JPH0745188A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品交換作業を簡略化し、プリ補正レンズを
簡便な手段で位置合わせすることにある。 【構成】 フェースパネル５の内面に対向させて、水銀
灯６をランプハウス７に収納したランプ光源２０を配置
し、フェースパネル５とランプ光源２０間にメイン補正
レンズ３を介設し、水銀灯６からの投射光をメイン補正
レンズ３を介してフェースパネル５内面に照射し、フェ
ースパネル５の内面を露光する。ランプ光源２０は、ラ
ンプハウス７のフェースパネル対向面に形成されて水銀
灯６の発光部９がスリット１１を介して露呈させる開口
凹部８を有し、開口凹部８に透明板１２を締め付けリン
グ１３で気密的に封口し、透明板１２にＸＹθ位置出し
機構２５を介してプリ補正レンズ２１を着脱自在に載置
し、ランプ光源２０の水銀灯６の発光部近傍位置にプリ
補正レンズ２１をＸＹθ位置調整可能に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は露光装置に関し、詳しく
は、カラー陰極線管の製造において、フェースパネル内
面に蛍光膜を形成するために使用される露光装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】カラー陰極線管の製造において、フェー
スパネルの内面にＲＧＢ蛍光体からなる蛍光膜を形成す
るに際して、フェースパネル内面への蛍光膜の被着に先
立って、そのフェースパネル内面に形成された感光性被
膜〔レジスト膜〕をＲＧＢ蛍光体のパターンに応じて露
光する露光工程がある。

【０００３】この露光工程で使用される露光装置は、図
４に示すように露光台１の下部にランプ光源２を配置
し、その上方にメイン補正レンズ３及び調光フィルタ４
を配置した構造のもので、その露光台１の上端部に、陰
極線管バルブの一部を構成するフェースパネル５を位置
決め載置する。フェースパネル５の内面にはシャドウマ
スクが予め取り付けられており、そのフェースパネル５
は、メイン補正レンズ３及び調光フィルタ４を介してラ
ンプ光源２に対向した状態にセッティングされる。この
露光装置では、ランプ光源２からの投射光をメイン補正
レンズ３で軌道修正することにより、その投射光が陰極
線管における電子ビームの照射軌跡を再現するようにし
て、フェースパネル５内面の感光性被膜〔レジスト膜〕
上にランディングして露光する。このように、メイン補
正レンズ３により、ランプ光源２からの投射光のランデ
ィング位置を正確に位置合わせするようにしている。
尚、調光フィルタ４は、フェースパネル５内面の感光性
被膜に照射される投射光の光量を調整するためのもので
ある。

【０００４】一方、ランプ光源２は、図５及び図６に示
すように棒状の水銀灯６をランプハウス７に収納した構
造を有し、そのランプハウス７のフェースパネル対向面
に開口凹部８を形成し、その開口凹部８内で、水銀灯６
の発光部９が、その両側から筒状部材１０で被覆されて
その筒状部材１０間に形成されたスリット１１から露呈
する。ランプハウス７の開口凹部８を石英製からなる平
板状の透明板１２で閉塞し、その透明板１２を締め付け
リング１３により気密的に固定し、その開口凹部８内に
冷却水を充満させて循環させることにより、水銀灯６の
発光部９を冷却するようにしている。

【０００５】尚、フェースパネル５の品種が変更された
場合に適用できる露光装置としては、特開昭６１−５１
７２６号公報に開示されたものがある。その他、フェー
スパネル５の品種変更によっては、必要に応じて、プリ
補正レンズ１４と称するものを使用する場合もある。こ
のプリ補正レンズ１４は、図６鎖線で示すように上述し
た透明板１２に一体的に形成された石英製のもので、例
えば、フェースパネル対向側に凹球面を有する。このプ
リ補正レンズ１４では、メイン補正レンズ３によるラン
ディング位置の修正に先立って、水銀灯６の発光部近傍
位置でその発光部９からの投射光をプリ補正レンズ１４
で簡単に軌道修正することにより、その投射光の感光性
被膜へのランディング位置を簡易に修正するようにして
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うにフェースパネル５の品種変更により、プリ補正レン
ズ１４を一体的に形成した透明板１２を使用する場合と
使用しない場合とがある。そのため、その品種変更によ
り、プリ補正レンズ１４を有する透明板１２をランプハ
ウス７に取り付けたり、或いは、そのランプハウス７か
ら取り外したりしなければならない。この品種変更時の
透明板１２の取り付け又は取り外しは、前述したように
ランプハウス７に透明板１２を締め付けリング１３で気
密的に固定した構造であるので、その取り付け又は取り
外しの交換作業に手間がかかり、迅速な品種対応が行な
えない。

【０００７】また、プリ補正レンズ１４を一体的に有す
る透明板１２では、その取り付け時、プリ補正レンズ１
４のセンタと水銀灯６の発光中心とがずれた状態となる
可能性が大きく、その水銀灯６からの投射光のランディ
ング位置を簡易に修正することが精度よく行なえないこ
とがあった。このようなプリ補正レンズ１４のセンタと
水銀灯６の発光中心とのずれは、ランプハウス７の開口
凹部８内を清掃する時などのメンテナンスで、プリ補正
レンズ１４を有する透明板１２を取り付ける場合にも同
様に生じることがある。

【０００８】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、プリ補正レン
ズを使用する場合と使用しない場合とで部品交換作業を
簡略化し、プリ補正レンズのセンタと水銀灯の発光中心
とを簡便な手段で位置合わせし得る露光装置を提供する
ことにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明は、位置決めされたフェー
スパネルの内面に対向させて、水銀灯をランプハウスに
収納したランプ光源を配置し、そのフェースパネルとラ
ンプ光源間にメイン補正レンズを介設し、ランプ光源の
水銀灯からの投射光をメイン補正レンズを介してフェー
スパネル内面に照射し、そのフェースパネル内面を露光
する露光装置において、ランプ光源の水銀灯の発光部近
傍位置にプリ補正レンズをＸＹθ方向に位置調整可能に
配置したことを特徴とする。

【００１０】尚、ランプ光源は、ランプハウスのフェー
スパネル対向面に形成されて水銀灯の発光部がスリット
を介して露呈させる開口凹部を有し、その開口凹部に透
明板を締め付けリングで気密的に封口し、その透明板
に、ＸＹθ位置出し機構を介してプリ補正レンズを着脱
自在に載置した構造を有し、更に、締め付けリングにそ
の周方向に沿って凹溝を刻設し、その凹溝と嵌合する突
起を設けた取り付け座に、ＸＹθ位置出し機構を介して
プリ補正レンズを載置することが望ましい。

【００１１】

【作用】本発明に係る露光装置では、ランプハウスの水
銀灯に対してプリ補正レンズをＸＹθ方向に位置調整可
能としたことにより、水銀灯の発光部での発光中心に対
してプリ補正レンズのセンタを位置合わせすることが容
易となる。また、そのプリ補正レンズを透明板に対して
着脱自在としたことにより、フェースパネルの品種変更
などがあっても、プリ補正レンズを必要に応じて装着す
ればよいので、簡単な操作で迅速な交換作業が実現でき
る。

【００１２】

【実施例】本発明に係る露光装置の実施例を図１乃至図
３に示して説明する。尚、図４乃至図６と同一部分には
同一参照符号を付して重複説明は省略する。

【００１３】本発明の特徴は、図１（ａ）（ｂ）に示す
ランプ光源２０にある。具体的に、ランプ光源２０は、
従来と同様、棒状の水銀灯６をランプハウス７に収納し
た構造を有し、そのランプハウス７のフェースパネル対
向面に開口凹部８を形成し、その開口凹部８内で、水銀
灯６の発光部９が、その両側から筒状部材１０で被覆さ
れてその筒状部材１０間に形成されたスリット１１から
露呈する。ランプハウス７の開口凹部８を石英製からな
る平板状の透明板１２で閉塞し、その透明板１２を締め
付けリング１３により気密的に固定し、その開口凹部８
内に冷却水を充満させて循環させることにより、水銀灯
６の発光部９を冷却するようにしている〔図５及び図６
参照〕。

【００１４】本発明のランプ光源２０は、図２に示すよ
うにランプハウス７にプリ補正レンズ２１を着脱自在な
構造とする。即ち、ランプハウス７に透明板１２を固定
する締め付けリング１３の上面にその周方向に沿って凹
溝２２を刻設し、その凹溝２２と嵌合する突起２３を締
め付けリング１３との対向面に設けたリング状の取り付
け座２４を具備し、その取り付け座２４に、ＸＹθ位置
出し機構２５を介してプリ補正レンズ２１を載置する。
このＸＹθ位置出し機構２５は、図示しないが、取り付
け座２４に対してθ方向に回転可能に軸支された回転テ
ーブルと、その回転テーブルに対してＸＹ方向に移動可
能に搭載されたＸＹテーブルとからなり、このＸＹテー
ブル上にプリ補正レンズ２１が載置される。尚、これら
回転テーブルとＸＹテーブルからなるＸＹθ位置出し機
構２５は、ランプハウス７の透明板１２下方に位置する
水銀灯６の発光部９からの投射光が通過してプリ補正レ
ンズ２１に達するように中空のリング形状とする必要が
ある。

【００１５】このランプ光源２０では、フェースパネル
５の品種変更などがあった場合、プリ補正レンズ２１を
必要に応じてランプハウス７に装着する。即ち、プリ補
正レンズ２１の下部ににある取り付け座２４をランプハ
ウス７の締め付けリング１３上に載置し、その締め付け
リング１３の凹溝２２に取り付け座２４の突起２３を嵌
合させて大まかに位置合わせする。その上で、図３
（ａ）（ｂ）に示すようにプリ補正レンズ２１のセンタ
Ｏ’と水銀灯６の発光部９での発光中心Ｏとが位置ずれ
している場合には、ＸＹθ位置出し機構２５の回転テー
ブル及びＸＹテーブルを駆動させることにより、プリ補
正レンズ２１をθ方向及びＸＹ方向に移動させてそのセ
ンタＯ’を水銀灯６の発光部９での発光中心Ｏに位置合
わせする。この時、プリ補正レンズ２１は水銀灯６の発
光部近傍位置で軸合わせされることになるので、高精度
の位置決めが可能となる。

【００１６】また、フェースパネル５の品種によってプ
リ補正レンズ２１が不要である場合には、プリ補正レン
ズ２１を取り付け座２４ごとランプハウス７から取り外
すことにより、平板状の透明板１２のみを有するランプ
ハウス７とすることができ、その透明板１２をランプハ
ウス７から取り外す必要がなく、迅速な品種対応が実現
できる。

【００１７】

【発明の効果】本発明によれば、ランプハウスの水銀灯
に対してプリ補正レンズをＸＹθ方向に位置調整可能と
したことにより、水銀灯の発光部での発光中心に対して
プリ補正レンズのセンタを位置合わせすることが簡便な
手段で容易となり、而も、そのプリ補正レンズの位置合
わせが水銀灯の発光部近傍位置で行なえるので、高精度
の位置決めが可能となる。また、そのプリ補正レンズを
透明板に対して着脱自在としたことにより、フェースパ
ネルの品種変更などがあっても、プリ補正レンズを必要
に応じて装着するだけで済むので、簡単な操作で迅速な
交換作業が実現できて作業性が大幅に改善できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を説明するためのもので、
（ａ）は露光装置の概略構成図、（ｂ）は（ａ）の露光
装置に使用されるランプ光源を示す平面図

【図２】図１のランプ光源の具体的構造を示す斜視図

【図３】（ａ）（ｂ）はプリ補正レンズのセンタと水銀
灯の発光中心との位置合わせ状態を示す説明図

【図４】従来の露光装置を示す概略構成図

【図５】図４の露光装置に使用するランプ光源を示す平
面図

【図６】図５のランプ光源の断面図

【符号の説明】

３ メイン補正レンズ ５ フェースパネル ６ 水銀灯 ７ ランプハウス ８ 開口凹部 ９ 発光部 １１ スリット １２ 透明板 １３ 締め付けリング ２０ ランプ光源 ２１ プリ補正レンズ ２５ ＸＹθ位置出し機構

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 位置決めされたフェースパネルの内面に
   対向させて、水銀灯をランプハウスに収納したランプ光
   源を配置し、そのフェースパネルとランプ光源間にメイ
   ン補正レンズを介設し、ランプ光源の水銀灯からの投射
   光をメイン補正レンズを介してフェースパネル内面に照
   射し、そのフェースパネル内面を露光する露光装置にお
   いて、ランプ光源の水銀灯の発光部近傍位置にプリ補正
   レンズをＸＹθ方向に位置調整可能に配置したことを特
   徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記ランプ光源は、ランプハウスのフェ
   ースパネル対向面に形成されて水銀灯の発光部がスリッ
   トを介して露呈させる開口凹部を有し、その開口凹部に
   透明板を締め付けリングで気密的に封口し、その透明板
   に、ＸＹθ位置出し機構を介してプリ補正レンズを着脱
   自在に載置したことを特徴とする請求項１記載の露光装
   置。
3. 【請求項３】 前記締め付けリングにその周方向に沿っ
   て凹溝を刻設し、その凹溝と嵌合する突起を設けた取り
   付け座に、ＸＹθ位置出し機構を介してプリ補正レンズ
   を載置したことを特徴とする請求項２記載の露光装置。