JP2562707Y2 - 基板処理装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウエハ、フォト
マスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板等
の基板に対し、洗浄、現像、エッチング剥離などの処理
液を用いて各種の処理を行うために、処理液を基板に供
給する処理チャンバーの下方に、処理液を貯留する貯液
タンクを設け、処理チャンバーと貯液タンクとを処理液
供給管と処理液戻し管とを介して接続した基板処理装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】上述のような基板処理装置では、処理液
の浪費を抑えるために、処理チャンバーで使用した処理
液を繰り返して使用するため、処理チャンバーで使用し
た処理液を貯液タンクに溜め、その貯液タンクに溜めら
れた処理液を処理チャンバーに供給するように構成され
ている。そして、ある程度使用してから、その全量を貯
液タンクから排出して貯液タンク内を洗浄し、新たな処
理液を供給している。

【０００３】上述のような貯液タンク内の洗浄に際し、
貯液タンクの上方に処理チャンバーがあってその上方か
ら洗浄できないために、従来では、貯液タンクの内部に
内壁洗浄用ノズルを設けておき、洗浄液を貯液タンクの
内壁に向けて高圧で噴射させることにより洗浄すると
か、あるいは、貯液タンクの操作側などに、シール状態
で閉塞可能な蓋を備えた開口部を形成し、洗浄時に蓋を
外し、開口部を通じてハンドシャワーを貯液タンク内に
入れ、ハンドシャワーから洗浄液を噴射して内壁を洗浄
するかしていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
の内壁洗浄用ノズルを設けたものでは、内壁の特定部分
は洗浄できても、貯液タンク内の隅々までは洗浄できな
い欠点があった。また、開口部を通じてハンドシャワー
により洗浄するものでは、大きな貯液タンクの場合に、
貯液タンクの奥の方までは手が届かず、一方、手前側は
洗浄できているかどうかの確認がしづらく、前述同様に
貯液タンク内の隅々までは洗浄できない欠点があった。
また、両従来例では、例えば、貯液タンクとの配管接触
箇所での液洩れや処理チャンバーの下部での液洩れに対
する補修作業が行いづらくて手間を要する欠点があっ
た。

【０００５】本考案は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、貯液タンクの内壁を容易に隅々まで洗
浄できるとともに、貯液タンクおよび処理チャンバーそ
れぞれに対する補修作業を容易に行うことができるよう
にすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本考案は、上述のような
目的を達成するために、処理液を基板に供給する処理チ
ャンバーの下方に、処理液を貯留する貯液タンクを設
け、処理チャンバーと貯液タンクとを処理液供給管と処
理液戻し管とを介して接続した基板処理装置において、
処理液供給管および処理液戻し管それぞれの途中箇所に
接続分離可能な配管接続部を設けるとともに、貯液タン
クを、処理チャンバーの下方位置と下方から外れた位置
とにわたり、処理チャンバーに対して相対的に移動可能
に設けて構成する。

【０００７】

【作用】本考案の基板処理装置の構成によれば、貯液タ
ンクの内壁を洗浄するときに、処理液供給管および処理
液戻し管それぞれを、貯液タンク側と処理チャンバー側
とに分離し、貯液タンクと処理チャンバーとを相対移動
させて、貯液タンクを処理チャンバーの下方から外れた
状態にし、貯液タンクの上方からその内壁を洗浄するこ
とができる。また、貯液タンクを処理チャンバーの下方
から外れた状態にすることにより、貯液タンクに対する
補修や処理チャンバーの下部に対する補修を行うことが
できる。

【０００８】

【実施例】次に、本考案の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【０００９】図１は、本考案に係る基板処理装置の第１
実施例を示す全体縦断正面図、図２は全体縦断側面図、
図３は全体横断面図であり、処理液としての洗浄液を基
板Ｗの表裏両面に噴出供給する洗浄ノズル１…を設けた
処理チャンバー２の下方に貯液タンク３が設けられ、洗
浄ノズル１…と貯液タンク３とが、ポンプ４を介装した
処理液供給管としての洗浄液供給管５を介して接続され
ている。

【００１０】処理チャンバー２の下部の所定箇所と貯液
タンク３とが、処理液戻し管としての洗浄液戻し管６を
介して接続され、一方、貯液タンク３の上面の洗浄液戻
し管６の下方に対応する箇所にフランジ接続部７が形成
され、洗浄ノズル１…から噴出供給した洗浄液を洗浄液
戻し管６からフランジ接続部７を通じて流下させて貯液
タンク３に回収するとともに洗浄液供給管５を介して洗
浄ノズル１…に供給し、洗浄液を循環使用するように構
成されている。貯液タンク３には、フランジ接続部７を
間にして分割した状態で開閉可能に蓋３ａ，３ｂが付設
されている。

【００１１】前記貯液タンク３およびポンプ４は下部バ
ット８上に設置され、下部バット８は、処理チャンバー
２を支持する４本の支柱９…間に配置されている。前後
の支柱９，９それぞれの下端側どうしにわたってガイド
レール１０が取り付けられるとともに、そのガイドレー
ル１０，１０それぞれの下部に前後方向に出退可能に補
助レール１１が設けられている。

【００１２】一方、下部バット８の下面に車輪１２…が
付設され、それらの車輪１２…がガイドレール１０，１
０上に載置され、補助レール１１を突出させた状態で、
貯液タンク３を処理チャンバー２の下方から外れた位置
まで引き出せるように構成されている。

【００１３】貯液タンク３には、給水管１３と排水管１
４とが接続されるとともに、給水管１３および排水管１
４それぞれが、基板処理装置の設置先に備えられている
主給水管１５および主排水管１６それぞれとフランジ接
続部１３ａ，１４ａを介して接続分離可能に接続されて
いる。

【００１４】また、洗浄液供給管５は、処理チャンバー
２の下部に近い位置の配管接続部としてのフランジ接続
部５ａを介して洗浄ノズル１…側とポンプ４側とに接続
分離可能に構成されている。一方、洗浄液戻し管６も接
続分離可能な別のフランジ接続部７を介して貯液タンク
３と接続されており、フランジ接続部７を分離させるこ
とによって処理チャンバー２側と貯液タンク３側とに分
離することができる。このように構成することによって
洗浄液を漏らすことなく洗浄液戻し管６を分離させるこ
とができるが、洗浄液が純水であってその漏れによるミ
ストの飛散などの影響が比較的少ない場合には、洗浄液
戻し管６にフランジ接続部７を設けずに洗浄液戻し管６
の先端が貯液タンク３に形成された開口と接続分離でき
るように構成すれば良い。図中１７は、基板Ｗを水平姿
勢で搬送する基板搬送装置を、１８は排気管を、そし
て、１９は貯液タンク３内に設けたシーズヒータをそれ
ぞれ示している。

【００１５】以上の構成により、ポンプ４を停止すると
ともに開閉弁２０を開いて貯液タンク３内の洗浄液を排
出した後、フランジ接続部５ａ，７，１３ａ，１４ａを
分離し、図４の一部切欠全体側面図に示すように、補助
レール１１を引き出して下部バット８を車輪１２…によ
り手前側へ移動させ、貯液タンク３およびポンプ４を処
理チャンバー２の下方から外れた位置まで引き出し、そ
して、蓋３ａ，３ｂを開くことにより、貯液タンク３内
の内壁を隅々まで良好に洗浄でき、また、ポンプ４や処
理チャンバー２の底部などに対する補修を容易に行うこ
とができる。更に、ポンプ４として容量の異なるものに
付け替えるとか、比重計や濃度管理装置を取り付けるな
どの改造工事も容易に行うことができる。

【００１６】上述実施例では、下部バット８の出退によ
りポンプ４も処理チャンバー２の下方から外れた位置ま
で引き出せるように構成し、ポンプ４に対する補修や改
造工事をも容易に行うことができるようにしているが、
本考案としては、貯液タンク３のみを処理チャンバー２
の下方から外れた位置まで引き出せるように構成するも
のでも良く、その場合であれば、ポンプ４と貯液タンク
３との間で、洗浄液供給管５の途中箇所にフランジ接続
部などの配管接続部を設けて接続分離可能に構成すれば
良い。

【００１７】図５は、第２実施例を示す斜視図であり、
処理チャンバー２を搭載する下向きコの字状の架台２１
の下部の左右両側それぞれに接地車輪２２…が設けら
れ、一方、貯液タンク３およびポンプ４を搭載設置した
下部バット８の下面にも接地車輪２３…が設けられ、処
理チャンバー２をも任意の位置に移動できるように構成
されている。他の構成は第１実施例と同じであり、同じ
番号を付すことによりその説明を省略する。

【００１８】本考案としては、例えば、第２実施例にお
いて下部バット８を固定しておき、処理チャンバー２側
のみを移動するように構成しても良く、その場合であれ
ば、給水管１３と主給水管１５、ならびに、排水管１４
と主排水管１６それぞれの接続を分離しなくても済む利
点がある。

【００１９】

【考案の効果】以上説明したように 本考案の基板処理
装置によれば、貯液タンクの内壁を、処理チャンバーに
邪魔されずに上方から洗浄できるから、内壁を隅々まで
容易に洗浄できる。また、貯液タンクに対する配管接続
箇所での液洩れに対する補修作業を、処理チャンバーに
邪魔されずに容易に行うことができるとともに、追加工
事として比重計や濃度管理装置を付設するといった作業
も容易に行うことができる。更に、処理チャンバーの下
部での液洩れに対する補修作業であっても、貯液タンク
に邪魔されずにその下方に潜り込むなどにより容易に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る基板処理装置の第１実施例を示す
全体縦断正面図である。

【図２】全体縦断側面図である。

【図３】全体横断面図である。

【図４】下部バットを引き出した状態の一部切欠全体側
面図である。

【図５】第２実施例を示す斜視図である。

【符号の説明】

２…処理チャンバー ３…貯液タンク ５…処理液供給管としての洗浄液供給管 ５ａ…配管接続部としてのフランジ接続部 ６…処理液戻し管としての洗浄液戻し管 Ｗ…基板

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理液を基板に供給する処理チャンバー
   の下方に、処理液を貯留する貯液タンクを設け、前記処
   理チャンバーと前記貯液タンクとを処理液供給管と処理
   液戻し管とを介して接続した基板処理装置において、 前記処理液供給管および処理液戻し管それぞれの途中箇
   所に接続分離可能な配管接続部を設けるとともに、前記
   貯液タンクを、前記処理チャンバーの下方位置と下方か
   ら外れた位置とにわたり、前記処理チャンバーに対して
   相対的に移動可能に設けたことを特徴とする基板処理装
   置。