JP2529811B2 - 小径穴加工装置及びそれを使用する小径穴加工方法 - Google Patents
小径穴加工装置及びそれを使用する小径穴加工方法Info
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- JP2529811B2 JP2529811B2 JP5186364A JP18636493A JP2529811B2 JP 2529811 B2 JP2529811 B2 JP 2529811B2 JP 5186364 A JP5186364 A JP 5186364A JP 18636493 A JP18636493 A JP 18636493A JP 2529811 B2 JP2529811 B2 JP 2529811B2
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- small
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- electrodes
- small diameter
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- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板の小径穴加工の切
粉詰まり処理並びに内壁荒れの除去を高速で確実に行う
装置及びそれを使用する小径穴加工方法に関する。
粉詰まり処理並びに内壁荒れの除去を高速で確実に行う
装置及びそれを使用する小径穴加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子機器の基板材料である両面銅
貼りのガラス繊維入りエポキシ樹脂基板の穴明け加工
は、０．３ｍｍ以上の穴を加工することが多く、発生す
る切粉は超音波洗滌などの方法で除去することが普通で
あった。しかし、最近では配線も微細パターン化して、
高密度、多層化となってきており、スルーホール径も
０．２５ｍｍから０．１ｍｍ程度と細径の穴径となり、
ドリル刃の摩耗、折損などの問題もあって、切粉詰まり
や内壁荒れ、バリ発生が多く、超音波洗滌方法では切粉
排除、内壁荒れやバリ除去は不可能になってきている。
貼りのガラス繊維入りエポキシ樹脂基板の穴明け加工
は、０．３ｍｍ以上の穴を加工することが多く、発生す
る切粉は超音波洗滌などの方法で除去することが普通で
あった。しかし、最近では配線も微細パターン化して、
高密度、多層化となってきており、スルーホール径も
０．２５ｍｍから０．１ｍｍ程度と細径の穴径となり、
ドリル刃の摩耗、折損などの問題もあって、切粉詰まり
や内壁荒れ、バリ発生が多く、超音波洗滌方法では切粉
排除、内壁荒れやバリ除去は不可能になってきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明はこう
した問題点に対処するため小径穴内の切粉処理、内壁面
の平滑性、バリの除去などを短時間でより一層確実に達
成できる装置及び方法を提供せんとするものである。
した問題点に対処するため小径穴内の切粉処理、内壁面
の平滑性、バリの除去などを短時間でより一層確実に達
成できる装置及び方法を提供せんとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意検討し
た結果、材料の小径穴を介して対向させた電極間でプラ
ズマ放電させ、その際に発生する衝撃波、熱エネルギー
により小径穴を処理する装置において、放電点を移動さ
せる手段を配設することが有効であることを知見し、本
発明に至った。すなわち、本発明は小径穴を有する被加
工材料の搬送装置、該材料の小径穴をプラズマ放電加工
するための前記搬送装置をはさんで両側に配置された電
極、及び該電極間の放電点を移動させて実質的に被加工
材料の小径穴の全域にて放電させるための放電点制御手
段を備えてなる小径穴を有する被加工材料の小径穴加工
装置である。
た結果、材料の小径穴を介して対向させた電極間でプラ
ズマ放電させ、その際に発生する衝撃波、熱エネルギー
により小径穴を処理する装置において、放電点を移動さ
せる手段を配設することが有効であることを知見し、本
発明に至った。すなわち、本発明は小径穴を有する被加
工材料の搬送装置、該材料の小径穴をプラズマ放電加工
するための前記搬送装置をはさんで両側に配置された電
極、及び該電極間の放電点を移動させて実質的に被加工
材料の小径穴の全域にて放電させるための放電点制御手
段を備えてなる小径穴を有する被加工材料の小径穴加工
装置である。
【０００５】本発明は、又、上記小径穴加工装置を使用
する小径穴加工方法である。図１は本発明の小径穴加工
装置の概略図で、図１左側が平面図、右側が側面図であ
る。図１中、１は被加工材料、２，３はコンベアをはさ
んで対向して配置した電極、４は放電点制御手段、５は
小径穴放電処理装置、６はローラーコンベア、７は押え
ローラー、８は電圧分配装置、９は高電圧変圧器、１０
は入力電圧を示す。
する小径穴加工方法である。図１は本発明の小径穴加工
装置の概略図で、図１左側が平面図、右側が側面図であ
る。図１中、１は被加工材料、２，３はコンベアをはさ
んで対向して配置した電極、４は放電点制御手段、５は
小径穴放電処理装置、６はローラーコンベア、７は押え
ローラー、８は電圧分配装置、９は高電圧変圧器、１０
は入力電圧を示す。
【０００６】ローラーコンベア６により被加工材料１が
小径穴放電処理装置５内に搬入される。前記放電処理装
置内で被加工材料１の小径穴がコンベアをはさんで対向
して配置された電極２，３の間に位置したとき、電極間
でプラズマ放電が発生する。小径穴はその際の衝撃波エ
ネルギー等により処理されるのだが、このとき一つの問
題がある。それは電極間の放電は必ずしも対向した電極
の全域で生じるのではなく、図２（ａ）で模式的に説明
するように放電は電極端部で生じやすいという問題であ
る。これは、電極に電圧が印加されたとき、電極端部の
電界強度が中央部よりも大きくなることによるものであ
る。図２（ｂ）はこうしたことを説明する模式図で陽極
の電界強度が端部で大きく中央部で小さくなることを示
している。
小径穴放電処理装置５内に搬入される。前記放電処理装
置内で被加工材料１の小径穴がコンベアをはさんで対向
して配置された電極２，３の間に位置したとき、電極間
でプラズマ放電が発生する。小径穴はその際の衝撃波エ
ネルギー等により処理されるのだが、このとき一つの問
題がある。それは電極間の放電は必ずしも対向した電極
の全域で生じるのではなく、図２（ａ）で模式的に説明
するように放電は電極端部で生じやすいという問題であ
る。これは、電極に電圧が印加されたとき、電極端部の
電界強度が中央部よりも大きくなることによるものであ
る。図２（ｂ）はこうしたことを説明する模式図で陽極
の電界強度が端部で大きく中央部で小さくなることを示
している。
【０００７】したがって、電極とその電極間を通過する
被加工材料の小径穴との位置関係によっては、放電エネ
ルギー処理が行われない穴が残存してしまうこととな
る。本発明は、対向電極間の放電点の偏りを、放電点制
御手段を配設することにより防止して、電極の中央寄り
においても放電が起こるように放電点を移動して被加工
材料の小径穴をもれなく、放電エネルギー処理できるよ
うに改善したものである。なお、放電処理装置内の対向
電極は複数設置されるのが好ましい。放電処理後、被加
工材料はコンベアにより外部へ搬出される。
被加工材料の小径穴との位置関係によっては、放電エネ
ルギー処理が行われない穴が残存してしまうこととな
る。本発明は、対向電極間の放電点の偏りを、放電点制
御手段を配設することにより防止して、電極の中央寄り
においても放電が起こるように放電点を移動して被加工
材料の小径穴をもれなく、放電エネルギー処理できるよ
うに改善したものである。なお、放電処理装置内の対向
電極は複数設置されるのが好ましい。放電処理後、被加
工材料はコンベアにより外部へ搬出される。
【０００８】本発明の上記放電点制御手段としては、図
３に示すような適宜数の穴１１を配設した絶縁板１０が
ある。これは、例えば塩化ビニル樹脂などのプラスチッ
ク、ゴムあるいはセラミック製の板でよい。このような
絶縁板を図４に示すように電極の間で被加工材料の進行
方向に対して実質的に直交する方向に進退させることに
より、放電点は電極端点だけでなく中央部寄りに移動す
ることができ、放電の偏りを防ぐことができる。
３に示すような適宜数の穴１１を配設した絶縁板１０が
ある。これは、例えば塩化ビニル樹脂などのプラスチッ
ク、ゴムあるいはセラミック製の板でよい。このような
絶縁板を図４に示すように電極の間で被加工材料の進行
方向に対して実質的に直交する方向に進退させることに
より、放電点は電極端点だけでなく中央部寄りに移動す
ることができ、放電の偏りを防ぐことができる。
【０００９】また、上記図５に示すような両端の電極間
距離に差を設けて、刃を対向させたノコギリ刃形の電極
においては、端部に１，２個の穴を設けた絶縁板を使用
して電極間のせまい端部に生じる放電を内部方向に移動
させることができる。また、このような電極においては
一方の電極に振動装置を設けてこれを振動させることに
より放電を断続させることもできる。さらに、本発明に
使用する放電点制御手段としては、図６に示すように一
方の電極を被加工材料の進行方向に対して実質上直交す
る方向に一方向に又は往復走行させる移動装置があり、
本発明において好ましい態様である。また、この移動電
極は被加工材料の進行方向に沿って複数設置することも
できる。そして、移動電極及び／又は被加工材料は、そ
れぞれ間欠的、あるいは連続的に移動することができ
る。また、この速度は数値制御することが特に好まし
い。
距離に差を設けて、刃を対向させたノコギリ刃形の電極
においては、端部に１，２個の穴を設けた絶縁板を使用
して電極間のせまい端部に生じる放電を内部方向に移動
させることができる。また、このような電極においては
一方の電極に振動装置を設けてこれを振動させることに
より放電を断続させることもできる。さらに、本発明に
使用する放電点制御手段としては、図６に示すように一
方の電極を被加工材料の進行方向に対して実質上直交す
る方向に一方向に又は往復走行させる移動装置があり、
本発明において好ましい態様である。また、この移動電
極は被加工材料の進行方向に沿って複数設置することも
できる。そして、移動電極及び／又は被加工材料は、そ
れぞれ間欠的、あるいは連続的に移動することができ
る。また、この速度は数値制御することが特に好まし
い。
【００１０】電極は上記のように搬送装置上の被加工材
料をはさんで対向して配設され、それら電極の間で被加
工材料の小径穴を介してプラズマ放電が生じ、その際の
衝撃波、熱エネルギーにより穴内の切粉の排出、内壁の
平滑化、バリの除去などの効果を生ぜしめるのである
が、本発明においてはこの放電を前記放電点制御手段に
より制御して放電点の偏りをなくし、小径穴の処理を一
層確実にするものである。本発明に使用する電極は、少
なくとも一方は電界強度が大きくなるような突起部を有
する形状を有するものが好ましく、また回転式としたも
のも好ましい。回転電極について本発明者によりすでに
提案されたものが使用できる（特願平５−１３５６４３
号）また、本発明において使用する電極は、絶縁材によ
って２以上に分割し、各分割電極への放電電圧を分配装
置を介して供給することができる。この場合には、放電
の発生を同時に複数の箇所で確実に生起することができ
る。衝撃波などの放電の際に発生するエネルギーは、放
電開始後は次第に弱まる。そこで、電極を分割すること
により強力な放電エネルギーを同時に複数の位置にて発
生することができる。同様に電極が分割されていない場
合でも放電は連続的に生起するよりも断続的に起る方が
効果的である。連続放電の場合にはそのエネルギーは次
第に低下して行くからである。
料をはさんで対向して配設され、それら電極の間で被加
工材料の小径穴を介してプラズマ放電が生じ、その際の
衝撃波、熱エネルギーにより穴内の切粉の排出、内壁の
平滑化、バリの除去などの効果を生ぜしめるのである
が、本発明においてはこの放電を前記放電点制御手段に
より制御して放電点の偏りをなくし、小径穴の処理を一
層確実にするものである。本発明に使用する電極は、少
なくとも一方は電界強度が大きくなるような突起部を有
する形状を有するものが好ましく、また回転式としたも
のも好ましい。回転電極について本発明者によりすでに
提案されたものが使用できる（特願平５−１３５６４３
号）また、本発明において使用する電極は、絶縁材によ
って２以上に分割し、各分割電極への放電電圧を分配装
置を介して供給することができる。この場合には、放電
の発生を同時に複数の箇所で確実に生起することができ
る。衝撃波などの放電の際に発生するエネルギーは、放
電開始後は次第に弱まる。そこで、電極を分割すること
により強力な放電エネルギーを同時に複数の位置にて発
生することができる。同様に電極が分割されていない場
合でも放電は連続的に生起するよりも断続的に起る方が
効果的である。連続放電の場合にはそのエネルギーは次
第に低下して行くからである。
【００１１】本発明に使用する電極には、導電性金属、
カーボン、あるいは導電性有機物など従来公知の材質が
使用できる。また、電極の先端部を白金やサーメット、
タングステンカーバイド、チタンカーバイドなどの金属
炭化物でコーティングしたものも好適に使用することが
できる。本発明に使用する処理雰囲気は、空気、非酸化
性ガス、反応ガス、蒸気のいずれかである。例えば、被
加工材料としてアルミナ基板やシリコン基板のように耐
熱、耐食性の良い材料を用いた基板の場合は、例えば一
般にセラミックスエッチング用として使われるフッ化水
素系ガス以外にも水酸化ナトリウムや水酸化カリウム水
を５０〜６０℃に温め、アルカリ蒸気とすることもでき
る。その雰囲気７６０Ｔｏｒｒ中で基板穴に対してプラ
ズマ放電処理を行うと、従来のフッ素酸エッチングより
も３〜４倍も効率良く、細穴壁面のみのエッチングがで
きることがわかった。燃えやすい紙製品の如き基板につ
いては、Ａｒ、Ｎ2ガス雰囲気でプラズマ放電処理すれ
ば良いこともわかった。
カーボン、あるいは導電性有機物など従来公知の材質が
使用できる。また、電極の先端部を白金やサーメット、
タングステンカーバイド、チタンカーバイドなどの金属
炭化物でコーティングしたものも好適に使用することが
できる。本発明に使用する処理雰囲気は、空気、非酸化
性ガス、反応ガス、蒸気のいずれかである。例えば、被
加工材料としてアルミナ基板やシリコン基板のように耐
熱、耐食性の良い材料を用いた基板の場合は、例えば一
般にセラミックスエッチング用として使われるフッ化水
素系ガス以外にも水酸化ナトリウムや水酸化カリウム水
を５０〜６０℃に温め、アルカリ蒸気とすることもでき
る。その雰囲気７６０Ｔｏｒｒ中で基板穴に対してプラ
ズマ放電処理を行うと、従来のフッ素酸エッチングより
も３〜４倍も効率良く、細穴壁面のみのエッチングがで
きることがわかった。燃えやすい紙製品の如き基板につ
いては、Ａｒ、Ｎ2ガス雰囲気でプラズマ放電処理すれ
ば良いこともわかった。
【００１２】この他、処理雰囲気は、空気、例えばＡ
ｒ、Ｈｅ、Ｎ2などの非酸化性ガス、例えばＣＨ4、ＣＣ
ｌ4、Ｃ2Ｈ2などの反応性ガス、例えばＮａＯＨ水蒸気
などの蒸気を適宜選択して適用する。
ｒ、Ｈｅ、Ｎ2などの非酸化性ガス、例えばＣＨ4、ＣＣ
ｌ4、Ｃ2Ｈ2などの反応性ガス、例えばＮａＯＨ水蒸気
などの蒸気を適宜選択して適用する。
【００１３】本発明において気圧の制御は重要で１０Ｔ
ｏｒｒ未満では、基板材料の小径穴以外にも沿面放電が
生じ、グロー放電となり、目的とする穴のプラズマ放電
処理効率が悪くなるばかりでなく、プラズマ放電処理の
不必要な箇所まで処理することになってくる。又、２×
１０3Ｔｏｒｒを超えるとプラズマ放電処理装置の高圧
化に問題が生じると共に放電も生じ難くなる。電極条件
も重要で、まず２極間の間隔は０．０１〜５０ｍｍの範
囲がよい。０．０１ｍｍ未満では現在最も薄い基板とし
て超ＬＳＩ基板の厚さが０．００５ｍｍ位であるので、
電極間隔は０．０１が限度であり、また電極間隔が５０
ｍｍを超えると電極間のピーク電圧は５００００Ｖ以上
必要となり基板材料の小径穴が１０ｍｍ間隔の場合、放
電が電極に近い小径穴のみならず、遠い小径穴に分散す
るため、プラズマ放電処理効果が半減する。電圧変動率
が±２％であるから、４９０００Ｖが限界である。むし
ろ現状では小径穴の間隔は１０ｍｍ以下であるから最大
ピーク電圧から電極間隔が決まり、５０ｍｍが最大間隔
である。電圧波形のτONは５μｓ未満では放電が生じ難
くなる。又、２０ｓを超えるといかなる基板材料も部分
的に焼け焦げ現象を生じ、目的が達成されない。ピーク
電圧が１０Ｖ未満ではプラズマ放電が発生し難く、生じ
たとしても単発的放電となり極めて不安定で処理効率は
低い。５００００Ｖを超えると多数の小径穴に分散し効
率が低下するのみならず装置の安全性にも問題を生じて
くる。本発明は小径穴を有する材料に対して適用が可能
であるが、とくに各種の基板材料に好適である。
ｏｒｒ未満では、基板材料の小径穴以外にも沿面放電が
生じ、グロー放電となり、目的とする穴のプラズマ放電
処理効率が悪くなるばかりでなく、プラズマ放電処理の
不必要な箇所まで処理することになってくる。又、２×
１０3Ｔｏｒｒを超えるとプラズマ放電処理装置の高圧
化に問題が生じると共に放電も生じ難くなる。電極条件
も重要で、まず２極間の間隔は０．０１〜５０ｍｍの範
囲がよい。０．０１ｍｍ未満では現在最も薄い基板とし
て超ＬＳＩ基板の厚さが０．００５ｍｍ位であるので、
電極間隔は０．０１が限度であり、また電極間隔が５０
ｍｍを超えると電極間のピーク電圧は５００００Ｖ以上
必要となり基板材料の小径穴が１０ｍｍ間隔の場合、放
電が電極に近い小径穴のみならず、遠い小径穴に分散す
るため、プラズマ放電処理効果が半減する。電圧変動率
が±２％であるから、４９０００Ｖが限界である。むし
ろ現状では小径穴の間隔は１０ｍｍ以下であるから最大
ピーク電圧から電極間隔が決まり、５０ｍｍが最大間隔
である。電圧波形のτONは５μｓ未満では放電が生じ難
くなる。又、２０ｓを超えるといかなる基板材料も部分
的に焼け焦げ現象を生じ、目的が達成されない。ピーク
電圧が１０Ｖ未満ではプラズマ放電が発生し難く、生じ
たとしても単発的放電となり極めて不安定で処理効率は
低い。５００００Ｖを超えると多数の小径穴に分散し効
率が低下するのみならず装置の安全性にも問題を生じて
くる。本発明は小径穴を有する材料に対して適用が可能
であるが、とくに各種の基板材料に好適である。
【００１４】
【実施例】電極に陰極板と針状陽電極を用い、針状電極
を図６に示す移動装置にその奥行き方向に１ｍｍ間隔で
１０個取付け、この移動電極を小径穴を有する基板が１
０ｍｍ進行する毎に１回横切るように制御して往復動さ
せながら放電処理した。使用した基板は、厚さ１．６ｍ
ｍ、縦３３ｃｍ、横４０ｃｍの銅貼りガラス繊維入り樹
脂基板で、各一枚毎に直径０．２ｍｍの穴をそれぞれＮ
Ｃボール盤で全面に５ｍｍ間隔で穴明け加工した。穴数
は４５００穴となったが、ステップ加工中、４３０穴位
から、切粉詰まりが著しくなり、穴内壁荒れ、バリ発生
も多くなった。
を図６に示す移動装置にその奥行き方向に１ｍｍ間隔で
１０個取付け、この移動電極を小径穴を有する基板が１
０ｍｍ進行する毎に１回横切るように制御して往復動さ
せながら放電処理した。使用した基板は、厚さ１．６ｍ
ｍ、縦３３ｃｍ、横４０ｃｍの銅貼りガラス繊維入り樹
脂基板で、各一枚毎に直径０．２ｍｍの穴をそれぞれＮ
Ｃボール盤で全面に５ｍｍ間隔で穴明け加工した。穴数
は４５００穴となったが、ステップ加工中、４３０穴位
から、切粉詰まりが著しくなり、穴内壁荒れ、バリ発生
も多くなった。
【００１５】かかる基板をローラーコンベアにのせ、毎
秒３ｃｍ／ｓｅｃの移動速度で搬送した。放電処理条件
は雰囲気は大気中、７６０Ｔｏｒｒ、２極間間隔は１０
ｍｍとして、τONを１０ｍｓ、ピーク電圧は１１０００
Ｖにて、プラズマ放電処理を行った。その結果、穴内部
の切粉は殆どなく、穴内壁面もプラズマ放電により突出
したガラス繊維などや樹脂のめくれ、突出しなどは溶融
酸化などで滑らかとなり、バリも殆どない状態となっ
た。
秒３ｃｍ／ｓｅｃの移動速度で搬送した。放電処理条件
は雰囲気は大気中、７６０Ｔｏｒｒ、２極間間隔は１０
ｍｍとして、τONを１０ｍｓ、ピーク電圧は１１０００
Ｖにて、プラズマ放電処理を行った。その結果、穴内部
の切粉は殆どなく、穴内壁面もプラズマ放電により突出
したガラス繊維などや樹脂のめくれ、突出しなどは溶融
酸化などで滑らかとなり、バリも殆どない状態となっ
た。
【００１６】
【発明の効果】本発明方法によれば、放電が電極端部に
偏って生じるのを防ぎ、放電点を電極の全長にわたって
小径穴の位置にてより確実に発生することが可能であ
り、小径穴加工における切粉詰まり、穴内壁面の平滑
化、バリの除去を処理をより高い信頼性の下に行うこと
ができる。
偏って生じるのを防ぎ、放電点を電極の全長にわたって
小径穴の位置にてより確実に発生することが可能であ
り、小径穴加工における切粉詰まり、穴内壁面の平滑
化、バリの除去を処理をより高い信頼性の下に行うこと
ができる。
【図１】本発明の小径穴加工装置の概略図。
【図２】（ａ）は放電に偏りが生じている状態の説明図
で、（ｂ）は（ａ）で示された針状電極の電極端部間の
電界強度を模式的に示す説明図。
で、（ｂ）は（ａ）で示された針状電極の電極端部間の
電界強度を模式的に示す説明図。
【図３】放電点制御板の説明図で（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図。
（ｂ）は側面図。
【図４】放電点制御板による放電点が移動する状態の説
明図。
明図。
【図５】ノコギリ刃形電極における放電点制御板による
放電点が移動する状態の説明図。
放電点が移動する状態の説明図。
【図６】針状電極を移動させて放電点を制御する態様を
示す説明図。
示す説明図。
１ 被加工材料 ２，３ 電極 ４ 放電点制御手段 ５ 放電処理装置 ５ ローラーコンベア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 嶋 好範 神奈川県川崎市麻生区王禅寺768番地15 (72)発明者 大場 章 埼玉県朝霞市浜崎１丁目９番地の３− 205 (56)参考文献 特開 昭51−77997（ＪＰ，Ａ)
Claims (5)
- 【請求項１】 小径穴を有する被加工材料の搬送装置、
該材料の小径穴をプラズマ放電加工するための前記搬送
装置をはさんで両側に配置された電極、及び該電極間の
放電点を移動させて実質的に被加工材料の小径穴の全域
にて放電させるための放電点制御手段を備えてなること
を特徴とする小径穴を有する被加工材料の小径穴加工装
置。 - 【請求項２】 少なくとも一方の電極が絶縁材により分
割されている請求項１記載の小径穴加工装置。 - 【請求項３】 放電点制御手段が被加工材料の移動方向
に実質上直交する方向に進退自在に移動する穴を配設し
た絶縁板である請求項１記載の小径穴加工装置。 - 【請求項４】放電点制御手段が少なくとも一方の電極を
被加工材料の移動方向に実質上直交するように移動させ
る移動装置である請求項１記載の小径穴加工装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の小径穴
加工装置を使用し、電極間に電圧を印加し、気圧１０な
いし２×１０3Ｔｏｒｒ下でプラズマ放電処理して小径
穴を有する被加工材料の小径穴を加工する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5186364A JP2529811B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 小径穴加工装置及びそれを使用する小径穴加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5186364A JP2529811B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 小径穴加工装置及びそれを使用する小径穴加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0740150A JPH0740150A (ja) | 1995-02-10 |
| JP2529811B2 true JP2529811B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=16187090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5186364A Expired - Lifetime JP2529811B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-07-28 | 小径穴加工装置及びそれを使用する小径穴加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2529811B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4152539B2 (ja) | 1998-10-21 | 2008-09-17 | 株式会社オガタ・エスメック | バリ処理装置 |
| DE102010025968B4 (de) * | 2010-07-02 | 2016-06-02 | Schott Ag | Erzeugung von Mikrolöchern |
| DE102010025966B4 (de) | 2010-07-02 | 2012-03-08 | Schott Ag | Interposer und Verfahren zum Herstellen von Löchern in einem Interposer |
| DE102010025969A1 (de) | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Schott Ag | Locherzeugung mit Mehrfach-Elektroden |
| JP2012228728A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Chiba Precision Press Inc | 加工方法および加工装置 |
| JP5733687B2 (ja) * | 2011-09-13 | 2015-06-10 | 株式会社Ihi | プラズマ光源の製造方法 |
| KR102391949B1 (ko) * | 2016-10-05 | 2022-04-28 | 한화에어로스페이스 주식회사 | 홀 가공 방법 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2292560A1 (fr) * | 1974-11-26 | 1976-06-25 | Bakelite Xylonite Ltd | Procede et appareil de perforation par decharge electrique de matieres en forme de nappes |
-
1993
- 1993-07-28 JP JP5186364A patent/JP2529811B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0740150A (ja) | 1995-02-10 |
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