JP2510303Y2 - ボ―ト吊垂軸 - Google Patents
ボ―ト吊垂軸Info
- Publication number
- JP2510303Y2 JP2510303Y2 JP3046390U JP3046390U JP2510303Y2 JP 2510303 Y2 JP2510303 Y2 JP 2510303Y2 JP 3046390 U JP3046390 U JP 3046390U JP 3046390 U JP3046390 U JP 3046390U JP 2510303 Y2 JP2510303 Y2 JP 2510303Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- suspension shaft
- metal cover
- fixed
- gripped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
本考案は、半導体ウエーハ等を熱処理する際に、例え
ば多数の半導体ウエーハをウエーハボートに搭載し、該
ウエーハボートを吊垂して縦型の拡散炉等の熱処理炉内
に出し入れし、且つ上下動及び旋回動する支持アームで
把持固定されるボート吊垂軸に関するものである。
ば多数の半導体ウエーハをウエーハボートに搭載し、該
ウエーハボートを吊垂して縦型の拡散炉等の熱処理炉内
に出し入れし、且つ上下動及び旋回動する支持アームで
把持固定されるボート吊垂軸に関するものである。
この種の縦型熱処理炉において使用されているボート
吊垂軸は、ウエーハボートとの係合部と、支持アームの
把持部とを有し、一般的に石英又はシリコン等の比較的
高価な脆弱物質から形成されている。その理由は、吊垂
したウエーハボートと共に吊垂軸の一部、即ち係合部側
が熱処理炉内に入り込み高熱及び処理ガスに曝されるよ
うになり、そのために全体として耐熱性と熱処理炉内の
汚染防止とが要求される材料が選ばれているのである。
そして、ボート吊垂軸の他の部分、即ち把持部側は上下
動及び旋回動する支持アームによって着脱自在に把持固
定され、熱処理炉の外部に位置するように構成されてい
る。
吊垂軸は、ウエーハボートとの係合部と、支持アームの
把持部とを有し、一般的に石英又はシリコン等の比較的
高価な脆弱物質から形成されている。その理由は、吊垂
したウエーハボートと共に吊垂軸の一部、即ち係合部側
が熱処理炉内に入り込み高熱及び処理ガスに曝されるよ
うになり、そのために全体として耐熱性と熱処理炉内の
汚染防止とが要求される材料が選ばれているのである。
そして、ボート吊垂軸の他の部分、即ち把持部側は上下
動及び旋回動する支持アームによって着脱自在に把持固
定され、熱処理炉の外部に位置するように構成されてい
る。
【考案が解決しようとする課題】 前記従来例のボート吊垂軸は、石英又はシリコン等の
脆弱物質で形成されているため、その把持部側において
は、支持アームとの着脱作業において、一寸した金属部
品との衝突でクラックが入ったり、欠けたり又は破損し
たりし、これを見逃して使用すると、使用中にウエーハ
ボートを落下させる危険もあり、高価なボート吊垂軸が
実質的に使用できなくなることもしばしばある。 従って、従来例においては、ボート吊垂軸の把持部側
の破損防止に解決しなければならない課題を有してい
る。
脆弱物質で形成されているため、その把持部側において
は、支持アームとの着脱作業において、一寸した金属部
品との衝突でクラックが入ったり、欠けたり又は破損し
たりし、これを見逃して使用すると、使用中にウエーハ
ボートを落下させる危険もあり、高価なボート吊垂軸が
実質的に使用できなくなることもしばしばある。 従って、従来例においては、ボート吊垂軸の把持部側
の破損防止に解決しなければならない課題を有してい
る。
前記従来例の課題を解決する具体的手段として本考案
は、ウエーハボートを吊垂する係合部と、支持アームで
把持固定されるピ把持部とを有するボート吊垂軸であっ
て、前記把持部を金属カバーで被覆したことを特徴とす
るボート吊垂軸を提供するものであり、そして前記金属
カバーが縦方向に２分割されて着脱自在に被覆されると
共に、該金属カバーが耐腐食性を有する金属、例えばス
テンレス鋼で形成されており、外部からの衝突があって
も金属カバーで保護されているので、簡単には破損しな
いのである。
は、ウエーハボートを吊垂する係合部と、支持アームで
把持固定されるピ把持部とを有するボート吊垂軸であっ
て、前記把持部を金属カバーで被覆したことを特徴とす
るボート吊垂軸を提供するものであり、そして前記金属
カバーが縦方向に２分割されて着脱自在に被覆されると
共に、該金属カバーが耐腐食性を有する金属、例えばス
テンレス鋼で形成されており、外部からの衝突があって
も金属カバーで保護されているので、簡単には破損しな
いのである。
次に本考案を図示の実施例により更に詳しく説明する
と、１はボート吊垂軸であり、該ボート吊垂軸は石英又
はシリコン等の脆弱物質で略棒状に形成され、一方の端
部（図において下端側）に係合部２が形成されると共
に、他方の端部には把持部３が形成されている。 このボート吊垂軸１は、多数の半導体ウエーハ４等を
搭載したウエーハボート５を吊垂して、例えば処理チュ
ーブからなる拡散炉等の熱処理炉６に出し入れする際に
使用されるものであり、前記係合部２と前記ウエーハボ
ート５の上部とを係合させて吊垂状態に維持するのであ
る。 又、前記把持部３側は熱処理炉６の外部に突出した状
態にあり、その把持部３は所定の支持アーム７で把持固
定される。そして、その支持アーム７は熱処理炉６に対
して、前記ウエーハボート５を出し入れするための上下
動と、処理済みの又は新たなウエーハボートを吊垂する
ために旋回動する支持軸８に取り付けられている。 この支持アーム７で把持固定される部分、即ちボート
吊垂軸１の把持部３には、第２図に示したように、その
外側形状に沿って金属カバー９が被覆される。この金属
カバーは縦方向に２分割されたカバー半体9a、9bで構成
されており、把持部３に対して被覆する際に合体され、
カバー半体の複数箇所において、例えばビス又はボルト
10等により固定される。この場合の金属カバー９は、少
なくともボート吊垂軸１における把持部３を被覆できれ
ば足りるものであるが、更に下方に延長させて余分に被
覆しても、何等差し支えるものではない。又、カバー半
体9a、9bは高熱による膨脹が吸収できるように、合体さ
れた際には、僅かな間隙が形成されるように構成されて
いることが好ましい。 このボート吊垂軸１の被覆に当たって、前記把持部３
は一般的に、その上方にフランジ部3aが一体に形成され
ていると共に、下方には径大部3bが一体に形成されてお
り、前記金属カバー９はこれ等の部分をも被覆するよう
に、各両端部に前記フランジ部3a及び径大部3bに夫々対
応する張出部11、12が形成してある。そして、カバー半
体9a、9bを合体させた時に、両者を固定するビス又はボ
ルト10が螺着又は挿通する穴が両カバー半体の夫々対応
する位置に設けられる。尚、ボルトの他に例えば金属製
のバンド又は尾錠機構等により締め付けて合体状態を維
持できるようにしても良い。要は、把持部３の外周面を
金属カバー９により安定した状態で、且つ着脱自在に被
覆できれば良いのである。 前記金属カバー９は、ステンレス製で形成するのが好
ましい。つまり、熱処理炉６内の高温処理によってボー
ト吊垂軸１も高温となり、把持部３が外部に突出してい
ても、熱伝導により相当な高温（略500℃程度）にな
り、その温度に充分耐えることができること、及び熱処
理炉内から洩れる可能性のある処理ガスにも耐えること
ができるものとして、ステンレス鋼が使用される。 前記したように、把持部３に対してカバー半体9a、9b
を合体させて金属カバー９を被着した後に、その把持部
３を前記支持アーム７に把持固定させる。この場合に、
第３図に示したように、支持アーム７に設けてある固定
部13によってボート吊垂軸１の金属カバー９で被覆され
た把持部３を把持固定する。この固定部13は、上面から
見て略馬蹄形又は半楕円形を呈し、且つ内側に所定の空
間部14するベース部材15と、該ベース部材15の一側面か
ら貫通螺合させたネジ杆16と、該ネジ杆16の内側端部に
遊嵌状態に取り付けた押え部材17と、外側端部に取り付
けた摘子18と、前記押え部材17とベース部材15の内壁面
との間に介在させたコイルスプリング19とから構成さ
れ、前記空間部14の一部、即ち前記ネジ杆16と対面する
側に、前記ボート吊垂軸１の把持中心を規制するコーナ
ー部20を設けてある。 従って、ボート吊垂軸１を支持アーム７に把持固定さ
せる際に、ベース部材15の空間部14にボート吊垂軸１を
下方から挿着し、フランジ部3a及び金属カバー９の上部
の張出部11がベース部材15の上部に突出し、且つ張出部
11の段部がベース部材15の上面に引っ掛かっる状態にお
いて、摘子18を操作してネジ杆16を前進させ、押え部材
17を把持部３に当接させ、更に前進させることにより仮
想線で示したように、把持部３がコーナー部20に当接し
て把持中心が位置決めされた状態で把持固定される。そ
して、前記把持部３はコーナー部20と押え部材17とによ
り挟持され、コイルスプリング19によって常時押圧さ
れ、安定した状態で把持固定されるのである。 この把持固定の作業において、固定部13におけるベー
ス部材15の空間部14にボート吊垂軸１のフランジ部3aを
下方から挿着する際に、該フランジ部3aがベース部材15
に衝突しても、金属カバー９により被覆されているの
で、衝突によるフランジ部3aの破損又はクラックが解消
されるのである。更に、ボート吊垂軸１はHF、HNO3等の
酸によって周期的に洗浄され、その洗浄による酸でエッ
チングされて軸自体が痩せるけれども、前記金属カバー
９を被着させることによってその痩せを補償して、ボー
ト吊垂軸１を常に垂直に把持固定させることができるの
である。そして、固定部13に把持固定されたボート吊垂
軸１は、把持固定された状態で固定部13と共に回転でき
るようになっている。即ち、支持アーム７内に配設され
た駆動源21と前記固定部13に取り付けてあるギア又はプ
ーリとの間にチェーン又は駆動ベルト22が張設され、ウ
エーハボート５を熱処理炉６内に吊垂収納した状態にお
いて、ボート吊垂軸１及びウエーハボート５とを回転さ
せ、それによってウエーハボートに多数搭載してある半
導体ウエーハを処理ガスと均等に接触させ反応させるよ
うにしてある。 いずれにしても、上下動し且つ支持軸８の旋回動によ
って旋回する支持アーム７に対して把持固定されるボー
ト吊垂軸１の少なくとも把持部３に金属カバー９を着脱
自在に被着させた構成に特徴が存するのである。
と、１はボート吊垂軸であり、該ボート吊垂軸は石英又
はシリコン等の脆弱物質で略棒状に形成され、一方の端
部（図において下端側）に係合部２が形成されると共
に、他方の端部には把持部３が形成されている。 このボート吊垂軸１は、多数の半導体ウエーハ４等を
搭載したウエーハボート５を吊垂して、例えば処理チュ
ーブからなる拡散炉等の熱処理炉６に出し入れする際に
使用されるものであり、前記係合部２と前記ウエーハボ
ート５の上部とを係合させて吊垂状態に維持するのであ
る。 又、前記把持部３側は熱処理炉６の外部に突出した状
態にあり、その把持部３は所定の支持アーム７で把持固
定される。そして、その支持アーム７は熱処理炉６に対
して、前記ウエーハボート５を出し入れするための上下
動と、処理済みの又は新たなウエーハボートを吊垂する
ために旋回動する支持軸８に取り付けられている。 この支持アーム７で把持固定される部分、即ちボート
吊垂軸１の把持部３には、第２図に示したように、その
外側形状に沿って金属カバー９が被覆される。この金属
カバーは縦方向に２分割されたカバー半体9a、9bで構成
されており、把持部３に対して被覆する際に合体され、
カバー半体の複数箇所において、例えばビス又はボルト
10等により固定される。この場合の金属カバー９は、少
なくともボート吊垂軸１における把持部３を被覆できれ
ば足りるものであるが、更に下方に延長させて余分に被
覆しても、何等差し支えるものではない。又、カバー半
体9a、9bは高熱による膨脹が吸収できるように、合体さ
れた際には、僅かな間隙が形成されるように構成されて
いることが好ましい。 このボート吊垂軸１の被覆に当たって、前記把持部３
は一般的に、その上方にフランジ部3aが一体に形成され
ていると共に、下方には径大部3bが一体に形成されてお
り、前記金属カバー９はこれ等の部分をも被覆するよう
に、各両端部に前記フランジ部3a及び径大部3bに夫々対
応する張出部11、12が形成してある。そして、カバー半
体9a、9bを合体させた時に、両者を固定するビス又はボ
ルト10が螺着又は挿通する穴が両カバー半体の夫々対応
する位置に設けられる。尚、ボルトの他に例えば金属製
のバンド又は尾錠機構等により締め付けて合体状態を維
持できるようにしても良い。要は、把持部３の外周面を
金属カバー９により安定した状態で、且つ着脱自在に被
覆できれば良いのである。 前記金属カバー９は、ステンレス製で形成するのが好
ましい。つまり、熱処理炉６内の高温処理によってボー
ト吊垂軸１も高温となり、把持部３が外部に突出してい
ても、熱伝導により相当な高温（略500℃程度）にな
り、その温度に充分耐えることができること、及び熱処
理炉内から洩れる可能性のある処理ガスにも耐えること
ができるものとして、ステンレス鋼が使用される。 前記したように、把持部３に対してカバー半体9a、9b
を合体させて金属カバー９を被着した後に、その把持部
３を前記支持アーム７に把持固定させる。この場合に、
第３図に示したように、支持アーム７に設けてある固定
部13によってボート吊垂軸１の金属カバー９で被覆され
た把持部３を把持固定する。この固定部13は、上面から
見て略馬蹄形又は半楕円形を呈し、且つ内側に所定の空
間部14するベース部材15と、該ベース部材15の一側面か
ら貫通螺合させたネジ杆16と、該ネジ杆16の内側端部に
遊嵌状態に取り付けた押え部材17と、外側端部に取り付
けた摘子18と、前記押え部材17とベース部材15の内壁面
との間に介在させたコイルスプリング19とから構成さ
れ、前記空間部14の一部、即ち前記ネジ杆16と対面する
側に、前記ボート吊垂軸１の把持中心を規制するコーナ
ー部20を設けてある。 従って、ボート吊垂軸１を支持アーム７に把持固定さ
せる際に、ベース部材15の空間部14にボート吊垂軸１を
下方から挿着し、フランジ部3a及び金属カバー９の上部
の張出部11がベース部材15の上部に突出し、且つ張出部
11の段部がベース部材15の上面に引っ掛かっる状態にお
いて、摘子18を操作してネジ杆16を前進させ、押え部材
17を把持部３に当接させ、更に前進させることにより仮
想線で示したように、把持部３がコーナー部20に当接し
て把持中心が位置決めされた状態で把持固定される。そ
して、前記把持部３はコーナー部20と押え部材17とによ
り挟持され、コイルスプリング19によって常時押圧さ
れ、安定した状態で把持固定されるのである。 この把持固定の作業において、固定部13におけるベー
ス部材15の空間部14にボート吊垂軸１のフランジ部3aを
下方から挿着する際に、該フランジ部3aがベース部材15
に衝突しても、金属カバー９により被覆されているの
で、衝突によるフランジ部3aの破損又はクラックが解消
されるのである。更に、ボート吊垂軸１はHF、HNO3等の
酸によって周期的に洗浄され、その洗浄による酸でエッ
チングされて軸自体が痩せるけれども、前記金属カバー
９を被着させることによってその痩せを補償して、ボー
ト吊垂軸１を常に垂直に把持固定させることができるの
である。そして、固定部13に把持固定されたボート吊垂
軸１は、把持固定された状態で固定部13と共に回転でき
るようになっている。即ち、支持アーム７内に配設され
た駆動源21と前記固定部13に取り付けてあるギア又はプ
ーリとの間にチェーン又は駆動ベルト22が張設され、ウ
エーハボート５を熱処理炉６内に吊垂収納した状態にお
いて、ボート吊垂軸１及びウエーハボート５とを回転さ
せ、それによってウエーハボートに多数搭載してある半
導体ウエーハを処理ガスと均等に接触させ反応させるよ
うにしてある。 いずれにしても、上下動し且つ支持軸８の旋回動によ
って旋回する支持アーム７に対して把持固定されるボー
ト吊垂軸１の少なくとも把持部３に金属カバー９を着脱
自在に被着させた構成に特徴が存するのである。
以上説明したように本考案に係るボート吊垂軸は、ウ
エーハボートを吊垂する係合部と、支持アームで把持固
定される把持部とを有するボート吊垂軸であって、前記
把持部を金属カバーで被覆した構成とすることにより、
支持アームに対して把持固定させる際に、不注意に衝突
させても、金属カバーで保護されているので、破損した
りクラックが入ったりすることがなくなり、作業性が向
上すると共に長期に使用できると言う優れた効果を奏す
る。 又、前記金属カバーが縦方向に２分割されて着脱自在
に被覆されると共に、該金属カバーがステンレス鋼で形
成された構成とすることにより、ボート吊垂軸を周期的
に洗浄できると共に、洗浄によって痩せた軸自体を補償
して、正確に把持中心が出せるばかりでなく、熱処理炉
から洩れてくる処理ガスの酸に対しても、充分に耐えら
れると言う優れた効果も奏する。
エーハボートを吊垂する係合部と、支持アームで把持固
定される把持部とを有するボート吊垂軸であって、前記
把持部を金属カバーで被覆した構成とすることにより、
支持アームに対して把持固定させる際に、不注意に衝突
させても、金属カバーで保護されているので、破損した
りクラックが入ったりすることがなくなり、作業性が向
上すると共に長期に使用できると言う優れた効果を奏す
る。 又、前記金属カバーが縦方向に２分割されて着脱自在
に被覆されると共に、該金属カバーがステンレス鋼で形
成された構成とすることにより、ボート吊垂軸を周期的
に洗浄できると共に、洗浄によって痩せた軸自体を補償
して、正確に把持中心が出せるばかりでなく、熱処理炉
から洩れてくる処理ガスの酸に対しても、充分に耐えら
れると言う優れた効果も奏する。
第１図は本考案に係るボート吊垂軸の使用状態を示す略
示的側断面図、第２図は同ボート吊垂軸の要部を展開し
て示した拡大斜視図、第３図は同ボート吊垂軸を支持ア
ームの固定部に把持固定させる状態を示す要部のみの平
面図である。 １……ボート吊垂軸、２……下端の係合部 ３……把持部、４……半導体ウエーハ ５……ウエーハボート、６……熱処理炉 ７……支持アーム、８……支持軸 ９……金属カバー、9a、9b……カバー半体 10……ビス又はボルト、11、12……張出部 13……固定部、14……空間部 15……ベース部材、16……ネジ杆 17……押え部材、18……摘子 19……コイルスプリング、20……コーナー部 21……駆動源、22……チェン又は駆動ベルト
示的側断面図、第２図は同ボート吊垂軸の要部を展開し
て示した拡大斜視図、第３図は同ボート吊垂軸を支持ア
ームの固定部に把持固定させる状態を示す要部のみの平
面図である。 １……ボート吊垂軸、２……下端の係合部 ３……把持部、４……半導体ウエーハ ５……ウエーハボート、６……熱処理炉 ７……支持アーム、８……支持軸 ９……金属カバー、9a、9b……カバー半体 10……ビス又はボルト、11、12……張出部 13……固定部、14……空間部 15……ベース部材、16……ネジ杆 17……押え部材、18……摘子 19……コイルスプリング、20……コーナー部 21……駆動源、22……チェン又は駆動ベルト
Claims (3)
- 【請求項１】ウエーハボートを吊垂する係合部と、支持
アームで把持固定される把持部とを有するボート吊垂軸
であって、前記把持部を金属カバーで被覆したことを特
徴とするボート吊垂軸。 - 【請求項２】金属カバーが縦方向に２分割されて着脱自
在に被覆されている請求項（１）記載のボート吊垂軸。 - 【請求項３】金属カバーがステンレス鋼で形成されてい
る請求項（１）、（２）記載のボート吊垂軸。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046390U JP2510303Y2 (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | ボ―ト吊垂軸 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046390U JP2510303Y2 (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | ボ―ト吊垂軸 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03122530U JPH03122530U (ja) | 1991-12-13 |
| JP2510303Y2 true JP2510303Y2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=31533175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3046390U Expired - Lifetime JP2510303Y2 (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | ボ―ト吊垂軸 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2510303Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5225063B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2013-07-03 | 麒麟麦酒株式会社 | 軸用カバー |
-
1990
- 1990-03-23 JP JP3046390U patent/JP2510303Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03122530U (ja) | 1991-12-13 |
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