JP2024053586A - 搬送装置 - Google Patents

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【課題】物品に付与される衝撃を抑制しつつ短時間で物品を搬送先へ搬送することが可能な搬送装置を提供する。【解決手段】物品を搬送する搬送装置であって、本体フレームと、物品を収容する容器に接続され、容器を吊り下げる吊り下げ部材と、本体フレームに回転自在に装着され、吊り下げ部材が巻き付けられるリールと、リールを回転させるモータと、モータを制御するコントローラと、を備え、コントローラは、吊り下げ部材がリールから繰り出されて物品を収容した容器が搬送先へ搬送される際、容器が所定の速度で降下した後に所定の速度を下回る速度で降下しながら搬送先に到達するように、モータを制御する。【選択図】図１

Description

本発明は、物品を搬送する搬送装置に関する。
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスを備えるデバイスチップが製造される。また、実装基板上に実装された複数のデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。このパッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物は、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置によって加工される。加工装置で被加工物を加工する際には、複数の被加工物が収容されたカセットをオペレータが加工装置に搬送する。そして、カセットが加工装置にセットされると、加工装置はカセットから被加工物を１枚ずつ取り出して順に加工する。
また、近年では、加工装置に被加工物を自動で搬送する搬送システムが提案されている。例えば特許文献１には、複数の加工装置の上方に設けられた搬送路上を移動する搬送装置（搬送車）を用いて被加工物を搬送するシステムが開示されている。搬送車は、被加工物を収容した状態で走行し、被加工物を所定の加工装置に所定のタイミングで搬送する。これにより、被加工物の搬送が自動化され、搬送作業が簡易化される。
特開２０２０－１６１５７８号公報
上記のように搬送装置（搬送車）で被加工物等の物品を搬送する場合には、搬送装置を搬送先である加工装置の上方に配置した後、搬送装置に収容されている物品を加工装置に搬入する。例えば搬送装置は、物品を収容する容器と、容器を吊り下げるベルト等の吊り下げ部材とを備える。そして、加工装置の上方に到着した搬送装置は、モータの動力によって吊り下げ部材を繰り出すことにより、物品を収容した容器を降下させ、加工装置の所定の載置領域に配置する。
しかしながら、容器が高速で降下すると、加工装置の載置領域に容器が載置される際、容器に収容されている物品に大きな衝撃が付与され、物品の位置ずれや破損が生じるおそれがある。一方、容器を低速で降下させると、物品に付与される衝撃は小さくなるものの、容器の降下時間が長くなり、搬送効率が低下してしまう。
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、物品に付与される衝撃を抑制しつつ短時間で物品を搬送先へ搬送することが可能な搬送装置の提供を目的とする。
本発明の一態様によれば、物品を搬送する搬送装置であって、本体フレームと、該物品を収容する容器に接続され、該容器を吊り下げる吊り下げ部材と、該本体フレームに回転自在に装着され、該吊り下げ部材が巻き付けられるリールと、該リールを回転させるモータと、該モータを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該吊り下げ部材が該リールから繰り出されて該物品を収容した該容器が搬送先へ搬送される際、該容器が所定の速度で降下した後に該所定の速度を下回る速度で降下しながら該搬送先に到達するように、該モータを制御する搬送装置が提供される。
なお、好ましくは、該コントローラは、該容器が該本体フレームにセットされた状態から該所定の速度を下回る速度で降下した後に該所定の速度で降下するように、該モータを制御する。
また、好ましくは、該コントローラは、該容器が該本体フレームにセットされた状態からの該モータの回転数に対応する回転対応値を計測する計測部と、該モータのトルクに対応するトルク対応値を検知する検知部と、該検知部によって検知された該トルク対応値に基づいて該容器が該搬送先に到達したか否かを判定する判定部と、該容器が該本体フレームにセットされた状態から該搬送先に到達するまでの間に計測された該回転対応値を算出する算出部と、を有する。また、好ましくは、該回転対応値は、該モータに入力されるパルス数であり、該トルク対応値は、該モータの電流値である。
また、好ましくは、該搬送装置は、該本体フレームに装着された車輪をさらに備え、加工装置の上方に設置された搬送路上を走行する。
本発明の一態様にかかる搬送装置では、容器を搬送先へ搬送する際、容器が所定の速度で降下した後にその所定の速度を下回る速度で降下しながら搬送先に到達するように、容器の降下速度が調節される。これにより、容器が搬送先に配置される直前までは容器を高速で降下させて降下時間を短縮しつつ、容器を低速で搬送先に配置して容器に付与される衝撃を緩和することが可能になる。
搬送システムを示す平面図である。 搬送システムを示すブロック図である。 図３（Ａ）は搬送装置の上面側を示す斜視図であり、図３（Ｂ）は搬送装置の下面側を示す斜視図である。 図４（Ａ）は容器を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は容器を示す正面図である。 容器が載置領域に載置された際の搬送装置を示す斜視図である。 昇降ユニットを示す平面図である。 昇降ユニットを示す正面図である。 図８（Ａ）は吊り下げ部材を繰り出すリールを示す正面図であり、図８（Ｂ）は容器が載置領域に載置された際のリールを示す正面図である。 図９（Ａ）は逆回転するリールを示す正面図であり、図９（Ｂ）は吊り下げ部材のたるみが解消された際のリールを示す正面図である。 コントローラを示すブロック図である。 容器の降下時間と容器の位置との関係を示すグラフである。
以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る搬送装置が用いられる搬送システムの構成例について説明する。図１は、搬送システム２を示す平面図である。
搬送システム２は、被加工物１１を加工する複数の加工装置４の上方で被加工物１１を搬送するためのシステムである。なお、図１には１台の加工装置４のみを図示しているが、加工装置４の台数は任意に設定できる。
例えば被加工物１１は、単結晶シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであり、互いに概ね平行な表面（第１面）及び裏面（第２面）を備える。被加工物１１は、互いに交差するように格子状に配列された複数のストリート（分割予定ライン）によって、複数の矩形状の領域に区画されている。
ストリートによって区画された複数の領域の表面側にはそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス等のデバイス（不図示）が形成されている。加工装置４で被加工物１１を加工してストリートに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。
ただし、被加工物１１の種類、材質、大きさ、形状、構造等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、サファイア、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハ（基板）であってもよい。また、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。
さらに、被加工物１１は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。例えばパッケージ基板は、実装基板上に実装された複数のデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することによって形成される。パッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。
被加工物１１の裏面側には、被加工物１１を支持するシート１３が固定される。例えばシート１３は、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープであり、フィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着層（糊層）とを有する。基材はポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなり、粘着層はエポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤等でなる。また、粘着層として、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂を用いることもできる。
また、被加工物１１は、環状のフレーム１５によって支持される。フレーム１５は、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属でなり、フレーム１５の中央部にはフレーム１５を厚さ方向に貫通する開口が設けられている。なお、フレーム１５の開口の直径は、被加工物１１の直径よりも大きい。
フレーム１５の開口の内側に被加工物１１を配置した状態で、シート１３の中央部を被加工物１１の裏面側に貼付し、シート１３の外周部をフレーム１５に貼付すると、被加工物１１がシート１３を介してフレーム１５によって支持される。これにより、被加工物１１、シート１３及びフレーム１５を含む被加工物ユニット（フレームユニット）が構成される。この被加工物ユニットが、加工装置４によって搬送される物品１７に対応する。
なお、加工装置４の種類に制限はない。加工装置４の例としては、被加工物１１を切削する切削装置、被加工物１１を研削する研削装置、被加工物１１を研磨する研磨装置、被加工物１１にレーザー加工を施すレーザー加工装置等が挙げられる。
切削装置は、被加工物１１を切削する加工ユニット（切削ユニット）を備える。切削ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には環状の切削ブレードが装着される。切削ブレードを回転させつつ被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１が切削される。
研削装置は、被加工物１１を研削する加工ユニット（研削ユニット）を備える。研削ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には複数の研削砥石を含む環状の研削ホイールが装着される。研削ホイールを回転させつつ研削砥石を被加工物１１に接触させることにより、被加工物１１が研削される。
研磨装置は、被加工物１１を研磨する加工ユニット（研磨ユニット）を備える。研磨ユニットはスピンドルを備えており、スピンドルの先端部には円盤状の研磨パッドが装着される。研磨パッドを回転させつつ被加工物１１に接触させることにより、被加工物１１が研磨される。
レーザー加工装置は、被加工物１１にレーザー加工を施す加工ユニット（レーザー照射ユニット）を備える。例えばレーザー照射ユニットは、所定の波長のレーザービームをパルス発振するレーザー発振器と、レーザー発振器から出射したレーザービームを集光させる集光器とを備える。レーザー照射ユニットから照射されたレーザービームを被加工物１１の表面、裏面又は内部で集光させることにより、被加工物１１にレーザー加工が施される。
加工装置４の側面には、複数の配管６が接続されている。例えば配管６は、加工装置４に液体や気体を供給するための供給ダクトや、加工装置４の内部の液体や気体を排出するための排出ダクト等に相当する。
加工装置４に隣接する位置には、複数の被加工物１１を収容する収容装置（ローダー・アンローダー）８が設置される。収容装置８には、加工装置４によって加工される前の被加工物１１や、加工装置４によって加工された後の被加工物１１が収容される。
搬送システム２は、複数の加工装置４及び収容装置８の上方に設置された搬送路１０を備える。搬送路１０は、加工装置４同士の間、及び、加工装置４と収容装置８との間の空間を跨ぐように設置されている。すなわち、複数の加工装置４及び収容装置８は、搬送路１０を介して連結されている。そして、搬送路１０上には、被加工物１１を収容して搬送する複数の搬送装置（搬送車）１２が配置される。なお、図１では２台の搬送装置１２を図示しているが、搬送路１０上に配置される搬送装置１２の台数に制限はない。
例えば、収容装置８に収容されている加工前の被加工物１１が搬送装置１２に搬入される。そして、搬送装置１２は収容装置８から受け取った被加工物１１を収容した状態で搬送路１０上を走行し、被加工物１１を所定の加工装置４に搬送する。また、搬送装置１２は、加工装置４から受け取った加工後の被加工物１１を収容した状態で搬送路１０上を走行し、被加工物１１を他の加工装置４又は収容装置８に搬送する。
なお、搬送路１０のうち加工装置４又は収容装置８の直上に位置する領域には、搬送路１０を上下に貫通する開口１０ａが設けられている。この開口１０ａを介して、搬送装置１２と加工装置４との間、及び、搬送装置１２と収容装置８との間での被加工物１１の受け渡しが行われる。
上記のように、搬送システム２では、加工装置４及び収容装置８の上方に設置された搬送路１０上を搬送装置１２が移動することにより、被加工物１１が搬送される。これにより、加工装置４の側面に接続された配管６等が被加工物１１の搬送の障害となることを回避でき、被加工物１１の円滑な搬送が実現される。
なお、搬送装置１２が搬送する物品は、被加工物１１に限られない。例えば搬送装置１２は、加工装置４で使用される部品（ねじ、ナット等）や消耗品（切削ブレード等）を搬送してもよい。
図２は、搬送システム２を示すブロック図である。搬送システム２は、搬送システム２の構成要素（加工装置４、収容装置８、搬送装置１２等）の動作を制御するコントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）１４を備える。例えばコントローラ１４は、搬送システム２の構成要素と無線又は有線で接続され、搬送システム２の構成要素に制御信号を出力する。これにより、加工装置４と搬送装置１２との間での被加工物１１の受け渡し、収容装置８と搬送装置１２との間での被加工物１１の受け渡し、搬送装置１２の移動等が制御される。また、搬送システム２の構成要素から発信された各種の信号が、コントローラ１４に入力される。
例えばコントローラ１４は、コンピュータによって構成され、搬送システム２の稼働に必要な演算を行う演算部と、搬送システム２の稼働に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部とを含む。演算部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサを含んで構成される。また、記憶部は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリを含んで構成される。
次に、搬送路１０上を移動して被加工物１１を搬送する搬送装置１２の詳細について説明する。図３（Ａ）は搬送装置１２の上面側を示す斜視図であり、図３（Ｂ）は搬送装置１２の下面側を示す斜視図である。
搬送装置１２は、搬送装置１２を構成する各構成要素が装着される板状の本体フレーム２０を備える。本体フレーム２０の前方側の両側端部には、一対の車軸２２が設けられている。車軸２２は、一端側が本体フレーム２０の側面から突出するように本体フレーム２０の下面側に配置されており、車軸２２の一端側にはそれぞれ車輪（前輪）２４が装着されている。
本体フレーム２０の後端部には、一対の車輪（後輪）２６が、本体フレーム２０の幅方向（車幅方向）において互いに離隔した状態で配置されている。例えば車輪２６は、搬送装置１２の車高方向と概ね平行な回転軸の周りで３６０°回転可能なキャスターであり、本体フレーム２０の下面側に装着されている。車輪２４及び車輪２６は、搬送装置１２が搬送路１０（図１参照）上を走行するための走行用の車輪である。
図３（Ａ）に示すように、本体フレーム２０の前端部には、一対の車輪２４を駆動する駆動ユニット２８が搭載されている。駆動ユニット２８は、車軸２２を介して車輪２４に連結される一対のモータ３０を備える。モータ３０は、回転軸（出力シャフト）３０ａを備えており、車輪２４を回転させるための動力を生成する。
図３（Ｂ）に示すように、車軸２２の他端側にはプーリー３２が固定されている。そして、モータ３０の回転軸３０ａとプーリー３２とに、ベルト、チェーン等の無端の連結部材（不図示）が巻き付けられる。これにより、車軸２２とモータ３０とを連結する動力伝達機構が構成される。そして、モータ３０によって生成された動力（回転力）が車輪２４に伝達され、車輪２４が回転する。
駆動ユニット２８は、一対のモータ３０によって一対の車輪２４の回転方向を独立に制御する。一対の車輪２４を同じ方向に回転させると、搬送装置１２が前進又は後退する。また、一対の車輪２４を互いに逆方向に回転させると、搬送装置１２が車高方向と概ね平行な回転軸の周りで回転し、搬送装置１２の進行方向が制御される。
駆動ユニット２８には、給電用の配線（不図示）を介してモータ３０等に電力を供給するバッテリー（二次電池）３４が接続される。例えばバッテリー３４は、本体フレーム２０の前端部に装着され、車輪２４を回転させるための電力をモータ３０に供給する。バッテリー３４としては、リチウムイオン電池等が用いられる。
図３（Ｂ）に示すように、本体フレーム２０の前端部の下面側には、バッテリー３４に接続された一対の受電用の端子３６が設けられている。一対の端子３６は、例えば搬送装置１２の外部に設置された給電用の端子に接続される。そして、給電用の端子から一対の端子３６に供給される電力により、バッテリー３４が充電される。
本体フレーム２０の下側には、物品１７を収容する容器（カセット）４０が格納される格納領域３８が設けられている。格納領域３８は、一対の車輪２４と一対の車輪２６とによって囲まれ、且つ、車輪２４及び車輪２６の下端よりも上方に位置する空間に相当する。格納領域３８には、１又は複数の物品１７を収容可能な容器４０がセットされる。
図４（Ａ）は容器４０を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は容器４０を示す正面図である。例えば、容器４０は平面視で六角形状に形成され、容器４０の内部には物品１７（フレーム１５によって支持された被加工物１１、図１参照）を収容可能な収容部（収容空間）４０ａが設けられている。収容部４０ａは、容器４０の一側面側で開口するスリット状の開口４０ｂを介して容器４０の外部の空間に接続されている。物品１７は、開口４０ｂを通過して収容部４０ａに搬入され、開口４０ｂを通過して収容部４０ａから搬出される。
例えば容器４０は、大きさの異なる２種類の物品１７（物品１７Ａ，１７Ｂ）を収容可能に構成される。具体的には、容器４０の収容部４０ａには、物品１７Ａを保持する一対の第１ガイドレール４２と、物品１７Ｂを保持する一対の第２ガイドレール４４とが設けられている。
一対の第１ガイドレール４２はそれぞれ、収容部４０ａの上壁４０ｃに固定された側壁４２ａと、側壁４２ａの下端部から突出する突出部４２ｂとを備える。突出部４２ｂの上面は、物品１７Ａの下面側を保持する保持面４２ｃを構成している。また、一対の第２ガイドレール４４は、互いに離隔するように収容部４０ａの底壁４０ｄに固定されている。第２ガイドレール４４の上面は、物品１７Ｂの下面側を保持する保持面４４ａを構成している。
一対の第１ガイドレール４２の間隔は、一対の第２ガイドレール４４の間隔よりも狭い。そのため、一対の第１ガイドレール４２は、一対の第２ガイドレール４４によって保持される物品１７Ｂよりも小さい物品１７Ａを保持できる。例えば、一対の第１ガイドレール４２によって、径が２００ｍｍ（８インチ）の被加工物１１が保持される。また、一対の第２ガイドレール４４によって、径が３００ｍｍ（１２インチ）の被加工物１１が保持される。
ただし、容器４０の構造に制限はない。例えば容器４０は、収容部４０ａに１又は３以上の物品１７を収容可能に構成されてもよい。また、容器４０は、同じ大きさの複数の物品１７を収容可能に構成されてもよい。
物品１７を搬送装置１２によって搬送する際には、図３（Ａ）に示すように、容器４０が格納領域３８にセットされて格納される。このとき、容器４０の下面は、車輪２４の下端及び車輪２６の下端よりも上方に位置付けられる。そのため、搬送装置１２の走行中に容器４０が搬送路１０（図１参照）と接触することはない。
本体フレーム２０の上面側の格納領域３８と重なる領域には、容器４０を昇降させる昇降ユニット（昇降機構）４６が設けられている。昇降ユニット４６は、格納領域３８に格納されている容器４０を降下させて所定の載置領域に載置するとともに、載置領域に載置されている容器４０を上昇させて格納領域３８に格納する。
図５は、容器４０が載置領域（搬送先）１６に載置された際の搬送装置１２を示す斜視図である。昇降ユニット４６は、一端側が容器４０に接続された複数の吊り下げ部材４８と、吊り下げ部材４８の繰り出し及び巻き取りを行う駆動機構５０とを備える。例えば載置領域１６は、加工装置４又は収容装置８（図１参照）の内部に設けられ被加工物１１が仮置きされる載置台の載置面に相当する。
吊り下げ部材４８としては、所定の幅を有するベルトや、繰り出し及び巻き取りが可能なワイヤロープ等が用いられる。図５には、吊り下げ部材４８がベルトであり、４本の吊り下げ部材４８の先端部（下端部）がそれぞれ容器４０の上面側の４つの位置に接続されている例を示している。ただし、吊り下げ部材４８の本数に制限はない。
容器４０が格納領域３８に格納された状態で、吊り下げ部材４８が駆動機構５０によって繰り出されると、容器４０が降下して載置領域１６に載置される。また、容器４０が載置領域１６に載置された状態で、吊り下げ部材４８が駆動機構５０によって巻き取られると、容器４０が上昇して格納領域３８に格納される。
なお、吊り下げ部材４８としてベルトを用いる場合、容器４０はベルトの幅方向に揺れ動きにくい。そのため、ベルトの幅方向が、物品１７が容器４０の開口４０ｂを通過する際の物品１７の移動方向（図５では開口４０ｂと垂直な方向）に沿うように、容器４０に対するベルトの向きを調整することが好ましい。これにより、容器４０の昇降中に物品１７が開口４０ｂから飛び出しにくくなる。
図３（Ｂ）に示すように、本体フレーム２０の下面側には、容器４０の上面側と接触する複数の接触部材５２が設けられている。複数の接触部材５２は、概ね同じ高さの柱状に形成され、本体フレーム２０の下面から下方に突出するように本体フレーム２０に固定されている。容器４０が格納領域３８に格納されると、容器４０の上面側が複数の接触部材５２の下端部に接触して支持される。
例えば接触部材５２は、容器４０が押し当てられた際に弾性変形を生じる弾性体でなる。接触部材５２に弾性体を用いると、容器４０が接触部材５２と接触した際の衝撃が緩和され、容器４０や容器４０に収容された物品１７が破損しにくくなる。また、搬送装置１２が搬送路１０（図１参照）を走行する際、接触部材５２が緩衝材として機能し、本体フレーム２０の振動が容器４０や物品１７に伝わりにくくなる。
接触部材５２としては、ゴム（ウレタンゴム、シリコーンゴム等）、スポンジ等を用いることができる。特に、接触部材５２として、容器４０との間に作用する摩擦力が大きいゴムを用いると、搬送中の容器４０の位置ずれが生じにくくなる。なお、接触部材５２は、必ずしもその全体が弾性体で構成される必要はなく、少なくとも接触部材５２の容器４０と接触する領域（下端部）が弾性体であればよい。
接触部材５２は、容器４０の上面側に対して３以上の位置で接触することが好ましい。例えば、図３（Ｂ）に示すように、３つの柱状の接触部材５２が本体フレーム２０に設けられる。この場合、容器４０の上面が３つの接触部材５２の下端を含む平面に沿って支持され、容器４０が傾きにくくなる。
ただし、接触部材５２の形状、数、配置等は任意に変更され得る。例えば、互いに概ね平行に配置された一対の線状（帯状）の接触部材５２が本体フレーム２０に設けられてもよい。また、スポンジ等でなる板状の接触部材５２が本体フレーム２０の下面側の全体にわたって固定されてもよい。
本体フレーム２０の後端部の下側には、カバー５４が設けられている。カバー５４は、容器４０が格納領域３８に格納された際に、容器４０の開口４０ｂ（図４（Ａ）参照）を覆う。開口４０ｂがカバー５４によって覆われると、搬送装置１２の走行中に容器４０の収容部４０ａに異物が入り込むことを防止でき、物品１７への異物の付着が防止される。また、搬送装置１２の走行中に容器４０が傾いたり振動したりしても、物品１７の開口４０ｂからの飛び出しがカバー５４によって防止される。
本体フレーム２０の前端部及び後端部には、一対の第１センサー５６が設けられている。また、本体フレーム２０の両側端部には、一対の第２センサー５８が設けられている。第１センサー５６、第２センサー５８はそれぞれ、搬送装置１２が走行する搬送路１０（図１参照）と対面するように装着され、搬送路１０に付されたマークを検出する。第１センサー５６及び第２センサー５８によるマークの検出結果に基づいて、搬送装置１２の動作（走行、旋回、停車等）が制御される。
また、図３（Ａ）に示すように、本体フレーム２０の前端側には、搬送装置１２が障害物に衝突したことを検知する一対の第３センサー６０が設けられている。搬送装置１２の前端部が障害物に衝突すると、第３センサー６０が作動して搬送装置１２の衝突が検知され、搬送装置１２が緊急停止する。第３センサー６０としては、例えば押しボタン式のスイッチが用いられる。ただし、搬送装置１２の衝突を検知可能であれば、第３センサー６０の構造や種類に制限はない。
昇降ユニット４６の上側には、本体フレーム２０に固定された板状の支持台６２が設けられている。そして、支持台６２の上面側には、搬送装置１２を制御するコントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）６４が設けられている。コントローラ６４は、搬送装置１２の構成要素（駆動ユニット２８、バッテリー３４、昇降ユニット４６、第１センサー５６、第２センサー５８、第３センサー６０等）に接続されており、各構成要素の動作を制御する。
例えばコントローラ６４は、コンピュータによって構成され、搬送装置１２の稼働に必要な演算を行う演算部と、搬送装置１２の稼働に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）を記憶する記憶部とを含む。演算部は、ＣＰＵ等のプロセッサを含んで構成される。また、記憶部は、ＲＯＭ、ＲＡＭ等のメモリを含んで構成される。
また、支持台６２上には、外部からの信号（情報）を受信してコントローラ６４に入力する受信機６６と、コントローラ６４からの信号（情報）を受信して外部に送信する送信機６８とが設けられている。受信機６６と送信機６８とはそれぞれ、コントローラ６４に接続されている。
例えば受信機６６は、搬送システム２のコントローラ１４（図２参照）から送信される信号を受信してコントローラ６４に入力する。そして、コントローラ６４は受信機６６から受信した信号に基づいて搬送装置１２の動作を制御する。また、コントローラ６４は、搬送装置１２に関する情報を含む信号を生成して送信機６８に送信する。そして、送信機６８はコントローラ６４から受信した信号を搬送システム２のコントローラ１４に送信する。
なお、昇降ユニット４６、第１センサー５６、第２センサー５８、第３センサー６０、コントローラ６４、受信機６６、送信機６８はそれぞれ、給電用の配線（不図示）を介してバッテリー３４に接続されていてもよい。この場合、昇降ユニット４６、第１センサー５６、第２センサー５８、第３センサー６０、コントローラ６４、受信機６６及び送信機６８を、バッテリー３４から供給される電力によって動作させることができる。
次に、昇降ユニット４６の構成例について説明する。図６は、昇降ユニット４６を示す平面図である。前述の通り昇降ユニット４６は、容器４０を吊り下げる複数の吊り下げ部材４８と、吊り下げ部材４８の繰り出し及び巻き取りを行う駆動機構５０とを備える。
駆動機構５０は、回転軸（出力シャフト）７０ａを有するモータ７０を備える。モータ７０は、例えばパルスモータ又はサーボモータであり、回転軸７０ａの回転によって吊り下げ部材４８の繰り出し及び巻き取りに必要な動力を生成する。また、モータ７０の両側（図６の上側及び下側）には、互いに概ね平行に配置された一対のロッド（回転軸）７２Ａ，７２Ｂが、モータ７０を挟むように設けられている。
ロッド７２Ａの一端側には、プーリー７４が固定されている。そして、モータ７０の回転軸７０ａ及びプーリー７４には、ベルト、チェーン等の無端の連結部材７６が巻き付けられている。モータ７０の回転軸７０ａ、プーリー７４、及び連結部材７６によって、モータ７０の動力をロッド７２Ａに伝達する動力伝達機構が構成され、モータ７０とロッド７２Ａとが連結される。一方、ロッド７２Ｂの一端側にはプーリーが設けられていない。
また、ロッド７２Ａの他端側にはプーリー７８Ａが固定され、ロッド７２Ｂの他端側にはプーリー７８Ａと同径のプーリー７８Ｂが固定されている。そして、プーリー７８Ａ及びプーリー７８Ｂには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材８０が巻き付けられている。プーリー７８Ａ，７８Ｂ及び連結部材８０によって、ロッド７２Ａの動力をロッド７２Ｂに伝達する動力伝達機構が構成され、ロッド７２Ａとロッド７２Ｂとが連結される。
ロッド７２Ａの両端部には、吊り下げ部材４８が巻き付けられる一対の円柱状のリール８２Ａが設けられている。リール８２Ａの中央部には、リール８２Ａを高さ方向に貫通する貫通孔（不図示）が設けられており、この貫通孔にロッド７２Ａの端部が挿入されている。なお、一対のリール８２Ａはロッド７２Ａに固定されておらず、ロッド７２Ａに対して回転自在な状態で装着されている。そのため、リール８２Ａに外力が付与されると、リール８２Ａはロッド７２Ａと独立して、ロッド７２Ａの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。
一対のリール８２Ａの外側（モータ７０とは反対側）にはそれぞれ、吊り下げ部材４８を支持する円柱状のローラー８４Ａが設けられている。一対のローラー８４Ａは、一対のリール８２Ａの下方に配置されており（図７参照）、ロッド７２Ａの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転自在な状態で支持されている。
ロッド７２Ａには、ロッド７２Ａの側面（外周面）からロッド７２Ａの半径方向外側に突出する柱状の押圧部材（突起、凸部）８６Ａが固定されている。例えば、一対の押圧部材８６Ａが一対のリール８２Ａの間に設けられる。
また、一対のリール８２Ａは、ロッド７２Ａと概ね平行に配置されたバー（シャフト）８８Ａを介して互いに連結されている。例えば、バー８８Ａの両端部が、一対のリール８２Ａの互いに対向する面に固定される。リール８２Ａが回転すると、バー８８Ａはロッド７２Ａと概ね平行に配置された状態を維持したまま、リール８２Ａと連動してロッド７２Ａの周りを回転する。
ロッド７２Ａとバー８８Ａとは、付勢部材９０Ａによって連結されている。付勢部材９０Ａとしては、例えば渦巻き状に巻かれた帯状の金属によって構成されるばね（渦巻きばね）が用いられる。この場合、渦巻きばねの一端側は、ロッド７２Ａの中央部に巻き付けられて固定される。また、渦巻きばねの他端側は、バー８８Ａの中央部に固定され、バー８８Ａを介して一対のリール８２Ａに連結される。
一方、ロッド７２Ｂの両端部には、吊り下げ部材４８が巻き付けられる一対の円柱状のリール８２Ｂが設けられている。リール８２Ｂの中央部には、リール８２Ｂを高さ方向に貫通する貫通孔（不図示）が設けられており、この貫通孔にロッド７２Ｂの端部が挿入されている。なお、一対のリール８２Ｂはロッド７２Ｂに固定されておらず、ロッド７２Ｂに対して回転自在な状態で装着されている。そのため、リール８２Ｂに外力が付与されると、リール８２Ｂはロッド７２Ｂと独立して、ロッド７２Ｂの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。
一対のリール８２Ｂの外側（モータ７０とは反対側）にはそれぞれ、吊り下げ部材４８を支持する円柱状のローラー８４Ｂが設けられている。一対のローラー８４Ｂは、一対のリール８２Ｂの下方に配置されており（図７参照）、ロッド７２Ｂの長さ方向と概ね平行な回転軸の周りを回転自在な状態で支持されている。
ロッド７２Ｂには、ロッド７２Ｂの側面（外周面）からロッド７２Ｂの半径方向外側に突出する柱状の押圧部材（突起、凸部）８６Ｂが固定されている。例えば、一対の押圧部材８６Ｂが一対のリール８２Ｂの間に設けられる。
また、一対のリール８２Ｂは、ロッド７２Ｂと概ね平行に配置されたバー（シャフト）８８Ｂを介して互いに連結されている。例えば、バー８８Ｂの両端部が、一対のリール８２Ｂの互いに対向する面に固定される。リール８２Ｂが回転すると、バー８８Ｂはロッド７２Ｂと概ね平行に配置された状態を維持したまま、リール８２Ｂと連動してロッド７２Ｂの周りを回転する。
ロッド７２Ｂとバー８８Ｂとは、付勢部材９０Ｂによって連結されている。付勢部材９０Ｂとしては、例えば渦巻き状に巻かれた帯状の金属によって構成されるばね（渦巻きばね）が用いられる。この場合、渦巻きばねの一端側は、ロッド７２Ｂの中央部に巻き付けられて固定される。また、渦巻きばねの他端側は、バー８８Ｂの中央部に固定され、バー８８Ｂを介して一対のリール８２Ｂに連結される。
一対のリール８２Ａ及び一対のリール８２Ｂにはそれぞれ、吊り下げ部材４８が巻き付けられる。吊り下げ部材４８の一端側（先端側、下端側）は容器４０（図５参照）に接続され、吊り下げ部材４８の他端側（基端側、上端側）はリール８２Ａ，８２Ｂに接続される。リール８２Ａに固定された吊り下げ部材４８は、ローラー８４Ａの外周面（側面）に接触した状態で下方に垂れ下がる。同様に、リール８２Ｂに固定された吊り下げ部材４８は、ローラー８４Ｂの外周面（側面）に接触した状態で下方に垂れ下がる。
図７は、昇降ユニット４６を示す正面図である。なお、図７では説明の便宜上、昇降ユニット４６の構成要素の一部の図示を省略している。
リール８２Ａに巻き付けられた吊り下げ部材４８は、リール８２Ａの上側から繰り出されてローラー８４Ａに支持される。一方、リール８２Ｂに巻き付けられた吊り下げ部材４８は、リール８２Ｂの下側から繰り出されてローラー８４Ｂに支持される。そして、コントローラ６４によってモータ７０を制御することにより、リール８２Ａ，８２Ｂの回転が制御される。これにより、吊り下げ部材４８の繰り出し及び巻き取りが制御され、容器４０が昇降する。
搬送装置１２が搬送路１０（図１参照）上を走行して搬送先の加工装置４又は収容装置８（図１参照）の直上に到達すると、昇降ユニット４６は吊り下げ部材４８を繰り出して容器４０を降下させる。これにより、容器４０は搬送路１０の開口１０ａ（図１参照）を通過して、加工装置４又は収容装置８の内部の所定の場所（載置領域１６、図５参照）に載置される。
次に、昇降ユニット４６の具体的な動作を説明する。まず、コントローラ６４によってモータ７０の回転軸７０ａに作用するトルクを制御し、回転軸７０ａを回転方向Ａ１（矢印Ａ１で示す方向）に回転可能な状態とする。すると、容器４０の自重によってリール８２Ａが吊り下げ部材４８を繰り出す回転方向Ｂ１（矢印Ｂ１で示す方向）に回転し、リール８２Ａに巻きつけられている吊り下げ部材４８が繰り出される。
このとき、リール８２Ａと連動してバー８８Ａが回転し、ロッド７２Ａに固定された押圧部材８６Ａに接触する。そして、バー８８Ａによって押圧部材８６Ａが押圧され、ロッド７２Ａがリール８２Ａと連動して回転方向Ｂ１に回転する。
同様に、容器４０の自重によってリール８２Ｂが吊り下げ部材４８を繰り出す回転方向Ｃ１（矢印Ｃ１で示す方向）に回転し、リール８２Ｂに巻きつけられた吊り下げ部材４８が繰り出される。また、ロッド７２Ｂがリール８２Ｂと連動して回転方向Ｃ１に回転する。
リール８２Ａ，８２Ｂからそれぞれ吊り下げ部材４８が繰り出されると、容器４０が降下する。このとき、コントローラ６４によってモータ７０の回転軸７０ａに作用するトルクを制御することにより、容器４０の降下速度を調整することができる。例えば、容器４０が重く、容器４０の自重による吊り下げ部材４８の繰り出しが速すぎる場合には、モータ７０の回転軸７０ａに回転方向Ａ１とは逆方向の回転方向Ａ２（矢印Ａ２で示す方向）の力を付与する。
回転軸７０ａの動力は、連結部材７６及びプーリー７４を介してロッド７２Ａに伝達される。これにより、ロッド７２Ａに回転方向Ｂ１とは逆方向の回転方向Ｂ２（矢印Ｂ２で示す方向）の力が付与される。そして、ロッド７２Ａに固定されている押圧部材８６Ａがバー８８Ａに接触し、バー８８Ａを回転方向Ｂ２に向かって押圧する。その結果、バー８８Ａに連結されたリール８２Ａに回転方向Ｂ２の力が付与され、リール８２Ａの回転方向Ｂ１における速度が低減される。
また、ロッド７２Ａの動力は、プーリー７８Ａ，７８Ｂ（図６参照）及び連結部材８０を介してロッド７２Ｂに伝達される。これにより、ロッド７２Ｂに回転方向Ｃ１とは逆方向の回転方向Ｃ２（矢印Ｃ２で示す方向）の力が付与される。そして、ロッド７２Ｂに固定されている押圧部材８６Ｂがバー８８Ｂに接触し、バー８８Ｂを回転方向Ｃ２に向かって押圧する。その結果、バー８８Ｂに連結されたリール８２Ｂに回転方向Ｃ２の力が付与され、リール８２Ａの回転方向Ｃ１における速度が低減される。
図８（Ａ）は、吊り下げ部材４８を繰り出すリール８２Ａを示す正面図である。容器４０の自重によってリール８２Ａが回転方向Ｂ１に回転すると、リール８２Ａに固定されているバー８８Ａがロッド７２Ａの周りを回転方向Ｂ１に回転し、押圧部材８６Ａに接触する。このとき、ロッド７２Ａに固定されている付勢部材９０Ａの先端部がバー８８Ａによって引っ張られ、付勢部材９０Ａがロッド７２Ａに巻き付くように変形して縮む。
その結果、付勢部材９０Ａの復元力がバー８８Ａ及びリール８２Ａに作用し、リール８２Ａは回転方向Ｂ１とは逆方向（回転方向Ｂ２）に付勢される。ただし、容器４０の降下中は、付勢部材９０Ａがリール８２Ａを付勢する力よりも容器４０がリール８２Ａを引っ張る力の方が強いため、リール８２Ａは回転方向Ｂ１に回転して吊り下げ部材４８を繰り出す。また、付勢部材９０Ｂ（図６参照）も同様に、リール８２Ｂを回転方向Ｃ２（図７参照）に付勢する。
そして、リール８２Ａ，８２Ｂからそれぞれ吊り下げ部材４８が所定量繰り出されると、容器４０が載置領域１６に到達する。図８（Ｂ）は、容器４０が載置領域１６に載置された際のリール８２Ａを示す正面図である。容器４０が載置領域１６に載置されると、容器４０の自重がリール８２Ａに作用しなくなる。ただし、リール８２Ａの回転はすぐに停止しないため、容器４０が載置領域１６で支持された後も、リール８２Ａから吊り下げ部材４８がわずかに繰り出される。その結果、過剰に繰り出された吊り下げ部材４８にたるみが生じる。
ここで、容器４０が載置領域１６に載置された際には、付勢部材９０Ａの復元力がバー８８Ａに作用しており、バー８８Ａは回転方向Ｂ２に付勢されている。そして、容器４０の自重がリール８２Ａに作用していない状態では、付勢部材９０Ａの復元力によってバー８８Ａが回転方向Ｂ２に回転し、バー８８Ａに連結されたリール８２Ａも連動して回転方向Ｂ２に回転する。すなわち、容器４０が載置領域１６に載置されると、リール８２Ａが逆回転する。
図９（Ａ）は、逆回転するリール８２Ａを示す正面図である。付勢部材９０Ａによってリール８２Ａが回転方向Ｂ２に回転すると、吊り下げ部材４８がリール８２Ａに巻き取られる。その結果、吊り下げ部材４８のたるみが自動的に解消される。
図９（Ｂ）は、吊り下げ部材４８のたるみが解消された際のリール８２Ａを示す正面図である。なお、付勢部材９０Ａの特性（ばね定数等）は、吊り下げ部材４８の自重よりも大きく、且つ、容器４０の自重よりも小さいトルクがリール８２Ａに付与されるように設定される。すなわち、付勢部材９０Ａは、容器４０が載置領域１６に載置された際に、吊り下げ部材４８が巻き取られ、且つ、容器４０が載置領域１６から離れないようにリール８２Ａを回転させる。そのため、リール８２Ａの逆回転によって容器４０が載置領域１６から浮き上がることはない。
また、付勢部材９０Ｂ（図６参照）の作用によって、リール８２Ｂも同様に逆回転する。これにより、リール８２Ｂから繰り出された吊り下げ部材４８のたるみも解消される。なお、付勢部材９０Ｂの特性は、付勢部材９０Ａと同様に設定される。
そして、載置領域１６に載置された容器４０から被加工物１１が搬出される。また、載置領域１６に載置された容器４０に被加工物１１が搬入される。
載置領域１６に載置された容器４０を上昇させる際は、モータ７０（図７参照）の回転軸７０ａを回転方向Ａ２に回転させる。すると、回転軸７０ａの動力がロッド７２Ａに伝達され、ロッド７２Ａが回転方向Ｂ２に回転する。そして、ロッド７２Ａに設けられた押圧部材８６Ａがバー８８Ａを押圧し、リール８２Ａ及びバー８８Ａが回転方向Ｂ２に回転する。これにより、リール８２Ａに連結されている吊り下げ部材４８が巻き取られる。
また、ロッド７２Ａの動力が連結部材８０を介してロッド７２Ｂに伝達され、ロッド７２Ｂが回転方向Ｃ２に回転する。そして、ロッド７２Ｂに設けられた押圧部材８６Ｂがバー８８Ｂを押圧し、リール８２Ｂ及びバー８８Ｂが回転方向Ｃ２に回転する。これにより、リール８２Ｂに連結されている吊り下げ部材４８が巻き取られる。リール８２Ａ，８２Ｂがそれぞれ吊り下げ部材４８が巻き取ると、容器４０が載置領域１６から離れて上昇し、搬送装置１２の格納領域３８に格納される（図３（Ａ）参照）。
そして、容器４０が搬送装置１２にセットされた後、搬送装置１２は搬送路１０（図１参照）上を走行し、容器４０に収容された物品１７を搬送する。なお、搬送装置１２が容器４０を格納して走行する際は、容器４０の自重によってリール８２Ａ，８２Ｂから吊り下げ部材４８が繰り出されないように、モータ７０の回転軸７０ａに回転方向Ａ２（図７参照）の力が付与される。
上記のように、容器４０の昇降が昇降ユニット４６によって制御される。ただし、コントローラ６４でモータ７０の回転数及び回転速度を制御することによって容器４０の昇降距離及び昇降速度を調節可能であれば、駆動機構５０の構成に制限はない。
なお、容器４０が搬送先である載置領域１６に載置される際（図５、図８（Ｂ）参照）、容器４０が高速で降下すると、載置領域１６に容器４０が載置される際、容器４０に収容されている物品１７に大きな衝撃が付与され、物品１７の位置ずれや破損が生じるおそれがある。一方、容器４０を低速で降下させると、物品１７に付与される衝撃は小さくなるものの、容器４０の降下時間が長くなり、搬送効率が低下する。
そこで、本実施形態においては、容器４０を降下させて搬送先に接近させた後、容器４０を減速させて搬送先に到達させる。これにより、容器４０が搬送先に配置される直前までは容器４０を高速で降下させて降下時間を短縮しつつ、容器４０を低速で搬送先に配置して容器４０に付与される衝撃を緩和することができる。
図１０は、コントローラ６４を示すブロック図である。容器４０を昇降させる際は、コントローラ６４によってモータ７０の駆動が制御される。なお、図１０には、コントローラ６４の機能的な構成を示すブロックに加えて、載置領域１６、容器４０、及び昇降ユニット４６の一部の構成要素を模式的に図示している。
コントローラ６４は、モータ７０を制御するモータ制御部１００と、モータ７０の制御に用いられる情報（数値、パラメータ等）を設定する設定部１０２とを含む。また、コントローラ６４は、モータ制御部１００及び設定部１０２における処理に用いられる情報（データ、プログラム等）や、設定部１０２によって設定された情報を記憶する記憶部（メモリ）１０４を含む。
モータ制御部１００は、モータ７０に制御信号を出力することにより、モータ７０の回転数及び回転速度を制御して、容器４０の昇降距離及び昇降速度を調節する。例えば、容器４０を搬送先（載置領域１６）に載置する際には、モータ制御部１００がモータ７０を制御することにより、容器４０が本体フレーム２０にセットされた状態から所定の速度で所定の距離分降下し、搬送先に到達する。
なお、モータ制御部１００は、吊り下げ部材４８がリール８２Ａ，８２Ｂから繰り出されて容器４０が搬送先へ搬送される際、容器４０が所定の速度で降下した後にその所定の速度を下回る速度で降下しながら搬送先に到達するように、モータ７０を制御する。これにより、容器４０が載置領域１６に載置される直前に容器４０が減速する。
図１１は、容器４０の降下時間と容器４０の位置との関係を示すグラフである。図１１において、初期位置ＰＡは、容器４０が本体フレーム２０にセットされて接触部材５２で支持された状態（図１０参照）の容器４０の下面の高さ位置を示す。また、載置位置ＰＢは、載置領域１６（図１０参照）の高さ位置を示す。そして、初期位置ＰＡと載置位置ＰＢとの差が、容器４０を載置領域１６に載置するために必要な容器４０の降下距離Ｈに相当する。図１１では一例として、降下距離Ｈが１０００ｍｍである場合を示している。
本実施形態では、容器４０の高さ位置が第１基準位置Ｐ１（ＰＢ＜Ｐ１＜ＰＡ）になると容器４０の降下速度が上昇し（加速）、容器４０の高さ位置が第２基準位置Ｐ２（ＰＢ＜Ｐ２＜Ｐ１）になると容器の降下速度が減少する（減速）。
具体的には、容器４０が第１基準位置Ｐ１から第２基準位置Ｐ２に到達するまでの間は、容器４０が標準速度Ｖ１で降下する。標準速度Ｖ１は、高速で降下する容器４０の速度に相当し、例えば１００ｍｍ／ｓ以上２００ｍｍ／ｓ以下に設定される。なお、標準速度Ｖ１は、容器４０が第１基準位置Ｐ１から第２基準位置Ｐ２に到達するまでの間に変動してもよい。
容器４０が初期位置ＰＡから第１基準位置Ｐ１に到達するまでの間は、容器４０が初期速度Ｖ０で降下する。また、容器４０が第２基準位置Ｐ２から載置位置ＰＢに到達するまでの間は、容器４０が到達速度Ｖ２で降下する。そして、初期速度Ｖ０及び到達速度Ｖ２は、標準速度Ｖ１（標準速度Ｖ１が変動する場合は標準速度Ｖ１の最小値）を下回るように設定される。
初期速度Ｖ０及び到達速度Ｖ２は、低速で降下する容器４０の速度に相当し、例えば標準速度Ｖ１の５０％以下、好ましくは３０％以下、より好ましくは１５％以下に設定される。具体的には、初期速度Ｖ０及び到達速度Ｖ２は、５０ｍｍ／ｓ以下、好ましくは３０ｍｍ／ｓ以下、より好ましくは１０ｍｍ／ｓ以下に設定できる。
上記のように、容器４０は、初期位置ＰＡから第１基準位置Ｐ１まで低速（初期速度Ｖ０）で降下し、第１基準位置Ｐ１において加速して加速度が最大になる。次に、容器４０は、第１基準位置Ｐ１から第２基準位置Ｐ２まで高速（標準速度Ｖ１）で降下し、第２基準位置Ｐ２において減速して減速度が最大になる。その後、容器４０は、第２基準位置Ｐ２から載置位置ＰＢまで低速（到達速度Ｖ２）で降下しつつ、載置領域１６に載置される。すなわち、容器４０は、低速、高速、低速の３段階の降下速度で初期位置ＰＡから載置位置ＰＢまで降下する。
初期速度Ｖ０を低速に設定することにより、容器４０が本体フレーム２０にセットされた状態から急激に降下することを回避でき、容器４０が降下を開始する際に容器４０に付与される衝撃が緩和される。また、到達速度Ｖ２を低速に設定することにより、容器４０が載置領域１６に強く衝突することを回避でき、容器４０が載置領域１６に載置される際に容器４０に付与される衝撃が緩和される。
なお、容器４０の降下時間を短縮するため、容器４０が初期速度Ｖ０又は到達速度Ｖ２で降下する期間は、容器４０への衝撃が適切に緩和される範囲内で短く設定することが好ましい。例えば、容器４０の初期速度Ｖ０での降下距離（初期位置ＰＡから第１基準位置Ｐ１までの距離）と、容器４０の到達速度Ｖ２での降下距離（第２基準位置Ｐ２から載置位置ＰＢまでの距離）とはそれぞれ、１００ｍｍ以下、好ましくは５０ｍｍ以下、より好ましくは３０ｍｍ以下に設定される。
上記の容器４０の降下は、図１０に示すコントローラ６４のモータ制御部１００によって制御される。すなわち、モータ制御部１００は、回転軸７０ａの回転数及び回転速度を制御することにより、容器４０の速度を初期速度Ｖ０、標準速度Ｖ１、到達速度Ｖ２の順で切り替えつつ、容器４０を初期位置ＰＡから載置位置ＰＢまで降下させる。
具体的には、記憶部１０４には、容器４０の降下距離とモータ７０の回転数に対応する値（回転対応値）との対応関係を示す情報（対応関係情報）が記憶されている。例えば、モータ７０がパルスモータである場合には、モータ７０に入力されるパルス数を回転対応値として用いることができる。そして、容器４０の降下距離と、容器４０をその降下距離分降下させるために必要なモータ７０のパルス数との関係を示すテーブルやグラフ（関数）が、対応関係情報として記憶部１０４に記憶される。ただし、回転対応値に制限はなく、例えばモータ７０の回転数自体を回転対応値として用いることもできる。
また、記憶部１０４には、容器４０の降下速度が切り替わるタイミングを示す情報（変速情報）が記憶されている。具体的には、容器４０が加速する地点である第１基準位置Ｐ１を示す情報と、容器４０が減速する地点である第２基準位置Ｐ２を示す情報とが、変速情報として記憶部１０４に記憶される。
搬送装置１２の外部から受信機６６に容器４０を載置領域１６へ搬送する旨の指令が入力されると、モータ制御部１００はまず、容器４０を載置領域１６に載置するために必要な降下距離Ｈ（図１１参照）を特定する。降下距離Ｈは、搬送装置１２の外部から指令とともにモータ制御部１００に入力されてもよいし、記憶部１０４に記憶されていてもよい。
次に、モータ制御部１００は、記憶部１０４から対応関係情報を読み出し、降下距離Ｈに対応するモータ７０のパルス数を特定する。また、モータ制御部１００は、記憶部１０４から変速情報を読み出し、容器４０を初期速度Ｖ０、標準速度Ｖ１、到達速度Ｖ２で降下させる距離をそれぞれ特定する。
そして、モータ制御部１００は、モータ７０に制御信号を出力し、モータ７０の回転数及び回転速度を制御する。具体的には、モータ制御部１００は、容器４０が初期速度Ｖ０で第１基準位置Ｐ１まで降下し、標準速度Ｖ１で第２基準位置Ｐ２まで降下し、到達速度Ｖ２で載置位置ＰＢまで降下するように、モータ７０に入力されるパルス信号のパルス数及びパルス周波数を制御する。これにより、搬送装置１２に格納された容器４０が、図１１に示すように変速しつつ、載置領域１６に載置される。
なお、記憶部１０４に記憶される対応関係情報は、オペレータが設定してもよいし、搬送装置１２が自発的に設定してもよい。搬送装置１２によって対応関係情報が設定される場合には、対応関係情報を設定する設定部１０２がコントローラ６４に設けられる。
設定部１０２は、容器４０が本体フレーム２０にセットされた状態からのモータ７０の回転数に対応する回転対応値を計測する計測部１０２ａを含む。本体フレーム２０にセットされた容器４０の降下が開始すると、計測部１０２ａに回転対応値が逐次的に入力され、計測部１０２ａは回転対応値を監視する。例えば、モータ７０がパルスモータである場合には、モータ７０に入力されるパルス信号のパルス数が計測部１０２ａにも入力され、計測部１０２ａはパルス信号のパルス数をカウントする。
また、設定部１０２は、モータ７０のトルクに対応するトルク対応値を検知する検知部１０２ｂを含む。例えば検知部１０２ｂは、モータ７０に接続されており、モータ７０の電流値をトルク対応値として逐次的に検知する。これにより、容器４０の降下中におけるモータ７０の電流値が監視される。
また、設定部１０２は、検知部１０２ｂによって検知されたトルク対応値に基づいて容器４０が搬送先に到達したか否かを判定する判定部１０２ｃを含む。判定部１０２ｃには、検知部１０２ｂによって検知されたトルク対応値が入力される。また、記憶部１０４には、トルク対応値の基準値（閾値）が記憶されている。そして、判定部１０２ｃは、トルク対応値と基準値とを比較することにより、容器４０が載置領域１６に到達したか否かを判定する。
搬送装置１２に格納された容器４０が降下して載置領域１６に到達すると、容器４０が載置領域１６で下側から支持される。その結果、モータ７０の回転軸７０ａに作用する負荷が弱まり、モータ７０の電流値が減少する。そのため、モータ７０の電流値を監視することにより、容器４０が搬送先に到達したか否かを判定することができる。
具体的には、判定部１０２ｃは、検知部１０２ｂによって検知されたモータ７０の電流値と、記憶部１０４に記憶されている基準値（下限値）とを比較する。そして、モータ７０の電流値が基準値を下回ると、容器４０が載置領域１６に到達したと判定する。
ただし、容器４０が載置領域１６に到達したか否かを判定する方法に制限はない。例えば、容器４０が配置されたことを検知するセンサー（押しボタン式のスイッチ等）が載置領域１６の上面側に設けられてもよい。この場合、センサーによって容器４０が検知されると、検知部１０２ｂに検知信号が入力される。そして、検知部１０２ｂは容器４０が載置領域１６において検知された旨を示す信号を判定部１０２ｃに出力し、判定部１０２ｃは容器４０が載置領域１６に到達したと判定する。
さらに、設定部１０２は、容器４０が降下を開始してから搬送先に到達するまでの間に計測された回転対応値を算出する算出部１０２ｄを含む。算出部１０２ｄには、計測部１０２ａによって計測された回転対応値と、判定部１０２ｃによる判定の結果とが入力される。そして、算出部１０２ｄは、容器４０が降下を開始してから判定部１０２ｃによって容器４０が載置領域１６に到達したと判定されるまでの間におけるモータ７０の回転数に対応する回転対応値を算出する。
例えば、計測部１０２ａがモータ７０に入力されるパルス信号のパルス数をカウントしている場合には、容器４０が降下を開始してから判定部１０２ｃによって容器４０が載置領域１６に到達したと判定されるまでの間に計測部１０２ａがカウントしたパルス数が、算出部１０２ｄによって算出される。この算出部１０２ｄによって算出されたパルス数が、容器４０を初期位置ＰＡ（図１１参照）から載置位置ＰＢ（図１１参照）まで降下させるために必要なモータ７０のパルス数に相当する。これにより、容器４０の降下距離とモータ７０のパルス数との関係を示す対応関係情報が取得される。
また、設定部１０２は、対応関係情報に加えて、容器４０の降下速度が切り替わるタイミングを示す変速情報を設定することもできる。例えば設定部１０２は、算出部１０２ｄによって算出されたモータ７０のパルス数に基づいて、容器４０が初期速度Ｖ０で降下する距離に対応するモータ７０のパルス数、容器４０が標準速度Ｖ１で降下する距離に対応するモータ７０のパルス数、容器４０が到達速度Ｖ２で降下する距離に対応するモータ７０のパルス数をそれぞれ算出する。そして、設定部１０２は、算出されたパルス数を変速情報として記憶部１０４に記憶する。
以上の通り、本実施形態に係る搬送装置１２では、容器４０を搬送先へ搬送する際、容器４０が所定の速度で降下した後にその所定の速度を下回る速度で降下しながら搬送先に到達するように、容器４０の降下速度が調節される。これにより、容器４０が搬送先に配置される直前までは容器４０を高速で降下させて降下時間を短縮しつつ、容器４０を低速で搬送先に配置して容器４０に付与される衝撃を緩和することが可能になる。
なお、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
１１ 被加工物
１３ シート
１５ フレーム
１７，１７Ａ，１７Ｂ 物品
２ 搬送システム
４ 加工装置
６ 配管
８ 収容装置（ローダー・アンローダー）
１０ 搬送路
１０ａ 開口
１２ 搬送装置（搬送車）
１４ コントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）
１６ 載置領域（搬送先）
２０ 本体フレーム
２２ 車軸
２４ 車輪（前輪）
２６ 車輪（後輪）
２８ 駆動ユニット
３０ モータ
３０ａ 回転軸（出力シャフト）
３２ プーリー
３４ バッテリー（二次電池）
３６ 端子
３８ 格納領域
４０ 容器（カセット）
４０ａ 収容部（収容空間）
４０ｂ 開口
４０ｃ 上壁
４０ｄ 底壁
４２ 第１ガイドレール
４２ａ 側壁
４２ｂ 突出部
４２ｃ 保持面
４４ 第２ガイドレール
４４ａ 保持面
４６ 昇降ユニット（昇降機構）
４８ 吊り下げ部材
５０ 駆動機構
５２ 接触部材（接触ピン）
５４ カバー
５６ 第１センサー
５８ 第２センサー
６０ 第３センサー
６２ 支持台
６４ コントローラ（制御ユニット、制御部、制御装置）
６６ 受信機
６８ 送信機
７０ モータ
７０ａ 回転軸（出力シャフト）
７２Ａ，７２Ｂ ロッド（回転軸）
７４ プーリー
７６ 連結部材
７８Ａ，７８Ｂ プーリー
８０ 連結部材
８２Ａ，８２Ｂ リール
８４Ａ，８４Ｂ ローラー
８６Ａ，８６Ｂ 押圧部材（突起、凸部）
８８Ａ，８８Ｂ バー（シャフト）
９０Ａ，９０Ｂ 付勢部材
１００ モータ制御部
１０２ 設定部
１０２ａ 計測部
１０２ｂ 検知部
１０２ｃ 判定部
１０２ｄ 算出部
１０４ 記憶部（メモリ）
Ａ１，Ａ２ 矢印（回転方向）
Ｂ１，Ｂ２ 矢印（回転方向）
Ｃ１，Ｃ２ 矢印（回転方向）

Claims (5)

  1. 物品を搬送する搬送装置であって、
    本体フレームと、
    該物品を収容する容器に接続され、該容器を吊り下げる吊り下げ部材と、
    該本体フレームに回転自在に装着され、該吊り下げ部材が巻き付けられるリールと、
    該リールを回転させるモータと、
    該モータを制御するコントローラと、を備え、
    該コントローラは、該吊り下げ部材が該リールから繰り出されて該物品を収容した該容器が搬送先へ搬送される際、該容器が所定の速度で降下した後に該所定の速度を下回る速度で降下しながら該搬送先に到達するように、該モータを制御することを特徴とする搬送装置。
  2. 該コントローラは、該容器が該本体フレームにセットされた状態から該所定の速度を下回る速度で降下した後に該所定の速度で降下するように、該モータを制御することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
  3. 該コントローラは、
    該容器が該本体フレームにセットされた状態からの該モータの回転数に対応する回転対応値を計測する計測部と、
    該モータのトルクに対応するトルク対応値を検知する検知部と、
    該検知部によって検知された該トルク対応値に基づいて該容器が該搬送先に到達したか否かを判定する判定部と、
    該容器が該本体フレームにセットされた状態から該搬送先に到達するまでの間に計測された該回転対応値を算出する算出部と、を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
  4. 該回転対応値は、該モータに入力されるパルス数であり、
    該トルク対応値は、該モータの電流値であることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
  5. 該本体フレームに装着された車輪をさらに備え、加工装置の上方に設置された搬送路上を走行することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
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