JP2503578B2 - 新規含フッ素芳香族化合物並びにその製法及び用途 - Google Patents

新規含フッ素芳香族化合物並びにその製法及び用途

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JP2503578B2
JP2503578B2 JP8392288A JP8392288A JP2503578B2 JP 2503578 B2 JP2503578 B2 JP 2503578B2 JP 8392288 A JP8392288 A JP 8392288A JP 8392288 A JP8392288 A JP 8392288A JP 2503578 B2 JP2503578 B2 JP 2503578B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、新規な含フッ素芳香族化合物並びにその製
法及びその用途に関するものである。
[従来の技術] 従来、炭素原子に2つのベンゼン環と2つのトリフル
オロメチル基を有する化合物は、いくつか知られてい
る。例えば、米国特許明細書第3959350号には式 で示される化合物が、又ジャーナル・オブ・ポリマー・
サイエンス(Journal of Polymer Science),B−3,1021
(1965)には、式 で示される化合物が記載されている。これらの化合物
は、含フッ素ポリエポキシド樹脂及び含フッ素ポリイミ
ドを製造する際の原料化合物として有用である。しか
し、これらの化合物中のトリフルオロメチル基の代わり
に、炭素数が2以上のパーフルオロアルキル基を導入し
た化合物は知られていない。それは、トリフルオロアル
キル基の代わりに炭素数が2以上のパーフルオロアルキ
ル基を導入することは立体障害のため困難なことによる
ものと考えられる。
従来含フッ素エポキシ樹脂として、式 で示されるものが知られている(ジャーナル・オブ・ポ
リマー・サイエンス(J.Polym.Sci.),B−3,1021(196
5)参照)。しかし、この含フッ素エポキシ樹脂の硬化
後における屈折率(nD 23)は1.524〜1.527である。エポ
キシ樹脂を石英光ファイバー用の接着剤として使用する
場合、硬化後の屈折率は石英の屈折率(nD 23=1.46)に
近い程好ましいと言われており、この含フッ素エポキシ
樹脂は石英光ファイバーやコネクター等光学部品用接着
剤としては満足のゆくものではなかった。
また、ポリイミド系ポリマーは耐熱性及び電気絶縁性
に優れていることが知られており、フレキシブルプリン
ト基板、各種素子の保護膜、チップを基板に付ける接着
剤等の用途に使用されている。しかし、通常のポリイミ
ドは吸水性が大きく、これらの用途において腐食が起こ
ったり、接着性が低下する等の問題があった。そこで、
吸水性を改良した含フッ素ポリイミドとして、 (特公昭43-1876号公報参照)なる構成単位を有するも
のや (アレス・トランスアクション(Ales Transaction)2
7,189(1984)参照)なる構成単位を有するもの等が提
案されている。
しかし、これらの含フッ素ポリイミドは、従来のポリ
イミドに比べると吸水率は低いが、それでも0.5〜1.0%
程度の吸水率を示しており、さらに吸水率の低いポリイ
ミドの開発が望まれていた。
半導体装置の耐湿性向上及びα線によるソフトエラー
防止のために半導体素子表面にポリイミド樹脂の保護皮
膜を施すことは知られている。また、ポリイミド樹脂を
配線導体層間に絶縁膜として用いた多層配線構造を有す
る半導体装置も知られている。しかし、通常のポリイミ
ドは吸湿率が大きく、これらの用途において腐食が起こ
ったり、接着性が低下する等の問題があった。これら
は、実用的にはLSIなどの配線材であるアルミニウムや
銅の腐食断線、ハンダ付けやボンディング工程での急加
熱時の絶縁膜のふくれ、あるいはPN接合部の露出端部上
の表面安定化膜に用いた場合には、リーク電流の増加な
どの問題になって現れる。そこで、吸湿率を改良した含
フッ素ポリイミドを導体装置の保護皮膜に用いることが
提案されている。例えば、特開昭60-177659号公報に
は、式 で示されるテトラカルボン酸二無水物と式 で示されるジアミンとを反応させて得られるポリアミッ
ク酸を半導体素子表面に塗布したのち、加熱硬化させる
半導体装置の製造方法が記載されている。
しかし、上記製造方法を用いても、また耐湿性の改善
が満足すべきレベルに達しておらず、吸湿によって生ず
る前記問題点は解決されていない。
[発明の目的] 本発明の第1の目的は、2個のベンゼン環が結合した
炭素原子に、今まで導入が困難であった炭素数が2以上
のパーフルオロアルキル基を含む置換基を少なくとも1
つ導入し、従来の含フッ素芳香族化合物よりもフッ素原
子の含有量が多く、含フッ素ポリイミドや含フッ素エポ
キシ樹脂等の原料化合物として有用な新規含フッ素芳香
族化合物及びその製法を提供することにある。
本発明の第2の目的は、石英光ファイバーやコネクタ
ー等光学部品用の接着剤として好適な含フッ素エポキシ
樹脂を提供することにある。
本発明の第3の目的は、従来の含フッ素ポリイミドよ
り更に吸水率が低く、かつ耐熱性に優れた含フッ素ポリ
イミドを提供することにある。
本発明の第4の目的は、従来の半導体装置より、更に
耐湿性が改善され、実用上前記のような問題が生じない
半導体装置を提供することにある。
[発明の構成] 本発明の新規含フッ素芳香族化合物は一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′
fは炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素
数1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、s
は0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8
のアルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 それぞれのAは同一又は異なって (Dは、アミノ基、カルボキシル基、水酸基、メチル
基又はハロホルミル基、nは1又は2の整数)又は をそれぞれ表す。] で示される。本発明の新規化合物は、従来導入が困難と
されていた炭素数が2以上のパーフルオロアルキル基を
メチレン基を介することによって導入することができた
ものである。
本発明の新規化合物のうち、ベンゼン環にメチル基又
は水酸基を有するものは、 XCOY (II) [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′
fは炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素
数1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1の整
数、sは0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8
のアルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基をそ
れぞれ表す。] で示される化合物と、一般式 A−H (III) [式中、Aは (D′は水酸基又はメチル基、nは1又は2の整数)
を表す。] で示される化合物をルイス酸の存在下に反応させること
によって合成することができる。
一般式(II)で示される化合物として、例えば、 C8F17CH2CH2COCF3 C3F7OC(CF3)FCH2CH2COCF3 C4F9CH2CH2COCF3 C8F17CH2CH2COH C8F17CH2CH2COCH2CH2CF2CF2(OCF2CF2CF2)nF (n=1〜5) H(CF2CF2)3CH2CH2COCF3 H(CF2CF2)3CH2CH2COCH2CH2C8F17 が挙げられる。
一般式(III)で示される化合物として、例えば、ト
ルエン、o−キシレン、フェノール、カテコールが挙げ
られる。反応は求電子置換反応なので、一般式(III)
で示される化合物は、電子供与基を含む化合物であれば
特に限定されることはなく、同様な反応によって無置換
又は電子供与基を含む芳香族化合物を合成することがで
きる。
前記一般式(II)で示される化合物は、例えば次のよ
うなグリニャール反応によって容易に得ることができ
る。
[式中、Rf,R′f,p,q,r,s及びtは前記と同意義。] 前記一般式(II)で示される化合物1当量に対して前
記一般式(III)で示される化合物を2当量以上反応さ
せる。
反応は、ルイス酸の存在下に行うことを必須の要件と
する。ルイス酸としては、フッ化水素、塩化アルミニウ
ム、塩化鉄(III)、塩化亜鉛、三フッ化ホウ素、HSb
F6、HAsF6、HPF6、HBF4等を例示することができ、就中、フ
ッ化水素が特に好ましい。
ルイス酸の使用量は、前記一般式(II)で示される化
合物の15〜100倍モル、好ましくは20〜50倍モルであ
る。
反応の実施にあたっては溶媒の使用が好ましく、ジメ
チルホルムアミド(DMF)、ヘキサメチルホスホルアミ
ド(HMPA)、ジメチルアセトアミド(DMAc)、N−メチ
ルピロリドン、1,1,2,2−テトラクロロ−1,2−ジフルオ
ロエタン、ジメチルスルホキシド(DMSO)、テトラヒド
ロフラン(THF)等を使用することができる。なお、ル
イス酸として使用するフッ化水素は溶媒としても使用す
ることができる。
反応温度は、通常50〜200℃、好ましくは70〜150℃で
ある。圧力は通常5〜20kg/cm2、好ましくは7〜15kg/c
m2である。反応時間は反応温度等により変化しうるが、
通常1〜24時間の範囲である。
反応生成物は、通常の方法で回収することができ、例
えば、反応生成物をトリクロロトリフルオロエタンやク
ロロホルム等で抽出し、この抽出液から溶媒を留去する
ことによって回収できる。
本発明の新規化合物のうち、ベンゼン環にカルボキシ
ル基を有するものは、前記製法によって得た一般式 [式中、X、Y及びnは前記と同意義。] で示される化合物を酸化することによって合成すること
ができる。
ここで、酸化は通常酸化剤の使用によって行われ、好
ましい酸化剤としては、硝酸、亜硝酸、クロム酸、過マ
ンガン酸、塩素酸等を例示することができる。この酸化
反応は、140〜200℃、好ましくは170〜190℃で撹拌しな
がら行う。反応時間は、通常0.5〜10時間、好ましくは
2〜4時間である。
本発明の新規化合物のうち、ベンゼン環にアミノ基を
有するものは、前記製法によって得た一般式 [式中、X、Y及びnは前記と同意義。] で示される化合物とアジ化水素酸を強酸存在下に反応さ
せることによって合成することができる。
ここで、アジ化水素酸の使用量は、前記一般式(V)
で示される化合物1モルに対して、1〜2モルである。
強酸としては、硫酸、塩酸、硝酸等を使用することがで
きる。その使用量は前記一般式(V)で示される化合物
に対して20〜50当量である。反応は40〜60℃、好ましく
は50〜60℃で撹拌しながら行う。反応時間は通常1〜10
時間、好ましくは2〜4時間である。反応は溶媒の存在
下で行うことが好ましく、溶媒としてはクロロホルム等
を使用することができる。
本発明の新規化合物のうち、一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示される化合物は、前記製法によって得た一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示される化合物を脱水することによって合成すること
ができる。脱水は、減圧下又は窒素気流下において、10
0〜200℃、好ましくは140〜180℃に加熱することによっ
て行われる。減圧する際の圧力は、10〜200mmHg、好ま
しくは20〜100mmHgである。また、脱水は溶媒を使用し
て行うことも可能であり、前記化合物を溶媒に溶解し
て、使用した溶媒の沸点に加熱することによって行われ
る。溶媒としては、例えば、キシレン、クロロベンゼ
ン、トルエン、n−オクタン、1,1,1,2−テトラクロロ
エタン、1,1,2,2−テトラクロロエタン等をあげること
ができる。
本発明の新規化合物のうち、ベンゼン環にクロロホル
ミル基を有する化合物は、前記製法によって得た一般式
(V)で示される化合物と五塩化リン、三塩化リン又は
塩化チオニルを反応させることによって合成することが
できる。反応は、一般式(V)で示される化合物に対し
て、五塩化リン等を1当量以上の割合で撹拌混合するこ
とによって行われる。反応は通常は発熱反応なので冷却
しながら行うが、必要により加熱して行うこともでき
る。溶媒は特に必要ではないが、クロロホルム、ベンゼ
ン又は石油エーテル等に溶解して反応させることもでき
る。生成物は精留によって分離するこができる。
本発明の新規化合物のうち、ベンゼン環にブロムホル
ミル基を有する化合物は、前記製法によって得た一般式
(V)で示される化合物と五臭化リン又は三臭化リンを
反応させることによって合成することができる。反応は
前記のクロロホルミル基を有する化合物を製造する場合
と同様である。
本発明の新規化合物は、各種ポリマーの原料化合物と
して有用である。本発明は新規化合物を重合することに
よって、ポリアミド、ポリイミド、ポリアリーレート、
エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリカーボネート等を得
ることができる。これらのポリマーは含フッ素量が多い
ので、耐候性に優れ、吸水性も極めて小さい。
本発明の新規化合物からは、新規な含フッ素エポキシ
化合物が得られる。本発明の新規含フッ素エポキシ化合
物は、一般式 [式中、X及びYは前記と同意義、 nは0〜30の数を表す。] で示される。本発明の新規含フッ素エポキシ化合物は、
重合度によって液状ないし固体状を呈する。
本発明の新規含フッ素エポキシ化合物は、一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示される化合物とエピクロルヒドリンを反応させるこ
とによって合成することができる。一般式(VI)で示さ
れる化合物は、 XCOY (II) [式中、X及びYは前記と同意義。] で示される化合物とフェノールをルイス酸の存在下に反
応させることによって合成することができる。
前記一般式(VI)で示される化合物1モルに対して、
エピクロルヒドリン10〜30モルを反応させる。反応は、
前記一般式(VI)で示される化合物とエピクロルヒドリ
ンを水酸化ナトリウムの存在下で、撹拌しながら80〜90
℃に加熱することによって行われる。反応生成物は、過
剰のエピクロルヒドリンを減圧留去し、副生した塩化ナ
トリウムをろ別することによって回収することができ
る。
本発明の含フッ素エポキシ樹脂は、通常のエポキシ樹
脂の硬化方法で硬化させることができる。すなわち、硬
化剤を加えて、5〜200℃で10分〜10時間放置すること
によって硬化させることができる。使用する硬化剤とし
ては、ポリメチレンジアミン、ポリエーテルジアミンの
ような脂肪族ジアミン;ジエチレントリアミン、ジエチ
ルアミノプロピルアミン、アミノエチルエタノールアミ
ンのような直鎖又は分岐状脂肪族ポリアミン;メンタン
ジアミン、イソホロンジアミン、N−アミノエチルピペ
ラジンのような脂環式ポリアミン;エチレンテトラミン
のアダクツのような変性アミン;m−フェニレンジアミ
ン、4,4′−メチレンジアニリン、ジアミノジフェニル
エーテル、ジアミノジフェニルスルホンのような芳香族
ジアミン;N−メチルピペラジン、ピペリジンのような第
2級アミン;N,N′−ジメチルピペラジン、トリエタノー
ルアミン、ベンジルジメチルアミンのような第3級アミ
ン;三フッ化ホウ素−モノメチルアミンコンプレック
ス;メラミン樹脂、スルフィド樹脂等の低分子量物;無
水フタール酸、無水クロレンド酸のような酸無水物等が
挙げられる。なお、硬化剤の使用量は、本発明の含フッ
素エポキシ樹脂中に含まれるエポキシ基1当量に対して
0.1〜10当量、好ましくは0.5〜3当量である。
また、本発明の含フッ素エポキシ樹脂は、紫外線カチ
オン反応開始剤を加えて、紫外線照射することによって
硬化することができる。紫外線カチオン反応開始剤とし
ては、例えばp−メトキシベンゼンジアゾニウムヘキサ
フルオロフォスフェート、p−クロロベンゼンジアゾニ
ウムヘキサフルオロフォスフェート等のジアゾニウム
塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスフェ
ート、4,4−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムヘキ
サフルオロフォスフェート等のジアリールヨードニウム
塩、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニ
ウム等のトリアリールスルホニウム塩等が挙げられる。
本発明の含フッ素エポキシ樹脂は、フッ素含有量が多
く、耐熱性、耐水性、耐トラッキング性、耐候性等が優
れており、接着剤、塗料、成形材料等に有用である。特
に、石英光ファイバーやコネクター等光学部品用接着剤
として使用した場合、硬化後の屈折率が石英の屈折率に
近いので好ましい。
本発明の新規含フッ素化合物から、含フッ素ポリイミ
ドを製造できる。本発明の含フッ素ポリイミドは、一般
[式中、R1は芳香族テトラカルボン酸二無水物から2
個の酸無水物基を除いた残基、R2は芳香族ジアミンから
2個のアミノ基を除いた残基であって、R1及びR2の少な
くとも一方は、主鎖に (X及びYは前記と同意義)で示される基を含む。n
は10以上の整数を示す。] で示されるものである。
本発明の含フッ素ポリイミドの特徴は、その繰り返し
単位の芳香環と芳香環の間に (X及びYは前記と同意義)で示される基を含む点に
ある。すなわち、R1とR2の少なくとも一方は主鎖に を含むもの、R1であれば R2であれば である必要がある。
置換基R1を具体的に例示すると、 −C(CH3)2−、−C(CF3)2−又は−Si(CH3)2−)、 (R4は−C6H4−、−C6H4−O−C6H4−又は−C6H4−O−
C6H4−O−C6H4−)、 (R5は−O−、−O−(CH2)4−O−、−O−(CH2)6−O
−、 等を挙げることができる。
また、置換基R2を具体的に例示すると −S−、−CH2−、−C(CH3)2−、−C(CF3)2−、−SO
2−、 (R7は−O−、−SO2−、−CH2−、 −C(CH3)2− 又は−S−)等を挙げることができる。
本発明のポリイミドは、一般式 H2N−R2−NH2 [式中、R2は前記と同意義。] で示される芳香族ジアミンと一般式 [式中、R1は前記と同意義。] 本発明のポリイミドは、一般式 H2N−R2−NH2 [式中、R2は前記と同意義。] で示される芳香族ジアミンと一般式 [式中、R1は前記と同意義。] で示される芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させ
て、一般式 [式中、R1及びR2は前記と同意義、nは10以上の整数
を表す。] で示されるポリアミド酸を生成させて、次いでこのポリ
アミド酸をポリイミドに転化することによって得ること
ができる。
ただし、上記芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン
酸二無水物との組み合わせにおいて、芳香族ジアミンに
一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示されるもの以外の芳香族ジアミンを使用する場合
は、芳香族テトラカルボン酸二無水物は一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示されるものでなければならない。また、芳香族テト
ラカルボン酸二無水物に前記の一般式(VIII)で示され
るもの以外のものを使用する場合は、芳香族ジアミンは
前記の一般式(VII)で示される芳香族ジアミンを使用
しなければならない。
前記の一般式(VII)で示される芳香族ジアミンは、
前記式(II)で示される化合物とトルエンをルイス酸の
存在下に反応させて一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示される化合物を得て、この化合物を酸化した後、ア
ジ化水素酸と反応させることによって得ることができ
る。また、前記の一般式(VIII)で示される芳香族酸無
水物は、前記の一般式(II)で示される化合物と、o−
キシレンとルイス酸の存在下に反応させて、一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示される化合物を酸化したのち、加熱脱水することに
よって得ることができる。
使用することができる他の芳香族ジアミンを具体的に
例示すると、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、3,
3′−ジアミノジフェニルエーテル、3,4′−ジアミノジ
フェニルエーテル、4,4′−ジアミノジフェニルチオエ
ーテル、3,3′−ジアミノジフェニルチオエーテル、3,
4′−ジアミノジフェニルチオエーテル、4,4′−ジアミ
ノベンゾフェノン、3,3′−ジアミノベンゾフェノン、
3,4′−ジアミノベンゾフェノン、4,4′−ジアミノジフ
ェニルスルホン、3,3′−ジフェニルスルホン、3,4′−
ジフェニルスルホン、4,4′−ジアミノジフェニルメタ
ン、3,3′−ジアミノジフェニルメタン、3、4′−ジ
アミノジフェニルメタン、2,2′−ビス(4−アミノフ
ェニル)プロパン、2,2′−ビス(3−アミノフェニ
ル)プロパン、ベンジジン、3,3′−ジアミノビフェニ
ル、3,4′−ジアミノビフェニル、p−フェニレンジア
ミン、m−フェニレンジアミン、ビス(4−アミノ)ジ
メチルシラン、ビス(4−アミノフェニル)ジエチルシ
ラン、ビス(4−アミノフェニル)ジフェニルシラン等
を挙げることができる。
使用することができる他の芳香族テトラカルボン酸二
無水物を具体的に例示すると、ピロメリット酸二無水
物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
3,3′,4,4′−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、
1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,
2′,3,3′−ジフェニルテトラカルボン二無水物、2,
3′,3,4′−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,
2′−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無
水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二
無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水
物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無
水物、カタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水
物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン
二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エ
タン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルゴキシフ
ェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフ
ェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)チオエーテル二無水物、3,4,3′,4′−ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカ
ルボキシフェニル)ジメチルシラン二無水物、ビス(3,
4−ジカルボキシフェニル)ジメチルシラン二無水物、
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ジフェニルシラン
二無水物等を挙げることができる。
前記製法の反応は、通常溶媒存在下で、等モル量の上
記酸無水物と芳香族ジアミンを撹拌混合することによっ
て行われる。反応温度は0〜60℃、好ましくは20〜40
℃、反応時間は1〜24時間、好ましくは3〜12時間であ
る。使用する溶媒としては、N−メチル−2−ピロリド
ン(NMP)、ジメチルアセトアミド(DMAc)、ジメチル
ホルムアミド(DMF)、スルホラン、テトラヒドフラン
等を例示することができる。なお、前記一般式(VII)
で示される芳香族ジアミンと前記一般式(VIII)で示さ
れる酸無水物を反応させる場合は、溶媒として前記の溶
媒にテトラクロロヘキサフルオロブタン、トリクロロト
リフルオロエタン、テトラクロロジフルオロエタン、パ
ークロルエチレン等のハロゲン系溶媒を加えた混合溶媒
を用いるのが好ましい。
上記の反応によって生成させたポリアミド酸は、常法
によってポリイミドに転化することができる。例えば、
ポリアミド酸を200℃以上、例えば230〜400℃で加熱す
ることによって、容易にポリイミドに転化することがで
きる。
本発明の含フッ素ポリイミドは、本発明の半導体装置
の被覆として特に適している。本発明によれば、前記ポ
リアミド酸を半導体素子及びリード線の表面に塗布し、
加熱硬化させて被覆を形成して、半導体装置を製造する
ことができる。
[実施例] 以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明す
る。
参考例 冷却管、温度計、窒素導入管及び撹拌器を取り付けた
5l4つ口フラスコにマグネシウム24.31g(1モル)、乾
燥ジエチルエーテル150ml及び少量のヨウ素結晶を加え
て、窒素を導入しながら撹拌した。ジエチルエーテル60
0mlに溶解したC8F17CH2CH2I574g(1モル)を徐々に滴
下し、滴下終了後、2時間加熱還流した。次に反応溶液
を室温に戻し、CF3CO2CH3128g(1モル)を滴下し、滴
下後2時間撹拌した。
反応が終了した後、反応溶液に硫酸溶液を加えて酸性
にし、ジエチルエーテル層を3回水洗した後、硫酸ナト
リウムで乾燥し、更に五酸化リンで乾燥した。このジエ
チルエーテル層を減圧蒸留して、C8F17CH2CH2COCF3なる
ケトン化合物(沸点96〜98℃/17mmHg)が174g(収率32
%)得られた。
IR(NaCl)ν[cm-1];1780,1250,1210,1150,101019 F−NMR(CCl4)δ[ppm];−12.7(s,3F)、35.9(b
road,2F)、43.2(broad,6F)、44.0(broad,2F)、44.
3(broad,2F)、47.5(broad,2F) 実施例1 300mlオートクレーブにトルエン15.2g(0.165モ
ル)、参考例で得られたC8F17-CH2CH2COCF340.9g(0.07
5モル)及びフッ化水素40mlを仕込んだ。次に撹拌しな
がら温度90〜100℃、圧力9kg/cm2で18時間反応させた。
反応が終了した後、フッ化水素を除去し反応生成物を
トリクロロトリフルオロエタンで抽出した。この抽出物
からトリクロロトリフルオロエタンを減圧留去すると式 で示される化合物38.9g(収率73%)が得られた。
IR(NaCl)ν[cm-1];2900,1520,1465,1330,1240,121
0,1150,1010,815,730,7101 H−NMR(CCl4/TMS)δ[ppm];1.5〜3.3(m,4H)、2.3
0(s,6H)、7.05(s,8H)19 F−NMR(CCl4/TFA)δ[ppm];−12.1(s,3F)、2.8
(t,3F)、36.3(broad,2F)、43.5(broad,6F)、44.4
(broad,2F)、44.7(broad,2F)、47.9(broad,2F) 実施例2 100mlオートクレーブに実施例1で得た式 で示される化合物20.0g(0.028モル)、酢酸73mlを仕込
み、80℃の温度に加熱撹拌しながら酸化クロム(VI)1
8.3gを加えた。反応温度を80〜90℃に保ちながら12時間
撹拌した。
反応が終了した後、反応生成物から酢酸を減圧留去し
た。残った固形物に5%水酸化ナトリウム溶液400mlを
加えて溶解し、ろ過して酸化クロム(III)をろ別し
た。ろ液に硫酸水溶液を加えて酸性にすると白色固体が
析出し、この白色固体をろ別し乾燥すると、式 で示される化合物18.5g(収率86%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3000,1700,1615,1425,1330,1285,
1240,1200,1150,1120,1010,855,810,780,725,7101 H−NMR(DMSO−d6/TMS)δ[ppm];1.6〜3.1(m,4
H)、7.57(dd,J=8Hz,57Hz,8H)、9.5〜10.5(broad,2
H)19 F−NMR(DMSO−d6/TFA)δ[ppm];−13.0(s,3
F)、2.1(t,3F)、35.9(broad,2F)、43.0(broad,6
F)、44.0(broad,2F)、44.3(broad,2F)、47.3(bro
ad,2F) 実施例3 500ml3つ口フラスコに、実施例2で得た式 で示される化合物15.0g(0.0195モル)、濃硫酸63g及び
クロロホルム200mlを加えた。温度40〜50℃に加熱しな
がら、アジ化水素酸(1.00N)58.5mlを滴下し2時間還
流した。
反応が終了した後、反応溶液を室温に戻し、水400ml
中に投入すると、析出物が生じた。この析出物をろ過し
て分別し、これに水酸化ナトリウム溶液を加えてアルカ
リ性にし、これをクロロホルム500mlで抽出した。この
抽出液からクロロホルムを留去すると、式 で示される化合物8.34g(収率60%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3450,3370,1630,1520,1370,1335,
1280,1250,1230,1200,1150,1110,1005,960,825,820,7051 H−NMR(CDCl3/TMS)δ[ppm];1.5〜2.9(m,4H)、3.
62(s,4H)、6.72(dd,J=8Hz、37Hz,8H)19 F−NMR(CDCl3/TFA)δ[ppm];−12.2(s,3F)、2.
1(t,3F)、35.7(broad,2F)、43.0(broad,6F)、44.
0(broad,2F)、44.3(broad,2F)、44.3(broad,2
F)、47.2(broad,2F) 実施例4 100mlオートクレーブにo−キシレン17.17g(0.1617
モル)、C8F17CH2CH2COCF340.0g(0.0735モル)及びフ
ッ化水素37mlを仕込んだ。次に撹拌しながら、温度90〜
100℃、圧力9kg/cm2で18時間反応させた。
反応が終了した後、反応生成物をトリクロロトリフル
オロエタンで抽出した。この抽出液からトリクロロトリ
フルオロエタンを減圧留去すると式 で示される化合物38.3g(収率70%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];2950,1510,1470,1450,1375,1330,
1200,1145,1110,1020,990,965,880,820,735,710,1 H−NMR(CCl4/TMS)δ[ppm];1.6〜3.3(m,4H)、2.2
2(s,12H)、6.94(s,6H) 実施例5 500mlオートクレーブに、実施例4で得た式 で示される化合物38.0g(0.05モル)、60%硝酸58ml及
び水57mlを仕込み、170〜180℃で2時間反応させた。
反応が終了した後、反応生成物をろ過し、残った固形
物に5%水酸化ナトリウム溶液を加えて溶解し、ろ過し
た。ろ液に硫酸水溶液を加えて酸性にし、エーテルで抽
出した。この抽出液からエーテルを留去すると、式 で示される化合物39.7g(収率90%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3400,3000,1710,1615,1580,1510,
1425,1210,1160,1110,1070,1020,980,820,800,725,7051 H−NMR(アセトンd6/TMS)δ[ppm];1.7〜3.3(m,4
H)、6.6〜7.6(broad,4H)、7.6〜8.0(m,6H)19 F−NMR(アセトンd6/TFA)δ[ppm];−11.5(s,3
F)、3.6(t,3F)、36.9(broad,2F)、44.3(broad,6
F)、45.2(broad,2F)、45.5(broad,2F)、48.6(bro
ad,2F) 実施例6 実施例5で得た式 で示される化合物39.7gを(0.046モル)を200mlナス型
フラスコに入れ、減圧下温度150〜160℃で6時間加熱し
た。
加熱が終了した後、ナス型フラスコから反応生成物を
取り出し、これをエーテルで再結晶すると白色結晶の式 で示される化合物22.7g(収率60%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];1860,1780,1620,1490,1470,1435,
1400,1375,1335,1205,1180,1155,1120,1015,900,740,72
5,7001 H−NMR(熱CDCl3/TMS)δ[ppm];1.6〜3.2(m,4H)、
7.5〜8.1(m,6H)19 F−NMR(熱CDCl3/TFA)δ[ppm];−13.2(s,3F)、
2.1(t,3F)、35.8(broad,2F)、43.0(broad,6F)、4
4.0(broad,4F)、47.2(broad,2F) 実施例7 100mlオートクレーブにフェノール15.22g(0.162モ
ル)、C8F17CH2CH2-COCF340.0g(0.0735モル)及びフッ
化水素37mlを仕込んだ。次に撹拌しながら、温度85〜90
℃、圧力9kg/cm2で15時間反応させた。
反応が終了した後、フッ化水素を除去すると黄色固体
の生成物49.6gが得られた。この生成物を五フッ化プロ
パノールで再結晶すると、白色結晶の式 で示される化合物31.8g(収率70%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3350,1610,1600,1515,1460,1440,
1350,1250,1210,1155,1110,1005,830,7001 H−NMR(アセトンd6/TMS)δ[ppm];1.7〜3.2(m,4
H)、6.95(dd,J=8Hz,28Hz,8H)、8.35(s,2H)19 F−NMR(アセトンd6/TFA)δ[ppm];−12.2(s,3
F)、2.2(t,3F)、35.9(broad,2F)、43.2(broad,6
F)、44.3(broad,4F)、47.5(broad,2F) 実施例8 500mlオートクレーブにフェノール20.68g C3F7OCFCH2CH2COCF341.0g(0.1モル)及びフッ化水素50
g(2.5モル)を仕込んだ。撹拌しながら、温度80〜84℃
で15時間反応させた。
反応が終了した後、反応溶液を氷水に投入し、デカン
テーションでフッ化水素を除去すると、高粘度の液体が
得られた。この液体をジエチルエーテル300mlで抽出
し、抽出液を炭酸水素ナトリウムで中和し、2回水洗し
た。次に抽出液を硫酸ナトリウムで乾燥させた後、エー
テルを留去すると式 で示される化合物(沸点203〜205℃/1mmHg)34.1g(収
率59%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3360,1615,1605,1520,1440,1340,
1305,1230,1200,1160,1090,1010,975,840,7501 H−NMR(DMSO−d6/TMS)δ[ppm];1.5〜3.0(m,4
H)、6.82(dd,J=8Hz,24Hz,8H)、9.42(s,2H)19 F−NMR(DMSO−d6/TFA)δ[ppm];−12.2(s,3
F)、2.9(m,5F)、4.7(d,3F)、51.3(m,3F) 実施例9 500mlオートクレーブにトルエン60.81g(0.66モ
ル)、C4F9CH2CH2COCF3103.23g(0.3モル)及びフッ化
水素150gを仕込んだ。次に撹拌しながら、温度85〜90℃
で反応させた。
反応が終了した後、反応生成物をトリクロロトリフル
オロエタンで抽出した。この抽出液からトリクロロトリ
フロオロエタンを減圧留去すると式 で示される化合物127.7g(収率83%)が得られた。
IR(NaCl)ν[cm-1];3000,1615,1520,1465,1350,122
5,1135,1010,920,880,850,810,7301 H−NMR(CDCl3/TMS)δ[ppm];1.7〜2.9(m,4H)、2.
35(s,6H)、7.17(s,8H)19 F−NMR(CDCl3)δ[ppm];−12.3(s,3F)、2.7
(t,3F)、36.4(m,2F)、47.6(t,2F) 実施例10 100mlオートクレーブに実施例9で得た式 で示される化合物105.0g(0.206モル)、60%硝酸128ml
及び水126mlを仕込んだ。次に攪拌しながら、温度180〜
190℃で反応させた。
反応が終了した後、反応生成物から固形物をろ別し
た。この固形物に5%水酸化ナトリウム溶液400mlを加
えて溶解し、不溶物をろ別した。ろ液に硫酸水溶液を加
えて酸性にすると白色固体が析出し、この白色固体をろ
別し、乾燥すると式 で示される化合物112.4g(収率96%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3000,1615,1520,1465,1350,1225,
1135,1010,920,880,850,810,7301 H−NMR(CDCl3/TMS)δ[ppm];1.7〜2.9(m,4H)、2.
35(s,6H)、7.17(s,8H)19 F−NMR(CDCl3)δ[ppm];−12.3(s,3F)、2.7
(t,3F)、36.4(m,2F)、45.7(m,2F)、47.6(t,2F) 実施例11 2lの3つ口フラスコに実施例10で得た式 で示される化合物64.0g(0.112モル)、濃硝酸176g及び
クロロホルム350mlを加えた。温度を0〜5℃に保ちな
がら、アジ化水素酸(1.1N)306mlを滴下し、滴下後温
度40〜45℃で2時間加熱撹拌した。次に室温で12時間撹
拌後、クロロホルム層と水層を分別した。水層を水酸化
ナトリウムでアルカリ性にし、クロロホルム400mlで抽
出した。抽出液を硫酸ナトリウムで乾燥した後、クロロ
ホルムを留去し、石油ベンジン−ジエチルエーテルで再
結晶すると式、 で示される化合物32.8g(収率54%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3420,3350,1620,1520,1460,1360,
1320,1280,1250,1220,1200,1160,1130,1020,1005,920,8
50,835,7201 H−NMR(DMSO−d6)δ[ppm];1.5〜3.8(m,4H)、5.2
1(s,4H)、6.74(dd,J=8Hz,36Hz,8H)19 F−NMR(DMSO−d6)δ[ppm];−12.6(s,3F)、2.4
(t,3F)、35.9(m,2F)、45.8(m,2F)、47.5(t,2F) 実施例12 100mlオートクレーブにo−キシレン63.0g(0.594モ
ル)、C4F9CH2CH2-COCF392.9g(0.27モル)及びフッ化
水素135gを仕込んだ。次に撹拌しながら温度75〜80℃で
17時間反応させた。
反応が終了した後、反応生成物をトリクロロトリフル
オロエタンで抽出した。この抽出液からトリクロロトリ
フルオロエタンを留去すると式 で示される化合物130.9g(収率90%)が得られた。
IR(NaCl)ν[cm-1];2950,1620,1575,1505,1450,122
5,1130,990,880,810,730,720,1015,900,740,725,7001 H−NMR(CCl4)δ[ppm];1.6〜3.9(m,4H)、2.23
(s,12H)、7.00(s,6H)19 F−NMR(CCl4)δ[ppm];−12.4(s,3F)、2.9(t,
3F)、36.6(m,2F)、45.9(m,2F)、47.9(t,3F) 実施例13 500mlオートクレーブに実施例12で得た式 で示される化合物80.8g(0.15モル)、60%硝酸166ml及
び水164mlを仕込み、温度170〜180℃で2時間反応させ
た。
反応が終了した後、反応生成物をろ過し、残った固形
物に5%水酸化ナトリウム溶液を加えて溶解し、ろ過し
た。ろ液に硫酸水溶液を加えて酸性にし、エーテルで抽
出した。この抽出液からエーテルを留去すると式 で示される化合物86.9g(収率88%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];3000,1705,1605,1570,1500,1420,
1230,1160,1130,1070,1010,880,850,800,7201 H−NMR(DMSO−d6)δ[ppm];1.8〜3.8(m,4H)、7.3
〜7.8(m,6H)、10〜12(broad,4H)19 F−NMR(DMSO−d6)δ[ppm];−13.2(s,3F)、2.1
(t,3F)、35.3(m,2F)、45.4(m,2F)、47.2(t,2F) 実施例14 実施例13で得た式 で示される化合物86.9g(0.132モル)を200mlナス型フ
ラスコに入れ、減圧下温度160℃で5時間加熱した。
加熱が終了した後、オートクレーブから生成物を取り
出し、これをエーテルで再結晶すると、白色結晶の式 で示される化合物60.6g(収率65%)が得られた。
IR(KBr)ν[cm-1];1860,1785,1620,1430,1330,1255,
1235,1175,1150,1130,1115,1010,900,850,740,720,7001 H−NMR(DMSO−d6)δ[ppm];1.5〜3.6(m,4H)、7.7
〜8.2(m,6H)19 F−NMR(DMSO−d6)δ[ppm];−13.3(s,3F)、2.3
(t,3F)、35.2(m,2F)、45.2(m,2F)、47.3(t,2F) 実施例15 温度計、撹拌機及び還流管を備えた3l丸底フラスコ
に、式 で示される化合物600g(0.840モル)、エピクロルヒド
リン1166g(12.60モル)、純水4ml及び水酸化ナトリウ
ム3gを仕込んだ。内温が83〜87℃になるように加熱し、
水酸化ナトリウムが消失するまで撹拌した。内温を83〜
87℃に保ちながら再び水酸化ナトリウムを加えた。以
後、内温を83〜87℃に保ちながら水酸化ナトリウムを5g
ずつ加えて、全量で70g(1.75モル)加えた。水酸化ナ
トリウムを全量添加した後、発熱が鎮まったら、内温を
83〜87℃に保ちながら1時間撹拌した。
反応が終了した後、反応液を減圧蒸留して未反応のエ
ピクロルヒドリンを留去した。次に残留物を70℃まで冷
却し、ベンゼンを100ml加えた後、副生物の塩化ナトリ
ウムをろ別した。ろ液を減圧蒸留してベンゼンを除去す
ると式 (式中、nの平均は0.2) で示される液状のエポキシ樹脂652gが得られた。なお、
式中のnはHPLC(高速液体クロマトグラフィー)により
測定した値である。
IR(NaCl)ν[cm-1];3000,1615,1585,1520,1460,1260
〜1100,1030,1000,970,915,860,830,770,740,725,7101 H−NMR(CCl4)δ[ppm];6.86(dd,9.6H,J=9Hz,27H
z)、4.2〜3.7(m,4.2H)、3.3〜3.0(m,2.2H)、2.9〜
2.3(m,7.2H)、2.3〜1.5(broad,2.4H)19 F−NMR(CCl4)δ[ppm];−12.1(s,3F)、2.3(t,
3F)、35.9(b,2F)、43.2(b,6F)、43.2(b,6F),44.
3(b,4F)、47.5(b,2F) 実施例16 温度計、撹拌機及び還流管を備えた100mlフラスコに
で示される化合物14.51g(0.025モル)、エプクロルヒ
ドリン34.7g(0.375モル)及び純水0.13gを仕込んだ。
内温を80〜85℃になるように加熱し、水酸化ナトリウム
0.65gを加えた。次に内温が70〜75℃になるように調節
し、水酸化ナトリウムを0.7gずつ2回に分けて添加し、
全量で2.05g(0.051モル)の水酸化ナトリウムを加え
た。内温が80〜85℃に保ちながら1時間撹拌した。
反応が終了した後、反応液を減圧蒸留して未反応のエ
ピクロルヒドリンを留去した。次に残留物にベンゼンを
15ml加え、副生した塩化ナトリウムをろ別した。ろ液を
減圧蒸留してベンゼンを留去すると式 (式中、nの平均は0.2) で示される液状のエポキシ樹脂16.89gが得られた。
IR(NaCl)ν[cm-1];2900,1610,1580,1515,1460,133
0,1290,1240,1200,1150,1080,1030,1010,910,830,7501 H−NMR(CCl4)δ[ppm];6.85(dd,9.6H,J=9Hz,26H
z)、4.2〜3.7(m,4.2H)、3.3〜3.0(m,2.4H)、2.9〜
2.3(m,7.2H)、2.2〜1.7(broad,2.4H)19 F−NMR(CCl4)δ[ppm];−12.1(s,3F)、2.6(m,
5F)、4.9(d,3F)、51.0(s,3F) 試験例 実施例15及び実施例16で得た含フッ素エポキシ樹脂並
びに比較例1として式 で示される含フッ素エポキシ樹脂について、下記に示す
(1)〜(3)の物性について測定を行った。
硬化剤:エポミックQ−694 (三井石油化学工業株式会社製) 硬化剤配合割合: 実施例15で得た樹脂32部に対して硬化剤5部 実施例16で得た樹脂47部に対して硬化剤10部 比較例1の樹脂11部に対して硬化剤4部 硬化温度:65℃ 硬化時間:6時間 測定する物性は次のとおりであった。
(1) 屈折率の測定 アツベ屈折計を用いて23℃で行った。
(2) ガラス転移温度(Tg)の測定 (3) せん断接着強度の測定 JIS−K−6850に従い、SUS304を使用して行った。
以上の(1)〜(3)の各物性の測定結果を第1表に
示す。
第1表に示した結果より、本発明含フッ素エポキシ樹
脂の屈折率は、従来の含フッ素エポキシ樹脂よりも屈折
率が小さく、石英の屈折率(nD 23=1.46)に近いことが
わかる。
実施例17 式 で示される芳香族ジアミン14.25g(0.02モル)をジメチ
ルアセトアミド35.0gとテトラクロロヘキサフルオロブ
タン65.0gとの混合溶媒に溶解した後、式 で示される酸無水物16.45g(0.02モル)を粉末のまま加
えて撹拌しながら、温度25℃で12時間反応させた。反応
が終了した後、粘度14000cps(23℃)、濃度23.5重量%
のポリアミド酸を得た。次にこのポリアミド酸をガラス
板上に塗布し、オーブン中で、80℃で20分、更に100
℃、200℃、300℃で各1時間乾燥してポリイミドフイル
ムを得た。
このポリイミドフイルムについて赤外線吸収スペクト
ルを測定した結果、1785cm-1と1720cm-1にイミド基のC
=O伸縮振動に基づく吸収が認められた。
次に、このポリイミドフイルムについて次の各物性値
を測定した。
(1) 吸水率 ポリイミドフイルムから76.2mm×25.4mmの切片を作成
し、この切片を50±3℃の温度で24時間乾燥後、デシケ
ーター中で放冷してから秤量する。このときの重量をW1
とする。次にこの切片を蒸留水中に23±1℃の温度で24
時間浸漬した後、水中から取り出して水滴を布でふきと
ってから秤量する。このときの重量をW2とする。そして
吸水率Aを次の式によって算出する。
(2) ガラス転位温度(Tg) パーキンエマル社製DSCII型示差走査熱量計を用い、1
0℃/分の昇温速度で吸熱が始まる温度を測定する。
(3) 熱分解温度(Td) 島津製作所製示差熱重量分析計DT-30を用い、10℃/
分の昇温速度で重量減少の始まる温度を測定する。
各物性値の測定結果を第2表に示す。
実施例18 式 で示される芳香族ジアミン10.25g(0.02モル)と、式 で示される酸無水物12.45g(0.02モル)を実施例17と同
様にして反応させ、粘度11000cps及び濃度20.1重量%の
ポリアミド酸を得た。
次にこのポリアミド酸から実施例17と同様にして、ポ
リイミドフイルムを作成し、各物性値を測定した。結果
を第2表に示す。
実施例19 式 で示される芳香族ジアミン7.12g(0.01モル)をジメチ
ルアセトアミド30.0gに溶解した後、無水ピロメリット
酸2.18g(0.01モル)を粉末のまま加えて実施例17と同
様に反応させた。反応が終了した後、粘度9000cps、濃
度23.7重量%のポリアミド酸を得た。
次にこのポリアミド酸から実施例17と同様にして、ポ
リイミドフイルムを作成し、各物性値を測定した。結果
を第2表に示す。
実施例20 ジアミノジフェニルエーテル4.00g(0.02モル)をN
−メチル−2−ピロリドン60gに溶解した後、式 で示される酸無水物12.45g(0.02モル)を粉末のまま加
えて実施例17と同様に反応させた。反応が終了した後、
粘度12000cps、濃度21.5重量%のポリアミド酸を得た。
次にこのポリアミド酸から実施例17と同様にして、ポ
リイミドフイルムを作成し、各物性値を測定した。結果
を第2表に示す。
比較例2 式 で示される芳香族ジアミン1.333g(3ミリモル)を、ジ
メチルアセトアミド20.0gに溶解した後、式 で示される酸無水物1.003g(3ミリモル)加えて、実施
例17と同様にして反応させた。反応が終了したのち、濃
度10.5重量%のポリアミド酸を得た。
次にこのポリアミド酸から実施例17と同様にして、ポ
リイミドフイルムを作成し、各物性値を測定した。結果
を第2表に示す。
比較例3 式 で示される構成単位を有するポリイミド(デュポン社製
「カプトンH」)を用いて、実施例17と同様にしてフイ
ルムを作成し、各物性値を測定した。結果を第2表に示
す。
実施例21〜24及び比較例4 温度計、攪拌機及び窒素ガス吹き込み口を備えた4つ
口フラスコに下記第3表に示す精製したジアミン0.1モ
ルをとり、下記第3表に示す溶媒を加えて溶解した。次
に、この溶液に下記第3表に示すテトラカルボン酸二無
水物0.1モルを撹拌下に少量ずつ加えた。この反応系の
温度を25±2℃に保った。テトラカルボン酸二無水物の
添加が完了し、全体が均一溶液になってから、反応後の
固形分濃度が15重量%となるように溶媒を追加した。そ
の後窒素気流下中で25±2℃に保ちながら、24時間撹拌
を続け、ポリアミック酸溶液を調製した。
次に、前記ポリアミック酸溶液を256KビットD−RAM
メモリ用LSI(16ピン)の素子及びリード線上に滴下
し、80℃,100℃、150℃及び200℃で各1時間加熱し、最
後に250℃で20分間加熱して素子及びリード線上に含フ
ッ素ポリイミドの被覆膜を生成させた。生成したポリイ
ミドの膜厚は20〜60μmであった。このようにして得ら
れた素子を下記のように調製したエポキシ樹脂組成物で
トランスファー成形(180℃、1.5分間、75kg/cm2)して
封止した。このものをさらに185℃で5時間ポストキュ
アして樹脂封止型半導体装置を得た。各実施例のそれぞ
れ100個のLSIについてプレッシャクッカ試験器を用いて
耐湿信頼性を調べた。結果を第4表に示す。なお、耐湿
信頼性は120℃、2気圧の水蒸気中に封止した素子を放
置した時のアルミ配線腐食による断線故障した個数で表
示したものである。
(封止用エポキシ樹脂組成物の調製) オルトクレゾールノボラックエポキシ(EOCN-1025
日本化薬(株)製、エポキシ当量200)100重量部にフェ
ノールノボラック(PR-53194 住友デュレズ(株)製、
水酸基当量105)50重量部、2−フェニルイミダゾール
2重量部、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン2重量部、溶融シリカ粉末350重量部、カルナバワッ
クス2重量部、カーボンブラック1重量部からなる混合
物を75〜90℃の2本ロールで混練し、冷却後フレーカー
で粉砕して封止用エポキシ樹脂組成物を調製した。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C07C 43/178 7419−4H C07C 43/178 C 63/70 63/70 63/72 63/72 65/21 9450−4H 65/21 C 217/76 217/76 C07D 307/89 C07D 307/89 Z C08G 59/06 NHJ C08G 59/06 NHJ H01L 21/312 H01L 21/312 B // B01J 20/08 B01J 20/08 C07B 61/00 300 C07B 61/00 300

Claims (18)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 それぞれのAは同一又は異なって (Dは、アミノ基、カルボキシル基、水酸基、メチル基
    又はハロホルミル基、nは1又は2の整数)又は をそれぞれ表す。] で示される新規含フッ素芳香族化合物。
  2. 【請求項2】一般式 XCOY [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基をそれ
    ぞれ表す。] で示される化合物と、一般式 A−H [式中、Aは (D′は水酸基又はメチル基、nは1又は2の整数)を
    表す。] で示される化合物をルイス酸の存在下に反応させること
    を特徴とする一般式 [式中、X,Y及びAは前記と同意義。] で示される新規含フッ素芳香族化合物の製法。
  3. 【請求項3】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 nは1又は2の整数をそれぞれ表す。] で示される化合物を酸化することを特徴とする一般式 [式中、X、Y及びnは前記と同意義。] で示される新規含フッ素芳香族化合物の製法。
  4. 【請求項4】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 nは1又は2の整数をそれぞれ表す。] で示される化合物とアジ化水素酸を強酸の存在下に反応
    させることを特徴とする一般式 [式中、X、Y及びnは前記と同意義。] で示される新規含フッ素芳香族化合物の製法。
  5. 【請求項5】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基を表
    す。] で示される化合物を脱水することを特徴とする一般式 [式中、X及びYは前記と同意義。] で示される新規含フッ素芳香族化合物の製法。
  6. 【請求項6】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 nは1又は2の整数をそれぞれ表す。] で示される化合物と、五塩化リン、三塩化リン又は塩化
    チオニルを反応させることを特徴とする一般式 [式中、X、Y及びnは前記と同意義。] で示される新規含フッ素芳香族化合物の製法。
  7. 【請求項7】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 nは1又は2の整数をそれぞれ表す。] で示される化合物と三臭化リン又は五臭化リンを反応さ
    せることを特徴とする一般式 [式中、X、Y及びnは前記と同意義。] で示される新規含フッ素芳香族化合物の製法。
  8. 【請求項8】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 nは0〜30の数を表す。] で示される新規含フッ素エポキシ樹脂。
  9. 【請求項9】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基をそれ
    ぞれ表す。] で示される化合物とエピクロルヒドリンを反応させるこ
    とを特徴とする一般式 [式中、X及びYは前記と同意義、nは0〜30の数を表
    す。] で示される含フッ素エポキシ樹脂の製法。
  10. 【請求項10】一般式 [式中、R1は芳香族テトラカルボン酸二無水物から2個
    の酸無水物基を除いた残基、R2は芳香族ジアミンから2
    個のアミノ基を除いた残基であって、R1及びR2の少なく
    とも一方は、 (Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基をそれ
    ぞれ表す)で示される基を含む。nは10以上の数を表
    す。] で示される新規含フッ素ポリイミド。
  11. 【請求項11】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 nは10以上の数を表す。] で示される特許請求の範囲第10項記載の新規含フッ素ポ
    リイミド。
  12. 【請求項12】一般式 [式中、R1は芳香族テトラカルボン酸二無水物から2個
    の酸無水物基を除いた残基、 Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 nは10以上の数を表す。] で示される特許請求の範囲第10項記載の新規含フッ素ポ
    リイミド。
  13. 【請求項13】一般式 [式中、Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基、 R2は芳香族ジアミンから2個のアミノ基を除いた残基、 nは10以上の数を表す。] で示される特許請求の範囲第10項記載の新規含フッ素ポ
    リイミド。
  14. 【請求項14】特許請求の範囲第10項記載の含フッ素ポ
    リイミドで被覆された半導体装置。
  15. 【請求項15】特許請求の範囲第11項の含フッ素ポリイ
    ミドで被覆された半導体装置。
  16. 【請求項16】特許請求の範囲第12項記載の含フッ素ポ
    リイミドで被覆された半導体装置。
  17. 【請求項17】特許請求の範囲第13項記載の含フッ素ポ
    リイミドで被覆された半導体装置。
  18. 【請求項18】一般式 [式中、R1は芳香族テトラカルボン酸から4個のカルボ
    キシル基を除いた残基、R2は芳香族ジアミンから2個の
    アミノ基を除いた残基であって、R1及びR2の少なくとも
    一方は、 (Xは (Rfは炭素数1〜10のパーフルオロアルキル基、R′f
    は炭素数1〜12のパーフルオロアルキル基、pは炭素数
    1〜3の整数、qは0〜3の整数、rは0又は1、sは
    0〜5の整数、tは0〜5の整数)、 YはXと同意義であるか又は水素原子、炭素数1〜8の
    アルキル基、炭素数1〜8のフルオロアルキル基)で示
    される基を含む。nは2以上の数を表す。] で示されるポリアミド酸を半導体素子及びリード線の表
    面に塗布し、これを加熱硬化して生成するポリイミドを
    半導体素子及びリード線の表面に被着することを特徴と
    する半導体装置の製造方法。
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