JP2024517961A - ガラスリボンを製造するための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

ガラス製造装置が、ガラスリボンを形成する形成装置を含む。形成装置の下流には、第１のチャンバと、入口開口部を定める第１の端部と、出口開口部を定める第２の端部とを含むエンクロージャが配置される。エンクロージャの第１のエンクロージャ壁は、第１のチャンバからエンクロージャの外部へのガス移動経路を定めるエンクロージャ壁開口部を含む。第１のチャンバを通じてリボン移動経路が延びる。エンクロージャの第１の側面に沿って、第２のチャンバを含む第１の導管が延びる。第１のチャンバと第２のチャンバとの間には、ガス開口部が流体連通をもたらす。第２のチャンバは第１のガス源と流体連通する。第１のガス源は、第２のチャンバを通じて第１のチャンバに第１のガスを供給する。ガラスリボンの製造方法も示す。【選択図】 図１

Description

〔関連出願との相互参照〕
本出願は、２０２１年５月１３日に出願された米国仮特許出願シリアル番号第６３／１８８，１５５号の米国特許法第１１９条に基づく優先権の利益を主張するものであり、この文献の内容はその全体が引用により本明細書に組み入れられる。

本開示は、一般にガラスリボンの製造方法に関し、具体的には、エンクロージャを含むガラス製造装置を使用してガラスリボンを製造する方法に関する。

ガラス製造装置を使用して溶融材料をガラスリボンに製造することが知られている。ガラスリボンは、形成装置から移動先に移動することができる。しかしながら、ガラスリボンが移動先に移動するにつれ、空気中の粒子がガラスリボンの表面に付着して、ガラスリボンの品質が低下してしまうことがある。

以下、詳細な説明で説明するいくつかの実施形態の基本的な理解をもたらすために本開示の概要を示す。

いくつかの実施形態では、ガラス製造装置が、ガラスリボンを形成してガラスリボンを移動経路に沿って供給できる形成装置を含むことができる。ガラス製造装置はエンクロージャを含むことができ、エンクロージャは、ガラスリボンがエンクロージャの内部を通過できるように移動経路の一部を取り囲む。ガラス製造装置は、エンクロージャの内部にガスを供給できる１又は２以上のガス源を含むことができる。エンクロージャの内部にガスを供給することにより、エンクロージャをエンクロージャの外部の第２の空気圧よりも高い第１の空気圧に維持することができる。ガスは、エンクロージャの内部からエンクロージャの開口部を通じて外部に（例えば、高圧から低圧に）移動することができる。このガス流は、周囲空気内の物質からエンクロージャを保護してこれらの物質がエンクロージャに入り込むのを制限し、従ってガラスリボンがエンクロージャ内を移動する際にこれらの物質がガラスリボンに接触する可能性を抑えることができる。

いくつかの実施形態によれば、ガラス製造装置が、ガラスリボンを形成するように構成された形成装置を含むことができる。ガラス製造装置は、形成装置の下流に配置されたエンクロージャを含むことができる。エンクロージャは、第１のチャンバと、第１のチャンバの入口開口部を定める第１の端部と、第１のチャンバの出口開口部を定める第２の端部とを含むことができる。エンクロージャの第１のエンクロージャ壁は、第１のチャンバからエンクロージャの外部へのガス移動経路を定めるエンクロージャ壁開口部を含むことができる。ガラス製造装置は、第１のチャンバを通じて入口開口部と出口開口部との間に延びるリボン移動経路を含むことができる。ガラス製造装置は、エンクロージャの第１の側面に沿って延びて、第２のチャンバと、第１のチャンバと第２のチャンバとの間に流体連通をもたらすガス開口部とを含む第１の導管を含むことができる。ガラス製造装置は、第２のチャンバと流体連通する第１のガス源を含むことができる。第１のガス源は、第２のチャンバを通じて第１のチャンバに第１のガスを供給することができる。

いくつかの実施形態では、第１の導管が、エンクロージャの長さに沿って延びることができる。ガス開口部は、この長さに沿って離間した複数のガス開口部を含むことができる。

いくつかの実施形態では、エンクロージャが、第１のチャンバ内に配置されてエンクロージャ内でガラスリボンを支持するように構成された複数のローラを含むことができる。

いくつかの実施形態では、ガス開口部が、第２のチャンバから第１のチャンバへのガス移動経路を定めることができる。ガス移動経路は、複数のローラのうちの第１のローラと第２のローラとの間に延びることができる。

いくつかの実施形態では、第１のローラが第１の軸の周囲で回転可能であることができ、ガス移動経路が、第１の軸と実質的に平行な第２の軸に沿って延びることができる。

いくつかの実施形態では、第２の導管が、エンクロージャの第２の側面に沿って延びて第３のチャンバを定めることができる。

いくつかの実施形態では、第２のガス源が第３のチャンバと流体連通することができる。第２のガス源は、第２の導管を通じて第１のチャンバに第２のガスを供給することができる。

いくつかの実施形態では、第１のエンクロージャ壁が、入口開口部に隣接して配置された第１の壁部分を含み、第１の壁部分は、第１の壁部分がエンクロージャの開口部を覆う第１の位置と、開口部が露出する第２の位置との間で移動するように構成される。

いくつかの実施形態では、ガラス製造装置が、ガラスリボンを形成できる形成装置を含むことができる。ガラス製造装置は、形成装置の下流に配置されたエンクロージャを含むことができる。エンクロージャは、第１のチャンバと、第１のチャンバの入口開口部を定める第１の端部と、第１のチャンバの出口開口部を定める第２の端部とを含むことができる。エンクロージャは、第１のチャンバからエンクロージャの外部へのガス移動経路を定めるエンクロージャ壁開口部を含む第１のエンクロージャ壁を含むことができる。第１のエンクロージャ壁は第１の壁部分を含むことができ、第１の壁部分は、第１の壁部分がエンクロージャの開口部を覆う第１の位置と、開口部が露出する第２の位置との間で移動することができる。ガラス製造装置は、エンクロージャを通じて入口開口部と出口開口部との間に延びるリボン移動経路を含むことができる。ガラス製造装置は、エンクロージャの第１の側面に沿って延びて第２のチャンバを含む第１の導管を含むことができる。第１の導管は、第１のチャンバと流体連通するガス開口部を含むことができる。ガラス製造装置は、ガス開口部を通じて第１のチャンバに第１のガスを供給できるガス源を含むことができる。

いくつかの実施形態では、第１の導管が、エンクロージャの長さに沿って延びることができる。

いくつかの実施形態では、エンクロージャが、第１のチャンバ内に配置されてエンクロージャ内でガラスリボンを支持するように構成された複数のローラを含むことができる。

いくつかの実施形態によれば、ガラスリボンの製造方法が、ガラスリボンを形成することを含むことができる。ガラスリボンは、ガラス形成装置から垂直に下降することができる。方法は、ガラスリボンの少なくとも一部が非垂直配向で移動する第１のチャンバを定めるエンクロージャを含むガラスリボン支持装置を使用して、ガラスリボンを非垂直配向で支持することを含むことができる。方法は、エンクロージャの長さの少なくとも一部に沿って延びる第１の導管から第１のチャンバ内に第１のガスを導くことを含むことができる。第１の導管は第２のチャンバを含むことができる。方法は、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の少なくとも１つのガス開口部を通じて、第２のチャンバから第１のチャンバに第１のガスを流すことを含むことができる。方法は、第１のチャンバ内の圧力をエンクロージャ外の圧力よりも高く維持することを含むことができる。

第１のガスを流すことは、第２のチャンバと第１のチャンバとの間の複数の開口部を通じて第１のガスを流すことを含む。複数のガス開口部は、第１の導管の長さに沿って離間することができる。

いくつかの実施形態では、第１のチャンバ内の圧力が、エンクロージャの長さに沿って実質的に一定であることができる。

いくつかの実施形態では、方法が、エンクロージャの壁部分を、壁部分がエンクロージャの開口部を覆う第１の位置から、エンクロージャの開口部が露出する第２の位置に移動させることを含むことができる。

いくつかの実施形態では、第１のチャンバ内の圧力を維持することが、第１のガスの一部を第１のチャンバから第１のチャンバの外部に導くことを含むことができる。

いくつかの実施形態では、第１のガスの一部を、第１のチャンバから、ガラスリボンが第１のチャンバに入るエンクロージャの入口開口部を通じて導くことができる。

いくつかの実施形態では、第１のガスの一部を、第１のチャンバから、ガラスリボンが第１のチャンバから出るエンクロージャの出口開口部を通じて導くことができる。

いくつかの実施形態では、第１のガスの一部を、第１のチャンバから、エンクロージャのエンクロージャ壁の１又は２以上のエンクロージャ壁開口部を通じて導くことができる。

以下の詳細な説明では、本明細書に開示する実施形態のさらなる特徴及び利点を示すが、当業者には、この説明からこのような特徴及び利点が部分的に明らかになり、或いは以下の詳細な説明、特許請求の範囲及び添付図面を含む本明細書で説明する実施形態を実施することによってこのような特徴及び利点が部分的に認識されるであろう。上述した概要及び以下の詳細な説明は、本明細書に開示する実施形態の性質及び特性を理解するための概説又は枠組みを示すように意図された実施形態を示すものであると理解されたい。添付図面は、さらなる理解をもたらすように含められ、本明細書に組み込まれてその一部を構成する。これらの図面は、本開示の様々な実施形態を示し、明細書と共に様々な実施形態の原理及び動作を説明する。

添付図面を参照しながら以下の詳細な説明を読めば、上記の及びその他の特徴、実施形態及び利点がより良く理解されるであろう。

本開示の実施形態によるガラス製造装置の実施形態例の概略図である。 本開示の複数の実施形態によるガラス製造装置の支持装置の側面図である。 本開示の複数の実施形態による、図２の線３－３において切り取った支持装置の断面図である。 本開示の複数の実施形態による支持装置の一部の斜視図である。 本開示の複数の実施形態による、支持装置の壁部分が閉じた第１の位置にある案内装置に入るガラスリボンの側面図である。 本開示の複数の実施形態による、支持装置の壁部分が開いた第２の位置にある支持装置に入るガラスリボンの側面図である。

以下、実施形態例を示す添付図面を参照しながら実施形態をより完全に説明する。図面全体を通じ、可能な場合には常に同じ参照番号を使用して同じ又は同様の部品を示す。しかしながら、本開示は多くの異なる形態で具体化することができ、本明細書に示す実施形態に限定されるものとして解釈すべきではない。

本開示は、ガラス製造装置及びガラスリボンの製造方法に関する。本出願における「ガラスリボン」は、粘性状態のガラスリボン、弾性状態の（例えば、室温の）ガラスリボン、及び／又は粘性状態と弾性状態との間の粘弾性状態のガラスリボンのうちの１つ又は２つ以上であるとみなすことができる。以下、ガラスリボンの形成方法及び装置を実施形態例によって説明する。本開示におけるいくつかの実施形態では、ガラス製造装置が、一定量の溶融材料からガラス物品（例えば、ガラスリボン）を形成するガラス形成装置を含むことができる。いくつかの実施形態では、ガラスリボンを、以下に限定するわけではないが、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、タッチセンサ、太陽光発電、折り畳み式電話などを含む様々なディスプレイ用途で採用することができる。

図１に概略的に示すように、いくつかの実施形態には、ガラスリボン１０３を形成するように構成された形成装置１０１を含む例示的なガラス製造装置１００を示す。形成装置１０１は、スロットドロー装置（ｓｌｏｔ ｄｒａｗ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、フロートバス装置（ｆｌｏａｔ ｂａｔｈ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、ダウンドロー装置（ｄｏｗｎ－ｄｒａｗ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、アップドロー装置（ｕｐ－ｄｒａｗ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、プレスローリング装置（ｐｒｅｓｓ－ｒｏｌｌｉｎｇ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、又はガラスリボンを形成する他のいずれかのガラス形成装置を含むことができる。

ガラスリボン１０３は、形成装置１０１から排出され、移動経路１０９に沿って第１の移動方向１１１に移動する。いくつかの実施形態では、内部の（例えば、粉塵、気中浮遊菌、蒸発粒子などの）粒子レベルを外部の粒子レベルと比べて低下させることができる（図１に破線で示す）クリーンルーム１１５の外部に形成装置１０１を配置し、ガラス製造装置１００の１又は２以上の部分をクリーンルーム１１５の内部に配置することができる。クリーンルーム１１５は、クリーンルーム１１５内からクリーンルーム１１５外に空気が流れるように、クリーンルーム１１５外の圧力と比べて正圧に維持される。いくつかの実施形態では、クリーンルーム１１５内の圧力が、クリーンルーム１１５外の圧力よりも約５パスカル又はそれを上回る高さであることができる。いくつかの実施形態では、クリーンルーム１１５が、ＩＳＯ（「国際標準化機構」）６クリーンルーム又はそれよりも優れたクリーンルームを含むことができる。

ガラスリボン１０３は、例えばクリーンルーム１１５の天井の開口部を通じてクリーンルーム１１５に入ることができる。ガラスリボン１０３は、クリーンルーム１１５に入ると、例えば第１のリボン移動経路１２３、第２のリボン移動経路１２５又は第３のリボン移動経路１２７などの、クリーンルーム内に延びる１又は２以上の移動経路に沿って導くことができる。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を、第１のリボン移動経路１２３に沿って、例えば第１の移動先１３１、第２の移動先１３３などの１又は２以上の別の移動先に導くことができる。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を、第２のリボン移動経路１２５に沿って、例えば第３の移動先１３５などの１又は２以上の別の移動先に導くことができる。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を、第３のリボン移動経路１２７に沿って、例えば第４の移動先１３７などの１又は２以上の別の移動先に導くことができる。例えば、移動先１３１、１３３、１３５、１３７のうちの１つ又は２つ以上は、（例えば、内部でガラスリボン１０３を粉砕できる）廃棄装置、又は（例えば、ガラスリボン１０３をスプール上でロール状に巻くことができる）巻き取り装置（ｗｉｎｄｉｎｇ ａｐｐａｒａｔｕｓ）を含むことができる。

いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３がクリーンルーム１１５内で第１のリボン移動経路１２３に沿って移動する際に、ガラスリボン１０３を支持装置１４１によって支持することができる。いくつかの実施形態では、第１のリボン移動経路１２３が、線形的に延びる移動経路を含むことができるが、さらなる実施形態では、例えば湾曲移動経路などの非線形的に延びる移動経路１２３を含むこともできる。いくつかの実施形態では、支持装置１４１が、クリーンルーム１１５内でガラスリボンが第１のリボン移動経路１２３に沿って移動する際にガラスリボンに接触することによってガラスリボン１０３を支持するように配置された複数のローラ１４２を含むことができる。

支持装置１４１は、第１の端部１４５と第２の端部１４７との間に延びる。第１の端部１４５は、最初にガラスリボン１０３を受け取るように形成装置１０１に近接して形成装置１０１の下方に配置することができる。様々な実施形態では、第１の端部１４５が第２の端部１４７よりも高い位置に存在することができる。従って、第１のリボン移動経路１２３は、ガラスリボン１０３が第１のリボン移動経路１２３に沿って移動する際に第１の端部１４５から第２の端部１４７に向かって下向きに移動するように、第１の端部１４５から第２の端部１４７に向かって下向きに傾斜することができる。例えば、図２を参照すると、いくつかの実施形態では、支持装置１４１が、複数のローラ１４２を支持する支持構造２０１を含むことができる。複数のローラ１４２は、異なる高さに位置することができる。例えば、複数のローラ１４２の第１のローラ２０３は第１の高さに位置することができ、複数のローラ１４２の第２のローラ２０５は第２の高さに位置することができる。いくつかの実施形態では、第１の高さ及び第２の高さが異なることができる。例えば、第２のローラ２０５は、第１のローラ２０３よりも低い位置に存在することができる。支持装置１４１は、ガラスリボン１０３を（例えば、支持装置１４１の上流位置において重力方向１４９に平行であることができる）実質的に垂直配向から非垂直配向に移動させることができる。ガラスリボン１０３の製造方法は、形成装置１０１を使用して、ガラスリボン１０３が形成装置１０１から垂直に下降するようにガラスリボン１０３を形成することを含むことができる。

いくつかの実施形態では、ガラス製造装置１００が、ガラスリボン１０３の支持及び誘導のための複数のローラ１４２を含むことに限定されない。むしろ、いくつかの実施形態では、支持装置１４１が、例えば１又は２以上の空気ベアリングなどの１又は２以上の非接触支持装置を含むことができる。空気ベアリングは、第１のリボン移動経路１２３に向けて空気を放出することができる。空気ベアリングは、空気ベアリングからの空気がガラスリボンに衝突することによって、ガラスリボン１０３に接触することなく（例えば、ガラスリボン１０３が空気ベアリングから一定距離だけ離れた状態で）ガラスリボン１０３を支持することができる。いくつかの実施形態では、例えば１又は２以上の空気ベアリング及び１又は２以上のローラ１４２などの、ローラ１４２と空気ベアリングとの組み合わせを使用してガラスリボン１０３を支持することができる。

図１～図２を参照すると、様々な実施形態では、支持装置１４１が、ガラスリボン１０３が第１のリボン移動経路１２３に沿って移動する際に第１のリボン移動経路１２３の少なくとも一部及びガラスリボン１０３の一部を取り囲むエンクロージャ１５５（例えば、シュート）を含むことができる。エンクロージャ１５５は形成装置１０１の下流に配置され、内部に複数のローラ１４２が位置することができる。例えば、第１のリボン移動経路１２３は、エンクロージャ１５５の第１のチャンバ２２９を通じて、エンクロージャ１５５の第１の端部２１７における入口開口部２１１と、エンクロージャ１５５の第２の端部２１９における出口開口部２１３との間に延びることができる。入口開口部２１１は、第１のリボン移動経路１２３、従ってガラスリボン１０３がエンクロージャ１５５に入るスロットを含むことができる。同様に、出口開口部２１３は、第１のリボン移動経路１２３、従ってガラスリボン１０３がエンクロージャ１５５から出るスロットを含むことができる。複数のローラ１４２は、第１のチャンバ２２９内に配置され、エンクロージャ１５５内でガラスリボン１０３を支持することができる。ガラスリボン１０３の製造方法は、ガラスリボン１０３を非垂直配向で（例えば、重力方向１４９と非平行に）支持することを含むことができ、エンクロージャ１５５を含むガラスリボン支持装置１４１は、ガラスリボン１０３の少なくとも一部が非垂直配向で移動する第１のチャンバ２２９を定める。ガラスリボン１０３は、例えば１又は２以上のローラ１４２、空気ベアリングなどによる複数の方法で支持することができる。

エンクロージャ１５５は、第１のチャンバ２２９を形成する１又は２以上のエンクロージャ壁を含む。例えば、様々な実施形態では、エンクロージャ１５５が、第１のリボン移動経路１２３に直角な平面内に矩形断面形状を有することができる。従って、図２に示すように、エンクロージャ１５５は、第１の下側エンクロージャ壁２２３と、第１のエンクロージャ壁２２３から離間した第２の上側エンクロージャ壁２２５とを含むことができる。複数のローラ１４２は、第１のリボン移動経路１２３と第１のエンクロージャ壁２２３との間に配置され、ガラスリボン１０３がエンクロージャ１５５内で第１のリボン移動経路１２３に沿って移動する際にガラスリボン１０３を支持する。エンクロージャ１５５は第１のチャンバ２２９を含み、エンクロージャ１５５の第１の端部２１７は第１のチャンバ２２９の入口開口部２１１を定め、第２の端部２１９は第１のチャンバ２２９の出口開口部２１３を定める。第１のエンクロージャ壁２２３、第２のエンクロージャ壁２２５及び複数のローラ１４２は、ガラスリボン１０３がエンクロージャ１５５を通じて第１のリボン移動経路１２３に沿って移動する際にガラスリボン１０３が第１のエンクロージャ壁２２３又は第２のエンクロージャ壁２２５に接触しないように配置される。すなわち、エンクロージャ１５５の寸法はガラスリボン１０３の寸法よりも大きい。例えば、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の第１の主表面３８９と第２の主表面３９０との間の厚み３８８が、約３０マイクロメートル（例えば、ミクロン）～約３００ミクロンの範囲内、又は約３０ミクロン～約１００ミクロンの範囲内であることができる。いくつかの実施形態では、エンクロージャ１５５の第１のエンクロージャ壁２２３と第２のエンクロージャ壁２２５との間の（例えば、図３に示す）高さ３９３が、約１５０ミリメートル～約４５０ミリメートルの範囲内、又は約２００ミリメートル～約４００ミリメートルの範囲内、又は約３００ミリメートルであることができる。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３が、約３００ミリメートル～約６００ミリメートルの範囲内であることができる（例えば、図３に示す）幅３９４を有することができる。いくつかの実施形態では、エンクロージャ１５５の第１のチャンバ２２９が、約７００ミリメートル～約９００ミリメートルの範囲内であることができる（例えば、第２の導管壁３２３と第４の導管壁３６３との間の）幅３９５を有することができる。

入口開口部２１１の（例えば、第１の端壁２５１と第２の端壁２５３との間の）サイズは、第１のチャンバ２２９のサイズ（例えば、第１のエンクロージャ壁２２３と第２のエンクロージャ壁２２５とを隔てる第１の距離２３３と第２の距離２３５との合計）よりも小さいことができる。入口開口部２１１に第１のチャンバ２２９と比べて小さなサイズを与えることにより、入口開口部２１１は、エンクロージャ１５５の外部から入口開口部２１１を通じてエンクロージャ１５５の内部（例えば、第１のチャンバ２２９）に至る粒子及び／又は空気の流れを抑制することができる。同様に、出口開口部２１３のサイズも、第１のチャンバ２２９のサイズ（例えば、第１のエンクロージャ壁２２３と第２のエンクロージャ壁２２５とを隔てる第１の距離２３３と第２の距離２３５との合計）よりも小さいことができる。出口開口部２１３に第１のチャンバ２２９と比べて小さなサイズを与えることにより、出口開口部２１３は、エンクロージャ１５５の外部から出口開口部２１３を通じてエンクロージャ１５５の内部（例えば、第１のチャンバ２２９）に至る粒子及び／又は空気の流れを抑制することができる。

図３は、図２の線３－３によって示す視点から見たエンクロージャ１５５の断面図である。図示のように、第１のエンクロージャ壁２２３は、１又は２以上のエンクロージャ壁開口部３０１を含むことができる。１又は２以上のエンクロージャ壁開口部３０１は、第１のチャンバ２２９からエンクロージャ１５５の外部２５４へのガス移動経路３０９を提供する。いくつかの実施形態では、第２のエンクロージャ壁２２５が、ガス、粒子などが第２のエンクロージャ壁２２５を通過するのを防ぐように開口部を一切含まず、実質的に連続する材料を含むことができる。エンクロージャ１５５の第１の端部２１７と第２の端部２１９との間には、第１のエンクロージャ壁２２３の長さに沿って（例えば、エンクロージャ壁開口部３０１と実質的に同様のものであることができる）さらなるエンクロージャ壁開口部が離間することができる。しかしながら、さらなる実施形態では、第２のエンクロージャ壁２２５が１又は２以上のエンクロージャ壁開口部を含むこともでき、さらに別の実施形態では、第１及び第２の両エンクロージャ壁がエンクロージャ壁開口部を含むこともできる。

引き続き図３を参照すると、支持装置１４１は、第１のチャンバ２２９に空気などのガスを供給する１又は２以上の導管をさらに含む。例えば、支持装置１４１は、エンクロージャ１５５の第１の側面３１７に沿って延びて内部に第２のチャンバ３１９を定める第１の導管３１３を含むことができる。いくつかの実施形態では、第１の導管３１３がエンクロージャ１５５に対して固定された非可動位置に存在できるように、第１の導管３１３を溶接又は機械的締結具などによってエンクロージャ１５５に取り付けることができる。第１の導管３１３（及び、例えば対向する第２の導管）は、固定されて非可動であることにより、第１のチャンバ２２９の第１の側面３１７に沿って延びる固定された側部供給導管を定めることができる。

第１の導管３１３は、例えば第１のガス管３４７を通じて第１のガス源３４５と流体連通し、第１のガス源３４５からは、第１のガス管３４７及び第１のガス開口部３４１を通じて第１の導管３１３（及び第２のチャンバ３１９）内に第１のガス３５１を供給することができる。第２のガス開口部３４３は、第１のチャンバ２２９と第２のチャンバ３１９との間に流体連通をもたらす。例えば、第２のガス開口部３４３は、第１のガス３５１が第２のチャンバ３１９から第２のガス開口部３４３を通じて第１のチャンバ２２９内に移動できるように、第２のチャンバ３１９から第１のチャンバ２２９へのガス移動経路を定めることができる。いくつかの実施形態では、第１の導管３１３がエンクロージャ１５５と共通壁を共有することができ、第２のガス開口部３４３がこの共通壁を貫く通路である。しかしながら、さらなる実施形態では、ダクト、パイプ又はその他の中空構造によって第１の導管３１３をエンクロージャ１５５に接合することができ、ダクト又はパイプの中空内部が第１のチャンバ２２９内への第２のガス開口部３４３を形成する。これらの実施形態では、第１の導管３１３が、第１のチャンバ２２９と流体連通するガス開口部（例えば、第２のガス開口部３４３）を含む。

第１のガス源３４５は第２のチャンバ３１９と流体連通し、いくつかの実施形態では、第１のガス源３４５が、第２のチャンバ３１９を通じて第１のチャンバ２２９に第１のガス３５１を圧縮ガスなどとして供給する。第１のガス源３４５は、第２のガス開口部３４３を通じて第１のチャンバ２２９に第１のガス３５１を供給することができる。いくつかの実施形態では、第２のチャンバ３１９を第１のチャンバ２２９よりも高い圧力に維持することができる。（例えば、（単複の）ガス源から）第１のチャンバ２２９に供給されるガスは、第１のチャンバ２２９をＩＳＯ１又はＩＳＯ２クリーンルーム環境として維持できるように、粒子を含まないクリーンガスを含むことができる。本明細書で使用するガス源（例えば、３４５、３８５）は、例えばファン、ブロワ、ポンプ、圧縮空気タンクなどの、空気を供給できる構造を含むことができる。ガラスリボン１０３の製造方法は、エンクロージャ１５５の長さの少なくとも一部に沿って延びて第２のチャンバ３１９を含む第１の導管３１３から第１のチャンバ２２９内に第１のガス３５１を導くことを含むことができる。方法は、第１のチャンバ２２９と第２のチャンバ３１９との間の第２のガス開口部３４３などの少なくとも１つのガス開口部を通じて第２のチャンバ３１９から第１のチャンバ２２９に第１のガス３５１を流すことを含むことができる。

いくつかの実施形態では、１又は２以上の導管が、エンクロージャ１５５の第２の側面３５７に沿って延びて内部に第３のチャンバ３５９を定める第２の導管３１５を含むことができる。第２の導管３１５は、第１の導管３１３の反対側に配置することができる。第２の導管３１５は、第１の導管３１３と実質的に同様に構成することができる。従って、第３のチャンバ３５９は、例えば第１のガス源と第２の導管３１５との間に延びて第３のチャンバ３５９内への第３のガス開口部３８１を形成する第２のガス管３８７を通じて第２のガス源３８５と流体連通することができる。第３のチャンバ３５９は、第４のガス開口部３８３を通じて第１のチャンバ２２９と流体連通する。いくつかの実施形態では、第２の導管３１５がエンクロージャ１５５と共通壁を共有することができ、第４のガス開口部３８３がこの共通壁を貫く通路である。しかしながら、さらなる実施形態では、ダクト、パイプ又はその他の中空構造によって第２の導管３１５をエンクロージャ１５５に接合することができ、ダクト又はパイプの中空内部が第１のチャンバ２２９内への第４のガス開口部３８３を形成する。

いくつかの実施形態では、第２のガス開口部３４３及び第４のガス開口部３８３を、ガラスリボン１０３に対して異なる高さにガスを導くように配置することができる。例えば、第２のガス開口部３４３の中心を通って第１のガス開口部軸３４４延び、第４のガス開口部３８３の中心を通って第２のガス開口部軸３８４が延びることができる。いくつかの実施形態では、第１のガス開口部軸３４４及び第２のガス開口部軸３８４が平行であり、重力方向１４９に対して実質的に垂直であることができる。いくつかの実施形態では、第２のガス開口部３４３及び第４のガス開口部３８３が同じ高さに、或いは第１のエンクロージャ壁２２３から重力方向１４９に沿って同じ距離に存在できるように、第１のガス開口部軸３４４及び第２のガス開口部軸３８４が共線的であることができる。いくつかの実施形態では、第１のガス開口部軸３４４及び第２のガス開口部軸３８４が共線的でなく、例えば第２のガス開口部３４３及び第４のガス開口部３８３が異なる高さに、或いは第１のエンクロージャ壁２２３から重力方向１４９に沿って異なる距離に存在することができる。例えば、いくつかの実施形態では、一方のガス開口部（例えば、第２のガス開口部３４３）がガラスリボン１０３の上方に存在することによって第１のガス開口部軸３４４がガラスリボン１０３の上方に存在し、他方のガス開口部（例えば、第４のガス開口部３８３）がガラスリボン１０３の下方に存在することによって第２のガス開口部軸３８４がガラスリボン１０３の下方に存在することができる。この結果、（例えば、第２のガス開口部３４３から）ガラスリボン１０３の上方及び（例えば、第４のガス開口部３８３から）ガラスリボン１０３の下方にガスを導くことによってガスの移動経路が干渉せず、従ってガラスリボン１０３の上方及び下方でガス流を安定させることができる。いくつかの実施形態では、第２のガス開口部３４３及び／又は第４のガス開口部３８３が、エンクロージャ１５５の長さ（例えば、実質的に長さ全体）に沿って配置された複数の開口部を含むことができる。さらなる実施形態では、第２のガス開口部３４３及び／又は第４のガス開口部３８３が、エンクロージャ１５５の長さ（例えば、実質的に長さ全体）に沿って延びる１又は２以上の連続するスロットを含むことができる。

第２のガス源３８５は、第３のチャンバ３５９に第２のガス３９１を圧縮ガスとして供給することができる。いくつかの実施形態では、第３のチャンバ３５９を第１のチャンバ２２９よりも高い圧力に維持することができる。図３に示すように、第２の導管３１５は第１の導管３１３から離間することができ、第１の導管３１３と第２の導管３１５との間に第１のチャンバ２２９が配置される。従って、第１のチャンバ２２９は、例えば第１の側面３１７及び第２の側面３５７などのエンクロージャ１５５の両側からガス（例えば、３５１、３９１）を受け取ることができる。第１の導管３１３及び第２の導管３１５をエンクロージャ１５５の両側に配置することにより、第１のチャンバ２２９内へのガス流を安定させることができる。従って、エンクロージャ１５５の両側面３１７、３５７を実質的に等しい空気圧に維持して、第１のチャンバ２２９内の空気圧変動を抑えることができる。第１のチャンバ２２９内の空気圧変動を抑えることにより、ガス移動経路３０９に沿ってエンクロージャ壁開口部３０１を通過するガス流を安定させることができる。

ガラスリボン１０３の製造方法は、ガス開口部（例えば、第３のガス開口部３８１又は第４のガス開口部３８３）を通じて第１のチャンバ２２９にガス（例えば、ガス３５１、３９１）を供給することを含むことができる。例えば、ガスは、１又は２以上のガス源から、第１のチャンバと流体連通して配置された１又は２以上の導管（例えば、第１の導管３１３又は第２の導管３１５）を通じて供給することができる。方法は、第１のチャンバ２２９からエンクロージャの壁（例えば、第１のエンクロージャ壁２２３）のエンクロージャ１５５の開口部（例えば、３０１）の外部にガスの一部を導くことをさらに含むことができる。第１のチャンバ２２９は、エンクロージャ外の第２の空気圧よりも高い第１の空気圧に維持することができる。この空気圧差の結果、ガス３５１、３９１の一部が第１のチャンバ２２９からエンクロージャ壁開口部３０１を通じて外部２５４に流れる。従って、ガラスリボン１０３を汚染する可能性があったはずのエンクロージャ１５５外の物質３９２（例えば、汚染物質）からガラスリボン１０３を保護することができる。いくつかの実施形態では、物質３９２が、液体、固体又は気体のうちの１つ又は２つ以上を含むことができる。いくつかの実施形態では、物質３９２が、例えば粉塵、気中浮遊ガラス粒子などの、ガラス製造工程の副産物及び／又は外部２５４の空気中に存在し得る物質を含むことができる。いくつかの実施形態では、物質３９２が、約１マイクロメートル未満～約５００マイクロメートルの範囲内であることができるサイズの粒子を含むことができる。物質３９２がガラスリボン１０３に接触した場合、ガラスリボン１０３の品質が低下する恐れがある。従って、物質３９２とガラスリボン１０３との間の接触を避けることで、ガラスリボン１０３の品質が低下する可能性を抑えることができる。エンクロージャ壁開口部３０１から流出するガスは物質３９２に力を及ぼし、物質３９２をエンクロージャ１５５から遠ざけることができる。従って、流出ガスは、エンクロージャ１５５の第１のチャンバ２２９を物質３９２から保護し、物質３９２がエンクロージャ１５５内に入り込んでガラスリボン１０３に接触する可能性を抑えることができる。

いくつかの実施形態では、支持装置１４１が、第１のチャンバ２２９からガスを除去できるガス真空ポンプを含むことができ、従って第１のガス源３４５又は第２のガス源３８５の一方又は両方をガス真空ポンプに置き換えることができる。例えば、いくつかの実施形態では、第１の導管３１３が（例えば、第１のガス源３４５から）第１のチャンバ２２９にガスを供給する一方で、第２の導管３１５が（例えば、真空ポンプによって）第１のチャンバ２２９からガスを除去することができる。真空ポンプは、容積（例えば、第１のチャンバ２２９）からガスを引き出す装置を含むことができる。第１のチャンバ２２９へのガス供給と第１のチャンバ２２９からのガス除去とを同時に行うことにより、物質３９２が第１のチャンバ２２９に入り込んでガラスリボン１０３に接触する可能性を抑えることができる。例えば、第１のチャンバ２２９は、第１のチャンバ２２９からエンクロージャ壁開口部３０１を通じて（例えば、第１のガス源３４５からの）ガスが流出できるように、外部２５４と比べて正圧に維持することができる。同時に、（例えば、第２のチャンバ３１９に付与される）真空が、（例えば、第３のガス開口部３８１及び第４のガス開口部３８３を通じて）第１のチャンバ２２９から空気を除去する。従って、第１のチャンバ２２９内に存在し得るいずれかの物質３９２を真空によって除去しながら、エンクロージャ壁開口部３０１を通じて流れるガスによって、いずれかの物質３９２が第１のチャンバ２２９に入り込むのを制限することができる。ガラス製造装置１００が１又は２以上のガス源及びゼロ真空を含む実施形態、並びにガラス製造装置１００が１又は２以上のガス源及び１又は２以上の真空を含む実施形態では、第１のチャンバ２２９を外部２５４と比べて正圧に維持することができ、従って方法は、第１のチャンバ２２９内の圧力を外部２５４におけるエンクロージャ１５５外の圧力よりも高く維持することを含むことができる。例えば、第１のチャンバ２２９内の圧力を維持することは、第１のガス３５１の一部を第１のチャンバ２２９から第１のチャンバ２２９の外部２５４に導くことを含むことができる。

図４は、支持装置１４１の一部の斜視図である。例えば、図４に示す支持装置１４１の一部は、第１の導管３１３、第２の導管３１５、及びローラ１４２の一部を含む。いくつかの実施形態では、ローラ１４２が、第１のローラ４０１、第２のローラ４０３、及び第３のローラ４０５を含むことができる。第１のローラ４０１、第２のローラ４０３及び第３のローラ４０５は、構造及び機能が図２に示すローラ２０３、２０５と実質的に同一であることができる。例えば、第１のローラ４０１、第２のローラ４０３及び第３のローラ４０５は、ガラスリボン１０３が移動する第１のリボン移動経路１２３の一部に沿って配置される。いくつかの実施形態では、ローラ４０１、４０３、４０５を第１の導管３１３と第２の導管３１５との間に延びるように配置することができる。例えば、第１のローラ４０１は、第１のローラ軸４０６に沿って延びてその周囲で回転可能であることができ、第２のローラ４０３は、第２のローラ軸４０７に沿って延びてその周囲で回転可能であることができ、第３のローラ４０５は、第３のローラ軸４０９に沿って延びてその周囲で回転可能であることができる。いくつかの実施形態では、第１のローラ軸４０６、第２のローラ軸４０７及び第３のローラ軸４０９が互いに対して実質的に平行であって第１の導管３１３及び第２の導管３１５に交わることができる。いくつかの実施形態では、第１のローラ４０１及び第２のローラ４０３が離間して、間に第１の空間４１１を定めることができる。いくつかの実施形態では、第２のローラ４０３及び第３のローラ４０５が離間して、間に第２の空間４１３を定めることができる。

いくつかの実施形態では、第１の導管３１３及び第２の導管３１５を、第１の空間４１１及び第２の空間４１３にガスを供給するように配置することができる。例えば、第１の導管３１３は、第１のチャンバ２２９と流体連通してエンクロージャ１５５の長さに沿って離間できる複数のガス開口部４１４を含むことができる。いくつかの実施形態では、複数のガス開口部４１４が、第１のガス開口部４２１及び第２のガス開口部４２３を含むことができる。ガス開口部４２１、４２３は、第２のチャンバ３１９から第１のチャンバ２２９へのガス移動経路を提供することができる。例えば、第１のガス開口部４２１は、第２のチャンバ３１９から第１のチャンバ２２９への第１のガス移動経路４２７を提供することができ、第２のガス開口部４２３は、第２のチャンバ３１９から第１のチャンバ２２９への第２のガス移動経路４２９を定めることができる。いくつかの実施形態では、第１のガス移動経路４２７が、第１のローラ軸４０６、第２のローラ軸４０７又は第３のローラ軸４０９のうちの１つ又は２つ以上と実質的に平行であることができるガス軸４３３に沿って、第２の空間４１３を通じて延びることができる。いくつかの実施形態では、第２のガス移動経路４２９が、複数のローラ１４２のうちの第１のローラ４０１と第２のローラ４０３との間の第１の空間４１１内に延びることができる。いくつかの実施形態では、方法が、第１の導管３１３の長さに沿って離間した、第２のチャンバ３１９と第１のチャンバ２２９との間の複数のガス開口部４１４を通じて第１のガス３５１を流すことを含むことができる。

第２の導管３１５は、配置及び機能が第１の導管３１３の複数のガス開口部４１４と実質的に同様であることができる複数のガス開口部４４３を含むことができる。例えば、第２の導管３１５は、第１のチャンバ２２９と流体連通する複数のガス開口部４４３を含むことができる。複数のガス開口部４４３は、第３のガス開口部４５１及び第４のガス開口部４５３を含むことができる。ガス開口部４５１、４５３は、第３のチャンバ３５９から第１のチャンバ２２９へのガス移動経路を提供する。例えば、第３のガス開口部４５１は、第３のチャンバ３５９から第１のチャンバ２２９への第３のガス移動経路４５７を定めることができ、第４のガス開口部４５３は、第３のチャンバ３５９から第１のチャンバ２２９への第４のガス移動経路４５９を定めることができる。いくつかの実施形態では、第３のガス移動経路４５７が、第２のローラ４０３と第３のローラ４０５との間の第２の空間４１３内に至ることができる。いくつかの実施形態では、第４のガス移動経路４５９が、第１のローラ４０１と第２のローラ４０３との間の第１の空間４１１内に至ることができる。

図４には第１の導管３１３及び第２の導管３１５の一部しか示していないが、いくつかの実施形態では、第１の導管３１３及び第２の導管３１５が、（図１～図３に示す）エンクロージャ１５５の長さに沿って第１の端部２１７と第２の端部２１９との間に延びることができる。第１の導管３１３及び第２の導管３１５は、図３～図４に示すガス開口部と同様に配置された複数のガス開口部４１４、４４３を含むことができる。例えば、第１の導管３１３の複数のガス開口部４１４は、エンクロージャ１５５の第１の側面３１７に沿って複数のローラ１４２のうちの一部又は全部の間に配置することができる。同様に、第２の導管３１５の複数のガス開口部４４３は、エンクロージャ１５５の第２の側面３５７に沿って複数のローラ１４２のうちの一部又は全部の間に配置することができる。エンクロージャ１５５の対向する側面３１７、３５７上の複数のローラ１４２間に複数の離間したガス開口部４１４、４４３を配置することにより、エンクロージャ１５５の長さに沿った第１のチャンバ２２９内へのガス流を安定させることができる。また、ローラ４０１、４０３、４０５間の空間４１１、４１３内に複数のガス開口部４１４、４４３を配置することにより、複数のガス開口部４１４、４４３を通じて第１のチャンバ２２９内に入るガスの流れをローラ４０１、４０３、４０５が妨害又は阻止せず、従って複数のガス開口部４１４、４４３の各々を通るガスの流量を実質的に安定させることができる。従って、第１のチャンバ２２９内の圧力をエンクロージャ１５５の長さに沿って実質的に一定にすることによって、第１のチャンバ２２９内の空気圧変動の可能性を抑えることができる。

いくつかの実施形態では、１又は２以上のガス源３４５、３８５が第１の導管３１３及び第２の導管３１５にガスを供給することができる。例えば、図４に示す第１の導管３１３には第１のガス源３４５からガスが供給され、図４に示す第２の導管３１５には第２のガス源３８５からガスが供給される。従って、いくつかの実施形態では、１つのガス源が１つの導管にガスを供給することができる。しかしながら、いくつかの実施形態では、複数のガス源が１つの導管にガスを供給することもできる。例えば、第１の導管３１３は、複数のガス源が第１の導管３１３の長さに沿った異なる位置で第１の導管３１３にガスを供給できるように複数のガス源からガスを受け取ることができる。例えば、第１のガス源３４５が第１のガス管３４７を通じて第１のガス開口部３４１にガスを供給することに加えて、他のガス源が第２のガス開口部４７１又は第３のガス開口部４７３を通じてガスを供給することもでき、第２のガス開口部４７１及び第３のガス開口部４７３は第１の導管３１３の長さに沿って離間することができる。従って、ガスを供給することは、第１の導管３１３内に存在してエンクロージャ１５５の第１の端部２１７と第２の端部２１９との間の第１の導管３１３の長さに沿って離間した複数のガス開口部（例えば、３４１、４７１、４７３など）を通じてガスを供給することを含むことができる。複数のガス源からのガスを異なる位置で第１の導管３１３に供給することにより、第２のチャンバ３１９内へのガス流を安定させるとともに、第１の導管３１３の長さに沿った空気圧をさらに均一化することができる。同様に、第２の導管３１５には、複数のガス源及び第２の導管の長さに沿った複数のガス開口部によって供給を行って同様の結果を達成することができる。

図５～図６は、エンクロージャ１５５の第１の端部２１７における支持装置１４１の側面図である。いくつかの実施形態では、第１のエンクロージャ壁２２３が、第１の端部２１７と第２の端部２１９との間のエンクロージャ１５５の長さに沿って延びる単一の壁部分を含むことにより、第１のエンクロージャ壁２２３を単一片として形成することができる。しかしながら、いくつかの実施形態では、第１のエンクロージャ壁２２３が、エンクロージャ１５５の長さに沿って第１の端部２１７と第２の端部２１９との間に延びるように配置された複数の壁部分を含むことができる。いくつかの実施形態では、第１のエンクロージャ壁２２３が、入口開口部２１１に隣接して配置できる第１の壁部分５０１を含むことができる。第１の壁部分５０１は、第１の壁部分５０１がエンクロージャ１５５の開口部６０１を覆う（例えば、図５に示す）第１の位置と、開口部６０１が露出する（例えば、図６に示す）第２の位置との間で移動（例えば、枢動）することができる。いくつかの実施形態では、第１の壁部分５０１を、エンクロージャ１５５の底面に沿って配置された第２の壁部分５０９と第３の壁部分５１１との間に配置することができる。例えば、エンクロージャ１５５の第１の端部２１７から第２の端部２１９に向かって第１の端部２１７の直近に第３の壁部分５１１を配置し、その次に第１の壁部分５０１を配置し、その次に第２の壁部分５０９を配置することができる。

いくつかの実施形態では、第２の壁部分５０９を、第１の壁部分５０１が第１の位置にある時に第１の壁部分５０１及び第２の壁部分５０９が第１のチャンバ２２９の側面に沿って延びることができるように第１の壁部分５０１に取り付けることができる。例えば、図６に示すように、第１の壁部分５０１は、第１の壁端部６０７と第２の壁端部６０９との間に延びることができる。いくつかの実施形態では、第１の壁端部６０７を、第１の壁部分５０１が第１の位置と第２の位置との間で移動する際に第１の壁端部６０７が第２の壁部分５０９に対して枢動できるように第２の壁部分５０９に取り付けることができる。いくつかの実施形態では、第１の壁端部６０７を（例えば、ヒンジ又は移動を容易にする他のタイプの機械的締結具によって）第２の壁部分５０９に枢動可能に取り付けることができる。いくつかの実施形態では、第１の壁部分５０１が（例えば、図５に示す）第１の位置にある時に、第２の壁端部６０９が第３の壁部分５１１に付着することができる。例えば、第２の壁端部６０９は、第３の壁部分５１１への付着及び第３の壁部分５１１からの分離を選択的に行えるように、機械的締結具（例えば、ねじ、ボルト、接着材、ロック構造など）によって第３の壁部分５１１に付着させることができる。いくつかの実施形態では、第２の壁端部６０９が第３の壁部分５１１に付着している時に第１の壁部分５０１を第１の位置に留まらせて、意図せず第２の位置に移動するのを防ぐことができる。いくつかの実施形態では、第２の壁端部６０９が第３の壁部分５１１から離れた時に、第１の壁部分５０１が第１の位置から第２の位置に移動（例えば、枢動、回転など）することができる。

ガラス製造装置１００の動作中、ガラスリボン１０３は入口開口部２１１に入り、第１のチャンバ２２９内で第１のリボン移動経路１２３に沿って移動する。方法は、第１のエンクロージャ壁２２３の壁部分（例えば、第１の壁部分５０１）を、第１のチャンバ２２９のメンテナンス、クリーニング、検査などのために、第１の壁部分５０１がエンクロージャ１５５の開口部６０１を覆う第１の位置からエンクロージャ１５５の開口部６０１が露出する第２の位置に移動させることを含むことができる。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３が第１のチャンバ２２９内で第１のリボン移動経路１２３に沿って移動している時に、ガラスリボン１０３の生産及び／又は移動を停止させるかどうかにかかわらず第１のチャンバ２２９にアクセスできるように、第１の壁部分５０１を第２の位置に移動させることができる。いくつかの実施形態では、第１の壁部分５０１を開閉した後に、センサ（例えば、浮遊微小粒子カウンタ）が第１のチャンバ２２９内の空気の清浄度を検出して、第１のチャンバ２２９が所定の清浄度標準内にあることを確実にすることができる。従って、このアクセスによって効率性を高めることができる。第１の位置と第２の位置との間で移動する１つの壁部分（例えば、第１の壁部分５０１）を含むものとして第１のエンクロージャ壁２２３を示しているが、いくつかの実施形態では、第１のエンクロージャ壁２２３が、第１の閉位置と第１のチャンバ２２９へのアクセスを可能にする第２の開位置との間で移動できる複数の壁部分を含むことができる。複数の可動壁部分は、第１のチャンバ２２９の異なる位置にアクセスできるように、エンクロージャ１５５に沿った異なる位置に配置することができる。いくつかの実施形態では、第２のエンクロージャ壁２２５が、第２のエンクロージャ壁２２５を通じて１又は２以上の位置において第１のチャンバ２２９にアクセスできるように（例えば、第１の壁部分５０１と同様の）１又は２以上の可動壁部分を含むことができる。

第１のエンクロージャ壁２２３のエンクロージャ壁開口部３０１は、第１のチャンバ２２９からエンクロージャ１５５の外部２５４にガスの一部を導くことができる。いくつかの実施形態では、ガスの一部を導くことが、ガラスリボン１０３が第１のチャンバ２２９に入るエンクロージャ１５５の入口開口部２１１を通じてガスの第２の部分２９７を導くことを含むことができる。入口開口部２１１は、入口開口部２１１に隣接する第１の端壁２５１及び／又は第２の端壁２５３にガラスリボン１０３が接触することなく第１のチャンバ２２９に入ることができるように、（例えば、幅及び厚みが）ガラスリボン１０３よりも大きい。従って、入口開口部２１１を通じて望ましくない物質（例えば、図３の物質３９２）が第１のチャンバ２２９に入り込む可能性を抑えるために、第１のチャンバ２２９から入口開口部２１１を通じてガスの第２の部分２９７を外部２５４に導くことができる。例えば、上述したように、第１のチャンバ２２９は、エンクロージャ外の第２の空気圧よりも高い第１の空気圧に維持することができる。従って、ガスの第２の部分２９７は、第１のチャンバ２２９から入口開口部２１１を通じて外部２５４に移動する。従って、ガスの第２の部分２９７は、物質に入口開口部２１１から離れる力を及ぼすことによって、第１のチャンバ２２９を望ましくない物質から保護することができる。同様に、いくつかの実施形態では、ガスの一部を導くことが、ガラスリボン１０３が第１のチャンバ２２９から出るエンクロージャ１５５の出口開口部２１３を通じてガスの第３の部分２９９を導くことを含むことができる。出口開口部２１３は、出口開口部においてガラスリボン１０３がエンクロージャに接触することなく第１のチャンバ２２９から出ることができるように、（例えば、幅及び厚みが）ガラスリボン１０３よりも大きい。出口開口部２１３を通じて望ましくない物質が第１のチャンバ２２９に入り込む可能性を抑えるために、第１のチャンバ２２９から出口開口部２１３を通じてガスの第３の部分２９９を外部２５４に導くことができる。従って、ガスの第３の部分２９９は、出口開口部２１３から離れる力を及ぼすことによって、第１のチャンバ２２９を望ましくない物質から保護することができる。

いくつかの実施形態では、エンクロージャ１５５を複数のゾーンに分離することができる。例えば、図２を参照すると、第２のエンクロージャ壁２２５の内面から第１のエンクロージャ壁２２３に向かって１又は２以上のバッフル壁（ｂａｆｆｌｅ ｗａｌｌｓ）が延びることができる。例えば、エンクロージャ１５５は、第１のバッフル壁２８１と、第１のバッフル壁２８１から離間した第２のバッフル壁２８３とを含むことができる。第１のバッフル壁２８１及び第２のバッフル壁２８３は、第１のリボン移動経路１２３に向かって延びることができるが、ガラスリボン１０３との接触を避けるために第１のリボン移動経路１２３から離間している。いくつかの実施形態では、第１の端部２１７と第１のバッフル壁２８１との間に第１のゾーン２８４を定めることができ、第１のバッフル壁２８１と第２のバッフル壁２８３との間に第２のゾーン２８５を定めることができ、第２のバッフル壁２８３と第２の端部２１９との間に第３のゾーン２８６を定めることができる。いくつかの実施形態では、ゾーン２８４、２８５、２８６を同じ空気圧又は異なる空気圧に維持することができる。例えば、ゾーン２８４、２８５、２８６をエンクロージャ１５５外の第２の空気圧よりも高い正圧に維持できるように、ゾーン２８４、２８５、２８６の各々にガスを供給することができる。従って、ゾーン２８４、２８５、２８６は、エンクロージャ１５５の長さに沿ってより均一なガス分布及び安定した正圧をもたらして、エンクロージャ１５５の開口部を通じてエンクロージャ１５５内に物質３９２が入り込む可能性を抑えることができる。

いくつかの実施形態では、外部環境２５４を、ＩＳＯ６クリーンルームまでを含むことができるクリーンルーム１１５内に配置することができる。第１のチャンバ２２９は、外部２５４と比べて正圧に維持されることで、例えばＩＳＯ１又はＩＳＯ２クリーンルームなどのさらに高度なクリーンルーム環境を含むことができる。（例えば、ガス源３４５、３８５などからの）複数のガス源を通じて第１のチャンバ２２９にガスを供給し、第１のチャンバ２２９をエンクロージャ１５５外の汚染物質から保護することにより、ガラスリボン１０３を実質的に物質３９２が存在しないクリーン環境内に維持することができる。（例えば、クリーンルームサイズと比べて）エンクロージャ１５５の体積が小さいため、第１のチャンバ２２９に供給されるガスは、ルームを第１のチャンバ２２９と同じ清浄度標準に維持するために供給されると思われるガスの量と比べて少ない。従って、エンクロージャ１５５は、内部でガラスリボン１０３が移動しながら物質３９２によるガラスリボン１０３の汚染を制限する、より効率的でコスト効果の高い環境を提供することができる。

本明細書で使用する「約（ａｂｏｕｔ）」という用語は、数量、サイズ、組成、パラメータ、並びにその他の量及び特性が厳密なものではなく又は厳密である必要がなく、必要に応じて公差、換算係数、四捨五入及び測定誤差など、並びに当業者に周知の他の因子を反映した近似的なもの及び／又は大きめ又は小さめのものであることを意味する。

本明細書では、「約」１つの値から及び／又は「約」別の値までとして範囲を表していることがある。このような範囲を表す場合、別の実施形態は一方の値から他方の値までを含む。同様に、「約」という先行詞を使用して値を近似値として表している場合、この値は別の実施形態を形成するものであると理解されるであろう。さらに、各範囲の端点は、他方の端点に関連して意味を成すことも、他方の端点とは無関係に意味を成すこともあると理解されるであろう。

本明細書で使用する、上、下、右、左、前、後、上部、底部、上側、下側などの方向を示す用語は図を参照して使用するものにすぎず、絶対的な向きを意味するものではない。

別途明示していない限り、本明細書に示すいずれかの方法については、決してそのステップを特定の順序で実行する必要があるものと解釈すべきではなく、いずれかの装置についても、決して特定の向きが必要であると解釈すべきではない。従って、方法の請求項においてそのステップが従うべき順序を実際に記載していない場合、又はいずれかの装置の請求項において個々のコンポーネントに対する順序又は向きを実際に記載していない場合、或いは特許請求の範囲又は本明細書においてステップを特定の順序に限定すべき旨を別途具体的に示していない場合、或いは装置のコンポーネントに対する特定の順序又は向きを記載していない場合は、いかなる点においても順序又は向きが暗示されるものではない。このことは、ステップの配列、動作フロー、コンポーネントの順序又はコンポーネントの向きに関する論理事項、文法構成又は句読点から導出される一般的意味、及び本明細書で説明する実施形態の数又はタイプを含む、解釈のためのあらゆる可能な非明示基準（ｎｏｎ－ｅｘｐｒｅｓｓ ｂａｓｉｓ）に当てはまる。

本明細書で使用する単数形の英文不定冠詞（「ａ」、「ａｎ」）及び英文定冠詞（「ｔｈｅ」）は、文脈によって別途明確に決定付けられない限り複数形の照応を含む。従って、例えば「あるコンポーネント（ａ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）」という表現は、文脈によって別途明確に決定付けられない限り２又は３以上のこのようなコンポーネントを有する態様を含む。

本明細書で使用する「例示的な」、「例」又はその様々な形態は、一例、事例又は例示の役割を果たすことを意味する。本明細書で「例示的な」又は「例」として説明する態様又は設計は、いずれも他の態様又は設計よりも好ましい又は有益なものとして解釈すべきではない。さらに、例は明確性及び理解を目的として示すものにすぎず、開示する主題又は本開示の関連部分をいずれかの形で限定又は制約することを意味するものではない。様々な範囲の無数の追加例又は代替例を提示することもできたが、簡潔にするために省略したと理解することができる。

本明細書で使用する「備える、含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ、ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」という用語、及びその変化形は、別途示していない限り同義的かつ包括的なものとして解釈されたい。「備える」、「含む」という移行句の後の要素のリストは非排他的リストであり、従ってリスト内に具体的に記載しているもの以外の要素が存在することもできる。

本明細書で使用する「実質的な（ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌ）」、「実質的に（ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌｌｙ）」という用語、及びその変化形は、説明する特徴がある値又は記載に等しいこと又はほぼ等しいことを表すものである。例えば、「実質的に平面的な」表面は、平面的又はほぼ平面的な表面を表すように意図される。さらに、「実質的に」は、２つの値が等しいこと又はほぼ等しいことを表すように意図される。いくつかの実施形態では、「実質的に」が、互いの約５％以内又は互いの約２％以内などの、互いの約１０％以内の値を表すことができる。

本開示には、特許請求する主題の範囲又は趣旨から逸脱することなく修正を行うことができる。別途明示しない限り、「第１の」又は「第２の」などは、時間的側面、空間的側面、順序付けなどを意味するものではない。むしろ、このような用語は、特徴、要素、アイテムなどの識別子、名称などとして使用するものにすぎない。例えば、第１の端部及び第２の端部は、一般に端部Ａ及び端部Ｂ、或いは２つの異なる又は２つの同一の端部、或いは同じ端部に対応する。

様々な実施形態をその特定の例示的かつ具体的な例に関連して詳細に説明したが、以下の特許請求の範囲から逸脱することなく本開示の特徴の数多くの修正及び組み合わせが可能であるため、本開示をこのような実施形態に限定されるものとみなすべきではないと理解されたい。

１００ ガラス製造装置
１０１ 形成装置
１０３ ガラスリボン
１０９ 移動経路
１１１ 第１の移動方向
１１５ クリーンルーム
１２３、１２５、１２７ リボン移動経路
１３１、１３３、１３５、１３７ 移動先
１４１ 支持装置
１４２ ローラ
１４５ 支持装置の第１の端部
１４７ 支持装置の第２の端部
１４９ 重力方向
１５５ エンクロージャ
２１１ 入口開口部
２１３ 出口開口部
２１７ エンクロージャの第１の端部
２１９ エンクロージャの第２の端部

Claims (19)

1. ガラス製造装置であって、
   ガラスリボンを形成するように構成された形成装置と、
   前記形成装置の下流に配置されたエンクロージャと、
   を備え、前記エンクロージャは、第１のチャンバと、前記第１のチャンバの入口開口部を定める第１の端部と、前記第１のチャンバの出口開口部を定める第２の端部とを含み、前記エンクロージャの第１のエンクロージャ壁が、前記第１のチャンバから前記エンクロージャの外部へのガス移動経路を定めるエンクロージャ壁開口部を含み、前記ガラス製造装置は、
   前記第１のチャンバを通じて前記入口開口部と前記出口開口部との間に延びるリボン移動経路と、
   前記エンクロージャの第１の側面に沿って延びて、第２のチャンバと、前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間に流体連通をもたらすガス開口部とを含む第１の導管と、
   前記第２のチャンバと流体連通し、前記第２のチャンバを通じて前記第１のチャンバに第１のガスを供給するように構成された第１のガス源と、
   をさらに備える、ことを特徴とするガラス製造装置。
2. 前記第１の導管は、前記エンクロージャの長さに沿って延び、前記ガス開口部は、前記長さに沿って離間した複数のガス開口部を含む、請求項１に記載のガラス製造装置。
3. 前記エンクロージャは、前記第１のチャンバ内に配置されて前記エンクロージャ内で前記ガラスリボンを支持するように構成された複数のローラを含む、請求項２に記載のガラス製造装置。
4. 前記ガス開口部は、前記第２のチャンバから前記第１のチャンバへのガス移動経路を定め、前記ガス移動経路は、前記複数のローラのうちの第１のローラと第２のローラとの間に延びる、請求項３に記載のガラス製造装置。
5. 前記第１のローラは、第１の軸の周囲で回転可能であり、前記ガス移動経路は、前記第１の軸と実質的に平行な第２の軸に沿って延びる、請求項４に記載のガラス製造装置。
6. 前記エンクロージャの第２の側面に沿って延びて第３のチャンバを定める第２の導管をさらに備える、請求項１から５のいずれか一項に記載のガラス製造装置。
7. 前記第３のチャンバと流体連通し、前記第２の導管を通じて前記第１のチャンバに第２のガスを供給するように構成された第２のガス源をさらに備える、請求項６に記載のガラス製造装置。
8. 前記第１のエンクロージャ壁は、前記入口開口部に隣接して配置された第１の壁部分を含み、前記第１の壁部分は、前記第１の壁部分が前記エンクロージャの開口部を覆う第１の位置と、前記開口部が露出する第２の位置との間で移動するように構成される、請求項１から７のいずれか一項に記載のガラス製造装置。
9. ガラス製造装置であって、
   ガラスリボンを形成するように構成された形成装置と、
   前記形成装置の下流に配置されたエンクロージャと、
   を備え、前記エンクロージャは、第１のチャンバと、前記第１のチャンバの入口開口部を定める第１の端部と、前記第１のチャンバの出口開口部を定める第２の端部とを含むとともに、前記第１のチャンバから前記エンクロージャの外部へのガス移動経路を定めるエンクロージャ壁開口部を含む第１のエンクロージャ壁をさらに含み、前記第１のエンクロージャ壁は第１の壁部分を含み、前記第１の壁部分は、前記第１の壁部分が前記エンクロージャの開口部を覆う第１の位置と、前記開口部が露出する第２の位置との間で移動するように構成され、前記ガラス製造装置は、
   前記エンクロージャを通じて前記入口開口部と前記出口開口部との間に延びるリボン移動経路と、
   前記エンクロージャの第１の側面に沿って延びて、第２のチャンバと、前記第１のチャンバと流体連通するガス開口部とを含む第１の導管と、
   前記ガス開口部を通じて前記第１のチャンバに第１のガスを供給するように構成されたガス源と、
   をさらに備える、ことを特徴とするガラス製造装置。
10. 前記第１の導管は、前記エンクロージャの長さに沿って延びる、請求項９に記載のガラス製造装置。
11. 前記エンクロージャは、前記第１のチャンバ内に配置されて前記エンクロージャ内で前記ガラスリボンを支持するように構成された複数のローラを含む、請求項１０に記載のガラス製造装置。
12. ガラスリボンの製造方法であって、
    ガラス形成装置から垂直に下降するガラスリボンを形成することと、
    前記ガラスリボンの少なくとも一部が非垂直配向で移動する第１のチャンバを定めるエンクロージャを含むガラスリボン支持装置を使用して、前記ガラスリボンを前記非垂直配向で支持することと、
    前記エンクロージャの長さの少なくとも一部に沿って延びて第２のチャンバを含む第１の導管から、前記第１のチャンバ内に第１のガスを導くことと、
    前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとの間の少なくとも１つのガス開口部を通じて、前記第１のガスを前記第２のチャンバから前記第１のチャンバに流すことと、
    前記第１のチャンバ内の圧力を前記エンクロージャ外の圧力よりも高く維持することと、
    を含むことを特徴とする方法。
13. 前記第１のガスを流すことは、前記第２のチャンバと前記第１のチャンバとの間の、前記第１の導管の長さに沿って離間した複数の開口部を通じて前記第１のガスを流すことを含む、請求項１２に記載の方法。
14. 前記第１のチャンバ内の前記圧力は、前記エンクロージャの前記長さに沿って実質的に一定である、請求項１２に記載の方法。
15. 前記エンクロージャの壁部分を、前記壁部分が前記エンクロージャの開口部を覆う第１の位置から、前記エンクロージャの前記開口部が露出する第２の位置に移動させることをさらに含む、請求項１２から１４のいずれか一項に記載の方法。
16. 前記第１のチャンバ内の前記圧力を維持することは、前記第１のガスの一部を前記第１のチャンバから前記第１のチャンバの外部に導くことを含む、請求項１２から１５のいずれか一項に記載の方法。
17. 前記第１のガスの前記一部は、前記第１のチャンバから、前記ガラスリボンが前記第１のチャンバに入る前記エンクロージャの入口開口部を通じて導かれる、請求項１６に記載の方法。
18. 前記第１のガスの前記一部は、前記第１のチャンバから、前記ガラスリボンが前記第１のチャンバから出る前記エンクロージャの出口開口部を通じて導かれる、請求項１６に記載の方法。
19. 前記第１のガスの前記一部は、前記第１のチャンバから、前記エンクロージャのエンクロージャ壁の１又は２以上のエンクロージャ壁開口部を通じて導かれる、請求項１６に記載の方法。

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