JP2546128B2 - 電子波干渉素子 - Google Patents
電子波干渉素子Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾道電子を利用した電
子波干渉素子に関するものであり、特に磁場測定の用途
に有効な素子に関するものである。
子波干渉素子に関するものであり、特に磁場測定の用途
に有効な素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】荷電粒子の波動関数の位相がベクトルポ
テンシャルによって変化し、それが干渉状態に影響する
効果は、アハラノフーボーム効果として知られている。
この効果が導体中の電子に対して作用し、リング状の構
造を持つ回路において磁気抵抗が振動する事をＢ．Ｌ．
ＡｌｔｓｈｕｌｅｒらがＪＥＴＰレター誌（ＪＥＴＰＬ
ｅｔｔｅｒｓ、１９８１、Ｖｏｌ．３３、Ｐ．９４）で
指摘した。この理論を図５（ａ）から（ｃ）までに示す
様な、導電性を有するリング３と、このリング３に電気
的に接続した端子１、端子２からなる回路を用いて説明
する。この回路内を走行する電子の軌道のうち、図５
（ａ）に示す様な、端子１から端子２へ到達する電子の
軌道４は電気伝導に寄与する。しかし、図５（ｂ）に示
す様な、リング３を周回し再び端子１に戻る電子の軌道
５はこの回路において後方散乱されたとみなされ、この
回路の抵抗増加に寄与する。一方、図５（ｃ）に示す様
な、軌道５と同じ経路をたどるがリング３を逆方向に周
回して元に戻る電子の軌道６も時間反転対称性から同様
に存在する。これら対となる軌道５および軌道６は、そ
の量子力学的な位相が互いに等しいので、互いに干渉し
て強め合い、後方散乱振幅を大きくする。この様な干渉
が生じるには、電子の位相干渉長がリング３の周囲の長
さより大きい必要がある。
テンシャルによって変化し、それが干渉状態に影響する
効果は、アハラノフーボーム効果として知られている。
この効果が導体中の電子に対して作用し、リング状の構
造を持つ回路において磁気抵抗が振動する事をＢ．Ｌ．
ＡｌｔｓｈｕｌｅｒらがＪＥＴＰレター誌（ＪＥＴＰＬ
ｅｔｔｅｒｓ、１９８１、Ｖｏｌ．３３、Ｐ．９４）で
指摘した。この理論を図５（ａ）から（ｃ）までに示す
様な、導電性を有するリング３と、このリング３に電気
的に接続した端子１、端子２からなる回路を用いて説明
する。この回路内を走行する電子の軌道のうち、図５
（ａ）に示す様な、端子１から端子２へ到達する電子の
軌道４は電気伝導に寄与する。しかし、図５（ｂ）に示
す様な、リング３を周回し再び端子１に戻る電子の軌道
５はこの回路において後方散乱されたとみなされ、この
回路の抵抗増加に寄与する。一方、図５（ｃ）に示す様
な、軌道５と同じ経路をたどるがリング３を逆方向に周
回して元に戻る電子の軌道６も時間反転対称性から同様
に存在する。これら対となる軌道５および軌道６は、そ
の量子力学的な位相が互いに等しいので、互いに干渉し
て強め合い、後方散乱振幅を大きくする。この様な干渉
が生じるには、電子の位相干渉長がリング３の周囲の長
さより大きい必要がある。
【０００３】リング３を貫き通す磁束が存在すると、ア
ハラノフーボーム効果によって軌道５と軌道６の間に位
相差が生じるため干渉状態が変化する。そのため、後方
散乱振幅が磁束に対して周期的に変化する様になる。こ
の後方散乱振幅の周期的な変化が回路の磁気抵抗振動と
して現れる。この磁気抵抗振動はＡＡＳ（Ａｌ’ｔｓｈ
ｕｌｅｒ−Ａｒｏｎｏｖ−Ｓｐｉｖａｋ）振動と名付け
られており、その磁場に対する周期は、ｈ／２ｅＡで現
される。ここで、ｈはプランク定数、ｅは素電荷、Ａは
リング３が囲む面積である。
ハラノフーボーム効果によって軌道５と軌道６の間に位
相差が生じるため干渉状態が変化する。そのため、後方
散乱振幅が磁束に対して周期的に変化する様になる。こ
の後方散乱振幅の周期的な変化が回路の磁気抵抗振動と
して現れる。この磁気抵抗振動はＡＡＳ（Ａｌ’ｔｓｈ
ｕｌｅｒ−Ａｒｏｎｏｖ−Ｓｐｉｖａｋ）振動と名付け
られており、その磁場に対する周期は、ｈ／２ｅＡで現
される。ここで、ｈはプランク定数、ｅは素電荷、Ａは
リング３が囲む面積である。
【０００４】このＡＡＳ振動は、Ｄ．Ｙｕ．Ｓｈａｒｖ
ｉｎらによって、筒状のマグネシウム薄膜からなる素子
の磁気抵抗において初めて観測された。その報告は、Ｊ
ＥＴＰレター誌（ＪＥＴＰ Ｌｅｔｔｅｒｓ、１９８
１、Ｖｏｌ．３４、Ｐ．２７２）においてなされてい
る。同様な磁気抵抗振動は、リングを複数個連結した鎖
状の素子や網状の素子においても観測されている。金属
材料からなる素子における磁気抵抗振動の一般的な測定
結果を図６に模式的に示す。図６において、横軸は磁
場、縦軸は抵抗変化率（抵抗変化量を磁場無印加時の抵
抗で除した値）である。磁気抵抗は磁場に対して周期的
に振動し、その振幅は全抵抗の０．１％程度である。
ｉｎらによって、筒状のマグネシウム薄膜からなる素子
の磁気抵抗において初めて観測された。その報告は、Ｊ
ＥＴＰレター誌（ＪＥＴＰ Ｌｅｔｔｅｒｓ、１９８
１、Ｖｏｌ．３４、Ｐ．２７２）においてなされてい
る。同様な磁気抵抗振動は、リングを複数個連結した鎖
状の素子や網状の素子においても観測されている。金属
材料からなる素子における磁気抵抗振動の一般的な測定
結果を図６に模式的に示す。図６において、横軸は磁
場、縦軸は抵抗変化率（抵抗変化量を磁場無印加時の抵
抗で除した値）である。磁気抵抗は磁場に対して周期的
に振動し、その振幅は全抵抗の０．１％程度である。
【０００５】Ａｌｔｓｈｕｌｅｒらは、主に単一のリン
グをモデルとして磁気抵抗の理論を構築したが、実際の
単一リングの磁気抵抗には他の効果による振動成分も同
時に現れる。そのため、より明瞭なＡＡＳ振動を発生さ
せるには、リングを実効的に複数個連結した素子、たと
えば筒状、鎖状、網状の素子が有利である。
グをモデルとして磁気抵抗の理論を構築したが、実際の
単一リングの磁気抵抗には他の効果による振動成分も同
時に現れる。そのため、より明瞭なＡＡＳ振動を発生さ
せるには、リングを実効的に複数個連結した素子、たと
えば筒状、鎖状、網状の素子が有利である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この磁気抵抗の周期
は、その値がｈ／２ｅＡで表される事から、試料の材料
に影響されず、試料の形状のみで決定される。そのた
め、複数個のリングからなる素子においては、それぞれ
のリングが囲む面積が一定である必要がある。しかし、
周期がリングの面積のみに依存する性質を用いれば、材
料の品質によらない高安定な磁場測定素子として使用が
可能である。しかし、前述の様に、その振幅は一般的に
０．１％程度と非常に小さく、その磁気抵抗変化を測定
する際には低雑音かつ高精度の測定装置を必要とする。
は、その値がｈ／２ｅＡで表される事から、試料の材料
に影響されず、試料の形状のみで決定される。そのた
め、複数個のリングからなる素子においては、それぞれ
のリングが囲む面積が一定である必要がある。しかし、
周期がリングの面積のみに依存する性質を用いれば、材
料の品質によらない高安定な磁場測定素子として使用が
可能である。しかし、前述の様に、その振幅は一般的に
０．１％程度と非常に小さく、その磁気抵抗変化を測定
する際には低雑音かつ高精度の測定装置を必要とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者は、この小さい
振幅の原因が、電子の平均自由行程の短さにある事を見
いだした。従来、この現象は弱局在理論を用いて論理的
に説明されていた背景から、この現象が現れるためには
電子の平均自由行程が素子の寸法より十分小さく、電子
が拡散的に走行する事が必須であると考えられていた。
しかし本発明者は、平均自由行程が素子の寸法より十分
大きい場合においても同様の振動が生じ、さらには、そ
の振幅が従来より１〜２桁以上大きくなる事を見いだし
た。
振幅の原因が、電子の平均自由行程の短さにある事を見
いだした。従来、この現象は弱局在理論を用いて論理的
に説明されていた背景から、この現象が現れるためには
電子の平均自由行程が素子の寸法より十分小さく、電子
が拡散的に走行する事が必須であると考えられていた。
しかし本発明者は、平均自由行程が素子の寸法より十分
大きい場合においても同様の振動が生じ、さらには、そ
の振幅が従来より１〜２桁以上大きくなる事を見いだし
た。
【０００８】振幅が増大する理由は次の様に考えられ
る。磁気抵抗振動が現れるには、リングを周回する電子
の軌道が多く存在する事が必要である。しかし電子の平
均自由行程が小さいと、図５（ｄ）で示す様に、リング
の途中で散乱されて戻ってくる電子の軌道７なども多く
存在する。しかしこの様な軌道は磁気抵抗振動に寄与し
ないため、この様な軌道が多く存在すると磁気抵抗振動
は極端に小さくなってしまう。一方、平均自由行程が素
子の寸法より十分大きい場合、電子はリング３の境界に
おいて主に散乱される。境界散乱が境面的である場合、
図５（ｅ）で示す様に、ほとんどが前方に散乱されるの
で、リングの途中で戻る電子軌道は少なく抑えられる。
その結果、リングを周回する軌道が多くなり、磁気抵抗
振動の振幅が増大する。
る。磁気抵抗振動が現れるには、リングを周回する電子
の軌道が多く存在する事が必要である。しかし電子の平
均自由行程が小さいと、図５（ｄ）で示す様に、リング
の途中で散乱されて戻ってくる電子の軌道７なども多く
存在する。しかしこの様な軌道は磁気抵抗振動に寄与し
ないため、この様な軌道が多く存在すると磁気抵抗振動
は極端に小さくなってしまう。一方、平均自由行程が素
子の寸法より十分大きい場合、電子はリング３の境界に
おいて主に散乱される。境界散乱が境面的である場合、
図５（ｅ）で示す様に、ほとんどが前方に散乱されるの
で、リングの途中で戻る電子軌道は少なく抑えられる。
その結果、リングを周回する軌道が多くなり、磁気抵抗
振動の振幅が増大する。
【０００９】本発明は、磁気抵抗振動の振幅を増大させ
る目的のもとに、導電性の線材で構成され網目の面積が
一定である網と、網と接続された２つの電極で構成さ
れ、線材内を走行する電子の平均自由行程および位相干
渉長が網目の全周と同程度かあるいはそれ以上であるこ
とを特徴とする電子波干渉素子を提供する。
る目的のもとに、導電性の線材で構成され網目の面積が
一定である網と、網と接続された２つの電極で構成さ
れ、線材内を走行する電子の平均自由行程および位相干
渉長が網目の全周と同程度かあるいはそれ以上であるこ
とを特徴とする電子波干渉素子を提供する。
【００１０】線材が結合した網の節において任意の２つ
の線材が一直線上にこないようにする、あるいは節に荷
電粒子の進行を制御する制御体を設けると、さらによ
い。
の線材が一直線上にこないようにする、あるいは節に荷
電粒子の進行を制御する制御体を設けると、さらによ
い。
【００１１】制御体は、不純物を節に導入するかあるい
は節に穴をあけることで構成する。線材としては２次元
電子ガスあるいは単結晶金属等を用いるとよい。
は節に穴をあけることで構成する。線材としては２次元
電子ガスあるいは単結晶金属等を用いるとよい。
【００１２】
【作用】本発明の電子波干渉素子において、電子の平均
自由行程は網目の全周と同程度あるいはそれ以上となっ
ている。そのため、電子は線材中を弾道的に走行し、線
材の境界で主に散乱する。線材の境界が境面的な場合、
多くの電子が前方散乱を受けながら網目を周回する軌道
を取る。この様な周回軌道が多く存在すると、それぞれ
が時間反転対称性を持つ軌道と干渉し合い、磁気抵抗振
動の振幅が増大する。時間反転対称性を互いに持つ電子
軌道の対同士が干渉するには、電子の位相干渉長が網目
の全周と同程度あるいはそれ以上であればよい。
自由行程は網目の全周と同程度あるいはそれ以上となっ
ている。そのため、電子は線材中を弾道的に走行し、線
材の境界で主に散乱する。線材の境界が境面的な場合、
多くの電子が前方散乱を受けながら網目を周回する軌道
を取る。この様な周回軌道が多く存在すると、それぞれ
が時間反転対称性を持つ軌道と干渉し合い、磁気抵抗振
動の振幅が増大する。時間反転対称性を互いに持つ電子
軌道の対同士が干渉するには、電子の位相干渉長が網目
の全周と同程度あるいはそれ以上であればよい。
【００１３】複数の線材が結合する網の節において電子
が直進しない様にすれば、電子はより周回軌道をとれる
様になる。例えば、節に接続した線材が一直線上にある
と、一方の電線を走行してきた電子が一直線上に並んだ
他方の線材に透過しやすくなるため、周回する確率は減
少する。その場合、節に接続された線材のいずれもが一
直線上に並ばない様に網の構造を設定すれば、大きな効
果が期待できる。また、節に電子の進行方向を制御する
制御体を配置し、直進する電子数を減少させれば同様の
効果を期待できる。
が直進しない様にすれば、電子はより周回軌道をとれる
様になる。例えば、節に接続した線材が一直線上にある
と、一方の電線を走行してきた電子が一直線上に並んだ
他方の線材に透過しやすくなるため、周回する確率は減
少する。その場合、節に接続された線材のいずれもが一
直線上に並ばない様に網の構造を設定すれば、大きな効
果が期待できる。また、節に電子の進行方向を制御する
制御体を配置し、直進する電子数を減少させれば同様の
効果を期待できる。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明の量子干渉効果の実施例を説
明するために参考となる電子波干渉素子の平面図であ
る。本参考例ではＧａＡｓ−ＡｌＧａＡｓへテロ界面に
生じる二次元電子ガスを網として用いる。この網は、例
えばＧａＡｓ基板上にＳｉドープＡｌＧａＡｓ層をエピ
タキシャル成長し、リソグラフィ工程を施して正方形の
穴をあけて二次元電子ガスを周期的に空乏化させて形成
する。網１３の両端には電極１１と電極１２が電気的に
接続されている。磁気抵抗は電極１１と電極１２の間の
抵抗として現れる。ＧａＡｓ−ＡｌＧａＡｓへテロ接合
の場合、温度が１Ｋにおける典型的な平均自由行程およ
び位相干渉長はともに１０ミクロン程度である。網目の
全周はこの位相干渉程度あるいはそれ以下にすれば十分
である。ここで全周とは一つの網目を一周するときの道
のりをいう。磁気抵抗振動の周期は網目の面積で決まる
ので、網目の面積は一定である必要がある。また、磁気
抵抗振動の振幅は線材の幅にも依存するため、網目を囲
む線材において線材の外側の縁が囲む面積と線材の内側
の縁が囲む面積の差が１０％程度以下であるか、あるい
は線材の幅がフェルミ波長程度であるかのどちらかであ
る必要がある。フェルミ波長の典型的な長さは、例えば
ＧａＡｓ−ＡｌＧａＡｓへテロ界面に生じる２次元電子
ガスにおいて４０ナノメートル程度である。このように
して形成した素子の磁気抵抗振動の振幅は数％もあり、
図６の従来例が０．１％であったのと比べて一桁以上改
善されている。
明するために参考となる電子波干渉素子の平面図であ
る。本参考例ではＧａＡｓ−ＡｌＧａＡｓへテロ界面に
生じる二次元電子ガスを網として用いる。この網は、例
えばＧａＡｓ基板上にＳｉドープＡｌＧａＡｓ層をエピ
タキシャル成長し、リソグラフィ工程を施して正方形の
穴をあけて二次元電子ガスを周期的に空乏化させて形成
する。網１３の両端には電極１１と電極１２が電気的に
接続されている。磁気抵抗は電極１１と電極１２の間の
抵抗として現れる。ＧａＡｓ−ＡｌＧａＡｓへテロ接合
の場合、温度が１Ｋにおける典型的な平均自由行程およ
び位相干渉長はともに１０ミクロン程度である。網目の
全周はこの位相干渉程度あるいはそれ以下にすれば十分
である。ここで全周とは一つの網目を一周するときの道
のりをいう。磁気抵抗振動の周期は網目の面積で決まる
ので、網目の面積は一定である必要がある。また、磁気
抵抗振動の振幅は線材の幅にも依存するため、網目を囲
む線材において線材の外側の縁が囲む面積と線材の内側
の縁が囲む面積の差が１０％程度以下であるか、あるい
は線材の幅がフェルミ波長程度であるかのどちらかであ
る必要がある。フェルミ波長の典型的な長さは、例えば
ＧａＡｓ−ＡｌＧａＡｓへテロ界面に生じる２次元電子
ガスにおいて４０ナノメートル程度である。このように
して形成した素子の磁気抵抗振動の振幅は数％もあり、
図６の従来例が０．１％であったのと比べて一桁以上改
善されている。
【００１５】図２は、本発明の一実施例である。これは
網の節に結合する線材が一直線上にならないように、上
記参考例の網１３が蜂の巣状になっている。網目の大き
さおよび線材の大きさは図１の例と同様の条件を満たせ
ばよい。この場合、ある一方の線材から網１３の節に入
射した電子は他の２つの線材に伝搬しやすく、６つの節
を経由する事によって網目を周回し、元の位置に戻る事
ができる。したがって、図１の例に比べ、図７に示すよ
うに磁気抵抗振幅をさらに一桁大きくできる。図７は網
目の面積が４００ｎｍ2 の素子の場合を示しており、縦
軸は磁場、横軸は抵抗変化率である。ここで網目の面積
とは、網を構成する一つの網目の面積である。この素子
の場合、磁気抵抗振動の周期は０．１テスラとなる。な
お図２では蜂の巣構造を例として示しているが、この構
造に限る必要はなく、例えば図３の様なものでもよい。
網の節に結合する線材が一直線上にならないように、上
記参考例の網１３が蜂の巣状になっている。網目の大き
さおよび線材の大きさは図１の例と同様の条件を満たせ
ばよい。この場合、ある一方の線材から網１３の節に入
射した電子は他の２つの線材に伝搬しやすく、６つの節
を経由する事によって網目を周回し、元の位置に戻る事
ができる。したがって、図１の例に比べ、図７に示すよ
うに磁気抵抗振幅をさらに一桁大きくできる。図７は網
目の面積が４００ｎｍ2 の素子の場合を示しており、縦
軸は磁場、横軸は抵抗変化率である。ここで網目の面積
とは、網を構成する一つの網目の面積である。この素子
の場合、磁気抵抗振動の周期は０．１テスラとなる。な
お図２では蜂の巣構造を例として示しているが、この構
造に限る必要はなく、例えば図３の様なものでもよい。
【００１６】図４は、本発明の別の実施例の上面図であ
る。これは、網の節に制御体を配置し、一方の線材を走
行してきた電子が直進して通過しないように制御する目
的を持っている。制御体１４を配置する方法としては、
節の部分に穴を開ける方法や、節の部分に不純物を注入
する方法などが例としてあげられる。
る。これは、網の節に制御体を配置し、一方の線材を走
行してきた電子が直進して通過しないように制御する目
的を持っている。制御体１４を配置する方法としては、
節の部分に穴を開ける方法や、節の部分に不純物を注入
する方法などが例としてあげられる。
【００１７】以上の例はすべてＧａＡｓ−ＡｌＧａＡｓ
へテロ接合を用いた場合で説明したが、Ａｕ、Ｌｉ、Ｃ
ｕなどの金属単結晶を用いてもよい。
へテロ接合を用いた場合で説明したが、Ａｕ、Ｌｉ、Ｃ
ｕなどの金属単結晶を用いてもよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明の電子波干渉素子では、平均自由
行程が十分大きい材料を用いる事により大きな磁気抵抗
振動を示す事ができるので、従来と異なり高精度の測定
装置を用いる必要がない。また、図２の例のように素子
形状を最適化する事により、さらに大きな振幅をもつ抵
抗振動を実現できる。
行程が十分大きい材料を用いる事により大きな磁気抵抗
振動を示す事ができるので、従来と異なり高精度の測定
装置を用いる必要がない。また、図２の例のように素子
形状を最適化する事により、さらに大きな振幅をもつ抵
抗振動を実現できる。
【図１】本発明を説明するために参考となる電子波干渉
素子の構造図である。
素子の構造図である。
【図２】本発明の実施例の電子波干渉素子の構造図であ
る。
る。
【図３】本発明の別の実施例の電子波干渉素子の構造図
である。
である。
【図４】本発明の別の実施例の電子波干渉素子の構造図
である。
である。
【図５】本発明の電子波干渉素子の動作原理を説明する
図である。図５（ａ）は伝導に寄与する電子の軌道を示
す図、（ｂ）は後方散乱に寄与する電子の軌道を示す
図、（ｃ）は（ｂ）に示された軌道と時間反転対称性を
持つ軌道を示す図、（ｄ）は磁気抵抗振動に寄与しない
軌道を示す図、（ｅ）は境界散乱によって周回する電子
の軌道を示す図である。
図である。図５（ａ）は伝導に寄与する電子の軌道を示
す図、（ｂ）は後方散乱に寄与する電子の軌道を示す
図、（ｃ）は（ｂ）に示された軌道と時間反転対称性を
持つ軌道を示す図、（ｄ）は磁気抵抗振動に寄与しない
軌道を示す図、（ｅ）は境界散乱によって周回する電子
の軌道を示す図である。
【図６】従来の電子波干渉素子が示す磁気抵抗を表した
図である。グラフの横軸は磁場、縦軸は抵抗変化率（抵
抗変化量を磁場無印加時の抵抗で除した値）である。
図である。グラフの横軸は磁場、縦軸は抵抗変化率（抵
抗変化量を磁場無印加時の抵抗で除した値）である。
【図７】本発明の電子波干渉素子が示す磁気抵抗を表し
た図である。グラフの横軸は磁場、縦軸は抵抗である。
た図である。グラフの横軸は磁場、縦軸は抵抗である。
１、２ 端子 ３ リング ４、５、６、７、８ 電子の軌道 １１、１２ 電極 １３ 網 １４ 制御体 ２０ 節
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 29/778 7376−4Ｍ Ｈ０１Ｌ 29/80 Ｈ 29/812 39/22
Claims (4)
- 【請求項１】 導電性線材で構成され網目の面積が一定
である網と、網と接続された２つの電極で構成され、線
材内を走行する電子の平均自由行程および位相干渉長が
網目の全周と同程度かあるいはそれ以上であり、線材が
結合した前記網の節において任意の２つの線材が一直線
上にないことを特徴とする電子波干渉素子。 - 【請求項２】 導電性線材で構成され網目の面積が一定
である網と、網と接続された２つの電極で構成され、線
材内を走行する電子の平均自由行程および位相干渉長が
網目の全周と同程度かあるいはそれ以上であり、線材が
結合した前記網の節に荷電粒子の進行を制御する制御体
を設けたことを特徴とする電子波干渉素子。 - 【請求項３】 前記節に荷電粒子の進行を制御する制御
体を設けたことを特徴とする請求項１に記載の電子波干
渉素子。 - 【請求項４】 不純物を前記節に導入するかあるいは前
記節に穴をあけることで前記制御体を構成することを特
徴とする請求項２または請求項３に記載の電子波干渉素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5083178A JP2546128B2 (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 電子波干渉素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5083178A JP2546128B2 (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 電子波干渉素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06296030A JPH06296030A (ja) | 1994-10-21 |
| JP2546128B2 true JP2546128B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=13795046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5083178A Expired - Fee Related JP2546128B2 (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 電子波干渉素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2546128B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA3087821A1 (en) * | 2018-01-19 | 2019-07-25 | Helmut WEIDLICH | Device for guiding charge carriers and use thereof |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4550330A (en) * | 1984-06-29 | 1985-10-29 | International Business Machines Corporation | Semiconductor interferometer |
| JP2961946B2 (ja) * | 1991-05-23 | 1999-10-12 | 日本電信電話株式会社 | 電子波干渉素子 |
-
1993
- 1993-04-09 JP JP5083178A patent/JP2546128B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06296030A (ja) | 1994-10-21 |
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