JP2522009Y2 - レーザ管保持機構 - Google Patents
レーザ管保持機構Info
- Publication number
- JP2522009Y2 JP2522009Y2 JP9911290U JP9911290U JP2522009Y2 JP 2522009 Y2 JP2522009 Y2 JP 2522009Y2 JP 9911290 U JP9911290 U JP 9911290U JP 9911290 U JP9911290 U JP 9911290U JP 2522009 Y2 JP2522009 Y2 JP 2522009Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- laser
- laser tube
- detection cell
- tube holder
- Prior art date
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案はレーザ管を保持する機構に関し、詳しく
は、外部ミラー型レーザ発振器をレーザ光源とする微粒
子検出器におけるレーザ管の保持機構に関するものであ
る。
は、外部ミラー型レーザ発振器をレーザ光源とする微粒
子検出器におけるレーザ管の保持機構に関するものであ
る。
［従来の技術］ クリーンルームなどにおける塵埃は、その個数が微粒
子検出器によりカウントされて清浄度が管理されてい
る。微粒子検出器はレーザによるものが専ら使用されて
おり、その検出可能な微粒子の最小径はレーザのパワー
に比例する。最近の半導体の集積度の向上に伴って検出
性能を向上することが必要とされ、このために強力なパ
ワーが利用できる外部ミラー型のレーザ光源が有利であ
る。
子検出器によりカウントされて清浄度が管理されてい
る。微粒子検出器はレーザによるものが専ら使用されて
おり、その検出可能な微粒子の最小径はレーザのパワー
に比例する。最近の半導体の集積度の向上に伴って検出
性能を向上することが必要とされ、このために強力なパ
ワーが利用できる外部ミラー型のレーザ光源が有利であ
る。
第２図（ａ），（ｂ）は外部ミラー型のレーザ光源を
使用する微粒子検出器の原理的な構成を示すもので、レ
ーザ管１の一端に直径が細くて先端がブリュースター角
と称される特定な角度で斜めにカットされた先端部1aを
設け、これに透明なガラスを貼り付けてブリュースター
窓1bが形成される。検出セル３の側面に孔部3aを設け、
これにレーザ管の一端を嵌入してブリュースター窓が検
出セル内に挿入される。検出セル内に設けられた外部ミ
ラー２とブリュースター窓との間にレーザＬが発振され
る。サンプルエアＡが検出セル内に吸入されてレーザＬ
に直交し、その散乱光によりサンプルエアに含まれてい
る微粒子が検出される。
使用する微粒子検出器の原理的な構成を示すもので、レ
ーザ管１の一端に直径が細くて先端がブリュースター角
と称される特定な角度で斜めにカットされた先端部1aを
設け、これに透明なガラスを貼り付けてブリュースター
窓1bが形成される。検出セル３の側面に孔部3aを設け、
これにレーザ管の一端を嵌入してブリュースター窓が検
出セル内に挿入される。検出セル内に設けられた外部ミ
ラー２とブリュースター窓との間にレーザＬが発振され
る。サンプルエアＡが検出セル内に吸入されてレーザＬ
に直交し、その散乱光によりサンプルエアに含まれてい
る微粒子が検出される。
第３図（ａ），（ｂ）は、実用されている微粒子検出
器における従来のレーザ管の保持機構の断面と斜視外観
を示す。両図において、検出セル３の内部の左側面に外
部ミラー２と、これに対向する右側面に孔部3aとがそれ
ぞれ設けられる。レーザ管１はチューブホルダー４に保
持され、チューブホルダーの外周が孔部3aに嵌入されて
検出セルに対してねじ4aにより固定される。以上により
ブリュースター窓1bが検出セル内の空間部3bに挿入され
て外部ミラー２との間にレーザが発振される。この場
合、レーザの発振パワーはレーザ管１と外部ミラー２の
間に光軸のアライメントに大きく左右されるので、チュ
ーブホルダー４の先端に結合輪５を結合し、これに３個
の調整ねじ5aが対称的に設けられる。レーザ管には調整
ねじに対応する調整リング６を嵌挿し、調整ねじの先端
を調整リングに当接し、発振パワーが最大となるように
レーザ管の方向が微調整される。
器における従来のレーザ管の保持機構の断面と斜視外観
を示す。両図において、検出セル３の内部の左側面に外
部ミラー２と、これに対向する右側面に孔部3aとがそれ
ぞれ設けられる。レーザ管１はチューブホルダー４に保
持され、チューブホルダーの外周が孔部3aに嵌入されて
検出セルに対してねじ4aにより固定される。以上により
ブリュースター窓1bが検出セル内の空間部3bに挿入され
て外部ミラー２との間にレーザが発振される。この場
合、レーザの発振パワーはレーザ管１と外部ミラー２の
間に光軸のアライメントに大きく左右されるので、チュ
ーブホルダー４の先端に結合輪５を結合し、これに３個
の調整ねじ5aが対称的に設けられる。レーザ管には調整
ねじに対応する調整リング６を嵌挿し、調整ねじの先端
を調整リングに当接し、発振パワーが最大となるように
レーザ管の方向が微調整される。
［解決しようとする課題］ 第３図（ａ），（ｂ）に示した従来のレーザ管保持機
構は、レーザ管の方向を安定化する機能が十分でない。
すなわち、チューブホルダー４を検出セル３に固定する
方法は、孔部3aに嵌入されたチューブホルダーは、その
外周表面がねじ4aにより検出セルに固定されるものであ
るが、その固定力はねじの先端とチューブホルダーの表
面の点接触によるために強力でなく、温度変化や振動な
どによりねじが弛緩して光軸に狂いが生じ、発振パワー
が低下する。また経年などにより、性能が低下したレー
ザ管の取り替える場合はねじ4aを緩めて行うために、そ
の締め付け位置が変化するので、光軸を再調整すること
が必要である。
構は、レーザ管の方向を安定化する機能が十分でない。
すなわち、チューブホルダー４を検出セル３に固定する
方法は、孔部3aに嵌入されたチューブホルダーは、その
外周表面がねじ4aにより検出セルに固定されるものであ
るが、その固定力はねじの先端とチューブホルダーの表
面の点接触によるために強力でなく、温度変化や振動な
どによりねじが弛緩して光軸に狂いが生じ、発振パワー
が低下する。また経年などにより、性能が低下したレー
ザ管の取り替える場合はねじ4aを緩めて行うために、そ
の締め付け位置が変化するので、光軸を再調整すること
が必要である。
この考案は上記の欠点を解消するもので、チューブホ
ルダーの構造と検出セルに対する固定方法を改善して、
光軸の狂いが生ぜず、レーザ管の取り替えに際して光軸
調整を必要としない保持機構を提供することを目的とす
るものである。
ルダーの構造と検出セルに対する固定方法を改善して、
光軸の狂いが生ぜず、レーザ管の取り替えに際して光軸
調整を必要としない保持機構を提供することを目的とす
るものである。
［課題を解決するための手段］ この考案は、検出セルの側面の嵌合孔に一端が嵌挿さ
れたレーザ管と、検出セル内に設けられた外部ミラーと
により構成された外部ミラー型のレーザ発振器を光源と
する微粒子検出器におけるレーザ管の保持機構であっ
て、レーザ管を保持する円筒形のチューブホルダーを設
け、その一端に突起を有するフランジを形成する。一
方、検出セルの側面にはこの突起に嵌合する凹部を設
け、フランジの突起をこの凹部に嵌合してねじ止めによ
りチューブホルダーを固定する。固定されたチューブホ
ルダーにレーザ管を挿入し、チューブホルダーの他端に
対して、レーザ管の外周に密着して嵌挿された調整リン
グに接触し、レーザ管の方向調整と固定とを行う調整ね
じ部を形成したものである。
れたレーザ管と、検出セル内に設けられた外部ミラーと
により構成された外部ミラー型のレーザ発振器を光源と
する微粒子検出器におけるレーザ管の保持機構であっ
て、レーザ管を保持する円筒形のチューブホルダーを設
け、その一端に突起を有するフランジを形成する。一
方、検出セルの側面にはこの突起に嵌合する凹部を設
け、フランジの突起をこの凹部に嵌合してねじ止めによ
りチューブホルダーを固定する。固定されたチューブホ
ルダーにレーザ管を挿入し、チューブホルダーの他端に
対して、レーザ管の外周に密着して嵌挿された調整リン
グに接触し、レーザ管の方向調整と固定とを行う調整ね
じ部を形成したものである。
［作用］ 以上のレーザ管保持機構においては、円筒形のチュー
ブホルダーの一端に設けられたフランジの突起が検出セ
ルの側面に設けられた凹部に嵌合し、ねじ止めによりチ
ューブホルダーが固定される。固定されたチューブホル
ダーにレーザ管が挿入され、調整ねじによりレーザ管の
光軸を微調整して発振パワーが最大に調整され、調整が
終了すると調整ねじを固定してレーザ管が固定される。
この場合は、検出セルに対するチューブホルダーの固定
方法が、突起と凹部の嵌合による面接触によるので固定
力が強力であり、点接触と異なり温度変化や振動などに
対して安定してレーザ管に光軸の狂いが生じない。ま
た、経年などにより性能が低下したレーザ管の取り替え
においては、レーザ管はチューブホルダーとともに取り
外されるが、再取り付けにおいては突起と凹部の嵌合に
より、光軸のコリメートがいわば自動的になされて再調
整を必要としないものである。
ブホルダーの一端に設けられたフランジの突起が検出セ
ルの側面に設けられた凹部に嵌合し、ねじ止めによりチ
ューブホルダーが固定される。固定されたチューブホル
ダーにレーザ管が挿入され、調整ねじによりレーザ管の
光軸を微調整して発振パワーが最大に調整され、調整が
終了すると調整ねじを固定してレーザ管が固定される。
この場合は、検出セルに対するチューブホルダーの固定
方法が、突起と凹部の嵌合による面接触によるので固定
力が強力であり、点接触と異なり温度変化や振動などに
対して安定してレーザ管に光軸の狂いが生じない。ま
た、経年などにより性能が低下したレーザ管の取り替え
においては、レーザ管はチューブホルダーとともに取り
外されるが、再取り付けにおいては突起と凹部の嵌合に
より、光軸のコリメートがいわば自動的になされて再調
整を必要としないものである。
［実施例］ 第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この考案によ
るレーザ管保持機構の実施例の構造図を示す。図（ａ）
において、検出セル３の内部の左側面に外部ミラー２
と、これに対向する右側面に孔部3aとがそれぞれ設けら
れることは、前記した第３図（ａ）の場合と同様であ
る。ただしこの考案においては、チューブホルダー７の
一端に、突起を有するフランジ7aが形成され、その相手
の検出セルの側面3cには凹部が設けられる。これらの突
起と凹部とを嵌合して、図（ｂ）のように４個のねじ7b
によりチューブホルダー７が検出セル３に固定される。
以上により固定されたチューブホルダー７にレーザ管１
を挿入してブリュースター窓1bが検出セル内の空間部3b
に挿入され、外部ミラー２との間にレーザが発振され
る。この場合は突起と凹部が嵌合し、面接触によりチュ
ーブホルダーがねじ固定されるため、両者は極めて強固
に結合されて安定しており、この部分のねじの弛緩によ
っては光軸の狂いは発生しない。次に光軸調整である
が、チューブホルダー７の他端に結合輪7cを研削により
形成し、図（ｃ）のように３個の調整ねじ5aを取り付け
る。これに対して、従来と同様にレーザ管に嵌挿された
調整リング６に調整ねじの先端が接触し、その回転によ
りレーザ管１の方向が微調整され、発振パワーが最大と
なるように光軸が調整される。光軸調整が終了すると、
調整ねじの回転位置に目印などをつけて回転が固定され
る。次に、経年などによりレーザ管の性能が低下して新
品と交換する場合は、フランジの固定ねじ7bを緩めてレ
ーザ管とともにチューブホルダーを取り外し、さらに調
整ねじ5aを緩めてレーザ管を交換する。新品をチューブ
ホルダーに挿入し、上記の目印の位置に調整ねじを締め
てレーザ管を固定し、ついでチューブホルダーを検出セ
ルに固定する。この場合、突起と凹部を嵌合すれば改め
て光軸調整を行う必要がない。なお、結合輪7cは従来の
ようにチューブホルダー４と別部品でなく、チューブホ
ルダー７に一体として製作されているので、調整ねじが
ひと度調整された後は、この部分の変形により光軸狂い
が発生するおそれは全くなく、また部品点数が減少して
組み立てコストがその分節約される。
るレーザ管保持機構の実施例の構造図を示す。図（ａ）
において、検出セル３の内部の左側面に外部ミラー２
と、これに対向する右側面に孔部3aとがそれぞれ設けら
れることは、前記した第３図（ａ）の場合と同様であ
る。ただしこの考案においては、チューブホルダー７の
一端に、突起を有するフランジ7aが形成され、その相手
の検出セルの側面3cには凹部が設けられる。これらの突
起と凹部とを嵌合して、図（ｂ）のように４個のねじ7b
によりチューブホルダー７が検出セル３に固定される。
以上により固定されたチューブホルダー７にレーザ管１
を挿入してブリュースター窓1bが検出セル内の空間部3b
に挿入され、外部ミラー２との間にレーザが発振され
る。この場合は突起と凹部が嵌合し、面接触によりチュ
ーブホルダーがねじ固定されるため、両者は極めて強固
に結合されて安定しており、この部分のねじの弛緩によ
っては光軸の狂いは発生しない。次に光軸調整である
が、チューブホルダー７の他端に結合輪7cを研削により
形成し、図（ｃ）のように３個の調整ねじ5aを取り付け
る。これに対して、従来と同様にレーザ管に嵌挿された
調整リング６に調整ねじの先端が接触し、その回転によ
りレーザ管１の方向が微調整され、発振パワーが最大と
なるように光軸が調整される。光軸調整が終了すると、
調整ねじの回転位置に目印などをつけて回転が固定され
る。次に、経年などによりレーザ管の性能が低下して新
品と交換する場合は、フランジの固定ねじ7bを緩めてレ
ーザ管とともにチューブホルダーを取り外し、さらに調
整ねじ5aを緩めてレーザ管を交換する。新品をチューブ
ホルダーに挿入し、上記の目印の位置に調整ねじを締め
てレーザ管を固定し、ついでチューブホルダーを検出セ
ルに固定する。この場合、突起と凹部を嵌合すれば改め
て光軸調整を行う必要がない。なお、結合輪7cは従来の
ようにチューブホルダー４と別部品でなく、チューブホ
ルダー７に一体として製作されているので、調整ねじが
ひと度調整された後は、この部分の変形により光軸狂い
が発生するおそれは全くなく、また部品点数が減少して
組み立てコストがその分節約される。
［考案の効果］ 以上の説明により明らかなように、この考案によるレ
ーザ管保持機構においては、レーザ管を保持する円筒形
のチューブホルダーの一端に突起を有するフランジを設
け、この突起を検出セルの側面に設けられた凹部に嵌合
して、面接触によりねじ止め固定するもので、レーザ管
の光軸の狂いが防止され、またレーザ管を取り替える場
合に光軸の再調整を必要とせず、外部ミラー型のレーザ
発振器を光源とする微粒子検出器の安定化と保守性の向
上に寄与する効果には大きいものがある。
ーザ管保持機構においては、レーザ管を保持する円筒形
のチューブホルダーの一端に突起を有するフランジを設
け、この突起を検出セルの側面に設けられた凹部に嵌合
して、面接触によりねじ止め固定するもので、レーザ管
の光軸の狂いが防止され、またレーザ管を取り替える場
合に光軸の再調整を必要とせず、外部ミラー型のレーザ
発振器を光源とする微粒子検出器の安定化と保守性の向
上に寄与する効果には大きいものがある。
第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この考案による
レーザ管保持機構の実施例の断面図および透視図、第２
図（ａ）および（ｂ）は外部ミラー型レーザ発振器を光
源とする微粒子検出器の原理説明図、第３図（ａ）およ
び（ｂ）は従来の外部ミラー型レーザ発振器を構成する
検出セルの断面図と斜視外観図である。 １……レーザ管、1a……先端部、1b……ブリュースター
窓、２……外部ミラー、３……検出セル、3a……孔部、
3b……空間部、3c……側面、４……従来のチューブホル
ダー、4a……ねじ、５……従来の結合輪、5a……調整ね
じ、６……調整リング、７……この考案のチューブホル
ダー、7a……フランジ、7b……ねじ、7c……この考案の
結合輪。
レーザ管保持機構の実施例の断面図および透視図、第２
図（ａ）および（ｂ）は外部ミラー型レーザ発振器を光
源とする微粒子検出器の原理説明図、第３図（ａ）およ
び（ｂ）は従来の外部ミラー型レーザ発振器を構成する
検出セルの断面図と斜視外観図である。 １……レーザ管、1a……先端部、1b……ブリュースター
窓、２……外部ミラー、３……検出セル、3a……孔部、
3b……空間部、3c……側面、４……従来のチューブホル
ダー、4a……ねじ、５……従来の結合輪、5a……調整ね
じ、６……調整リング、７……この考案のチューブホル
ダー、7a……フランジ、7b……ねじ、7c……この考案の
結合輪。
Claims (1)
- 【請求項１】検出セルの側面の孔部に一端が挿入された
レーザ管と、該検出セル内に設けられた外部ミラーとに
より構成された外部ミラー型のレーザ発振器を光源とす
る微粒子検出器において、円筒形のチューブホルダーを
設け、該チューブホルダーの一端に突起を有するフラン
ジを形成し、上記検出セルの上記側面に上記突起に嵌合
する凹部を設け、上記フランジの突起を該凹部に嵌合し
てねじ止めにより固定し、該固定されたチューブホルダ
ーに上記レーザ管を挿入し、かつ該チューブホルダーの
他端に対して、上記レーザ管の外周に密着して嵌挿され
た調整リングに接触し、上記レーザ管の光軸調整と固定
とを行う調整ねじ部を形成したことを特徴とする、レー
ザ管保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9911290U JP2522009Y2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | レーザ管保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9911290U JP2522009Y2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | レーザ管保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0456357U JPH0456357U (ja) | 1992-05-14 |
| JP2522009Y2 true JP2522009Y2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=31840799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9911290U Expired - Lifetime JP2522009Y2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | レーザ管保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522009Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP9911290U patent/JP2522009Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0456357U (ja) | 1992-05-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |