JP2024091581A - 表示パネル及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】異なる発光色の発光ユニットの光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。【解決手段】表示パネル及びその製造方法を開示し、当該表示パネルはサブストレート、発光機能層、第1の電極層及び光学調整層を含み、発光機能層は発光色の異なる複数の発光ユニットを含み、光学調整層は半導体酸化物を含み、光学調整層は少なくとも第1の光学層及び第2の光学層を含み、第1の光学層と第2の光学層の対応する発光ユニットの発光色が異なり、第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率が異なり、本発明は、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガスにおける酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整し、光学調整層におけるフィルム層の屈折率を調節する。【選択図】図1

Description

本発明は表示分野に関し、具体的には表示パネル及びその製造方法に関する。
近年、OLED(Organic Light Emitting Diode、有機発光ダイオード)表示パネルは広色域、高速応答、高コントラスト、構造が簡単で軽薄である等の特徴を有し、消費者の好みを受け、OLED構造において、TCO(Transparent Conductive Oxide、透明導電酸化物)材料は高導電率、高透過率及び適切な仕事関数によりOLED表示パネルに広く応用され、トポグラフィを平坦化し、電極金属を保護し、光学厚さを補償するという作用を果たし、一般的なTCO材料の成膜方式はマグネトロンスパッタリングであり、一般的に、異なる性質又は異なるタイプのTCOフィルムは複数台の機器を使用する必要があり、そのため、反射電極に応用されるTCOフィルムは通常単一成分であり、各色の発光ユニットに対応するTCOフィルムの性質及びフィルムの厚さが同じであり、異なる発光色の画素に対する最適化コストが高い。
従って、上記技術的課題を解決するために表示パネル及びその製造方法が早急に必要とされている。
本発明は、表示パネル及びその製造方法を提供し、現在異なる発光色の画素に対する最適化コストが高いという技術的課題を緩和することができる。
本発明により提供される表示パネルは、
サブストレートと、
前記サブストレートに位置する第1の電極層と、
光学調整層であって、前記第1の電極層に位置し、前記光学調整層は半導体酸化物を含む光学調整層と、
発光機能層であって、前記光学調整層に位置し、前記発光機能層は発光色の異なる複数の発光ユニットを含む発光機能層と、を含み、
ここで、前記光学調整層は少なくとも第1の光学層及び第2の光学層を含み、前記第1の光学層は1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第2の光学層はもう1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なる。
いくつかの実施例では、少なくとも1つの前記第1の光学層は、隣接して設けられた第1のサブ層及び第2のサブ層を含み、前記第2のサブ層は前記第1のサブ層と前記発光機能層との間に位置し、ここで、前記第2のサブ層の屈折率は前記第1のサブ層の屈折率より大きい。
いくつかの実施例では、前記発光機能層は少なくとも第1の有機サブ層を含み、前記第1の有機サブ層は前記第2のサブ層の前記サブストレートの一側から離れた表面に位置し、前記第2のサブ層の屈折率は前記第1の有機サブ層の屈折率より大きい。
いくつかの実施例では、少なくとも1つの前記第1の光学層は、第1のサブ層と、前記第1のサブ層の前記発光機能層に近い一側に位置する第2のサブ層と、前記第2のサブ層と前記発光機能層との間に位置する第3のサブ層と、を含み、ここで、前記第2のサブ層の屈折率は前記第1のサブ層の屈折率より小さく、前記第2のサブ層の屈折率は前記第3のサブ層の屈折率より小さい。
いくつかの実施例では、前記発光機能層は少なくとも第1の有機サブ層を含み、前記第1の有機サブ層は前記第3のサブ層の前記サブストレートの一側から離れた表面に位置し、前記第3のサブ層の屈折率は前記第1の有機サブ層の屈折率より大きい。
いくつかの実施例では、前記第1の光学層のフィルム層数は前記第2の光学層のフィルム層数より多く、前記第1の光学層の対応する色光の波長は前記第2の光学層の対応する色光の波長より長い。
いくつかの実施例では、前記第1の光学層の厚さは前記第2の光学層の厚さより厚い。
いくつかの実施例では、前記表示パネルはさらに、前記発光機能層の前記第1の電極層から離れた一側に位置する第2の電極層と、光取り出し層であって、前記第2の電極層の前記発光機能層から離れた一側に位置し、前記光取り出し層は半導体酸化物を含む光取り出し層と、を含み、ここで、前記光取り出し層は少なくとも第1の取り出し層及び第2の取り出し層を含み、前記第1の取り出し層は1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、第2の取り出し層はもう1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第1の取り出し層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の取り出し層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なる。
いくつかの実施例では、少なくとも1つの前記第1の取り出し層は少なくとも第1の取り出しサブ層及び第2の取り出しサブ層を含み、前記第1の取り出しサブ層は前記第1の取り出し層のうちの前記発光ユニットから最も遠いフィルム層であり、前記第2の取り出しサブ層は前記第1の取り出しサブ層の前記第2の電極層に近い一側の表面に設けられ、ここで、前記第1の取り出しサブ層の屈折率は前記第2の取り出しサブ層の屈折率より大きい。
いくつかの実施例では、前記光学調整層はさらに第3の光学層を含み、前記第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、前記第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、及び前記第3の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は互いに異なり、前記第1の光学層、前記第2の光学層、及び前記第3の光学層に対応する前記発光ユニットの発光色は互いに異なる。
いくつかの実施例では、前記第1の光学層の厚さは前記第2の光学層の厚さより厚く、前記第2の光学層の厚さは前記第3の光学層の厚さより厚く、前記第1の光学層のフィルム層数は前記第2の光学層のフィルム層数より多く、前記第2の光学層のフィルム層数は前記第3の光学層のフィルム層数より多く、前記第1の光学層の対応する色光の波長は前記第2の光学層の対応する色光の波長より長く、前記第2の光学層の対応する色光の波長は前記第3の光学層の対応する色光の波長より長い。
本発明により提供される表示パネルの製造方法は、
第1の電極層を提供するステップと、
マグネトロンスパッタリング技術を用いて、プロセスガス内に酸素を加え、半導体酸化物材料を用いて前記第1の電極層に少なくとも第1の光学層及び第2の光学層を形成し、光学調整層を形成するように、前記第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なるステップと、
前記光学調整層の前記第1の電極層から離れた一側に発光色の異なる複数の発光ユニットを形成し、発光機能層を形成するように、前記第1の光学層は1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第2の光学層はもう1つの発光色の前記発光ユニットに対応するステップと、を含む。
本発明の有益な効果は以下のとおりであり、本発明は、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガスにおける酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、光学調整層におけるフィルム層の屈折率を調節し、それにより、異なる発光色の発光ユニットの光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。
本発明の実施例における技術案をより明確に説明するために、以下に実施例の記述に利用する必要がある図面を簡単に紹介するが、当然ながら、以下に記載する図面は単に本発明の実施例の一部にすぎず、当業者であれば、創造的な労力を要することなく、これらの図面に示される構造に基づいて他の図面を得ることができる。
本発明の実施例により提供される表示パネルの構造概略図である。 図1におけるエリアAの第1の拡大概略図である。 図1におけるエリアAの第2の拡大概略図である。 図1におけるエリアAの第3の拡大概略図である。 図1におけるエリアAの第4の拡大概略図である。 図1におけるエリアCの拡大概略図である。 図1におけるエリアDの拡大概略図である。 図1におけるエリアEの拡大概略図である。 本発明の実施例により提供される表示パネルの製造方法のステップフローチャートである。 本発明の実施例により提供される表示パネルの製造方法のフローチャートである。 本発明の実施例により提供される表示パネルの製造方法のフローチャートである。 本発明の実施例により提供される表示パネルの製造方法のフローチャートである。 本発明の実施例により提供される表示装置の構造概略図である。
以下、本発明の実施例における図面を参照し、本発明の実施例における技術案を明確で完全に説明し、明らかに、説明された実施例は、すべての実施例ではなく、本発明の実施例の一部にすぎない。本発明における実施例に基づき、当業者は創造な労働をしない前提で得られた全ての他の実施例は、本発明の保護範囲に属する。また、ここで説明された具体的な実施形態は本発明を説明及び解釈するのみに用いられ、本発明を限定するものではないと理解すべきである。本発明では、逆に説明しない場合、使用される方位単語「上」及び「下」は通常装置の実際使用又は動作状態における上及び下を指し、具体的には図面における図面方向であり、「内」及び「外」は装置の輪郭に対するものである。
近年、OLED(Organic Light Emitting Diode、有機発光ダイオード)表示パネルは広色域、高速応答、高コントラスト、構造が簡単で軽薄である等の特徴を有し、消費者の好みを受け、OLED構造において、TCO(Transparent Conductive Oxide、透明導電酸化物)材料は高導電率、高透過率及び適切な仕事関数によりOLED表示パネルに広く応用され、トポグラフィを平坦化し、電極金属を保護し、光学厚さを補償するという作用を果たし、一般的なTCO材料の成膜方式はマグネトロンスパッタリングであり、一般的に、異なる性質又は異なるタイプのTCOフィルムは複数台の機器を使用する必要があり、そのため、反射電極に応用されるTCOフィルムは通常単一成分であり、各色の発光ユニットに対応するTCOフィルムの性質及びフィルムの厚さが同じであり、異なる発光色の画素に対する最適化コストが高い。
図1~図8を参照し、本発明の実施例により提供される表示パネル100は、
サブストレート110と、
前記サブストレート110に位置する第1の電極層200と、
光学調整層400であって、前記第1の電極層200に位置し、前記光学調整層400は半導体酸化物を含む光学調整層400と、
発光機能層300であって、前記光学調整層400に位置し、前記発光機能層300は発光色の異なる複数の発光ユニット310を含む発光機能層300と、を含み、
ここで、前記光学調整層400は少なくとも第1の光学層410及び第2の光学層420を含み、前記第1の光学層410は1つの発光色の前記発光ユニット310に対応し、前記第2の光学層420はもう1つの発光色の前記発光ユニット310に対応し、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なる。
本発明は、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガスにおける酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、光学調整層におけるフィルム層の屈折率を調節し、それにより、異なる発光色の発光ユニットの光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。
以下は具体的な実施例を組み合わせて本発明の技術案について説明する。
本実施例では、図1、図2を参照し、前記表示パネル100は、サブストレート110、第1の電極層200、発光機能層300及び前記発光機能層300と前記第1の電極層200との間に位置する光学調整層400を含み、前記発光機能層300は発光色の異なる複数の発光ユニット310を含み、前記第1の電極層200は前記発光機能層300から離れた出光側に位置し、前記光学調整層400は半導体酸化物を含み、前記光学調整層400は少なくとも第1の光学層410及び第2の光学層420を含み、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なり、前記第1の光学層410は1つの発光色の前記発光ユニット310と前記第1の電極層200との間に位置し、前記第2の光学層420はもう1つの発光色の前記発光ユニット310と前記第1の電極層200との間に位置し、例えば前記第1の光学層410は、赤色に発光する前記発光ユニット310に対応し、前記第2の光学層420は、緑色に発光する前記発光ユニット310に対応する。図中、赤色光の発光ユニット310をRで示し、緑色光の発光ユニット310をGで示し、青色光の発光ユニット310をBで示す。
表示パネル100はさらに、前記発光機能層300の前記第1の電極層200から離れた一側に位置する第2の電極層500を含み、第1の電極層200と第2の電極層500との間にキャビティが形成し、マイクロキャビティ効果を利用し、光の取り出し効率及び光色純度を向上させることができ、例えば、赤色光の波長は緑色光の波長より長いため、赤色光のマイクロキャビティ効果を向上させるために、赤色光の光路が緑色光の光路より長い必要があり、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガス内に酸素を加え、酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、光学調整層400におけるフィルム層の屈折率を調節し、それにより、異なる発光色の発光ユニット310の光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善し、光路とフィルム層の屈折率との正相関の原理を利用し、例えば、赤色光に対応する発光ユニット310の光学調整層400のフィルム層の屈折率を大きくし、それにより赤色光の光路を長くし、赤色光のマイクロキャビティ効果を改善し、光の取り出し効率及び光色純度を向上させる。
いくつかの実施例では、前記発光機能層300はさらにマイクロキャビティの長さを調整することができる。
いくつかの実施例では、前記第1の電極層200は、前記発光機能層300から離れた出光側に位置し、前記第1の電極層200の材料は反射機能及び導電機能を有する。前記第1の電極層200はAg、Al、Pt、Mo、Ti、Cu、Mgのうちの1つ又は複数の組み合わせを含み、前記第1の電極層200の厚さは100nm~1000nmである。
いくつかの実施例では、前記発光機能層300は少なくとも発光材料層を含み、さらに正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層及び電子注入層、正孔輸送層と発光材料層との間の電子ブロック層、及び発光材料層と電子輸送層との間の正孔ブロック層を含んでもよく、前記発光機能層300は真空蒸着、スピンコート、印刷、物理的堆積、化学的堆積方法のうちの1種又は複数種によって製造されてもよい。
いくつかの実施例では、図1、図3、図4を参照し、少なくとも1つの前記第1の光学層410は少なくとも2層のフィルム層を含み、前記第1の光学層410の少なくとも2層のフィルム層の屈折率が異なる。
第1の光学層410は少なくとも2層のフィルム層を含み、且つ前記第1の光学層410の少なくとも2層のフィルム層の屈折率が異なり、当該2層の異なる屈折率のフィルム層を用いて、異なる光学ニーズに応じて、前記第1の光学層410の光学特性を変更し、それにより、異なる光学的効果を達成して表示効果を改善する。
いくつかの実施例では、図1、図3、図4を参照し、少なくとも1つの前記第1の光学層410は、隣接して設けられた第1のサブ層411及び第2のサブ層412を含み、前記第1のサブ層411の屈折率は前記第2のサブ層412の屈折率と異なる。
屈折率の異なる第1のサブ層411と第2のサブ層412は隣接して設けられ、光線に対する作用はより直接的であり、多層フィルム層が光線に対する複雑な影響を低減し、フィルム層の屈折率を設計するための計算量を減らし、異なる光学ニーズに応じて、前記第1の光学層410の光学特性の変更により有利であり、それにより、異なる光学的効果を達成して表示効果を改善する。
いくつかの実施例では、図1、図3、図4を参照し、前記第2のサブ層412は前記第1のサブ層411と前記発光機能層300との間に位置し、ここで、前記第2のサブ層412の屈折率は前記第1のサブ層411の屈折率より大きい。
前記第1のサブ層411から前記第2のサブ層412への方向は光線が表示パネル100から出射する方向であり、前記第1のサブ層411と前記第2のサブ層412は相対的に低-高屈折率を形成し、光線の収束度を高めることができ、光線の取り出し効率を向上させて表示効果を改善することができる。
いくつかの実施例では、図1、図6の図(b)を参照し、前記発光機能層300は少なくとも第1の有機サブ層301を含み、前記第1の有機サブ層301は前記第2のサブ層412の前記サブストレート110から離れた一側の表面に位置し、前記第2のサブ層412の屈折率は前記第1の有機サブ層301の屈折率より大きく、前記第2のサブ層412の屈折率は、前記発光機能層300の前記第2のサブ層412に最も近いフィルム層の屈折率より大きい。第1のサブ層411-第2のサブ層412-第1の有機サブ層301は相対的な低-高-低の屈折率を形成し、光導波路の原理を利用して、光線は第2のサブ層412においてマルチパス運動を行うことができ、それにより、光線の光路を長くし、マイクロキャビティ効果を結合して、光の取り出し効率及び光色純度を向上させ、光線の光路を長くすると共にフィルム層の厚さを薄くし、材料のコストを削減する。
いくつかの実施例では、前記発光機能層300が発光材料層を含む場合、前記第1の有機サブ層301は発光材料層であり、前記発光機能層300が発光材料層及び電子ブロック層を含む場合、前記第1の有機サブ層301が電子ブロック層であり、前記発光機能層300が発光材料層、電子ブロック層及び正孔輸送層を含む場合、前記第1の有機サブ層301は正孔輸送層であり、前記発光機能層300が発光材料層、電子ブロック層、正孔輸送層及び正孔注入層を含む場合、前記第1の有機サブ層301は正孔注入層である。
いくつかの実施例では、異なる表示ニーズに応じて、前記第2のサブ層412の屈折率と前記第1のサブ層411の屈折率との間の差、及び前記第2のサブ層412の屈折率と前記発光機能層300の前記第2のサブ層412に最も近いフィルム層の屈折率との間の差を調整し、それにより、異なる光学的効果を達成して表示効果を改善する。
いくつかの実施例では、前記第2のサブ層412は前記第1のサブ層411と前記発光機能層300との間に位置し、ここで、前記第2のサブ層412の屈折率は前記第1のサブ層411の屈折率より少なく、前記第1のサブ層411と前記第2のサブ層412は相対的な高-低の屈折率を形成し、光線を発散させる効果を有し、光線の表示視野角をさらに改善することができる。
いくつかの実施例では、図1、図5を参照し、少なくとも1つの前記第1の光学層410は、第1のサブ層411と、前記第1のサブ層411の前記発光機能層300に近い一側に位置する第2のサブ層412と、前記第2のサブ層412と前記発光機能層300との間に位置する第3のサブ層413と、を含み、ここで、前記第2のサブ層412の屈折率は前記第1のサブ層411の屈折率より小さく、前記第2のサブ層412の屈折率は前記第3のサブ層413の屈折率より小さい。
第1のサブ層411-第2のサブ層412-第3のサブ層413は相対的な高-低-高の屈折率を形成し、光線は第2のサブ層412及び第3のサブ層413を通過し、光線は低屈折率を介して高屈折率フィルム層に向かい、光線の収束度を高めることができ、光線の取り出し効率を向上させて表示効果を改善することができる。
いくつかの実施例では、図1、図6の図(c)を参照し、前記発光機能層300は少なくとも第1の有機サブ層301を含み、前記第1の有機サブ層301は前記第3のサブ層413の前記サブストレート110から離れた一側の表面に位置し、前記第3のサブ層413の屈折率は前記第1の有機サブ層301の屈折率より大きく、前記第3のサブ層413の屈折率は、前記発光機能層300の前記第3のサブ層413に最も近いフィルム層の屈折率より大きい。第2のサブ層412-第3のサブ層413-第1の有機サブ層301は相対的な低-高-低の屈折率を形成し、光導波路の原理を利用して、光線は第3のサブ層413においてマルチパス運動を行うことができ、それにより、光線の光路を長くし、マイクロキャビティ効果を結合して、光の取り出し効率及び光色純度を向上させ、光線の光路を長くすると共にフィルム層の厚さを薄くし、材料のコストを削減する。
いくつかの実施例では、前記第1のサブ層411の屈折率は前記第3のサブ層413の屈折率と異なる。異なる光学ニーズに応じて、前記第1のサブ層411の屈折率と前記第3のサブ層413の屈折率との差を調整し、それにより、異なる光学的効果を達成して表示効果を改善する。
例えば、前記第3のサブ層413の屈折率は前記第1のサブ層411の屈折率より大きく、光線の収束度を高め、光の取り出し効率を向上させることができ、例えば前記第3のサブ層413の屈折率は前記第1のサブ層411の屈折率より小さく、光線の散乱程度を向上させ、開始角度を高くすることができる。
いくつかの実施例では、図1、図2を参照し、前記第1の光学層410は1層のフィルム層を含んでもよく、例えば、第1のサブ層411であってもよく、光線の収束度を高め、光の取り出し効率を向上させるために、当該フィルム層の屈折率は好適な範囲で大きく設定されてもよく、また、図6の図(a)を参照し、第1の電極層200-第1のサブ層411-第2の電極層500は相対的な低-高-低の屈折率を形成し、光導波路の原理を利用して、光線は第1のサブ層411においてマルチパス運動を行うことができ、それにより、光線の光路を長くし、マイクロキャビティ効果を結合して、光の取り出し効率及び光色純度を向上させ、光線の光路を長くすると共にフィルム層の厚さを薄くし、材料のコストを削減する。
いくつかの実施例では、図1、図3、図5を参照し、前記第1の光学層410のフィルム層数は前記第2の光学層420のフィルム層数と異なる。
異なる色光の波長に応じて、異なるフィルム層数を組み合わせ、異なる色光の光学性能を改善する。
いくつかの実施例では、図1、図3、図5を参照し、前記第1の光学層410のフィルム層数は前記第2の光学層420のフィルム層数より多く、前記第1の光学層410の対応する色光の波長は前記第2の光学層420の対応する色光の波長より長い。
そのマイクロキャビティ効果を改善し、光の取り出し効率及び光色純度を向上させるために、比較的長い波長の色光は、光路が比較的長いフィルム層と組み合わせる必要があり、フィルム層の数はフィルム層の厚さと正の相関があり、フィルム層の厚さは光路と正の相関があり、また、フィルム層数を増加しても光学改善方向の多様性を向上させることができ、異なる光学ニーズに適用する。
いくつかの実施例では、図1、図3、図5を参照し、前記第1の光学層410の厚さは前記第2の光学層420の厚さより厚い。前記第1の光学層410の対応する色光の波長は前記第2の光学層420の対応する色光の波長より長い。適切なフィルム層の厚さの範囲内において、比較的長い波長の色光は、光路が比較的長いフィルム層と組み合わせる必要があり、フィルム層の数が多いほど、フィルム層の厚さが厚くなり、フィルム層の光路が長くなり、マイクロキャビティ効果を改善し、光の取り出し効率及び光色純度を向上させることができる。
いくつかの実施例では、図1、図3、図5を参照し、前記光学調整層400はさらに第3の光学層430を含み、前記第3の光学層430は1つの発光色の発光ユニット310に対応し、前記第1の光学層410、前記第2の光学層420、及び前記第3の光学層430に対応する発光ユニット310の発光色は互いに異なる。
いくつかの実施例では、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、及び前記第3の光学層430の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は互いに異なる。
いくつかの実施例では、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第3の光学層430の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なり、前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第3の光学層430の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なる。
いくつかの実施例では、図1、図3を参照し、前記発光機能層300の発光ユニット310の光線は赤色、緑色及び青色のいずれかであってもよく、理解できるように、第1の光学層410は赤色の発光ユニット310に対応してもよく、第2の光学層420は緑色の発光ユニット310に対応してもよく、第3の光学層430は青色の発光ユニット310に対応してもよい。
いくつかの実施例では、前記第2の光学層420及び前記第3の光学層430の構造は上記いずれかの前記第1の光学層410の構造を参照してもよく、異なる色光に基づいて調整し、ここでは説明を省略する。
いくつかの実施例では、図1、図5を参照し、前記第1の光学層410の厚さは前記第2の光学層420の厚さより厚く、前記第2の光学層420の厚さは前記第3の光学層430の厚さより厚い。前記第1の光学層410のフィルム層数は前記第2の光学層420のフィルム層数より多く、前記第2の光学層420のフィルム層数は前記第3の光学層430のフィルム層数より多い。前記第1の光学層410の対応する色光の波長は前記第2の光学層420の対応する色光の波長より長い。前記第2の光学層420の対応する色光の波長は前記第3の光学層430の対応する色光の波長より長い。
適切なフィルム層の厚さの範囲内において、比較的長い波長の色光は、光路が比較的長いフィルム層と組み合わせる必要があり、フィルム層の数が多いほど、フィルム層の厚さが厚くなり、フィルム層の光路が長くなり、マイクロキャビティ効果を改善し、光の取り出し効率及び光色純度を向上させることができる。
いくつかの実施例では、前記光学調整層400のうちのいずれか1層の屈折率は1.8~2.5であり、材質はIZO、ITO、AZO、IGZOなどのいずれか1つ又は複数の半導体酸化物であり、前記光学調整層400の厚さは30nm~3000nmである。ここで、前記光学調整層400におけるフィルム層数は1層~6層であってもよく、好ましくは2層~3層である。
いくつかの実施例では、前記表示パネル100はさらに、前記光学調整層400のいずれか一側又は両側に位置する補助調整層を含み、前記補助調整層は有機材料を含む。前記光学調整層400の高屈折率により、補助調整層の有機材料を減らすことができ、材料を節約し、コストを削減する。
いくつかの実施例では、図1、図7を参照し、前記表示パネル100はさらに、前記発光機能層300の前記第1の電極層200から離れた一側に位置する第2の電極層500、及び前記第2の電極層500の前記発光機能層300から離れた一側に位置する光取り出し層600を含み、前記光取り出し層600は半導体酸化物を含み、前記光取り出し層600は少なくとも第1の取り出し層610及び第2の取り出し層620を含み、前記第1の取り出し層610は1つの発光色の前記発光ユニット310に対応し、第2の取り出し層620はもう1つの発光色の前記発光ユニット310に対応し、前記第1の取り出し層610の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の取り出し層620の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なる。
マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガス内に酸素を加え、酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、光取り出し層600におけるフィルム層の屈折率を調節し、それにより、異なる発光色の発光ユニット310の光学ニーズに適応し、光学性能を改善し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。
いくつかの実施例では、前記第2の電極層500は単層又は多層の複合構造を有するフィルムであり、材質はAg、Al、Pt、Mo、Ti、Cu、Mgのうちの1つ又は複数の組み合わせを含み、前記第2の電極層500の厚さは1nm~100nmである。
いくつかの実施例では、図1、図8の図(b)を参照し、少なくとも1つの前記第1の取り出し層610は少なくとも第1の取り出しサブ層611及び第2の取り出しサブ層612を含み、前記第1の取り出しサブ層611は前記第1の取り出し層610のうちの前記発光ユニット310から最も遠いフィルム層であり、前記第2の取り出しサブ層612は前記第1の取り出しサブ層611の前記第2の電極層500に近い一側の表面に設けられ、ここで、前記第1の取り出しサブ層611の屈折率は前記第2の取り出しサブ層612の屈折率より大きい。
前記第1の取り出し層610における前記発光ユニット310から最も遠いフィルム層の屈折率が比較的高く、第1の取り出し層610の収束効果を向上させ、光の取り出し効率を向上させることができる。
いくつかの実施例では、図1、図8の図(c)を参照し、前記第1の取り出し層610は第1の取り出しサブ層611、第2の取り出しサブ層612及び第3の取り出し層630を含み、前記第1の取り出しサブ層611は前記第1の取り出し層610のうちの前記発光ユニット310から最も遠いフィルム層であり、前記第2の取り出しサブ層612は、前記第1の取り出しサブ層611の前記第2の電極層500に近い一側の表面に設けられ、前記第3の取り出し有機サブ層613は、前記第2の取り出しサブ層612の前記第2の電極層500に近い一側の表面に設けられ、ここで、前記第1の取り出しサブ層611の屈折率は前記第2の取り出しサブ層612の屈折率より大きく、前記第3の取り出し有機サブ層613の屈折率は前記第2の取り出しサブ層612の屈折率より大きい。
いくつかの実施例では、図1、図8の図(a)を参照し、前記第1の取り出し層610は1層のフィルム層を含んでもよく、例えば、第1の取り出しサブ層611であってもよく、光線の収束度を高め、光の取り出し効率を向上させるために、当該フィルム層の屈折率は好適な範囲で大きく設定されてもよい。
いくつかの実施例では、光取り出し層600のうちのいずれか1層の屈折率は1.8~2.5であり、材質はIZO、ITO、AZO、IGZOなどのいずれか1つ又は複数の半導体酸化物を含み、前記光取り出し層600の厚さは30nm~3000nmである。
いくつかの実施例では、光取り出し層600はさらに、分子量が100~800の有機材料を含む。
いくつかの実施例では、光取り出し層600におけるフィルム層数は1層~6層であってもよく、好ましくは2層~3層である。
いくつかの実施例では、図1、図7を参照し、前記光取り出し層600はさらに第3の取り出し層630を含み、前記第3の取り出し層630は、1つの発光色の発光ユニット310に対応し、前記第1の取り出し層610、前記第2の取り出し層620、及び前記第3の取り出し層630に対応する発光ユニット310の発光色は互いに異なる。
いくつかの実施例では、図1、図7を参照し、理解できるように、第1の取り出し層610は赤色の発光ユニット310に対応してもよく、第2の取り出し層620は緑色の発光ユニット310に対応してもよく、第3の取り出し層630は青色の発光ユニット310に対応してもよい。
いくつかの実施例では、前記第2の取り出し層620及び前記第3の取り出し層630の構造は上記いずれかの前記第1の取り出し層610の構造を参照してもよく、異なる色光に基づいて調整し、ここでは説明を省略する。
いくつかの実施例では、前記表示パネル100はさらに、前記光取り出し層600の前記第1の電極層200から離れた一側に位置する発散層を含み、前記発散層の前記光取り出し層600に最も近いフィルム層の屈折率は前記光取り出し層600の前記発散層に最も近いフィルム層の屈折率より小さい。前記発散層を利用して光線を発散させる効果は、光線の表示視野角をさらに改善することができる。
いくつかの実施例では、図1を参照し、前記表示パネル100はさらにサブストレート110、及び前記サブストレート110と前記第1の電極層200との間に位置するアレイサブストレート120を含む。
いくつかの実施例では、前記アレイサブストレート120は、前記サブストレート110に位置する活性層と、前記活性層に位置する第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層に位置するゲート層と、前記ゲート層に位置する第2の絶縁層と、前記第2の絶縁層に位置するソースドレイン電極層と、前記ソースドレイン電極層に位置する第3の絶縁層とを含む。
いくつかの実施例では、前記サブストレート110は剛性サブストレート110又はフレキサブストレート110であってもよく、剛性サブストレート110の材料は、ガラス、セラミック、金属、合金、シリコンウェハ等を含むがこれらに限定されず、フレキサブストレート110の材料はポリエチレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート及び上記材質のホモログ、異性体及びその上に炭素数が1~16個、N数が1~9個、O数が1~5個の炭化水素基又は芳香環又は複素環基を増加するポリマーを含むがそれらに限定されない。
本発明は、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガスにおける酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、光学調整層におけるフィルム層の屈折率を調節し、それにより、異なる発光色の発光ユニットの光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。
図9を参照し、本発明の実施例により提供される表示パネル100の製造方法は、
第1の電極層200を提供するステップS100と、
マグネトロンスパッタリング技術を用いて、プロセスガス内に酸素を加え、半導体酸化物材料を用いて前記第1の電極層200に少なくとも第1の光学層410及び第2の光学層420を形成し、光学調整層400を形成するように、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なるステップS200と、
前記光学調整層400の前記第1の電極層200から離れた一側に発光色の異なる複数の発光ユニット310を形成し、発光機能層300を形成するように、前記第1の光学層410は1つの発光色の前記発光ユニット310に対応し、前記第2の光学層420はもう1つの発光色の前記発光ユニット310に対応するステップS300と、を含む。
本発明は、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガスにおける酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、光学調整層におけるフィルム層の屈折率を調節し、それにより、異なる発光色の発光ユニットの光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。
以下は具体的な実施例を組み合わせて本発明の技術案について説明する。
本実施例では、前記表示パネル100の製造方法は、S100~S300を含む。
S100において、図10Aを参照し、第1の電極層200を提供する。
いくつかの実施例では、前記第1の電極層200は、前記発光機能層300から離れた出光側に位置し、前記第1の電極層200の材料は反射機能及び導電機能を有する。前記第1の電極層200はAg、Al、Pt、Mo、Ti、Cu、Mgのうちの1つ又は複数の組み合わせを含み、前記第1の電極層200の厚さは100nm~1000nmである。
S200において、図10Bを参照し、マグネトロンスパッタリング技術を用いて、プロセスガス内に酸素を加え、半導体酸化物材料を用いて前記第1の電極層200に少なくとも第1の光学層410及び第2の光学層420を形成し、光学調整層400を形成するように、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なる。
いくつかの実施例では、ステップS200は、
マグネトロンスパッタリング技術を用いて、プロセスガス内に酸素を加え、半導体酸化物材料を用いて前記第1の電極層200に少なくとも第1の光学層410、第2の光学層420及び第3の光学層430を形成し、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、及び前記第3の光学層430の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は互いに異なり、それにより、光学調整層400を形成するステップS210を含む。
いくつかの実施例では、前記第1の光学層410の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第3の光学層430の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は異なり、前記第2の光学層420の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第3の光学層430の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は異なる。
いくつかの実施例では、図1、図3、図5を参照し、前記光学調整層400はさらに第3の光学層430を含み、前記第3の光学層430は1つの発光色の発光ユニット310に対応し、前記第1の光学層410、前記第2の光学層420、及び前記第3の光学層430に対応する発光ユニット310の発光色は互いに異なる。
いくつかの実施例では、図1、図5を参照し、前記第1の光学層410の厚さは前記第2の光学層420の厚さより厚く、前記第2の光学層420の厚さは前記第3の光学層430の厚さより厚い。前記第1の光学層410のフィルム層数は前記第2の光学層420のフィルム層数より多く、前記第2の光学層420のフィルム層数は前記第3の光学層430のフィルム層数より多い。前記第1の光学層410の対応する色光の波長は前記第2の光学層420の対応する色光の波長より長い。前記第2の光学層420の対応する色光の波長は前記第3の光学層430の対応する色光の波長より長い。
いくつかの実施例では、図1、図3を参照し、前記発光機能層300の発光ユニット310の光線は赤色、緑色及び青色のいずれかであってもよく、理解できるように、第1の光学層410は赤色の発光ユニット310に対応してもよく、第2の光学層420は緑色の発光ユニット310に対応してもよく、第3の光学層430は青色の発光ユニット310に対応してもよい。
いくつかの実施例では、前記第2の光学層420及び前記第3の光学層430の構造は上記いずれかの前記第1の光学層410の構造を参照してもよく、異なる色光に基づいて調整し、ここでは説明を省略する。
いくつかの実施例において、プロセスガスはさらに不活性ガス又は/及び窒素ガスを含み、不活性ガスはアルゴンガスであってもよく、プロセスガスにおける酸素ガスの含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、フィルムの屈折率値を調整し、ターゲットを交換して増加し又はマグネトロンスパッタリングデバイスを交換して増加する必要がなく、フィルムの屈折率値を調整することができ、材料及び機器のコストを削減する。ここで、プロセスガスにおける酸素の割合は0%~50%であり、好ましくは0.01%~20%であり、フィルムの屈折率値の調整範囲は1.8~2.5である。
S300において、図10Cを参照し、前記光学調整層400の前記第1の電極層200から離れた一側に発光色の異なる複数の発光ユニット310を形成し、発光機能層300を形成するように、前記第1の光学層410は1つの発光色の前記発光ユニット310に対応し、前記第2の光学層420はもう1つの発光色の前記発光ユニット310に対応する。
いくつかの実施例では、図1、図5を参照し、前記光学調整層400はさらに第3の光学層430を含み、前記第3の光学層430は1つの発光色の発光ユニット310に対応し、前記第1の光学層410、前記第2の光学層420、及び前記第3の光学層430に対応する発光ユニット310の発光色は互いに異なる。
いくつかの実施例では、図1、図5を参照し、前記発光機能層300の発光ユニット310の光線は赤色、緑色及び青色のいずれかであってもよく、理解できるように、第1の光学層410は赤色の発光ユニット310に対応してもよく、第2の光学層420は緑色の発光ユニット310に対応してもよく、第3の光学層430は青色の発光ユニット310に対応してもよい。
いくつかの実施例では、前記表示パネル100の製造方法はさらにS400~S500を含む。
S400において、図1を参照し、前記発光機能層300の前記第1の電極層200から離れた一側に第2の電極層500を形成する。
いくつかの実施例では、前記第2の電極層500は単層又は多層の複合構造を有するフィルムであり、材質はAg、Al、Pt、Mo、Ti、Cu、Mgのうちの1つ又は複数の組み合わせを含み、前記第2の電極層500の厚さは1nm~100nmである。
S500において、図1を参照し、マグネトロンスパッタリング技術を用いて、プロセスガス内に酸素を加え、半導体酸化物材料を用いて前記第2の電極層500に少なくとも第1の取り出し層610及び第2の取り出し層620を形成し、第1の取り出し層610の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の取り出し層620の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なり、それにより、光取り出し層600を形成する。
いくつかの実施例では、図1、図7を参照し、前記光取り出し層600はさらに第3の取り出し層630を含み、前記第3の取り出し層630は、1つの発光色の発光ユニット310に対応し、前記第1の取り出し層610、前記第2の取り出し層620、及び前記第3の取り出し層630に対応する発光ユニット310の発光色は互いに異なる。
いくつかの実施例では、図1、図7を参照し、理解できるように、第1の取り出し層610は赤色の発光ユニット310に対応してもよく、第2の取り出し層620は緑色の発光ユニット310に対応してもよく、第3の取り出し層630は青色の発光ユニット310に対応してもよい。
本発明は、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガスにおける酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整することで、光学調整層におけるフィルム層の屈折率を調節し、それにより、異なる発光色の発光ユニットの光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。
図11を参照し、本発明の実施例はさらに表示装置10を提供し、上記いずれかの表示パネル100及び装置本体20を含み、前記装置本体20は前記表示パネル100と一体に組み合わせる。
前記表示パネル100の具体的な構造はいずれかの上記表示パネル100の実施例及び図面を参照し、ここで説明を省略する。
本実施例では、前記装置本体20は中枠、シールなどを含んでもよく、前記表示装置10は携帯電話、タブレット、テレビなどの表示端末であってもよく、ここでは限定しない。
本発明の実施例は、表示パネル及びその製造方法を開示し、当該表示パネルはサブストレート、発光機能層、第1の電極層及び光学調整層を含み、発光機能層は発光色の異なる複数の発光ユニットを含み、光学調整層は半導体酸化物を含み、光学調整層は少なくとも第1の光学層及び第2の光学層を含み、第1の光学層と第2の光学層の対応する発光ユニットの発光色が異なり、第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率が異なり、本発明は、マグネトロンスパッタリングによる成膜時に、プロセスガスにおける酸素の含有量を調整し、半導体材料の結晶形態を調整し、光学調整層におけるフィルム層の屈折率を調節することで、異なる発光色の発光ユニットの光学ニーズに適応し、異なる発光色の画素の表示効果を改善する。
以上は本発明の実施例により提供される表示パネル及びその製造方法について詳細に説明し、本明細書では具体的な個別例を応用して本発明の原理及び実施形態について説明し、以上の実施例の説明は本発明の方法及びその核心思想を理解するためのものであり、また、当業者であれば、本発明の思想に基づき、具体的な実施形態及び応用範囲にいずれも変更があり、以上説明したように、本明細書の内容は本発明を限定するものと解釈すべきではない。

Claims (12)

  1. サブストレートと、
    前記サブストレートに位置する第1の電極層と、
    光学調整層であって、前記第1の電極層に位置し、前記光学調整層は半導体酸化物を含む光学調整層と、
    発光機能層であって、前記光学調整層に位置し、前記発光機能層は発光色の異なる複数の発光ユニットを含む発光機能層と、を含み、
    ここで、前記光学調整層は少なくとも第1の光学層及び第2の光学層を含み、前記第1の光学層は1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第2の光学層はもう1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なることを特徴とする表示パネル。
  2. 少なくとも1つの前記第1の光学層は、隣接して設けられた第1のサブ層及び第2のサブ層を含み、前記第2のサブ層は前記第1のサブ層と前記発光機能層との間に位置し、
    ここで、前記第2のサブ層の屈折率は前記第1のサブ層の屈折率より大きいことを特徴とする請求項1に記載の表示パネル。
  3. 前記発光機能層は少なくとも第1の有機サブ層を含み、前記第1の有機サブ層は前記第2のサブ層の前記サブストレートの一側から離れた表面に位置し、前記第2のサブ層の屈折率は前記第1の有機サブ層の屈折率より大きいことを特徴とする請求項2に記載の表示パネル。
  4. 少なくとも1つの前記第1の光学層は、第1のサブ層と、前記第1のサブ層の前記発光機能層に近い一側に位置する第2のサブ層と、前記第2のサブ層と前記発光機能層との間に位置する第3のサブ層と、を含み、
    ここで、前記第2のサブ層の屈折率は前記第1のサブ層の屈折率より小さく、前記第2のサブ層の屈折率は前記第3のサブ層の屈折率より小さいことを特徴とする請求項2に記載の表示パネル。
  5. 前記発光機能層は少なくとも第1の有機サブ層を含み、前記第1の有機サブ層は前記第3のサブ層の前記サブストレートの一側から離れた表面に位置し、前記第3のサブ層の屈折率は前記第1の有機サブ層の屈折率より大きいことを特徴とする請求項4に記載の表示パネル。
  6. 前記第1の光学層のフィルム層数は前記第2の光学層のフィルム層数より多く、前記第1の光学層の対応する色光の波長は前記第2の光学層の対応する色光の波長より長いことを特徴とする請求項1に記載の表示パネル。
  7. 前記第1の光学層の厚さは前記第2の光学層の厚さより厚いことを特徴とする請求項6に記載の表示パネル。
  8. 前記表示パネルはさらに、
    前記発光機能層の前記第1の電極層から離れた一側に位置する第2の電極層と、
    光取り出し層であって、前記第2の電極層の前記発光機能層から離れた一側に位置し、前記光取り出し層は半導体酸化物を含む光取り出し層と、を含み、
    ここで、前記光取り出し層は少なくとも第1の取り出し層及び第2の取り出し層を含み、前記第1の取り出し層は1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、第2の取り出し層はもう1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第1の取り出し層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の取り出し層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なることを特徴とする請求項1に記載の表示パネル。
  9. 少なくとも1つの前記第1の取り出し層は少なくとも第1の取り出しサブ層及び第2の取り出しサブ層を含み、前記第1の取り出しサブ層は前記第1の取り出し層のうちの前記発光ユニットから最も遠いフィルム層であり、前記第2の取り出しサブ層は前記第1の取り出しサブ層の前記第2の電極層に近い一側の表面に設けられ、
    ここで、前記第1の取り出しサブ層の屈折率は前記第2の取り出しサブ層の屈折率より大きいことを特徴とする請求項8に記載の表示パネル。
  10. 前記光学調整層はさらに第3の光学層を含み、前記第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、前記第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率、及び前記第3の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は互いに異なり、前記第1の光学層、前記第2の光学層、及び前記第3の光学層に対応する前記発光ユニットの発光色は互いに異なることを特徴とする請求項1に記載の表示パネル。
  11. 前記第1の光学層の厚さは前記第2の光学層の厚さより厚く、前記第2の光学層の厚さは前記第3の光学層の厚さより厚く、
    前記第1の光学層のフィルム層数は前記第2の光学層のフィルム層数より多く、前記第2の光学層のフィルム層数は前記第3の光学層のフィルム層数より多く、
    前記第1の光学層の対応する色光の波長は前記第2の光学層の対応する色光の波長より長く、前記第2の光学層の対応する色光の波長は前記第3の光学層の対応する色光の波長より長いことを特徴とする請求項10に記載の表示パネル。
  12. 第1の電極層を提供するステップと、
    マグネトロンスパッタリング技術を用いて、プロセスガス内に酸素を加え、半導体酸化物材料を用いて前記第1の電極層に少なくとも第1の光学層及び第2の光学層を形成し、光学調整層を形成するように、前記第1の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率は前記第2の光学層の少なくとも1つのフィルム層の屈折率と異なるステップと、
    前記光学調整層の前記第1の電極層から離れた一側に発光色の異なる複数の発光ユニットを形成し、発光機能層を形成するように、前記第1の光学層は1つの発光色の前記発光ユニットに対応し、前記第2の光学層はもう1つの発光色の前記発光ユニットに対応するステップと、を含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
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