JP2024078309A - スペクトル分析システム、および、スペクトル分析方法 - Google Patents

スペクトル分析システム、および、スペクトル分析方法 Download PDF

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Abstract

Figure 2024078309000001
【課題】測定結果に基づく測定スペクトル波形の解析に不慣れなユーザにとっても、異常状態の種類を容易に判別することが可能なスペクトル分析システムおよびスペクトル分析方法を提供する。
【解決手段】このスペクトル分析システム１００は、検査対象に対する測定を行う測定部と、測定部による測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示する表示部４０と、測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を示す複数の第１異常項目を選択可能に表示部に表示する制御部と、を備える。制御部は、複数の第１異常項目の各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２を、表示部４０において、複数の第１異常項目の各々に対して表示する。
【選択図】図３

Description

本発明は、スペクトル分析システム、および、スペクトル分析方法に関し、特に、測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示するスペクトル分析システム、および、スペクトル分析方法に関する。
従来、測定曲線としてスペクトルが表示される分析装置が知られている（たとえば、特許文献１）。
上記特許文献１に記載の分析装置は、ラマン分光分析によって測定曲線としてのスペクトルを取得する。そして、この分析装置は、測定曲線の形状解析を行うことによって、最適な測定が行われているか否か、および、測定曲線の表示が適切に行われているか否かの判断を行う。上記特許文献１に記載の分析装置では、測定または表示に異常が生じていると判断された場合には、異常の原因である妨害事象の解決方法を提供するためのヘルプ情報が表示手段に表示される。また、異常の原因である妨害事象の候補が複数存在する場合には、複数の妨害事象に対応する複数のヘルプ情報が表示される。上記特許文献１では、妨害事象として、蛍光の発生、および、スペクトルの飽和の例が記載されている。
特許第５３８５８６５号公報
ここで、測定結果に基づくスペクトルである測定スペクトル波形（測定曲線）の解析に不慣れなユーザには、測定スペクトル波形の表示においてどのような異常が生じているかの判断を行うことが困難である場合がある。上記特許文献１に記載の分析装置のように、測定スペクトル波形に対して解析を行うことによって、測定スペクトル波形の表示における異常状態の原因である妨害事象の解決方法を提供するためのヘルプ情報を表示する場合にも、不慣れなユーザには、具体的にどのような表示態様（測定スペクトル波形の形状）が異常状態であると判定されたのかを判断することが困難である。たとえば、妨害事象として蛍光の発生およびスペクトルの飽和が検出された場合にも、不慣れなユーザは、測定スペクトル波形の表示において、蛍光の発生およびスペクトルの飽和に起因してどのような表示態様の異常状態が発生するかの判断ができない。また、不慣れなユーザは、表示された測定スペクトル波形に違和感を覚えた場合にも、具体的に測定スペクトル波形のどの部分が異常であるかの判断ができない。このように、不慣れなユーザにとって、異常状態の種類を判別するために測定スペクトル波形においてどの部分に注目する必要があるかの判断が困難であることに起因して、妨害事象を解決するためにどのような対処を行うかの判断が困難となる。したがって、測定スペクトル波形の解析に不慣れなユーザにとっても、異常状態の種類を容易に判別することが望まれている。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、測定結果に基づく測定スペクトル波形の解析に不慣れなユーザにとっても、異常状態の種類を容易に判別することが可能なスペクトル分析システムおよびスペクトル分析方法を提供することである。
この発明の第１の局面におけるスペクトル分析システムは、検査対象に対する測定を行う測定部と、測定部による測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示する表示部と、測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を示す複数の第１異常項目を選択可能に表示部に表示する制御部と、を備え、制御部は、複数の第１異常項目の各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形を、表示部において、複数の第１異常項目の各々に対して表示する。
この発明の第２の局面におけるスペクトル分析方法は、検査対象に対する測定の測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示部に表示するステップと、測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を示す複数の第１異常項目を選択可能に表示部に表示するステップと、複数の第１異常項目の各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形を、表示部において、複数の第１異常項目の各々に対して表示するステップと、を備える。
上記第１の局面におけるスペクトル分析システム、および、上記第２の局面におけるスペクトル分析方法は、上記のように、複数の第１異常項目の各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形を、表示部において、複数の第１異常項目の各々に対して表示する。これにより、複数の第１異常項目の各々ごとに、異常状態における表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形が表示部に表示されるため、表示された第１参照スペクトル波形を視覚的に認識することによって異常状態の種類ごとに応じた表示態様を容易に認識することができる。そのため、測定スペクトル波形と第１参照スペクトル波形とを比較することによって、複数の第１異常項目のうちから、測定スペクトル波形に発生している異常状態に対応する第１異常項目を容易に判別することができる。その結果、測定結果に基づく測定スペクトル波形の解析に不慣れなユーザにとっても、測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を容易に判別することができる。
第１実施形態によるスペクトル分析システムの全体構成を示した図である。 表示部における測定スペクトル波形の表示の一例を示した図である。 第１実施形態によるスペクトルチェック情報の表示の一例を示した図である。 スペクトルチェック情報における複数の異常項目の表示の例を示した図である。 図４に示す複数の異常項目の表示において、「ノイズが大きい」という異常項目が選択された場合における参照スペクトル波形の表示の一例を示した図である。 「ノイズが大きい」という異常状態を示す異常項目が選択された場合における２段階目の複数の異常項目の表示の例を示した図である。 図６に示す２段階目の複数の異常項目の表示において、「波数が４０００ｃｍ－１～３０００ｃｍ－１の範囲、および、２０００ｃｍ－１～１３００ｃｍ－１の範囲においてノイズが生じている」という異常項目が選択された場合における参照スペクトル波形の表示の一例を示した図である。 図７の状態から異常項目の選択が決定された場合における対処情報の表示の一例を示した図である。 対処情報におけるガイド画像表示ボタンに対する選択操作が受け付けられた場合の表示の例を示した図である。 図６に示す２段階目の複数の異常項目の表示において、「波数が７００ｃｍ－１～４００ｃｍ－１の範囲においてノイズが生じている」という異常項目が選択された場合における参照スペクトル波形の表示の一例を示した図である。 図６に示す２段階目の複数の異常項目の表示において、「全体的な範囲においてノイズが生じている」という異常項目が選択された場合における参照スペクトル波形の表示の一例を示した図である。 図４に示す複数の異常項目の表示において、「干渉縞がある」という異常項目が選択された場合における参照スペクトル波形の表示の一例を示した図である。 「干渉縞がある」という異常項目が選択された場合における複数の測定項目の表示の例を示した図である。 図１３の状態から異常項目の選択が決定された場合における対処情報の表示の一例を示した図である。 第１実施形態におけるスペクトル分析方法の制御処理を説明するためのフローチャート図である。 第２実施形態によるスペクトル分析システムの全体構成を示した図である。 第２実施形態による参照スペクトル波形の表示の一例を示した図である。
以下、本発明を具現化した実施形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
図１～図１４を参照して、本発明の第１実施形態によるスペクトル分析システム１００の全体構成について説明する。
（スペクトル分析システムの構成）
図１に示すように、第１実施形態によるスペクトル分析システム１００は、光源部１０と、測定部２０と、コンピュータ３０と、表示部４０と、操作部５０とを備えている。スペクトル分析システム１００は、検査対象１０１に対して赤外光を照射することによって、検査対象１０１の分析を行う。具体的には、スペクトル分析システム１００は、赤外顕微鏡（測定部２０）を用いたフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ：Ｆｏｕｒｉｅｒ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ ＩｎｆｒａＲｅｄ Ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）による検査対象１０１の分析を行う。
光源部１０は、検査対象１０１に照射するための赤外光を出射する。光源部１０は、たとえば、赤外光を出射する図示しない赤外光源を有する。また、光源部１０は、固定鏡、移動鏡、および、ビームスプリッタなどの図示しない導光部材を含む。光源部１０において、導光部材によって赤外光を干渉させるマイケルソン干渉計が構成されている。光源部１０は、時間的に振幅が変動する赤外干渉光であるインターフェログラムを測定部２０に対して出射する。
測定部２０は、検査対象１０１の測定を行う。たとえば、測定部２０は、赤外顕微鏡である。測定部２０は、光源部１０からの赤外光を、検査対象１０１に対して導光する。そして、測定部２０は、検査対象１０１に対して照射された赤外光を検出することによって、検査対象１０１に対する測定を行う。測定部２０は、検査対象１０１において反射された赤外光、または、検査対象１０１を透過した赤外光を検出する。具体的には、測定部２０は、検出部２１および導光部２２を有する。検出部２１は、赤外光を検出するともに、検出された赤外光に基づく検出信号を制御部３１に対して出力する。検出部２１は、たとえば、ＭＣＴ（Ｍｅｒｃｕｒｙ ｃａｄｍｉｕｍ ｔｅｌｌｕｒｉｄｅ）検出器、または、ＴＧＳ（Ｔｒｉ－Ｇｌｙｃｉｎｅ Ｓｕｌｆａｔｅ）検出器を含む。導光部２２は、光源部１０からの赤外光を導光する反射鏡、および、ハーフミラーなどの光学部材を含む。たとえば、導光部２２は、光学部材として、上カセグレン鏡２３、および、下カセグレン鏡２４を含む。上カセグレン鏡２３、および、下カセグレン鏡２４は、光源部１０からの赤外光を反射する。また、測定部２０は、検査対象１０１が載置される載置台２５を備えている。測定部２０では、載置台２５に載置された検査対象１０１に対して、上カセグレン鏡２３、および、下カセグレン鏡２４を含む導光部２２により導光された赤外光が照射される。
コンピュータ３０は、制御部３１および記憶部３２を含む。制御部３１は、スペクトル分析システム１００の全体の動作を制御する。制御部３１は、表示部４０の表示を制御する。また、制御部３１は、光源部１０および測定部２０の各々の各部の動作を制御することによって、赤外光を用いた検査対象１０１の測定の制御を行う。制御部３１は、たとえば、プロセッサ、または、演算処理用の回路（ｃｉｒｃｕｉｔｒｙ）である。制御部３１は、たとえば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などの演算装置を含む。記憶部３２は、制御部３１において実行されるプログラムおよびパラメータを記憶する記憶媒体である。記憶部３２は、たとえば、不揮発性のメモリ、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ：Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）、または、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）などの記憶装置を含む。
表示部４０は、制御部３１による制御処理によって、画像情報および文字情報などを表示する。表示部４０は、たとえば、液晶ディスプレイ、または、有機ＥＬディスプレイなどを含む。操作部５０は、ユーザによる入力操作を受け付ける。操作部５０は、たとえば、キーボード、および、マウスなどのポインティングデバイスを含む。操作部５０は、受け付けられた入力操作に基づく操作信号を制御部３１に対して出力する。
スペクトル分析システム１００では、反射法、透過法、および、ＡＴＲ法（Ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ Ｔｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ：全反射測定法）の３種類の測定方法により、検査対象１０１に照射された赤外光の測定が行われる。反射法では、検査対象１０１の表面において反射した赤外光が測定される。透過法では、検査対象１０１を透過した赤外光が測定される。ＡＴＲ法では、高屈折率媒質であるプリズムに検査対象１０１を密着させ、プリズムから検査対象１０１内部に潜り込んで反射する全反射光を測定することによって、検査対象１０１の表層部分の吸収スペクトルが測定される。
図２に示すように、制御部３１は、測定部２０による測定の測定結果に基づいて、測定スペクトル波形４１を生成する。具体的には、制御部３１は、測定部２０の検出部２１からの検出信号を取得する。そして、制御部３１は、取得された検出信号に基づいて、フーリエ変換処理を行うことによって、横軸が波数（ｃｍ－１：毎センチメートル）で表され、縦軸が吸光度（Ａｂｓ：ａｂｓｏｒｂａｎｃｅ）または透過率（％）で表されたスペクトル波形である測定スペクトル波形４１を生成する。表示部４０は、制御部３１により生成された、測定部２０による測定結果に基づく測定スペクトル波形４１を表示する。
なお、制御部３１は、操作部５０により受け付けられた入力操作に基づいて、検査対象１０１の測定が行われる前に分析条件を設定する。分析条件は、たとえば、反射法、透過法、および、ＡＴＲ法のいずれによって測定が行われるかの設定と、吸光度表示および透過率表示のいずれによって測定スペクトル波形４１の表示が行われるかの設定とを含む。すなわち、分析条件の設定では、反射法、透過法、および、ＡＴＲ法の３種類の測定方法と、吸光度表示および透過率表示の２種類の表示方法とを組み合わせた６種類の条件のうちから、いずれの条件における測定スペクトル波形４１が表示されるのかが設定される。そして、制御部３１は、設定された分析条件に基づいて測定スペクトル波形４１を生成する。なお、制御部３１は、検査対象１０１の背景部分を測定するＢＫＧ測定（バックグラウンド測定）を行った後に、測定の対象となる部分の測定を行うことによって、測定スペクトル波形４１を生成する。
（スペクトルチェック）
図２に示すように、制御部３１は、測定スペクトル波形４１と共に、スペクトルチェックボタン４２を表示する。そして、制御部３１は、操作部５０による入力操作に基づいて、スペクトルチェックボタン４２を選択する入力操作が受け付けられたと判断された場合に、スペクトルチェック処理を実行するように構成されている。
図３に示すように、制御部３１は、スペクトルチェック処理を実行することによって、表示部４０にスペクトルチェック情報６０を表示する。スペクトルチェック処理では、測定結果の測定スペクトル波形４１の表示において異常状態が生じている場合に、異常状態に対する対処方法をユーザにガイダンスするための情報であるスペクトルチェック情報６０が表示部４０に表示される。スペクトルチェック情報６０は、測定スペクトル波形４１と隣り合うように並んで表示部４０に表示される。
図４に示すように、制御部３１は、赤外光の測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ａ～６１ｇを選択可能に表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示する。なお、異常項目６１ａ～６１ｇは、特許請求の範囲における「第１異常項目」の一例である。
異常項目６１ａ～６１ｇは、検査対象１０１の測定、および、測定スペクトル波形４１の生成における異常に起因して、測定結果の表示である測定スペクトル波形４１の表示において生じる異常状態の種類を示している。すなわち、異常項目６１ａ～６１ｇは、正常な測定スペクトル波形４１と比べた場合に、異常状態が生じていると判断される表示態様を示す項目である。ユーザは、表示部４０に選択可能に表示された複数の異常項目６１ａ～６１ｇのうちから、測定結果である測定スペクトル波形４１の表示において生じている異常であると考えられる項目を選択する。言い換えれば、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々は、表示された測定スペクトル波形４１において、ユーザが異常状態の可能性を考えた場合に注目される関心項目である。なお、第１実施形態では、制御部３１は、予め設定された分析条件に基づいて、表示部４０に表示される複数の異常項目６１ａ～６１ｇの種類を変更するように構成されている。すなわち、制御部３１は、予め設定された分析条件に基づいて、表示部４０に表示される複数の異常項目６１ａ～６１ｇの種類を絞り込む。図４～図１４に示す例では、透過法による測定のうちの吸光度表示における測定スペクトル波形４１が表示される場合の例が示されている。
図４に示すように、透過法における吸光度表示の分析条件が予め設定されている場合には、制御部３１は、測定スペクトル波形４１のうちのベースライン部分の表示における異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ａ～６１ｅと、測定スペクトル波形４１のうちのピーク部分の表示における異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ｆおよび６１ｇとを、選択可能に別個に表示部４０に表示する。具体的には、制御部３１は、ベースライン部分におけるノイズ、ベースライン部分における干渉縞、ベースライン部分の位置の異常、および、ベースライン部分の形状の異常を含む異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ａ～６１ｅを選択可能に別個に表示部４０に表示する。また、制御部３１は、ピーク部分の飽和、および、ピーク部分の未検出の異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ｆおよび６１ｇを選択可能に表示部４０に表示する。なお、ピーク部分は、測定スペクトル波形４１において、急峻に吸光度が大きく（透過率が小さく）なっている部分であって、赤外光の吸収が検出された波数を示す。ベースライン部分は、ピーク部分以外の赤外光の吸収が検出されていない、吸光度が略ゼロ（透過率が略１００％）の部分である。
たとえば、分析条件が、透過法による測定において吸光度表示を行うと設定されている場合には、異常項目６１ａは、ベースライン部分における「ノイズが大きい」という異常状態を示す項目である。異常項目６１ｂは、ベースライン部分において「干渉縞がある」という異常状態を示す項目である。異常項目６１ｃは、ベースライン部分において「吸光度表示でマイナス値になる」という異常状態を示す項目である。異常項目６１ｄは、ベースライン部分において「１０００ｃｍ－１以下の波数領域が上昇している」という異常状態を示す項目である。異常項目６１ｅは、ベースライン部分において「ベースライン位置が０よりも大きい値である」という異常状態を示す項目である。異常項目６１ｆは、ピーク部分において「最も強いピーク強度が吸光度表示で１．０を超えて飽和している」という異常状態を示す項目である。異常項目６１ｇは、ピーク部分において「サンプル由来のピークが検出されていない」という異常状態を示す項目である。また、スペクトルチェック情報６０の表示において、「最も気になる点を選択してください」のように、選択を促す文字情報が表示される。また、スペクトルチェック情報６０の表示において、ベースライン部分の表示における異常状態の種類を示す「ベースライン関連」の文字情報と、ピーク部分の表示における異常状態の種類を示す「ピーク関連」の文字情報とが、互いに異なる色によって色付けされた状態で表示されていてもよい。
図５に示すように、第１実施形態では、制御部３１は、ピーク部分とベースライン部分とにおける複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対応する参照スペクトル波形６２を、表示部４０において、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対して表示する。すなわち、制御部３１は、各々に対して参照スペクトル波形６２を対応付けた状態で複数の異常項目６１ａ～６１ｇを選択可能に表示する。たとえば、操作部５０は、表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示された複数の異常項目６１ａ～６１ｇのうちから、「ノイズが大きい」という異常状態を示す一の異常項目６１ａを選択する選択操作を受け付ける。制御部３１は、操作部５０により受け付けられた選択操作に基づいて、選択された一の異常項目６１ａに対応する参照スペクトル波形６２を、表示部４０に表示する。詳細には、操作部５０のマウスなどのポインティングデバイスによって、表示部４０に表示されたポインタを、異常項目６１ａの位置に重畳させるマウスオーバー操作が行われた場合に、制御部３１は、異常項目６１ａが選択されたと判断するとともに、異常項目６１ａに対応する参照スペクトル波形６２を表示する。なお、図５に示す複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対応する参照スペクトル波形６２は、特許請求の範囲における「第１参照スペクトル波形」の一例である。
ここで、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対応する参照スペクトル波形６２は、異常状態の表示態様を参照するための表示である。第１実施形態では、参照スペクトル波形６２は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々ごとに、異常状態の種類に応じて予め設定されたサンプル波形である。予め設定されたサンプル波形である参照スペクトル波形６２は、記憶部３２に記憶されている。制御部３１は、測定結果の測定スペクトル波形４１とは別個に、記憶部３２に記憶された複数の参照スペクトル波形６２の各々を、表示部４０において、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対して表示する。
参照スペクトル波形６２は、たとえば、対応する異常項目６１ａにおける異常状態の特徴を示す異常波形６２ａと、対応する異常項目６１ａにおける異常状態が発生していない場合を示す正常波形６２ｂとを含む。たとえば、異常項目６１ａに対応する参照スペクトル波形６２では、ベースライン部分の全体にノイズが発生している異常波形６２ａとベースライン部分にノイズが発生していない正常波形６２ｂとが重畳された状態で表示されている。また、異常波形６２ａと正常波形６２ｂとは、互いに表示形式が異なる。なお、図５では、異常波形６２ａが実線であって、正常波形６２ｂが点線である例を示しているが、異常波形６２ａと正常波形６２ｂとにおいて、互いに色付けが異なるように表示形式を変更してもよい。
また、制御部３１は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々ごとに、測定スペクトル波形４１における異常状態の種類に対応する注目領域６２ｃを識別可能に示した状態の参照スペクトル波形６２を表示部４０に表示する。たとえば、スペクトルチェック情報６０において、異常項目６１ａが選択された場合には、ベースライン部分の全体に発生しているノイズの領域を示すように、波数（横軸）における全体の範囲と、吸光度（縦軸）におけるゼロを中心とした所定の範囲との両方を含む領域が、注目領域６２ｃとして識別可能に表示されている。たとえば、制御部３１は、参照スペクトル波形６２に対して、注目領域６２ｃを識別可能に示すように半透明の青色によって、注目領域６２ｃの範囲を色付けする。なお、図５では、ハッチングによって色の差異を示している。
そして、図６に示すように、制御部３１は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇのうちから選択された一の異常項目６１ａに対して、さらに異常状態の種類を特定するための複数の異常項目６１ｈ～６１ｊを選択可能に表示部４０に表示する。制御部３１は、たとえば、異常項目６１ａがマウスオーバーにより選択された状態で、さらに異常項目６１ａの選択を決定するクリック操作が操作部５０により受け付けられた場合に、１段階目の異常項目６１ａに対してさらに異常状態を特定するための２段階目の異常項目６１ｈ～６１ｊを表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示する。複数の異常項目６１ｈ～６１ｊは、異常項目６１ａと同様に、測定スペクトル波形４１の表示において生じる異常状態の種類を示している。２段階目の異常項目６１ｈ～６１ｊは、１段階目の異常項目６１ａに対応する異常状態からさらに詳細な異常状態を示したものである。たとえば、１段階目の異常項目６１ａがベースライン部分における「ノイズが大きい」という異常状態を示す項目である場合において、２段階目の異常項目６１ｈ～６１ｊの各々は、ベースライン部分においてどのようなノイズが生じているかの詳細を示す項目である。具体的には、異常項目６１ｈは、ベースライン部分において、波数が４０００ｃｍ－１～３０００ｃｍ－１の範囲、および、２０００ｃｍ－１～１３００ｃｍ－１の範囲においてノイズが生じている異常状態を示す項目である。異常項目６１ｉは、ベースライン部分において、波数が７００ｃｍ－１～４００ｃｍ－１の範囲においてノイズが生じている異常状態を示す項目である。異常項目６１ｊは、ベースライン部分において、全体的にノイズが生じている異常状態を示す項目である。なお、異常項目６１ｈ～６１ｊは、特許請求の範囲における「第２異常項目」の一例である。
図７に示すように、制御部３１は、複数の異常項目６１ｈ～６１ｊの各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２を、表示部４０において、複数の異常項目６１ｈ～６１ｊの各々に対して表示する。複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対応する参照スペクトル波形６２と同様に、制御部３１は、複数の異常項目６１ｈ～６１ｊの各々に対するマウスオーバーの操作が行われた場合に、異常項目６１ｈ～６１ｊの各々に対応する参照スペクトル波形６２を表示する。なお、図７、図１０、および、図１１に示す複数の異常項目６１ｈ～６１ｊの各々に対応する参照スペクトル波形６２は、特許請求の範囲における「第２参照スペクトル波形」の一例である。
たとえば、制御部３１は、異常項目６１ｈが選択されたと判断した場合には、ベースライン部分において、波数が４０００ｃｍ－１～３０００ｃｍ－１の範囲、および、２０００ｃｍ－１～１３００ｃｍ－１の範囲においてノイズが生じている異常波形６２ａと、異常状態が発生していない場合を示す正常波形６２ｂとを含む参照スペクトル波形６２を表示する。この場合において、参照スペクトル波形６２では、波数が４０００ｃｍ－１～３０００ｃｍ－１の範囲、および、２０００ｃｍ－１～１３００ｃｍ－１の範囲を示す注目領域６２ｃが表示される。
そして、図８に示すように、制御部３１は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対応する参照スペクトル波形６２と共に、複数の異常項目６１ａ～６１ｇに対応する異常状態の対処方法を示す対処情報６３を、表示部４０に表示する。たとえば、制御部３１は、異常項目６１ｈがマウスオーバーにより選択された状態で、さらに異常項目６１ｈの選択を決定するクリック操作が操作部５０により受け付けられた場合に、異常項目６１ａ、かつ、異常項目６１ｈに対する選択が決定されたと判断する。すなわち、図５に示す状態から異常項目６１ａが選択された後に、図７に示す状態から異常項目６１ｈが選択された場合には、制御部３１は、選択された異常項目６１ａおよび異常項目６１ｈに対応する異常状態の対処方法を示す対処情報６３を、異常項目６１ａおよび異常項目６１ｈに対応する参照スペクトル波形６２と共に、表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示する。そして、ノイズが大きい異常状態を示す異常項目６１ａと、波数が４０００ｃｍ－１～３０００ｃｍ－１の範囲、および、２０００ｃｍ－１～１３００ｃｍ－１の範囲においてノイズが生じている異常状態を示す異常項目６１ｈとが選択された場合には、「大気中の水蒸気がノイズの原因です。」という異常状態の原因を示す情報と、「データ処理の［大気補正］を実行する、もしくはＢＫＧ測定とサンプル測定の間隔を極力少なくして再度測定してください」という異常状態に対する対処方法を示す文字情報とを含む対処情報６３が表示される。制御部３１は、表示部４０において、対処情報６３と、参照スペクトル波形６２とを上下に並べて表示する。また、対処情報６３は、ガイド画像表示ボタン６３ａを含む。
図９に示すように、制御部３１は、ガイド画像表示ボタン６３ａに対する選択操作として、たとえば、ガイド画像表示ボタン６３ａに対するマウスオーバーの操作が受け付けられた場合に、異常状態に対する対処方法を示す対処画像６３ｂを表示部４０に表示する。対処画像６３ｂは、異常状態に対処するために、どのような操作、または、測定を行えばよいかを示した画像である。
なお、図１０に示すように、制御部３１は、複数の異常項目６１ｈ～６１ｊが選択可能に表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示されている状態（図６参照）において、異常項目６１ｉがマウスオーバーの操作により選択されたと判断した場合には、選択された異常項目６１ｉに対応するように、ベースライン部分において、波数が７００ｃｍ－１～４００ｃｍ－１の範囲においてノイズが生じている異常波形６２ａと、異常状態が発生していない場合を示す正常波形６２ｂとを含む参照スペクトル波形６２を表示する。この場合において、参照スペクトル波形６２では、波数が７００ｃｍ－１～４００ｃｍ－１の範囲を示す注目領域６２ｃが表示される。そして、制御部３１は、異常項目６１ｉがマウスオーバーにより選択された状態で、さらに異常項目６１ｉの選択を決定するクリック操作が操作部５０により受け付けられた場合には、異常項目６１ａ、かつ、異常項目６１ｉに対する選択が決定されたと判断する。その場合には、制御部３１は、異常項目６１ｊと同様に、選択された異常項目６１ａおよび異常項目６１ｉに対応する異常状態の対処方法を示す対処情報６３を、異常項目６１ａおよび異常項目６１ｉに対応する参照スペクトル波形６２と共に、表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示する。
また、図１１に示すように、制御部３１は、複数の異常項目６１ｈ～６１ｊが選択可能に表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示されている状態（図６参照）において、異常項目６１ｊがマウスオーバー操作により選択されたと判断した場合には、選択された異常項目６１ｊに対応するように、ベースライン部分において全体的な範囲においてノイズが生じている異常波形６２ａと、異常状態が発生していない場合を示す正常波形６２ｂとを含む参照スペクトル波形６２を表示する。この場合において、参照スペクトル波形６２では、ベースライン部分の全体に発生しているノイズの領域を示すように、波数（横軸）における全体の範囲と、吸光度（縦軸）におけるゼロを中心とした所定の範囲との両方を含む領域が注目領域６２ｃとして表示される。
なお、この場合において、異常項目６１ｊがマウスオーバーにより選択された状態で、さらに異常項目６１ｊの選択を決定するクリック操作が操作部５０により受け付けられた場合には、制御部３１は、異常項目６１ａ、かつ、異常項目６１ｊに対する選択が決定されたと判断する。制御部３１は、異常項目６１ｊに対する選択が決定されたと判断した場合には、対処情報６３を表示する前に、測定項目６１ｋおよび測定項目６１ｍに対する入力を受け付ける。すなわち、制御部３１は、１段階目の異常項目６１ａ～６１ｇに対する選択を受け付けるとともに、２段階目の異常項目６１ｈ～６１ｊに対する選択を受け付けた後に、さらに異常状態の種類を特定するための測定項目６１ｋおよび測定項目６１ｍを選択可能に表示部４０に表示する。測定項目６１ｋおよび測定項目６１ｍは、たとえば、測定部２０における測定の内容を質問する項目である。測定項目６１ｋは、測定においてダイヤモンドセルを使用したか否かを質問する項目である。測定項目６１ｍは、測定において、下カセグレン鏡２４の位置調整を行ったか否かを質問する項目である。制御部３１は、１段階目の異常項目６１ａ～６１ｇ、２段階目の異常項目６１ｈ～６１ｊ、そして、測定項目６１ｋおよび測定項目６１ｍに対する選択操作に基づいて、対応する対処情報６３を表示部４０に表示する。
また、図１２に示すように、制御部３１は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇが選択可能に表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示されている状態（図４参照）において、複数の異常項目６１ａ～６１ｇのうちからベースライン部分において「干渉縞がある」という異常項目６１ｂに対するマウスオーバーの操作が行われた場合には、異常項目６１ｂが選択されたと判断する。制御部３１は、異常項目６１ａが選択された場合と同様に、異常項目６１ｂに対応する参照スペクトル波形６２を表示する。
図１３に示すように、制御部３１は、異常項目６１ｂがマウスオーバーにより選択された状態で、さらに異常項目６１ｂの選択を決定するクリック操作が操作部５０により受け付けられた場合には、複数の測定項目６１ｎ、６１ｐ、および、６１ｑを表示部４０に表示する。すなわち、制御部３１は、異常項目６１ｂの選択が決定された場合には、２段階目の異常項目は表示しない。測定項目６１ｎ、６１ｐ、および、６１ｑは、測定項目６１ｋおよび測定項目６１ｍと同様に、たとえば、測定部２０における測定の内容を質問する項目である。測定項目６１ｎは、測定においてダイヤモンドセルを使用したか否かを質問する項目である。測定項目６１ｐは、測定項目６１ｎの回答が「はい」である場合において、ダイヤモンドセルを２枚重ねで使用したか否かを質問する項目である。測定項目６１ｑは、サンプル（検査対象１０１）の表面が平滑であるか否かを質問する項目である。
そして、図１４に示すように、制御部３１は、複数の測定項目６１ｎ、６１ｐ、および、６１ｑに対する選択操作が受け付けられた場合に、異常項目６１ｂ、かつ、複数の測定項目６１ｎ、６１ｐ、および、６１ｑに対応する異常状態の対処方法を示す対処情報６３を、異常項目６１ｂに対応する参照スペクトル波形６２と共に、表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示する。なお、図１４では、制御部３１が複数の対処方法を表示する例を示している。
複数の異常項目６１ａ～６１ｇが選択可能に表示部４０のスペクトルチェック情報６０に表示されている状態（図４参照）において、異常項目６１ｃ～６１ｇに対するマウスオーバー操作の選択操作、および、クリック操作による選択操作が受け付けられた場合も、異常項目６１ａおよび異常項目６１ｂと同様の制御処理が行われる。なお、制御部３１は、１段階目の複数の異常項目６１ａ～６１ｇに対する選択が決定された場合に、２段階目の異常項目、および、測定項目を表示せずに、選択された異常項目６１ａ～６１ｇに対応する参照スペクトル波形６２と共に、選択された異常項目６１ａ～６１ｇに対応する対処情報６３を表示部４０に表示するようにしてもよい。すなわち、制御部３１は、選択された異常項目６１ａ～６１ｇのいずれかに応じて、２段階目の異常項目を選択可能に表示する制御、測定内容の質問である測定項目を選択可能に表示する制御、および、選択された異常項目６１ａ～６１ｇに対応する対処情報６３を表示する制御のうちの少なくとも１つを実行する。
（第１実施形態によるスペクトル分析方法）
次に、図１５を参照して、第１実施形態によるスペクトル分析システム１００を用いたスペクトル分析方法の処理フローについて説明する。第１実施形態のスペクトル分析方法は、コンピュータ３０の制御部３１による制御処理によって実行される。
まず、ステップ３０１において、分析条件が設定される。たとえば、操作部５０に対する入力操作に基づいて、反射法、透過法、および、ＡＴＲ法の３種類の測定方法のうちのいずれかの選択が受け付けられる。そして、吸光度表示と透過率表示とのいずれかの選択が受け付けられる。
次に、ステップ３０２において、測定スペクトル波形４１が表示部４０に表示される。具体的には、光源部１０による赤外光を出射させるとともに、検査対象１０１に照射された赤外光が測定部２０の検出部２１により検出される。そして、検出部２１からの検出信号が、測定結果として取得される。そして、取得された測定結果に基づいて測定スペクトル波形４１が表示部４０に表示される。
次に、ステップ３０３において、スペクトルチェック処理を実行するための入力操作が受け付けられたか否かが判断される。スペクトルチェック処理を実行するための入力操作が受け付けられたと判断された場合には、ステップ３０５に進む。スペクトルチェック処理を実行するための入力操作が受け付けられたと判断されない場合には、制御処理が待機される。
ステップ３０４では、表示部４０にスペクトルチェック情報６０が表示され、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇが選択可能に表示される。
ステップ３０５では、表示部４０に表示された複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇに対する選択操作が受け付けられたか否かが判断される。具体的には、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのうちの一つに対するマウスオーバー操作の選択操作が実行されたか否かが判断される。複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇに対する選択操作が受け付けられたと判断された場合は、ステップ３０６に進む。複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇに対する選択操作が受け付けられたと判断されない場合は、制御処理が待機される。
ステップ３０６では、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇの各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２が、表示部４０において、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇの各々に対して表示される。具体的には、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのうちの選択された項目に対応する参照スペクトル波形６２が表示部４０に表示される。なお、ポインタが移動されることにより選択された項目に対するマウスオーバー操作が終了された場合には、参照スペクトル波形６２の表示が終了され、ステップ３０５に戻る。
そして、ステップ３０７では、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのうちのいずれかの選択が決定されたか否かが判断される。具体的には、表示部４０に表示された複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇに対してマウスオーバー操作が行われている状態で、選択を決定するクリック操作が行われたか否かが判断される。複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのうちのいずれかの選択が決定されたと判断された場合には、選択された異常項目に応じて、ステップ３０８、ステップ３０９、または、ステップ３１０に進む。複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのうちのいずれかの選択が決定されたと判断されない場合には、制御処理が待機される。
ステップ３０８では、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのうちの選択された項目に対応する２段階目の複数の異常項目が選択可能に表示される。この場合には、ステップ３０５およびステップ３０６と同様に、２段階目の複数の異常項目に対する選択操作が受け付けられたか否かが判断されるとともに、２段階目の複数の異常項目に対する選択操作が受け付けられたと判断された場合には、選択された異常項目に対応する参照スペクトル波形６２が表示部４０に表示される。その状態において、２段階目の異常項目に対する選択を決定するクリック操作が受け付けられたと判断された場合には、選択された２段階目の異常項目に応じて、ステップ３０９またはステップ３１０に進む。
ステップ３０９では、ステップ３０７において選択された１段階目の異常項目、または、ステップ３０８において選択された２段階目の異常項目に応じて、測定の内容を質問する測定項目が選択可能に表示部４０に表示される。測定項目の選択が受け付けられたと判断された場合には、ステップ３１０に進む。
ステップ３１０では、参照スペクトル波形６２と共に、対処情報６３が表示部４０に表示される。具体的には、ステップ３０７において選択された１段階目の異常項目、ステップ３０８において選択された２段階目の異常項目、および、ステップ３０９において選択された測定項目に対応する参照スペクトル波形６２と共に、ステップ３０７において選択された１段階目の異常項目、ステップ３０８において選択された２段階目の異常項目、および、ステップ３０９において選択された測定項目に対応する対処情報６３が表示部４０に表示される。
（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第１実施形態では、上記のように、複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）を、表示部４０において、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対して表示する。これにより、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々ごとに、異常状態における表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２が表示部４０に表示されるため、表示された参照スペクトル波形６２を視覚的に認識することによって異常状態の種類ごとに応じた表示態様を容易に認識することができる。そのため、測定スペクトル波形４１と参照スペクトル波形６２とを比較することによって、複数の異常項目６１ａ～６１ｇのうちから、測定スペクトル波形４１に発生している異常状態に対応する異常項目６１ａ～６１ｇを容易に判別することができる。その結果、測定結果に基づく測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザにとっても、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類を容易に判別することができる。
また、上記第１実施形態では、以下のように構成したことによって、更なる効果が得られる。
すなわち、第１実施形態では、上記のように、スペクトル分析システム１００は、表示部４０に表示された複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）のうちから一の異常項目６１ａ～６１ｇを選択する選択操作を受け付ける操作部５０を備える。制御部３１は、操作部５０により受け付けられた選択操作に基づいて、選択された一の異常項目６１ａに対応する参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）を、表示部４０に表示する。このように構成すれば、選択された一の異常項目６１ａ～６１ｇに対応する参照スペクトル波形６２が表示部４０に表示されるため、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対応する参照スペクトル波形６２の全てが表示部４０に表示される場合に比べて、表示部４０の表示が複雑になることを抑制することができる。そのため、表示された参照スペクトル波形６２の視認性が低下することを抑制することができるので、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類をより容易に判別することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、制御部３１は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）のうちから選択された一の異常項目６１ａ～６１ｇに対して、さらに異常状態の種類を特定するための複数の異常項目６１ｈ～６１ｊ（第２異常項目）を選択可能に表示部４０に表示するとともに、複数の異常項目６１ｈ～６１ｊの各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２（第２参照スペクトル波形）を、表示部４０において、複数の異常項目６１ｈ～６１ｊの各々に対して表示する。このように構成すれば、一の異常項目６１ａ～６１ｇを選択した後に、さらに、異常項目６１ｈ～６１ｊを選択することによって、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類を段階的に絞り込むように特定することができる。そのため、測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザであっても、異常状態の種類をより容易に、かつ、正確に判別することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、制御部３１は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々ごとに、測定スペクトル波形４１における異常状態の種類に対応する注目領域６２ｃを識別可能に示した状態の参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）を表示部４０に表示する。このように構成すれば、参照スペクトル波形６２において注目領域６２ｃが識別可能に示されているため、参照スペクトル波形６２における注目領域６２ｃを視認することによって、異常状態を識別するために測定スペクトル波形４１のうちのいずれの領域を注目する必要があるのかを容易に識別することができる。その結果、測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザであっても、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類をより容易に判別することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、スペクトル分析システム１００は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々ごとに、異常状態の種類に対応して予め設定されたサンプル波形である複数の参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）を記憶する記憶部３２を備える。制御部３１は、測定スペクトル波形４１とは別個に、記憶部３２に記憶された複数の参照スペクトル波形６２の各々を、表示部４０において、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対して表示する。このように構成すれば、異常状態における表示態様を特徴的に表したサンプル波形を参照スペクトル波形６２として予め設定することができるので、測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザであっても、参照スペクトル波形６２を視認することによって、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの意味する内容を容易に、かつ、正確に理解することができる。そのため、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類をより一層容易に判別することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、制御部３１は、複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々に対応する参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）と共に、複数の異常項目６１ａ～６１ｇに対応する異常状態の対処方法を示す対処情報６３を、表示部４０に表示する。このように構成すれば、参照スペクトル波形６２と共に対処情報６３が表示されているため、異常状態の表示態様を示した参照スペクトル波形６２を視認しながら、対処情報６３を視認することによって異常状態の対処方法を確認することができる。そのため、測定スペクトル波形４１に発生している異常の種類を容易に判別しながら、発生している異常に対する対処方法を容易に認識することができるので、どのような異常状態に対してどのような対処を行うべきかを容易に認識することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、制御部３１は、予め設定された分析条件に基づいて、表示部４０に表示される複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の種類を変更するように構成されている。このように構成すれば、分析条件ごとに表示される異常項目６１ａ～６１ｇの種類が変更されるため、設定された分析条件に対して不適切な異常項目６１ａ～６１ｇが表示されることを抑制することができる。そのため、複数の異常項目６１ａ～６１ｇのうちから適切な異常項目６１ａ～６１ｇをより容易に選択することができるので、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類をより容易に判別することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、制御部３１は、測定スペクトル波形４１のうちのピーク部分の表示における異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ｆおよび６１ｇ（第１異常項目）と、測定スペクトル波形４１のうちのベースライン部分の表示における異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ａ～６１ｅ（第１異常項目）とを、選択可能に別個に表示部４０に表示するとともに、ピーク部分とベースライン部分とにおける複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対応する参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）を、表示部４０において、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対して表示する。このように構成すれば、測定スペクトル波形４１のうちのピーク部分における異常状態と、ベースライン部分における異常状態とを別個に選択することができるので、測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザであっても、ピーク部分とベースライン部分とのいずれに注目すればよいかをより容易に判断することができる。そのため、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類をより容易に判別することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、制御部３１は、ピーク部分の飽和、ピーク部分の未検出、ピーク部分の形状の歪み、および、ピーク部分の反転のうちの少なくとも１つである、ピーク部分の飽和、および、ピーク部分の未検出を含む異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ｆおよび６１ｇ（第１異常項目）と、ベースライン部分におけるノイズ、ベースライン部分における干渉縞、ベースライン部分の位置の異常、および、ベースライン部分の形状の異常を含む異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ａ～６１ｅ（第１異常項目）とを選択可能に別個に表示部４０に表示する。このように構成すれば、ピーク部分の飽和、および、ピーク部分の未検出と、ベースライン部分におけるノイズ、ベースライン部分における干渉縞、ベースライン部分の位置の異常、および、ベースライン部分の形状の異常とを含む異常項目６１ａ～６１ｇのうちから、いずれの異常状態が生じているかを選択することができる。そのため、ピーク部分の飽和、および、ピーク部分の未検出と、ベースライン部分におけるノイズ、ベースライン部分における干渉縞、ベースライン部分の位置の異常、および、ベースライン部分の形状の異常とのうちから、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類を容易に判別することができる。
また、第１実施形態では、上記のように、測定部２０は、検査対象１０１に対して照射された赤外光を検出することによって、検査対象１０１に対する測定を行う。制御部３１は、赤外光の測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々に対して、参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）を表示する。このように構成すれば、赤外光の測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザにとっても、赤外光の測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類を容易に判別することができる。
（第１実施形態によるスペクトル分析方法の効果）
本実施形態のスペクトル分析方法では、以下のような効果を得ることができる。
本実施形態のスペクトル分析方法では、複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々に対応する異常状態の表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２（第１参照スペクトル波形）を、表示部４０において、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々に対して表示する。これにより、複数の異常項目６１ａ～６１ｇの各々ごとに、異常状態における表示態様を参照するための参照スペクトル波形６２が表示部４０に表示されるため、表示された参照スペクトル波形６２を視覚的に認識することによって異常状態の種類ごとに応じた表示態様を容易に認識することができる。そのため、測定スペクトル波形４１と参照スペクトル波形６２とを比較することによって、複数の異常項目６１ａ～６１ｇのうちから、測定スペクトル波形４１に発生している異常状態に対応する異常項目６１ａ～６１ｇを容易に判別することができる。その結果、測定結果に基づく測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザにとっても、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類を容易に判別することが可能なスペクトル分析方法を提供することができる。
［第２実施形態］
図１６および図１７を参照して、第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、予め設定されたサンプル波形である参照スペクトル波形６２が表示される第１実施形態と異なり、測定結果に基づく測定スペクトル波形４１を参照スペクトル波形２６２として表示する。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。
（第２実施形態によるスペクトル分析システムの構成）
図１６に示すように、第２実施形態によるスペクトル分析システム２００は、コンピュータ２３０を備えている。コンピュータ２３０は、制御部２３１を含む。制御部２３１は、第１実施形態の制御部３１と同様に、たとえば、ＣＰＵなどの演算装置を含み、スペクトル分析システム２００の全体の動作を制御する。
図１７に示すように、制御部２３１は、第１実施形態の制御部３１と同様に、スペクトルチェック処理が実行された場合に、スペクトルチェック情報２６０を表示部４０に表示する。第２実施形態では、制御部２３１は、注目領域６２ｃを識別可能に示した状態の測定結果に基づく測定スペクトル波形４１を、参照スペクトル波形２６２として表示部４０に表示する。制御部２３１は、第１実施形態と同様に、スペクトルチェック処理を実行する入力操作が受け付けられた場合に、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇを選択可能に表示部４０に表示する。そして、制御部２３１は、第１実施形態と同様に、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのいずれかに対するマウスオーバー操作の選択操作が受け付けられた場合には、選択された項目に対応する参照スペクトル波形２６２を表示部４０に表示する。制御部２３１は、測定結果に基づく測定スペクトル波形４１に対して、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇのうちの選択された項目に対応する注目領域６２ｃを重畳させて表示する。
具体的には、制御部２３１は、複数の異常項目６１ａ～異常項目６１ｇに対応するように、測定スペクトル波形４１に基づいて注目領域６２ｃの範囲を設定する。たとえば、制御部２３１は、ベースライン部分におけるノイズが大きいという異常項目６１ａに対応する注目領域６２ｃを設定する場合には、測定スペクトル波形４１のうちの、縦軸の絶対値が０から所定のノイズしきい値の大きさである範囲を、注目領域６２ｃとして設定する。
なお、制御部２３１は、２段階目の異常項目に対応するように参照スペクトル波形２６２を表示する場合にも、同様に、測定スペクトル波形４１に基づいて、注目領域６２ｃを設定することによって参照スペクトル波形２６２を生成する。
なお、第２実施形態によるスペクトル分析システム２００のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第２実施形態では、上記のように、制御部２３１は、注目領域６２ｃを識別可能に示した状態の測定結果に基づく測定スペクトル波形４１を参照スペクトル波形２６２（第１参照スペクトル波形）として表示部４０に表示する。このように構成すれば、実際に測定された測定結果に基づいて生成された測定スペクトル波形４１に対して、異常状態が生じた場合に注目するべき領域である注目領域６２ｃが識別可能に示されているため、ユーザは、実際の測定スペクトル波形４１において、異常状態に対処するためにいずれの領域に注目すればよいかを、より直感的に認識することができる。その結果、測定結果に基づく測定スペクトル波形４１の解析に不慣れなユーザにとっても、測定スペクトル波形４１の表示における異常状態の種類をより容易に判別することができる。
なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
たとえば、上記第１および第２実施形態では、透過法による測定のうちの吸光度表示における測定スペクトル波形４１の表示、および、スペクトルチェック処理が行われる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、吸光度表示ではなく、透過率表示において、スペクトルチェック処理の実行が行われるようにしてもよい。その場合には、透過率表示に対応する複数の異常項目（第１異常項目）が表示される。透過法における透過率表示の分析条件の場合には、たとえば、ベースライン部分において、「透過率が１００％を超えている」「１０００ｃｍ－１以下の波数領域が下降している」および「ベースラインの位置が１００％よりも小さい値である」などのベースライン部分の第１異常項目と、「最も強いピーク強度が０％に達して飽和している」および「サンプル由来のピークが検出されていない」などのピーク部分の第１異常項目とが含まれる。
また、透過法ではなく、反射法、または、ＡＴＲ法による測定を分析条件として設定して、測定スペクトル波形４１の表示、および、スペクトルチェック処理が行われるようにしてもよい。反射法の測定が設定されている場合には、たとえば、ピーク部分の異常状態を示す「最も強いピークが吸光度表示で０．０１Ａｂｓ以下で非常に小さい」「ピークが歪んでいる」および「ピークが反転している」などの複数の第１異常項目を選択可能に表示するようにしてもよい。また、ＡＴＲ法の測定が設定されている場合には、ベースライン部分の異常状態を示す「ベースラインの位置が低数側ほど大きい値である」、および、ピーク部分の異常状態を示す「逆向きのピークがある」などの複数の第１異常項目を選択可能に表示するようにしてもよい。反射法およびＡＴＲ法の測定を分析条件として設定する場合にも、透過法の場合と同様に、複数の第１異常項目の各々に対応する参照スペクトル波形（第１参照スペクトル波形）と、複数の第２異常項目の各々に対応する参照スペクトル波形（第２参照スペクトル波形）とが選択された項目に応じて表示部に表示される。
また、上記第１および第２実施形態では、マウスオーバー操作の選択操作が受け付けられた場合に、選択された異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々に対応する参照スペクトル波形６２、２６２（第１参照スペクトル波形）を表示する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、選択可能に表示された複数の第１異常項目の各々と並べて第１参照スペクトル波形を表示するようにしてもよい。すなわち、第１参照スペクトル波形が並んで表示された状態で、複数の第１異常項目が選択可能に表示されていてもよい。また、複数の第１異常項目に対するクリック操作が受け付けられた場合に、第１参照スペクトル波形を表示するようにしてもよい。
また、上記第１および第２実施形態では、参照スペクトル波形６２、２６２（第１参照スペクトル波形、および、第２参照スペクトル波形）において、異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）の各々における異常状態の特徴を示す異常波形６２ａと、異常状態が発生していない場合を示す正常波形６２ｂとに対して、注目領域６２ｃの範囲を色付けすることによって注目領域６２ｃを識別可能に示す例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、注目領域を囲うように表示することによって注目領域を識別可能に示すようにしてもよい。また、異常状態の特徴を示す異常波形のみを表示するとともに、注目領域を識別可能に示すようにしてもよい。また、第１参照スペクトル波形、および、第２参照スペクトル波形の少なくとも一方において、注目領域を識別可能に示さなくてもよい。
また、上記第１および第２実施形態では、予め設定された分析条件に応じて表示される複数の異常項目６１ａ～６１ｇ（第１異常項目）が変更される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、分析条件に応じて第１異常項目の種類を変更しないようにしてもよい。
また、上記第１および第２実施形態では、ベースライン部分におけるノイズ、ベースライン部分における干渉縞、ベースライン部分の位置の異常、および、ベースライン部分の形状の異常を含む異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ａ～６１ｅ（第１異常項目）と、ピーク部分の飽和、および、ピーク部分の未検出の異常状態の種類を示す複数の異常項目６１ｆおよび６１ｇ（第１異常項目）とを選択可能に表示部４０に表示する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ピーク部分の飽和、ピーク部分の未検出、ピーク部分の形状の歪み、および、ピーク部分の反転のうちの少なくとも１つを含む異常状態の種類を示す複数の第１異常項目と、ベースライン部分におけるノイズ、ベースライン部分における干渉縞、ベースライン部分の位置の異常、および、ベースライン部分の形状の異常のうちの少なくとも１つを含む異常状態の種類を示す複数の第１異常項目とを選択可能に別個に表示部に表示するようにしてもよい。
また、上記第２実施形態では、測定結果に基づく測定スペクトル波形４１を参照スペクトル波形２６２（第１参照スペクトル波形）として表示する場合において、測定スペクトル波形４１のうちの、縦軸の絶対値が０から所定のノイズしきい値の大きさである範囲を、ベースライン部分における「ノイズが大きい」という異常項目６１ａ（第１異常項目）に対応する注目領域６２ｃとして設定する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、測定結果に基づく測定スペクトル波形を第１参照スペクトル波形として表示する場合において、測定スペクトル波形に基づいて注目領域を設定するようにしてもよい。たとえば、ベースライン部分の位置の異常、および、ベースライン部分の形状の異常の少なくとも一方に対応する第１参照スペクトル波形を表示する場合には、測定スペクトル波形におけるベースライン部分を検出するとともに、検出されたベースライン部分の位置および形状を検出することによって、ベースライン部分における異常状態の種類に対応する注目領域を設定するようにしてもよい。ピーク部分の異常状態の種類に対応する注目領域を設定する場合も同様である。
また、上記第１および第２実施形態では、スペクトル分析システム１００（２００）によって、赤外顕微鏡である測定部２０による検査対象１０１の測定が行われる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、スペクトル分析システムによって、赤外顕微鏡を用いないＦＴＩＲによる検査対象の測定、ラマン分光法を用いた検査対象の測定、または、質量分析法による検査対象の測定が行われるようにしてもよい。
［態様］
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
（項目１）
検査対象に対する測定を行う測定部と、
前記測定部による測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示する表示部と、
前記測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を示す複数の第１異常項目を選択可能に前記表示部に表示する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記異常状態の表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示する、スペクトル分析システム。
（項目２）
前記表示部に表示された前記複数の第１異常項目のうちから一の第１異常項目を選択する選択操作を受け付ける操作部をさらに備え、
前記制御部は、前記操作部により受け付けられた選択操作に基づいて、選択された前記一の第１異常項目に対応する前記第１参照スペクトル波形を、前記表示部に表示する、項目１に記載のスペクトル分析システム。
（項目３）
前記制御部は、
前記複数の第１異常項目のうちから選択された前記一の第１異常項目に対して、さらに前記異常状態の種類を特定するための複数の第２異常項目を選択可能に前記表示部に表示するとともに、
前記複数の第２異常項目の各々に対応する前記異常状態の表示態様を参照するための第２参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第２異常項目の各々に対して表示する、項目２に記載のスペクトル分析システム。
（項目４）
前記制御部は、前記複数の第１異常項目の各々ごとに、前記測定スペクトル波形における前記異常状態の種類に対応する注目領域を識別可能に示した状態の前記第１参照スペクトル波形を前記表示部に表示する、項目１～３のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
（項目５）
前記制御部は、前記注目領域を識別可能に示した状態の前記測定結果に基づく前記測定スペクトル波形を前記第１参照スペクトル波形として前記表示部に表示する、項目４に記載のスペクトル分析システム。
（項目６）
前記複数の第１異常項目の各々ごとに、前記異常状態の種類に対応して予め設定されたサンプル波形である複数の前記第１参照スペクトル波形を記憶する記憶部をさらに備え、
前記制御部は、前記測定スペクトル波形とは別個に、前記記憶部に記憶された前記複数の第１参照スペクトル波形の各々を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示する、項目１～４のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
（項目７）
前記制御部は、前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記第１参照スペクトル波形と共に、前記複数の第１異常項目に対応する前記異常状態の対処方法を示す対処情報を、前記表示部に表示する、項目１～６のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
（項目８）
前記制御部は、予め設定された分析条件に基づいて、前記表示部に表示される前記複数の第１異常項目の種類を変更するように構成されている、項目１～７のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
（項目９）
前記制御部は、
前記測定スペクトル波形のうちのピーク部分の表示における前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目と、前記測定スペクトル波形のうちのベースライン部分の表示における前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目とを、選択可能に別個に前記表示部に表示するとともに、
前記ピーク部分と前記ベースライン部分とにおける前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記第１参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示する、項目１～８のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
（項目１０）
前記制御部は、前記ピーク部分の飽和、前記ピーク部分の未検出、前記ピーク部分の形状の歪み、および、前記ピーク部分の反転のうちの少なくとも１つを含む前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目と、前記ベースライン部分におけるノイズ、前記ベースライン部分における干渉縞、前記ベースライン部分の位置の異常、および、前記ベースライン部分の形状の異常のうちの少なくとも１つを含む前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目とを選択可能に別個に前記表示部に表示する、項目９に記載のスペクトル分析システム。
（項目１１）
前記測定部は、前記検査対象に対して照射された赤外光を検出することによって、前記検査対象に対する測定を行い、
前記制御部は、赤外光の前記測定スペクトル波形の表示における前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目の各々に対して、前記第１参照スペクトル波形を表示する、項目１～１０のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
（項目１２）
検査対象に対する測定の測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示部に表示するステップと、
前記測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を示す複数の第１異常項目を選択可能に前記表示部に表示するステップと、
前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記異常状態の表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示するステップと、を備える、スペクトル分析方法。
２０ 測定部
３１、２３１ 制御部
３２ 記憶部
４０ 表示部
４１ 測定スペクトル波形
６１ａ、６１ｂ、６１ｃ、６１ｄ、６１ｅ、６１ｆ、６１ｇ 異常項目（第１異常項目）
６１ｈ、６１ｉ、６１ｊ 異常項目（第２異常項目）
６２ 参照スペクトル波形（第１参照スペクトル波形、第２参照スペクトル波形）
６２ｃ 注目領域
６３ 対処情報
１００、２００ スペクトル分析システム
２６２ 参照スペクトル波形（第１参照スペクトル波形）

Claims (12)

  1. 検査対象に対する測定を行う測定部と、
    前記測定部による測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示する表示部と、
    前記測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を示す複数の第１異常項目を選択可能に前記表示部に表示する制御部と、を備え、
    前記制御部は、前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記異常状態の表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示する、スペクトル分析システム。
  2. 前記表示部に表示された前記複数の第１異常項目のうちから一の第１異常項目を選択する選択操作を受け付ける操作部をさらに備え、
    前記制御部は、前記操作部により受け付けられた選択操作に基づいて、選択された前記一の第１異常項目に対応する前記第１参照スペクトル波形を、前記表示部に表示する、請求項１に記載のスペクトル分析システム。
  3. 前記制御部は、
    前記複数の第１異常項目のうちから選択された前記一の第１異常項目に対して、さらに前記異常状態の種類を特定するための複数の第２異常項目を選択可能に前記表示部に表示するとともに、
    前記複数の第２異常項目の各々に対応する前記異常状態の表示態様を参照するための第２参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第２異常項目の各々に対して表示する、請求項２に記載のスペクトル分析システム。
  4. 前記制御部は、前記複数の第１異常項目の各々ごとに、前記測定スペクトル波形における前記異常状態の種類に対応する注目領域を識別可能に示した状態の前記第１参照スペクトル波形を前記表示部に表示する、請求項１～３のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
  5. 前記制御部は、前記注目領域を識別可能に示した状態の前記測定結果に基づく前記測定スペクトル波形を前記第１参照スペクトル波形として前記表示部に表示する、請求項４に記載のスペクトル分析システム。
  6. 前記複数の第１異常項目の各々ごとに、前記異常状態の種類に対応して予め設定されたサンプル波形である複数の前記第１参照スペクトル波形を記憶する記憶部をさらに備え、
    前記制御部は、前記測定スペクトル波形とは別個に、前記記憶部に記憶された前記複数の第１参照スペクトル波形の各々を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示する、請求項１～３のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
  7. 前記制御部は、前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記第１参照スペクトル波形と共に、前記複数の第１異常項目に対応する前記異常状態の対処方法を示す対処情報を、前記表示部に表示する、請求項１～３のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
  8. 前記制御部は、予め設定された分析条件に基づいて、前記表示部に表示される前記複数の第１異常項目の種類を変更するように構成されている、請求項１～３のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
  9. 前記制御部は、
    前記測定スペクトル波形のうちのピーク部分の表示における前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目と、前記測定スペクトル波形のうちのベースライン部分の表示における前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目とを、選択可能に別個に前記表示部に表示するとともに、
    前記ピーク部分と前記ベースライン部分とにおける前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記第１参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示する、請求項１～３のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
  10. 前記制御部は、前記ピーク部分の飽和、前記ピーク部分の未検出、前記ピーク部分の形状の歪み、および、前記ピーク部分の反転のうちの少なくとも１つを含む前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目と、前記ベースライン部分におけるノイズ、前記ベースライン部分における干渉縞、前記ベースライン部分の位置の異常、および、前記ベースライン部分の形状の異常のうちの少なくとも１つを含む前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目とを選択可能に別個に前記表示部に表示する、請求項９に記載のスペクトル分析システム。
  11. 前記測定部は、前記検査対象に対して照射された赤外光を検出することによって、前記検査対象に対する測定を行い、
    前記制御部は、赤外光の前記測定スペクトル波形の表示における前記異常状態の種類を示す前記複数の第１異常項目の各々に対して、前記第１参照スペクトル波形を表示する、請求項１～３のいずれか１項に記載のスペクトル分析システム。
  12. 検査対象に対する測定の測定結果に基づく測定スペクトル波形を表示部に表示するステップと、
    前記測定スペクトル波形の表示における異常状態の種類を示す複数の第１異常項目を選択可能に前記表示部に表示するステップと、
    前記複数の第１異常項目の各々に対応する前記異常状態の表示態様を参照するための第１参照スペクトル波形を、前記表示部において、前記複数の第１異常項目の各々に対して表示するステップと、を備える、スペクトル分析方法。
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