JP2528418C - - Google Patents

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JP2528418C
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【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】 本発明は、IC、抵抗器、コンデンサー等の微小な部品を基板上の所定位置に
正確に装着するための部品装着方法及び装置に関する。 【0002】 【従来の技術】 斯かる部品装着装置としては、部品を吸着してこれを吸着点回りに所定角度だ
け予備回転させた後、同部品を吸着点回りに予備回転とは逆方向に回動させなが
ら該部品の投影幅を検出することによって、部品装着位置補正量を求め、部品を 所定位置に装着するものが知られている。 【0003】 ところで、上記部品の予備回転動作は、部品の最小投影幅を確実に検出するた
めになされる動作である。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】 而して、上記予備回転動作を光学的検出手段の検出エリア内で行なうと、その
動作時間が無駄時間となって部品装着効率が悪くなる。 【0005】 上記無駄時間を省く方法として、光学的検出手段又は部品供給装置を予め所定
角度(予備回転角度に等しい角度)だけ回転させた状態で取り付けておく方法が
考えられるが、この方法では装置設計上に大きな制約を伴う。 【0006】 一方、光学的検出手段は、部品供給装置との干渉を避けるために、部品供給装
置に対して鉛直方向に空間を持って取り付けられており、このため吸着ノズルが
上下動する構成が採られている。 【0007】 上記構成においては、吸着ノズルの上下動作中は光学的検出手段による部品検
出を行なうことができないため、吸着ノズルの上下動に要する時間も無駄時間と
なる。 【0008】 本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、装置設計上
の制約を伴うことなく、無駄時間を最小に抑えて部品を高能率に装着することが
できる部品装着方法及び装置を提供することにある。 【0009】 【課題を解決するための手段】 上記目的を達成すべく本発明方法は、吸着ノズルで部品を吸着してこれを吸着
点回りに所定角度だけ予備回転させた後、吸着ノズルに吸着した部品を吸着点回
りに予備回転とは逆方向に回転させながら該部品の投影幅を光学的検出手段にて 検出する ことによって、部品装着位置補正量を求め、部品を所定位置に装着する
部品装着方法において、吸着ノズルを回動させて所定角位置にしてから吸着ノズ
ルで部品を吸着し、前記予備回転動作を部品吸着後の吸着ノズル干渉域より脱出
してから前記光学的検出手段の検出域に達する以前の吸着ノズルによる部品上昇
動作中に行なうことを特徴とする。 【0010】 又、本発明は、吸着ノズルで部品を吸着してこれを所定の位置に装着する装置
であって、部品を吸着してこれを吸着点回りに回転させる吸着ノズルと、該吸着
ノズルに吸着された部品の投影幅を検出する光学的検出手段と、回動させて所定
角位置にした吸着ノズルで部品を吸着した後に吸着ノズルで吸着した部品を吸着
点回りに所定角度だけ予備回転させる予備回転動作を、部品吸着後の部品が吸着
ノズル干渉域より脱出してから前記光学的検出手段の検出域に達する以前の前記
吸着ノズルの上昇動作中に行なわしめる制御手段とを含んで構成されることを特
徴とする。 【0011】 【作用】 本発明によれば、従来は吸着ノズルが上昇して部品が光学的検出手段の検知エ
リア内に至った後に行なわれていた予備回転動作が、部品吸着後の吸着ノズルの
上昇動作中に同時に行なわれるため、予備回転動作時間が吸着ノズルの上昇動作
時間内に含まれ、従って、無駄時間が最小に抑えられて部品が高能率に装着され
る。 【0012】 又、本発明によれば、部品は予備回転されるため、光学的検出手段又は部品供
給装置を予め所定角度(予備回転角度に等しい角度)だけ回転させた状態で取り
付けておく必要がなく、装置設計上に大きな制約を伴うことがない。 【0013】 【実施例】 以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する。 【0014】 先ず、本発明に係る部品装着装置の基本構成を図1乃至図3に基づいて説明す
る。尚、図1は本発明に係る部品装着装置の斜視図、図2は同部品装着装置に設
けられるヘッドユニットの正面図、図3は同部品装着装置の構成を示すブロック
図である。 【0015】 図1に示すように、本発明に係る部品装着装置にはX−Y平面内を移動し得る
ヘッドユニット1が設けられている。 【0016】 即ち、ヘッドユニット1は、X軸に沿って回転自在に配されたボール軸2に移
動自在に螺合しており、該ボール軸2がX軸サーボモータ3によって回転駆動さ
れることによってボール軸2上をX軸方向に移動する。尚、X軸サーボモータ3
にはこれの位置検知手段4が設けられており、図3に示すように、これらX軸サ
ーボモータ3及び位置検知手段4は主制御器5の軸制御器(ドライバ)6に電気
的に接続されている。 【0017】 又、上記ボール軸2及びX軸サーボモータ3は、互いに平行に設けられたレー
ル7に沿ってY軸方向に移動自在に支持されており、これらはY軸方向に沿って
回転自在に配されたボール軸8に進退自在に螺合している。そして、Y軸サーボ
モータ9が駆動されてこれの回転がプーリ10、ベルト11及びプーリ12を経
て前記ボール軸8に伝達されて該ボール軸8が回転駆動されると、ボール軸2、
X軸サーボモータ3及びヘッドユニット1がボール軸8に沿ってY軸方向に移動
する。尚、Y軸サーボモータ9にはこれの位置検知手段13が設けられており、
図3に示すように、これらY軸サーボモータ9及び位置検知手段13は前記主制
御器5の軸制御器(ドライバー)6に電気的に接続されている。 【0018】 従って、X軸サーボモータ3、Y軸サーボモータ9によってボール軸2,8を
回転駆動すれば、ヘッドユニット1は前述のようにX−Y平面内の任意の位置に
移動し得る。 【0019】 ここで、上記ヘッドユニット1の構成を図2に基づいて説明する。 【0020】 図2において、14は部品Kを真空吸着する吸着ノズルであって、該吸着ノズ
ル14はR軸サーボモータ15によってその中心軸(R軸)回りに回転されると
ともに、Z軸サーボモータ16によってZ軸方向に上下動せしめられる。尚、R
軸サーボモータ15、Z軸サーボモータ16の各々には位置検知手段17,18
がそれぞれ設けられており、R軸サーボモータ15と位置検知手段17及びZ軸
サーボモータ16と位置検知手段18は、図3に示すように、前記主制御器5の
軸制御器6にそれぞれ電気的に接続されている。 【0021】 又、ヘッドユニット1の下端には光学的検出手段であるレーザユニット20が
取り付けられており、該レーザユニット20は、前記吸着ノズル14を挟んで相
対向するレーザ発生部20Aとディテクタ(CCD)20Bを有している。そし
て、このレーザユニット20はレーザユニット演算部21に電気的に接続されて
おり、該レーザユニット演算部21は前記主制御器5の入出力手段22を経て主
演算部23に接続されている。又、このレーザユニット20には前記位置検出手
段17が接続されている。尚、図3に示すように、主演算部23には予備回転動
作制御手段25が接続されている。 【0022】 更に、ヘッドユニット1には、後述の部品供給部30(図6参照)と吸着ノズ
ル14との干渉位置を検出するための干渉位置検出手段24が取り付けられてお
り、該干渉位置検出手段24は、図3に示すように、前記主制御器5の入出力手
段22に接続されている。 次に、本部品装着装置による部品の装着方法及び手順を図4乃至図9に従って
説明する。尚、図4は部品装着手順を示すフローチャート、図5は各工程におけ
るZ軸(上下)動作とR軸(回転動作)を示す説明図、図6はヘッドユニット(
吸着ノズル)の移動経路を図5との対応で示す平面図、図7(a),(b),(
c)は部品の最小投影幅を検出する方法を示す説明図、図8は吸着ノズルの回動
角に対する部品の投影幅の変化を示す図、図9はX方向装着位置補正量Xcの算 出式を誘導するための説明図、図10(a),(b),(C)は部品の吸着状態
を示す図である。 【0023】 部品Kの吸着に際して、先ず吸着ノズル14に吸着用の負圧が発生せしめられ
(図4のSTEP1)た後、X軸、Y軸及びR軸サーボモータ3,9,15が駆
動されて、ヘッドユニット1がX−Y平面内で図6に示す部品供給部30の所定
のフィーダ31の上方位置(部品吸着位置)に移動せしめられるとともに、吸着
ノズル14がR軸回りに回動せしめられる(図4のSTEP2)。そして、ここ
で吸着ノズル14の中心座標(X,Y,θ)が目的位置(部品吸着位置)の範囲
内に入っているかどうかが判定され、吸着ノズル14の中心座標(X,Y)が目
的位置(部品吸着位置)の範囲内に入り、かつ吸着ノズル14のR軸回りの回動
角度(θ)が目的角位置(即ち、部品吸着時の所定角位置)の範囲内に入れば(
図4のSTEP3)、Z軸サーボモータ16が駆動されて吸着ノズル14がZ軸
方向に下降せしめられ(図4のSTEP4)、該吸着ノズル14によってフィー
ダ31に収容された部品Kが吸着される(図4のSTEP5、図5及び図6の
)。尚、図6に示す〜は図5に示す同符号〜の状態における吸着ノズル
14の中心位置を示す。 【0024】 上述のように吸着ノズル14によって部品Kが吸着されると、Z軸サーボモー
タ16が再び駆動されて吸着ノズル14がZ軸に沿って上昇せしめられ(図4の
STEP6)、該吸着ノズル14がフィーダ31との干渉域から脱したこと(こ
れを吸着ノズル干渉域より脱出と称す)が干渉位置検出手段24によって確認さ
れると(図4のSTEP7)、R軸サーボモータ15が駆動されて吸着ノズル1
4が時計方向に角度θsだけ回転せしめられ(これを予備回転動作と称す)とと
もに、X軸及びY軸サーボモータ3,9が駆動されてヘッドユニット1がX−Y
平面内を部品装着位置に向かって移動せしめられる(図4のSTEP8、図5及
び図6の)。尚、ヘッドユニット1(吸着ノズル14)のX,Y軸方向の移動
量及び吸着ノズル14のR軸回りの回動量θは前記位置検出手段4,13,17
によってそれぞれ検出されて主制御器5の軸制御器6にフィードバックされ、軸 制御器6はフィードバックされたデータに基づいてそれぞれのサーボモータ3,
9,15の駆動を制御する。 【0025】 ここで、上記予備回転動作を図7(a)に基づいて説明する。 【0026】 即ち、部品Kが図7(a)に鎖線にて示す状態で吸着されたとし、このときの
部品Kの吸着点(吸着ノズル14の回転中心点)をO、該吸着点Oを通って部品
Kの長辺に平行な直線Mを吸着ノズル14の回動始点(θ=0)とする。 【0027】 上記吸着状態から前記予備回転動作制御手段25によってR軸サーボモータ1
5が駆動制御されて吸着ノズル14が時計方向に角度θsだけ予備回転せしめら
れ、部品Kは吸着点Oを中心として図7(a)の鎖線位置から実線位置まで同角
度θsだけ同方向に回動せしめられる。尚、予備回転動作は、後述する部品Kの
Y軸上の投影幅Wが最小となる状態(図7(b)に示す状態)を確実に現出せし
めるために行なわれる動作である。 【0028】 そして、吸着ノズル14がレーザユニット20の認識高さ位置(これを光学的
検出手段の検出域と称す)まだ上昇し、且つ前記予備回転動作が終了しているこ
とが確認されると(図4のSTEP9)、レーザユニット20による部品Kの検
出が開始される(図4のSTEP10、図5及び図6の)。 【0029】 ここで、レーザユニット20による部品Kの検出方法を図7(a),(b),
(c)を参照しながら説明する。 【0030】 前記予備回転動作によって部品Kが図7(a)に実線にて示す状態にあるとき
、レーザユニット20のレーザ発生部20AからX軸に平行なレーザビームLが
出射されると、部品Kのディテクタ20B(Y軸)上への投影幅Ws部分は部品
Kで遮られてレーザービームLの光強度が低いため、部品KのY軸上への投影幅
sがディテクタ20Bによって検出される。又、同時にこのときの部品K の投影幅Wsの中心位置Cs及び吸着ノズル14の回動角θsも検出され、これら
の値Ws,Cs,θsはレーザユニット演算部21及び主制御器5の入出力手段2
2を経て同主制御器5の主演算部23に入力される。 【0031】 上記検出が終了すると、R軸サーボモータ15が駆動されて吸着ノズル14が
反時計方向に所定角度(例えば、45°)θeだけ回動せしめられ、部品Kも図
7(c)に示すように吸着点Oを中心として鎖線位置から実線位置まで回動せし
められ、その間に部品KのY軸上への投影幅Wがレーザユニット20によって検
出される(図4のSTEP11,12)。 【0032】 而して、上述のように部品Kを回動させながらレーザユニット20によって該
部品KのY軸上の投影幅Wを検出すると、該投影幅Wは図8に示すように吸着ノ
ズル14(部品K)の回動角θの増加と共に最初は次第に減少し、部品Kが図7
(b)に示す状態(部品Kの長辺がX軸に平行になった状態)でその投影幅Wは
最小となる。 【0033】 そして、上記状態での部品Kの最小投影幅Wmin、投影幅Wminの中心位置Cmi
n及び吸着ノズル14の回動角θminが検出され(図4のSTEP13)、これら
の値Wmin,Cmin,θminはレーザユニット演算部21及び主制御器5の入出力
手段22を経て同主制御器5の主演算部23に入力される。 【0034】 その後、主制御器5の主演算部23では、入力されたデータθs,θe,Wmin
,θmin及び部品Kの幅寸法によって部品Kが図10(a)に示すように正常に
吸着されているか、或いは図10(b),(c)に示すように起立した異常状態
で吸着されているか否かが判断され(図4のSTEP14)、正常に吸着されて
いないときには、その部品Kは廃却される(図4のSTP15)。尚、部品Kが
正常に吸着されているか否かの判断は、具体的には次式が成立するか否かによっ
なされ、何れか1つでも成立すれば、部品Kの吸着状態が異常であると判断され
る。 【0035】 【数1】 部品Kが正常に吸着されていることが確認されると、主制御器5の主演算部2
3にてX,Y,θ方向の部品装着位置補正量Xc,Yc,θcが算出される(図4
のSTEP16)。 【0036】 上記部品装着位置補正量Xc,Yc,θcのうち、Y,θ方向の補正量Yc,θc
は次式にて算出される。 【0037】 【数2】 上式(1)中、CNは図9に示すように吸着ノズル14の中心位置(吸着点)
であって、これは既知であるため、Y,θ方向の補正量Yc,θcは実質的に実測
される値である。 【0038】 これに対して、本実施例ではX方向の補正量Xcは検出によって得られたデー
タCs,θs,Cmin,θminを用いた演算によってソフト的に算出される。以下に
その算出式を図9を参照しながら誘導する。 することができる。 【0039】 図9において、△AOB≡△aObである。そして、 【0040】 【数3】 【0041】 【数4】 【0042】 【数5】 従って、求めるべきX方向の補正量Xcは、上式(5)より次式によって算出
することができる。 【0043】 【数6】 以上において、X,Y,θ方向の部品装着位置補正量Xc,Yc,θcが算出さ
れると、X軸、Y軸、R軸サーボモータ3,9,15が駆動されてヘッドユニッ
ト1が補正量Xc,Yc,θcに応じて移動する(図4のSTEP17、図5及び
図6の)。そして、部品Kの中心点Gの座標(X,Y,θ)が目的の装着位置
の範囲内にあることが確認されると(図4のSTEP18)、Z軸サーボモータ
16が駆動されて装着ノズル14が部品Kと共に下降せしめられ(図4のSTE
P19、図5及び図6の)、その高さ位置が目的範囲内に入ったことが確認さ
れると(図4のSTEP20)、吸着ノズル14に供給されていた吸着用負圧が
カットされて(図4のSTEP21)部品Kが所定の位置に正確に装着される(
図5及び図6の)。 【0044】 上記部品Kの装着の後、Z軸サーボモータ16が駆動されて吸着ノズル14が
上昇せしめられ(図4のSTEP22)、ここに一連の装着動作が完了する(図 4のSTEP23)。 以上において、本実施例では、予備回転動作を、部品が吸着ノズル干渉域より
脱出してから光学的検出手段の検出域に達する以前の吸着ノズル14の上昇動作
中に同時に行なわせるため、予備回転動作時間が吸着ノズル14の上昇動作時間
内に含まれ、従って、無駄時間が最小に抑えられて部品Kが高能率に装着される
又、本実施例では、吸着ノズル14を回動させて所定角位置にしてから吸着ノ
ズルに部品Kを吸着させるから、部品Kを吸着した吸着ノズル14の予備回転動
作後の角位置のバラツキが小さくなり、部品Kの投影幅の検出のための吸着ノズ
ル14の予備回転とは逆の方向の回動量を最小に抑えることができ、部品Kを高
能率に装着することができる。 【0045】 又、本実施例では、部品Kは予備回転されるため、レーザユニット20又は部
品供給装置30を予め所定角度(予備回転角度θeに等しい角度)だけ回転させ
た状態で取り付けておく必要がなく、装置設計上に大きな制約を伴うことがない
。 【0046】 尚、以上の実施例では、特に部品KのY軸上への投影輻Wの検出によってX方
向の部品装着位置補正量Xcを演算によって求めるようにしたが、逆に部品Kの
X軸上への投影幅の検出によってY方向の部品装着位置補正量Ycを演算によっ
て求めるようにしても良いことは勿論である。 【0047】 【発明の効果】 以上の説明で明らかな如く、本発明よれば、予備回転動作を、部品吸着後の吸
着ノズル干渉域より脱出してから光学的検出手段の検出域に達する以前の吸着ノ
ズルによる部品上昇動作中に同時に行なわせるため、装置設計上の制約を伴うこ
となく、無駄時間を最小に抑えて部品を高能率に装着することができるという効
果が得られる。 又、吸着ノズルを回動させて所定角位置にしてから吸着ノズルに部品を吸着さ
せるから、部品を吸着した吸着ノズルの予備回転動作後の角位置のバラツキが小 さくなり、部品の投影幅の検出のための吸着ノズルの予備回転とは逆の方向の回
動量を最小に抑えることができ、部品を高能率に装着することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】 本発明に係る部品装着装置の斜視図である。 【図2】 本発明に係る部品装着装置に設けられるヘッドユニットの正面図である。 【図3】 本発明に係る部品装着装置の構成を示すブロック図である。 【図4】 部品装着手順を示すフローチャートである。 【図5】 各工程におけるZ軸(上下)動作とR軸(回転動作)を示す説明図である。 【図6】 ヘッドユニット(吸着ノズル)の移動経路を図5との対応で示す平面図である
。 【図7】 (a),(b),(c)は部品の最小投影幅を検出する方法を示す説明図であ
る。 【図8】 吸着ノズルの回動角に対する部品の投影幅の変化を示す図である。 【図9】 X方向装着位置補正量Xcの算出式を誘導するための説明図である。 【図10】 (a),(b),(c)は部品の吸着状態を示す図である。 【符号の説明】 1 ヘッドユニット 3 X軸サーボモータ 5 主制御器 9 Y軸サーボモーター 14 吸着ノズル 15 Z軸サーボモータ 16 R軸サーボモータ 20 レーザユニット(光学的検出手段) 23 主演算部(演算手段) 25 予備回転動作制御手段 K 部品

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 「【請求項1】部品を吸着してこれを吸着点回りに所定角度だけ予備回転させた
    後、同部品を吸着点回りに予備回転とは逆方向に回転させながら該部品の投影幅
    を検出することによって、部品装着位置補正量を求め、部品を所定位置に装着す
    る部品装着方法において、前記予備回転動作を部品吸着後の部品上昇動作中に行
    なうことを特徴とする部品装着方法。 【請求項2】部品を吸着してこれを所定の位畳に装着する装置であって、部品
    を吸着してこれを吸着点回りに回転させる吸着ノズルと、該吸着ノズルに吸着さ
    れた部品の投影幅を検出する光学的検出手段と、部品を吸着した後に吸着ノズル
    で吸着した部品を吸着点回りに所定角度だけ予備回転させる予備回転動作を、部
    品吸着後の前記吸着ノズルの上昇動作中に行なわしめる制御手段を含んで構成さ
    れることを特徴とする部品装着装置。」を、 「【請求項1】吸着ノズルで部品を吸着してこれを吸着点回りに所定角度だけ予
    備回転させた後、吸着ノズルに吸着した部品を吸着点回りに予備回転とは逆方向
    に回転させながら該部品の投影幅を光学的検出手段にて検出することによって、
    部品装着位置補正量を求め、部品を所定位置に装着する部品装着方法において、
    吸着ノズルを回動させて所定角位置にしてから吸着ノズルで部品を吸着し、前記
    予備回転動作を部品吸着後の吸着ノズル干渉域より脱出してから前記光学的検出
    手段の検出域に達する以前の吸着ノズルによる部品上昇動作中に行なうことを特
    徴とする部品装着方法。 【請求項2】吸着ノズルで部品を吸着してこれを所定の位置に装着する装置で
    あって、部品を吸着してこれを吸着点回りに回転させる吸着ノズルと、該吸着ノ
    ズルに吸着された部品の投影幅を検出する光学的検出手段と、回動させて所定角
    位置にした吸着ノズルで部品を吸着した後に吸着ノズルで吸着した部品を吸着点
    回りに所定角度だけ予備回転させる予備回転動作を、部品吸着後の部品が吸着ノ
    ズル干渉域より脱出してから前記光学的検出手段の検出域に達する以前の前記吸
    着ノズルの上昇動作中に行なわしめる制御手段とを含んで構成されることを特徴
    とする部品装着装置。」と訂正する。 不明瞭な記載の釈明のための訂正事項b (1)本件特許明細書【0009】の欄を 「【0009】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成すベく本発明方法は、吸着ノズル
    で部品を吸着してこれを吸着点回りに所定角度だけ予備回転させた後、吸着ノズ
    ルに吸着した部品を吸着点回りに予備回転とは逆方向に回転させながら該部品の
    投影幅を光学的検出手段にて検出することによって、部品装着位置補正量を求め
    、部品を所定位置に装着する部品装着方法において、吸着ノズルを回動させて所
    定角位置にしてから吸着ノズルで部品を吸着し、前記予備回転動作を部品吸着後
    の吸着ノズル干渉域より脱出してから前記光学的検出手段の検出域に達する以前
    の吸着ノズルによる部品上昇動作中に行なうことを特徴とする。」に訂正する。 (2)同【0010】の欄を 「【0010】又、本発明は、吸着ノズルで部品を吸着してこれを所定の位置に
    装着する装置であって、部品を吸着してこれを吸着点回りに回転させる吸着ノズ
    ルと、該吸着ノズルに吸着された部品の投影幅を検出する光学的検出手段と、回
    動させて所定角位置にした吸着ノズルで部品を吸着した後に吸着ノズルで吸着し
    た部品を吸着点回りに所定角度だけ予備回転させる予備回転動作を、部品吸着後
    の部品が吸着ノズル干渉域より脱出してから前記光学的検出手段の検出域に達す
    る以前の前記吸着ノズルの上昇動作中に行なわしめる制御手段とを含んで構成さ
    れることを特徴とする。」に訂正する。 (3)同【0023】の欄を 「【0023】部品Kの吸着に際して、先ず吸着ノズル14に吸着用の負圧が発
    生せしめられ(図4のSTEP1)た後、X軸、Y軸及びR軸サーボモータ3,
    9,15が駆動されて、ヘッドユニット1がX−Y平面内で図6に示す部品供給
    部30の所定のフィーダ31の上方位置(部品吸着位置)に移動せしめられると
    ともに、吸着ノズル14がR軸回りに回動せしめられる(図4のSTEP2)。
    そして、ここで吸着ノズル14の中心座標(X,Y,θ)が目的位置(部品吸着
    位置)の範囲内に入っているかどうかが判定され、吸着ノズル14の中心座標(
    X,Y)が目的位置(部品吸着位置)の範囲内に入り、かつ吸着ノズル14のR
    軸回りの回動角度(θ)が目的角位置(即ち、部品吸着時の所定角位置)の範囲
    内に入れば(図4のSTEP3)、Z軸サーボモータ16が駆動されて吸着ノズ
    ル14がZ軸方向に下降せしめられ(図4のSTEP4)、該吸着ノズル14に
    よってフィーダ31に収容された部品Kが吸着される(図4のSTEP5、図5
    及び図6の)。尚、図6に示す〜は図5に示す同符号〜の状態におけ
    る吸着ノズル14の中心位置を示す。」に訂正する。 (4)同【0024】の欄の「脱したことが干渉位置検出手段」を「脱したこと
    (これを吸着ノズル干渉域より脱出と称す)が干渉位置検出手段」に訂正する。 (5)同【0028】の欄の「認識高さ位置まで上昇し、」を「認識高さ位置(
    これを光学的検出手段の検出域と称す)まで上昇し、」に訂正する。 (6)同【0044】の欄を 「【0044】上記部品Kの装着の後、Z軸サーボモータ16が駆動されて吸着
    ノズル14が上昇せしめられ(図4のSTEP22)、ここに一連の装着動作が
    完了する(図4のSTEP23)。 以上において、本実施例では、予備回転動作を、部品が吸着ノズル干渉域より
    脱出してから光学的検出手段の検出域に達する以前の吸着ノズル14の上昇動作
    中に同時に行なわせるため、予備回転動作時間が吸着ノズル14の上昇動作時間
    内に含まれ、従って、無駄時間が最小に抑えられて部品Kが高能率に装着される
    。又、本実施例では、吸着ノズル14を回動させて所定角位置にしてから吸着ノ
    ズルに部品Kを吸着させるから、部品Kを吸着した吸着ノズル14の予備回転動
    作後の角位置のバラツキが小さくなり、部品Kの投影幅の検出のための吸着ノズ
    ル14の予備回転とは逆の方向の回動量を最小に抑えることができ、部品Kを高
    能率に装着することができる。」に訂正する。 (7)同【0047】の欄を 「【0047】 【発明の効果】 以上の説明で明らかな如く、本発明によれば、予備回転動作を、部品吸着後の
    吸着ノズル干渉域より脱出してから光学的検出手段の検出域に達する以前の吸着
    ノズルによる部品上昇動作中に同時に行なわせるため、装置設計上の制約を伴う
    ことなく、無駄時間を最小に抑えて部品を高能率に装着することができるという
    効果が得られる。又、吸着ノズルを回動させて所定角位置にしてから吸着ノズル
    に部品を吸着させるから、部品を吸着した吸着ノズルの予備回転動作後の角位置
    のバラツキが小さくなり、部品の投影幅の検出のための吸着ノズルの予備回転と
    は逆の方向の回動量を最小に抑えることができ、部品を高能率に装着することが
    できる。」に訂正する。 (54)【発明の名称】 部品装着方法及び装置 【特許請求の範囲】 【請求項1】吸着ノズルで部品を吸着してこれを吸着点回りに所定角度だけ予
    備回転させた後、吸着ノズルに吸着した部品を吸着点回りに予備回転とは逆方向
    に回転させながら該部品の投影幅を光学的検出手段にて検出することによって、
    部品装着位置補正量を求め、部品を所定位置に装着する部品装着方法において、
    吸着ノズルを回動させて所定角位置にしてから吸着ノズルで部品を吸着し、前記
    予備回転動作を部品吸着後の吸着ノズル干渉域より脱出してから前記光学的検出
    手段の検出域に達する以前の吸着ノズルによる部品上昇動作中に行なうことを特
    徴とする部品装着方法。 【請求項2】吸着ノズルで部品を吸着してこれを所定の位置に装着する装置で
    あって、部品を吸着してこれを吸着点回りに回転させる吸着ノズルと、該吸着ノ
    ズルに吸着された部品の投影幅を検出する光学的検出手段と、回動させて所定角
    位置にした吸着ノズルで部品を吸着した後に吸着ノズルで吸着した部品を吸着点
    回りに所定角度だけ予備回転させる予備回転動作を、部品吸着後の部品が吸着ノ
    ズル干渉域より脱出してから前記光学的検出手段の検出域に達する以前の前記吸
    着ノズルの上昇動作中に行なわしめる制御手段とを含んで構成されることを特徴
    とする部品装着装置。

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