JP2502580Y2 - 単結晶製造装置の黒鉛るつぼ - Google Patents
単結晶製造装置の黒鉛るつぼInfo
- Publication number
- JP2502580Y2 JP2502580Y2 JP1992018091U JP1809192U JP2502580Y2 JP 2502580 Y2 JP2502580 Y2 JP 2502580Y2 JP 1992018091 U JP1992018091 U JP 1992018091U JP 1809192 U JP1809192 U JP 1809192U JP 2502580 Y2 JP2502580 Y2 JP 2502580Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- graphite crucible
- quartz
- single crystal
- quartz crucible
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、単結晶製造装置に用い
るつぼに係るもので、特に内側に石英るつぼを嵌着する
一体型黒鉛るつぼに関する。
るつぼに係るもので、特に内側に石英るつぼを嵌着する
一体型黒鉛るつぼに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＺ法によるシリコン単結晶製造装置に
おいては、シリコン多結晶原料を溶融するるつぼとし
て、耐熱性にすぐれた黒鉛るつぼの中に石英るつぼを嵌
着したものを使用している。従来から石英るつぼは人力
によるハンドリングが可能であるため、石英るつぼの黒
鉛るつぼへの嵌着はすべて人力によって実施している。
おいては、シリコン多結晶原料を溶融するるつぼとし
て、耐熱性にすぐれた黒鉛るつぼの中に石英るつぼを嵌
着したものを使用している。従来から石英るつぼは人力
によるハンドリングが可能であるため、石英るつぼの黒
鉛るつぼへの嵌着はすべて人力によって実施している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかし、近年単結晶の
大径化に伴って石英るつぼの容量が大型化する傾向にあ
り、これまでのような人力によるハンドリングは、無理
な姿勢での重量物取扱いという苦渋作業を強いることに
なるので、労働安全上から実施不可能となりつつある。
ところで、石英るつぼの上部外側を掴持して黒鉛るつぼ
への着脱を行うハンドリング装置を考える場合、石英る
つぼが落下しない掴持力が必要で、かつその掴持力によ
って石英るつぼが破損しないような工夫が要求される。
そのため、前記ハンドリング装置はかなり大がかりなも
のになる。そこで本考案は、上記従来の問題点に着目
し、石英るつぼの黒鉛るつぼに対する着脱を安全かつ容
易に行い、作業者を苦渋作業から開放することができる
ような単結晶製造装置の黒鉛るつぼを提供することを目
的とする。
大径化に伴って石英るつぼの容量が大型化する傾向にあ
り、これまでのような人力によるハンドリングは、無理
な姿勢での重量物取扱いという苦渋作業を強いることに
なるので、労働安全上から実施不可能となりつつある。
ところで、石英るつぼの上部外側を掴持して黒鉛るつぼ
への着脱を行うハンドリング装置を考える場合、石英る
つぼが落下しない掴持力が必要で、かつその掴持力によ
って石英るつぼが破損しないような工夫が要求される。
そのため、前記ハンドリング装置はかなり大がかりなも
のになる。そこで本考案は、上記従来の問題点に着目
し、石英るつぼの黒鉛るつぼに対する着脱を安全かつ容
易に行い、作業者を苦渋作業から開放することができる
ような単結晶製造装置の黒鉛るつぼを提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本考案に係る単結晶製造装置の一体型黒鉛るつぼは、
内方底面中心で十文字状に交差して上端面に達する溝で
あって、かつ、この一体型黒鉛るつぼに石英るつぼを嵌
着するときに吊る帯状の吊り具の厚さの２倍以上の深さ
の溝を複数設ける構成とした。
に本考案に係る単結晶製造装置の一体型黒鉛るつぼは、
内方底面中心で十文字状に交差して上端面に達する溝で
あって、かつ、この一体型黒鉛るつぼに石英るつぼを嵌
着するときに吊る帯状の吊り具の厚さの２倍以上の深さ
の溝を複数設ける構成とした。
【０００５】
【作用】上記構成によれば、黒鉛るつぼの中に石英るつ
ぼを嵌着する単結晶製造装置のるつぼにおいて、黒鉛る
つぼの底面中心を通って上端面に至る溝を、黒鉛るつぼ
の内周面に沿って複数個設けたので、石英るつぼを黒鉛
るつぼ内に嵌着したとき、石英るつぼ外周面と黒鉛るつ
ぼ内周面との間に複数個の溝による隙間が形成される。
この隙間を利用すれば、石英るつぼ吊り上げ用ケーブル
を出し入れすることができ、石英るつぼ吊り上げ用ケー
ブルとクレーン等を用いて石英るつぼを容易に取り扱う
ことができる。
ぼを嵌着する単結晶製造装置のるつぼにおいて、黒鉛る
つぼの底面中心を通って上端面に至る溝を、黒鉛るつぼ
の内周面に沿って複数個設けたので、石英るつぼを黒鉛
るつぼ内に嵌着したとき、石英るつぼ外周面と黒鉛るつ
ぼ内周面との間に複数個の溝による隙間が形成される。
この隙間を利用すれば、石英るつぼ吊り上げ用ケーブル
を出し入れすることができ、石英るつぼ吊り上げ用ケー
ブルとクレーン等を用いて石英るつぼを容易に取り扱う
ことができる。
【０００６】
【実施例】以下に本考案に係る単結晶製造装置の黒鉛る
つぼの実施例について、図面を参照して説明する。図１
は黒鉛るつぼの斜視図、図２は黒鉛るつぼの上面図で、
黒鉛るつぼ１の上端面１ａから内周面に沿って垂直方向
に走る２本の溝１ｂ，１ｂが設けられ、これらの溝は図
２に示すようにいずれも黒鉛るつぼ１の底面中心線を通
り、互いに直交している。前記溝１ｂの深さは、黒鉛る
つぼ１内に石英るつぼを嵌着したとき、布製ベルト等か
らなる吊り具を容易に挿通させることができる寸法であ
る。
つぼの実施例について、図面を参照して説明する。図１
は黒鉛るつぼの斜視図、図２は黒鉛るつぼの上面図で、
黒鉛るつぼ１の上端面１ａから内周面に沿って垂直方向
に走る２本の溝１ｂ，１ｂが設けられ、これらの溝は図
２に示すようにいずれも黒鉛るつぼ１の底面中心線を通
り、互いに直交している。前記溝１ｂの深さは、黒鉛る
つぼ１内に石英るつぼを嵌着したとき、布製ベルト等か
らなる吊り具を容易に挿通させることができる寸法であ
る。
【０００７】図３は前記黒鉛るつぼ内に石英るつぼを嵌
着する場合の説明図である。図３（ａ）に示すように、
石英るつぼ２の外周に布製ベルト等からなる吊り具３を
２本、互いに直交する位置に巻きつけ、前記吊り具３の
上端をクレーン等のフックに掛止した後、石英るつぼ２
を吊り上げる。次に、図３（ｂ）に示すように、前記石
英るつぼ２の外周に巻きつけた吊り具３が黒鉛るつぼ１
の溝１ｂの位置と一致するように調節しながら、石英る
つぼ２を黒鉛るつぼ１内に吊り下ろす。そして、石英る
つぼ２が黒鉛るつぼ１内に嵌着されたことを確認した
後、図３（ｃ）に示すように２本の吊り具３の一端をそ
れぞれ人力により引き上げ、吊り具３を取り外す。
着する場合の説明図である。図３（ａ）に示すように、
石英るつぼ２の外周に布製ベルト等からなる吊り具３を
２本、互いに直交する位置に巻きつけ、前記吊り具３の
上端をクレーン等のフックに掛止した後、石英るつぼ２
を吊り上げる。次に、図３（ｂ）に示すように、前記石
英るつぼ２の外周に巻きつけた吊り具３が黒鉛るつぼ１
の溝１ｂの位置と一致するように調節しながら、石英る
つぼ２を黒鉛るつぼ１内に吊り下ろす。そして、石英る
つぼ２が黒鉛るつぼ１内に嵌着されたことを確認した
後、図３（ｃ）に示すように２本の吊り具３の一端をそ
れぞれ人力により引き上げ、吊り具３を取り外す。
【０００８】黒鉛るつぼ１から石英るつぼ２を取り外す
場合は、上記と逆の手順を用いればよい。すなわち、図
３（ｃ）に示すように、黒鉛るつぼ１の溝１ｂに吊り具
３を挿通する。もし２本目の吊り具が黒鉛るつぼ１の底
面中心付近で１本目の吊り具と干渉し、挿通困難となっ
た場合は、１本目の吊り具３のみで石英るつぼ２を僅か
に吊り上げれば、２本目の吊り具を容易に挿通させるこ
とができる。２本の吊り具３を黒鉛るつぼ１の溝１ｂに
挿通した後、吊り具３の上端をクレーン等のフックに掛
止して、石英るつぼ２を吊り上げる。
場合は、上記と逆の手順を用いればよい。すなわち、図
３（ｃ）に示すように、黒鉛るつぼ１の溝１ｂに吊り具
３を挿通する。もし２本目の吊り具が黒鉛るつぼ１の底
面中心付近で１本目の吊り具と干渉し、挿通困難となっ
た場合は、１本目の吊り具３のみで石英るつぼ２を僅か
に吊り上げれば、２本目の吊り具を容易に挿通させるこ
とができる。２本の吊り具３を黒鉛るつぼ１の溝１ｂに
挿通した後、吊り具３の上端をクレーン等のフックに掛
止して、石英るつぼ２を吊り上げる。
【０００９】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、黒
鉛るつぼの中に石英るつぼを嵌着する単結晶製造装置の
るつぼにおいて、黒鉛るつぼの底面中心を通る溝を、黒
鉛るつぼの内周面に沿って複数個設け、これらの溝内を
容易に挿通することができる帯状の吊り具とクレーン等
とを用いて石英るつぼを吊り上げることにしたので、石
英るつぼを黒鉛るつぼ内に嵌着した後、前記吊り具は人
力により容易に取り外すことができる。また、前記溝に
吊り具を挿通して吊り上げることにより、石英るつぼを
黒鉛るつぼから容易に取り外すことができる。従って、
石英るつぼの黒鉛るつぼに対する着脱作業を、従来に比
べてはるかに安全かつ容易に行うことができるようにな
り、作業者を苦渋作業から開放するとともに、単結晶製
造準備作業の能率を著しく向上させることが可能とな
る。
鉛るつぼの中に石英るつぼを嵌着する単結晶製造装置の
るつぼにおいて、黒鉛るつぼの底面中心を通る溝を、黒
鉛るつぼの内周面に沿って複数個設け、これらの溝内を
容易に挿通することができる帯状の吊り具とクレーン等
とを用いて石英るつぼを吊り上げることにしたので、石
英るつぼを黒鉛るつぼ内に嵌着した後、前記吊り具は人
力により容易に取り外すことができる。また、前記溝に
吊り具を挿通して吊り上げることにより、石英るつぼを
黒鉛るつぼから容易に取り外すことができる。従って、
石英るつぼの黒鉛るつぼに対する着脱作業を、従来に比
べてはるかに安全かつ容易に行うことができるようにな
り、作業者を苦渋作業から開放するとともに、単結晶製
造準備作業の能率を著しく向上させることが可能とな
る。
【図１】黒鉛るつぼの斜視図である。
【図２】黒鉛るつぼの上面図である。
【図３】黒鉛るつぼ内に石英るつぼを嵌着する場合の説
明図で、（ａ）は石英るつぼを吊り具で吊り上げた状態
を示す側面図、（ｂ）は石英るつぼを黒鉛るつぼ内に吊
り下ろした状態を示す断面図、（ｃ）は吊り具を取り外
す状態を示す断面図である。
明図で、（ａ）は石英るつぼを吊り具で吊り上げた状態
を示す側面図、（ｂ）は石英るつぼを黒鉛るつぼ内に吊
り下ろした状態を示す断面図、（ｃ）は吊り具を取り外
す状態を示す断面図である。
１ 黒鉛るつぼ １ａ 上端面 １ｂ 溝 ２ 石英るつぼ ３ 吊り具
Claims (1)
- 【請求項１】一体型黒鉛るつぼの中に石英るつぼを嵌着
する単結晶製造装置の前記一体型黒鉛るつぼにおいて、
内方底面中心で十文字状に交差して上端面に達する溝で
あって、かつ、前記一体型黒鉛るつぼに石英るつぼを嵌
着するときに吊る帯状の吊り具の厚さの２倍以上の深さ
の溝を複数有することを特徴とする一体型黒鉛るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992018091U JP2502580Y2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 単結晶製造装置の黒鉛るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992018091U JP2502580Y2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 単結晶製造装置の黒鉛るつぼ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0569172U JPH0569172U (ja) | 1993-09-17 |
| JP2502580Y2 true JP2502580Y2 (ja) | 1996-06-26 |
Family
ID=11961972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992018091U Expired - Lifetime JP2502580Y2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 単結晶製造装置の黒鉛るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2502580Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5645252B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-12-24 | 信越石英株式会社 | るつぼとサスセプタとの間のガスを排気するための方法及び装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01136179U (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-18 |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP1992018091U patent/JP2502580Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0569172U (ja) | 1993-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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