JP2543601B2

JP2543601B2 - 顕微方式分光光度計

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Publication number: JP2543601B2
Application number: JP26914889A
Authority: JP
Inventors: 裕功山口; 欣也江口; 正義江澤
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-10-18
Filing date: 1989-10-18
Publication date: 1996-10-16
Anticipated expiration: 2011-10-16
Also published as: JPH03131742A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、極微小部分の測定部位における観察と同時
に、赤外吸収スペクトルを測定する顕微方式光光度計に
関するものである。

〔従来の技術〕

赤外吸収スペクトル測定装置は一般に知られるとお
り、赤外線光源、赤外線の各波長成分ごとの赤外線強度
を得るためのモノクロメータまたは干渉計、および赤外
線検出器、試料室等から構成されている。

極微小部分の赤外吸収スペクトルの測定は、干渉計を
用いたフーリエ赤外分光光度計が高感度であるために、
従来、Robert G.Messerschmidtらが、エーエスティエム
・スタンダード（ASTM:American Society for Testing
and Materials STD）949,第27頁から第31頁（1987年）
に示した「ザ・デザイン・サンプル・ハンドリング・ア
ンド・アプリケーション・オブ・インフラレッド・マイ
クロスコープス（The Design,Sample Handling and App
lication of Infrared Microscopes）」や、インフラレ
ッド・マイクロスペクトロスコピー（Platical Spectro
scopy Series Volume 6“Infrared Microspectroscop
y",Edited by Robart G.Messerschmidt,MRCEL DEKKER
Inc（1988））の第85頁から第87頁に論じているよう
な顕微鏡装置との組合せによって行われている。上記文
献には、第４図および第５図に示したような顕微鏡図が
記載されている。

第４図および第５図における23は試料ステージ、13は
反射対物レンズ、14はコンデンサ、第４図の33,33′お
よび第５図の33は測定視野を制限するためのアパチャ
（絞り孔）、第５図の27は集光用の反射対物レンズ、第
４図および第５図の17は赤外線検出器である。フーリエ
変換赤外分光器からの赤外線は第４図、第５図ともに35
で示している。

試料の赤外吸収スペクルの測定は、一般に透過または
反射のいずれかのモードで行われる。

透過測定モードの場合、第４図および第５図におい
て、フーリエ変換赤外分光器からの赤外線35は、コンデ
ンサ14で試料上に集光され、試料透過後の赤外線は反射
対物レンズ13を経て、赤外線検出器17に至る。反射測定
モードの場合は、第５図におけるフーリエ変換赤外分光
器からの赤外線35が、放物面鏡11、エッジ鏡16および反
射対物レンズ13で反射されて試料上に集光され、上記試
料で反射した後の赤外線は反射対物レンズ13を経て赤外
線検出器17に至る。

上記のような構成の装置では、極微小部の赤外吸収ス
ペクトルを測定するために、視野を第４図の33と33′ま
たは第５図の33に示すアパチャで制限して、目的の対象
部位だけに照射して測定する。これらのアパチャは、前
後方向と左右方向とに移動できるそれぞれ２枚組になっ
た平板からなり、前後に開閉するスリットと、左右に開
閉するスリットとの組合せによって構成されている。し
たがって、測定対象物の形状に応じて上記アパチャの形
状を自由に変えることができるが、上記の方法ではアパ
チャの中心を必ずしも常に正確に光軸と合わせることが
できない。

つぎに、第５図の試料ステージ23は透過測定モードの
測定のために、赤外線が通り抜ける孔があいており、こ
の孔の上に、孔よりも大きい試料を載せて赤外吸収スペ
クトルを測定している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、視野を絞るためのアパチャの中心
を、常に赤外線の光軸上に作れるようには配慮されてお
らず、アパチャの中心が光軸を外れると、赤外線の強度
が著しく低下するため、常に最良の状態で赤外吸収スペ
クトルが測定できないという問題があった。

また、試料ステージの透過測定用孔の大きさは、試料
の大きさが変化することに対する配慮がされておらず、
小さな試料は試料ステージに載せることができないばか
りでなく、試料ステージの下にある赤外線の集光鏡上に
落ちてしまうという欠点があった。

本発明は、アパチャの中心を常に光軸上に形成し、か
つ、如何なる大きさの試料も試料ステージに載せること
ができ、集光鏡上に試料が落ちることがない顕微方式分
光光度計を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するには、対物レンズの結像位置に、
光軸と直角においた孔の大きさを自由に変えることがで
きるようにする必要があり、顕微方式の分光光度計にお
いて、半径方向の辺長が異なる複数個の長方形状の孔を
同一円周上に穿孔し、上記円の中心を軸として回転可能
にした第１の円板と、上記孔と長辺の方向が異なり、上
記長辺が互いに交差するように長方形状の孔を穿孔した
第２の円板とでアパチャを構成し、上記アパチャの中心
が対物レンズの結像位置で光軸上に設置するようにす
る。

このためには、通常のカメラに用いられているよう
な、数枚の可動羽根を組み合わせた絞りのようなものを
設置することも考えられるが、上記方法は、同心円的に
形状を変化させることはできても、孔の形状を矩形にす
ることはできない。このため、長方形状のスリットを２
枚、長辺方向が交差するように重ね合わせ、それぞれの
スリット幅が独立に可変できるようにすると同時に、孔
の中心が常に結像位置で光軸上にあるようにする。

さらに、上記試料の形状方向とアパチャの形状方向と
を合わせるために、試料ステージの中心を回転するよう
にした。また、中央が回転するためには、試料ステージ
の中央に別の円板を配置し、上記円板を回転させるよう
にした。さらにまた、上記円板は、反射測定用に用いる
中央に孔がないものや、透過測定用のためにあけた孔径
が異なるものなど数種類を準備し、これらを交換するこ
とによって、測定モードと試料の大きさとに応じた円板
に取り替えて測定できるようにすることにより、試料ス
テージの下に位置する反射集光鏡上に試料が落ちること
を防止した。

〔作用〕

本発明に係る作用を第１図、第２図および第３図によ
って説明する。図において、10はフーリエ変換赤外分光
光度計の干渉計により周波数に変調された赤外線の平行
光線を受ける２枚の平面反射鏡であり、一方は反射測定
モードのための光学系で、放物面反射鏡11の方向に赤外
線を向けるための鏡である。他方は透過測定モードの光
学系で、平面鏡12の方向に赤外線を向けるための鏡であ
る。上記赤外線を反射対物レンズ13と楕円面反射鏡14と
により、試料15に集光して照射する。反射測定モードの
場合には、放物面反射鏡11からきた赤外線はエッジ鏡16
で反射対物レンズ13の方向に反射させ、試料15からの赤
外線は上記エッジ鏡16の裏側を通り、赤外線検出器17に
至る。透過測定モードの場合には、上記エッジ鏡16を光
路から外して測定する。18は放物反射面で、楕円面反射
鏡14と平面反射鏡19,20は舟形ステージ21内に塔載して
ある。上記舟形ステージ21の楕円面反射鏡14の上に試料
ステージ23がある。フーリエ変換赤外分光光度計からの
赤外線は、これらの鏡で反射して試料ステージ23上の試
料15に入射する。試料15を透過した赤外線は反射対物レ
ンズ13で集光されたのち、検出器17に至る。上記記載
が、赤外吸収スペクトルを顕微方式で測定する時のそれ
ぞれの鏡の作用である。

ところで、試料15を透過または反射した赤外線は、反
射対物レンズ13で集光され、上記反射対物レンズ13の結
像位置Ｂに、上記反射対物レンズ13の倍率に拡大された
赤外線による試料像が形成される。この試料像のうち、
必要な部分だけをアパチャ33で絞り、不要な赤外線が検
出器に届かないようにすることによって、極微小部分の
赤外吸収スペクトルを測定することができる。したがっ
て、測定対象物の形状が繊維のように細長いものであれ
ば、アパチャ33の形状も対象物に合う形にすることによ
って最も効率よく測定することができる。この目的のた
めに本発明では上記アパチャ33の形状を長方形とし、ア
パチャ33の中心が城に光軸上にあるようにしながら、そ
の長辺と短辺とが独立に可変できるようにしている。

第２図を用いてアパチャ33の作用を説明する。円板33
aには半径ｒの円周Ea上に、短辺が異なる複数個の長方
形状またはスリット状の孔が、長辺を円周方向に向けて
穿孔されている。円板33bには半径ｒの円周Eb上に短辺
が異なる複数個の長方形状またはスリット状の孔が、第
２図（ｂ）に示すように、長辺を半径方向に向けて穿孔
されている。円板33aおよび33bは、ともに上記円Ea,Eb
の中心ａおよびｂを同一軸に固定して重ねられてお
り、上記軸を中心としてそれぞれ独立に回転可能になっ
ている。また、上記円周Ea,Ebは光軸に直交する。その
ため、アパチャを長方形状としてその穿孔の長辺および
短辺を独立に可変にできるので、試料の形状や大きさの
如何にかかわらず測定が可能になる。また、アパチャの
中心が常に光軸と重なり、赤外線強度が大きく低下する
ことがない。

第６図には上記アパチャ33の代案を示す。円板33c
（または33d、以下（）内は33dの場合を示す）には半径
Rc（Rd）の円弧形状で、幅2_v（2_w）がまで連続的に変化する孔が穿孔されている。円板33cお
よび33dは、上記円弧の曲率中心ｃおよびｄを軸と
して、それぞれ独立に回転可能になっている。円板33c
および33dは、上記円弧Ec,Edの交点Ｘを光軸が通るよう
に重ね合わせている。このため、アパチャを長方形に近
い形状とし、その長辺および短辺を独立に可変とするこ
とができるので、試料の形状や大きさの如何にかかわら
ず測定が可能になる。また、アパチャ中心が常に光軸と
重なるので、赤外線強度が大きく低下することがない。

第７図にはアパチャ33の別の代案を示す。スリット板
33e（または33f、以下（）内は33fの場合を示す）には
上底辺が下底辺が高さがHe（Hf）であり、直線Le（Lf）に対して対称であ
る台形状の孔が穿孔されている。スリット板33e（また
は33f）は直線Le（Lf）に沿って、それぞれ独立にスラ
イドする。また、上記スリット板33eおよび33fは直線Le
およびLfとが直交し、その交点Ｘを光軸が通るようにし
て重ね合わせられている。このため、アパチャを長方形
に近い形状とし、その長辺および短辺が独立に可変でき
るようにすることが可能なので、試料の形状や大きさの
如何にかかわらず測定ができる。また、アパチャの中心
が常に光軸と重なるので、赤外線強度が大きく低下する
ことはない。

第８図にアパチャ33のさらに別の代案を示す。P₁,P₂
を固定点とする平行クランクリンク列Q₁P₁P₂Q₄およびQ₂
P₁P₂Q₃は互いにリンクQ₁P₁とQ₂P₁およびQ₃P₂とQ₄P₂とが
一体になっている。上記平行クランクリンク列の中のリ
ンクQ₁Q₄およびQ₂Q₃にはスリット板33gおよび33hが取り
付けられている。上記平行クランクリンク列とは独立に
動作する平行クランクリンク列Q₅P₃P₄Q₈とQ₆P₃P₄Q₇とが
P₃P₄⊥P₁P₂となるように設置されており、リンクQ₅Q₈お
よびQ₆Q₇はスリット板33i,33jが取り付けられている。

とし、直線P₁P₂とP₃P₄との交点を光軸が通るように、上
記スリット装置を設置する。このため、アパチャを長方
形状とし、その長辺および短辺が独立に可変できるよう
にすることができるので、試料の形状や大きさの如何に
かかわらず測定が可能になる。また、アパチャの中心が
常に光軸に重なるので、赤外線強度が大きく低下するこ
とはない。

一方、試料ステージ23の中央には円板30を設置し、上
記円板30を光軸の周りに回転可能にしたので、試料15を
上記円板30上に置く際の方向にかかわらず、試料15の方
向をアパチャ33の開口方向に合わせることが可能であ
る。また、上記円板30は交換可能であって、反射測定モ
ード時には第３図（ａ）に示すような孔がない円板を用
い、透過測定モード時には第３図（ｂ）に示すように、
試料よりも小さな孔があいた円板を用いることにより、
従来のように試料を上記孔から落とすことなく測定を行
うことができる。

〔実施例〕

つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。第１
図は本発明による顕微方式分光光度計の第１実施例を示
す図で、（ａ）は分光光度計から出射する赤外線を示す
図、（ｂ）は顕微方式分光光度計の構成を示す全体図、
第２図（ａ）および（ｂ）は上記実施例のアバチャを構
成するそれぞれの円板を示す図、第３図（ａ）および
（ｂ）はそれぞれ試料支持円板を示す図、第６図は本発
明の第２実施例におけるアパチャの構成を示す図、第７
図は本発明の第３実施例におけるアパチャの構成を示す
図、第８図は本発明の第４実施例におけるアパチャの構
成を示す図である。

第１実施例第１実施例を示す第１図（ｂ）は、透過測定モードと
反射測定モードの２つの方式で、試料のフーリエ変換赤
外吸収スペクトルの測定ができる装置である。切替え平
面反射鏡10は２群の鏡からなり、フーリエ変換赤外分光
光度計の平行な赤外線を、反射（落射）測定モードのた
めの放物面反射鏡11に向ける反射鏡と、透過測定モード
のための平面反射鏡12に上記赤外線を向ける鏡とからな
り、これらの鏡はレバーによって切り替えることができ
るようにした。

まず、反射モード測定の光学系について、第１図
（ａ）により説明する。分光光度計34からの平行な赤外
線35を、放物面反射鏡11で楕円面反射鏡32の第１焦点に
集光させた。この操作は赤外線検知板を使い、放物面反
射鏡11の焦点をあらかじめ設計した光軸上に正確に調整
し、その後、楕円面反射鏡32の第２焦点をアパチャ33に
結ぶように、赤外線検知板を使って調整した。以上、赤
外線光学系の焦点の調整は、赤外線検知板を使って行っ
た。エッジ鏡16の部分は、上半分が鏡で下半分を素透視
にした。上記楕円面反射鏡32からきた赤外線は上記エッ
ジ鏡16で反射対物レンズ13の方向に反射するようにし
た。さらに、試料ステージ23上の試料15で反射した赤外
線は、上記エッジ鏡16の裏側を通り、赤外線検出器17に
至るようにした。

つぎに、透過モード測定の光学系について説明する。
切替え平面反射鏡10を切り替えて、分光器からの平行な
赤外線35を平面反射鏡12の方向に向け、さらに放物面反
射鏡18によって、楕円面反射鏡14の焦点距離が長い方の
焦点に集光させた。楕円面反射鏡14の短い方の焦点を試
料15上に結ばせるために、２枚の平面反射鏡19,20によ
り光路をひき上げた。また、放物面反射鏡18と楕円面反
射鏡14および２枚の平面反射鏡は舟形ステージ21の上に
塔載した。また、上記舟形ステージ21は上下動駆動装置
22により、反射モード測定または透過モード測定のいず
れの場合にも、焦点合わせができるようにした。

つぎに、アパチャ33の構造を第２図により説明する。
（ａ）に示す円板33a、（ｂ）に示す円板33bの中心a,
ｂから半径ｒ＝5cmの円周上に、45゜間隔で８個の長
方形状の孔を穿孔している。上記円板33aと33bとは、そ
れぞれ長方形の長辺を、円周方向および半径方向に向け
て穿孔している。孔の大きさは円板33a,33bとも、5.2×
5.2,2.5×5.2,1.25×5.2,1.0×5.2,0.75×5.2,0.5×5.
2,0.25×5.2,0.1×5.2（単位:mm）である。上記円板33a
および33bは中心a,ｂで共通の軸に取り付けられ重
ね合わされており、それぞれ独立に軸の周りに回転可能
である。上記円板33a,33bを第１図（ｂ）に示す結像点
Ｂの位置に、円周Ea,Ebが光軸と直交するように取り付
けている。このため、アパチャ33を長方形状とし、その
長辺および短辺が独立に可変とすることができるので、
試料の形状や大きさの如何にかかわらず測定が可能にな
る。また、アパチャの中心が常に光軸と重なるので、赤
外線強度が大きく低下することはない。

つぎに、試料ステージ23の中央に設けた円板30の構造
を第３図により説明する。第３図（ａ）は反射モードの
測定に使用する円板30である。上記円板30は、試料ステ
ージ23上に、光軸を中心として回転可能に取り付けられ
る。反射モードでは赤外線が試料上で反射するだけなの
で、円板30に孔をあける必要はない。したがって、どの
ような大きさの試料であっても試料ステージ23に載せる
ことができる。また、円板30を回転することにより、試
料の向きとアパチャの向きとを一致させることができ
る。

第３図（ｂ）は透過モードの測定に使用する円板30で
ある。これは中心の孔径が異なるものを数種類作り、試
料テージ23上に、交換可能でかつ光軸を中心に回転可能
に取り付けられる。このため、試料の大きさに応じた孔
径の円板30を選択することができ、どのような大きさの
試料であっても試料ステージ23に載せることができる。
また、上記円板30を回転することにより、試料の向きと
アパチャの向きとを一致させることができる。

第２実施例本発明の第２実施例を第６図により説明する。アパチ
ャ33を構成する２枚の円板33cおよび33dには、半径Rc＝
Rd＝5cmの円弧形状の孔があけられている。この孔の幅2
_v＝2_wは、からまで連続的に変化するようにしてある。半径Rc（Rd）の
円Ec（Ed）とスリットの内側エッジおよび外側エッジと
の距離は、ともにｖ（ｗ）で等しくしている。孔の幅がになる側と、になる側とは、互いに円Ec（Ed）の中心ｃ（ｄ）に
対して反対側の位置にある。孔の幅2_v＝2_wは円弧Rcおよ
びRdの中心角に比例して、まで連続的に増加するようにしている。円板33cおよび3
3dは、円EcおよびEdの中心ｃおよびｄを7cm離し
て、ｃおよびｄを回転軸に取り付けている。このと
き、円EcとEdはほぼ直交する。また、円板33cと33dとは
それぞれ独立に回転可能である。これらの円板33c,33d
を第１図に示す結像点Ｂの位置に、EcとEdの交点Ｘを光
軸が通るようにして取り付けている。これにより、アパ
チャを長方形状とし、その長辺および短辺が独立に可変
できるようにすることができるので、試料の形状や大き
さの如何にかかわらず測定が可能であり、また、アパチ
ャの中心が常に光軸と重なるので、赤外線強度が大きく
低下することはない。さらに円板33c,33dの縁に目盛り
をつけることによって、アパチャの大きさを読み取るこ
とができる。

第３実施例本発明の第３実施例を第７図によって説明する。第７
図に示すスリット板33eおよび33fには、上底辺が高さHe＝Hf＝10cmの孔が穿孔されている。これらの孔
は、直線LeおよびLfに関して対称である。スリット板33
e,33fは直線LeとLfとが直交するように重ね合わせ、Le,
Lfに沿ってそれぞれ独立にスライドするのを可能にして
いる。これらのスリット板33e,33fを第１図に示した結
像点Ｂに、直線LeとLfとの交点Ｘが光軸と一致するよう
に設置している。これにより、アパチャを長方形に近い
形とし、その長辺および短辺が独立に可変できるように
することができるので、試料の形状や大きさの如何にか
かわらず測定が可能になり、また、上記アバチャの中心
が常に光軸と重なるので、赤外線強度が大きく低下する
ことはない。さらに、上記スリット板33e,33fの縁に目
盛りをつけることにより、アパチャの大きさを読み取る
ことができる。

第４実施例本発明の第４実施例を第８図によって説明する。固定
点P₁,P₂の回りに回動可能に設けられたリンクQ₁P₁Q₂お
よびQ₃P₂Q₄は、スリット板33gおよび33hとともに、平行
クランクリンク列Q₁P₁P₂Q₄およびQ₂P₁P₂Q₃を作るように
する。また、固定点P₃P₄のまわりに回動可能なリンクQ₅
P₃Q₆およびQ₇P₄Q₈は、スリット板33iおよび33jとともに
平行クランクリンク列Q₅P₃P₄Q₈おびQ₆P₃P₄Q₇を作るよう
にする。ここでとしている。また、連結点Q₁,Q₄とスリット33gのエッジ
との距離Ug,Q₂,Q₃とスリット33hのエッジとの距離Uh,
Q₅,Q₈とスリット33iのエッジとの距離Ui、およびQ₆,Q₇
とスリット33jのエッジとの距離Ujは全べて6mmとしてい
る。また、固定点P₁,P₂,P₃,P₄はP₁P₂⊥P₃P₄, となるような位置にしている。

上記のように構成されるスリット装置を第１図（ｂ）
に示す結像点Ｂに、P₁P₂とP₃P₄との交点を光軸が通るよ
うに設置している。これにより、アパチャを長方形とし
その長辺および短辺が独立に０〜18mmまで可変にするこ
とができるので、試料の形状や大きさの如何にかかわら
ず測定が可能になる。また、アパチャの中心が常に光軸
と重なるので、赤外線強度が大きく低下することがな
い。

なお、上記各実施例に記載したアパチャを構成するた
めの穿孔は、エッチング加工により形成することによっ
て、より精度よく加工でき、精密な形状と寸法のアパチ
ャることができる。

〔発明の効果〕

上記のように本発明による顕微方式分光光度計は、極
微小部分の赤外吸収スペクトルを測定する顕微方式分光
光度計において、半径方向の辺長がそれぞれ異なる複数
個の長方形状の孔を同一円周上に穿孔し、上記円の中心
を軸として回転可能にした第１の円板と、上記穿孔の長
辺と交差する方向にそれぞれの長辺を設けた長方形状の
孔を穿孔した第２の円板とでアパチャを構成し、上記ア
パチャの中心が対物レンズの結像位置で、光軸上に存在
するように設置したことにより、上記アパチャを長方形
状にし、その長辺と短辺とがそれぞれ独立に変化でき、
また、試料ステージ中央の円板を回転することによっ
て、試料の向きをアパチャに合わせることができるの
で、試料の形状や大きさにかかわらず測定できるという
効果がある。さらに、アパチャの中心が常に光軸上にあ
るため、赤外線強度が大きく低下することなく、S/N比
の低下を抑えることができる。さらにまた、試料の大き
さに応じて試料ステージ中央の円板の孔を変えることが
できるので、試料を上記孔から落下させることなく、測
定ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による顕微方式分光光度計の第１実施例
を示す図で、（ａ）は分光光度計から出射する赤外線を
示す図、（ｂ）は顕微方式分光光度計の構成を示す全体
図、第２図（ａ）および（ｂ）は上記実施例のアパチャ
を構成するそれぞれの円板を示す図、第３図（ａ）およ
び（ｂ）はそれぞれ試料支持円板を示す図、第４図は従
来技術に用いられる顕微鏡図、第５図は上記顕微鏡図の
他の例を示す図、第６図は本発明の第２実施例における
アパチャの構成を示す図、第７図は本発明の第３実施例
におけるアパチャの構成を示す図、第８図は本発明の第
４実施例におけるアパチャの構成を示す図である。 13……反射対物レンズ、23……試料ステージ 30……試料支持円板、33……アパチャ 33a……第１の円板、33b……第２の円板 33e,33f……可変スリット板 33g,33h,33i,33j……スリット板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭63−218929（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−184918（ＪＰ，Ａ) 特開平１−129144（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】極微小部分の赤外吸収スペクトルを測定す
る顕微方式分光光度計において、半径方向の辺長がそれ
ぞれ異なる複数個の長方形状の孔を同一円周上に穿孔
し、上記円の中心を軸として回転可能にした第１の円板
と、上記穿孔の長辺と交差する方向にそれぞれの長辺を
設けた長方形状の孔を穿孔した第２の円板とでアパチャ
を構成し、上記アパチャの中心が対物レンズの結像位置
で光軸上に存在するように設置したことを特徴とする顕
微方式分光光度計。
【請求項２】上記アバチャは、長方形状をなし、その長
辺と短辺とはそれぞれ独立に変化できることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載した顕微方式分光光度
計。
【請求項３】上記アパチャは、第１の曲率半径をもつ円
弧形状で、かつ、幅が連続的に変化する孔を穿孔し、上
記第１の円弧の曲率中心を軸にして回転可能に設けた第
１の円板と、第２の曲率半径をもつ円弧形状で、かつ、
幅が連続的に変化する孔を穿孔し、上記第２の円弧の曲
率中心を軸にして回転可能に設けた第２の円板とを、上
記第１の円弧と第２の円弧とが交差するように重ね合わ
せたものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載した顕微方式分光光度計。
【請求項４】上記アパチャは、左右対称な第１の台形状
の孔を穿孔した第１のスリット板と、左右対称な第２の
台形状の孔を穿孔した第２のスリット板とを、上記２つ
のスリット板がそれぞれ高さ方向に独立してスライド可
能なように、重ね合わせたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載した顕微方式分光光度計。
【請求項５】上記アパチャは、中点を固定点とする長さ
が等しい２本のリンクと、これらのうち一方のリンクの
一端と他方のリンクの一端とで連結されたスリット板
と、上記２本のリンクのそれぞれ他端に、上記同様に取
り付けた同形状のスリット板とからなるスリット装置で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載した
顕微方式分光光度計。
【請求項６】上記アパチャを形成するスリット装置は、
２個のスリット装置を用い、互いのスリット板が交差す
るように重ね合わせたものであることを特徴とする特許
請求の範囲第５項に記載した顕微方式分光光度計。
【請求項７】上記円板またはスリット板は、上記円板ま
たはスリット板の縁に目盛りを付したことを特徴とする
特許請求の範囲第３項または第４項に記載した顕微方式
分光光度計。
【請求項８】上記アパチャを形成する孔は、エッチング
により穿孔したものであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項、第３項、第４項のいずれかに記載した顕微
方式分光光度計。
【請求項９】上記光軸上には、光軸を中心として回転可
能な円板を、試料ステージの中央に設けたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載した顕微方式分光光度
計。
【請求項１０】上記円板は、中央に孔がない円板と、そ
れぞれ径が異なる孔をあけた複数個の円板と、交換可能
に着脱できるものであることを特徴とする特許請求の範
囲第９項に記載した顕微方式分光光度計。