JP2024055043A - 対物レンズ - Google Patents

Abstract

【課題】広い視野の中心から周辺まで収差が良好に補正された対物レンズを提供する。【解決手段】対物レンズ１は、正の第１レンズ群、非球面を有する負の第２レンズ群、第３レンズ群、２レンズ成分の正の第４レンズ群からなり、第２レンズ群の最も物体側の面はＥＲ１／１．５以下の有効半径の最も物体側の面であり、第２レンズ群の最も像側の面は物体面からの距離が０．６×ＯＴＴＬ以下離れた位置にある最も像側の面であり、以下を満たす。１．６≦ｆＬ/ＴＴＬ≦５・・・（１）１．５≦ＥＲ１／ＥＲ２・・・（２）Ｄ２／ＯＴＴＬ≦０．６・・・（３）ｆＬは焦点距離、ＴＴＬは最も物体側の面から最も像側の面までの距離、ＥＲ１は最も物体側の面の有効半径、ＥＲ２は第２レンズ群の最も物体側の面の有効半径、Ｄ２は物体面から第２レンズ群の最も像側の面までの距離、ＯＴＴＬは物体面から最も像側の面までの距離である。【選択図】図１

Description

本明細書の開示は、対物レンズに関する。

近年、顕微鏡分野においても広視野と高分解能とを両立した観察及び画像取得が可能な顕微鏡装置が主流となっている。例えば、特許文献１には、標本の広い範囲を観察し得る対物レンズが記載されている。

特開２０００－２４９９２７号公報

ところで、顕微鏡装置では、中心から周辺まで均一な画質が望まれるが、１倍や１．２５倍のような極低倍対物レンズを用いて標本の広い範囲の画像を取得する場合には、この要求を満たすことは容易ではない。

例えば、特許文献１に記載の対物レンズでは、中心から周辺にかけての収差補正、特に像面湾曲等の軸外収差の補正が不十分である。このように、従来技術においては、画像内における画質の均一性に改善の余地がある。

以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、広い視野の中心から周辺まで収差が良好に補正された対物レンズを提供することである。

本発明の一態様に係る対物レンズは、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第１レンズ群と、１面以上の非球面を有する負の屈折力を有する第２レンズ群と、第３レンズ群と、２つのレンズ成分からなる、正の屈折力を有する第４レンズ群と、からなる。対物レンズは、以下の条件式を満たし、前記第２レンズ群の最も前記物体側の面は、前記対物レンズの面のうちの、ＥＲ１／１．５以下の有効半径を有する最も前記物体側の面であり、前記第２レンズ群の最も像側の面は、前記対物レンズの面のうちの、物体面からの光軸上の距離が０．６×ＯＴＴＬ以下離れた位置に配置された最も前記像側の面である。
１．６≦ｆＬ/ＴＴＬ≦５ ・・・（１）
１．５≦ＥＲ１／ＥＲ２ ・・・（２）
Ｄ２／ＯＴＴＬ≦０．６ ・・・（３）

但し、ｆＬは、前記対物レンズの焦点距離である。ＴＴＬは、前記対物レンズの最も前記物体側の面から前記対物レンズの最も前記像側の面までの前記光軸上の距離である。ＥＲ１は、前記対物レンズの最も前記物体側の面における有効半径である。ＥＲ２は、前記第２レンズ群の最も前記物体側の面における有効半径である。Ｄ２は、前記物体面から前記第２レンズ群の最も前記像側の面までの前記光軸上の距離である。ＯＴＴＬは、前記物体面から前記対物レンズの最も前記像側の面までの前記光軸上の距離である。

上記の態様によれば、広い視野の中心から周辺まで収差が良好に補正された対物レンズを提供することができる。

本発明の実施例１に係る対物レンズ１の断面図である。 結像レンズ１０の断面図である。 対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例２に係る対物レンズ２の断面図である。 対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例３に係る対物レンズ３の断面図である。 対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例４に係る対物レンズ４の断面図である。 対物レンズ４と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例５に係る対物レンズ５の断面図である。 対物レンズ５と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。

本願の一実施形態に係る対物レンズについて説明する。本実施形態に係る対物レンズ（以降、単に対物レンズと記す）は、結像レンズと組み合わせて使用される無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。

対物レンズは、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折率を有する第２レンズ群と、第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群と、からなる。第４レンズ群は、２つのレンズ成分からなる。

なお、本明細書において、レンズ成分とは、単レンズ、接合レンズを問わず、物点からの光線が通るレンズ面のうち物体側の面と像側の面の２つの面のみが空気と接する一塊のレンズブロックのことをいう。即ち、１つの単レンズは１つのレンズ成分であり、１つの接合レンズも１つのレンズ成分である。一方で、空気を介して並べられた複数の単レンズや複数の接合レンズは１つのレンズ成分とは言わない。

顕微鏡対物レンズを構成する光学系のサイズには実質的に制限があり、所定のサイズ内に収めることが求められる。このような所定のサイズの光学系によって、広視野を有する極低倍率の対物レンズを実現するためには、サイズを大きくすることなく焦点距離を長くすることが可能なテレフォトタイプの光学系を採用することが望ましい。テレフォトタイプを実現するためには、物体側に正の屈折力をもつレンズ群を配置し、その後方に、負の屈折力を持つレンズ群を配置することが望ましい。さらに、無限遠補正型の対物レンズを実現するためには、負の屈折力を持つレンズ群から射出した発散光を平行光にするために最も像側のレンズ群に正の屈折力を持つレンズ群を配置することが望ましい。これらを勘案すると、対物レンズを構成する計４群には上記のパワー配置を採用することが望ましい。

また、光学系の全長を焦点距離よりも短くする特性（以降、テレフォト性と記す）を達成するためには、第２レンズ群には、大きな負の屈折力が要求される。しかしながら、第２レンズ群に大きな負の屈折力を与えるとペッツバール和が過剰に補正されてしまう傾向があり、その結果、対物レンズ全体で像面湾曲を良好に補正することが困難になる。本実施形態に係る対物レンズは、このような技術的な課題に対して、第２レンズ群に１枚以上の非球面を設けることで対処する。

第２レンズ群は、比較的物体面に近い位置にあるため、軸上光束と最軸外光束の光線高の差が十分に確保されていて、且つ、各光束の光束径も十分に小さい。従って、第２レンズ群では、軸上光束と最軸外光束は空間的に分離されていて、各光束がレンズ面の異なる位置を通過することになる。このため、第２レンズ群の位置は、像面湾曲の補正に好適であり、第２レンズ群に非球面を設けることで、その非球面による像面湾曲の補正効果を十分に発揮することができる。具体的には、非球面を球面では生じてしまうペッツバール和の補正過剰を解消するように設けることで、対物レンズ全体で像面湾曲を十分に補正することができる。

また、第１レンズ群の正の屈折力により光線高は急激に下がるため、第２レンズ群における光線高は、第１レンズ群における光線高に比べて低い。そのため、第２レンズ群は、第１レンズ群のレンズよりも小さな有効半径のレンズで構成される。このような有効半径の小さな第２レンズ群に非球面を設けることで、通常のレンズよりもコストのかかる非球面レンズを小さく作ることができる。これにより、第１レンズ群に非球面を設ける場合よりもコストを抑えることが可能であり、さらに、面精度も高く保つことができる。

以上のように構成された対物レンズは、以下の条件式（１）から（３）を満たすように構成されている。
１．６≦ｆＬ/ＴＴＬ≦５ ・・・（１）
１．５≦ＥＲ１／ＥＲ２ ・・・（２）
Ｄ２／ＯＴＴＬ≦０．６ ・・・（３）

但し、ｆＬは、対物レンズの焦点距離である。ＴＴＬは、対物レンズの最も物体側の面から対物レンズの最も像側の面までの光軸上の距離である。ＥＲ１は、対物レンズの最も物体側の面における有効半径である。ＥＲ２は、第２レンズ群の最も物体側の面における有効半径である。Ｄ２は、物体面から第２レンズ群の最も像側の面までの光軸上の距離である。ＯＴＴＬは、物体面から対物レンズの最も像側の面までの光軸上の距離である。なお、有効半径とは、光軸から各面を通過する最大周辺光線までの距離である。

さらに、第２レンズ群の最も物体側の面は、対物レンズの面のうちの、ＥＲ１／１．５以下の有効半径を有する最も物体側の面である。第２レンズ群の最も像側の面は、対物レンズの面のうちの、物体面からの光軸上の距離が０．６×ＯＴＴＬ以下離れた位置に配置された最も像側の面である。第２レンズ群と隣接するレンズ群との境界は、これらの定義により確定することができる。

条件式（１）は、広い視野を確保するための条件式である。条件式を満たすことで対物レンズをコンパクトに構成しながら広い視野を実現することができる。

ｆＬ/ＴＴＬが下限値（１．６）を下回ると、許容される全長で対物レンズを構成したときに対物レンズの焦点距離が短くなりすぎる。その結果、十分に広い視野を確保することが困難になる。ｆＬ/ＴＴＬが上限値（５）を上回ると、必要以上に視野が広くなりすぎるか、対物レンズの全長が許容範囲を超えて大きくなってしまう。

条件式（２）と条件式（３）は、第２レンズ群を配置する位置を制限するための条件式である。条件式（２）を満たし、且つ、第２レンズ群の最も物体側の面が対物レンズの面のうちのＥＲ１／１．５以下の有効半径を有する最も物体側の面であるという条件により、第２レンズ群へ入射する光線高が制限される。その結果、第２レンズ群の最も物体側の位置が制限される。また、条件式（３）を満たし、且つ、第２レンズ群の最も像側の面は、対物レンズの面のうちの、物体面からの光軸上の距離が０．６×ＯＴＴＬ以下離れた位置に配置された最も像側の面である、という条件により、第２レンズ群の最も像側の位置が制限される。これらにより制限される範囲内に収まるように第２レンズ群を配置することで、第２レンズ群を通過する光線高を望ましい範囲内に制限可能である。従って、第２レンズ群に含まれる非球面により収差を十分に補正しながら製造コストの大幅な増加を回避することができる。

ＥＲ１／ＥＲ２が条件式（２）の下限値（０．６）を上回ると、第２レンズ群における光線高が十分に低下しない。そのため、第２レンズ群を大きなレンズで構成せざるを得ず、その結果、大きな有効半径の非球面レンズが必要になる。従って、コストを十分に抑えることが難しい。

Ｄ２／ＯＴＴＬが条件式（３）の上限値（１．５）を下回ると、第２レンズ群が物体面から離れすぎてしまう。そのため、第２レンズ群における軸上光束と軸外光束の重なりが大きくなってしまう。従って、第２レンズ群に設けた非球面で軸上光束と軸外光束に異なる作用を及ぼすことが困難となり、その結果、像面湾曲を十分に補正することが困難になる。

以上のように構成された対物レンズによれば、広い視野の中心から周辺まで収差が良好に補正することができる。

なお、対物レンズは、条件式（１）の代わりに下記の条件式（１－１）を満たすように構成されてもよい。また、対物レンズは、条件式（２）の代わりに下記の条件式（２－１）を満たすように構成されてもよい。また、対物レンズは、条件式（３）の代わりに下記の条件式（３－１）を満たすように構成されてもよい。
３．１１≦ｆＬ/ＴＴＬ≦３．９ ・・・（１－１）
１．７６≦ＥＲ１／ＥＲ２≦３．７６ ・・・（２－１）
０．４２０≦Ｄ２／ＯＴＴＬ≦０．５７９ ・・・（３－１）

以下、対物レンズの望ましい構成について説明する。
第２レンズ群に含まれる１面以上の非球面の全ては、光軸から離れるほど大きな曲率半径を有することが望ましい。即ち、周辺に行くほど弱い屈折力を有するように非球面を構成することが望ましい。非球面を周辺に行くほど弱い屈折力を有するように構成することで、強い負の屈折力を有する第２レンズ群での像面湾曲の補正過剰を避けるとともに、軸上の球面収差と軸外の非点収差をバランス良く補正可能となる。

また、第４レンズ群は、１面以上の非球面を有することが望ましい。第４レンズ群では、軸上光束と軸外光束が大きな光束径を有し、且つ、それらがほとんど重なって入射する。そのため、第４レンズ群に非球面を設けることで、軸上光束と軸外光束が小さな光束径で互いに離れた位置を通過する第２レンズ群に設けた場合とは異なり、軸上光束と軸外光束の両方に対して十分に作用する。これにより、第１レンズ群から第３レンズ群では補正しきれなかった残存収差である球面収差とコマ収差をバランス良く補正することができる。

また、第２レンズ群は、１枚以上の正レンズと１枚以上の負レンズとからなる接合レンズを含むことが望ましい。第２レンズ群の強い負の屈折力を負レンズのみを用いて実現する場合とは異なり、正レンズと負レンズを含む接合レンズを用いることで、ペッツバール和とともに軸上色収差を良好に補正することができる。

また、対物レンズは、以下の条件式（４）又は条件式（５）の少なくとも一方を満たすことが望ましい。
０．８≦ｏｆｂ/ＯＴＴＬ≦１．４ ・・・（４）
０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）

但し、ｏｆｂは、物体面から対物レンズの後側焦点位置までの光軸上の距離である。ｆ２は、第２レンズ群の焦点距離である。

条件式（４）は、物体側のテレセントリシティを確保するための条件式である。条件式（４）を満たすことで対物レンズを顕微鏡対物レンズとして好適な物体側テレセントリックな光学系として構成することができる。

ｏｆｂ/ＯＴＴＬが下限値（０．８）を下回っても、ｏｆｂ/ＯＴＴＬが上限値（１．４）を上回っても、物体側のテレセントリシティが劣化してしまう。入射瞳が無限遠にある物体側テレセントリック光学系では、射出瞳の位置と後側焦点位置は一致している。低倍対物レンズで入射瞳が無限遠にある物体側テレセントリック光学系では、瞳面は最も像側のレンズ面付近に位置するように設計されるのが通常であり、従って、最も像側のレンズ面を後側焦点位置から離れすぎない位置に設けることで、高い物体側のテレセントリシティを得ることができる。

条件式（５）は、第２レンズ群の屈折力を規定する条件式である。条件式（５）を満たすことで、軸上光束と軸外光束が離れている第２レンズ群が適切な屈折力を有することになる。これにより、像面湾曲を補正して高い像面平坦性を確保することができる。

｜ｆ２／ｆＬ｜が下限値（０．０３）を下回ると、第２レンズ群の負の屈折力が大きくなりすぎるため、像面湾曲が補正過剰な状態となってしまう。一方で、｜ｆ２／ｆＬ｜が上限値（０．１５）を上回ると、第２レンズ群の負の屈折力が小さくなりすぎるため、像面湾曲が補正不足な状態となってしまう。

なお、対物レンズは、条件式（４）の代わりに下記の条件式（４－１）を満たすように構成されてもよく、条件式（５）の代わりに下記の条件式（５－１）を満たすように構成されてもよい。
０．９９≦ｏｆｂ/ＯＴＴＬ≦１．３６ ・・・（４－１）
０．０３５≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１１６ ・・・（５－１）

さらに、第２レンズ群に含まれる１面以上の非球面のうちの少なくとも１つは、以下の条件式を満たすことが望ましい。
－０．４５≦ｚＧ２＜０ ・・・（６）

但し、ｚＧ２は、第２レンズ群に含まれる非球面の有効径におけるサグ量ｚである。非球面のサグ量ｚはz=(y²/r)/[1+{1-(1+k)(y/r)²}^1/2]+A4y⁴+A6y⁶+A8y⁸+A10y¹⁰で示される。yは光軸からの距離である。kはコーニック定数（円錐定数）である。rは非球面の近軸における曲率半径である。A4,A6,A8,A10はそれぞれ４次、６次、８次、１０次の非球面係数である。ｚＧ２は、yに第２レンズ群に含まれる非球面の有効径を、rに第２レンズ群に含まれる非球面の曲率半径を、k, A4,A6,A8,A10に第２レンズ群に含まれる非球面の各係数を代入することで計算される。

条件式（６）は、第２レンズ群に含まれる非球面のサグ量を規定する条件式である。条件式（６）を満たすことで、非球面が有効径においてマイナスのサグ量を有する。これにより、非球面の曲率が有効径において球面に比べて緩やかになるため、補正過剰を適切に回避することができる。

以下、上述した対物レンズの実施例について具体的に説明する。
＜実施例１＞
図１は、本実施例に係る対物レンズ１の断面図である。対物レンズ１は、顕微鏡対物レンズであって、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、１面以上の非球面を有する負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、２つのレンズ成分からなる、正の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、からなる。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２からなる。

第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面向けたメニスカスレンズであるレンズＬ３と、両凹レンズであるレンズＬ４と、からなる２枚接合レンズである。また、レンズＬ３は正レンズであり、レンズＬ４は負レンズである。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ５と、両凸レンズであるレンズＬ６と、両凹レンズであるレンズＬ７と、からなる３枚接合レンズである。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ８と、両凹レンズであるレンズＬ９と、からなる２枚接合レンズである。

第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１０と、接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ１１と、両凸レンズであるレンズＬ１２と、からなる２枚接合レンズである。

対物レンズ１の各種データは、以下のとおりである。なお、βは、対物レンズ１を後述する結像レンズ１０と組み合わせたときの倍率である。ＮＡｏｂは、対物レンズ１の物体側の開口数である。ｆＬ、ｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４は、それぞれ対物レンズの焦点距離、第１レンズ群Ｇ１の焦点距離、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離、第４レンズ群Ｇ４の焦点距離である。その他のパラメータは上述したとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.04、ｆＬ＝143.51ｍｍ、ＴＴＬ＝45.91ｍｍ、ＥＲ１＝10.80ｍｍ、ＥＲ２＝4.64ｍｍ、Ｄ２＝21.10ｍｍ、ＯＴＴＬ＝49.38ｍｍ、ｏｆｂ＝49.12ｍｍ、ｆ１＝18.51ｍｍ、ｆ２＝-9.25ｍｍ、ｆ３＝-3.78ｍｍ、ｆ４＝11.35ｍｍ

対物レンズ１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。即ち、レンズＬ４及びレンズＬ１０は非球面レンズである。
対物レンズ１
s r d ne νd er
1 INF 0.17 1.52626 54.41 10.60
2 INF 3.30 10.60
3 17.033 3.15 1.82017 46.62 10.80
4 33.577 0.20 10.48
5 15.110 3.68 1.60520 65.44 9.78
6 56.368 7.00 9.34
7 -46.993 2.50 1.53430 48.84 4.64
8 -7.096 1.10 1.80944 40.81 4.09
9* 14.846 7.22 3.61
10 -32.773 0.68 1.79196 47.37 2.52
11 3.730 3.66 1.67765 32.10 2.42
12 -3.730 0.68 1.85646 40.78 2.42
13 18.002 0.35 2.56
14 8.319 3.25 1.59667 35.31 2.73
15 -4.463 0.80 1.88815 40.76 2.79
16 13.301 2.76 3.10
17* 30.000 3.35 1.58487 59.32 4.68
18* -8.025 0.20 5.09
19 -31.187 1.20 1.89760 37.13 5.19
20 31.187 4.13 1.43985 94.93 5.44
21 -8.571 56.62 5.74

ここで、sは面番号を、rは曲率半径(mm)を、dは面間隔(mm)を、neはe線に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数を、erは有効半径(mm)を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s1,s2が示す面は、カバーガラスＣＧの標本側の面と対物レンズ１側の面である。面番号s3,s21が示す面は、それぞれ対物レンズ１の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。また、例えば、面間隔d1は、面番号s1が示す面から面番号s2が示す面までの光軸上の距離を示している。なお、面間隔d21は、面番号s21が示す面から結像レンズの最も物体側の面までの光軸上の距離（56.62ｍｍ）を示している。

対物レンズ１の非球面データは、以下のとおりである。なお、eは１０のべき乗である。ｚＧ２は第２レンズ群内の非球面の有効径におけるサグ量である。

面番号s9
k=0.0000, A4=-1.8596e-04, A6=3.1883e-06, A8=-7.1835e-07, zG2=-0.05
面番号s17
k=0.0000, A4=-2.5697e-04, A6=1.1691e-07, A8=1.5505e-08
面番号s18
k=0.0000, A4=7.0046e-05, A6=2.2230e-07, A8=-1.8260e-08

対物レンズ１は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）ｆＬ/ＴＴＬ＝3.126
（２）ＥＲ１／ＥＲ２＝2.33
（３）Ｄ２／ＯＴＴＬ＝0.427
（４）ｏｆｂ/ＯＴＴＬ＝0.995
（５）｜ｆ２／ｆＬ｜＝0.064

図２は、対物レンズ１と組み合わせて使用される結像レンズ１０の断面図である。結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、接合レンズＣＴＬ１と、接合レンズＣＴＬ２からなる。接合レンズＣＴＬ１は、両凸レンズであるレンズＴＬ１と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＴＬ２からなる。接合レンズＣＴＬ２は、両凸レンズであるレンズＴＬ３と両凹レンズであるレンズＴＬ４からなる。結像レンズ１０は、対物レンズ１の最も像側のレンズ面（面番号s21）から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面（面番号s1）までの光軸上の距離が56.62mmになるように、配置されている。なお、結像レンズ１０の焦点距離は180mmである。

結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１０
s r d ne νd
1 69.950 8.00 1.48915 70.23
2 -38.132 3.30 1.83945 42.71
3 -95.720 0.67
4 85.872 6.05 1.83932 37.16
5 -50.111 3.30 1.65803 39.68
6 41.656

図３は、対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ１と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図３（ａ）は球面収差図である。図３（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図３（ｃ）は非点収差図である。図３（ｄ）は像高比8割3分（像高8.8mm）でのコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図３に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

＜実施例２＞
図４は、本実施例に係る対物レンズ２の断面図である。対物レンズ２は、顕微鏡対物レンズであって、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、１面以上の非球面を有する負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、２つのレンズ成分からなる、正の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、からなる。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２からなる。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ３と、接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ４と、両凹レンズであるレンズＬ５と、からなる２枚接合レンズである。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７と、両凹レンズであるレンズＬ８と、からなる３枚接合レンズである。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ９と、両凹レンズであるレンズＬ１０と、からなる２枚接合レンズである。

第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１１と、接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ１２と、両凸レンズであるレンズＬ１３と、からなる２枚接合レンズである。

対物レンズ２の各種データは、以下のとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.039、ｆＬ＝143.68ｍｍ、ＴＴＬ＝46.11ｍｍ、ＥＲ１＝10.90ｍｍ、ＥＲ２＝5.81ｍｍ、Ｄ２＝22.12ｍｍ、ＯＴＴＬ＝49.38ｍｍ、ｏｆｂ＝49.06ｍｍ、ｆ１＝17.75ｍｍ、ｆ２＝-8.11ｍｍ、ｆ３＝-4.37ｍｍ、ｆ４＝12.13ｍｍ

対物レンズ２のレンズデータは、以下のとおりである。面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。即ち、レンズＬ３及びレンズＬ１１は非球面レンズである。
対物レンズ２
s r d ne νd er
1 INF 0.17 1.52626 54.41 10.60
2 INF 3.10 10.60
3 14.428 4.00 1.82017 46.62 10.90
4 30.523 0.20 10.51
5 15.738 2.40 1.82017 46.62 9.67
6 28.171 5.00 9.27
7* 22.500 1.50 1.81078 40.93 5.81
8* 9.336 2.10 4.93
9 69.025 2.70 1.67765 32.10 4.37
10 -7.500 0.95 1.89760 37.13 3.95
11 19.999 6.64 3.55
12 42.479 0.65 1.82017 46.62 2.60
13 3.638 3.80 1.59667 35.31 2.43
14 -4.400 0.60 1.88815 40.76 2.43
15 13.701 0.20 2.58
16 8.344 2.90 1.59667 35.31 2.74
17 -4.775 0.60 1.83945 42.74 2.86
18 21.127 3.39 3.16
19* 22.986 3.22 1.58547 59.38 4.94
20* -10.131 0.20 5.22
21 -71.094 0.70 1.88815 40.76 5.27
22 17.830 4.36 1.43985 94.93 5.37
23 -9.220 56.62 5.65

対物レンズ２の非球面データは、以下のとおりである。
面番号s7
k=0.0000, A4=-3.7484e-04, A6=-3.0582e-06, A8=1.0117e-07, A10=-5.3883e-10, zG2=-0.44
面番号s8
k=0.0000, A4=-5.4503e-04, A6=-5.1281e-06, A8=7.8971e-08, zG2=-0.37
面番号s19
k=0.0000, A4=-9.4556e-05, A6=9.3031e-07, A8=-4.8606e-09
面番号s20
k=0.0000, A4=1.0692e-04, A6=1.2642e-06, A8=1.0270e-08

対物レンズ２は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）ｆＬ/ＴＴＬ＝3.116
（２）ＥＲ１／ＥＲ２＝1.88
（３）Ｄ２／ＯＴＴＬ＝0.448
（４）ｏｆｂ/ＯＴＴＬ＝0.994
（５）｜ｆ２／ｆＬ｜＝0.056

図５は、対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ２と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図５（ａ）は球面収差図である。図５（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図５（ｃ）は非点収差図である。図５（ｄ）は像高比8割3分（像高8.8mm）でのコマ収差図である。図５に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

＜実施例３＞
図６は、本実施例に係る対物レンズ３の断面図である。対物レンズ３は、顕微鏡対物レンズであって、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、１面以上の非球面を有する負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、２つのレンズ成分からなる、正の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、からなる。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２からなる。

第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ３と、両凹レンズであるレンズＬ４と、からなる２枚接合レンズである。レンズＬ３は正レンズであり、レンズＬ４は負レンズである。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ５と、両凸レンズであるレンズＬ６と、両凹レンズであるレンズＬ７と、からなる３枚接合レンズである。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ８と、両凹レンズであるレンズＬ９と、からなる２枚接合レンズである。

第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１０と、接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ１１と、両凸レンズであるレンズＬ１２と、からなる２枚接合レンズである。

対物レンズ３の各種データは、以下のとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.040、ｆＬ＝143.45ｍｍ、ＴＴＬ＝46.11ｍｍ、ＥＲ１＝10.80ｍｍ、ＥＲ２＝4.40ｍｍ、Ｄ２＝20.72ｍｍ、ＯＴＴＬ＝49.38ｍｍ、ｏｆｂ＝49.05ｍｍ、ｆ１＝18.28ｍｍ、ｆ２＝-9.27ｍｍ、ｆ３＝-3.91ｍｍ、ｆ４＝11.46ｍｍ

対物レンズ３のレンズデータは、以下のとおりである。面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。即ち、レンズＬ３及びレンズＬ１０は非球面レンズである。
対物レンズ３
s r d ne νd er
1 INF 0.17 1.52626 54.41 10.60
2 INF 3.10 10.60
3 16.243 3.30 1.82017 46.62 10.80
4 33.534 0.20 10.49
5 13.858 4.10 1.49846 81.54 9.60
6 60.759 7.01 9.09
7* -16.170 1.74 1.69473 31.02 4.40
8 -8.144 1.10 1.83945 42.74 4.09
9 19.587 7.81 3.66
10 488.869 0.70 1.88815 40.76 2.52
11 3.684 3.70 1.67765 32.10 2.39
12 -3.963 0.70 1.88815 40.76 2.42
13 14.755 0.20 2.58
14 8.398 3.20 1.59667 35.31 2.74
15 -4.750 0.80 1.88815 40.76 2.87
16 18.609 2.80 3.22
17* 33.797 3.35 1.58547 59.38 4.80
18* -8.621 0.20 5.21
19 -53.885 1.20 1.89760 37.13 5.32
20 26.569 4.00 1.43985 94.93 5.49
21 -9.340 56.62 5.75

対物レンズ３の非球面データは、以下のとおりである。
面番号s7
k=0.0000, A4=1.4826e-05, A6=-1.7563e-06, A8=1.2432e-07, zG2=-0.01
面番号s17
k=0.0000, A4=-1.8132e-04, A6=8.5952e-07, A8=-3.0572e-09
面番号s18
k=0.0000, A4=4.8685e-05, A6=3.7086e-07, A8=-8.1766e-10

対物レンズ３は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）ｆＬ/ＴＴＬ＝3.111
（２）ＥＲ１／ＥＲ２＝2.46
（３）Ｄ２／ＯＴＴＬ＝0.420
（４）ｏｆｂ/ＯＴＴＬ＝0.993
（５）｜ｆ２／ｆＬ｜＝0.065

図７は、対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ３と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図７（ａ）は球面収差図である。図７（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図７（ｃ）は非点収差図である。図７（ｄ）は像高比8割3分（像高8.8mm）でのコマ収差図である。図７に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

＜実施例４＞
図８は、本実施例に係る対物レンズ４の断面図である。対物レンズ４は、顕微鏡対物レンズであって、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、１面以上の非球面を有する負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、２つのレンズ成分からなる、正の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、からなる。

第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１からなる。

第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ２と、両凹レンズであるレンズＬ３と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ４と、からなる３枚接合レンズである。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凹メニスカスレンズであるレンズＬ５と、両凸レンズであるレンズＬ６と、両凹レンズであるレンズＬ７と、からなる３枚接合レンズである。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ８と、両凹レンズであるレンズＬ９と、からなる２枚接合レンズである。

第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１０と、接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１１と、両凸レンズであるレンズＬ１２と、からなる２枚接合レンズである。

対物レンズ４の各種データは、以下のとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.037、ｆＬ＝143.46ｍｍ、ＴＴＬ＝46.10ｍｍ、ＥＲ１＝10.89ｍｍ、ＥＲ２＝6.19ｍｍ、Ｄ２＝22.09ｍｍ、ＯＴＴＬ＝49.37ｍｍ、ｏｆｂ＝49.57ｍｍ、ｆ１＝22.89ｍｍ、ｆ２＝-16.61ｍｍ、ｆ３＝-3.22ｍｍ、ｆ４＝11.19ｍｍ

対物レンズ４のレンズデータは、以下のとおりである。面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。即ち、レンズＬ２及びレンズＬ１１は非球面レンズである。
対物レンズ４
s r d ne νd er
1 INF 0.17 1.52626 54.41 10.60
2 INF 3.10 10.60
3 14.565 5.26 1.82017 46.62 10.89
4 54.391 6.41 10.30
5* 23.675 4.24 1.69473 31.02 6.19
6 -10.237 1.01 1.91137 35.04 5.26
7 7.129 1.90 1.70442 30.13 4.19
8 15.335 8.76 3.94
9 -26.063 0.65 1.88815 40.76 2.28
10 4.087 3.00 1.67765 32.10 2.19
11 -4.066 0.63 1.88815 40.76 2.21
12 15.158 0.77 2.32
13 9.595 2.45 1.59667 35.31 2.60
14 -4.760 0.71 1.88815 40.76 2.69
15 18.197 3.35 2.97
16 61.103 2.80 1.53006 76.46 4.65
17 -8.832 0.20 4.95
18* 92.668 0.60 1.85902 40.38 5.11
19 18.240 3.35 1.43985 94.93 5.15
20 -10.477 56.62 5.30

対物レンズ４の非球面データは、以下のとおりである。
面番号s5
k=0.0000, A4=-5.2267e-05, A6=-1.4478e-06, A8=1.2305e-08, zG2=-0.13
面番号s18
k=0.0000, A4=-2.7104e-05, A6=-6.4543e-08, A8=-2.3992e-09

対物レンズ４は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）ｆＬ/ＴＴＬ＝3.112
（２）ＥＲ１／ＥＲ２＝1.76
（３）Ｄ２／ＯＴＴＬ＝0.448
（４）ｏｆｂ/ＯＴＴＬ＝1.004
（５）｜ｆ２／ｆＬ｜＝0.116

図９は、対物レンズ４と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ４と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図９（ａ）は球面収差図である。図９（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図９（ｃ）は非点収差図である。図９（ｄ）は像高比8割3分（像高8.8mm）でのコマ収差図である。図９に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

＜実施例５＞
図１０は、本実施例に係る対物レンズ５の断面図である。対物レンズ５は、顕微鏡対物レンズであって、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、１面以上の非球面を有する負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、第３レンズ群Ｇ３と、２つのレンズ成分からなる、正の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、からなる。

第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２からなる。

第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズＣＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ６からなる。接合レンズＣＬ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ３と、両凹レンズであるレンズＬ４と、両凸レンズであるレンズＬ５と、からなる３枚接合レンズである。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ２と、接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ７と、両凹レンズであるレンズＬ８と、両凸レンズであるレンズＬ９と、からなる３枚接合レンズである。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ１０と、両凹レンズであるレンズＬ１１と、からなる２枚接合レンズである。

第４レンズ群Ｇ４は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＬ４と、両凸レンズであるレンズＬ１４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ１２と、両凸レンズであるレンズＬ１３と、からなる２枚接合レンズである。

対物レンズ５の各種データは、以下のとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.030、ｆＬ＝179.66ｍｍ、ＴＴＬ＝46.07ｍｍ、ＥＲ１＝13.47ｍｍ、ＥＲ２＝3.60ｍｍ、Ｄ２＝28.52ｍｍ、ＯＴＴＬ＝49.24ｍｍ、ｏｆｂ＝67.39ｍｍ、ｆ１＝22.41ｍｍ、ｆ２＝-6.25ｍｍ、ｆ３＝-6.13ｍｍ、ｆ４＝16.47ｍｍ

対物レンズ５のレンズデータは、以下のとおりである。面番号の横にある*マークは、その面が非球面であることを示している。即ち、レンズＬ２及びレンズＬ６は非球面レンズである。
対物レンズ５
s r d ne νd er
1 INF 0.17 1.52321 56.02 13.25
2 INF 3.00 13.25
3 22.000 4.62 1.88815 40.76 13.47
4 83.900 0.20 13.13
5* 18.182 3.10 1.51977 52.43 12.20
6* 34.380 12.32 11.79
7 -3193.244 0.98 1.57829 41.50 3.60
8 -10.511 0.70 1.88815 40.76 3.43
9 3.119 2.19 1.59911 39.24 2.73
10 -20.000 0.23 2.72
11* -5.244 1.00 1.48915 70.23 2.71
12* -16.342 1.20 2.66
13 29.244 2.08 1.59667 35.31 2.28
14 -2.857 0.70 1.88815 40.76 2.07
15 3.100 1.71 1.69417 31.07 2.12
16 -540.694 0.21 2.24
17 5.255 1.75 1.67765 32.10 2.43
18 -6.695 0.70 1.88815 40.76 2.37
19 7.556 3.36 2.33
20 -27.255 0.70 1.88815 40.76 3.12
21 9.191 3.72 1.43985 94.93 3.44
22 -8.276 0.45 4.28
23 174.307 4.12 1.43985 94.93 4.96
24 -7.504 114.70 5.40

対物レンズ５の非球面データは、以下のとおりである。
面番号s5
k=0.5413, A4=-8.2327e-05, A6=-2.1913e-07
面番号s6
k=-4.0935, A4=-1.0362e-04, A6=2.8212e-07
面番号s11
k=-10.0000, A4=5.5712e-03, A6=-2.8766e-04, zG2=-0.45
面番号s12
k=0.9142, A4=8.6320e-03, A6=-1.0540e-03, zG2=-0.06

対物レンズ５は、以下で示されるように、条件式（１）から（５）を満たしている。
（１）ｆＬ/ＴＴＬ＝3.900
（２）ＥＲ１／ＥＲ２＝3.75
（３）Ｄ２／ＯＴＴＬ＝0.579
（４）ｏｆｂ/ＯＴＴＬ＝1.354
（５）｜ｆ２／ｆＬ｜＝0.035

図１１は、対物レンズ５と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ５と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図１１（ａ）は球面収差図である。図１１（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図１１（ｃ）は非点収差図である。図１１（ｄ）は像高比8割（像高10.6mm）でのコマ収差図である。図１１に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

１、２、３、４、５ ・・・対物レンズ
１０ ・・・結像レンズ
Ｇ１ ・・・第１レンズ群
Ｇ２ ・・・第２レンズ群
Ｇ３ ・・・第３レンズ群
Ｇ４ ・・・第４レンズ群
Ｌ１～Ｌ１４、ＴＬ１～ＴＬ４ ・・・レンズ
ＣＬ１～ＣＬ４、ＣＴＬ１、ＣＴＬ２ ・・・接合レンズ

Claims (17)

1. 対物レンズであって、物体側から順に配置された、
   正の屈折力を有する第１レンズ群と、
   １面以上の非球面を有する負の屈折力を有する第２レンズ群と、
   第３レンズ群と、
   ２つのレンズ成分からなる、正の屈折力を有する第４レンズ群と、からなり、
   以下の条件式
   １．６≦ｆＬ/ＴＴＬ≦５ ・・・（１）
   １．５≦ＥＲ１／ＥＲ２ ・・・（２）
   Ｄ２／ＯＴＴＬ≦０．６ ・・・（３）
   を満たし、
   前記第２レンズ群の最も前記物体側の面は、前記対物レンズの面のうちの、ＥＲ１／１．５以下の有効半径を有する最も前記物体側の面であり、
   前記第２レンズ群の最も像側の面は、前記対物レンズの面のうちの、物体面からの光軸上の距離が０．６×ＯＴＴＬ以下離れた位置に配置された最も前記像側の面である
   ことを特徴とする対物レンズ。
   但し、ｆＬは、前記対物レンズの焦点距離である。ＴＴＬは、前記対物レンズの最も前記物体側の面から前記対物レンズの最も前記像側の面までの前記光軸上の距離である。ＥＲ１は、前記対物レンズの最も前記物体側の面における有効半径である。ＥＲ２は、前記第２レンズ群の最も前記物体側の面における有効半径である。Ｄ２は、前記物体面から前記第２レンズ群の最も前記像側の面までの前記光軸上の距離である。ＯＴＴＬは、前記物体面から前記対物レンズの最も前記像側の面までの前記光軸上の距離である。
2. 請求項１に記載の対物レンズにおいて、
   前記１面以上の非球面の全ては、前記光軸から離れるほど大きな曲率半径を有する
   ことを特徴とする対物レンズ。
3. 請求項１又は請求項２に記載の対物レンズにおいて、
   前記第４レンズ群は、１面以上の非球面を有する
   ことを特徴とする対物レンズ。
4. 請求項１又は請求項２に記載の対物レンズにおいて、
   前記第２レンズ群は、１枚以上の正レンズと１枚以上の負レンズとからなる接合レンズを含む
   ことを特徴とする対物レンズ。
5. 請求項３に記載の対物レンズにおいて、
   前記第２レンズ群は、１枚以上の正レンズと１枚以上の負レンズとからなる接合レンズを含む
   ことを特徴とする対物レンズ。
6. 請求項１又は請求項２に記載の対物レンズにおいて、
   以下の条件式
   ０．８≦ｏｆｂ/ＯＴＴＬ≦１．４ ・・・（４）
   を満たす
   ことを特徴とする対物レンズ。
   但し、ｏｆｂは、前記物体面から前記対物レンズの後側焦点位置までの前記光軸上の距離である。
7. 請求項３に記載の対物レンズにおいて、
   以下の条件式
   ０．８≦ｏｆｂ/ＯＴＴＬ≦１．４ ・・・（４）
   を満たす
   ことを特徴とする対物レンズ。
   但し、ｏｆｂは、前記物体面から前記対物レンズの後側焦点位置までの前記光軸上の距離である。
8. 請求項４に記載の対物レンズにおいて、
   以下の条件式
   ０．８≦ｏｆｂ/ＯＴＴＬ≦１．４ ・・・（４）
   を満たす
   ことを特徴とする対物レンズ。
   但し、ｏｆｂは、前記物体面から前記対物レンズの後側焦点位置までの前記光軸上の距離である。
9. 請求項５に記載の対物レンズにおいて、
   以下の条件式
   ０．８≦ｏｆｂ/ＯＴＴＬ≦１．４ ・・・（４）
   を満たす
   ことを特徴とする対物レンズ。
   但し、ｏｆｂは、前記物体面から前記対物レンズの後側焦点位置までの前記光軸上の距離である。
10. 請求項１又は請求項２に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
11. 請求項３に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
12. 請求項４に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
13. 請求項５に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
14. 請求項６に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
15. 請求項７に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
16. 請求項８に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。
17. 請求項９に記載の対物レンズにおいて、
    以下の条件式
    ０．０３≦｜ｆ２／ｆＬ｜≦０．１５ ・・・（５）
    を満たす
    ことを特徴とする対物レンズ。
    但し、ｆ２は、前記第２レンズ群の焦点距離である。

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