JP2024082583A - ブレードケース - Google Patents

Abstract

【課題】ハブタイプブレードとワッシャータイプブレードとを兼用で収容でき、ブレードケースにワッシャータイプブレードを収容してもワッシャータイプブレードが破損してしまうことを防止できるブレードケースを提供すること。【解決手段】ブレードケース１は、底板１１と底板１１の外周縁から立設した側壁１２を有し、ハブタイプブレードの装着穴に嵌合する凸部１６を備えた収容部１０と、天板と天板２１の外周縁から垂下した側壁２２とを有する蓋部２０と、収容部１０と蓋部２０とを開閉可能に連結するヒンジ３０と、を備え、ワッシャータイプブレード２１０を収容するときは、収容部１０に緩衝部材４０を備え、緩衝部材４０の上にワッシャータイプブレード２１０を載置し、収容部１０と蓋部２０を閉止状態にしたときにワッシャータイプブレード２１０が緩衝部材４０と蓋部２０によって挟持される。【選択図】図１１

Description

本発明は、ブレードケースに関する。

ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが表面に複数形成されたウェーハは、裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

切削装置に使用される切削ブレードは、ワッシャータイプのブレードや基台にめっきで電着されたハブタイプのブレード等が使用される。

一般に、上記切削ブレードは、運搬中の破損を防止するために、ブレードケースに収容されて、慎重に取り扱われている。

ここで、現状は、ワッシャータイプブレードとハブタイプブレードは、それぞれ別々の専用のブレードケースに収容されて、運搬されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

特開２００６－０８２８１７号公報 特開２００８－２８００７３号公報

そのため、客先の要望などにより、ワッシャータイプブレードをハブタイプブレードのブレードケースを使用して運搬する場合、ブレードケース内でワッシャーブレードが動いてしまい、ブレードが破損するという問題が発生する。

本発明の目的は、ハブタイプブレードとワッシャータイプブレードとを兼用で収容でき、ブレードケースにワッシャータイプブレードを収容してもワッシャータイプブレードが破損してしまうことを防止できるブレードケースを提供することを目的としている。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレードケースは、回転軸に装着する装着穴を備えた環状基台と、該環状基台の一側面外周縁に露出して砥粒を固定して形成された切刃と、を有するハブタイプブレードを収容するとともに砥粒を結合材で固定して形成されたワッシャータイプブレードを収容するブレードケースであって、底板と、該底板の外周縁から立設して形成された側壁を有し、該ハブタイプブレードの環状基台の装着穴に嵌合する凸部を中央に備えた収容部と、天板と、該天板の外周縁から垂下して形成された側壁とを有する蓋部と、該収容部と該蓋部とを開閉可能に連結するヒンジと、を備えており、該ハブタイプブレードを収容できる構成となっており、該ワッシャータイプブレードを収容するときは、該収容部に緩衝部材を備え、該緩衝部材の上に該ワッシャータイプブレードを載置し、該収容部と該蓋部を閉止状態にしたときに、該ワッシャータイプブレードが、該緩衝部材と該蓋部によって挟持されることを特徴とする。

本発明は、ハブタイプブレードとワッシャータイプブレードとを兼用で収容でき、ブレードケースにワッシャータイプブレードを収容してもブレードが破損してしまうことを防止できるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るブレードケースの構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示されたブレードケースに収容されるハブタイプブレードが装着される切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。 図３は、図１に示されたブレードケースの収容部にハブタイプブレードを収容した状態を示す断面図である。 図４は、図３に示されたブレードケースの収容部と蓋部とが閉止状態に位置付けられた状態を示す断面図である。 図５は、図１に示されたブレードケースに収容されるワッシャータイプブレードを示す斜視図である。 図６は、図１に示されたブレードケースに緩衝部材を取り付ける状態を示す斜視図である。 図７は、図１に示されたブレードケースに緩衝部材を取り付けた状態を示す斜視図である。 図８は、図７に示された緩衝部材上にワッシャータイプブレードを載置する状態を示す斜視図である。 図９は、図７に示された緩衝部材上にワッシャータイプブレードを載置した状態を示す斜視図である。 図１０は、図７に示された緩衝部材上にワッシャータイプブレードを載置した状態を示す断面図である。 図１１は、図１０に示されたブレードケースの収容部と蓋部とが閉止状態に位置付けられた状態を示す断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るブレードケースを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るブレードケースの構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示されたブレードケースに収容されるハブタイプブレードが装着される切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図３は、図１に示されたブレードケースの収容部にハブタイプブレードを収容した状態を示す断面図である。図４は、図３に示されたブレードケースの収容部と蓋部とが閉止状態に位置付けられた状態を示す断面図である。図５は、図１に示されたブレードケースに収容されるワッシャータイプブレードを示す斜視図である。

（ハブタイプブレード）
実施形態１に係る図１に示すブレードケース１は、ハブタイプブレード２００を収容するケースである。実施形態１に係るブレードケース１により収容されるハブタイプブレード２００は、図２に示された切削装置１００の切削ユニット１０１の回転軸であるスピンドル１０２に装着される。切削装置１００は、被加工物に切削加工を施す加工装置である。

切削装置１００の加工対象の被加工物は、例えば、シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）又はサファイアなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物は、表面に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって格子状に区画された領域にデバイスが形成されている。

デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）又は各種のメモリ（半導体記憶装置）である。

また、切削装置１００が切削加工する被加工物は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のＱＦＮ（Quad Flat No leaded）パッケージ基板等の樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。

図２に示された切削装置１００は、図示しない保持テーブルに保持された被加工物を切削加工する切削ユニット１０１を備えている。切削ユニット１０１は、ハブタイプブレード２００がスピンドル１０２に装着され、保持テーブルに保持された被加工物を切削加工する加工ユニットである。

切削ユニット１０１は、図２に示すように、スピンドルハウジング１０３と、スピンドル１０２と、スピンドル１０２の先端に固定されるブレードマウント１０４と、ナット１０５とを備える。スピンドルハウジング１０３は、切削装置の図示しない割り出し送りユニット及び切り込み送りユニットにより軸心方向及び鉛直方向に移動自在に設けられている。

スピンドル１０２は、スピンドルハウジング１０３に軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないスピンドルモータにより軸心回りに回転される。スピンドル１０２は、先端がスピンドルハウジング１０３の先端面から突出している。

ブレードマウント１０４は、スピンドル１０２の先端に固定される。ブレードマウント１０４は、ハブタイプブレード２００が挿入される円筒状のボス部１０６と、ボス部１０６のスピンドルハウジング１０３寄りの一端部の外周に形成されたブレード支持部１０７とを有する。ボス部１０６は、直線状に延在し、外径が全長に亘ってハブタイプブレード２００の後述する装着穴２０１の内径と略等しく形成されている。なお、ボス部１０６の外径がハブタイプブレード２００の装着穴２０１の内径と略等しいとは、ボス部１０６の外周面と装着穴２０１の内周面とが少なくとも複数個所で互いに接触することが可能な程度に外径と内径とが等しいことを示している。

ブレード支持部１０７は、ボス部１０６のスピンドルハウジング１０３寄りの一端から径方向に沿って外周方向に突出してボス部１０６の外径よりも大径な円環状に形成されている。ブレード支持部１０７は、外周縁部に設けられかつハブタイプブレード２００と接触して、ハブタイプブレード２００を支持する環状の端面１０８を含む。ボス部１０６とブレード支持部１０７とは、同軸に配置されている。また、ブレードマウント１０４は、ボス部１０６の他端部の外周に雄ネジ１０９が形成されている。ナット１０５は、雄ネジ１０９の外周に螺合して、ボス部１０６を装着穴２０１内に通したハブタイプブレード２００をブレードマウント１０４との間で挟んで固定する。

ハブタイプブレード２００は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、ハブタイプブレード２００は、図１及び図３に示すように、中央にボス部１０６が挿入される装着穴２０１を備えた円環状の環状基台２０２と、環状基台２０２の周縁から外周へ突出して形成されて、被加工物を切削する円環状の切刃２０３と、を有する。

環状基台２０２は、外径が軸心方向に変化する扁平な裁頭円錐状と裁頭円錐部２０４と、裁頭円錐部の小径側に連なった円環状の円環部２０５とを一体に備えている。裁頭円錐部２０４と円環部２０５とは、互いに同軸に設けられ、中央に装着穴２０１が貫通している。

装着穴２０１は、内側にボス部１０６が挿入されて、ブレードマウント１０４にハブタイプブレード２００を装着するための孔である。装着穴２０１が内側にボス部１０６が挿入されることで、ブレードマウント１０４を介してハブタイプブレード２００をスピンドル１０２に装着する。

切刃２０３は、環状基台２０２の裁頭円錐部２０４の大径側の一側面２０６の外周縁に露出して設けられ、外径が環状基台２０２の大径側の一側面２０６の外径よりも大径の円環状に形成されている。切刃２０３は、環状基台２０２の一側面２０６の周縁から全周に亘って外周に突出して形成されている。切刃２０３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒がＮｉメッキ等で固定して形成されて、所定厚みに形成されている。ハブタイプブレード２００は、環状基台２０２、装着穴２０１及び切刃２０３が互いに同軸に配置されている。

前述した構成のハブタイプブレード２００は、装着穴２０１内にボス部１０６が挿入され、端面１０８に環状基台２０２の一側面２０６を接触させた状態で、端面１０８により支持され、ナット１０５がボス部１０６に形成された雄ネジ１０９の外周に螺合することにより、ブレードマウント１０４のブレード支持部１０７とナット１０５とによって挟持されて、ブレードマウント１０４に固定される。

なお、ハブタイプブレード２００は、切削ユニット１０１のスピンドル１０２に装着されると、スピンドル１０２の軸心と同軸に位置付けられる。

（ブレードケース）
次に、ブレードケース１を説明する。ブレードケース１は、前述したハブタイプブレード２００を収容するものである。ブレードケース１は、図１、図３及び図４に示すように、収容部１０と、蓋部２０と、ヒンジ３０とを備えている。

収容部１０は、平坦な平板状の底板１１と、底板１１の外周縁から立設して形成された側壁１２とを有して、側壁１２の底板１１から離れた側の縁で囲まれた開口１３が形成された扁平な箱状に形成されている。底板１１は、表面上にハブタイプブレード２００が載置される。実施形態１では、側壁１２は、底板１１の外周縁から全周に亘って立設して、外周面に平坦な平坦面１４と曲面の湾曲面１５とが形成されている。

また、収容部１０は、底板１１の中央に平面形が円形の凸部１６を備え、凸部１６の外周にリング状の受け止め凸部１７を備えている。凸部１６，１７は、底板１１の表面から凸に形成され、互いに同軸となる位置に配置されている。凸部１６は、外径が装着穴２０１の内径と等しい。凸部１６は、図３に示すように、ハブタイプブレード２００の環状基台２０２の装着穴２０１内に侵入して、装着穴２０１に嵌合する。凸部１６は、装着穴２０１に嵌合して収容部１０内にハブタイプブレード２００を位置決めする。

受け止め凸部１７は、底板１１の表面からの突出量が凸部１６の底板１１の表面からの突出量よりも小さい。受け止め凸部１７は、凸部１６に装着穴２０１が嵌合したハブタイプブレード２００の環状基台２０２の一側面２０６に接触して、ハブタイプブレード２００の切刃２０３が、底板１１及び側壁１２に接触することを規制する。

蓋部２０は、天板２１と、天板２１の外周縁から垂下して形成された側壁２２とを有する。天板２１は、平面形状が底板１１と同形状の平板上に形成されている。側壁２２は、天板２１の外周縁から全周に亘って垂下して、外周面に平坦な平坦面２４と曲面の湾曲面２５が形成されている。

ヒンジ３０は、収容部１０の側壁１２と天板２１の側壁２２とを連結し、収容部１０と蓋部２０とを開閉可能に連結している。実施形態１では、ブレードケース１は、合成樹脂等で構成され、収容部１０と、蓋部２０と、ヒンジ３０とが一体に形成され、ヒンジ３０が収容部１０及び蓋部２０よりも薄く形成されて、可撓性を有している。実施形態１では、ヒンジ３０は、収容部１０と蓋部２０の外周面に湾曲面１５，２５が形成された側壁１２，２２から最も離れた外周面に平坦面１４，２４が形成された側壁１２，２２同士を連結している。

ヒンジ３０は、底板１１と、天板２１とが互いに重なることなく収容部１０の開口１３が開放された図３に示す開放状態と、底板１１と、天板２１とが互いに間隔をあけて重なりでかつ蓋部２０が収容部１０の開口１３を閉止した図４に示す閉止状態とに亘って、収容部１０と蓋部２０とを変位自在に連結している。閉止位置では、収容部１０の側壁１２の外周面と蓋部２０の側壁２２の外周面とが略同一平面上に位置する。

また、ブレードケース１は、閉止状態において互いに係合する係合部１８，２８が収容部１０と蓋部２０とに設けられている。収容部１０は、側壁１２，２２のヒンジ３０から最も離れた位置即ち外周面に湾曲面１５，２５が形成された側壁１２，２２に設けられている。

ブレードケース１は、凸部１６が図３に示すように装着穴２０１に嵌合し、受け止め凸部１７が環状基台２０２の一側面２０６に接触して、収容部１０内にハブタイプブレード２００を収容する。また、ブレードケース１は、例えば、ヒンジ３０により収容部１０に対して蓋部２０が回転されて、収容部１０と蓋部２０とが図４に示すように閉止状態に位置付けられて係合部１８，２８が互いに係合して、ハブタイプブレード２００を内側に収容する。このように、ブレードケース１は、ハブタイプブレード２００を収容できる構成となっている。

また、実施形態１に係るブレードケース１は、図５に示すワッシャータイプブレード２１０も収容する。ワッシャータイプブレード２１０は、砥粒を結合材で固定して形成されたリング状の切刃２１３のみからなる切削ブレードである。実施形態１に係るワッシャータイプブレード２１０は、中央にスピンドル１０２に装着される円形の装着穴２１１を備えている。実施形態１では、ワッシャータイプブレード２１０の装着穴２１１の内径は、ブレードケース１に収容されるハブタイプブレード２００の装着穴２０１の内径よりも大きく、ワッシャータイプブレード２１０の外径は、ブレードケース１に収容されるハブタイプブレード２００の切刃２０３の外径よりも小さい。

（ワッシャータイプブレードの収容方法）
次に、前述した構成のブレードケース１にワッシャータイプブレード２１０を収容する収容方法を説明する。図６は、図１に示されたブレードケースに緩衝部材を取り付ける状態を示す斜視図である。図７は、図１に示されたブレードケースに緩衝部材を取り付けた状態を示す斜視図である。図８は、図７に示された緩衝部材上にワッシャータイプブレードを載置する状態を示す斜視図である。図９は、図７に示された緩衝部材上にワッシャータイプブレードを載置した状態を示す斜視図である。図１０は、図７に示された緩衝部材上にワッシャータイプブレードを載置した状態を示す断面図である。図１１は、図１０に示されたブレードケースの収容部と蓋部とが閉止状態に位置付けられた状態を示す断面図である。

ブレードケース１がワッシャータイプブレード２１０を収容するときには、開放状態において収容部１０に図６に示す緩衝部材４０を取り付ける。即ち、ブレードケース１がワッシャータイプブレード２１０を収容するときには、収容部１０に緩衝部材４０を備える。実施形態１において、緩衝部材４０は、ウレタン樹脂、ゴム、スポンジ状の部材等の変形自在な材質により構成され、中央に設けられた嵌合穴４１の内径が凸部１６の外径と等しく外径がワッシャータイプブレード２１０の外径よりも大きな円環状に形成されている。また、実施形態１において、緩衝部材４０は、厚みが閉止状態の受け止め凸部１７と天板２１との間隔からワッシャータイプブレード２１０の厚みを引いた値以上に形成されている。

ブレードケース１は、図７及び図８に示すように、開放状態において収容部１０の凸部１６が緩衝部材４０の嵌合穴４１の内側に侵入して嵌合穴４１に嵌合して、緩衝部材４０を底板１１上に位置付けて受け止め凸部１７に接触させて、緩衝部材４０を収容部１０に収容する。ブレードケース１がワッシャータイプブレード２１０を収容するときには、開放状態において、ブレードケース１は、図９及び図１０に示すように、装着穴２１１内に凸部１６を位置付けられた状態で緩衝部材４０上に載置されて、ワッシャータイプブレード２１０を収容部１０内に収容する。

ブレードケース１は、例えば、ヒンジ３０により収容部１０に対して蓋部２０が回転されて、収容部１０と蓋部２０とが図１１に示すように閉止状態に位置付けられて係合部１８，２８が互いに係合して、ハブタイプブレード２００を内側に収容する。すると、緩衝部材４０が前述した厚みであるので、ワッシャータイプブレード２１０が緩衝部材４０と蓋部２０とによって挟持されて、ワッシャータイプブレード２１０の切刃２１３の先端が収容部１０及び蓋部２０から間隔あけた位置に、ワッシャータイプブレード２１０がブレードケース１内で位置決めされる。

このように、実施形態１に係るブレードケース１は、ワッシャータイプブレード２１０を収容するときは、収容部１０に緩衝部材４０を備え、緩衝部材４０の上にワッシャータイプブレード２１０を載置し、収容部１０と蓋部２０を閉止状態にしたときに、ワッシャータイプブレード２１０が、緩衝部材４０と該蓋部２０によって挟持される。

以上説明したように、実施形態１に係るブレードケース１は、ハブタイプブレード２００を収容するものであるとともに、収容部１０に緩衝部材４０を備えることで、ワッシャータイプブレード２１０を切刃２１３の先端が収容部１０及び蓋部２０から間隔をあけた位置に位置決めして収容することができる。このために、実施形態１に係るブレードケース１は、ワッシャータイプブレード２１０を収容してもワッシャータイプブレード２１０が破損してしまうことを防止できるという効果を奏する。

その結果、実施形態１に係るブレードケース１は、ハブタイプブレード２００とワッシャータイプブレード２１０とを兼用で収容でき、ブレードケース１にワッシャータイプブレード２１０を収容してもワッシャータイプブレード２１０が破損してしまうことを防止できるという効果を奏する。

なお、実施形態１では、以下のワッシャータイプブレードの収容方法が得られる。
（付記１）
回転軸に装着する装着穴を備えた環状基台と、該環状基台の一側面外周縁に露出して
砥粒をNiめっきで固定して形成された切刃と、を有するハブタイプブレードを収容するブレードケースに砥粒を結合材で固定して形成されたワッシャータイプブレードを収容するワッシャータイプブレードの収容方法であって、
ブレードケースの底板と該底板の外周縁から立設して形成された側壁を有し該ハブタイプブレードの環状基台の装着穴に嵌合する凸部を中央に備えた収容部に変形自在な材質で構成された緩衝部材を取り付け、
該緩衝部材の上に該ワッシャータイプブレードを載置し、該収容部と該蓋部を閉止状態にして、該ワッシャータイプブレードを該緩衝部材と該蓋部によって挟持する
ことを特徴とするワッシャータイプブレードの収容方法。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。なお、実施形態１では、ワッシャータイプブレード２１０は、切刃２１３のみで構成されているが、本発明では、切刃２１３が円環状の基台に貼り付けた所謂貼付ブレードでも良い。即ち、本発明では、貼付ブレードをブレードケース１に収容する際に、収容部１０に緩衝部材４０を取り付けて、緩衝部材４０の上に載置し、収容部１０と蓋部２０を閉止状態にして、緩衝部材４０と蓋部２０によって挟持しても良い。

１ ブレードケース
１０ 収容部
１１ 底板
１２ 側壁
１６ 凸部
２０ 蓋部
２１ 天板
２２ 側壁
３０ ヒンジ
４０ 緩衝部材
１０２ スピンドル（回転軸）
２００ ハブタイプブレード
２０１ 装着穴
２０２ 環状基台
２０３ 切刃
２０６ 一側面
２１０ ワッシャータイプブレード

Claims (1)

1. 回転軸に装着する装着穴を備えた環状基台と、該環状基台の一側面外周縁に露出して
   砥粒を固定して形成された切刃と、を有するハブタイプブレードを収容するとともに砥粒を結合材で固定して形成されたワッシャータイプブレードを収容するブレードケースであって、
   底板と、該底板の外周縁から立設して形成された側壁を有し、該ハブタイプブレードの環状基台の装着穴に嵌合する凸部を中央に備えた収容部と、
   天板と、該天板の外周縁から垂下して形成された側壁とを有する蓋部と、
   該収容部と該蓋部とを開閉可能に連結するヒンジと、を備えており、
   該ハブタイプブレードを収容できる構成となっており、
   該ワッシャータイプブレードを収容するときは、該収容部に緩衝部材を備え、
   該緩衝部材の上に該ワッシャータイプブレードを載置し、該収容部と該蓋部を閉止状態にしたときに、該ワッシャータイプブレードが、該緩衝部材と該蓋部によって挟持される
   ことで収容されるブレードケース。

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