JP2024071867A - ロボットの制御方法およびロボットシステム - Google Patents

Abstract

【課題】被搬送物のこぼれを低減することのできるロボットの制御方法およびロボットシステムを提供する。【解決手段】ロボットアームと、被搬送物を備えるワークを保持するツールと、前記ロボットアームと前記ツールとの間に配置されている力検出部と、を有するロボットの制御方法であって、前記ロボットアームを動かして、前記ワークを第１方向に移動させる移動工程と、前記移動中に前記ワークに加わる重力および慣性力の合力の向きを算出する算出工程と、前記合力の向きに沿うように前記ワークの姿勢を変化させる姿勢制御工程と、を含む。【選択図】図５

Description

本発明は、ロボットの制御方法およびロボットシステムに関する。

特許文献１には、容器内の液体を溢さずに搬送することができるロボット装置が記載されている。このようなロボット装置は、液体入りの容器を搬送する際に、容器およびロボットの姿勢を、液体にかかる重力加速度ベクトルと加速する方向の反対方向にかかる慣性加速度ベクトルを考慮して重力加速度ベクトルと慣性加速度ベクトルの合成加速度ベクトルを算出し、この合成加速度ベクトルの方向を指標に用いて、適正な搬送姿勢を求め、求めた適正搬送姿勢が実現されるようにロボットの姿勢を制御する。

特開２００５－００１０５５号公報

しかしながら、特許文献１のロボット装置では、事前に液体の重力加速度を求めて設定する必要があり、決まった液体でなければ溢さずに搬送することができないという問題がある。

本発明のロボットの制御方法は、ロボットアームと、被搬送物を備えるワークを保持するツールと、前記ロボットアームと前記ツールとの間に配置されている力検出部と、を有するロボットの制御方法であって、
前記ロボットアームを動かして、前記ワークを第１方向に移動させる移動工程と、
前記移動中に前記ワークに加わる重力および慣性力の合力の向きを算出する算出工程と、
前記合力の向きに沿うように前記ワークの姿勢を変化させる姿勢制御工程と、を含む。

本発明のロボットシステムは、ロボットアームと、被搬送物を備えるワークを保持するツールと、前記ロボットアームと前記ツールとの間に配置されている力検出部と、を有するロボットと、
前記ロボットの駆動を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記ロボットアームを動かして前記ワークを第１方向に移動させ、前記移動中に前記ワークに加わる重力および慣性力の合力の向きを算出し、前記合力の向きに沿うように前記ワークの姿勢を変化させる。

第１実施形態に係るロボットシステムの構成図である。 ワークおよび移動時のワークの変位を示す図である。 制御装置のブロック部である。 姿勢制御によって容器の姿勢を合力の向きに沿わせた状態を示す図である。 ロボットの制御方法を示すフローチャートである。 第２実施形態に係るワークおよび被搬送物を示す図である。 第３実施形態に係るワークおよび被搬送物を示す図である。 第４実施形態に係るワークおよび被搬送物を示す図である。

以下、本発明のロボットの制御方法およびロボットシステムを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係るロボットシステムの構成図である。図２は、ワークおよび移動時のワークの変位を示す図である。図３は、制御装置のブロック部である。図４は、姿勢制御によって容器の姿勢を合力の向きに沿わせた状態を示す図である。図５は、ロボットの制御方法を示すフローチャートである。

図１に示すロボットシステム１は、被搬送物Ｑを備えるワークＷを保持するロボット２と、ロボット２の駆動を制御する制御装置３と、を有する。

ロボット２は、駆動軸を６つ有する６軸垂直多関節ロボットである。ロボット２は、ベース２１と、ベース２１に回動自在に連結されたロボットアーム２２と、ロボットアーム２２の先端に装着されたツール２３と、ロボットアーム２２とツール２３との間に配置された力検出部としての力センサー２４と、を有する。

また、ロボットアーム２２は、６本のアーム２２１、２２２、２２３、２２４、２２５、２２６が回動自在に連結されたロボティックアームであり、６つの関節Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３、Ｊ４、Ｊ５、Ｊ６を備えている。これら６つの関節Ｊ１～Ｊ６のうち、関節Ｊ２、Ｊ３、Ｊ５が曲げ関節であり、関節Ｊ１、Ｊ４、Ｊ６がねじり関節である。

関節Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３、Ｊ４、Ｊ５、Ｊ６には、それぞれ、モーターＭとエンコーダーＥとが設置されている。制御装置３は、ロボットシステム１の運転中、各関節Ｊ１～Ｊ６について、エンコーダーＥの出力が示す関節Ｊ１～Ｊ６の回転角度を目標位置Ｐｒｅｆに一致させるフィードバック制御を実行する。これにより、ツール２３で把持したワークＷを所望の軌道で搬送することができる。

また、ツール２３は、一対の爪部を有するハンドであり、一対の爪部でワークＷを挟持することによりワークＷを保持することができる。ただし、ツール２３の構成は、ワークＷを保持することができれば、特に限定されない。

また、力センサー２４は、互いに直交する３つの検出軸を有し、各検出軸に沿う並進力（軸力）および各検出軸まわりの回転力（トルク）をそれぞれ独立して検出することができる６軸力センサーである。

また、ワークＷは、被搬送物Ｑを備えている。図２に示すように、本実施形態のワークＷは、被搬送物Ｑを収容した容器Ｗ１である。容器Ｗ１は、上面に開口する凹部を有しており、凹部内に被搬送物Ｑが入れられている。容器Ｗ１に入れられた被搬送物Ｑは、液体Ｑ１である。液体Ｑ１としては、特に限定されず、例えば、水、アルコール飲料等の各種飲料や、薬品等が挙げられる。

以上、ロボット２について説明したが、ロボット２の構成は、特に限定されない。また、ベース２１が固定されていない自走式のロボットであってもよい。

前述したように、容器Ｗ１には液体Ｑ１が入れられている。そのため、ロボット２を動かして容器Ｗ１を搬送する際、搬送中に加わる力によって液体Ｑ１が揺れ、容器Ｗ１からこぼれてしまうおそれがある。そこで、制御装置３は、搬送中の液体Ｑ１のこぼれを抑制すべく、容器Ｗ１に加わる重力Ｆｇおよび慣性力Ｆｉの合力Ｆｎに基づいて搬送中の容器Ｗ１の姿勢を制御する。特に、液体Ｑ１は、形状が定まらずに不安定であるため、容器Ｗ１からこぼれ易い。そのため、制御装置３による容器Ｗ１の姿勢制御の効果がより顕著となる。

制御装置３は、ロボット２の駆動を制御する。制御装置３は、例えば、コンピューターから構成され、情報を処理するプロセッサー（ＣＰＵ）と、プロセッサーに通信可能に接続されたメモリーと、外部装置との接続を行う外部インターフェースと、を有する。メモリーにはプロセッサーにより実行可能な各種プログラムが保存され、プロセッサーは、メモリーに記憶されたプログラム等を読み込んで実行することができる。

このような制御装置３は、容器Ｗ１を搬送する際の液体Ｑ１のこぼれを低減するために姿勢制御を用いてロボット２の駆動を制御する。図３に示すように、制御装置３は、姿勢制御部３１と、指令統合部３３と、を有する。

また、姿勢制御部３１は、合力算出部３１１と、現姿勢検出部３１２と、姿勢制御補正量算出部３１３と、を有する。このような姿勢制御部３１は、容器Ｗ１の姿勢を液体Ｑ１のこぼれを効果的に抑制することができる姿勢に補正するための補正量を算出する機能を有する。具体的には、姿勢制御部３１は、容器Ｗ１の姿勢を、容器Ｗ１に加わる重力Ｆｇと慣性力Ｆｉとの合力Ｆｎの向きに沿うように容器Ｗ１の姿勢を補正する姿勢制御補正量ΔＰを算出し、算出した姿勢制御補正量ΔＰを指令統合部３３に出力する。

なお、以下では、図２に示すように、ロボットアーム２２を動かして、容器Ｗ１を第１方向Ａに移動させる場合について代表して説明する。なお、図の例では、第１方向Ａが水平方向であるが、第１方向Ａの向きは、特に限定されない。

まず、合力算出部３１１は、力センサー２４の出力に基づいて容器Ｗ１に加わる重力Ｆｇと、第１方向Ａへの移動により容器Ｗ１に加わる慣性力Ｆｉと、を算出する。重力Ｆｇは、例えば、図示しない載置台に置いてある容器Ｗ１を持ち上げる前後の力センサー２４の出力差から算出することができる。次に、合力算出部３１１は、重力Ｆｇと慣性力Ｆｉとの合力Ｆｎの向きを算出する。なお、合力算出部３１１は、合力Ｆｎの向きを算出することができれば、その構成や算出方法について特に限定されない。

現姿勢検出部３１２は、容器Ｗ１とツール２３との相対的位置関係と各エンコーダーＥの出力とに基づいて現在の容器Ｗ１の姿勢Ｐ、具体的には、容器Ｗ１の中心軸の向きを検出する。ただし、容器Ｗ１の向きを検出する方法は、特に限定されず、例えば、ロボット２の動作プログラムと現在時刻とに基づいて検出してもよい。

なお、容器Ｗ１とツール２３との相対的位置関係は、次のようにして取得することができる。まず、容器Ｗ１を既知の位置に、中心軸が鉛直方向に沿うように載置する。これにより、容器Ｗ１の位置および姿勢が既知となる。そして、ロボット２を動かしてツール２３で容器Ｗ１を保持し、保持したときのツール２３の姿勢を各エンコーダーＥの出力から検出する。これにより、容器Ｗ１とツール２３との相対的位置関係を求めることができる。

姿勢制御補正量算出部３１３は、合力算出部３１１で算出された合力Ｆｎの向きと現姿勢検出部３１２で検出された容器Ｗ１の姿勢Ｐとから、容器Ｗ１の姿勢Ｐを合力Ｆｎの向きに沿わせる、つまり、容器Ｗ１の中心軸を合力Ｆｎの向きに一致させるように容器Ｗ１の姿勢Ｐを補正する姿勢制御補正量ΔＰを算出する。姿勢制御補正量ΔＰは、容器Ｗ１の姿勢Ｐと合力Ｆｎの向きとの姿勢偏差を解消するために、容器Ｗ１が現姿勢から移動すべき量を意味する。

このような姿勢制御部３１は、容器Ｗ１の搬送が終了するまでの間、所定の周期で上述した姿勢制御補正量ΔＰを算出し、指令統合部３３へ出力する。

指令統合部３３は、フィードバック制御部３３１と、力制御補正量加算部３３２と、を有する。指令統合部３３は、目標位置Ｐｒｅｆと、姿勢制御部３１により算出された姿勢制御補正量ΔＰとを統合する。指令統合部３３は、統合した制御指令に応じた目標値を達成するように、ロボット２に操作量を出力する。

力制御補正量加算部３３２は、目標位置Ｐｒｅｆに姿勢制御補正量ΔＰを加算し、各モーターＭの指令位置Ｐｔｔを算出する。フィードバック制御部３３１は、各モーターＭの実際の回転角Ｄａを制御量として指令位置Ｐｔｔに制御するフィードバック制御を行う。フィードバック制御部３３１は、各エンコーダーＥの出力から回転角Ｄａを取得する。フィードバック制御部３３１は、回転角Ｄａ、指令位置Ｐｔｔから操作量Ｄｃを算出して、各モーターＭを制御する。

このような指令統合部３３は、容器Ｗ１の搬送が終了するまでの間、所定の周期で上述した操作量Ｄｃを算出し、各モーターＭを制御する。

このような制御装置３によれば、図４に示すように、容器Ｗ１の搬送中、容器Ｗ１の向きが合力Ｆｎの向きに沿うため、容器Ｗ１からの被搬送物Ｑのこぼれを効果的に抑制することができる。特に、容器Ｗ１の搬送が終了するまでの間、周期的に、姿勢制御を繰り返すことにより、容器Ｗ１からの被搬送物Ｑのこぼれをより効果的に抑制することができる。

以上、制御装置３について説明した。次に、図５に示すフローチャートを参照してロボットの制御方法について説明する。ロボットの制御方法は、ロボットアーム２２を動かして、容器Ｗ１を第１方向Ａに移動させる移動工程Ｓ１と、移動中に容器Ｗ１に加わる重力Ｆｇおよび慣性力Ｆｉの合力Ｆｎの向きを算出する算出工程Ｓ２と、合力Ｆｎの向きに沿うように容器Ｗ１の姿勢を変化させる姿勢制御工程Ｓ３と、を含む。なお、算出工程Ｓ２および姿勢制御工程Ｓ３は、移動工程Ｓ１中に周期的に繰り返して行われる。

［移動工程Ｓ１］
移動工程Ｓ１では、制御装置３は、ステップＳ１１として、ロボット２を動かしてツール２３で被搬送物Ｑが入れられた容器Ｗ１を保持する。この際、各エンコーダーＥの出力に基づいて、容器Ｗ１とツール２３との相対的関係を取得する。次に、制御装置３は、ステップＳ１２として、ロボットアーム２２を動かして、容器Ｗ１を目標位置Ｐｒｅｆに向けて第１方向Ａに移動させる。これにより、被搬送物Ｑの搬送が開始される。次に、制御装置３は、ステップＳ１３として、容器Ｗ１が目標位置Ｐｒｅｆに到達したかを判定する。制御装置３は、容器Ｗ１が目標位置Ｐｒｅｆに到達した場合は、ロボット２の制御を終了し、容器Ｗ１が目標位置Ｐｒｅｆに到達していない場合は、算出工程Ｓ２に移行する。

［算出工程Ｓ２］
算出工程Ｓ２では、制御装置３は、ステップＳ２１として、力センサー２４からの出力に基づいて容器Ｗ１に加わる重力Ｆｇと、第１方向Ａへの移動により生じる慣性力Ｆｉとを算出する。次に、制御装置３は、ステップＳ２２として、重力Ｆｇと慣性力Ｆｉとの合力Ｆｎの向きを算出する。また、制御装置３は、ステップＳ２１、Ｓ２２と並行して、ステップＳ２３として、各エンコーダーＥからの出力に基づいて現在の容器Ｗ１の姿勢Ｐを検出する。ただし、容器Ｗ１の姿勢を検出するタイミングは、特に限定されず、ステップＳ２１、Ｓ２２の前であってもよいし、後であってもよい。

［姿勢制御工程Ｓ３］
姿勢制御工程Ｓ３では、制御装置３は、ステップＳ３１として、合力Ｆｎの向きと容器Ｗ１の姿勢Ｐとに基づいて姿勢制御補正量ΔＰを算出する。次に、制御装置３は、ステップＳ３２として、姿勢制御補正量ΔＰと目標位置Ｐｒｅｆとに基づいて各モーターＭの指令位置Ｐｔｔを算出する。次に、制御装置３は、ステップＳ３３として、指令位置Ｐｔｔに基づいてロボット２の駆動を制御する。

このような制御方法によれば、目標位置Ｐｒｅｆへの移動中、容器Ｗ１の姿勢を合力Ｆｎの向きに沿わせることができる。すなわち、容器Ｗ１の姿勢を合力Ｆｎの向きに沿わせるとは、容器Ｗ１の底部を鉛直方向下方から合力Ｆｎの方向へ向きを変えることである。そのため、目標位置Ｐｒｅｆまでの移動中、被搬送物Ｑの容器Ｗ１からのこぼれを効果的に抑制することができる。特に、上述の制御方法によれば、事前に姿勢制御補正量を求めておく必要がないため、どのようなワークＷでも、かつ、どのような動作でも、移動中の被搬送物Ｑのこぼれを効果的に低減することができる。そのため、容易かつ利便性の高いロボットの制御方法となる。また、算出工程Ｓ２および姿勢制御工程Ｓ３を移動工程Ｓ１中、周期的に繰り返して行うため、移動中の合力Ｆｎの向きの変化に対応して容器Ｗ１の姿勢を逐次変化させることができる。そのため、移動中の被搬送物Ｑのこぼれを効果的に低減することができる。

以上、ロボットシステム１について説明した。このようなロボットシステム１に適用されたロボットの制御方法は、前述したように、ロボットアーム２２と、被搬送物Ｑを備えるワークＷとしての容器Ｗ１を保持するツール２３と、ロボットアーム２２とツール２３との間に配置されている力検出部としての力センサー２４と、を有するロボット２の制御方法であって、ロボットアーム２２を動かして容器Ｗ１を第１方向Ａに移動させる移動工程Ｓ１と、移動中に容器Ｗ１に加わる重力Ｆｇおよび第１方向Ａの慣性力Ｆｉの合力Ｆｎの向きを算出する算出工程Ｓ２と、合力Ｆｎの向きに沿うように容器Ｗ１の姿勢を変化させる姿勢制御工程Ｓ３と、を含む。このような制御方法によれば、容器Ｗ１の移動中、容器Ｗ１の姿勢を合力Ｆｎの向きに沿わせることができる。そのため、移動中の被搬送物Ｑのこぼれを効果的に抑制することができる。特に、上述の制御方法によれば、事前に姿勢制御補正量を求めておく必要がないため、どのようなワークＷでも、かつ、どのような動作でも、移動中の被搬送物Ｑのこぼれを効果的に低減することができる。そのため、容易かつ利便性の高いロボットの制御方法となる。

また、前述したように、ロボットの制御方法では、算出工程Ｓ２と姿勢制御工程Ｓ３とを移動工程Ｓ１中、周期的に繰り返して行う。これにより、移動中の合力Ｆｎの向きの変化に対応することができる。そのため、移動中の被搬送物Ｑのこぼれを効果的に低減することができる。

また、前述したように、被搬送物Ｑは、液体Ｑ１である。液体Ｑ１は、形状が定まらずに流動するため、こぼれ易い。そのため、上述したロボットの制御方法の効果がより顕著に発揮される。

また、前述したように、ロボットシステム１は、ロボットアーム２２と、被搬送物Ｑを備えるワークＷとしての容器Ｗ１を保持するツール２３と、ロボットアーム２２とツール２３との間に配置されている力検出部としての力センサー２４と、を有するロボット２と、ロボット２の駆動を制御する制御装置３と、を有する。そして、制御装置３は、ロボットアーム２２を動かして容器Ｗ１を第１方向Ａに移動させ、移動中に容器Ｗ１に加わる重力Ｆｇおよび慣性力Ｆｉの合力Ｆｎの向きを算出し、合力Ｆｎの向きに沿うように容器Ｗ１の姿勢を変化させる。このような構成によれば、容器Ｗ１の移動中、容器Ｗ１の姿勢を合力Ｆｎの向きに沿わせることができる。そのため、移動中の被搬送物Ｑのこぼれを効果的に抑制することができる。特に、上述の制御方法によれば、事前に姿勢制御補正量を求めておく必要がないため、どのようなワークＷでも、かつ、どのような動作でも、移動中の被搬送物Ｑのこぼれを効果的に低減することができる。そのため、容易かつ利便性の高いロボットシステム１となる。

＜第２実施形態＞
図６は、第２実施形態に係るワークおよび被搬送物を示す図である。

本実施形態に係るロボットシステム１は、ツール２３および被搬送物Ｑが異なること以外は、前述した第１実施形態のロボットシステム１と同様である。なお、以下の説明では、本実施形態のロボットシステム１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、本実施形態の図では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図６に示すように、本実施形態のロボットシステム１では、ワークＷがショベルＷ２で構成されている。また、ショベルＷ２は、ツール２３に連結されており、これにより、ツール２３に保持されている。また、被搬送物Ｑは、粉体Ｑ２である。本実施形態では、ショベルＷ２ですくった粉体Ｑ２を第１方向Ａへ搬送する。粉体Ｑ２は、前述した第１実施形態の液体Ｑ１と同様、形状が定まらずに不安定なため、第１方向Ａへの搬送中にショベルＷ２からこぼれるおそれがある。そこで、前述した第１実施形態と同様の方法によって移動中のショベルＷ２の姿勢を制御することにより、粉体Ｑ２のこぼれを効果的に抑制することができる。

以上のように、本実施形態では、被搬送物Ｑは、粉体Ｑ２である。粉体Ｑ２は、形状が定まらずに不安定なためこぼれ易い。そのため、上述したロボットの制御方法の効果がより顕著に発揮される。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態に係るワークおよび被搬送物を示す図である。

本実施形態に係るロボットシステム１は、ワークＷおよび被搬送物Ｑが異なること以外は、前述した第１実施形態のロボットシステム１と同様である。なお、以下の説明では、本実施形態のロボットシステム１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、本実施形態の図では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図７に示すように、本実施形態のロボットシステム１では、ワークＷがトレイＷ３であり、被搬送物ＱがトレイＷ３上に載置された複数の電子部品Ｑ３である。本実施形態では、ツール２３でトレイＷ３を保持して、複数の電子分品Ｑ３をまとめて第１方向Ａへ搬送する。電子部品Ｑ３は、トレイＷ３に載置されているだけなので、慣性力Ｆｉによって第１方向Ａへの搬送中にトレイＷ３からこぼれるおそれがある。

そこで、前述した第１実施形態と同様の方法により、移動中のトレイＷ３の姿勢を制御することにより、トレイＷ３上の電子部品Ｑ３のこぼれを効果的に抑制することができる。なお、電子部品Ｑ３としては、特に限定されないが、例えば、回路チップ、慣性センサー、振動子などの軽量かつ小型のものであるのが好ましい。これにより、電子部品Ｑ３がトレイＷ３からよりこぼれ易くなり、上述したロボットの制御方法の効果がより顕著となる。

以上のように、本実施形態では、被搬送物Ｑは、電子部品Ｑ３である。電子部品Ｑ３は、軽量で小型な場合が多く、トレイＷ３からこぼれ易い。そのため、上述したロボットの制御方法の効果がより顕著に発揮される。

このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

＜第４実施形態＞
図８は、第４実施形態に係るワークおよび被搬送物を示す図である。

本実施形態に係るロボットシステム１は、ワークＷおよび被搬送物Ｑが異なること以外は、前述した第１実施形態のロボットシステム１と同様である。なお、以下の説明では、本実施形態のロボットシステム１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、本実施形態の図では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。

図８に示すように、本実施形態のロボットシステム１では、ワークＷがウエハカセットＷ４であり、被搬送物ＱがウエハカセットＷ４にセットされた複数のシリコンウエハＱ４である。本実施形態では、ツール２３でウエハカセットＷ４を保持して、複数のシリコンウエハＱ４をまとめて第１方向Ａへ搬送する。シリコンウエハＱ４は、ウエハカセットＷ４に載置されているだけなので、慣性力Ｆｉによって第１方向Ａへの搬送中にウエハカセットＷ４からこぼれるおそれがある。そこで、前述した第１実施形態と同様の方法により、移動中のウエハカセットＷ４の姿勢を制御することにより、ウエハカセットＷ４上のシリコンウエハＱ４のこぼれを効果的に抑制することができる。

このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

以上、本発明のロボットの制御方法およびロボットシステムを図示の実施形態に基づいて説明したが本発明はこれに限定されるものではない。各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明に、任意の目的の工程が付加されたものであってもよい。

１…ロボットシステム、２…ロボット、２１…ベース、２２…ロボットアーム、２２１…アーム、２２２…アーム、２２３…アーム、２２４…アーム、２２５…アーム、２２６…アーム、２３…ツール、２４…力センサー、３…制御装置、３１…姿勢制御部、３１１…合力算出部、３１２…現姿勢検出部、３１３…姿勢制御補正量算出部、３３…指令統合部、３３１…フィードバック制御部、３３２…力制御補正量加算部、Ａ…第１方向、Ｄａ…回転角、Ｄｃ…操作量、Ｅ…エンコーダー、Ｆｇ…重力、Ｆｉ…慣性力、Ｆｎ…合力、Ｊ１…関節、Ｊ２…関節、Ｊ３…関節、Ｊ４…関節、Ｊ５…関節、Ｊ６…関節、Ｍ…モーター、Ｐ…姿勢、Ｐｒｅｆ…目標位置、Ｐｔｔ…指令位置、Ｑ…被搬送物、Ｑ１…液体、Ｑ２…粉体、Ｑ３…電子部品、Ｑ４…シリコンウエハ、Ｓ１…移動工程、Ｓ１１…ステップ、Ｓ１２…ステップ、Ｓ１３…ステップ、Ｓ２…算出工程、Ｓ２１…ステップ、Ｓ２２…ステップ、Ｓ２３…ステップ、Ｓ３…姿勢制御工程、Ｓ３１…ステップ、Ｓ３２…ステップ、Ｓ３３…ステップ、Ｗ…ワーク、Ｗ１…容器、Ｗ２…ショベル、Ｗ３…トレイ、Ｗ４…ウエハカセット、ΔＰ…姿勢制御補正量

Claims (6)

1. ロボットアームと、被搬送物を備えるワークを保持するツールと、前記ロボットアームと前記ツールとの間に配置されている力検出部と、を有するロボットの制御方法であって、
   前記ロボットアームを動かして、前記ワークを第１方向に移動させる移動工程と、
   前記移動中に前記ワークに加わる重力および慣性力の合力の向きを算出する算出工程と、
   前記合力の向きに沿うように前記ワークの姿勢を変化させる姿勢制御工程と、を含むことを特徴とするロボットの制御方法。
2. 前記算出工程と前記姿勢制御工程とを前記移動工程中、周期的に繰り返して行う請求項１に記載のロボットの制御方法。
3. 前記被搬送物は、液体である請求項１に記載のロボットの制御方法。
4. 前記被搬送物は、粉体である請求項１に記載のロボットの制御方法。
5. 前記被搬送物は、電子部品である請求項１に記載のロボットの制御方法。
6. ロボットアームと、被搬送物を備えるワークを保持するツールと、前記ロボットアームと前記ツールとの間に配置されている力検出部と、を有するロボットと、
   前記ロボットの駆動を制御する制御装置と、を有し、
   前記制御装置は、前記ロボットアームを動かして前記ワークを第１方向に移動させ、前記移動中に前記ワークに加わる重力および慣性力の合力の向きを算出し、前記合力の向きに沿うように前記ワークの姿勢を変化させることを特徴とするロボットシステム。

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