JP2746064B2 - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JP2746064B2
JP2746064B2 JP5187728A JP18772893A JP2746064B2 JP 2746064 B2 JP2746064 B2 JP 2746064B2 JP 5187728 A JP5187728 A JP 5187728A JP 18772893 A JP18772893 A JP 18772893A JP 2746064 B2 JP2746064 B2 JP 2746064B2
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correction lens
lamp
face panel
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exposure apparatus
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JPH0745188A (ja
Inventor
伸光 相原
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関西日本電気株式会社
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は露光装置に関し、詳しく
は、カラー陰極線管の製造において、フェースパネル内
面に蛍光膜を形成するために使用される露光装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】カラー陰極線管の製造において、フェー
スパネルの内面にRGB蛍光体からなる蛍光膜を形成す
るに際して、フェースパネル内面への蛍光膜の被着に先
立って、そのフェースパネル内面に形成された感光性被
膜〔レジスト膜〕をRGB蛍光体のパターンに応じて露
光する露光工程がある。
【0003】この露光工程で使用される露光装置は、図
4に示すように露光台1の下部にランプ光源2を配置
し、その上方にメイン補正レンズ3及び調光フィルタ4
を配置した構造のもので、その露光台1の上端部に、陰
極線管バルブの一部を構成するフェースパネル5を位置
決め載置する。フェースパネル5の内面にはシャドウマ
スクが予め取り付けられており、そのフェースパネル5
は、メイン補正レンズ3及び調光フィルタ4を介してラ
ンプ光源2に対向した状態にセッティングされる。この
露光装置では、ランプ光源2からの投射光をメイン補正
レンズ3で軌道修正することにより、その投射光が陰極
線管における電子ビームの照射軌跡を再現するようにし
て、フェースパネル5内面の感光性被膜〔レジスト膜〕
上にランディングして露光する。このように、メイン補
正レンズ3により、ランプ光源2からの投射光のランデ
ィング位置を正確に位置合わせするようにしている。
尚、調光フィルタ4は、フェースパネル5内面の感光性
被膜に照射される投射光の光量を調整するためのもので
ある。
【0004】一方、ランプ光源2は、図5及び図6に示
すように棒状の水銀灯6をランプハウス7に収納した構
造を有し、そのランプハウス7のフェースパネル対向面
に開口凹部8を形成し、その開口凹部8内で、水銀灯6
の発光部9が、その両側から筒状部材10で被覆されて
その筒状部材10間に形成されたスリット11から露呈
する。ランプハウス7の開口凹部8を石英製からなる平
板状の透明板12で閉塞し、その透明板12を締め付け
リング13により気密的に固定し、その開口凹部8内に
冷却水を充満させて循環させることにより、水銀灯6の
発光部9を冷却するようにしている。
【0005】尚、フェースパネル5の品種が変更された
場合に適用できる露光装置としては、特開昭61−51
726号公報に開示されたものがある。その他、フェー
スパネル5の品種変更によっては、必要に応じて、プリ
補正レンズ14と称するものを使用する場合もある。こ
のプリ補正レンズ14は、図6鎖線で示すように上述し
た透明板12に一体的に形成された石英製のもので、例
えば、フェースパネル対向側に凹球面を有する。このプ
リ補正レンズ14では、メイン補正レンズ3によるラン
ディング位置の修正に先立って、水銀灯6の発光部近傍
位置でその発光部9からの投射光をプリ補正レンズ14
で簡単に軌道修正することにより、その投射光の感光性
被膜へのランディング位置を簡易に修正するようにして
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うにフェースパネル5の品種変更により、プリ補正レン
ズ14を一体的に形成した透明板12を使用する場合と
使用しない場合とがある。そのため、その品種変更によ
り、プリ補正レンズ14を有する透明板12をランプハ
ウス7に取り付けたり、或いは、そのランプハウス7か
ら取り外したりしなければならない。この品種変更時の
透明板12の取り付け又は取り外しは、前述したように
ランプハウス7に透明板12を締め付けリング13で気
密的に固定した構造であるので、その取り付け又は取り
外しの交換作業に手間がかかり、迅速な品種対応が行な
えない。
【0007】また、プリ補正レンズ14を一体的に有す
る透明板12では、その取り付け時、プリ補正レンズ1
4のセンタと水銀灯6の発光中心とがずれた状態となる
可能性が大きく、その水銀灯6からの投射光のランディ
ング位置を簡易に修正することが精度よく行なえないこ
とがあった。このようなプリ補正レンズ14のセンタと
水銀灯6の発光中心とのずれは、ランプハウス7の開口
凹部8内を清掃する時などのメンテナンスで、プリ補正
レンズ14を有する透明板12を取り付ける場合にも同
様に生じることがある。
【0008】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、プリ補正レン
ズを使用する場合と使用しない場合とで部品交換作業を
簡略化し、プリ補正レンズのセンタと水銀灯の発光中心
とを簡便な手段で位置合わせし得る露光装置を提供する
ことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明は、位置決めされたフェー
スパネルの内面に対向させて、水銀灯をランプハウスに
収納したランプ光源を配置し、そのフェースパネルとラ
ンプ光源間にメイン補正レンズを介設し、ランプ光源の
水銀灯からの投射光をメイン補正レンズを介してフェー
スパネル内面に照射し、そのフェースパネル内面を露光
する露光装置において、ランプハウスの開口凹部に配設
した透明板に、プリ補正レンズを着脱自在かつXYθ方
向に位置調整可能に配置したことを特徴とする。
【0010】尚、ランプ光源は、ランプハウスのフェー
スパネル対向面に形成されて水銀灯の発光部がスリット
を介して露呈させる開口凹部を有し、その開口凹部に透
明板を締め付けリングで気密的に封口し、その透明板
に、XYθ位置出し機構を介してプリ補正レンズを着脱
自在に載置した構造を有し、更に、締め付けリングにそ
の周方向に沿って凹溝を刻設し、その凹溝と嵌合する突
起を設けた取り付け座に、XYθ位置出し機構を介して
プリ補正レンズを載置することが望ましい。
【0011】
【作用】本発明に係る露光装置では、ランプハウスの水
銀灯に対してプリ補正レンズをXYθ方向に位置調整可
能としたことにより、水銀灯の発光部での発光中心に対
してプリ補正レンズのセンタを位置合わせすることが容
易となる。また、そのプリ補正レンズを透明板に対して
着脱自在としたことにより、フェースパネルの品種変更
などがあっても、プリ補正レンズを必要に応じて装着す
ればよいので、簡単な操作で迅速な交換作業が実現でき
る。
【0012】
【実施例】本発明に係る露光装置の実施例を図1乃至図
3に示して説明する。尚、図4乃至図6と同一部分には
同一参照符号を付して重複説明は省略する。
【0013】本発明の特徴は、図1(a)(b)に示す
ランプ光源20にある。具体的に、ランプ光源20は、
従来と同様、棒状の水銀灯6をランプハウス7に収納し
た構造を有し、そのランプハウス7のフェースパネル対
向面に開口凹部8を形成し、その開口凹部8内で、水銀
灯6の発光部9が、その両側から筒状部材10で被覆さ
れてその筒状部材10間に形成されたスリット11から
露呈する。ランプハウス7の開口凹部8を石英製からな
る平板状の透明板12で閉塞し、その透明板12を締め
付けリング13により気密的に固定し、その開口凹部8
内に冷却水を充満させて循環させることにより、水銀灯
6の発光部9を冷却するようにしている〔図5及び図6
参照〕。
【0014】本発明のランプ光源20は、図2に示すよ
うにランプハウス7にプリ補正レンズ21を着脱自在な
構造とする。即ち、ランプハウス7に透明板12を固定
する締め付けリング13の上面にその周方向に沿って凹
溝22を刻設し、その凹溝22と嵌合する突起23を締
め付けリング13との対向面に設けたリング状の取り付
け座24を具備し、その取り付け座24に、XYθ位置
出し機構25を介してプリ補正レンズ21を載置する。
このXYθ位置出し機構25は、図示しないが、取り付
け座24に対してθ方向に回転可能に軸支された回転テ
ーブルと、その回転テーブルに対してXY方向に移動可
能に搭載されたXYテーブルとからなり、このXYテー
ブル上にプリ補正レンズ21が載置される。尚、これら
回転テーブルとXYテーブルからなるXYθ位置出し機
構25は、ランプハウス7の透明板12下方に位置する
水銀灯6の発光部9からの投射光が通過してプリ補正レ
ンズ21に達するように中空のリング形状とする必要が
ある。
【0015】このランプ光源20では、フェースパネル
5の品種変更などがあった場合、プリ補正レンズ21を
必要に応じてランプハウス7に装着する。即ち、プリ補
正レンズ21の下部ににある取り付け座24をランプハ
ウス7の締め付けリング13上に載置し、その締め付け
リング13の凹溝22に取り付け座24の突起23を嵌
合させて大まかに位置合わせする。その上で、図3
(a)(b)に示すようにプリ補正レンズ21のセンタ
O’と水銀灯6の発光部9での発光中心Oとが位置ずれ
している場合には、XYθ位置出し機構25の回転テー
ブル及びXYテーブルを駆動させることにより、プリ補
正レンズ21をθ方向及びXY方向に移動させてそのセ
ンタO’を水銀灯6の発光部9での発光中心Oに位置合
わせする。この時、プリ補正レンズ21は水銀灯6の発
光部近傍位置で軸合わせされることになるので、高精度
の位置決めが可能となる。
【0016】また、フェースパネル5の品種によってプ
リ補正レンズ21が不要である場合には、プリ補正レン
ズ21を取り付け座24ごとランプハウス7から取り外
すことにより、平板状の透明板12のみを有するランプ
ハウス7とすることができ、その透明板12をランプハ
ウス7から取り外す必要がなく、迅速な品種対応が実現
できる。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、ランプハウスの水銀灯
に対してプリ補正レンズをXYθ方向に位置調整可能と
したことにより、水銀灯の発光部での発光中心に対して
プリ補正レンズのセンタを位置合わせすることが簡便な
手段で容易となり、而も、そのプリ補正レンズの位置合
わせが水銀灯の発光部近傍位置で行なえるので、高精度
の位置決めが可能となる。また、そのプリ補正レンズを
透明板に対して着脱自在としたことにより、フェースパ
ネルの品種変更などがあっても、プリ補正レンズを必要
に応じて装着するだけで済むので、簡単な操作で迅速な
交換作業が実現できて作業性が大幅に改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を説明するためのもので、
(a)は露光装置の概略構成図、(b)は(a)の露光
装置に使用されるランプ光源を示す平面図
【図2】図1のランプ光源の具体的構造を示す斜視図
【図3】(a)(b)はプリ補正レンズのセンタと水銀
灯の発光中心との位置合わせ状態を示す説明図
【図4】従来の露光装置を示す概略構成図
【図5】図4の露光装置に使用するランプ光源を示す平
面図
【図6】図5のランプ光源の断面図
【符号の説明】
3 メイン補正レンズ 5 フェースパネル 6 水銀灯 7 ランプハウス 8 開口凹部 9 発光部 11 スリット 12 透明板 13 締め付けリング 20 ランプ光源 21 プリ補正レンズ 25 XYθ位置出し機構

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】位置決めされたフェイスパネルノ内面に対
    向させて、水銀灯をランプハウスに収納したランプ光源
    を配置し、そのフェースパネルとランプ光源間にメイン
    補正レンズを介設し、ランプ光源の水銀灯からの投射光
    をメイン補正レンズを介してフェースパネル内面に照射
    し、そのフェースパネル内面を露光する露光装置におい
    て、前記ランプ光源は、ランプハウスのフェースパネル
    対向面に形成されて水銀灯の発光部がスリットを介して
    露呈させる開口凹部を有し、その開口凹部に透明板を締
    め付けリングで気密的に封口し、その透明板に、XYθ
    位置出し機構を介してプリ補正レンズを着脱自在に載置
    したことを特徴とする露光装置。
  2. 【請求項2】前記締め付けリングにその周方向に沿って
    凹溝を刻設し、その凹溝と嵌合する突起を設けた取り付
    け座に、XYθ位置出し機構を介してプリ補正レンズ
    載置したことを特徴とする請求項1記載の露光装置。
JP5187728A 1993-07-29 1993-07-29 露光装置 Expired - Lifetime JP2746064B2 (ja)

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JPS6151726A (ja) * 1984-08-21 1986-03-14 Toshiba Corp カラ−ブラウン管螢光面の露光装置

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