JP2509076Y2

JP2509076Y2 - 露光装置

Info

Publication number: JP2509076Y2
Application number: JP1988135624U
Authority: JP
Inventors: 文夫阿部
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1988-10-18
Filing date: 1988-10-18
Publication date: 1996-08-28
Anticipated expiration: 2003-10-18
Also published as: JPH0258227U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］この考案はインライン型シヤドウマスク式カラー陰極
線管のフエースプレートの露光装置に関する。

［従来の技術］第３図は露光装置の概略構成を示す断面図で、（１）
は光源部、（10）は照射光量の分布を調整するフイル
タ、（20）は照射光の照射角度を補正する補正レンズ、
（30）は外囲器、（40）は開口部で、これらで露光装置
（50）を構成している。（60）はフエースプレートで、
開口部（40）を覆うように位置決めして置かれ、光源部
（１）から放射された光（70）が所定の光量分布で、か
つ所定の角度でもつてパネル（60）の内面に照射される
ように構成されている。

インライン型シヤドウマスク式カラー陰極線管では、
複数個の電子銃から発射された電子ビームは、シヤドウ
マスクの電子ビーム通過孔を通過し、通過した電子ビー
ム通過孔に対向した各色の蛍光体モザイクに正しく当た
らなければならない。この電子ビーム軌道は、カラー陰
極線管と、使用する偏向装置により定まり、電子ビーム
通過孔を通過した各色の電子ビームは、フエースプレー
ト内面の定められた点に到達する。

したがつて、電子ビームと蛍光体モザイクとを一致さ
せるためには、フエースプレート内面の蛍光体モザイク
を露光装置（50）により焼き付ける際に電子ビームの到
達点と一致するような補正を加えることが行なわれてい
る。この補正手段は、露光装置（50）内の光源部（１）
とフエースプレート（60）の間に補正レンズ（20）を配
置し、さらに光源部（１）に補正用のスリツトを配置す
ることで行なわれている。この補正のスリツトを用いた
一例を第４図に示す。

第４図（ａ）は従来の光源部（１）を上部から見た平
面図、同図（ｂ）はＹ−Ｙ線矢視断面図、同図（ｃ）は
Ｘ−Ｘ線矢視断面図である。図において、（２）は光源
ランプ（以下「ランプ」という）、（３）は平面スリッ
ト部材（以下、「平面スリット」という）、（3a）はス
リツト、（４）は石英ガラス、（５）は外囲器、（６）
は平面スリツト（３）を載置する段部で、ランプ（２）
はＸ軸にそつて配置されている。

このように構成された光源部（１）は、ランプ（２）
より放射された光（70）は、スリツト（3a）を通過し、
石英ガラス（４）を通つて放射される。

この放射される光（70）をＹ軸上の一点Ａから見る
と、光源（２）は、点光源ａになる。また、Ｘ軸上の一
点Ｂから見ると点光源ｂになり、ａ点から横にずれるこ
とになる。このことは、カラー陰極線管のフエースプレ
ート内面に蛍光体モザイクを焼付ける際、ランプ（２）
より発せられ、シヤドウマスクの電子ビーム通過孔を通
つた光がスリツト（3a）がない場合に比べてＸ軸方向で
はパネルの中心点より遠ざかる方向にＹ軸方向では、パ
ネルの中心点に近づく方向に移動した点を照射すること
になる。これは平面スリツト（３）を用いないでパネル
（60）に形成した蛍光体モザイクに対して、第５図に示
すように、Ｘ軸上では蛍光体モザイク（6a），（7a），
（8a），（6b），（7b），（8b）に対して電子ビームの
射突位置（9a），（10a），（11a），（9b），（10
b），（11b）が外側に、Ｙ軸上では蛍光体モザイク（12
a），（13a），（14a），（12b），（13b），（14b）に
対して電子ビームの照射位置（15a），（16a），（17
a），（15b），（16b），（17b）が内側に照射されるよ
うな場合、平面スリツト（３）を用いれば、蛍光体モザ
イクの位置を、電子ビームの射突位置に一致させること
ができる。

なお、露光時の補正条件によつては、平面スリツト
（３）に代えて、凸型、または凹型、または任意の曲面
に形成したスリツトを用いる場合がある。

第６図はＹ軸方向に凹の曲面に形成したスリツト（1
8）を用いた光源部の構成を示す図で同図（ａ）は平面
図、同図（ｂ）はＹ−Ｙ線矢視断面図、同図（ｃ）はＸ
−Ｘ線矢視断面図である。この凹型スリツト（18）の目
的は、平面スリツト（３）で第５図に示すようなX,Y軸
方向の電子ビームと蛍光体モザイクに一致させる補正を
行なつた後に第７図に示すようなフエースプレート（6
0）のコーナ部の電子ビームの射突点（19a）〜（19
d），（20a）〜（20d），（21a）〜（21d）と、蛍光体
モザイク（22a）〜（22d），（23a）〜（23d），（24
a）〜（24d）との不一致を補正する際に有効である。

［考案が解決しようとする課題］従来の露光装置では、第６図に示すように、段部
（６）に凹型スリツト（18）を挟み込んだ構造となつて
いる。この凹型スリツト（18）のスリツト（18a）のＹ
軸方向の中心点と、ランプ（２）の管軸とのずれは、10
0分の数mm程度でもつて位置決めする必要があり、例え
ば、第８図に示すように凹型スリツト（18）がＹ軸方向
上方にずれて装着された場合には、Ｙ軸方向上部のコー
ナ部ではその補正による露光が不足、逆にＹ軸方向下部
のコーナ部では過多となり第９図に示すように電子ビー
ムの射突点（25a）〜（25d），（26a）〜（26d），（27
a）〜（27d）と、蛍光体モザイクの位置（28a）〜（28
d），（29a）〜（29d），（30a）〜（30d）がフエース
プレート（60）の上部と下部とでアンバランスが生じ
る。

この考案は、上記の様な問題点を解消するためになさ
れたものでスリツトの位置を高精度で合わせることので
きる露光装置を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］この考案に係る露光装置は、Ｘ軸方向に延在する光源
部と、Ｘ軸と直交するＹ軸方向に長いスリットが形成さ
れ、このスリットのＹ軸方向の中心点を示す標識が上面
に形成されたスリット部材と、このスリット部材が装着
される可動台と、この可動台をＹ軸方向に高精度で移動
させて固定するよう構成された位置調節手段とを備え、
位置調節手段によってスリット部材を光源部に対して所
定位置に調節するようにしたものである。

［作用］この考案によるスリツトの位置調節手段は、スリツト
部材を装着した可動台を、Ｙ軸方向に微少量ずつ変位さ
せることができる。

このため、露光装置のパネル載置面から顕微鏡で測定
することにより光源ランプの管軸とスリツトのＹ軸中心
点とを高精度で合わせることができる。

［考案の実施例］以下、この考案の一実施例について説明する。第１図
はこの考案の一実施例の光源部を示す図で、同図（ａ）
は光源部（１）を上部からみた平面図で、同図（ｂ）は
Ｙ−Ｙ線矢視断面図、同図（ｃ）はＸ−Ｘ線矢視断面図
である。図において（31），（32）は凹面スリツト部材
（以下、「凹面スリツト」という）（18）の上面に形成
されているけがき線で、スリツト（18a）のＹ軸方向の
中心点を通り、Ｘ軸と平行に刻まれており、上方から光
を当てて判別できるように形成されている。（33）は凹
面スリツト（18）が段部（33a）に装着される可動台
で、位置調節ねじ（34）を回転させることにより、可動
台（33）が曲面スリツト（18）を装着したままＸ軸と平
行にＹ軸方向に微少量ずつ移動させることができるよう
に構成されている。

つぎにこの実施例の作用を説明する。凹面スリツト
（18）は可動台（33）の段部（33a）に、上から挿入し
て固定される。凹面スリツト（18）の上面には、スリツ
ト（18a）のＹ軸方向の中心位置を示すけがき線（3
1），（32）が刻み込んであるので、このけがき線（3
1），（32）を結んだ線とランプ（２）の管軸の中心線
とが一致するように、露光装置（50）のパネル載置面か
ら顕微鏡で見ながら位置調節ねじ（34）を回転させ可動
台（33）を、Ｙ軸方向に移動させて合わせる。

このようにすればランプ（２）の管軸とスリツト（18
a）のＹ軸中心点が高精度で一致させることができるの
で、フエースプレート（60）に蛍光体モザイクを焼き付
ける際、フエースプレート（60）の面上の上下でアンバ
ランスな位置に焼き付けられることがなくなる。

なお、上記実施例では、スリツト部材（18）の上面に
けがき線（31），（32）を刻んでスリツトの透孔（18
a）のＹ軸中心位置を表示する構造としたが、例えば、
第２図に示すように、スリツト部材（18）の上部と下部
を色分けしてスリツト（18）の中心位置を表示するよう
にしてもよい。

また、上記実施例では、可動台（33）を、位置調節ね
じ（34）でＹ軸方向に移動させる構成としたが、この移
動機構に限られるものでないことはいうまでもない。

［考案の効果］以上のように、この考案によれば、露光装置の光源部
に配設されるスリツトが形成されている部材に、当該ス
リツトのＹ軸方向の中心点を表示する標識を設けるとと
もに、このスリツト部材を可動台に取り付け、この可動
台をＹ軸方向の精密に移動させる手段とを備えたので、
光源ランプ管軸とスリツトのＹ軸の中心点を高精度でも
つて一致させることができるのでフエースプレートに焼
き付ける蛍光体モザイクの位置を高精度で行える露光装
置が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例の光源部の構成を示す図、
第２図はこの実施例における曲面スリツトの他の構成例
を示す図、第３図は露光装置の構成を示す断面図、第４
図は従来の平面スリツトを用いた光源部の構成を示す
図、第５図は平面スリツトの補正効果を説明するための
図、第６図は従来の凹型スリツトを用いた光源部の構成
を示す図、第７図は凹型スリツトの補正効果を説明する
ための図、第８図は凹型スリツトがＹ軸方向に上方にず
れて装着された状態を示す図、第９図はこの場合に生じ
る露光のずれを説明するための図である。（１）……光源部、（２）……光源ランプ、（４）……
石英ガラス、（５）……外囲器、（６）……段部、（1
8）……凹型スリツト部材、（18a）……スリツト、（2
0）……補正レンズ、（31），（32）……けがき線、（3
3）……可動台、（33a）……段部、（34）……位置調節
ねじ。なお、各図中、同一符号は同一、または相当部分を示
す。

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】Ｘ軸方向に延在する光源部と、Ｘ軸と直交
するＹ軸方向に長いスリットが形成され、このスリット
のＹ軸方向の中心点を示す標識が上面に形成されたスリ
ット部材と、このスリット部材が装着される可動台と、
この可動台をＹ軸方向に高精度で移動させて固定するよ
う構成された位置調節手段とを備え、上記位置調節手段
によって上記スリット部材を上記光源部に対して所定位
置に調節することを特徴とする露光装置。