JP2535358B2 - Manufacturing method of mold part in electronic parts - Google Patents
Manufacturing method of mold part in electronic partsInfo
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- JP2535358B2 JP2535358B2 JP62231518A JP23151887A JP2535358B2 JP 2535358 B2 JP2535358 B2 JP 2535358B2 JP 62231518 A JP62231518 A JP 62231518A JP 23151887 A JP23151887 A JP 23151887A JP 2535358 B2 JP2535358 B2 JP 2535358B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は合成樹脂モールドにより電子部品におけるモ
ールド部を製造する方法に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a mold part in an electronic component by a synthetic resin mold.
電子部品、例えば多ピン型の集積回路素子では、第1
図に示すようにリードフレーム1は厚さ寸法(t)の薄
金属板から打ち抜き形成して成り、該リードフレーム1
は左右両側の連結バー3間を各集積回路素子を構成する
単位幅間隔ごとにダムバー4にて連結し、連結バー3か
ら半導体チップ5を載置するアイランド6を沿設する一
方、ダムバー4から多数本のインナーリード部7をアイ
ランド6の方向に向かって突出させて成形する。In electronic parts, for example, multi-pin type integrated circuit devices,
As shown in the figure, the lead frame 1 is formed by punching out a thin metal plate having a thickness (t).
Connect the connecting bars 3 on both the left and right sides with a dam bar 4 at unit width intervals forming each integrated circuit element, and install an island 6 on which the semiconductor chip 5 is mounted from the connecting bar 3 while A large number of inner lead portions 7 are formed so as to project toward the island 6.
そして、アイランド6の上面にダイボンデイングした
半導体チップ5と各インナーリード部7とを金線8等に
てワイヤボンデイングした後、第7図に示すように、上
下一対のモールド金型10,11の成形空所であるキャビテ
イ12内に前記アイランド6及びインナーリード部7を位
置させ、ダムバー4及びインナーリード部7の基端部を
上下両モールド金型10,11にて挟み付け、この上下両モ
ールド金型10,11のキャビテイ12内に熱可塑性または熱
硬化性等の合成樹脂を注入し、前記アイランド6及び半
導体チップ5とワイヤボンデイングされたインナーリー
ド部7から成る本体部分をモールド部13として被覆成形
したのち、前記各インナーリード部がモールド部13から
突出した箇所で各々電気的に分離するように左右両連結
バー3やダムバー4部を切断することにより集積回路素
子を製造するようにしている。Then, after wire bonding the semiconductor chip 5 die-bonded to the upper surface of the island 6 and each inner lead portion 7 with a gold wire 8 or the like, as shown in FIG. 7, a pair of upper and lower mold dies 10, 11 are formed. The island 6 and the inner lead portion 7 are located in the cavity 12 which is a molding space, and the base ends of the dam bar 4 and the inner lead portion 7 are sandwiched by the upper and lower mold dies 10 and 11, and the upper and lower molds Thermoplastic or thermosetting synthetic resin is injected into the cavities 12 of the molds 10 and 11, and the main body portion including the island 6 and the semiconductor chip 5 and the wire-bonded inner lead portion 7 is covered as a mold portion 13. After molding, the left and right connecting bars 3 and the dam bar 4 are cut so that the inner lead portions are electrically separated at the portions protruding from the mold portion 13. So that the production of integrated circuit devices by.
このとき、特開昭60−92625号公報や特開昭62−36834
号公報等に開示されているように、注入した合成樹脂に
よりキャビテイ12内の空気を外部に放出するための微小
な隙間をインナーリード部の外周に沿って形成されてい
るから、この隙間に合成樹脂が進入して固まると、イン
ナーリード部の外周や、隣接するインナーリード部を繋
ぐようなバリが形成される。また、キャビテイ12内の合
成樹脂が漏れ出ないように前記左右両連結バー3,3及び
ダムバー4,4箇所にて上下両モールド金型10,11を挟み付
けると共に、多数本のインナーリード部7の上下面も上
下両モールド金型10,11にて挟み付けるようにしている
ので、モールド金型のいずれか一方の挟み付け面に成形
工程中のバリの離脱片等のゴミ14が付着していると、前
記挟み付け時にインナーリード部7がゴム14に乗ること
があり得る。At this time, JP-A-60-92625 and JP-A-62-36834
As disclosed in the publication, etc., a minute gap for discharging the air in the cavity 12 to the outside is formed by the injected synthetic resin along the outer periphery of the inner lead portion, so that the gap is synthesized. When the resin enters and solidifies, a burr that connects the outer circumference of the inner lead portion and the adjacent inner lead portions is formed. Also, in order to prevent the synthetic resin in the cavity 12 from leaking out, the upper and lower mold dies 10 and 11 are sandwiched between the left and right connecting bars 3 and 3 and the dam bars 4 and 4, and a large number of inner lead portions 7 are formed. Since the upper and lower surfaces are also sandwiched between the upper and lower mold dies 10, 11, dust 14 such as deburred pieces of burrs during the molding process adheres to the sandwiching surface of either one of the mold dies. If so, the inner lead portion 7 may get on the rubber 14 during the sandwiching.
ところが、多ピン型の集積回路素子では、各インナー
リード部7自体の幅寸法が小さいから、前述ゴミ14の上
に乗ったインナーリード部7は上下又は左右に曲がり易
く、また、インナーリード部7の隣接ピッチも狭小であ
るから、その曲がった状態のインナーリード部7は隣接
のインナーリード部と接触したり、半導体チップ5との
ワイヤボンデイング箇所が切れる等の事故が発生し、製
品歩留りが非常に悪化するという問題があった。However, in the multi-pin type integrated circuit element, since the width of each inner lead portion 7 itself is small, the inner lead portion 7 on the dust 14 is easily bent vertically or horizontally, and the inner lead portion 7 is Since the adjacent pitches of are also narrow, the bent inner lead portions 7 may come into contact with the adjacent inner lead portions, or the wire bonding portion with the semiconductor chip 5 may be cut off, resulting in an extremely high product yield. There was a problem of getting worse.
本発明はこの問題を解決することを目的とするもので
ある。The present invention aims to solve this problem.
そのため、本発明の電子部品におけるモールド部の製
造方法は、多数本のインナーリード部を有し、且つ各イ
ンナーリード部の基部がダムバーに連接されてなる電子
部品用のリードフレームを上下一対のモールド金型に挟
んで合成樹脂モールド成形するに際して、前記上下一対
のモールド金型に、電子部品の本体部を覆うモールド部
のキャビティから前記ダムバーに連接する各インナーリ
ード部の基部にわたってその上下両面に沿う適宜隙間の
凹所を形成し、且つ上下一対のモールド金型の合わせ接
当部にて、前記ダムバーの上下面を挟持させ、前記キャ
ビティ内に合成樹脂を注入し、前記電子部品の本体部を
覆うモールド部から前記ダムバーに連接する各インナー
リード部の基部にわたってその上下両面に沿って前記凹
所に合成樹脂製の薄膜を一体的に突出させ、その後該薄
膜を取り除くようにしたものである。Therefore, a method of manufacturing a mold part in an electronic component of the present invention includes a plurality of inner lead parts, and a lead frame for an electronic component having a base of each inner lead part connected to a dam bar is molded in a pair of upper and lower molds. When sandwiched between molds and molded by synthetic resin, the pair of upper and lower molds are extended along the upper and lower surfaces of the inner lead part connected to the dam bar from the cavity of the mold part that covers the main body of the electronic component. Form a recess with an appropriate gap, sandwich the upper and lower surfaces of the dam bar at the mating abutting parts of a pair of upper and lower molds, inject synthetic resin into the cavity, and secure the main body of the electronic component. A thin synthetic resin resin is placed in the recess along the upper and lower surfaces of the inner lead portion that is connected to the dam bar from the covering mold portion. Integrally to protrude, in which so as to then remove the thin film.
このように本発明では、多数本のインナーリード部を
有する電子部品のリードフレームを上下一対のモールド
金型に挟んで合成樹脂モールド成形するに際して、上下
一対のモールド金型に、電子部品の本体部を覆うモール
ド部のキャビティから前記ダムバーに連接する各インナ
ーリード部の基部にわたってその上下両面に沿う適宜隙
間の凹所を形成し、且つ上下一対のモールド金型の合わ
せ接当部にて、前記ダムバーの上下面を挟持させたの
で、上下対のモールド金型がリードフレームを挟み付け
るときには、当該両モールド金型が各インナーリード部
の全長にわたって、当該インナーリード部の上下両面と
直接接触することがない。As described above, in the present invention, when the lead frame of an electronic component having a large number of inner lead portions is sandwiched between a pair of upper and lower molding dies and synthetic resin molding is performed, the pair of upper and lower molding dies is provided with a main body of the electronic component. A cavity with an appropriate gap is formed along the upper and lower surfaces of the inner lead part that is connected to the dam bar from the cavity of the mold part that covers the dam bar, and the dam bar is formed at the mating contact part of a pair of upper and lower mold dies. Since the upper and lower surfaces are clamped, when the pair of upper and lower molding dies clamps the lead frame, both molding dies may directly contact the upper and lower surfaces of the inner lead portion over the entire length of each inner lead portion. Absent.
即ち、モールド成形作業時に、各インナーリード部の
上下面に相当するモールド金型の凹所内にゴミが付着し
ていても、そのゴミのために各インナーリード部を湾曲
させる等の事故が生じない。That is, even when dust adheres to the recesses of the molding die corresponding to the upper and lower surfaces of each inner lead portion during the molding operation, an accident such as bending each inner lead portion due to the dust does not occur. .
従って、本発明によれば、合成樹脂モールド成形作業
時に両モールド金型の清掃が不完全であっても、両モー
ルド金型間のキャビティ内においてインナーリード部の
先端側が上下または左右に曲がることによる電気的短絡
やワイヤボンデイング箇所のワイヤ切断事故を起こすこ
とが無くなるという効果を奏するのである。Therefore, according to the present invention, even if the cleaning of both molds is incomplete during the synthetic resin molding operation, the tip side of the inner lead portion bends vertically or horizontally in the cavity between the molds. This has the effect of eliminating electrical shorts and wire disconnection accidents at wire bonding locations.
また、前記モールド成形後にモールド部の側面から突
出する各インナーリード部の上下両面に付着した合成樹
脂の薄膜は通常のモールド成形時に生ずるバリと同様の
ものであるから、その取り除き作業を実行すれば、外観
の美麗な製品が出来るのである。Further, since the thin films of synthetic resin adhered to the upper and lower surfaces of each inner lead portion protruding from the side surface of the mold portion after the molding are similar to burrs generated during normal molding, it is necessary to perform the removal work. , A product with a beautiful appearance can be made.
それゆえ、合成樹脂モールド成形作業による電子部品
の不良発生を無くして電子部品の品質向上及び製造コス
トの低減に寄与できるという顕著な効果を有する。Therefore, there is a remarkable effect that it is possible to contribute to the improvement of the quality of the electronic component and the reduction of the manufacturing cost by eliminating the occurrence of the defect of the electronic component due to the synthetic resin molding work.
次に実施例を図面に従って説明すると、第1図に示す
リードフレーム1は従来のものと同様であって、符号3
は連結バー、4はダムバー、5は半導体チップ、6は半
導体チップ5をダイボンデイングして搭載するアイラン
ド、7はアイランド6の側面にむかって近付くように放
射状に配設されたインナーリード部、8は半導体チップ
5とインナーリード部7の先端部とをワイヤボンデイン
グするための金線等のワイヤである。Next, an embodiment will be described with reference to the drawings. The lead frame 1 shown in FIG.
Is a connecting bar, 4 is a dam bar, 5 is a semiconductor chip, 6 is an island on which the semiconductor chip 5 is mounted by die bonding, 7 is an inner lead portion radially arranged so as to approach the side surface of the island 6, and 8 Is a wire such as a gold wire for wire-bonding the semiconductor chip 5 and the tip of the inner lead portion 7.
本発明に使用するモールド金型20,21の第1実施例は
第2図及び第3図に示すごとくで、モールド金型20,21
は、前記半導体チップ5,アイランド6,ワイヤ8及びイン
ナーリード部7を覆うキャビテイ22と、ダムバー4,4の
上下両面を挟む合わせ接当部23,23を有すると共に、総
てのインナーリード部7の前記ダムバー4に対する連接
部に近い基部の上下両面に対して上下方向に微小の寸法
(h1)の隙間が形成できる凹所24を前記キャビテイ22に
連通させ、その凹所24の先端を合わせ接当部23にまで沿
設する。The first embodiment of the molding dies 20, 21 used in the present invention is as shown in FIG. 2 and FIG.
Has a cavity 22 that covers the semiconductor chip 5, the islands 6, the wires 8 and the inner lead portions 7, and mating contact portions 23, 23 that sandwich the upper and lower surfaces of the dam bars 4, 4 and all the inner lead portions 7 A recess 24 capable of forming a minute gap (h1) in the vertical direction is communicated with the cavity 22 on both the upper and lower surfaces of the base portion close to the connection portion with respect to the dam bar 4, and the tip of the recess 24 is aligned and contacted. It will be installed alongside our department 23.
従ってこの凹所24の上下寸法はインナーリード部7の
厚さ寸法(t)に隙間寸法(h1)の二倍を加えたもので
あり、また、隙間寸法(h1)はキャビテイ22内の空気を
外部に抜くための隙間(図示せず)と略同様の上下寸法
であり、一般に付着するゴミの厚さより大きいものとす
る。Therefore, the vertical dimension of the recess 24 is equal to the thickness dimension (t) of the inner lead portion 7 plus twice the clearance dimension (h1), and the clearance dimension (h1) is equal to the air inside the cavity 22. The vertical dimension is approximately the same as a clearance (not shown) for pulling out to the outside, and is generally larger than the thickness of dust that adheres.
さらに、第2図の実施例における凹所24は、相隣接す
るインナーリード部7,7間のピッチ隙間25の部分にも連
通する広幅ひれ状である。Further, the recess 24 in the embodiment of FIG. 2 has a wide fin shape which also communicates with a portion of the pitch gap 25 between the inner lead portions 7, 7 adjacent to each other.
この実施例におけるモールド金型20,21のキャビテイ2
2内に前記リードフレーム1におけるアイランド6など
の部分を挿入し、そのダムバー4部分や連結バー3部分
等にて上下両モールド金型20,21を挟むと、総てのイン
ナーリード部7における上下両面には、前記凹所24との
間に上下寸法(h1)の隙間が形成できると共に、相隣接
するインナーリード部7,7間にピッチ隙間25とも連通す
る。Cavity 2 of mold dies 20, 21 in this embodiment
Inserting parts such as the island 6 in the lead frame 1 into 2 and sandwiching the upper and lower mold dies 20 and 21 between the dam bar 4 part and the connecting bar 3 part, the upper and lower parts of all inner lead parts 7 A gap having a vertical dimension (h1) can be formed on both sides with the recess 24, and a pitch gap 25 is also communicated between the inner lead portions 7, 7 adjacent to each other.
つぎに、ゲート(図示せず)から例えば液状の熱硬化
性のエポキシ合成樹脂を注入すると、当該合成樹脂はキ
ャビテイ22内を充満すると共に各インナーリード部7の
周面を覆うように凹所24に流入し、モールド金型20,21
を適宜時間加熱した後モールド金型20,21を外すことに
より、第4図に示すようにキャビテイ22の形状通りにモ
ールド部27が形成できると共に、インナーリード部7の
上下両面では厚さ寸法(h1)と極めて薄く、前記第2図
に示す実施例におけるピッチ隙間25の箇所では、(t+
2h1)の厚さであるように総てのインナーリード部7を
覆うひれ状の薄膜28が前記モールド部27の側面から一体
的に突出成形されることになる。Next, when a liquid thermosetting epoxy synthetic resin, for example, is injected from a gate (not shown), the synthetic resin fills the inside of the cavity 22 and the recess 24 is formed so as to cover the peripheral surface of each inner lead portion 7. Flow into the mold die 20,21
By heating the mold for an appropriate time and then removing the molding dies 20 and 21, the mold part 27 can be formed according to the shape of the cavity 22, as shown in FIG. It is extremely thin as h1), and at the pitch gap 25 in the embodiment shown in FIG.
The fin-like thin film 28 that covers all the inner lead portions 7 to have a thickness of 2h1) is integrally formed by projecting from the side surface of the mold portion 27.
次いで、前記薄膜28を適宜の工具や薬品で取り除いた
後、連結バー3,3およびダムバー4,4を切り取ると、第6
図に示すごとくモールド部27の側面からインナーリード
部7が突出した電子部品が製造されたことになる。Next, after removing the thin film 28 with an appropriate tool or chemical, the connecting bars 3 and 3 and the dam bars 4 and 4 are cut off, and the sixth
As shown in the figure, an electronic component in which the inner lead portion 7 projects from the side surface of the mold portion 27 is manufactured.
前記薄膜28は合成樹脂モールドにおけるバリと同様の
ものであるから、インナーリード部7から容易に剥離ま
たは取り除くことができる。Since the thin film 28 is similar to the burr in the synthetic resin mold, it can be easily peeled or removed from the inner lead portion 7.
第2図におけるIII−III線と同じ箇所の断面で示す第
5図は、モールド部27の側面から突出する薄膜28が各イ
ンナーリード部7の上下両面箇所のみに形成できるよう
にする実施例で、そのときのモールド金型20,21におけ
る凹所29は各インナーリード部7,7の間のピッチ隙間25
が無くなるような突条合わせ部30を有するものである。FIG. 5, which is a cross-section taken along the same line as the line III-III in FIG. 2, shows an embodiment in which the thin film 28 projecting from the side surface of the mold portion 27 can be formed only on the upper and lower surfaces of each inner lead portion 7. At that time, the recess 29 in the molding die 20, 21 is the pitch gap 25 between the inner lead portions 7, 7.
It has a ridge-matching portion 30 that eliminates the problem.
この実施例においては、モールド成形後の相隣接した
インナーリード部7,7間のピッチ隙間25に相当する箇所
には合成樹脂が突出しておらず、各インナーリード部の
上下両面に沿って薄膜28が付着しているので、その除去
作業は一段と容易となる。In this embodiment, the synthetic resin does not protrude in a portion corresponding to the pitch gap 25 between the adjacent inner lead portions 7 and 7 after molding, and the thin film 28 is formed along the upper and lower surfaces of each inner lead portion. Since it has adhered, the removal work becomes easier.
このように、多数本のインナーリード部を有する電子
部品のリードフレームを上下一対のモールド金型に挟ん
で合成樹脂モールド成形するに際して、前記電子部品の
本体部を覆うモールド部から各インナーリード部の上下
両面に沿って合成樹脂製の薄膜を一体的に突出させるの
であるから、モールド部を形成するためのモールド金型
がリードフレームを挟み付けるときにも、当該両モール
ド金型が各インナーリード部の上下両面と直接接触する
ことがない。In this way, when the lead frame of an electronic component having a large number of inner lead portions is sandwiched between a pair of upper and lower molding dies and synthetic resin molding is performed, the inner lead portion of each inner lead portion is removed from the mold portion that covers the main body portion of the electronic component. Since the thin film made of synthetic resin is integrally projected along both the upper and lower surfaces, even when the mold die for forming the mold portion sandwiches the lead frame, the both die molds are used for the inner lead portions. There is no direct contact with the upper and lower surfaces of.
従って、各インナーリード部の上下面に相当するモー
ルド金型の合わせ面箇所にゴミが付着していても、その
ゴミのために各インナーリード部を湾曲させる等の事故
が生じず、両モールド金型間のキャビテイ内においてイ
ンナーリード部の先端側が上下または左右に曲がること
による電気的短絡やワイヤボンデイング箇所のワイヤ切
断事故を起こすことが無くなる。それゆえ、合成樹脂モ
ールド成形作業による電子部品の不良発生を無くして電
子部品の品質向上及び製造コストの低減に寄与できると
いう顕著な効果を有する。Therefore, even if dust adheres to the mating surface portions of the molding die corresponding to the upper and lower surfaces of each inner lead portion, the dust does not cause an accident such as bending each inner lead portion. In the cavity between the molds, there is no possibility of causing an electric short circuit due to the tip side of the inner lead portion bending up or down or left and right, and a wire cutting accident at the wire bonding portion. Therefore, there is a remarkable effect that it is possible to contribute to the improvement of the quality of the electronic component and the reduction of the manufacturing cost by eliminating the occurrence of the defect of the electronic component due to the synthetic resin molding work.
本発明は、合成樹脂のモールド部の一側から多数のイ
ンナーリード部が突出するSIPタイプや、モールド部の
両側からインナーリード部が突出するDIPタイプ、モー
ルド部の4側からインナーリード部が突出するタイプに
も適用できるし、合成樹脂モールド成形に際してモール
ド金型内に溶融状の熱可塑性合成樹脂を圧入するインジ
ェクションの場合にも適用できることは云うまでもな
い。The present invention includes a SIP type in which a large number of inner lead parts project from one side of a synthetic resin mold, a DIP type in which inner lead parts project from both sides of the mold part, and an inner lead part protruding from four sides of the mold part. It is needless to say that the present invention can also be applied to the injection type in which a molten thermoplastic synthetic resin is press-fitted into a mold during synthetic resin molding.
第1図から第6図は本発明の実施例を示し、第1図はリ
ードフレームの平面図、第2図は上下両モールド金型に
てリードフレームを挟んだ状態の断面図、第3図は第2
図のIII−III視要部拡大断面図、第4図は上下両モール
ド金型を外した状態の斜視図、第5図は第3図と同じ断
面箇所にて示す第2実施例の要部拡大断面図、第6図は
電子部品の斜視図、第7図は従来のモールド金型による
合成樹脂モールド製造方法時の説明用断面図である。 1……リードフレーム、3……連結バー、4……ダムバ
ー、5……半導体チップ、6……アイランド、7……イ
ンナーリード部、8……ワイヤ、10,11,20,21……上下
両モールド金型、12,22……キャビティ、14……ゴミ、2
3……合わせ接当部、24,29……凹所、25……ピッチ隙
間、27……モールド部、28……薄膜、30……突条突合せ
部。1 to 6 show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a plan view of a lead frame, FIG. 2 is a sectional view showing a state in which the lead frame is sandwiched between upper and lower molds, and FIG. Is the second
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 4, FIG. 4 is a perspective view with both upper and lower molds removed, and FIG. 5 is a main part of the second embodiment shown in the same cross-section as FIG. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view, FIG. 6 is a perspective view of an electronic component, and FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining a synthetic resin mold manufacturing method using a conventional molding die. 1 ... Lead frame, 3 ... Connection bar, 4 ... Dam bar, 5 ... Semiconductor chip, 6 ... Island, 7 ... Inner lead part, 8 ... Wire, 10, 11, 20, 21 ... Up and down Both molds, 12,22 …… cavity, 14 …… dust, 2
3 …… Mating contact part, 24,29 …… Recesses, 25 …… Pitch gap, 27 …… Mold part, 28 …… Thin film, 30 …… Bridge butting part.
Claims (1)
インナーリード部の基部がダムバーに連接されてなる電
子部品用のリードフレームを上下一対のモールド金型に
挟んで合成樹脂モールド成形するに際して、前記上下一
対のモールド金型に、電子部品の本体部を覆うモールド
部のキャビティから前記ダムバーに連接する各インナー
リード部の基部にわたってその上下両面に沿う適宜隙間
の凹所を形成し、且つ上下一対のモールド金型の合わせ
接当部にて、前記ダムバーの上下面を挟持させ、前記キ
ャビティ内に合成樹脂を注入し、前記電子部品の本体部
を覆うモールド部から前記ダムバーに連接する各インナ
ーリード部の基部にわたってその上下両面に沿って前記
凹所に合成樹脂製の薄膜を一体的に突出させ、その後該
薄膜を取り除くことを特徴とする電子部品におけるモー
ルド部の製造方法。1. A synthetic resin mold is formed by sandwiching a lead frame for an electronic component, which has a large number of inner lead parts and whose base parts are connected to a dam bar, between a pair of upper and lower mold dies. At this time, in the pair of upper and lower molding dies, a recess having an appropriate gap is formed along the upper and lower surfaces of the inner lead portion that is connected to the dam bar from the cavity of the mold portion that covers the main body of the electronic component, and The mating contact parts of a pair of upper and lower mold dies hold the upper and lower surfaces of the dam bar, inject synthetic resin into the cavity, and connect the dam bar from the mold part covering the main body of the electronic component. A synthetic resin thin film may be integrally projected in the recess along the upper and lower surfaces of the inner lead portion, and then the thin film may be removed. Method for producing a molded part in the electronic component according to claim.
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-
1987
- 1987-09-16 JP JP62231518A patent/JP2535358B2/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPS6473731A (en) | 1989-03-20 |
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