JP2505562B2 - センサ特性補償形温度制御方法及び装置 - Google Patents
センサ特性補償形温度制御方法及び装置Info
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- JP2505562B2 JP2505562B2 JP1013217A JP1321789A JP2505562B2 JP 2505562 B2 JP2505562 B2 JP 2505562B2 JP 1013217 A JP1013217 A JP 1013217A JP 1321789 A JP1321789 A JP 1321789A JP 2505562 B2 JP2505562 B2 JP 2505562B2
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- temperature sensor
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は温度センサ特性の変化を自動的に補償する形
式の温度制御方法及び装置に関し、とくに過酷な温度条
件のもとで使用される電気炉等における温度センサの特
性の劣化を自動的に補償し温度制御の性能向上と温度セ
ンサの長寿命化を図ったセンサ特性補償形温度制御方法
及び装置に関する。
式の温度制御方法及び装置に関し、とくに過酷な温度条
件のもとで使用される電気炉等における温度センサの特
性の劣化を自動的に補償し温度制御の性能向上と温度セ
ンサの長寿命化を図ったセンサ特性補償形温度制御方法
及び装置に関する。
従来の技術 第１図の電気炉１の炉温の制御は、炉壁の発熱体２を
炉内温度センサ３と温度調節器４の設定温度との偏差に
よって選択的に付勢することによって行なわれる。発熱
体２は例えば抵抗形電熱線である。ゲートSCR装置など
のスイッチ回路５を温度調節器４からの制御信号によっ
て切換えることにより、発熱体２への電力供給を調節し
て炉温を制御する。
炉内温度センサ３と温度調節器４の設定温度との偏差に
よって選択的に付勢することによって行なわれる。発熱
体２は例えば抵抗形電熱線である。ゲートSCR装置など
のスイッチ回路５を温度調節器４からの制御信号によっ
て切換えることにより、発熱体２への電力供給を調節し
て炉温を制御する。
電気炉用温度センサ３の典型的なものは熱電対である
が、長期にわたり高温にさらされると熱電対の熱起電力
Ｓは第2A図に示される様に時間の経過とともに低下しそ
の特性が劣化する。温度センサ３の特性劣化により炉温
制御に生ずる誤差は製品の品質に重大な影響を及ぼすの
で、温度センサは、定期的に取外してその性能を検定す
るか又は一定期間毎に若しくは製品分留りが所定レベル
へ低下する毎に交換されてきた。
が、長期にわたり高温にさらされると熱電対の熱起電力
Ｓは第2A図に示される様に時間の経過とともに低下しそ
の特性が劣化する。温度センサ３の特性劣化により炉温
制御に生ずる誤差は製品の品質に重大な影響を及ぼすの
で、温度センサは、定期的に取外してその性能を検定す
るか又は一定期間毎に若しくは製品分留りが所定レベル
へ低下する毎に交換されてきた。
発明が解決しようとする課題 温度センサの取外し検定には、取外しのために電気炉
等の運転の停止を要するか又は少なくとも炉温の急変を
招く不都合がある。
等の運転の停止を要するか又は少なくとも炉温の急変を
招く不都合がある。
温度センサの比較的頻繁な交換には、単に交換の手間
を要するだけでなく、交換のたびごとに少なくとも炉温
の急変を招き交換当初における製品の品質への影響を避
けることができない問題点がある。
を要するだけでなく、交換のたびごとに少なくとも炉温
の急変を招き交換当初における製品の品質への影響を避
けることができない問題点がある。
熱電対よりも高級で安定度が高く且つ寿命が長い温度
センサを使うことも考えられる。例えば高品質の「High
-temperature optical fiber thermometer」が、R.R.Di
lsによりJournal ofApplied Physics,54（３）,3,1983
に記載されており、また「温度測定装置」が特開昭61-2
10922号公報に開示されている。しかし、トンネル炉等
のように多数の点における温度を制御するために多数の
高品質温度センサを使用する場合には温度制御装置が非
常に高価となる欠点を免れない。
センサを使うことも考えられる。例えば高品質の「High
-temperature optical fiber thermometer」が、R.R.Di
lsによりJournal ofApplied Physics,54（３）,3,1983
に記載されており、また「温度測定装置」が特開昭61-2
10922号公報に開示されている。しかし、トンネル炉等
のように多数の点における温度を制御するために多数の
高品質温度センサを使用する場合には温度制御装置が非
常に高価となる欠点を免れない。
従って本発明の目的は、温度センサ特性の変化を自動
的に補償する形式の温度制御方法及び装置を提供するに
ある。
的に補償する形式の温度制御方法及び装置を提供するに
ある。
問題点を解決するための手段 第１図の実施例を参照するに、本発明の温度制御方法
は、固定温度センサ３の出力と目標温度（ｔ）に初期設
定される設定温度（tSV）との間の偏差により発熱体２
を調節して温度を目標温度に制御する方法において、固
定温度センサ３の出力補償時に基準温度センサ６を固定
温度センサ３の近傍へ着脱自在に挿入し、上記目標温度
（ｔ）に対する上記基準温度センサ６の検出温度の超過
又は不足差が一定許容限度の外であるとき当該超過又は
不足に応じて上記設定温度（tSV）を先行設定温度から
上記許容限界の下限又は上限に対応する温度まで変えた
再設定温度とした後、上記固定温度センサ３の出力と再
設定温度（tSV）との間の偏差による上記制御を継続し
てなるものである。補償回路８は好ましくはコンピュー
タによって構成される。
は、固定温度センサ３の出力と目標温度（ｔ）に初期設
定される設定温度（tSV）との間の偏差により発熱体２
を調節して温度を目標温度に制御する方法において、固
定温度センサ３の出力補償時に基準温度センサ６を固定
温度センサ３の近傍へ着脱自在に挿入し、上記目標温度
（ｔ）に対する上記基準温度センサ６の検出温度の超過
又は不足差が一定許容限度の外であるとき当該超過又は
不足に応じて上記設定温度（tSV）を先行設定温度から
上記許容限界の下限又は上限に対応する温度まで変えた
再設定温度とした後、上記固定温度センサ３の出力と再
設定温度（tSV）との間の偏差による上記制御を継続し
てなるものである。補償回路８は好ましくはコンピュー
タによって構成される。
基準温度センサ６は、熱電対よりも高い性能安定性を
長期間に亘って好ましくは高温においても保持するもの
であり、例えば上記の「High-temperature optical fib
er thermometer」又は「温度測定装置」である。
長期間に亘って好ましくは高温においても保持するもの
であり、例えば上記の「High-temperature optical fib
er thermometer」又は「温度測定装置」である。
又さらに、固定温度センサ３として高温における性能
安定性があまりないタイプＫ等の卑金属熱電対を使用し
たときには、基準温度センサ６は例えばタイプＲ等の貴
金属熱電対であり、校正された温度センサである。
安定性があまりないタイプＫ等の卑金属熱電対を使用し
たときには、基準温度センサ６は例えばタイプＲ等の貴
金属熱電対であり、校正された温度センサである。
着脱自在に基準温度センサ６を取付けるには、例えば
第４図の保持具９により上下動自在に保持するか、又は
第５図の差込孔12に嵌装する等の方法がある。第５図に
おいて基準温度センサ６が嵌装されていない差込孔12は
着脱自在のキャップ13によって閉塞される。
第４図の保持具９により上下動自在に保持するか、又は
第５図の差込孔12に嵌装する等の方法がある。第５図に
おいて基準温度センサ６が嵌装されていない差込孔12は
着脱自在のキャップ13によって閉塞される。
作用 第１図の温度制御装置の構成、第2A図から第2D図まで
の特性カーブ及び第３図の制御の流れを参照して作用を
説明する。本発明において、温度センサ特性の補償動作
が行なわれていないときは、従来の温度制御装置による
動作が以上説明した態様で進行する。温度センサ特性補
償動作が開始されると、まず第３図のステップa1におい
て目標温度ｔ、許容誤差dt、寿命限界Ｌが補償回路８に
記憶され、ステップa3で設定温度tSVがtSV＝ｔに初期設
定され全誤差ＥがＥ＝０に測定誤差ｅがｅ＝０に初期設
定される。第2B図は目標温度ｔ及び設定温度tSVを示
し、第2C図は炉温tfと共に目標温度ｔ及び許容誤差dtを
示し、第2D図は全誤差Ｅを示す。
の特性カーブ及び第３図の制御の流れを参照して作用を
説明する。本発明において、温度センサ特性の補償動作
が行なわれていないときは、従来の温度制御装置による
動作が以上説明した態様で進行する。温度センサ特性補
償動作が開始されると、まず第３図のステップa1におい
て目標温度ｔ、許容誤差dt、寿命限界Ｌが補償回路８に
記憶され、ステップa3で設定温度tSVがtSV＝ｔに初期設
定され全誤差ＥがＥ＝０に測定誤差ｅがｅ＝０に初期設
定される。第2B図は目標温度ｔ及び設定温度tSVを示
し、第2C図は炉温tfと共に目標温度ｔ及び許容誤差dtを
示し、第2D図は全誤差Ｅを示す。
ステップa5おいて設定温度tSVを温度調節器４に設定
した後、ステップa6で全誤差Ｅが寿命限界Ｌ以内である
か否か検査する。この場合Ｅ＝０であるからステップa1
0に進み、炉温tfを基準温度センサ６によって測定す
る。ステップa11において、炉温に電気炉の温度変化の
遅れやオーバシュートの影響がなく安定であることを確
認し、ステップa12で炉温tfと目標温度ｔとの差が許容
誤差dtの範囲内であるか否かチェックする。
した後、ステップa6で全誤差Ｅが寿命限界Ｌ以内である
か否か検査する。この場合Ｅ＝０であるからステップa1
0に進み、炉温tfを基準温度センサ６によって測定す
る。ステップa11において、炉温に電気炉の温度変化の
遅れやオーバシュートの影響がなく安定であることを確
認し、ステップa12で炉温tfと目標温度ｔとの差が許容
誤差dtの範囲内であるか否かチェックする。
第2A図に示される温度センサ３の特性、即ち熱起電力
Ｓの劣化による炉温tfの上昇を第2C図に示す。温度制御
装置４は温度センサ３が検出する温度によって動作する
ので、温度センサ３が劣化するとその劣化した温度セン
サ３の出力が目標温度相当値になるまで炉温を上昇させ
るので、現実の炉温tfは目標温度ｔを越えて高くなる。
第2C図は発熱体２のオン・オフの影響及び炉内品物の移
動等どによる炉温変化を省略し温度センサ３の劣化の影
響のみを示す。
Ｓの劣化による炉温tfの上昇を第2C図に示す。温度制御
装置４は温度センサ３が検出する温度によって動作する
ので、温度センサ３が劣化するとその劣化した温度セン
サ３の出力が目標温度相当値になるまで炉温を上昇させ
るので、現実の炉温tfは目標温度ｔを越えて高くなる。
第2C図は発熱体２のオン・オフの影響及び炉内品物の移
動等どによる炉温変化を省略し温度センサ３の劣化の影
響のみを示す。
炉温tfと目標温度ｔとの差が、許容誤差dtの範囲内に
ある限り温度制御装置４による制御を続けるが、その許
容誤差範囲の限界に達すると補償回路の８の動作はステ
ップa16に進む。本発明によればこの基準温度センサ６
の基準温度即ち炉温tfと目標温度ｔとの差が一定値以
上、即ち上記許容誤差dt以上であるときに当該差に応じ
て上記設定温度tSVの再設定を例えば次式によって行な
う。
ある限り温度制御装置４による制御を続けるが、その許
容誤差範囲の限界に達すると補償回路の８の動作はステ
ップa16に進む。本発明によればこの基準温度センサ６
の基準温度即ち炉温tfと目標温度ｔとの差が一定値以
上、即ち上記許容誤差dt以上であるときに当該差に応じ
て上記設定温度tSVの再設定を例えば次式によって行な
う。
tSV＝tSVO−２（tfc−ｔ） ・・・（１） ここにtSVOは再設定直前の設定温度tSV、tfcは再設定時
の炉内温度即ち基準温度センサ６の検出温度tfである。
の炉内温度即ち基準温度センサ６の検出温度tfである。
図示実施例では、温度センサ３の寿命、即ち使用限度
を検出するため、上記設定温度の再設定のたびごとに誤
差ｅを次式によって算出する。
を検出するため、上記設定温度の再設定のたびごとに誤
差ｅを次式によって算出する。
ｅ＝ｋ（tfc−ｔ） ・・・（２） ここに、ｋは第2C図の許容誤差の幅によって定まる定数
である。
である。
ステップa16の再設定の後、ステップa5で新設定温度
を温度調節器４に設定し、且つ全誤差Ｅ＝Σｅを算出す
る。その後の補償回路８の動作は、温度センサ３が寿命
即ち使用限度内であること（|E|＜Ｌ）を条件に、ステ
ップa10で始まる温度調節器４による温度制御に戻り、
炉温tfと目標温度ｔとの差が、許容誤差dtの範囲の限界
に達するたびごとに上記（１）式による設定温度の再設
定と上記（２）式による誤差ｅ及び全誤差Ｅを算出し所
要の設定を行なう。
を温度調節器４に設定し、且つ全誤差Ｅ＝Σｅを算出す
る。その後の補償回路８の動作は、温度センサ３が寿命
即ち使用限度内であること（|E|＜Ｌ）を条件に、ステ
ップa10で始まる温度調節器４による温度制御に戻り、
炉温tfと目標温度ｔとの差が、許容誤差dtの範囲の限界
に達するたびごとに上記（１）式による設定温度の再設
定と上記（２）式による誤差ｅ及び全誤差Ｅを算出し所
要の設定を行なう。
第2B図、第2C図及び第2D図は、温度センサ３が寿命即
ち使用限度内であるときの補償回路８の動作による設定
温度tSV、炉温tf及び全誤差Ｅの変化を示す。
ち使用限度内であるときの補償回路８の動作による設定
温度tSV、炉温tf及び全誤差Ｅの変化を示す。
ステップa6において、温度センサ３が寿命即ち使用限
度内を越えたことが検出された 場合には、ステップa17で温度センサ３の交換が要求さ
れる。ステップa18がセンサ３の交換完了を確認する
と、制御はステップa3へ戻り設定温度と全誤差のリセッ
トを行なった後上記態様で炉温を調節する。図示実施例
では、ステップa18でセンサ３の交換完了が確認できな
い場合であっても、温度センサ３が交換されるまで、ス
テップa10に戻り使用限度を越えた温度センサ３に対し
て上記設定温度の再設定を繰返しながら炉温の制御を行
なう。
度内を越えたことが検出された 場合には、ステップa17で温度センサ３の交換が要求さ
れる。ステップa18がセンサ３の交換完了を確認する
と、制御はステップa3へ戻り設定温度と全誤差のリセッ
トを行なった後上記態様で炉温を調節する。図示実施例
では、ステップa18でセンサ３の交換完了が確認できな
い場合であっても、温度センサ３が交換されるまで、ス
テップa10に戻り使用限度を越えた温度センサ３に対し
て上記設定温度の再設定を繰返しながら炉温の制御を行
なう。
こうして本発明の目的、即ち温度センサ特性の変化を
自動的に補償する形式の温度制御方法及び装置の提供が
達成される。
自動的に補償する形式の温度制御方法及び装置の提供が
達成される。
実施例 第４図の実施例ではシーケンサ10により、基準温度セ
ンサ６を定期的に作動させ、第１図について以上説明し
たと同様な制御を行なう。第６図はこの実施例の動作の
流れを示す。動作の概略を説明すると、所定時間間隔Ｍ
ごとにシーケンサ10から基準温度測定開始の命令信号が
出る。基準温度センサ６の保持具９は、この命令信号を
受けて基準温度センサ６を電気炉１内へ装入し始め、そ
の先端が測定位置11に達したときに装入を完了する。直
ちに基準温度計７は炉温tfを測定し、炉温安定の確認を
条件に補償回路８が上記の補償動作に入る。
ンサ６を定期的に作動させ、第１図について以上説明し
たと同様な制御を行なう。第６図はこの実施例の動作の
流れを示す。動作の概略を説明すると、所定時間間隔Ｍ
ごとにシーケンサ10から基準温度測定開始の命令信号が
出る。基準温度センサ６の保持具９は、この命令信号を
受けて基準温度センサ６を電気炉１内へ装入し始め、そ
の先端が測定位置11に達したときに装入を完了する。直
ちに基準温度計７は炉温tfを測定し、炉温安定の確認を
条件に補償回路８が上記の補償動作に入る。
炉温tfの測定が終ると保持具９は基準温度センサ６を
電気炉１の外の待機位置へ復帰させる。基準温度センサ
６の装入及び復帰の動作は、エアシリンダによる空気圧
駆動方式、電気的なモータ駆動方式などの各種方式が可
能である。
電気炉１の外の待機位置へ復帰させる。基準温度センサ
６の装入及び復帰の動作は、エアシリンダによる空気圧
駆動方式、電気的なモータ駆動方式などの各種方式が可
能である。
第６図の流れを第３図の流れと比較するに、炉温測定
の時間間隔Ｍを設定するステップb2、炉温測定開始時刻
算出ステップb4、炉温測定開始時刻判定ステップb7、次
回の炉温測定開始時刻算出ステップb12、基準温度セン
サの装入ステップb8及び９、基準温度センサの復帰ステ
ップb13及びb14を除けば両者は実質上同様な動作をす
る。
の時間間隔Ｍを設定するステップb2、炉温測定開始時刻
算出ステップb4、炉温測定開始時刻判定ステップb7、次
回の炉温測定開始時刻算出ステップb12、基準温度セン
サの装入ステップb8及び９、基準温度センサの復帰ステ
ップb13及びb14を除けば両者は実質上同様な動作をす
る。
第７図は精度的に規格を満足していない温度センサを
温度センサ３として使用した場合、初期精度不良として
判定し設定温度を再設定する事により第１図について以
上説明したと同様な制御を行なう場合の動作の流れであ
る。初期精度不良であった場合には次の設定温度再設定
時を補償回路８の開始時とするため、測定した誤差ｅを
リセットしｅ＝０とすると共に、寿命限界Ｌも第３図の
Ｌに補正を加えαＬとする。第７図の流れを第３図と比
較するに測定回数ｉの初期設定ステップC4、測定回数の
カウントステップC12、初期測定の判定ステップC19、初
期測定の場合の誤差のリセット、寿命限界の補正ステッ
プC21を除けば両者は実質上同様な動作をする。
温度センサ３として使用した場合、初期精度不良として
判定し設定温度を再設定する事により第１図について以
上説明したと同様な制御を行なう場合の動作の流れであ
る。初期精度不良であった場合には次の設定温度再設定
時を補償回路８の開始時とするため、測定した誤差ｅを
リセットしｅ＝０とすると共に、寿命限界Ｌも第３図の
Ｌに補正を加えαＬとする。第７図の流れを第３図と比
較するに測定回数ｉの初期設定ステップC4、測定回数の
カウントステップC12、初期測定の判定ステップC19、初
期測定の場合の誤差のリセット、寿命限界の補正ステッ
プC21を除けば両者は実質上同様な動作をする。
以上の説明においては、温度センサ３の寿命即ち使用
限度を全誤差Ｅの大きさによって判断したが、これ以外
にも制御温度再設定の回数による方法、制御温度再設定
の時間間隔による方法等の各種方法によってその寿命を
判断することが可能である。また制御温度再設定の計算
式も上記（１）式に限定されるものではなく、温度制御
の精度や基準温度計の精度等をも考慮した算定式とする
こともできる。
限度を全誤差Ｅの大きさによって判断したが、これ以外
にも制御温度再設定の回数による方法、制御温度再設定
の時間間隔による方法等の各種方法によってその寿命を
判断することが可能である。また制御温度再設定の計算
式も上記（１）式に限定されるものではなく、温度制御
の精度や基準温度計の精度等をも考慮した算定式とする
こともできる。
発明の効果 以上詳細に説明した如く、本発明によるセンサ特性補
償形温度制御方法及び装置は、固定温度センサの出力と
設定温度との間の偏差により発熱体を調節して温度を目
標温度に制御する方法において、固定温度センサの近傍
に基準温度センサを着脱自在に取付け、基準温度センサ
の検出温度と目標温度との差が一定値以上であるとき当
該差に応じて上記設定温度の再設定を行なってなる構成
を用いるので、次の効果を奏する。
償形温度制御方法及び装置は、固定温度センサの出力と
設定温度との間の偏差により発熱体を調節して温度を目
標温度に制御する方法において、固定温度センサの近傍
に基準温度センサを着脱自在に取付け、基準温度センサ
の検出温度と目標温度との差が一定値以上であるとき当
該差に応じて上記設定温度の再設定を行なってなる構成
を用いるので、次の効果を奏する。
（イ）温度センサの性能劣化を当該センサの動作状態に
おいて現実の炉温に即し自動的に補償することにより正
確な温度制御をすることができる。
おいて現実の炉温に即し自動的に補償することにより正
確な温度制御をすることができる。
（ロ）比較的安価な熱電対などの温度センサを長期間に
亘り有効に利用することができる。
亘り有効に利用することができる。
（ハ）温度センサの寿命を的確に判定し、使用時間によ
る定期交換のむだをなくし省資源を図ることができる。
る定期交換のむだをなくし省資源を図ることができる。
（ニ）既設の温度制御装置にも容易に付加することがで
きる。
きる。
（ホ）温度センサ交換の回数を減らし電気炉の炉内温度
等の高温雰囲気の温度をセンサ交換時の外乱なしに長期
間安定に制御することができる。
等の高温雰囲気の温度をセンサ交換時の外乱なしに長期
間安定に制御することができる。
第１図は本発明による温度制御方法の説明図、第2A図か
ら第2D図までは動作説明図、第３図、第６図及び第７図
は動作の流れ図、第４図及び第５図は実施例の説明図で
ある。 １…電気炉、２…発熱体、３…温度センサ、４…温度調
節器、５…スイッチ回路、６…基準温度センサ、７…基
準温度計、８…補償回路、９…保持具、10…シーケン
サ、11…測定位置、12…差込孔、13…キャップ、ｔ…目
標温度、tf…炉温、dt…許容誤差、Ｓ…熱電対の熱起電
力。
ら第2D図までは動作説明図、第３図、第６図及び第７図
は動作の流れ図、第４図及び第５図は実施例の説明図で
ある。 １…電気炉、２…発熱体、３…温度センサ、４…温度調
節器、５…スイッチ回路、６…基準温度センサ、７…基
準温度計、８…補償回路、９…保持具、10…シーケン
サ、11…測定位置、12…差込孔、13…キャップ、ｔ…目
標温度、tf…炉温、dt…許容誤差、Ｓ…熱電対の熱起電
力。
Claims (5)
- 【請求項１】固定温度センサの出力と目標温度に初期設
定される設定温度との間の偏差により発熱体を調節して
温度を目標温度に制御する方法において、該固定温度セ
ンサ出力の補償時に基準温度センサを固定温度センサの
近傍へ着脱自在に挿入し、上記目標温度に対する上記基
準温度センサの検出温度の超過又は不足差が一定許容限
界の外であるとき当該超過又は不足に応じて上記設定温
度を先行設定温度から上記許容限界の下限又は上限に対
応する温度まで変えた再設定温度とした後、上記固定温
度センサの出力と再設定温度との間の偏差による上記制
御を継続してなるセンサ特性補償形温度制御方法。 - 【請求項２】請求項１記載の温度制御方法において、上
記基準温度センサの検出温度と目標温度との差に応ずる
設定温度の再設定を定期的に行ってなるセンサ特性補償
形温度制御方法。 - 【請求項３】請求項１記載の温度制御方法において、上
記設定温度の再設定を行なわせる上記一定許容限界外の
基準温度センサの検出温度と目標温度との差の積算値が
所定積算限界値以上になったとき上記固定温度センサを
交換してなるセンサ特性補償形温度制御方法。 - 【請求項４】請求項１記載の温度制御方法において、一
の上記設定温度の再設定とその直後の上記設定温度の再
設定との間の時間間隔が所定値以下であるとき上記固定
温度センサを交換してなるセンサ特性補償形温度制御方
法。 - 【請求項５】目標温度に初期設定される固定温度センサ
の出力と設定温度との間の偏差により発熱体を調節して
温度を目標温度に制御する装置において、固定温度セン
サの近傍に基準温度センサを着脱自在に取付ける手段、
及び上記目標温度に対する上記基準温度センサの検出温
度の超過又は不足差が一定許容限界の外であるとき当該
超過又は不足に応じて上記設定温度を先行設定温度から
上記許容限界の下限又は上限に対応する温度まで変えた
再設定温度とした後、上記固定温度センサの出力と再設
定温度との間の偏差による上記制御を継続する手段を備
えてなるセンサ特性補償形温度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1013217A JP2505562B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | センサ特性補償形温度制御方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1013217A JP2505562B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | センサ特性補償形温度制御方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02194410A JPH02194410A (ja) | 1990-08-01 |
| JP2505562B2 true JP2505562B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=11826996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1013217A Expired - Lifetime JP2505562B2 (ja) | 1989-01-24 | 1989-01-24 | センサ特性補償形温度制御方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505562B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101503570B1 (ko) | 2011-02-18 | 2015-03-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 장치 및 열처리 장치의 온도 측정 방법 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH02194410A (ja) | 1990-08-01 |
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