JP2024114602A - 積層型キャパシタおよびその製造方法 - Google Patents
積層型キャパシタおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2024114602A JP2024114602A JP2023205237A JP2023205237A JP2024114602A JP 2024114602 A JP2024114602 A JP 2024114602A JP 2023205237 A JP2023205237 A JP 2023205237A JP 2023205237 A JP2023205237 A JP 2023205237A JP 2024114602 A JP2024114602 A JP 2024114602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive metal
- layer
- alloy
- capacitor body
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 140
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 155
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 155
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 85
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 85
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 17
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 55
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 18
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 16
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 claims description 15
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 12
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 6
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 3
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 9
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 217
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 15
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 14
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 6
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N Methyl ethyl ketone Natural products CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical group OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Chemical class [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008135 aqueous vehicle Substances 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- -1 transition metal carbides Chemical class 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003981 vehicle Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/008—Selection of materials
- H01G4/0085—Fried electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/012—Form of non-self-supporting electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
- H01G4/2325—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor characterised by the material of the terminals
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
【課題】外部電極の形成時、ガラス成分のメッキ液浸食を防止しながらも、外部電極とキャパシタボディーとの密着力を維持することができ、外部電極のメッキ時に発生する水素がキャパシタボディー内部に浸透することを防止して初期信頼性低下の問題を改善することができる積層型キャパシタを提供する。【解決手段】積層型キャパシタは、誘電体層111及び内部電極121、122を含むキャパシタボディー110と、キャパシタボディーの外側に配置される外部電極131、132と、を含む。外部電極は、キャパシタボディーの外側に配置され、第1導電性金属、第2導電性金属及びこれらの合金を含む第1層を含む。第1層は、誘電体層と会う部分に位置し、合金を含む合金部及び内部電極と会う部分に位置し、第1導電性金属、内部電極が含む第3導電性金属及びこれらの合金又ははこれらの組み合わせを含む拡散部を含む内層1311a、1321aを有する。【選択図】図2
Description
本記載は、積層型キャパシタおよびその製造方法に関する。
積層型キャパシタ(multi-layer ceramic capacitor、MLCC)は コンピュータ、通信などIT産業だけでなく、自動車、工場など大型電子装備産業でも使用がより拡大する傾向にある。現在はITおよび自動車用電気装置を問わず高容量の確保のために薄層化が加速化しており、これによる信頼性劣化を防止することが重要である。
積層型キャパシタは、大きく誘電体層、内部電極、そして外部電極の3部分からなる。このうち、誘電体層と内部電極を積層して作った部分をキャパシタボディーといい、キャパシタボディーの両端部に露出した部分を外部電極により囲んで内部電極を並列に連結することにより電気的に連結する。
外部電極と内部電極との間の電気的連結性を確保するために、金属粉末基盤のペーストをキャパシタボディーの両端部に塗布した後、高温の焼結過程を経て外部電極を形成する。この過程で金属とキャパシタボディーとの密着力が確保するためにガラス(glass)を共に使用する。
以降、メッキ層を形成して外部電極を完成するが、メッキ液によりガラス成分が侵食され、メッキ中に発生する水素がキャパシタボディー内部に浸透して信頼性劣化が発生する。
本開示の一側面は、外部電極の形成時、ガラス(glass)成分のメッキ液浸食を防止しながらも、外部電極とキャパシタボディーとの密着力を維持することができ、外部電極のメッキ時に発生する水素がキャパシタボディー内部に浸透することを防止して初期信頼性低下の問題を改善することができる積層型キャパシタを提供することができる。
一側面による積層型キャパシタは、誘電体層および内部電極を含むキャパシタボディー、そしてキャパシタボディーの外側に配置される外部電極を含み、外部電極は、キャパシタボディーの外側に配置され、第1導電性金属、第2導電性金属、およびこれらの合金を含む第1層を含み、第1層は、誘電体層と会う部分に位置する合金部、および内部電極と会う部分に位置する拡散部を含む内層を含む。
第1導電性金属と第2導電性金属の合金は、共晶合金(eutectic alloy)であり得る。
合金部は、第1導電性金属と第2導電性金属の合金を含む。
拡散部は、第1導電性金属、内部電極が含む第3導電性金属、これらの合金、またはこれらの組み合わせを含む。
第1層は、ガラス(glass)成分を含まなくてもよい。
第1導電性金属は、銅(Cu)であり得る。
第2導電性金属は、銀(Ag)であり得る。
第3導電性金属は、ニッケル(Ni)であり得る。
共晶合金は、第1導電性金属と第2導電性金属がラメラ(lamellar)構造、棒状(rod-like)構造、球状(globular)構造、または針状(acicular)構造で混合されたものであり得る。
合金部は、第2導電性金属の酸化物をさらに含むことができる。
第2導電性金属の酸化物は、酸化銀(silver oxide、AgOx)であり得る。
合金部内で第2導電性金属の酸化物は主に誘電体層と接触する部分に位置することができる。
合金部と拡散部は、誘電体層と内部電極の積層方向に沿って交互に配置され得る。
合金部は、誘電体層の幅方向に沿って延長され得る。
拡散部は、内部電極の幅方向に沿って延長され得る。
合金部は、誘電体層と接触し、誘電体層の幅方向に沿って延長される複数個の第1部分を有し、複数個の第1部分の外側に配置され、誘電体層の積層方向に沿って延長されて複数個の第1部分を連結する第2部分を有することができる。
拡散部は、合金部の複数個の第1部分の間に配置され得る。
第1層は、内層の外側に配置され、第1導電性金属および第2導電性金属を含む外層を含むことができる。
外層は、第1導電性金属を主成分として含み、第2導電性金属が第1導電性金属に分散され得る。
外部電極は、第1層の外側に配置され、メッキ金属を含む第3層をさらに含むことができる。
外層は、第3層と接触することができる。
外部電極は、第1層と第3層との間に配置され、樹脂および導電性金属を含む第2層をさらに含むことができる。
他の側面による積層型キャパシタの製造方法は、誘電体層および内部電極を含むキャパシタボディーを製造する段階、そしてキャパシタボディーの外側に外部電極を形成する段階を含み、外部電極を形成する段階は、第1導電性金属および第2導電性金属を含む第1層形成用ペーストを第1導電性金属と第2導電性金属の共融温度(eutectic temperature)以上の温度で焼結させて第1層を形成する段階を含む。
第1導電性金属は、銅(Cu)であり、第2導電性金属は、銀(Ag)であり、共融温度は、760℃から800℃である。
第1層形成用ペーストは、第1導電性金属100重量部に対して第2導電性金属を10重量部から100重量部で含むことができる。
焼結は、空気雰囲気および大気圧下で行われ得る
第1層を形成する段階で、第1層形成用ペーストを共融温度以上の温度で焼結させる過程で、第1導電性金属、第2導電性金属、これらの共晶合金(eutectic alloy)、またはこれらの組み合わせは液状化されて、キャパシタボディーの表面を濡らした後、界面酸化反応と共に冷却されながら第1層が形成され得る。
外部電極を形成する段階は、樹脂、導電性金属粉末、および有機溶媒を含む第2層形成用ペーストを第1層を覆うように塗布した後に硬化して第2層を形成する段階をさらに含むことができる。
外部電極を形成する段階は、第1層または第2層の上にメッキ法を利用して第3層を形成する段階をさらに含むことができる。
一側面による積層型キャパシタによれば、外部電極の形成時、ガラス(glass)成分のメッキ液浸食を防止しながらも、外部電極とキャパシタボディーとの密着力を維持することができ、外部電極のメッキ時に発生する水素がキャパシタボディー内部に浸透することを防止して初期信頼性低下の問題を改善することができる。
以下、添付した図面を参照して本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように本発明の実施例を詳しく説明する。図面において、本発明を明確に説明するために、説明上不要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似の構成要素については同一の参照符号を付した。また、添付した図面は、本明細書に開示された実施例を容易に理解できるようにするためのものに過ぎず、添付した図面により本明細書に開示された技術的な思想が制限されず、本発明の思想および技術範囲に含まれる全ての変更、均等物又は代替物を含むものと理解されなければならない。
第1、第2などのように序数を含む用語は、多様な構成要素を説明することに使用され得るが、前記構成要素は前記用語により限定されない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで使用される。
ある構成要素が他の構成要素に「連結されて」いるか、または「接続されて」いると言及された時には、その他の構成要素に直接的に連結されているか、接続されているか、または対向していることもできるが、中間に他の構成要素が存在することもできると理解されなければならない。反面、ある構成要素が他の構成要素に「直接連結されて」いるか、または「直接接続されて」いると言及された時には、中間に他の構成要素が存在しないと理解されなければならない。
明細書全体において、「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段層、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであり、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段層、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないものと理解されなければならない。したがって、ある部分がある構成要素を「含む」という時、これは特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
図1は一実施例による積層型キャパシタ100を示す斜視図であり、図2は図1のI-I'線に沿って切断した積層型キャパシタ100の断面図であり、図3は図1のキャパシタボディー110で内部電極の積層構造を示した分離斜視図である。
本実施例を明確に説明するために方向を定義すれば、図面に表示されたL軸、W軸およびT軸は、それぞれキャパシタボディー110の長さ方向、幅方向および厚さ方向を示す。ここで、厚さ方向(T軸方向)は、シート形状の構成要素の広い面(周面)と垂直な方向であり得、一例として誘電体層111が積層される積層方向と同一の概念で使用することができる。長さ方向(L軸方向)は、シート形状の構成要素の広い面(周面)と平行に延長される方向であって、厚さ方向(T軸方向)とほぼ垂直な方向になり得、一例として両側に第1外部電極131および第2外部電極132が位置する方向であり得る 。幅方向(W軸方向)は、シート形状の構成要素の広い面(周面)と平行に延長される方向であって、厚さ方向(T軸方向)および長さ方向(L軸方向)とほぼ垂直な方向であり得、シート形状の構成要素の長さ方向(L軸方向)の長さは幅方向(W軸方向)の長さより長くてもよい。
図1から図3を参照すれば、本実施例による積層型キャパシタ100は、キャパシタボディー110、そしてキャパシタボディー110の長さ方向(L軸方向)に対向する両端に配置される第1外部電極131および第2外部電極132を含むことができる。
キャパシタボディー110は、一例として、ほぼ六面体形状であり得る 。
本実施例では、説明の便宜のために、キャパシタボディー110で厚さ方向(T軸方向)に互いに対向する両面を第1および第2面、第1および第2面と連結され、長さ方向(L軸方向)に互いに対向する両面を第3および第4面、第1および第2面と連結され、第3および第4面と連結され、幅方向(W軸方向)に互いに対向する両面を第5および第6面と定義する。
一例として、下面である第1面が実装方向に向かう面になることができる。また、第1面から第6面は平坦であってもよいが、本実施形態はこれに限定されるのではなく、例えば第1面から第6面は中央部が凸状の曲面であってもよく、各面の境界である角部はラウンド(round)になっていてもよい。
キャパシタボディー110の形状、サイズおよび誘電体層111の積層数は、本実施例の図面に示されたものに限定されるのではない。
キャパシタボディー110は、複数の誘電体層111を厚さ方向(T軸方向)に積層した後に焼成したものであり、複数の誘電体層111と、誘電体層111を間に置いて厚さ方向(T軸方向)に交互に配置される複数の第1内部電極121および第2内部電極122を含む。この時、第1内部電極121および第2内部電極122は互いに異なる極性を有することができる。
この時、キャパシタボディー110の互いに隣接するそれぞれの誘電体層111の間の境界は、走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)を利用せずには確認し難い程度に一体化され得る。
また、キャパシタボディー110は、アクティブ領域とカバー部112、113を含むことができる。
アクティブ領域は、積層型キャパシタ100の容量形成に寄与する部分である。一例として、アクティブ領域は、厚さ方向(T軸方向)に沿って積層される第1内部電極121および第2内部電極122が重なった(overlap)領域であり得る。
カバー部112、113は、マージン部として厚さ方向(T軸方向)にアクティブ領域の第1面および第2面側にそれぞれ位置することができる。このようなカバー部112、113は、単一の誘電体層111または2個以上の誘電体層111がアクティブ領域の上面および下面にそれぞれ積層されたものであり得る。
また、キャパシタボディー110は、側面カバー領域をさらに含むことができる。側面カバー領域は、マージン部として幅方向(W軸方向)にアクティブ領域の第5面および第6面側にそれぞれ位置することができる。このような側面カバー領域は、誘電体グリーンシート表面に内部電極形成用導電性ペースト層を塗布する時、誘電体グリーンシート表面の一部領域にのみ導電性ペースト層を塗布し、誘電体グリーンシート表面の両側面には導電性ペースト層を塗布していない誘電体グリーンシートを積層した後、焼成することにより形成され得る。
カバー部112、113と側面カバー領域は、物理的または化学的ストレスによる第1内部電極121および第2内部電極122の損傷を防止する役割になる。
一例として、誘電体層111は、高誘電率のセラミック材料を含むことができる。例えば、セラミック材料は、BaTiO3、CaTiO3、SrTiO3、またはCaZrO3などの成分を含む誘電体セラミックを含むことができる。また、これら成分にMn化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物などの補助成分をさらに含むことができる。例えば、BaTiO3系誘電体セラミックにCa、Zrなどが一部固溶された(Ba1-xCax)TiO3、Ba(Ti1-yCay)O3、(Ba1-xCax)(Ti1-yZry)O3またはBa(Ti1-yZry)O3などを含むことができる。
また、誘電体層111にはセラミック粉末と共に、セラミック添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤および分散剤などがさらに添加され得る。セラミック添加剤は、例えば遷移金属酸化物または遷移金属炭化物、希土類元素、マグネシウム(Mg)またはアルミニウム(Al)などを使用することができる。
一例として、誘電体層111の平均厚さは、0.5μmから10μmであり得る。
第1内部電極121および第2内部電極122は、互いに異なる極性を有する電極であり、誘電体層111を間に置いて厚さ方向(T軸方向)に沿って互いに対向するように交互に配置され、一端がキャパシタボディー110の第3および第4面を通じてそれぞれ露出することができる。
第1内部電極121および第2内部電極122は、中間に配置された誘電体層111により互いに電気的に絶縁され得る。
キャパシタボディー110の第3および第4面を通じて交互に露出する第1内部電極121および第2内部電極122の端部は、第1外部電極131および第2外部電極132とそれぞれ接続されて電気的に連結され得る。
第1内部電極121および第2内部電極122は、導電性金属を含み、例えばニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、または金(Au)などの金属やこれらの合金を含むことができ、例えばニッケル(Ni)を含むことができる。
また、第1内部電極121および第2内部電極122は、誘電体層111に含まれるセラミック材料と同一の組成系の誘電体粒子を含むこともできる。
第1内部電極121および第2内部電極122は、導電性金属を含む導電性ペーストを使用して形成され得る。導電性ペーストの印刷方法は、スクリーン印刷法またはグラビア印刷法などを利用することができる。
一例として、第1内部電極121および第2内部電極122の平均厚さは、0.1μmから2μmであり得る 。
第1外部電極131および第2外部電極132は互いに異なる極性の電圧が提供され、第1内部電極121および第2内部電極122の露出する部分とそれぞれ接続されて電気的に連結され得る。
前述のような構成により、第1外部電極131および第2外部電極132に所定の電圧を印加すると互いに対向する第1内部電極121および第2内部電極122の間に電荷が蓄積される。この時、積層型キャパシタ100の静電容量は、アクティブ領域でT軸方向に沿って互いに重なる第1内部電極121および第2内部電極122のオーバーラップされた面積と比例するようになる。
第1外部電極131および第2外部電極132は、キャパシタボディー110の第3面および第4面にそれぞれ配置されて第1内部電極121および第2内部電極122と接続する第1接続部および第2接続部と、キャパシタボディー110の第1面および第2面と第3面および第4面とが会う角部に配置される第1バンド部および第2バンド部をそれぞれ含むことができる。
第1バンド部および第2バンド部は、第1接続部および第2接続部でキャパシタボディー110の第1面および第2面の一部までそれぞれ延長され得る。第1バンド部および第2バンド部は、第1接続部および第2接続部でキャパシタボディー110の第5面および第6面の一部までそれぞれさらに延長され得る。第1バンド部および第2バンド部は、第1外部電極131および第2外部電極132の固着強度を向上させるなどの役割になる。
図4は図2のIII領域を拡大した断面図であり、第2外部電極132とキャパシタボディー110の接合境界領域を拡大して模式的に示す断面図である。図4では第2外部電極132のみについて示しているが、第1外部電極131も図4と類似の特徴を有している。以下、図4を参照して、本実施例の第1外部電極131および第2外部電極132について詳細に説明する。
第1外部電極131および第2外部電極132は、第1導電性金属1321b1、第2導電性金属1321b2、およびこれらの合金を含む第1層1311、1321を含む。第1外部電極131および第2外部電極132の第1層1311、1321は、キャパシタボディー110の外面(第3面および4面)に接して配置され得る。
第1外部電極131および第2外部電極132は、単一の電極層で構成されることもでき、複数の電極層を積層して構成されることもできる。一例として、複数の電極層で第1外部電極131および第2外部電極132を構成する場合、第1外部電極131および第2外部電極132は、キャパシタボディー110と接触する第1層1311、1321、第1層1311、1321を覆うように配置される第3層1313、1323を含むことができる。
一例として、第1層1311、1321は、ガラス(glass)成分を含まなくてもよく、例えば第1導電性金属1321b1、第2導電性金属1321b2、およびこれらの合金のみからなることができる。
ガラス成分は、第1外部電極131および第2外部電極132の金属成分とキャパシタボディー110との密着力が確保するために使用される。一例として、ガラス成分は、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、アルミニウム酸化物、遷移金属酸化物、アルカリ金属酸化物およびアルカリ土類金属酸化物からなる群より選択された一つ以上であり得る 。ここで、遷移金属は、亜鉛(Zn)、チタニウム(Ti)、銅(Cu)、バナジウム(V)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)からなる群より選択され、アルカリ金属は、リチウム(Li)、ナトリウム(Na)およびカリウム(K)からなる群より選択され、アルカリ土類金属は、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)およびバリウム(Ba)からなる群より選択された一つ以上であり得る 。
しかし、第1層1311、1321を形成した後に第3層1313、1323をメッキ方法で形成する場合、メッキ液によりガラス成分が浸食されることがある。また、メッキ中に発生する水素がキャパシタボディー110内部に浸透して信頼性劣化が発生することがある。
反面、本実施形態では、第1層1311、1321がガラス成分を含まないことにより、メッキ液によりガラス成分が浸食されることによりキャパシタボディー110内部に浸透することを防止することができる。ただし、第1層1311、1321がガラス成分を含まないことにより、キャパシタボディー110と第1外部電極131および第2外部電極132との密着力が低下することがあるが、第1層1311、1321が第1導電性金属1321b1と第2導電性金属1321b2の合金を含む合金部1321a1を含むことにより、キャパシタボディー110と第1外部電極131および第2外部電極132との密着力低下を防止することができる。
また、第1層1311、1321は、合金部1321a1を含む内層1311a、1321aと、内層1311a、1321aの外側に配置され、第1導電性金属1321b1および第2導電性金属1321b2を含む外層1311b、1321bとを含むことができる。このように、第1層1311、1321がキャパシタボディー110の第1内部電極121および第2内部電極122と連結された内層1311a、1321aと、内層1311a、1321aの外側に配置され、メッキ層である第3層1313、1323と連結された外層1311b、1321bとを含む多重界面を有する多層構造を有することにより、外部電極のメッキ時に発生する水素がキャパシタボディー110内部に浸透する速度を遅延させて内部まで伝達される水素の総量を減らすことができ、これにより初期信頼性低下の問題を改善することができる。
一例として、第1層1311、1321の内層1311a、1321aは、誘電体層111と会う部分に位置する合金部1321a1および第1内部電極121および第2内部電極122と会う部分に位置する拡散部1321a2を含むことができる。
合金部1321a1は、誘電体層111の長さ方向(L軸方向)端部に位置することができる。合金部1321a1は、誘電体層111の幅方向(W軸方向)に沿って延長され得る。
合金部1321a1は、第1導電性金属1321b1と第2導電性金属1321b2の合金を含むことができる。
例えば、第1導電性金属1321b1は、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、金(Au)、白金(Pt)、スズ(Sn)、タングステン(W)、チタニウム(Ti)、鉛(Pb)、これらの合金、またはこれらの組み合わせを含むことができ、または銅(Cu)であり得る 。
第2導電性金属1321b2は、第1導電性金属1321b1と合金をなすことができるものであれば特に制限されず、例えば銀(Ag)、パラジウム(Pd)、金(Au)、白金(Pt)、スズ(Sn)、タングステン(W)、チタニウム(Ti)、鉛(Pb)、これらの合金、またはこれらの組み合わせを含むことができ、または銀(Ag)であり得る 。
一例として、第1導電性金属1321b1と第2導電性金属1321b2の合金は、共晶合金(eutectic alloy)であり得る 。共晶合金(eutectic alloy)は、金属が溶解されないまま、純金属、固溶体、金属間化合物の小さい結晶状態で混合された不均質な合金であり、共融合金ともいう。共晶合金は、第1導電性金属1321b1と第2導電性金属1321b2がラメラ(lamellar)構造、棒状(rod-like)構造、球状(globular)構造、または針状(acicular)構造で混合されていてもよい。
合金部1321a1は、第2導電性金属1321b2の酸化物をさらに含むことができる。例えば、第2導電性金属1321b2が銀(Ag)である場合、第2導電性金属1321b2の酸化物は、酸化銀(silver oxide、AgOx)であり得る 。合金部1321a1は、第2導電性金属1321b2の酸化物をさらに含むことにより第1層1311、1321がガラス成分を含まないにも拘わらず、キャパシタボディー110と第1外部電極131および第2外部電極132との密着力をより向上させることができる。
一例として、合金部1321a1内で第2導電性金属1321b2の酸化物は主に誘電体層111と接触する部分に位置することができ、または第2導電性金属1321b2の酸化物は合金部1321a1全体に分散して位置することもできる。第2導電性金属1321b2の酸化物が主に誘電体層111と接触する部分に位置する場合、キャパシタボディー110と第1外部電極131および第2外部電極132との密着力をより向上させることができる。
第2導電性金属1321b2の酸化物は、第1層1311、1321の形成時、第1導電性金属1321b1と第2導電性金属1321b2の共晶合金を形成する過程で生成され得る。第1導電性金属1321b1および第2導電性金属1321b2を含む第1層形成用ペーストを第1導電性金属1321b1と第2導電性金属1321b2の共融温度(eutectic temperature)以上の温度で焼結させる過程で、第1導電性金属1321b1、第2導電性金属1321b2、これらの共晶合金(eutectic alloy)、またはこれらの組み合わせが液状化されて、キャパシタボディー110の表面を濡らした後、界面酸化反応と共に冷却されながら第1層1311、1321が形成されるが、この時、界面酸化反応により第2導電性金属1321b2の酸化物が主に誘電体層111と接触する部分に生成され得る。
拡散部1321a2は、第1内部電極121および第2内部電極122の長さ方向(L軸方向)端部に位置することができる。拡散部1321a2は、第1内部電極121および第2内部電極122の幅方向(W軸方向)に沿って延長され得る。
拡散部1321a2は、第1導電性金属1321b1、第1内部電極121および第2内部電極122が含む第3導電性金属、これらの合金、またはこれらの組み合わせを含むことができる。一例として、第1層1311、1321の第1導電性金属1321b1が銅(Cu)を含み、第1内部電極121および第2内部電極122がニッケル(Ni)を含む場合、拡散部1321a2は、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)とニッケル(Ni)の合金、またはこれらの組み合わせを含むことができる。拡散部1321a2は、第1層1311、1321に含まれている第1導電性金属1321b1と第1内部電極121および第2内部電極122に含まれている第3導電性金属の合金を含むことにより、より緻密な組織を作ることで、第1層1311、1321と第1内部電極121および第2内部電極122との密着力をより向上させ、水素の浸透をさらに防止することができる。
一例として、キャパシタボディー110は、複数個の誘電体層111が積層されてなることができ、合金部1321a1は、複数個の誘電体層111のそれぞれの長さ方向(L軸方向)端部に位置することができるため、合金部1321a1は、複数個の誘電体層111とそれぞれ接触する複数個の第1部分1321a11を有することができる。第1部分1321a11は、それぞれ接触された誘電体層111の幅方向(W軸方向)に沿って延長され得る。
また、合金部1321a1は、複数個の第1部分1321a11の長さ方向(L軸方向)外側に配置される第2部分1321a12を有することができる。
第2部分1321a12は、長さ方向(L軸方向)および厚さ方向(T軸方向)に延長されて実質的に連結された一つの層の形態であり得、そのために複数個の第1部分1321a11を連結することができる。ただし、積層型キャパシタ100の幅方向(W軸方向)と垂直ないずれか一断面、例えば積層型キャパシタ100の幅方向(W軸方向)中央で幅方向(W軸方向)と垂直な断面で、第2部分1321a12は切り部、島(island)部、空隙部、またはこれらの組み合わせを含むことができる。
第2部分1321a12は、外層1311b、1321bと接触する。ただし、第2部分1321a12と外層1311b、1321bとの層境界は不明確になり得、第2部分1321a12の合金のうちの一部が外層1311b、1321b内部に位置することができ、外層1311b、1321bに含まれている第1導電性金属が第2部分1321a12内部に位置することができ、さらには第1部分1321a11または拡散部1321a2とも連結され得る。
拡散部1321a2は、合金部1321a1の複数個の第1部分1321a11の間に配置され得る。そのために、合金部1321a1と拡散部1321a2は、誘電体層111と第1内部電極121および第2内部電極122の積層方向(T軸方向)に沿って交互に配置され得る。つまり、誘電体層111と第1内部電極121および第2内部電極122が交互に積層されることにより、誘電体層111の長さ方向(L軸方向)端部に位置する合金部1321a1と第1内部電極121および第2内部電極122の長さ方向(L軸方向)端部に位置する拡散部1321a2とも交互に配置され得る。
また、合金部1321a1の第2部分1321a12は、拡散部1321a2の外側にも位置することができる。そのために、合金部1321a1の第2部分1321a12は、拡散部1321a2が外層1311b、1321bと直接接触することを防止することにより、水素の浸透をさらに防止することができる。
外層1311b、1321bは、内層1311a、1321aの長さ方向(L軸方向)外側に配置され、一例として内層1311a、1321aの合金部1321a1の第2部分1321a12と接触することができる。ただし、外層1311b、1321bと内層1311a、1321aは、第1導電性金属1321b1および第2導電性金属1321b2を含む第1層形成用ペーストを第1導電性金属1321b1と第2導電性金属1321b2の共融温度(eutectic temperature)以上の温度で焼結させることにより共に形成されることによって、外層1311b、1321bと内層1311a、1321aの層境界は不明確になり得る。
外層1311b、1321bは、第1導電性金属1321b1および第2導電性金属1321b2を含み、例えば第1導電性金属1321b1を主成分として含み、第2導電性金属1321b2は第1導電性金属1321b1に分散され得る。
第1層1311、1321の内層1311a、1321aと外層1311b、1321b、内層1311a、1321aの合金部1321a1と拡散部1321a2は、積層型キャパシタ100の幅方向(T軸方向)と垂直ないずれか一断面、例えば幅方向の中央で幅方向と垂直な断面(L軸方向およびT軸方向断面)を走査電子顕微鏡(SEM)または走査透過電子顕微鏡(STEM)などにより観察することにより分析することができる。一例として、UHR-SEM(Scanning Electron Microscope)を利用して、加速電圧10kV、分析倍率3000倍の条件で測定することができる。
また、合金部1321a1の合金と、拡散部1321a2の第1導電性金属1321b1、第3導電性金属、またはこれらの合金の組成は、断面観察時に電子線マイクロアナライザー(EPMA)による成分分析を通じて測定することができる。成分分析は、少なくとも3個位置以上で実施し、測定結果の平均値により組成を算出することができる。電子線マイクロアナライザー(EPMA)で成分分析などを行う場合、X線分光器として、EDS(エネルギー分散型分光器)、またはWDS(波長分散型分光器)などを使用することができる。
また、合金部1321a1と拡散部1321a2の平均長さまたは平均面積などは、SEMまたはSTEMなどの断面観察により得られた断面写真を画像分析することにより測定することができる。SEMの反射電子像やSTEMのHAADF像などで第1層1311、1321の断面を観察した場合、合金を含む合金部1321a1はコントラストの明るい部分と認識することができ、第1導電性金属1321b1と第3導電性金属の合金を含む拡散部1321a2はコントラストのより暗い部分と認識することができる。したがって、合金部1321a1と拡散部1321a2の平均長さまたは平均面積などは、断面写真を二進化するなど、測定視野全体の面積に対するコントラストが明るい部分の面積比率で算出することができる。また、その測定は、少なくとも5視野以上で実施してその平均値を算出することができる。
第1層1311、1321の単位面積に対する合金部1321a1の平均面積比率は、10%から90%であり得、例えば20%から40%であり得る 。
ここで、合金部1321a1の平均面積比率は、前記SEMまたはSTEMなどの断面写真で第1層1311、1321内に位置する横1μmから100μmおよび縦1μmから100μm、例えば10μm×2μmサイズの単位面積内で測定することができる。単位面積は、第1層1311、1321内の任意の位置に位置することができ、例えば第1層1311、1321の第1および第2接続部、第1および第2バンド部、およびこれらの間の角部に位置することができる。ただし、単位面積全体は、全て第1層1311、1321内に位置しなければならない。合金部1321a1の平均面積比率は、第1層1311、1321内に位置する複数の単位面積での合金部1321a1の面積比率の算術平均値であり得、例えば第1層1311、1321の第1および第2接続部、第1および第2バンド部、およびこれらの間の角部に位置する単位面積で測定した合金部1321a1の面積比率の算術平均値であり得る 。
合金部1321a1の平均面積比率が10%未満である場合、キャパシタボディー110と第1外部電極131および第2外部電極132との間の密着力が足りないことがある。
一例として、キャパシタボディーの第3面および第4面で、第1層1311、1321の拡散部1321a2の長さ方向(L軸方向)の平均長さ(平均厚さ)は、0μmから10μmであり得、例えば3μmから5μmであり得る 。拡散部1321a2の長さ方向(L軸方向)の平均長さ(平均厚さ)が0μm未満である場合、第1内部電極121および第2内部電極122との接触が良好に行われず、抵抗が大きくなることがある。
また、第1層1311、1321の単位面積に対する拡散部1321a2の平均面積比率は、2%から30%であり得、例えば5%から10%であり得る 。
一例として、キャパシタボディーの第3面および第4面で、第1層1311、1321の外層1311b、1321bの長さ方向(L軸方向)の平均長さ(平均厚さ)は、5μmから50μmであり得、例えば10μmから20μmであり得る 。外層1311b、1321bの長さ方向(L軸方向)の平均長さ(平均厚さ)が5μm未満である場合、十分な電極緻密度および電極カバレージ(coverage)を確保できなくなることがある。
また、第1層1311、1321の単位面積に対する外層1311b、1321bの平均面積比率は、50%から90%であり得、例えば60%から70%であり得る 。
前記のように、第1外部電極131および第2外部電極132は、複数の電極層を積層して構成されることもでき、選択的に第1層1311、1321と第3層1313、1323との間に配置される第2層をさらに含むことができる。
第2層は、第1層1311、1321外側に配置され、例えば第1層1311、1321を完全に覆う形態に形成され得る。
第2層は、銅(Cu)、銀(Ag)、ニッケル(Ni)、またはこれらの混合物を含む導電性金属とベース樹脂を含むことができる。
第2層に含まれるベース樹脂は、接合性および衝撃吸収性を有し、導電性金属粉末と混合してペーストを作ることができるものであれば特に制限されず、例えばエポキシ系樹脂を含むことができる。
第2層に含まれる導電性金属は、第1層1311、1321と電気的に連結され得る材質であれば特に制限されず、例えば、銅(Cu)、銀(Ag)、ニッケル(Ni)、またはこれらの混合物を含むことができる。
第2層は、キャパシタボディー110の第1面および第2面に延長され、第2層がキャパシタボディー110の第1面および第2面に延長して配置された領域の長さは、第1層1311、1321がキャパシタボディー110の第1面および第2面に延長して配置された領域の長さより長くてもよい。つまり、第2層は、第1層1311、1321の上に形成され、第1層1311、1321を完全に覆う形態に形成され得る。
第3層1313、1323は、ニッケル(Ni)を主成分として含有することができ、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、金(Au)、銀(Ag)、タングステン(W)、チタニウム(Ti)または鉛(Pb)などの単独またはこれらの合金をさらに含むことができる。第3層1313、1323は、積層型キャパシタ100の基板との実装性、構造的信頼性、外部に対する耐久度、耐熱性および等価直列抵抗値(Equivalent Series Resistance、ESR)を改善することができる。
一例として、第3層1313、1323は、メッキにより形成されることができる。第3層1313、1323は、スパッタまたは電解メッキ(Electric Deposition)により形成されることもできる。
他の実施例による積層型キャパシタの製造方法は、誘電体層および内部電極を含むキャパシタボディーを製造する段階、そしてキャパシタボディーの外側に外部電極を形成する段階を含む。
まず、キャパシタボディーの製造について説明する。キャパシタボディーの製造工程では、焼成後に誘電体層になる誘電体用ペーストと、焼成後に内部電極になる導電性ペーストとを準備する。
誘電体用ペーストは、例えば次のような方法で製造する。セラミック材料を湿式混合などの手段により均一に混合し、乾燥させた後、所定の条件で熱処理することにより、可塑粉末を得る。得られた可塑粉末に、有機ビヒクルまたは水系ビヒクルを追加して混練して誘電体用ペーストを調製する。
得られた誘電体用ペーストをドクターブレード法などの技法によりシート化することにより、誘電体グリーンシートを得る。また、誘電体用ペーストには、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、副成分化合物、またはガラスフリットなどから選択される添加物が含まれていてもよい。
内部電極用導電性ペーストは、導電性金属またはその合金からなる導電性粉末とバインダーや溶剤を、混練して調製する。内部電極用導電性ペーストには、必要に応じて共材としてセラミック粉末(例えばチタン酸バリウム粉末)が含まれ得る。共材は、焼成過程で導電性粉末の焼結を抑制する作用をすることができる。
誘電体グリーンシート表面に、スクリーン印刷などの各種印刷法や転写法により、内部電極用導電性ペーストを所定のパターンで塗布する。そして内部電極パターンを形成した誘電体グリーンシートを複数層にわたって積層した後、積層方向にプレスすることにより誘電体グリーンシート積層体を得る。この時、誘電体グリーンシート積層体の積層方向の上面および下面には、誘電体グリーンシートが位置するように、誘電体グリーンシートと内部電極パターンを積層することができる。
選択的に、得られた誘電体グリーンシート積層体をダイシングなどにより所定のサイズに切断することができる。
また、誘電体グリーンシート積層体は、必要に応じて可塑剤などを除去するために固化乾燥することができ、固化乾燥後に水平遠心バレル機などを利用してバレル研磨することができる。バレル研磨では、誘電体グリーンシート積層体をメディアおよび研磨液と共に、バレル容器内に投入してそのバレル容器に対して回転運動や振動などを付与することにより、切断時に発生したバリなどの不必要な部分を研磨することができる。またバレル研磨後、誘電体グリーンシート積層体は、水などの洗浄液で洗浄して乾燥され得る。
誘電体グリーンシート積層体を脱バインダー処理および焼成処理してキャパシタボディーを得る。
脱バインダー処理の条件は、誘電体層の主成分組成や内部電極の主成分組成により適切に調節することができる。例えば、脱バインダー処理時の昇温速度は5℃/時間から300℃/時間、保持温度は180℃から400℃、温度維持時間は0.5時間から24時間であり得る 。脱バインダー雰囲気は空気または還元性雰囲気であり得る。
焼成処理の条件は、誘電体層の主成分組成や内部電極の主成分組成により適切に調節することができる。例えば、焼成時の温度は1200℃から1350℃、または1220℃から1300℃であり得、時間は0.5時間から8時間、または1時間から3時間であり得る。焼成雰囲気は還元性雰囲気であり得、例えば窒素ガス(N2)と水素ガス(H2)の混合ガスを加湿した雰囲気であり得る 。内部電極がニッケル(Ni)またはニッケル(Ni)合金を含む場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は1.0×10-14MPaから1.0×10-10MPaであり得る 。
焼成処理後には、必要に応じてアニーリングを実施することができる。アニーリングは、誘電体層を再酸化させるための処理であり、焼成処理を還元性雰囲気で実施した場合には、アニーリングを実施することができる。アニーリング処理の条件も誘電体層の主成分組成などにより適切に調節することができる。例えば、アニーリング時の温度は950℃から1150℃であり得、時間は0時間から20時間であり得、昇温速度は50℃/時間から500℃/時間であり得る 。アニーリング雰囲気は加湿した窒素ガス(N2)雰囲気であり得、酸素分圧は1.0×10-9MPaから1.0×10-5MPaであり得る 。
脱バインダー処理、焼成処理、またはアニーリング処理において、窒素ガスや混合ガスなどを加湿するためには、例えばウェッター(wetter)などを使用することができ、この場合、水温は5℃から75℃であり得る 。脱バインダー処理、焼成処理、およびアニーリング処理は、連続して行うこともでき、独立して行うこともできる。
選択的に、得られたキャパシタボディーの第3面および第4面に対して、サンドブラスト処理、レーザ照射、またはバレル研磨などの表面処理を実施することができる。このような表面処理を実施することにより、第3面および第4面の最表面に内部電極の端部が露出することができ、そのために外部電極と内部電極との電気的接合が良好に行われ、合金部が形成されやすくなり得る。
得られたキャパシタボディーの外面に、外部電極の第1層形成用ペーストを塗布して焼結させることにより、誘電体層と会う部分に位置する合金部および内部電極と会う部分に位置する拡散部を含む内層、および内層の外側に位置する外層を含む第1層を形成する。
第1層形成用ペーストは、第1導電性金属および第2導電性金属を含むことができる。第1導電性金属および第2導電性金属に関する説明は、前述と同様であるため、反復的な説明は省略する。また、第1層形成用ペーストは、選択的にバインダー、溶剤、分散剤、可塑剤、または酸化物粉末などの副成分を含むことができる。例えば、バインダーは、エチルセルロース、アクリル、またはブチラール(butyral)などを使用することができ、溶剤は、テルピネオール、ブチルカルビトール、アルコール、メチルエチルケトン、アセトン、またはトルエンなどの有機溶剤や、水系溶剤を使用することができる。
第1層形成用ペーストをキャパシタボディーの外面に塗布する方法としては、ディップ法、またはスクリーン印刷などの各種印刷法、ディスペンサーなどを利用した塗布法、またはスプレーを利用した噴霧法などを使用することができる。第1層形成用ペーストは、少なくともキャパシタボディーの第3面および第4面に塗布され、選択的に外部電極が形成される第1面、第2面、第5面、または第6面の一部にも塗布され得る。
以降、第1層形成用ペーストが塗布されたキャパシタボディーを乾燥させ、第1導電性金属と第2導電性金属の共融温度(eutectic temperature)以上の温度で焼結させて第1層を形成する。
一例として、第1導電性金属が銅(Cu)であり、第2導電性金属が銀(Ag)である場合、共融温度は760℃から800℃、または779℃から80℃であり得る 。共融温度はパウダーのサイズ、または焼成時の昇温速度などにより一部変動があり得る。また、焼結は0.1時間から3時間行われ得る。
第1層形成用ペーストは、第1導電性金属100重量部に対して第2導電性金属を10重量部から100重量部、例えば20重量部から40重量部含むことができる。第1層形成用ペーストで第2導電性金属の含有量が第1導電性金属100重量部に対して10重量部未満である場合、キャパシタボディーと第1および第2外部電極との間の密着力が足りないことがあり、100重量部を超える場合、第1層が完全に液化されて、第1層とキャパシタボディーが分離される可能性がある。
特定理論に拘束されようとするのではないが、第1層形成用ペーストを共融温度以上の温度で焼結させる過程で、第1導電性金属、第2導電性金属、これらの共晶合金(eutectic alloy)、またはこれらの組み合わせは液状化されて、キャパシタボディーの表面を濡らす。その後、第1層形成用ペーストは、界面酸化反応と共に冷却されながら第1層が形成される。このような過程により誘電体層と会う部分に合金部が形成され、内部電極と会う部分に拡散部が形成され、合金部の外側に外層が一括的に形成される。
また、界面酸化反応により第2導電性金属の酸化物が主に誘電体層と接触する部分に生成され得る。このために、酸素が供給され得るように、焼結は空気雰囲気および大気圧下で行われ得る。
選択的に、得られたキャパシタボディーの外面に、第2層形成用ペーストを塗布した後に硬化させて、第2層を形成することができる。
第2層形成用ペーストは、樹脂、および選択的に導電性金属または非伝導性フィラーを含むことができる。導電性金属と樹脂に関する説明は、前述と同様であるため、反復的な説明は省略する。また、第2層形成用ペーストは、選択的にバインダー、溶剤、分散剤、可塑剤、または酸化物粉末などの副成分を含むことができる。例えば、バインダーは、エチルセルロース、アクリル、またはブチラール(butyral)などを使用することができ、溶剤は、テルピネオール、ブチルカルビトール、アルコール、メチルエチルケトン、アセトン、またはトルエンなどの有機溶剤や、水系溶剤を使用することができる。
一例として、第2層の形成方法は、第2層形成用ペーストにキャパシタボディー110をディッピングして形成した後に硬化したり、第2層形成用ペーストをキャパシタボディー110の表面にスクリーン印刷法またはグラビア印刷法などで印刷したり、第2層形成用ペーストをキャパシタボディー110の表面に塗布した後に硬化して形成することができる。
次に、第1層または第2層外側に第3層を形成する。
一例として、第3層は、メッキ法により形成されることができ、スパッタまたは電解メッキ(Electric Deposition)により形成されることもできる。
以下、発明の具体的な実施例を提示する。ただし、下記に記載された実施例は発明を具体的に例示したり説明するためのものに過ぎず、これにより発明の範囲が制限されてはならない。
[製造例:積層型キャパシタの製造]
(実施例1)
チタン酸バリウム(BaTiO3)粉末を含むペーストをキャリアフィルム(carrier film)の上に塗布した後、乾燥して誘電体グリーンシートを複数個製造する。
(実施例1)
チタン酸バリウム(BaTiO3)粉末を含むペーストをキャリアフィルム(carrier film)の上に塗布した後、乾燥して誘電体グリーンシートを複数個製造する。
ニッケル(Ni)を含む導電性ペーストをスクリーン印刷を利用して誘電体グリーンシートの上に塗布して導電性ペースト層を形成する。
導電性ペースト層の少なくとも一部が重なるようにしながら誘電体グリーンシートを複数層積層して誘電体グリーンシート積層体を製造する。
誘電体グリーンシート積層体を個別チップの形態に切断した後、大気雰囲気で230℃、60時間維持して脱バインダーを行い、1200℃で焼成してキャパシタボディーを製造する。
次に、導電性金属として銅(Cu)および銀(Ag)を含む導電性ペースト(銅100重量部に対して銀20重量部を含む)をキャパシタボディーの外面にディップ法で塗布して乾燥させる。導電性ペーストを塗布したキャパシタボディーを銅(Cu)と銀(Ag)の共融温度である780℃から800℃で、60分から120分間維持して第1層を形成する。
また、第1層上にニッケル(Ni)メッキ電極層を形成して、積層型キャパシタを製造する。
図5は実施例1で製造された積層型キャパシタの合金部の走査電子顕微鏡(SEM)写真である。図5を参照すれば、合金部は、銀(Ag)内部に銅(Cu)がラメラ構造に混合された共晶合金が形成されたことを確認することができる。
(比較例1)
チタン酸バリウム(BaTiO3)粉末を含むペーストをキャリアフィルム(carrier film)の上に塗布した後、乾燥して誘電体グリーンシートを複数個製造する。
チタン酸バリウム(BaTiO3)粉末を含むペーストをキャリアフィルム(carrier film)の上に塗布した後、乾燥して誘電体グリーンシートを複数個製造する。
ニッケル(Ni)を含む導電性ペーストをスクリーン印刷を利用して誘電体グリーンシートの上に塗布して導電性ペースト層を形成する。
導電性ペースト層の少なくとも一部が重なるようにしながら誘電体グリーンシートを複数層積層して誘電体グリーンシート積層体を製造する。
誘電体グリーンシート積層体を個別チップの形態に切断した後、大気雰囲気で230℃、60時間維持して脱バインダーを行い、1200℃で焼成してキャパシタボディーを製造する。
次に、ガラスフリットと導電性金属として銅(Cu)を含む導電性ペーストをキャパシタボディーの外面にディップ法で塗布して乾燥させる。導電性ペーストを塗布したキャパシタボディーをそれぞれ735℃で、0.5時間維持して第1層を形成する。
また、第1層の上にニッケル(Ni)メッキ電極層を形成して、積層型キャパシタを製造する。
[実験例:積層型キャパシタの高温信頼性]
実施例1および比較例1の積層型キャパシタをそれぞれ720個ずつ製造した後、初期高温負荷信頼性試験を行い、その結果を表1に整理する。
実施例1および比較例1の積層型キャパシタをそれぞれ720個ずつ製造した後、初期高温負荷信頼性試験を行い、その結果を表1に整理する。
初期高温負荷信頼性(HALT)試験は、製造された積層型キャパシタを6個ずつ40チャンネル(channel)実装することができるジグに実装した後、ジグを各条件当たり3個ずつ準備する。基板をHALT装備に入れて150℃、1.75Vr環境で、20時間高温信頼性を測定し、積層型キャパシタに不良が発生してそれ以上IR測定が不可能な積層型キャパシタの個数を測定する。
以上を通じて本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるのではなく、特許請求の範囲と発明の説明および添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属することは当然である。
100:積層型キャパシタ
110:キャパシタボディー
111:誘電体層
112、113:カバー部
121:第1内部電極
122:第2内部電極
131:第1外部電極
132:第2外部電極
1311、1321:第1層
1311a、1321a:内層
1321a1:合金部
1321a11:第1部分
1321a12:第2部分
1321a2:拡散部
1311b、1321b:外層
1321b1:第1導電性金属
1321b2:第2導電性金属
1313、1323:第3層
110:キャパシタボディー
111:誘電体層
112、113:カバー部
121:第1内部電極
122:第2内部電極
131:第1外部電極
132:第2外部電極
1311、1321:第1層
1311a、1321a:内層
1321a1:合金部
1321a11:第1部分
1321a12:第2部分
1321a2:拡散部
1311b、1321b:外層
1321b1:第1導電性金属
1321b2:第2導電性金属
1313、1323:第3層
Claims (20)
- 誘電体層および内部電極を含むキャパシタボディー、そして
前記キャパシタボディーの外側に配置される外部電極を含み、
前記外部電極は、前記キャパシタボディーの外側に配置され、第1導電性金属、第2導電性金属、およびこれらの合金を含む第1層を含み、
前記第1層は、前記誘電体層と会う部分に位置し、前記合金を含む合金部、および
前記内部電極と会う部分に位置し、前記第1導電性金属、前記内部電極が含む第3導電性金属、これらの合金、またはこれらの組み合わせを含む拡散部を含む、内層を含む、
積層型キャパシタ。 - 前記第1導電性金属と前記第2導電性金属の合金は、共晶合金(eutectic alloy)である、請求項1に記載の積層型キャパシタ。
- 前記第1層は、第1導電性金属、第2導電性金属、およびこれらの共晶合金からなる、請求項2に記載の積層型キャパシタ。
- 前記第1層は、ガラス(glass)成分を含まない、請求項3に記載の積層型キャパシタ。
- 前記第1導電性金属は、銅(Cu)であり、
前記第2導電性金属は、銀(Ag)であり、
前記第3導電性金属は、ニッケル(Ni)である、請求項1から4のいずれか一項に記載の積層型キャパシタ。 - 前記共晶合金は、前記第1導電性金属と前記第2導電性金属がラメラ(lamellar)構造、棒状(rod-like)構造、球状(globular)構造、または針状(acicular)構造で混合された、請求項2から4のいずれか一項に記載の積層型キャパシタ。
- 前記合金部は、前記第2導電性金属の酸化物をさらに含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の積層型キャパシタ。
- 前記第2導電性金属の酸化物は、酸化銀(silver oxide、AgOx)である、請求項7に記載の積層型キャパシタ。
- 前記合金部内で前記第2導電性金属の酸化物は主に前記誘電体層と接触する部分に位置する、請求項7に記載の積層型キャパシタ。
- 前記合金部と前記拡散部は、前記誘電体層と前記内部電極の積層方向に沿って交互に配置される、請求項1から4のいずれか一項に記載の積層型キャパシタ。
- 前記合金部は、前記誘電体層の幅方向に沿って延長され、
前記拡散部は、前記内部電極の幅方向に沿って延長される、請求項10に記載の積層型キャパシタ。 - 前記合金部は、
前記誘電体層と接触し、前記誘電体層の幅方向に沿って延長される複数個の第1部分を有し、
前記複数個の第1部分の外側に配置され、前記誘電体層の積層方向に沿って延長されて前記複数個の第1部分を連結する第2部分を有する、
請求項10に記載の積層型キャパシタ。 - 前記拡散部は、前記合金部の複数個の第1部分の間に配置される、請求項12に記載の積層型キャパシタ。
- 前記第1層は、前記内層の外側に配置され、前記第1導電性金属および前記第2導電性金属を含む外層を含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の積層型キャパシタ。
- 前記外層は、前記第1導電性金属を主成分として含み、
前記第2導電性金属が前記第1導電性金属に分散された、請求項14に記載の積層型キャパシタ。 - 前記外部電極は、前記第1層の外側に配置され、メッキ金属を含む第3層をさらに含み、
前記外層は、前記第3層と接触する、請求項14に記載の積層型キャパシタ。 - 誘電体層および内部電極を含むキャパシタボディーを製造する段階、そして
前記キャパシタボディーの外側に外部電極を形成する段階を含み、
前記外部電極を形成する段階は、
第1導電性金属および第2導電性金属を含む第1層形成用ペーストを前記第1導電性金属と前記第2導電性金属の共融温度(eutectic temperature)以上の温度で焼結させて第1層を形成する段階を含む、積層型キャパシタの製造方法。 - 前記第1導電性金属は、銅(Cu)であり、
前記第2導電性金属は、銀(Ag)であり、
前記共融温度は、760℃から800℃である、請求項17に記載の積層型キャパシタの製造方法。 - 前記第1層形成用ペーストは、前記第1導電性金属の100重量部に対して前記第2導電性金属を10重量部から100重量部で含む、請求項17に記載の積層型キャパシタの製造方法。
- 前記第1層を形成する段階で、
前記第1層形成用ペーストを前記共融温度以上の温度で焼結させる過程で、
前記第1導電性金属、前記第2導電性金属、これらの共晶合金(eutectic alloy)、またはこれらの組み合わせは液状化されて、前記キャパシタボディーの表面を濡らした後、界面酸化反応と共に冷却されながら前記第1層が形成される、請求項17に記載の積層型キャパシタの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020230018666A KR20240126186A (ko) | 2023-02-13 | 2023-02-13 | 적층형 커패시터 및 이의 제조 방법 |
KR10-2023-0018666 | 2023-02-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024114602A true JP2024114602A (ja) | 2024-08-23 |
Family
ID=89190597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023205237A Pending JP2024114602A (ja) | 2023-02-13 | 2023-12-05 | 積層型キャパシタおよびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20240274364A1 (ja) |
EP (1) | EP4425515A2 (ja) |
JP (1) | JP2024114602A (ja) |
KR (1) | KR20240126186A (ja) |
CN (1) | CN118486548A (ja) |
-
2023
- 2023-02-13 KR KR1020230018666A patent/KR20240126186A/ko unknown
- 2023-11-06 US US18/502,257 patent/US20240274364A1/en active Pending
- 2023-12-05 JP JP2023205237A patent/JP2024114602A/ja active Pending
- 2023-12-12 EP EP23215884.0A patent/EP4425515A2/en active Pending
-
2024
- 2024-02-05 CN CN202410160160.6A patent/CN118486548A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20240126186A (ko) | 2024-08-20 |
CN118486548A (zh) | 2024-08-13 |
US20240274364A1 (en) | 2024-08-15 |
EP4425515A2 (en) | 2024-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9870866B2 (en) | Multilayer electronic component | |
CN115036135B (zh) | 陶瓷电子部件 | |
US20230386748A1 (en) | Multilayer ceramic electronic device | |
CN115036132A (zh) | 陶瓷电子部件 | |
JP7544627B2 (ja) | セラミック電子部品 | |
JP2023013238A (ja) | セラミック電子部品 | |
KR20190116183A (ko) | 적층 세라믹 전자부품 | |
JP2024114602A (ja) | 積層型キャパシタおよびその製造方法 | |
US20240282530A1 (en) | Multilayered capacitor and method for manufacturing the same | |
US20240282531A1 (en) | Multilayered capacitor | |
JP2021015925A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
US20240274360A1 (en) | Multilayered Capacitor and Manufacturing Method Thereof | |
US20240203662A1 (en) | Multilayered capacitor and method for manufacturing the same | |
US20240222027A1 (en) | Multilayered capacitor | |
US20240312715A1 (en) | Multilayered capacitor and manufacturing method thereof | |
JP2024088586A (ja) | 積層型キャパシタおよびその製造方法 | |
US20240282520A1 (en) | Multilayered capacitor | |
KR20240140233A (ko) | 적층형 커패시터 및 이의 제조 방법 | |
KR20240108771A (ko) | 적층형 커패시터 | |
KR20240094957A (ko) | 적층형 커패시터 및 이의 제조 방법 | |
JP2024114612A (ja) | 積層型キャパシタおよびその製造方法 | |
KR20240097664A (ko) | 적층형 커패시터 및 이의 제조 방법 | |
JP2023175618A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
JP2023057491A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP2024055118A (ja) | セラミック電子部品およびその製造方法 |