JP2024077576A - メモリモジュール実装テストシステム及び方法 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 186
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 79
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 13
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 9
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F1/00—Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
- G06F1/16—Constructional details or arrangements
- G06F1/1613—Constructional details or arrangements for portable computers
- G06F1/1633—Constructional details or arrangements of portable computers not specific to the type of enclosures covered by groups G06F1/1615 - G06F1/1626
- G06F1/1656—Details related to functional adaptations of the enclosure, e.g. to provide protection against EMI, shock, water, or to host detachable peripherals like a mouse or removable expansions units like PCMCIA cards, or to provide access to internal components for maintenance or to removable storage supports like CDs or DVDs, or to mechanically mount accessories
- G06F1/1658—Details related to functional adaptations of the enclosure, e.g. to provide protection against EMI, shock, water, or to host detachable peripherals like a mouse or removable expansions units like PCMCIA cards, or to provide access to internal components for maintenance or to removable storage supports like CDs or DVDs, or to mechanically mount accessories related to the mounting of internal components, e.g. disc drive or any other functional module
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2863—Contacting devices, e.g. sockets, burn-in boards or mounting fixtures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/31712—Input or output aspects
- G01R31/31713—Input or output interfaces for test, e.g. test pins, buffers
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Abstract
【解決手段】本発明の実施例によるメモリモジュール実装テストシステムは、複数のメモリモジュールが所定パターンで位置したメモリモジュールアレイが積載されるテストトレイと、前記テストトレイが安着されることが可能であり、所定パターンに対応するソケットが形成されて前記メモリモジュールアレイに対するテストを行うテスターと、前記テストトレイを初期位置から、前記テストトレイが前記テスターに安着される安着位置に移送するトランスファと、前記安着位置に移送された前記メモリモジュールアレイをソケットに装着する装着器と、を含む。
【選択図】図1
Description
10:メモリモジュールアレイ
11:メモリモジュール
30:テストトレイ
31:インサート
100:ハンドラー
200:トランスファ
210:移送プレート
220:柱部材
230:支持部
231:スライド部材
232:支持プレート
233:回転プレート
234:出没部材
250:第1駆動部
251:第1軸駆動部
253:第2軸駆動部
255:第3軸駆動部
260:第2駆動部
270:角度調節センサ
271:測定波発信器
272:測定周波受信器
273:センサ駆動部
280:制御部
300:テスターアレイ
310:テスターラック
311:支持ラック
320:装着器
321:装着器駆動部
330:テスター
331:ソケット
332:マザーボード
340:リニアガイド
351、352、352a、352b:座標識別子
Claims (10)
- 複数のメモリモジュールが所定のパターンで位置したメモリモジュールアレイが積載されるテストトレイ;
前記テストトレイが安着されることが可能であり、前記所定のパターンに対応するソケットが形成されて前記メモリモジュールアレイに対するテストを行うテスター;
前記テストトレイを初期位置から、前記テストトレイが前記テスターに安着される安着位置に移送するトランスファ;及び
前記安着位置に移送された前記メモリモジュールアレイを前記ソケットに装着する装着器;を含み、
前記トランスファは、
前記初期位置に位置した前記テストトレイを支持する支持部;
前記支持部を前記初期位置から前記安着位置に移送する第1駆動部;
前記支持部を回転させる第2駆動部;
前記メモリモジュールアレイと前記ソケットとが整列されるために、前記支持部が回転すべき調節角を把握する角度調節センサ;及び
前記支持部が前記安着位置に移送され、前記調節角に対応して回転するように、前記第1駆動部と前記第2駆動部とを制御する制御部;を含む、テストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記角度調節センサは、
前記ソケットに隣接して位置し、前記ソケットの配置状態を案内する2つの設定領域を認識して前記調節角を把握する、請求項1に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記2つの設定領域は、隣接する領域より突出または陥没し、
前記角度調節センサは、
前記2つの設定領域を含む領域をスキャンして距離を測定し、スキャンされた領域において周辺に比べて臨界的な距離差を有する2つの領域を前記2つの設定領域と認識する、請求項2に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記2つの設定領域は、隣接する領域より突出または陥没し、
前記角度調節センサは、
前記2つの設定領域のいずれか1つを含む第1領域と、前記2つの設定領域のうち他の1つを含む第2領域と、をそれぞれスキャンして距離を測定し、
前記第1領域と前記第2領域とにおいて周辺に比べて臨界的な距離差を有する2つの領域を前記2つの設定領域に認識する、請求項2に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記2つの設定領域には、光学的に認識可能なマーカーが配置され、
前記角度調節センサは、前記マーカーから反射された光に基づいて前記2つの設定領域を認識する、請求項2に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記初期位置と前記安着位置とは第1軸、第2軸及び第3軸による座標が異なり、
前記第1駆動部は、
第1軸に沿って前記支持部を移送する第1軸駆動部;
第2軸に沿って前記支持部を移送する第2軸駆動部;及び
第3軸に沿って前記支持部を移送する第3軸駆動部;を含む、請求項2に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記テストトレイは、第1軸及び第2軸に沿って移動した後、第3軸に沿って前記安着位置に進入し、
前記2つの設定領域は、
前記2つの設定領域を連結する仮想の線が前記第3軸に予め設定された角度を形成するように位置される、請求項6に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記トランスファは、
前記第1軸駆動部が前記支持部を移送するように、第1軸に沿って形成されたレールをさらに含み、
前記テスターは複数備えられ、複数の前記テスターは前記レールの両側に前記レールの長さ方向に沿って配列され、
前記制御部は、予め設定された順にそれぞれの前記テスターに前記テストトレイを安着させる、請求項6に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 前記テストトレイには前記メモリモジュールがそれぞれ挿入される複数の貫通スリートが形成され、
前記装着器は、
前記貫通スリートの一側において前記メモリモジュールアレイをプレスして、前記貫通スリートの他側に位置した前記ソケットに前記メモリモジュールアレイを装着させる、請求項1に記載のテストトレイ整列機能を有するメモリモジュール実装テストシステム。 - 複数のメモリモジュールが所定のパターンで位置したメモリモジュールアレイがテストトレイに積載される段階;
トランスファが前記所定のパターンに対応するソケットが形成されたテスターに前記テストトレイを移送する段階;
前記メモリモジュールアレイがソケットに整列されるように、前記トランスファが前記テストトレイを回転する段階;及び
装着器が前記メモリモジュールアレイを前記ソケットに装着して、前記テスターにより前記メモリモジュールアレイに対するテストが行われる段階;を含む、メモリモジュール実装テスト方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2022-0162025 | 2022-11-28 | ||
KR1020220162025A KR102807992B1 (ko) | 2022-11-28 | 2022-11-28 | 메모리모듈 실장 테스트 시스템 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024077576A true JP2024077576A (ja) | 2024-06-07 |
JP7633314B2 JP7633314B2 (ja) | 2025-02-19 |
Family
ID=91191677
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023107327A Active JP7633314B2 (ja) | 2022-11-28 | 2023-06-29 | メモリモジュール実装テストシステム及び方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20240176399A1 (ja) |
JP (1) | JP7633314B2 (ja) |
KR (1) | KR102807992B1 (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000200810A (ja) * | 1999-01-07 | 2000-07-18 | Micronics Japan Co Ltd | プロ―バ |
US7049577B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-05-23 | Teradyne, Inc. | Semiconductor handler interface auto alignment |
US7884631B2 (en) * | 2009-02-25 | 2011-02-08 | Kingston Technology Corp. | Parking structure memory-module tester that moves test motherboards along a highway for remote loading/unloading |
JP6040529B2 (ja) | 2012-01-17 | 2016-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | ハンドラーおよび検査装置 |
KR102096317B1 (ko) * | 2017-03-03 | 2020-04-02 | (주)인스케이프 | 공정 유닛 |
US11143697B2 (en) * | 2017-04-28 | 2021-10-12 | Advantest Corporation | Automated handling of different form factor devices under test in test cell |
KR20200121188A (ko) * | 2019-04-15 | 2020-10-23 | 주식회사 아테코 | 핸드 티칭 기능이 구비된 전자부품 테스트 핸들러 및 이를 이용한 핸드 티칭 방법 |
KR102249307B1 (ko) * | 2019-08-12 | 2021-05-07 | 주식회사 아테코 | 메모리 실장 테스트 장치 |
KR102270587B1 (ko) | 2019-10-14 | 2021-06-30 | 주식회사 아테코 | 프리사이저 및 이를 이용한 테스트 핸들러 |
KR102329230B1 (ko) | 2020-01-06 | 2021-11-22 | 주식회사 아테코 | 메모리 모듈 실장 테스트 장치 |
US11587640B2 (en) * | 2021-03-08 | 2023-02-21 | Advantest Test Solutions, Inc. | Carrier based high volume system level testing of devices with pop structures |
KR102621338B1 (ko) * | 2022-06-17 | 2024-01-05 | 팸텍주식회사 | 카메라모듈 검사 시스템 및 시스템의 동작방법 |
-
2022
- 2022-11-28 KR KR1020220162025A patent/KR102807992B1/ko active Active
-
2023
- 2023-06-27 US US18/341,862 patent/US20240176399A1/en active Pending
- 2023-06-29 JP JP2023107327A patent/JP7633314B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102807992B1 (ko) | 2025-05-19 |
KR20240079076A (ko) | 2024-06-04 |
JP7633314B2 (ja) | 2025-02-19 |
US20240176399A1 (en) | 2024-05-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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