JP2503862B2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平行ビーム法を用いる
蛍光Ｘ線分析装置に係り、特には、試料の局所分析に好
適な蛍光Ｘ線分析装置に関する。
蛍光Ｘ線分析装置に係り、特には、試料の局所分析に好
適な蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来例の蛍光Ｘ線分析装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【０００３】平行ビーム法を用いる蛍光Ｘ線分析装置に
おいては、Ｘ線管１からの一次Ｘ線を試料容器８1に収
納された試料２に照射し、これに応じて試料２から発生
する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り３を通して一次ソーラス
リット４に導いて平行ビームとして取り出し、このＸ線
を平板分光結晶５によって各元素に対応する波長成分を
もつスペクトルに分光し、分光されたＸ線を再び二次ソ
ーラスリット６を通じてＸ線検出器７で検出する。
おいては、Ｘ線管１からの一次Ｘ線を試料容器８1に収
納された試料２に照射し、これに応じて試料２から発生
する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り３を通して一次ソーラス
リット４に導いて平行ビームとして取り出し、このＸ線
を平板分光結晶５によって各元素に対応する波長成分を
もつスペクトルに分光し、分光されたＸ線を再び二次ソ
ーラスリット６を通じてＸ線検出器７で検出する。
【０００４】試料２と一次ソーラスリット４の間の視野
制限用絞り３は、試料２以外の試料容器８1から発生さ
れた蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線がＸ線検出器７に入射し、本来
必要な試料２からの蛍光Ｘ線のスペクトルに対して、他
の蛍光Ｘ線がバックグラウンドとなり、Ｓ／Ｎ比が劣化
するのを改善するためである。
制限用絞り３は、試料２以外の試料容器８1から発生さ
れた蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線がＸ線検出器７に入射し、本来
必要な試料２からの蛍光Ｘ線のスペクトルに対して、他
の蛍光Ｘ線がバックグラウンドとなり、Ｓ／Ｎ比が劣化
するのを改善するためである。
【０００５】図７は、かかる従来例の試料近傍を拡大し
て示す斜視図であり、図６に対応する部分には、同一の
参照符号を付している。
て示す斜視図であり、図６に対応する部分には、同一の
参照符号を付している。
【０００６】試料２は、試料容器８1によって周囲が覆
われて中央部のみが露出している。視野制限用絞り３
は、平板３ａの複数箇所(この例では３箇所)に口径の異
なる透孔３ｂ〜３ｄを形成して構成されており、試料２
の形状の大小に応じてこの絞り３を矢符Ａで示されるよ
うにスライドさせて最適な口径をもつ透孔３ｂ〜３ｄ
を、試料容器８1の中心位置、すなわち、試料２に臨ま
せるようにしている。
われて中央部のみが露出している。視野制限用絞り３
は、平板３ａの複数箇所(この例では３箇所)に口径の異
なる透孔３ｂ〜３ｄを形成して構成されており、試料２
の形状の大小に応じてこの絞り３を矢符Ａで示されるよ
うにスライドさせて最適な口径をもつ透孔３ｂ〜３ｄ
を、試料容器８1の中心位置、すなわち、試料２に臨ま
せるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来例の蛍光Ｘ線分析装置では、視野制限用絞り３の各
透孔３ｂ〜３ｄは、上述のように試料２の形状に応じ
て、試料容器８1の中心位置を臨む位置に来るように構
成されており、したがって、試料２の異なる箇所を分析
しようとするような場合には、その分析しようとする箇
所が試料容器８1の中心位置になるようにセットし直す
必要があり、さらに、その際に試料２が試料容器８1か
らはみ出すような場合には、試料２を分割細分化してセ
ットする必要があり、分析作業が面倒である。また、試
料２の露出面積を大きくして移動機構によって試料２ま
たは試料容器８1自体をＸ，Ｙ方向に移動できるように
することも考えられるが、周囲にＸ線管球などがあっ
て、移動させるに十分なスペースを確保するのが困難で
あり、さらに、スペースを確保するために光学条件を無
視すると、感度が低下してしまうという難点がある。
従来例の蛍光Ｘ線分析装置では、視野制限用絞り３の各
透孔３ｂ〜３ｄは、上述のように試料２の形状に応じ
て、試料容器８1の中心位置を臨む位置に来るように構
成されており、したがって、試料２の異なる箇所を分析
しようとするような場合には、その分析しようとする箇
所が試料容器８1の中心位置になるようにセットし直す
必要があり、さらに、その際に試料２が試料容器８1か
らはみ出すような場合には、試料２を分割細分化してセ
ットする必要があり、分析作業が面倒である。また、試
料２の露出面積を大きくして移動機構によって試料２ま
たは試料容器８1自体をＸ，Ｙ方向に移動できるように
することも考えられるが、周囲にＸ線管球などがあっ
て、移動させるに十分なスペースを確保するのが困難で
あり、さらに、スペースを確保するために光学条件を無
視すると、感度が低下してしまうという難点がある。
【０００８】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、試料をセットし直したり、試料あるいは試料
容器自体をＸ，Ｙ方向に移動させることなく、試料の任
意の微小箇所を分析できるようにすることを目的とす
る。
であって、試料をセットし直したり、試料あるいは試料
容器自体をＸ，Ｙ方向に移動させることなく、試料の任
意の微小箇所を分析できるようにすることを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、試料からの蛍光Ｘ線を、視野制限用
絞りを介して一次ソーラスリットに通して平行ビームと
して取り出す蛍光Ｘ線分析装置において、前記試料を所
定の回転軸回りに任意の角度回転させる回転機構と、前
記視野制限用絞りを、前記一次ソーラスリットの入射光
軸に垂直な平面上であって、かつ試料の回転中心を中心
とした半径方向に沿って所定の範囲内で任意の距離移動
させる移動機構と、前記試料の所望の分析箇所を指定入
力する入力手段と、前記入力手段で入力された前記所望
の分析箇所に、前記視野制限用絞りが臨むように、前記
回転機構および前記移動機構を制御する制御手段とを備
えている。
を達成するために、試料からの蛍光Ｘ線を、視野制限用
絞りを介して一次ソーラスリットに通して平行ビームと
して取り出す蛍光Ｘ線分析装置において、前記試料を所
定の回転軸回りに任意の角度回転させる回転機構と、前
記視野制限用絞りを、前記一次ソーラスリットの入射光
軸に垂直な平面上であって、かつ試料の回転中心を中心
とした半径方向に沿って所定の範囲内で任意の距離移動
させる移動機構と、前記試料の所望の分析箇所を指定入
力する入力手段と、前記入力手段で入力された前記所望
の分析箇所に、前記視野制限用絞りが臨むように、前記
回転機構および前記移動機構を制御する制御手段とを備
えている。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、試料を任意の角度回転させ
ることができるとともに、視野制限用絞りを所定の範囲
内で任意の距離移動させることができるので、例えば、
試料の分析しようとする微小箇所が、試料中心からずれ
ている場合には、試料を回転させるとともに、視野制限
用絞りを移動させて、前記微小箇所を、視野制限用絞り
に臨ませることが可能となる。
ることができるとともに、視野制限用絞りを所定の範囲
内で任意の距離移動させることができるので、例えば、
試料の分析しようとする微小箇所が、試料中心からずれ
ている場合には、試料を回転させるとともに、視野制限
用絞りを移動させて、前記微小箇所を、視野制限用絞り
に臨ませることが可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。
て、詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明の一実施例に係る蛍光Ｘ線
分析装置の全体の概略構成図であり、図２は、図１の試
料近傍の拡大斜視図であり、図６および図７の従来例に
対応する部分には、同一の参照符号を付す。
分析装置の全体の概略構成図であり、図２は、図１の試
料近傍の拡大斜視図であり、図６および図７の従来例に
対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００１３】図１および図２において、１はＸ線管、２
は試料、３は視野制限用絞り、４は一次ソーラスリッ
ト、５は平板分光結晶、６は二次ソーラスリット、７は
Ｘ線検出器、８は試料容器であり、これらの構成は従来
例の場合と同様である。
は試料、３は視野制限用絞り、４は一次ソーラスリッ
ト、５は平板分光結晶、６は二次ソーラスリット、７は
Ｘ線検出器、８は試料容器であり、これらの構成は従来
例の場合と同様である。
【００１４】この実施例の蛍光Ｘ線分析装置では、試料
中心からずれた任意の微小箇所を容易に分析できるよう
にするために、次のように構成している。
中心からずれた任意の微小箇所を容易に分析できるよう
にするために、次のように構成している。
【００１５】すなわち、試料２が収納された試料容器８
を、従来の試料容器８1の中心を通る回転軸９回りに任
意の角度回転させる回転機構としてのパルスモータ１０
と、視野制限用絞り３を、一次ソーラスリット４の入射
光軸に垂直な平面上であって、かつ試料２の回転中心Ｏ
を中心とした半径方向に沿って所定の範囲内で任意の距
離移動させる移動機構１１と、試料２の分析しようとす
る所望の微小箇所を指定入力する入力部１２と、この入
力部１２で入力された微小箇所に、視野制限用絞り３の
所定の透孔が臨むように、パルスモータ１０および移動
機構１１を制御する制御部１３とを備えるとともに、分
析箇所の試料中心Ｏからのずれに伴う感度補正を後述の
ように行うとともに、データを解析処理するデータ処理
部１４と、分析結果を表示するＣＲＴなどの表示部１５
とを備えている。
を、従来の試料容器８1の中心を通る回転軸９回りに任
意の角度回転させる回転機構としてのパルスモータ１０
と、視野制限用絞り３を、一次ソーラスリット４の入射
光軸に垂直な平面上であって、かつ試料２の回転中心Ｏ
を中心とした半径方向に沿って所定の範囲内で任意の距
離移動させる移動機構１１と、試料２の分析しようとす
る所望の微小箇所を指定入力する入力部１２と、この入
力部１２で入力された微小箇所に、視野制限用絞り３の
所定の透孔が臨むように、パルスモータ１０および移動
機構１１を制御する制御部１３とを備えるとともに、分
析箇所の試料中心Ｏからのずれに伴う感度補正を後述の
ように行うとともに、データを解析処理するデータ処理
部１４と、分析結果を表示するＣＲＴなどの表示部１５
とを備えている。
【００１６】この実施例の試料容器８は、従来例に比べ
て試料２を覆う領域が少なくなっており、露出した試料
２の任意の微小箇所を分析できるようにしている。
て試料２を覆う領域が少なくなっており、露出した試料
２の任意の微小箇所を分析できるようにしている。
【００１７】この試料容器８は、パルスモータ１０によ
って任意の角度回転できるようになっており、回転の基
準位置となる箇所には、固定位置に配置されたフォトセ
ンサ１６によって検出できるマーク１７が付されてい
る。
って任意の角度回転できるようになっており、回転の基
準位置となる箇所には、固定位置に配置されたフォトセ
ンサ１６によって検出できるマーク１７が付されてい
る。
【００１８】視野制限用絞り３は、従来例と同様に平板
３ａの３箇所に口径の異なる透孔３ｂ，３ｃ，３ｄを形
成して構成されている。
３ａの３箇所に口径の異なる透孔３ｂ，３ｃ，３ｄを形
成して構成されている。
【００１９】移動機構１１は、この視野制限用絞り３
を、一次ソーラスリット４の入射光軸（二次Ｘ線の取り
出し方向）に垂直な方向であって、かつ試料２の回転中
心Ｏを中心とした半径方向に沿って図２の矢符Ａで示さ
れるように移動させるものであり、従来例と同様に、試
料２の形状の大小に応じて視野制限用絞り３の最適な口
径をもつ透孔３ｂ〜３ｄを、試料容器８の中心位置に臨
ませることができるとともに、さらに、この実施例で
は、従来とほぼ同様の所定の移動範囲内において任意の
位置に視野制限用絞り３を移動させて停止させることが
できるようになっており、この移動機構１１は、図示し
ない駆動用モータおよび歯車機構などを備えている。
を、一次ソーラスリット４の入射光軸（二次Ｘ線の取り
出し方向）に垂直な方向であって、かつ試料２の回転中
心Ｏを中心とした半径方向に沿って図２の矢符Ａで示さ
れるように移動させるものであり、従来例と同様に、試
料２の形状の大小に応じて視野制限用絞り３の最適な口
径をもつ透孔３ｂ〜３ｄを、試料容器８の中心位置に臨
ませることができるとともに、さらに、この実施例で
は、従来とほぼ同様の所定の移動範囲内において任意の
位置に視野制限用絞り３を移動させて停止させることが
できるようになっており、この移動機構１１は、図示し
ない駆動用モータおよび歯車機構などを備えている。
【００２０】入力部１２は、試料２の分析しようとする
所望の微小箇所を指定入力するものであり、例えば、図
２において、分析しようとする微小箇所２ａを、試料容
器８の中心位置、すなわち、試料２の回転中心Ｏからの
距離ｒと、上述のマーク１７が付された基準位置からの
角度θとして指定入力するものである。
所望の微小箇所を指定入力するものであり、例えば、図
２において、分析しようとする微小箇所２ａを、試料容
器８の中心位置、すなわち、試料２の回転中心Ｏからの
距離ｒと、上述のマーク１７が付された基準位置からの
角度θとして指定入力するものである。
【００２１】制御部１３は、入力部１２から入力された
距離ｒおよび角度θに基づいて、パルスモータ１０およ
び移動機構１１を制御し、視野制限用絞り３の最小口径
の透孔３ｂを、次のようにして試料２の指定された微小
箇所２ａに臨ませるものである。
距離ｒおよび角度θに基づいて、パルスモータ１０およ
び移動機構１１を制御し、視野制限用絞り３の最小口径
の透孔３ｂを、次のようにして試料２の指定された微小
箇所２ａに臨ませるものである。
【００２２】すなわち、制御部１３は、パルスモータ１
０によって試料容器８を回転させてフォトセンサ１６の
出力によって基準位置を確認し、該基準位置から角度θ
だけ回転させて試料２の微小箇所２ａを、視野制限用絞
り３の臨む直線上の位置に配置し、次に、制御部１３
は、移動機構１１によって視野制限用絞り３を、一次ソ
ーラスリット４の入射光軸に垂直な平面上であって、か
つ試料２の回転中心Ｏを中心とした半径方向に沿って、
最小口径の透孔３ｂが、試料２の回転中心Ｏから距離ｒ
の位置になるように移動させるものである。
０によって試料容器８を回転させてフォトセンサ１６の
出力によって基準位置を確認し、該基準位置から角度θ
だけ回転させて試料２の微小箇所２ａを、視野制限用絞
り３の臨む直線上の位置に配置し、次に、制御部１３
は、移動機構１１によって視野制限用絞り３を、一次ソ
ーラスリット４の入射光軸に垂直な平面上であって、か
つ試料２の回転中心Ｏを中心とした半径方向に沿って、
最小口径の透孔３ｂが、試料２の回転中心Ｏから距離ｒ
の位置になるように移動させるものである。
【００２３】これによって、視野制限用絞り３の最小口
径の透孔３ｂが、指定された試料２の微小箇所２ａに臨
み、この状態で、分析を行うものである。
径の透孔３ｂが、指定された試料２の微小箇所２ａに臨
み、この状態で、分析を行うものである。
【００２４】すなわち、Ｘ線管１からの一次Ｘ線を試料
２に照射し、これに応じて試料２の分析箇所２ａから発
生する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り３を通して一次ソーラ
スリット４に導いて平行ビームとして取り出し、このＸ
線を平板分光結晶５によって各元素に対応する波長成分
をもつスペクトルに分光し、分光されたＸ線を再び二次
ソーラスリット６を通じてＸ線検出器７で検出するもの
である。
２に照射し、これに応じて試料２の分析箇所２ａから発
生する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り３を通して一次ソーラ
スリット４に導いて平行ビームとして取り出し、このＸ
線を平板分光結晶５によって各元素に対応する波長成分
をもつスペクトルに分光し、分光されたＸ線を再び二次
ソーラスリット６を通じてＸ線検出器７で検出するもの
である。
【００２５】このＸ線検出器７の出力が与えられるデー
タ処理部１４では、分析した微小箇所２ａの試料中心Ｏ
からのずれに伴う感度補正を次のようにして行うもので
ある。
タ処理部１４では、分析した微小箇所２ａの試料中心Ｏ
からのずれに伴う感度補正を次のようにして行うもので
ある。
【００２６】すなわち、予め均一な組成の標準試料、例
えば、銅板を用いて、試料中心Ｏからずれた各位置の強
度を測定し、試料中心Ｏから分析箇所がずれるにつれ
て、すなわち、上述の距離ｒを変化させたときに、感度
がどのように変化するかを予め測定しておき、その感度
の変化を補償する補正値をデータ処理部１４に予め格納
しており、データ処理部１４は、この補正値によって補
正を行うものである。
えば、銅板を用いて、試料中心Ｏからずれた各位置の強
度を測定し、試料中心Ｏから分析箇所がずれるにつれ
て、すなわち、上述の距離ｒを変化させたときに、感度
がどのように変化するかを予め測定しておき、その感度
の変化を補償する補正値をデータ処理部１４に予め格納
しており、データ処理部１４は、この補正値によって補
正を行うものである。
【００２７】したがって、中心位置Ｏからずれた箇所を
測定しても、中心位置Ｏにセットして測定したときと同
様の分析結果を得ることができる。
測定しても、中心位置Ｏにセットして測定したときと同
様の分析結果を得ることができる。
【００２８】さらに、この実施例では、入力部１２から
予め複数の分析箇所を指定入力することができ、上述の
ようにして複数の分析箇所を分析し、データ処理部１４
では、それらの分析結果から各元素の存在確率を示すマ
ッピングデータを作成し、表示部１５に表示できるよう
になっている。したがって、組成の不均一な試料、偏析
のある試料の分析に好適である。
予め複数の分析箇所を指定入力することができ、上述の
ようにして複数の分析箇所を分析し、データ処理部１４
では、それらの分析結果から各元素の存在確率を示すマ
ッピングデータを作成し、表示部１５に表示できるよう
になっている。したがって、組成の不均一な試料、偏析
のある試料の分析に好適である。
【００２９】以上のように、試料２の分析しようとする
箇所２ａに、視野制限用絞り３が臨むように、試料容器
８を所要角度回転させるとともに、視野制限用絞り３を
移動させるので、分析しようとする箇所２ａが、試料２
の中心位置Ｏからずれている場合に、従来のように試料
をセットし直すといった必要がなく、分析作業を円滑に
行えることになる。
箇所２ａに、視野制限用絞り３が臨むように、試料容器
８を所要角度回転させるとともに、視野制限用絞り３を
移動させるので、分析しようとする箇所２ａが、試料２
の中心位置Ｏからずれている場合に、従来のように試料
をセットし直すといった必要がなく、分析作業を円滑に
行えることになる。
【００３０】また、分析箇所は、任意に設定できるの
で、試料容器８に収納できないような異形試料あるいは
変形試料であっても、試料を分割細分化することなく、
そのままの状態で所望の箇所を分析することができる。
で、試料容器８に収納できないような異形試料あるいは
変形試料であっても、試料を分割細分化することなく、
そのままの状態で所望の箇所を分析することができる。
【００３１】なお、この実施例では、試料２の中心位置
Ｏからずれた微小箇所２ａの分析について説明したけれ
ども、図７の従来例と同様に、試料２の中心部を分析で
きるのは勿論であり、また、分析口径を大きくして試料
を回転させて分析することにより、従来例と同様に平均
値を得ることもできる。
Ｏからずれた微小箇所２ａの分析について説明したけれ
ども、図７の従来例と同様に、試料２の中心部を分析で
きるのは勿論であり、また、分析口径を大きくして試料
を回転させて分析することにより、従来例と同様に平均
値を得ることもできる。
【００３２】また、この実施例では、試料２の分析箇所
２ａを距離ｒおよび角度θの極座標で指定したけれど
も、本発明の他の実施例として、例えば、Ｘ，Ｙ座標で
指定し、制御部１３で極座標に変換して上述と同様に制
御するようにしてもよい。
２ａを距離ｒおよび角度θの極座標で指定したけれど
も、本発明の他の実施例として、例えば、Ｘ，Ｙ座標で
指定し、制御部１３で極座標に変換して上述と同様に制
御するようにしてもよい。
【００３３】さらに、この実施例では、視野制限用絞り
３の最小の口径の透孔３ｂを、分析箇所に臨ませるよう
にしたけれども、他の口径の透孔３ｃ，３ｄを臨ませる
ようにしてもよいのは勿論である。
３の最小の口径の透孔３ｂを、分析箇所に臨ませるよう
にしたけれども、他の口径の透孔３ｃ，３ｄを臨ませる
ようにしてもよいのは勿論である。
【００３４】図３は、本発明の他の実施例の図２に対応
する斜視図であり、上述の実施例に対応する部分には、
同一の参照符号を付す。
する斜視図であり、上述の実施例に対応する部分には、
同一の参照符号を付す。
【００３５】この実施例の特徴は、一次ソーラスリット
４の前段に配置された視野制限用絞り３1の形状にあ
る。すなわち、この視野制限用絞り３1は、平板部３1ａ
から試料２側にコーン状をした筒状部３1ｂ，３1ｃ，３
1ｄが突設されており、この筒状部３1ｂ，３1ｃ，３1ｄ
は、Ｘ線検出器７から各筒状部３1ｂ，３1ｃ，３1ｄを
通して試料２を見た場合に、試料２の所要の口径の分析
箇所以外の部分を見込まず、しかも、試料２の分析箇所
に対する一次Ｘ線の照射光路を妨げないように、その先
端部分の口径Ｄb，Ｄc，Ｄｄと長さＬb，Ｌc，Ｌｄがそ
れぞれ設定される。したがって、試料の分析箇所が小さ
くなる程、筒状部４a，４b，４cの先端部分の口径Ｄb，
Ｄc，Ｄｄが小さく、かつ、長さＬb，Ｌc，Ｌｄが長尺
のものが使用される。
４の前段に配置された視野制限用絞り３1の形状にあ
る。すなわち、この視野制限用絞り３1は、平板部３1ａ
から試料２側にコーン状をした筒状部３1ｂ，３1ｃ，３
1ｄが突設されており、この筒状部３1ｂ，３1ｃ，３1ｄ
は、Ｘ線検出器７から各筒状部３1ｂ，３1ｃ，３1ｄを
通して試料２を見た場合に、試料２の所要の口径の分析
箇所以外の部分を見込まず、しかも、試料２の分析箇所
に対する一次Ｘ線の照射光路を妨げないように、その先
端部分の口径Ｄb，Ｄc，Ｄｄと長さＬb，Ｌc，Ｌｄがそ
れぞれ設定される。したがって、試料の分析箇所が小さ
くなる程、筒状部４a，４b，４cの先端部分の口径Ｄb，
Ｄc，Ｄｄが小さく、かつ、長さＬb，Ｌc，Ｌｄが長尺
のものが使用される。
【００３６】その他の構成は、上述の実施例と同様であ
り、パルスモータ１０および移動機構１１を制御し、視
野制限用絞り３1の最小口径の筒状部３1ｂを、試料２の
指定された微小箇所２ａに臨ませて分析を行うものであ
る。
り、パルスモータ１０および移動機構１１を制御し、視
野制限用絞り３1の最小口径の筒状部３1ｂを、試料２の
指定された微小箇所２ａに臨ませて分析を行うものであ
る。
【００３７】この実施例によれば、試料２の微小な分析
箇所２ａを、上述の実施例に比べて、より絞り込んで分
析することができる。
箇所２ａを、上述の実施例に比べて、より絞り込んで分
析することができる。
【００３８】さらに、この実施例では、従来例と同様
に、図４に示されるように、試料容器によって中央部以
外が覆われた試料２を分析する場合に、試料２の直径の
大小に応じて視野制限用絞り３1をスライドさせて適切
な筒状部３1ｂ〜３1ｄを選ぶ。これによって、図５に示
されるように、Ｘ線検出器７から、例えば、筒状部３1
ｂを通して試料２を見ると、筒状部３1ｂの先端が試料
２に近接するために試料２のみを見込むことになる。し
たがって、試料２以外の部分の試料容器８1から発生す
る不要な蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線は、この絞り３1によって
遮断され、ノイズ成分が除かれる。しかも、この筒状部
３1ｂの口径は、試料２の直径と略同一でよく、それよ
りも余分に小さくする必要がないので、試料２からの蛍
光Ｘ線を効率良くＸ線検出器７に導くことができ、信号
成分が大きくなり、結果的にＳ／Ｎ比が改善される。
に、図４に示されるように、試料容器によって中央部以
外が覆われた試料２を分析する場合に、試料２の直径の
大小に応じて視野制限用絞り３1をスライドさせて適切
な筒状部３1ｂ〜３1ｄを選ぶ。これによって、図５に示
されるように、Ｘ線検出器７から、例えば、筒状部３1
ｂを通して試料２を見ると、筒状部３1ｂの先端が試料
２に近接するために試料２のみを見込むことになる。し
たがって、試料２以外の部分の試料容器８1から発生す
る不要な蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線は、この絞り３1によって
遮断され、ノイズ成分が除かれる。しかも、この筒状部
３1ｂの口径は、試料２の直径と略同一でよく、それよ
りも余分に小さくする必要がないので、試料２からの蛍
光Ｘ線を効率良くＸ線検出器７に導くことができ、信号
成分が大きくなり、結果的にＳ／Ｎ比が改善される。
【００３９】上述の各実施例では、視野制限用絞り３，
３1の透孔３ｂ〜３ｄあるいは筒状部３1ｂ〜３1ｄは３
個としたが、この数に限定されるものではなく、また、
筒状部３1ｂ〜３1ｄの形状はコーン状に限らず、直管状
のものであってもよい。
３1の透孔３ｂ〜３ｄあるいは筒状部３1ｂ〜３1ｄは３
個としたが、この数に限定されるものではなく、また、
筒状部３1ｂ〜３1ｄの形状はコーン状に限らず、直管状
のものであってもよい。
【００４０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、試料を任
意の角度回転させることができるとともに、視野制限用
絞りを所定の範囲内で任意の距離移動させることができ
るので、例えば、試料の分析しようとする微小箇所が、
試料中心からずれている場合には、試料を回転させると
ともに、視野制限用絞りを移動させて、前記微小箇所
を、視野制限用絞りに臨ませることが可能となるので、
従来のように試料をセットし直すといった必要がなく、
分析作業を円滑に行えることになる。さらに、試料に含
まれる各元素について従来のような平均値だけでなく、
存在確率を示すマッピングデータも得ることができる。
意の角度回転させることができるとともに、視野制限用
絞りを所定の範囲内で任意の距離移動させることができ
るので、例えば、試料の分析しようとする微小箇所が、
試料中心からずれている場合には、試料を回転させると
ともに、視野制限用絞りを移動させて、前記微小箇所
を、視野制限用絞りに臨ませることが可能となるので、
従来のように試料をセットし直すといった必要がなく、
分析作業を円滑に行えることになる。さらに、試料に含
まれる各元素について従来のような平均値だけでなく、
存在確率を示すマッピングデータも得ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】図１の試料近傍の要部の斜視図である。
【図３】本発明の他の実施例の図２に対応する斜視図で
ある。
ある。
【図４】図３の実施例の説明に供する斜視図である。
【図５】図４の実施例の側面断面図である。
【図６】従来例の概略構成図である。
【図７】図６の試料近傍の要部の斜視図である。
１ Ｘ線管 ２ 試料 ３，３1 視野制限用絞り ４ 一次ソーラスリット １０ パルスモータ １１ 移動機構 １２ 入力部 １３ 制御部
Claims (1)
- 【請求項１】 試料からの蛍光Ｘ線を、視野制限用絞り
を介して一次ソーラスリットに通して平行ビームとして
取り出す蛍光Ｘ線分析装置において、 前記試料を所定の回転軸回りに任意の角度回転させる回
転機構と、 前記視野制限用絞りを、前記一次ソーラスリットの入射
光軸に垂直な平面上であって、かつ試料の回転中心を中
心とした半径方向に沿って所定の範囲内で任意の距離移
動させる移動機構と、 前記試料の所望の分析箇所を指定入力する入力手段と、 前記入力手段で入力された前記所望の分析箇所に、前記
視野制限用絞りが臨むように、前記回転機構および前記
移動機構を制御する制御手段と、 を備えることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9774493A JP2503862B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 蛍光ｘ線分析装置 |
| EP93117722A EP0623817B1 (en) | 1993-04-23 | 1993-11-02 | Local analysis of a specimen in an x-ray fluorescence spectrometer |
| DE69323064T DE69323064T2 (de) | 1993-04-23 | 1993-11-02 | Ortsaufgelöste Analyse einer Probe mittels eines Röntgenfluoreszenzspektrometers |
| US08/153,335 US5408512A (en) | 1993-04-23 | 1993-11-16 | Local analysis of a specimen in an X-ray fluorescence spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9774493A JP2503862B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308060A JPH06308060A (ja) | 1994-11-04 |
| JP2503862B2 true JP2503862B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=14200402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9774493A Expired - Fee Related JP2503862B2 (ja) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2503862B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5412649B2 (ja) * | 2011-02-01 | 2014-02-12 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| JP5614545B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2014-10-29 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| JP6096418B2 (ja) * | 2012-04-12 | 2017-03-15 | 株式会社堀場製作所 | Ｘ線検出装置 |
| CN106769826B (zh) * | 2017-01-18 | 2023-12-15 | 天津大学 | 一种用于金相观察时调节试样角度的装置 |
| DE102017223228B3 (de) | 2017-12-19 | 2018-12-27 | Bruker Axs Gmbh | Aufbau zur ortsaufgelösten Messung mit einem wellenlängendispersiven Röntgenspektrometer |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP9774493A patent/JP2503862B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06308060A (ja) | 1994-11-04 |
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