JP2562948B2 - 光学式近接センサ - Google Patents

光学式近接センサ

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JP2562948B2 JP63195273A JP19527388A JP2562948B2 JP 2562948 B2 JP2562948 B2 JP 2562948B2 JP 63195273 A JP63195273 A JP 63195273A JP 19527388 A JP19527388 A JP 19527388A JP 2562948 B2 JP2562948 B2 JP 2562948B2
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政彦 望月
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Tokyo Electron Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
この発明は光学式近接センサに関するものである。
【従来の技術】
従来の光学式近接センサでは、光源からの光を検出す
る受光素子を備え、この受光素子に入射する光量の大小
によって距離を判別していた。
【発明が解決しようとする問題点】
ところが、上記した従来の光学式近接センサの場合に
は、光量の大小を検出しているため、外乱光の影響を受
けやすいという欠点があった。 また光学式近接センサを対向して同型のセンサを使用
し、反射型センサとして使用しようとすると、対向する
センサが相手側の光源からの光を検出するため、動作不
能となってしまう。 この発明は従来例の以上のような問題点に鑑みなされ
たもので、他のセンサの光源からの光や、外乱光の影響
を受けることのない光学式近接センサを提供することを
目的としている。
【問題点を解決するための手段】
すなわち、この発明の光学式近接センサは光源の光量
変化を正弦波状に制御し、その検出回路部に周波数選択
性を持たせることにより、特定の光源からの光のみに検
出感度を有することを特徴とするものである。 さらに、センサ自身が有する光源とは別に、対向位置
に別の光源を設置し、センサ自身を有する光源の光量が
低下した場合でも、対向位置にある別の光源により検出
性能を維持できるように設定したことをも特徴としてい
る。 したがって、正弦波状に制御された光源の光量変化周
波数により光源の判別が可能なため、他のセンサからの
光あるいは外乱光の影響を受けにくく、確実に距離の検
出が行なえる。 また反射型のセンサとして使用する場合には、センア
自身の持つ光源の光量の低下にしたがって検出性能が低
下してしまうが、同型のセンサを対向する位置にも設置
して使用する場合には、その対向するセンサの光源を利
用して距離検出を行なうために、周波数選択性を持つよ
う検出回路を調整し、片方のセンサ自身の異常時にも全
体として機能を低下させないことができる。
【実施例】
以下、この発明の光学式近接センサの一実施例を図面
を用いて説明する。 第1図において、正弦波電源例えばRLC回路等からな
る予め定められた周波数(1〜数kHZ程度)を発生する
正弦波発生器1が設けられている。この正弦波発生器1
出力には送出光を変調するための発光素子制御回路2が
接続され、この発光素子制御回路2の出力には発光素子
3、例えば発光ダイオードが接続されている。他方、こ
の発光ダイオードからの送出光の反射光を受光する位置
には受光素子4、例えばフォトダイオードが設けられ、
このダイオードの出力にはフィルタ5、例えばバンドパ
スフィルタが接続され、フィルタ5の出力にはコンパレ
ータ6が接続されている。すなわち、正弦波発生器1に
より予め定められた一定周波数の正弦波を発生し、出射
光量がこの正弦波で変調され、正弦波形となるように制
御回路2により発光素子3を制御する。この発光素子3
出力の正弦波変調光を照射し、反射面からの反射光を受
光素子4である例えばフォトトランジスタにより受光
し、光電変換する。この光電変換出力には、フォトトラ
ンジスタに入射したすべての光が光電変換されたことに
なる。したがって、正弦波発生器1で発生させた正弦波
と同じ周波数のみを通過させるように設定したフィルタ
5により、光源の選択を行なう。フィルタ5を通過した
信号のレベルを、コンパレータ6により基準レベルと比
較し、反射面が近ずいたことを判別する。このように特
定の周波数(光量変化周波数)をもつ光のみを感知する
ようにしたので、他のセンサからの光あるいは外乱光の
影響を受けにくく、正確に距離の測定が行なえる。 第2図は第1図に示した構成の光学式近接センサを対
向させて反射型センサとして使用する場合を示す。第2
図において、7は第1のセンサ、8は反射板、9は第2
のセンサ、10は第1の移動ステージ、11は第2の移動ス
テージである。上記センサ7および反射板8は移動ステ
ージ10に、またセンサ9および反射板8は移動ステージ
11に設置されている。第1のセンサ7では例えば光源を
1kHZの周波数で制御し、フィルタ5の中心周波数も1kHZ
に設定する。また第2のセンサ9では、例えば光源を2k
HZの周波数で制御し、フィルタ5の中心周波数も2kHZに
設定する。この例の場合には、第1のセンサ7自身の持
つ光源の光量の低下にしたがって検出性能が低下した場
合でも、同型のセンサ9を対向する位置にも設置してあ
るので、その対向するセンサ9の光源を利用して距離検
出を行なうことができる。すなわち、各センサからの光
量に応じて周波数選択性を持つよう検出回路のコンパレ
ータの近接判別レベルを低下させるようにして調整すれ
ば、片方のセンサ自身の異常時にも全体として機能を低
下させることがない。 第3図は一般的なバンドパスフィルタの周波数特性で
ある。中心周波数(f0)に近い周波数もある程度のレベ
ルでフィルタを通過する。この特性を利用して対向する
センサの光源からの光量レベルを検出することにより距
離を判別する。 第4図は反射型センサとして使用する場合を示すもの
で、センサ7に入射する光量レベルとフィルタ通過後の
信号レベルを示す。コンパレータ6の近接判別レベルを
V1とすると、センサ7の光源の反射光レベルがV1になっ
たときにコンパレータ6が動作する。また、センサ7の
光源が故障し、発光量が低下したときにはセンサ9の光
源からの入射光により、判別レベルV1になったときにコ
ンパレータ6が動作する。 これらにより、センサ自身の光源に異常があった場合
でも、確実に近接スイッチとして動作するため、移動ス
テージ等の衝突防止センサとして非常に有効である。 すなわち、第1のセンサの光出力の周波数、図示例で
は例えば1KHzと第2のセンサの光出力の周波数、例えば
2KHzとの間に僅かの差、すなわち、1KHz(=2KHz−1KH
z)だけの差を設けておき、且つそれぞれのフィルタの
特性を、対向するセンサからの直接光の周波数に対して
は特性曲線の裾野部分が対応するように設定する(第4
図参照)。これにより、自己のセンサの発光量が故障等
により低下してその反射光のレベルが判別レベルよりも
低下した場合であっても、この自己のセンサ側の近接判
別レベルを少し調整して低下させておけば、両ステージ
が接近した時には、対向するセンサからの直接光によ
り、フィルタ出力の信号レベルが、低下させた判別レベ
ルに達して接近を検知することができる。このように、
自己のセンサの発光量が低下しても、対向する他方のセ
ンサからの光によって光量を補完することができる。
【発明の効果】
この発明の光学式近接センサは、光源の光量変化周波
数により光源の判別が可能なため、他のセンサからの光
および外乱光の影響を受けにくい。 また反射型のセンサとして使用する場合、センサ自身
の持つ光源の光量が不足してしまうと検出性能が低下し
てしまう。ところが、、この発明のように2つのセンサ
間の光量変化周波数を僅かに異ならせると共に、フィル
タ特性も対向する光源(発光素子)からの光をある程度
検出し得るような特性に設定した同型のセンサを対向す
る位置にも設置して使用することにより、一方の光源の
光量が低下した場合であっても、その対向するセンサの
光源からの光を補完的に利用して距離検出を行なうこと
ができるように検出回路の近接判別レベルを調整し、セ
ンサ自身の異常時にも機能を低下させないようにするこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の光学式近接センサを反射型としたと
きの一実施例を示す概略図、第2図は上記反射型のセン
サを対向して使用した場合の概略図、第3図は一般的な
バンドパスフィルタの周波数特性を示すグラフ、第4図
はセンサに入射する光量レベルとフィルタ通過後の信号
レベルを示すグラフである。 1……正弦波発生器、2……制御回路 3……発光素子、4……受光素子 5……フィルタ、6……コンパレータ 7……第1のセンサ、8……反射板 9……第2のセンサ、10……第1の移動ステージ 11……第2の移動ステージ

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一方の被検出体に設けられた第1のセンサ
    と、他方の被検出体に設けられた第2のセンサとよりな
    る光学式近接センサにおいて、 前記第1のセンサは、光を発する発光素子と、この発光
    素子の光出力を所定の周波数の正弦波にして制御する制
    御回路と、前記発光素子からの光であって前記他方の被
    検出体側からの反射光を検出する受光素子と、この受光
    素子からの信号の内、前記制御回路の正弦波と同じ周波
    数の信号を主に選択的に取り出すフィルタと、このフィ
    ルタの出力を所定の近接判別レベルと比較するコンパレ
    ータとにより形成され、 前記第2のセンサは、光を発する発光素子と、この発光
    素子の光出力を前記一方の被検出体の制御回路の周波数
    とは僅かに異なる所定の周波数の正弦波にして制御する
    制御回路と、前記第2のセンサの発光素子からの光であ
    って前記一方の被検出体側からの反射光を検出する受光
    素子と、この受光素子からの信号の内、前記第2のセン
    サの制御回路の正弦波と同じ周波数の信号を主に選択的
    に取り出すフィルタと、このフィルタの出力を所定の近
    接判別レベルと比較するコンパレータとにより形成さ
    れ、 前記2つの発光素子の内、いずれか一方の発光素子の光
    量が低下した場合には、前記一方及び他方の被検出体が
    互いに接近した時に、対向する被検出体に設けた正常な
    発光素子からの直接光によるフィルタの出力値を検出で
    きるように前記近接判別レベルを調整するように構成し
    たことを特徴とする光学式近接センサ。
  2. 【請求項2】前記一方及び他方の被検出体は、互いに対
    向する被検出体側から出力される光を反射する反射板を
    有していることを特徴とする請求項1記載の光学式近接
    センサ。
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