用して極めて有効である。
【図１】 本考案の試料加熱２軸傾斜ホルダの構成を示
す図である。
す図である。
１…試料ホルダ固定部、２…フレーム、３…押し棒、４
…突起、５…てこ、６…ピン、７…傾斜機構、８…バ
ネ、９…傾斜軸、１０…ホルダ電流導入部、１１…碍
子、１２…金属箔、１３…試料固定電流導入部、１４…
試料、１５，１６，１７…ネジ、１８…リード線、１
９，２０…Ｏリング。
…突起、５…てこ、６…ピン、７…傾斜機構、８…バ
ネ、９…傾斜軸、１０…ホルダ電流導入部、１１…碍
子、１２…金属箔、１３…試料固定電流導入部、１４…
試料、１５，１６，１７…ネジ、１８…リード線、１
９，２０…Ｏリング。
Claims (1)
- 【請求項１】 試料ホルダ操作軸を回転して１軸方向に
傾斜させ、該操作軸内で摺動する押し棒を操作軸方向に
押し引きして試料傾斜機構を駆動することにより他の軸
方向に傾斜させるようにした試料加熱２軸傾斜ホルダに
おいて、前記押し棒先端部に設けられたホルダ電流導入
部と、前記試料傾斜機構内に設けられた試料固定電流導
入部との間をアコーディオン式に折り畳まれた金属箔で
接続したことを特徴とする試料加熱２軸傾斜ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP715493U JP2563274Y2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 試料加熱２軸傾斜ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP715493U JP2563274Y2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 試料加熱２軸傾斜ホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0668287U JPH0668287U (ja) | 1994-09-22 |
| JP2563274Y2 true JP2563274Y2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=11658157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP715493U Expired - Lifetime JP2563274Y2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 試料加熱２軸傾斜ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2563274Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP715493U patent/JP2563274Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0668287U (ja) | 1994-09-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970930 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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