JP2024051751A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】サイズの異なる媒体を搬送面から吸着して搬送する場合でも、媒体の外側にある吸着パッドを載置面に接触させることがない搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送装置１の吸着機構５は、第１吸着領域１１の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第１吸着パッド１２と、第１吸着領域１１を内側に包含する第２吸着領域１３の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第２吸着パッド１４を備える。また、吸着機構５は、吸気機構６０と、吸気機構６０と第１吸着パッド１２とを接続する第１吸気路６１と、吸気機構６０と第２吸着パッド１４を接続する第２吸気路６２と、第２吸気路６２を継断する継断機構６３と、第２吸着パッド１４をＺ軸方向で第１吸着パッド１２と同一の吸着位置と、第１吸着パッド１２よりもＺ２方向に離間した退避位置との間で移動させる可動フレーム昇降機構２３を備える。【選択図】図６

Description

本発明は、載置面に配置された媒体を吸着パッドにより吸着して搬送する搬送装置に関する。

プリント基板などの可撓性のある媒体を、複数の吸着バッドを備える搬送アームで搬送する搬送装置は、特許文献１に記載されている。同文献では、搬送アームの各吸着パッドには、真空配管が接続されている。載置面に配置された媒体を吸着保持する際には、吸着パッドに真空を供給するとともに、搬送アームを載置面に向かって下降させて、全ての吸着パッドのパッド部を媒体に接触させる。これにより、各吸着パッドに媒体が吸着された状態となると、搬送装置は、搬送アームを上昇させて、媒体を所定の場所に移動させて、各吸着パッドへの真空の供給を停止する。

特開２０１３－１８０８９１号公報

ここで、サイズの異なる複数種類の媒体の搬送を、複数の吸着パッドを備える搬送装置で行うことが考えられる。しかし、大きな媒体を搬送可能な搬送装置によって、それよりも小さな媒体を搬送しようとすると、載置面に配置された媒体を吸着する際に、複数の吸着パッドのうちのいくつかの吸着パッドが、媒体の外周側に位置してしまう。従って、搬送アームを載置面に向かって下降させたときに、媒体の外周側に位置するいくつかの吸着パッドは、媒体に接触せず、載置面に接触することになる。ここで、媒体に接触させることを目的とする吸着パッドが、媒体ではなく、載置面に接触すると、吸着パッドに磨耗や傷が発生する場合がある。

本発明の課題は、かかる点に鑑みて、サイズの異なる媒体を搬送面から吸着して搬送する場合でも、媒体の外側に位置する吸着パッドを載置面に接触させることがない搬送装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は、載置面に載置された可撓性の媒体を吸着して搬送する搬送装置において、前記媒体を吸着する吸着機構と、前記吸着機構を昇降させる昇降機構と、を備え、互いに直交する３軸方向をＸ軸、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向、Ｚ１方向を下方、Ｚ２方向を上方とした場合に、前記吸着機構は、前記Ｚ軸方向から見た場合に前記載置面に予め設定された矩形の第１吸着領域の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第１吸着パッドと、前記Ｚ軸方向から見た場合に前記載置面上で前記第１吸着領域を内側に包含する第２吸着領域の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第２吸着パッドと、吸気機構と、前記吸気機構と前記第１吸着パッドとを接続する第１吸気路と、前記吸気機構と前記第２吸着パッドとを接続する第２吸気路と、前記第２吸気路を継断する継断機構と、前記第２吸着パッドを、前記Ｚ軸方向で前記第１吸着パッドと同一の吸着位置と、前記第１吸着パッドよりも上方に離間した退避位置との間で移動させる第２吸着パッド移動機構と、を備え、前記第１吸着パッドにより前記媒体を吸着して搬送する際には、前記第２吸着パッドを前記退避位置に配置するとともに前記２吸気路を遮断した状態で前記吸気機構を駆動して前記吸気機構を下降させて前記第１吸
着パッドを前記載置面上の前記媒体に接触させ、前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドにより前記媒体を吸着して搬送する際には、前記第２吸着パッドを前記吸着位置に配置するとともに前記第２吸気路を繋げた状態で前記吸気機構を駆動して前記吸気機構を下降させて前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドを前記載置面上の前記媒体に接触させることを特徴とする。

本発明によれば、吸着機構は、第１吸着領域の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第１吸着パッドと、第１吸着領域を包含する第２吸着領域の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第２吸着パッドを備える。また、４つの第２吸着パッドは、吸着位置と、吸着位置から上方に退避した退避位置に移動可能である。従って、大きなサイズの媒体を搬送する際には、第２吸着パッドを第１位置と同じ高さ位置の吸着位置に配置した状態で吸着機構を下降させることにより、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを媒体に接触させて、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドにより媒体を吸着する。すなわち、大きなサイズの媒体は、４つの第１吸着パッドとともに、４つの第１吸着パッドの外側に位置する４つの吸着パッドで吸着する。従って、媒体が可撓性を備える場合でも、搬送時に媒体が撓むことを防止、或いは、抑制できる。ここで、搬送時に媒体が撓むと、特定の吸着パッドに負荷がかかり、媒体が落下する事態を招くことがあるが、本発明によれば、このような事態の発生を防止、或いは、抑制できる。この一方、小さいサイズの媒体を搬送する際には、第２吸着パッドを退避位置に配置した状態で吸着機構を下降させる。これにより、第２吸着パッドが載置面に接触することを回避しながら第１吸着パッドのみ媒体に接触させて、第１吸着パッドにより媒体を吸着する。よって、第２吸着パッドが載置面に接触することにより、磨耗や傷が発生することを防止或いは抑制できる。

本発明において、前記吸着機構は、基準フレームと、４つの前記第１吸着パッドを支持する固定フレームと、４つの前記第２吸着パッドを支持する可動フレームと、を有し、前記固定フレームは、前記基準フレームに接続され、前記第２吸着パッド移動機構は、前記可動フレームに接続されたエアシリンダーを備え、前記エアシリンダーは、前記基準フレームに取り付けられて前記可動フレームを昇降させるものとすることができる。このようにすれば、４つの第２吸着パッドを昇降させることが容易である。

本発明において、前記エアシリンダーは、複動式のエアシリンダーであり、前記第２吸着パッド移動機構は、前記エアシリンダーを駆動するための電磁弁を備え、前記電磁弁は、前記可動フレームを下降させる際に圧力を印加する前記エアシリンダーの第１ポートに連通する第１空気供給路と、前記可動フレームを上昇させる際に圧力を印加する前記エアシリンダーの第２ポートに連通する第２空気供給路と、を切り替え、前記継断機構は、前記第２吸気路を開閉するノーマルクロース型のエアゲートバルブと、前記エアゲートバルブに動作用空気を供給するためのバルブ動作用空気供給路と、を備え、前記バルブ動作用空気供給路は、前記第１空気供給路に接続されているものとすることができる。このようにすれば、第２吸着パッドが取り付けらえた可動フレームを下降させるために、エアシリンダーの第１ポートに連通する第１空気供給路に圧縮空気を供給すると、この圧縮空気は、第１空気供給路からバルブ動作用空気供給路を介して、エアゲートバルブにも供給される。これにより、エアゲートバルブが第２吸気路を開くので、第２吸着パッドは媒体を吸着可能な状態となる。すなわち、第２吸着パッドが退避位置から吸気位置に移動したときに、第２吸着パッドは、自動的に、媒体を吸着可能な状態となる。

本発明において、上下方向と垂直で互いに直交する２方向をＸ軸方向およびＹ軸方向とした場合に、前記上下方向から見た場合に、前記第１吸着領域は、前記Ｘ軸方向で対向し前記Ｙ軸方向に延びる第１吸着領域第１辺および第１吸着領域第２辺を備え、前記上下方向から見た場合に、前記第２吸着領域は、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第２吸着領域第１辺および第２吸着領域第２辺を備え、前記第１吸着領域は、前記第２吸着領域の中央
に位置するものとすることができる。このようにすれば、媒体を第１吸着パッドおよび第２吸着パッドで吸引する際に、第１吸着パッドは、媒体の中央部分を吸引し、第２吸着パッドは、媒体の外周側部分を吸着する。よって、搬送時に媒体が撓むことを防止、或いは、抑制しやすい。

本発明において、４つの前記第１吸着パッドのそれぞれは、第１位置調節機構を介して前記固定フレームに取り付けられており、前記第１位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第１吸着パッドが前記固定フレーム上で前記第１吸着領域の中心から径方向に第１距離だけ移動することを許容する第１移動許容部と、前記第１吸着パッドを、前記径方向への移動を阻止した状態で前記固定フレームに固定する第１固定機構と、を備えるものとすることができる。このようにすれば、４つの第１吸着パッドのそれぞれの位置を、第１吸着領域の中心から見た径方向で調節できる。従って、サイズの異なる媒体に対応することが容易となる。

本発明において、４つの前記第２吸着パッドのそれぞれは、第２位置調節機構を介して前記可動フレームに取り付けられており、前記第２位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第２吸着パッドが前記可動フレーム上で前記径方向に第２距離だけ移動することを許容する第２移動許容部と、前記第２吸着パッドを、前記径方向への移動を阻止した状態で、前記可動フレームに固定する第２固定機構と、を備え、前記第２距離は、前記第１距離よりも長いものとすることができる。このようにすれば、４つの第２吸着パッドのそれぞれの位置を、第１吸着領域の中心から見た径方向で調節できる。また、第２吸着パッドの径方向の位置を、比較的長い第２距離で調節できる。従って、サイズの異なる媒体に対応することが容易となる。

本発明において、前記可動フレームは、ベースフレームと、前記第２移動許容部を備え、前記ベースフレームの外周側で放射状に延びる４本の延設フレームと、各延設フレームを前記ベースフレームに固定する延設フレーム固定機構と、を備え、前記延設フレーム固定機構は、前記ベースフレームにおける各延設フレームの前記固定位置を、第１位置と、前記第１位置から周方向にずれた第２位置との間で変更可能であり、前記第２移動許容部は、前記延設フレームが前記第１位置に固定されたときに、前記第２吸着パッドの前記径方向への移動を許容するものとなり、前記延設フレームが前記第２位置に固定されたときに、前記第２吸着パッドの前記径方向からズレた方向への移動を許容するものとなることができる。このようにすれば、各第２吸着パッドを、第１吸着領域の中心から見た径方向、および径方向と交差する方向で調節できる。

本発明において、前記上下方向から見た場合に前記第２吸着領域と重なる位置において、周方向で互いに隣り合う２つの前記第２吸着パッドの間にそれぞれ配置された４つの第３吸着パッドを備え、前記第３吸着パッドは、前記可動フレームに取り付けられて、前記第２吸気路に接続されるものとすることができる。このようにすれば、大きいサイズの媒体を搬送する際に、媒体を、第１吸着パッド、第２吸着パッド、および第３吸着パッドで吸着できる。従って、吸着した媒体が撓むことを抑制できる。

次に、本発明では、上下方向と垂直で互いに直交する２方向をＸ軸方向およびＹ軸方向とした場合に、前記上下方向から見た場合に、前記第１吸着領域は、前記Ｘ軸方向で対向し前記Ｙ軸方向に延びる第１吸着領域第１辺および第１吸着領域第２辺を備え、前記上下方向から見た場合に、前記第２吸着領域は、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第２吸着領域第１辺および第２吸着領域第２辺を備え、前記上下方向から見た場合に、前記第１吸着領域第１辺は、前記第２吸着領域第１辺のＹ方向の中央で当該第２吸着領域第１辺と重なるものとすることができる。このようにすれば、媒体を第１吸着パッドおよび第２吸着パッドで吸引する際に、第１吸着パッドは、媒体においてＸ軸方向の一方側に偏在する領域
を吸着し、第２吸着パッドは、第１吸着パッドが媒体を吸引する領域のＹ軸方向の両側および第１吸着パッドが媒体を吸引する領域のＸ２方向を吸着する。

本発明において、４つの前記第１吸着パッドのそれぞれは、第１位置調節機構を介して前記固定フレームに取り付けられており、前記第１位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第１吸着パッドが前記固定フレーム上で前記Ｙ軸方向に第１距離だけ移動することを許容する第１移動許容部と、前記第１吸着パッドを、前記Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で前記固定フレームに固定する第１固定機構と、を備えるものとすることができる。このようにすれば、４つの第１吸着パッドのそれぞれの位置を、Ｙ方向で調節できる。

本発明において、４つの前記第２吸着パッドのそれぞれは、第２位置調節機構を介して前記可動フレームに取り付けられており、前記第２位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第２吸着パッドが前記可動フレーム上で前記Ｙ軸方向に第２距離だけ移動することを許容する第２移動許容部と、前記第２吸着パッドを、前記Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で、前記可動フレームに固定する第２固定機構と、を備え、前記第２距離は、前記第１距離よりも長いものとすることができる。このようにすれば、４つの第２吸着パッドのそれぞれの位置を、Ｙ軸方向で調節できる。また、第２吸着パッドのＹ軸方向の位置を、比較的長い第２距離で調節できる。

本発明において、前記可動フレームは、Ｙ軸方向で対向してＸ軸方向に延びる一対のレールフレームと、各レールフレームから内周側に向かってＹ軸方向を互いに接近する方向に延びる２本の延設フレームと、前記一対の前記レールフレームに前記Ｘ軸方向に移動可能な状態で架け渡されてＹ軸方向に延びる架け渡しフレームと、前記架け渡しフレームを、前記Ｘ軸方向への移動を阻止した状態で前記レールフレームに固定する架け渡しフレーム固定機構と、を備え、前記上下方向から見た場合に、前記架け渡しフレームは、前記第１吸着領域第２辺の前記第１吸着領域第１辺とは反対側に位置し、４つの前記第２吸着パッドのうちの２つは、それぞれ前記第２位置調節機構を介して、各延設フレームに固定され、４つの前記第２吸着パッドのうちの他の２つは、それぞれ前記第２位置調節機構を介して、前記架け渡しフレームに取り付けられているものとすることができる。このようにすれば、２つの第２吸着パッドの位置を、Ｘ軸方向で調節できる。

本発明において、前記上下方向から見た場合に、前記第２吸着領域と重なり、前記第１吸着領域第２辺と前記第２吸着領域第２辺との間において、前記Ｙ軸方向で離間して配置された２つの第３吸着パッドを備え、前記第３吸着パッドは、前記可動フレームに取り付けられて、前記第２吸気路に接続されるものとすることができる。このようにすれば、大きいサイズの媒体を搬送する際に、媒体を、第１吸着パッド、第２吸着パッド、および第３吸着パッドで吸着できる。従って、吸着した媒体が撓むことを抑制できる。

本発明によれば、大きなサイズの媒体を搬送する際には、第２吸着パッドを第１位置と同じ高さ位置の吸着位置に配置した状態で吸着機構を下降させることにより、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを媒体に接触させて、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドにより媒体を吸着する。この一方、小さいサイズの媒体を搬送する際には、第２吸着パッドを退避位置に配置した状態で吸着機構を下降させる。これにより、第２吸着パッドが載置面に接触することを回避しながら第１吸着パッドのみ媒体に接触させて、第１吸着パッドにより媒体を吸着する。よって、第２吸着パッドが載置面に接触することにより、磨耗や傷が発生することを防止或いは抑制できる。

実施例１の搬送装置の斜視図である。 図１の搬送装置を下方から見た場合の平面図である。 固定フレーム、および第１吸着パッドの斜視図である。 ベースフレーム、一本の延設フレーム、第２吸着パッドの斜視図である。 エアシリンダーの駆動系および吸気パッドの吸気系の回路図である。 第１吸着領域に対応する媒体を吸着する吸着機構の側面図である。 第２吸着領域に対応する媒体を吸着する吸着機構の側面図である。 実施例２の搬送装置の斜視図である。 図８の搬送装置を下方から見た場合の平面図である。 固定フレーム、および第１吸着パッドの斜視図である。 可動フレーム、第２吸着パッド、第３吸着パッドの斜視図である。 第１吸着領域に対応する媒体を吸着する吸着機構の側面図である。 第２吸着領域に対応する媒体を吸着する吸着機構の側面図である。

以下、図面を参照して、本発明を適用した搬送装置の実施の形態を説明する。

（実施例１）
図１は、本発明を適用した搬送装置の斜視図である。図２は、搬送装置を下方から見た場合の平面図である。図３は、固定フレーム、および第１吸着パッドの斜視図である。図４は、ベースフレーム、一本の延設フレーム、および第２吸着パッドの斜視図である。

図１に示すように、本例の搬送装置１は、載置面２に配置された可撓性のある媒体３を搬送する。媒体３は、シート状であり、矩形である。本例では、媒体３は、ＯＬＥＤ基板である。ＯＬＥＤ基板とは、薄膜トランジスタと、有機ＥＬ素子を有するＯＬＥＤと、薄膜封止層とが積層されているものである。ＯＬＥＤ基板は、平面形状が矩形である。

搬送装置１は、載置面２上の媒体３を吸着する吸着機構５と、吸着機構５を昇降させる昇降機構６と、昇降機構６を、載置面２と平行な方向に移動させる移動機構７を備える。昇降機構６は、移動機構７に支持されている。昇降機構６は、吸着機構５を上下方向に移動させるための不図示のアクチュエータを備える。なお、以下の説明では、互いに直交する３軸方向をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に沿った方向をＸ軸方向、Ｙ軸に沿った方向をＹ軸方向、Ｚ軸に沿った方向をＺ軸方向とする。さらに、Ｘ軸方向の一方をＸ１方向、他方をＸ２方向、Ｙ軸方向の一方をＹ１方向、他方をＹ２方向、Ｚ軸方向の一方をＺ１方向、他方をＺ２方向とする。載置面２は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に広がる平面である。Ｚ軸方向は上下方向である。Ｚ１方向は下方であり、Ｚ２方向は上方である。

（吸着機構）
図２に示すように、吸着機構５は、載置面２に予め設定された矩形の第１吸着領域１１の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第１吸着パッド１２と、Ｚ軸方向から見た場合に載置面２上で第１吸着領域１１を内側に包含する第２吸着領域１３の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第２吸着パッド１４と、を備える。さらに、吸着機構５は、Ｚ軸方向から見た場合に第２吸着領域１３と重なる位置において、周方向で互いに隣り合う２つの第２吸着パッド１４の間にそれぞれ配置された４つの第３吸着パッド１５を備える。

図１、図２に示すように、第１吸着領域１１は、Ｚ軸方向から見た場合、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第１吸着領域第１辺１１ａおよび第１吸着領域第２辺１１ｂと、Ｙ方向で対向しＸ軸方向に延びる第１吸着領域第３辺１１ｃおよび第１吸着領域第４辺１１ｄ
と、を備える。第１吸着領域１１は、Ｘ軸方向に対してＹ方向が長い長方形である。また、第２吸着領域１３は、Ｚ軸方向から見た場合、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第２吸着領域第１辺１３ａおよび第２吸着領域第２辺１３ｂと、Ｙ方向で対向しＸ軸方向に延びる第２吸着領域第３辺１３ｃおよび第２吸着領域第４辺１３ｄと、を備える。第２吸着領域１３は、Ｘ軸方向に対してＹ方向が長い長方形である。第１吸着領域１１は、前記第２吸着領域１３の中央に位置する。

第１吸着パッド１２、第２吸着パッド１４、および第３吸着パッド１５は、同一の部材である。図１、図３に示すように、第１吸着パッド１２、第２吸着パッド１４、および第３吸着パッド１５は、それぞれパッド部１６と軸部１７と、備える。パッド部１６は、樹脂製であり、変形可能である。軸部１７は、内部にパッド部１６に連通する空気流路を備える。軸部１７は、上下方向の途中に径方向外側に突出するフランジ部１８を備える。また、軸部１７は、上端部分に雄ねじを備える。

また、吸着機構５は、図１に示すように、昇降機構６に接続された基準フレーム２０を備える。また、吸着機構５は、図２に示すように、第１吸着パッド１２が取り付けられた固定フレーム２１と、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５が取り付けられた可動フレーム２２と、を備える。さらに、図１に示すように、吸着機構５は、可動フレーム２２を昇降させる可動フレーム昇降機構２３（第２吸着パッド移動機構を備える。可動フレーム昇降機構２３は、可動フレーム２２に接続されたエアシリンダー２４を備える。エアシリンダー２４は、基準フレーム２０に固定されて、可動フレーム２２を昇降させる。本例では、２本のエアシリンダー２４を備える。

図１に示すように、基準フレーム２０は、矩形の枠部２５と、枠部２５の中心からＺ１方向に延びる筒部２６と、筒部２６の上側部分から径方向外側に延びて筒部２６と枠部２５とを接続する接続部２７と、を有する。２本のエアシリンダー２４は、筒部２６のＹ軸方向の両側に固定されている。筒部２６の下端には、固定フレーム２１が固定されている。図３に示すように、固定フレーム２１は、Ｚ軸方向から見た場合に長方形形状の輪郭を備える板部２８と、板部２８の四隅から径方向外側に突出する４つの突出部２９を備える。板部２８の中央は筒部２６に固定されている。４つの第１吸着パッド１２のそれぞれは、第１位置調節機構３０を介して、固定フレーム２１に固定されている。

図３に示すように、第１位置調節機構３０は、各第１吸着パッド１２が固定フレーム２１上で第１吸着領域１１の中心Ｐから径方向に第１距離Ｄ１だけ移動することを許容する第１移動許容部３１と、第１吸着パッド１２を、径方向への移動を阻止した状態で固定フレーム２１に固定する第１固定機構３２と、を備える。第１移動許容部３１は、板部２８の四隅から突出部２９に至る４つの第１長穴２１ａである。各第１吸着パッド１２は、第１長穴２１ａに軸部１７のフランジ部１８よりも上方を貫通させた状態で、上方から軸部１７に捩じ込まれる第１止めネジ３３により、固定フレーム２１に固定される。第１止めネジ３３は、第１吸着パッド１２を固定フレーム２１に固定する第１固定機構３２である。

図２に示すように、可動フレーム２２は、ベースフレーム３５と、ベースフレーム３５の外周側で放射状に延びる４本の延設フレーム３６と、各延設フレーム３６をベースフレーム３５に固定する延設フレーム固定機構３７と、を備える。図２、図４から分かるように、４つの第２吸着パッド１４のそれぞれは、第２位置調節機構３８を介して、４本の延設フレーム３６のそれぞれに固定されている。

図４に示すように、第２位置調節機構３８は、各第２吸着パッド１４が延設フレーム３６上で第１吸着領域１１の中心Ｐから径方向に第２距離Ｄ２だけ移動することを許容する
第２移動許容部３９と、第２吸着パッド１４を、径方向への移動を阻止した状態で延設フレーム３６に固定する第２固定機構４０と、を備える。第２移動許容部３９は、各延設フレーム３６において径方向に延びる第２長穴３６ａである。各第２吸着パッド１４は、第２長穴３６ａに軸部１７のフランジ部１８よりもＺ２方向の部分を貫通させた状態で、Ｚ２方向の側から軸部１７に捩じ込まれる第２止めネジ４１により、延設フレーム３６に固定される。第２止めネジ４１は、第２吸着パッド１４を固定フレーム２１に固定する第２固定機構４０である。

ここで、ベースフレーム３５は、Ｚ軸方向から見た場合に六角形の枠状板部分４２と、枠状板部分４２においてＸ軸方向およびＹ軸方向に延びる４辺から径方向外側に突出する４つの突出板部４３と、を備える。図２に示すように、吸着機構５をＺ軸方向から見た場合に、固定フレーム２１は、枠状板部分４２の内周側に位置する。従って、エアシリンダー２４の動作により可動フレーム２２が昇降する際に、可動フレーム２２と固定フレーム２１とは、干渉しない。

図４に示すように、延設フレーム固定機構３７は、各延設フレーム３６の内周側の端縁を、枠状板部分４２において、Ｘ軸およびＹ軸と交差する方向に延びる４辺のそれぞれに沿わせた状態で固定する。また、延設フレーム固定機構３７は、ベースフレーム３５における各延設フレーム３６の固定位置を、Ｘ軸およびＹ軸と交差する方向に延びる枠状板部分４２の４辺に沿った第１位置と第２位置との間で変更可能である。より具体的には、延設フレーム固定機構３７は、各延設フレーム３６の移動を許容するフレーム移動許容部４５と、延設フレーム３６を枠状板部分４２に固定するフレーム固定機構４６と、を備える。フレーム移動許容部４５は、枠状板部分４２において、Ｘ軸およびＹ軸と交差する方向に延びる４辺のそれぞれに設けられた長穴４２ａを備える。フレーム固定機構４６は、各延設フレーム３６の内周側部分の下面に固定されて内周側に延び、枠状板部分４２の下面に面接触する接続板４７と、接続板４７からＺ軸方向に延びる固定用軸部４８と、長穴４２ａをＺ軸方向に貫通した固定用軸部４８にＺ２方向の側から取り付けられて、接続板４７を枠状板部分４２に密着させた状態で固定する固定具４９と、を備える。

ここで、延設フレーム固定機構３７により、各延設フレーム３６が固定フレーム２１の各突出部２９の外周側に位置する第１位置に固定されると、第２移動許容部３９は第２吸着パッド１４の径方向への移動を許容するものとなる。すなわち、図２に示すように、各延設フレーム３６が第１位置に固定されると、各延設フレーム３６に設けられた長穴４２ａが第１吸着領域１１の中心Ｐから径方向に延びる。また、延設フレーム固定機構３７により、各延設フレーム３６第１位置とは異なる位置（第２位置）に固定されると、第２移動許容部３９は第２吸着パッド１４の径方向からズレた方向への移動を許容するものとなる。すなわち、各延設フレーム３６が第２位置に固定されると、各延設フレーム３６に設けられた長穴４２ａは、径方向と交差する方向に延びる。

次に、ベースフレーム３５における突出板部４３には、それぞれ、第３位置調節機構５１を介して、第３吸着パッド１５が取り付けられる。図４に示すように、第３位置調節機構５１は、各第３吸着パッド１５が突出板部４３の延設方向に移動することを許容する第３移動許容部５２と、第３吸着パッド１５を、突出板部４３に固定する第３固定機構５３と、を備える。第３移動許容部５２は、突出板部４３に設けられた第３長穴４３ａである。各第３吸着パッド１５は、第３長穴４３ａに軸部１７のフランジ部１８よりもＺ２方向の部分を貫通させた状態で、Ｚ２方向の側から軸部１７に捩じ込まれる第３止めネジ５４により、突出板部４３に固定される。第３止めネジ５４は、第３吸着パッド１５を固定フレーム２１に固定する第３固定機構５３である。

（エアシリンダーの駆動系および吸気パッドの吸気系）
図５は、エアシリンダー２４の駆動系および吸気パッドの吸気系の回路図である。図５（ａ）は、エアシリンダー２４が可動フレーム２２を上昇させた状態である。図５（ｂ）は、エアシリンダー２４が可動フレーム２２を下降させた状態である。図５に示すように、可動フレーム昇降機構２３は、エアシリンダー２４と、エアシリンダー２４を駆動するための電磁弁５５を備える。エアシリンダー２４は複動式である。電磁弁５５は、可動フレーム２２を下降させる際に圧力を印加するエアシリンダー２４の第１ポート２４ａに連通する第１空気供給路５６と、可動フレーム２２を上昇させる際に圧力を印加するエアシリンダー２４の第２ポート２４ｂに連通する第２空気供給路５７と、を切り替える。

一方、第１吸着パッド１２、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５の吸気系は、吸気機構６０と、吸気機構６０と第１吸着パッド１２とを接続する第１吸気路６１と、吸気機構６０と第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５とを接続する第２吸気路６２と、第２吸気路６２を継断する継断機構６３と、を備える。継断機構６３は、第２吸気路６２を開閉するノーマルクロース型のエアゲートバルブ６４と、エアゲートバルブ６４に動作用空気を供給するためのバルブ動作用空気供給路６５と、を備える。バルブ動作用空気供給路６５は、第１空気供給路５６に接続されている。

（搬送装置の動作）
図６は、第１吸着領域１１に対応する媒体３を吸着する状態をＸ軸方向から見た場合の吸着機構５の側面図である。図７は、第２吸着領域１３に対応する媒体３を吸着する状態をＸ軸方向から見た場合の吸着機構５の側面図である。

第１吸着領域１１に対応する小さいサイズの媒体３を搬送する場合には、搬送装置１は、搬送装置１は、図５（ａ）に示すように、可動フレーム昇降機構２３の電磁弁５５を動作させて、エアシリンダー２４の第２ポート２４ｂと第２空気供給路５７とを連通させる。これにより、第２ポート２４ｂに圧縮空気が供給されるので、エアシリンダー２４が動作して可動フレーム２２を上昇させる。よって、可動フレーム２２に取り付けられた第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、退避位置に配置される。

また、搬送装置１は、第１吸気路６１および第２吸気路６２に連通する吸気機構６０を動作させる。ここで、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５に連通する第２吸気路６２を継断する継断機構６３は、ノーマルクロース型のエアゲートバルブ６４を備える。また、この状態で、エアゲートバルブ６４には動作用空気は供給されていない。従って、エアゲートバルブ６４は、第２吸気路６２を遮断する。よって、吸気機構６０は、第１吸気路６１のみを介して、第１吸着パッド１２から真空吸引を行う。

その後、搬送装置１は、昇降機構６により吸着機構５を下降させて、第１吸着パッド１２を載置面２の媒体３に接触させる。ここで、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、退避位置に配置されている。従って、搬送装置１は、図６に示すように、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５が載置面２に接触することを回避しながら、第１吸着パッド１２のみ媒体３に接触させて、媒体３を吸着する。よって、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５が載置面２に接触することにより、磨耗や傷が発生することを防止或いは抑制できる。

媒体３が第１吸着パッド１２に吸着されると、昇降機構６は、吸着機構５を上昇させる。また、移動機構は、昇降機構６を移動させて、媒体３を、載置面２とは異なる次のステージに搬送する。

次に、第２吸着領域１３に対応する大きなサイズの媒体３を搬送する場合には、搬送装置１は、図５（ｂ）に示すように、可動フレーム昇降機構２３の電磁弁５５を動作させて
、エアシリンダー２４の第１ポート２４ａと第１空気供給路５６とを連通させる。これにより、第１ポート２４ａに圧縮空気が供給されるので、エアシリンダー２４が動作して、可動フレーム２２を下降させる。従って、可動フレーム２２に取り付けられた第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、第１吸着パッド１２と同じ高さの吸着位置に配置される。

また、搬送装置１は、第１吸気路６１および第２吸気路６２に連通する吸気機構６０を動作させる。ここで、第１ポート２４ａに圧縮空気を供給する第１空気供給路５６は、第２吸気路６２を継断するエアゲートバルブ６４のバルブ動作用空気供給路６５に連通する。従って、第１ポート２４ａに圧縮空気が供給されると、エアゲートバルブ６４が動作して、吸気機構６０と第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５とが接続される。よって、吸気機構６０は、第１吸気路６１を介して、第１吸着パッド１２からの真空吸引を行うとともに、第２吸気路６２を介して、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５からの真空吸引を行う。

その後、搬送装置１は、昇降機構６により吸着機構５を下降させる。ここで、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、第１吸着パッド１２と同じ高さの吸着位置に配置されている。また、第１吸着パッド１２、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、いずれも吸気機構６０と連通する。従って、搬送装置１は、図７に示すように、４つの第１吸着パッド１２とともに、４つの第１吸着パッド１２の外側に位置する４つの第２吸着パッド１４および４つの３吸着パッドを媒体３に接触させて、吸着する。よって、媒体３が可撓性を備える場合でも、搬送時に媒体３が撓むことを防止、或いは、抑制できる。ここで、搬送時にサイズの大きい媒体３が撓むと、特定の吸着パッドに負荷がかかり、媒体３が落下する事態を招くことがあるが、本例によれば、このような事態の発生を防止、或いは、抑制できる。

媒体３が第１吸着パッド１２、第２吸着パッド１４、および第３吸着パッド１５に吸着されると、昇降機構６は、吸着機構５を上昇させる。また、移動機構は、昇降機構６を移動させて、媒体３を、載置面２とは異なる次のステージに搬送する。

（作用効果）
本例によれば、吸着機構５は、基準フレーム２０と、４つの第１吸着パッド１２を支持する固定フレーム２１と、４つの第２吸着パッド１４および４つの第３吸着パッド１５を支持する可動フレーム２２と、を有する。固定フレーム２１は、基準フレーム２０に接続される。可動フレーム昇降機構２３は、可動フレーム２２に接続されたエアシリンダー２４を備える。エアシリンダー２４は、基準フレーム２０に固定されて可動フレーム２２を昇降させる。従って、４つの第２吸着パッド１４および４つの第３吸着パッド１５を昇降させることが容易である。

また、エアシリンダー２４は、複動式のエアシリンダー２４であり、可動フレーム昇降機構２３は、エアシリンダー２４を駆動するための電磁弁５５を備える。電磁弁５５は、可動フレーム２２を下降させる際に圧力を印加するエアシリンダー２４の第１ポート２４ａに連通する第１空気供給路５６と、可動フレーム２２を上昇させる際に圧力を印加するエアシリンダー２４の第２ポート２４ｂに連通する第２空気供給路５７と、を切り替える。継断機構６３は、第２吸気路６２を開閉するノーマルクロース型のエアゲートバルブ６４と、エアゲートバルブ６４に動作用空気を供給するためのバルブ動作用空気供給路６５と、を備える。バルブ動作用空気供給路６５は、第１空気供給路５６に接続されている。従って、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５が取り付けらえた可動フレーム２２を下降させるために、エアシリンダー２４の第１ポート２４ａに連通する第１空気供給路５６に圧縮空気を供給すると、この圧縮空気は、第１空気供給路５６からバルブ動作用
空気供給路６５を介して、エアゲートバルブ６４にも供給される。よって、エアゲートバルブ６４が第２吸気路６２を開くので、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は媒体３を吸着可能な状態となる。すなわち、第２吸着パッド１４が退避位置から吸気位置に移動したときに、第２吸着パッド１４は、自動的に、媒体３を吸着可能な状態となる。

本例において、第１吸着領域１１は、第２吸着領域１３の中央に位置する。従って、媒体３を第１吸着パッド１２および第２吸着パッド１４で吸引する際に、第１吸着パッド１２は、媒体３の中央部分を吸引し、第２吸着パッド１４は、媒体３の外周側部分を吸着する。よって、搬送時に媒体３が撓むことを防止、或いは、抑制しやすい。

本例において、４つの第１吸着パッド１２のそれぞれは、第１位置調節機構３０を介して固定フレーム２１に固定されている。第１位置調節機構３０は、Ｚ軸方向から見た場合に、各第１吸着パッド１２が固定フレーム２１上で第１吸着領域１１の中心Ｐから径方向に第１距離Ｄ１だけ移動することを許容する第１移動許容部３１と、第１吸着パッド１２を、径方向への移動を阻止した状態で固定フレーム２１に固定する第１固定機構３２と、を備える。従って、４つの第１吸着パッド１２のそれぞれの位置を、第１吸着領域１１の中心Ｐから見た径方向で調節できる。よって、サイズの異なる媒体３に対応することが容易となる。

また、４つの第２吸着パッド１４のそれぞれは、第２位置調節機構３８を介して可動フレーム２２に固定されている。第２位置調節機構３８は、Ｚ軸方向から見た場合に、各第２吸着パッド１４が可動フレーム２２上で径方向に第２距離Ｄ２だけ移動することを許容する第２移動許容部３９と、第２吸着パッド１４を、径方向への移動を阻止した状態で、可動フレーム２２に固定する第２固定機構４０と、を備え、第２距離Ｄ２は、第１距離Ｄ１よりも長いものとすることができる。このようにすれば、４つの第２吸着パッド１４のそれぞれの位置を、第１吸着領域１１の中心Ｐから見た径方向で調節できる。また、第２吸着パッド１４の径方向の位置を、比較的長い第２距離Ｄ２で調節できる。従って、サイズの異なる媒体３に対応することが容易となる。

本例において、可動フレーム２２は、ベースフレーム３５と、第２移動許容部３９を備え、ベースフレーム３５の外周側で放射状に延びる４本の延設フレーム３６と、各延設フレーム３６をベースフレーム３５に固定する延設フレーム固定機構３７と、を備える。延設フレーム固定機構３７は、ベースフレーム３５における各延設フレーム３６の固定位置を、長穴の範囲で周方向に変更可能であり、第２移動許容部３９は、延設フレーム３６が周方向の第１位置に固定されたときに、第２吸着パッド１４の径方向への移動を許容するものとなる。また、第２移動許容部３９は、延設フレーム３６が第１位置から外れた位置（第２位置）に固定されたときに、第２吸着パッド１４の径方向からズレた方向への移動を許容するものとなる。従って、各第２吸着パッド１４を、第１吸着領域１１の中心Ｐから見た径方向、および径方向と交差する方向で調節できる。

（実施例２）
図８は、本発明を適用した実施例２の搬送装置１Ａの斜視図である。図９は、本例の搬送装置１ＡをＺ１方向から見た場合の平面図である。図１０は、固定フレーム２１、および第１吸着パッド１２の斜視図である。図１１は、可動フレーム２２、第２吸着パッド１４、および第３吸着パッド１５の斜視図である。本例の搬送装置１Ａは、上記の例の搬送装置１と対応する構成を備える。従って、対応する構成には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。

図８に示すように、搬送装置１Ａは、載置面２上の媒体３を吸着する吸着機構５Ａと、吸着機構５Ａを昇降させる昇降機構６と、昇降機構６を、載置面２と平行な方向に移動さ
せる移動機構７と、を備える。

（吸着機構）
図８に示すように、吸着機構５Ａは、載置面２に予め設定された矩形の第１吸着領域１１の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第１吸着パッド１２と、Ｚ軸方向から見た場合に載置面２上で第１吸着領域１１を内側に包含する第２吸着領域１３の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第２吸着パッド１４と、を備える。さらに、吸着機構５Ａは、Ｚ軸方向から見た場合に第２吸着領域１３と重なる位置であって、第１吸着領域１１と重ならない位置に配置された２つの第３吸着パッド１５を備える。

第１吸着領域１１は、Ｚ軸方向から見た場合、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第１吸着領域第１辺１１ａおよび第１吸着領域第２辺１１ｂと、Ｙ方向で対向しＸ軸方向に延びる第１吸着領域第３辺１１ｃおよび第１吸着領域第４辺１１ｄと、を備える。また、第２吸着領域１３は、Ｚ軸方向から見た場合、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第２吸着領域第１辺１３ａおよび第２吸着領域第２辺１３ｂと、Ｙ方向で対向しＸ軸方向に延びる第２吸着領域第３辺１３ｃおよび第２吸着領域第４辺１３ｄと、を備える。Ｚ軸方向から見た場合に、第１吸着領域第１辺１１ａは、第２吸着領域第１辺１３ａのＹ方向の中央で当該第２吸着領域第１辺１３ａと重なる。従って、第１吸着領域１１は、第２吸着領域１３内のＸ１方向に偏在している。

また、吸着機構５Ａは、図１に示すように、昇降機構６に接続された基準フレーム２０と、第１吸着パッド１２が取り付けられた固定フレーム２１と、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５が取り付けられた可動フレーム２２と、可動フレーム２２を昇降させる可動フレーム昇降機構２３と、を備える。可動フレーム昇降機構２３は、可動フレーム２２に接続されたエアシリンダー２４を備える。エアシリンダー２４は、基準フレーム２０に固定されて、可動フレーム２２を昇降させる。エアシリンダー２４は、複動式のエアシリンダー２４である。本例では、２本のエアシリンダー２４を備える。

基準フレーム２０は、Ｚ軸方向から見た場合に、吸着機構５ＡのＹ軸方向の中央部分に設けられている。基準フレーム２０は、Ｚ軸方向に延びる第１延設部７１と、第１延設部７１の下端部分からＸ１方向に延びる第２延設部７２と、を備える。２本のエアシリンダー２４は、第１延設部７１のＹ軸方向の両側に固定されている。

また、基準フレーム２０は、第２延設部７２の第１延設部７１とは反対側の端からＺ１方向に延びる第１縦フレーム７３と、第１縦フレーム７３のＸ２方向で第１縦フレーム７３と平行にＺ１方向に延びる第２縦フレーム７４と、を備える。第２縦フレーム７４は、第２延設部７２に取り付けらえている。本例では、第２縦フレーム７４の第２延設部７２への固定位置を、第２延設部７２に沿ってＸ軸方向で変更できる。すなわち、基準フレーム２０は、第２縦フレーム７４のＸ軸方向への移動を許容する縦フレーム移動許容部７５と、第２縦フレーム７４のＸ軸方向への移動を阻止した状態で第２縦フレーム７４を第２延設部７２に固定する縦フレーム固定機構７６と、を備える。縦フレーム移動許容部７５は、第２延設部７２においてＸ軸方向に延びる長穴７２ａである。本例では、第２縦フレーム７４は、上方の突出する固定用軸部７４ａを備える。縦フレーム固定機構７６は、長穴７２ａをＺ軸方向に貫通した固定用軸部７４ａにＺ２方向の側から取り付けられて、第２縦フレーム７４を第２延設部７２に固定する固定具７０を備える。

第１縦フレーム７３の下端、および第２縦フレーム７４の下端には、それぞれ固定フレーム２１が固定されている。固定フレーム２１は、第１縦フレーム７３の下端部分からＹ１方向に延びる第１取付け板部７７とＹ２方向に延びる第２取付け板部７８と、を備える。また、固定フレーム２１は、第２縦フレーム７４の下端部分からＹ１方向に延びる第３
取付け板部７９とＹ２方向に延びる第４取付け板部８０と、を備える。

図１０に示すように、４つの第１吸着パッド１２のそれぞれは、第１位置調節機構３０を介して、４つの取付け板部７７～８０のそれぞれに固定されている。第１位置調節機構３０は、各第１吸着パッド１２が各取付け板部７７～８０上でＹ軸方向に第１距離Ｄ１だけ移動することを許容する第１移動許容部３１と、第１吸着パッド１２を、径方向への移動を阻止した状態で固定フレーム２１に固定する第１固定機構３２と、を備える。第１移動許容部３１は、各取付け板部７７～８０においてＸ軸方向に長く延設された第１長穴２１ａである。各第１吸着パッド１２は、第１長穴２１ａに軸部１７のフランジ部１８よりもＺ２方向の部分を貫通させた状態で、Ｚ２方向の側から軸部１７に捩じ込まれる第１止めネジ３３により、固定フレーム２１に固定される。第１止めネジ３３は、第１吸着パッド１２を固定フレーム２１に固定する第１固定機構３２である。

図１１に示すように、可動フレーム２２は、Ｙ軸方向で対向してＸ軸方向に延びる一対のレールフレーム８１、８２と、各レールフレーム８１、８２においてＺ２方向に突出する突出部分８１ａ、８２ａに架け渡された第１接続フレーム８３および第２接続フレーム８４を備える。第１接続フレーム８３および第２接続フレーム８４は、一対のレールフレーム８１、８２を接続する。第１接続フレーム８３は、突出部分８１ａ、８２ａのＸ軸方向の中央でＹ軸方向に延びる。第１接続フレーム８３のＹ軸方向における中央部分には、２本のエアシリンダー２４がそれぞれ接続される。第２接続フレーム８４は、突出部分８１ａ、８２ａのＸ２方向の端部分でＹ軸方向に延びる。

また、可動フレーム２２は、一対のレールフレーム８１、８２のＸ１方向の端部分のそれぞれからＹ軸方向を互いに接近する方向に延びる２本の延設フレーム８５と、Ｘ軸方向に移動可能な状態で一対のレールフレーム８１、８２に架け渡されてＹ軸方向に延びる第１架け渡しフレーム８６と、第１架け渡しフレーム８６を、Ｘ軸方向への移動を阻止した状態でレールフレーム８１、８２に固定する第１架け渡しフレーム位置調節機構８７と、を備える。さらに、可動フレーム２２は、Ｘ軸方向における延設フレーム８５と第１架け渡しフレーム８６の間で、Ｘ軸方向に移動可能な状態で一対のレールフレーム８１、８２に架け渡されてＹ軸方向に延びる第２架け渡しフレーム８８と、第２架け渡しフレーム８８を、Ｘ軸方向への移動を阻止した状態でレールフレーム８１、８２に固定する第２架け渡しフレーム位置調節機構８９と、を備える。

ここで、図９に示すように、Ｚ軸方向から見た場合に、第１架け渡しフレーム８６および第２架け渡しフレーム８８は、第１吸着領域第２辺１１ｂの第１吸着領域第１辺１１ａとは反対側にする。すなわち、第１架け渡しフレーム８６および第２架け渡しフレーム８８は、固定フレーム２１よりもＸ２方向に配置されている。従って、エアシリンダー２４の動作により可動フレーム２２が昇降する際に、可動フレーム２２と固定フレーム２１とは、干渉しない。

図９および図１１に示すように、４つの第２吸着パッド１４は、第２位置調節機構３８を介して、可動フレーム２２に取り付けられている。より具体的には、４つの第２吸着パッド１４のうち、Ｘ１方向に位置するの２つの第２吸着パッド１４は、それぞれ第２位置調節機構３８を介して、各延設フレーム８５に取り付けられている。第２位置調節機構３８は、各第２吸着パッド１４が各延設フレーム８５上でＹ軸方向に第２距離Ｄ２だけ移動することを許容する第２移動許容部３９と、第２吸着パッド１４を、Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で延設フレーム８５に固定する第２固定機構４０と、を備える。第２移動許容部３９は、各延設フレーム８５においてＹ軸方向に延びる第２長穴８５ａである。各第２吸着パッド１４は、第２長穴８５ａに軸部１７のフランジ部１８よりもＺ２方向の部分を貫通させた状態で、Ｚ２方向の側から軸部１７に捩じ込まれる第２止めネジ４１により
、延設フレーム８５に固定される。第２止めネジ４１は、第２吸着パッド１４を固定フレーム２１に固定する第２固定機構４０である。図９に示すように、第２吸着パッド１４がＹ軸方向に移動する移動距離（第２長穴８５ａの長さ）は、第１吸着パッド１２がＹ軸方向に移動する移動距離（第１長穴２１ａの長さ）よりも長い。

４つの第２吸着パッド１４のうち、Ｘ２方向に位置するの２つの第２吸着パッド１４は、それぞれ第２位置調節機構３８を介して、第１架け渡しフレーム８６に取り付けられている。図１１に示すように、第２位置調節機構３８は、各第２吸着パッド１４が第１架け渡しフレーム８６上でＹ軸方向に第２距離Ｄ２だけ移動することを許容する第２移動許容部３９と、第２吸着パッド１４を、Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で第１架け渡しフレーム８６に固定する第２固定機構４０と、を備える。第２移動許容部３９は、第１架け渡しフレーム８６においてＹ軸方向に延びる第２長穴８６ａであり、第１架け渡しフレーム８６のＹ軸方向における一方側の端部分および他方側の端部分の２か所に設けられている。各第２吸着パッド１４は、第２長穴８６ａに軸部１７のフランジ部１８よりもＺ２方向の部分を貫通させた状態で、Ｚ２方向の側から軸部１７に捩じ込まれる第２止めネジ４１により、第１架け渡しフレーム８６に固定される。第２止めネジ４１は、第２吸着パッド１４を第１架け渡しフレーム８６に固定する第２固定機構４０である。第２吸着パッド１４がＹ軸方向に移動する移動距離（第２長穴８６ａの長さ）は、第１吸着パッド１２がＹ軸方向に移動する移動距離（第１長穴２１ａの長さ）よりも長い。

２つの第３吸着パッド１５は、それぞれ第３位置調節機構５１を介して、第２架け渡しフレーム８８に取り付けられている。第３位置調節機構５１は、各第３吸着パッド１５が第２架け渡しフレーム８８上でＹ軸方向に第２距離Ｄ２だけ移動することを許容する第３移動許容部５２と、第２吸着パッド１４を、Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で第１架け渡しフレーム８６に固定する第３固定機構５３と、を備える。第３移動許容部５２は、第２架け渡しフレーム８８においてＹ軸方向に延びる第３長穴８８ａであり、第２架け渡しフレーム８８のＹ軸方向における一方側の端部分および他方側の端部分の２か所に設けられている。各第３吸着パッド１５は、第３長穴８８ａに軸部１７のフランジ部１８よりもＺ２方向の部分を貫通させた状態で、Ｚ２方向の側から軸部１７に捩じ込まれる第３止めネジ５４により、第２架け渡しフレーム８８に固定される。第３止めネジ５４は、第３吸着パッド１５を第２架け渡しフレーム８８に固定する第３固定機構５３である。第３吸着パッド１５がＹ軸方向に移動する移動距離（第３長穴８８ａの長さ）は、第２吸着パッド１４がＹ軸方向に移動する移動距離（第２長穴８５ａａ、第２長穴８６ａの長さ）と同一であり、第１吸着パッド１２がＹ軸方向に移動する移動距離（第１長穴２１ａの長さ）よりも長い。

ここで、一対のレールフレーム８１、８２のうちＹ１方向に位置する第１レールフレーム８１の下側には、Ｘ軸方向に延びる板状部材９２が固定されている。板状部材９２は、第１レールフレーム８１の下面と所定の隙間を開けて対向する。第１架け渡しフレーム８６および第２架け渡しフレーム８８は、この隙間に、Ｙ１方向の端部が挿入されることにより、Ｘ軸方向に移動可能な状態で第１レールフレーム８１に支持される。この状態において、第１架け渡しフレーム８６のＹ２方向の端部分および第２架け渡しフレーム８８のＹ２方向の端部分は、一対のレールフレーム８１、８２のうちＹ２方向に位置する第２レールフレーム８２の下面に接触する。

第１架け渡しフレーム位置調節機構８７および第２架け渡しフレーム位置調節機構８９は、第２レールフレーム８２に沿って第１架け渡しフレーム８６がＸ軸方向に移動することを許容する架け渡しフレーム移動許容部９３を備える。架け渡しフレーム移動許容部９３は、第２レールフレーム８２に設けられたＸ軸方向の延びる一つの長穴８２ｂである。また、第１架け渡しフレーム位置調節機構８７および第２架け渡しフレーム位置調節機構
８９は、それぞれ、各架け渡しフレームのＸ軸方向の移動を阻止した状態で各架け渡しフレームを固定する架け渡しフレーム固定機構９４を備える。架け渡しフレーム固定機構９４は、各架け渡しフレーム８６、８８のＹ２方向の端部分をＺ軸方向に貫通する不図示の貫通孔と、各架け渡しフレームのＹ２方向の端部分にＺ１方向から取り付けられる支持具９８と、を備える。支持具９８は、各架け渡しフレームにＺ１方向から当接する当接板部９９と、当接板部９９からＺ２方向に突出し、貫通孔９７および長穴を貫通して第２レールフレーム８２の上面からＺ２方向に突出する固定用軸部１００とを備える。さらに、フレーム固定機構９４は、固定用軸部１００にＺ２方向の側から取り付けられて、各架け渡しフレームを第２レールフレーム８２に密着させた状態で固定する固定具１０１を備える。

ここで、本例では、第３吸着パッド１５の数が２つである点で、第３吸着パッド１５の数が４つの実施例１とは相違するが、その点を除き、エアシリンダー２４の駆動系および吸気パッドの吸気系の回路図は、図５に示す実施例１の回路図と同じである。また、搬送装置１の動作は、実施例１の搬送装置１の動作と同一である。

（作用効果）
図１２は、第１吸着領域１１に対応する媒体３を吸着する吸着機構５Ａの側面図である。図１３は、第２吸着領域１３に対応する媒体３を吸着する吸着機構の側面図である。本例においても、第１吸着領域１１に対応する小さいサイズの媒体３を搬送する場合には、搬送装置１Ａは、可動フレーム昇降機構２３の電磁弁５５を動作させて、エアシリンダー２４の第２ポート２４ｂと第２空気供給路５７とを連通させる。これにより、第２ポート２４ｂに圧縮空気が供給されるので、エアシリンダー２４が駆動して可動フレーム２２を上昇させる。従って、可動フレーム２２に取り付けられた第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、退避位置に配置される。

また、搬送装置１Ａは、第１吸気路６１および第２吸気路６２に連通する吸気機構６０を動作させる。ここで、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５に連通する第２吸気路６２を継断する継断機構６３は、ノーマルクロース型のエアゲートバルブ６４であり、エアゲートバルブ６４に動作用空気が継断機構６３に供給されていない場合には、第２吸気路６２を遮断する。従って、吸気機構６０は、第１吸気路６１のみを介して、第１吸着パッド１２から真空吸引を行う。

ここで、第２吸着パッド１４は、退避位置に配置されている。従って、図１２に示すように、吸着機構５Ａが下降したときに、搬送装置１Ａは、第２吸着パッド１４が載置面２に接触することを回避しながら第１吸着パッド１２のみ媒体３に接触させて、媒体３を吸着する。よって、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５が載置面２に接触することにより、磨耗や傷が発生することを防止或いは抑制できる。なお、本例では、第１吸着領域１１が載置面１２に配置された媒体３のＸ１方向に偏在する。従って、搬送装置１Ａは、媒体３のＸ１方向の端部分を片持ちで保持する。

次に、第２吸着領域１３に対応する大きなサイズの媒体３を搬送する場合には、搬送装置１Ａは、可動フレーム昇降機構２３の電磁弁５５を動作させて、エアシリンダー２４の第１ポート２４ａと第１空気供給路５６とを連通させる。これにより、第１ポート２４ａに圧縮空気が供給されるので、エアシリンダー２４が駆動して、可動フレーム２２が下降する。従って、可動フレーム２２に取り付けられた第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、第１吸着パッド１２と同じ高さの吸着位置に配置される。

また、搬送装置１Ａは、第１吸気路６１および第２吸気路６２に連通する吸気機構６０を動作させる。ここで、第１ポート２４ａに圧縮空気を供給する第１空気供給路５６は、
第２吸気路６２を継断するエアゲートバルブ６４のバルブ動作用空気供給路６５に連通する。従って、第１ポート２４ａに圧縮空気が供給されると、エアゲートバルブ６４が動作して、吸気機構６０と第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５とが接続される。よって、吸気機構６０は、第１吸気路６１を介して、第１吸着パッド１２からの真空吸引を行うとともに、第２吸気路６２を介して、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５からの真空吸引を行う。

ここで、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、第１吸着パッド１２と同じ高さの吸着位置に配置されている。また、第１吸着パッド１２、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は、いずれも吸気機構６０と連通する。図１３に示すように、大きなサイズの媒体３を搬送する際には、４つの第１吸着パッド１２とともに、４つの第１吸着パッド１２の外側に位置する４つの第２吸着パッド１４および２つの３吸着パッドで吸着する。

本例によれば、吸着機構５Ａは、基準フレーム２０と、４つの第１吸着パッド１２を支持する固定フレーム２１と、４つの第２吸着パッド１４および２つの第３吸着パッド１５を支持する可動フレーム２２と、を有する。固定フレーム２１は、基準フレーム２０に接続される。可動フレーム昇降機構２３は、可動フレーム２２に接続されたエアシリンダー２４を備える。エアシリンダー２４は、基準フレーム２０に固定されて可動フレーム２２を昇降させる。従って、４つの第２吸着パッド１４および２つの第３吸着パッド１５を昇降させることが容易である。なお、本例では、第２吸着領域１３は、載置面１２に配置された媒体３のＸ１方向に偏在する。従って、搬送装置１Ａは、媒体３のＸ１方向の端部分を片持ちで保持する。

また、エアシリンダー２４は、複動式のエアシリンダー２４であり、可動フレーム昇降機構２３は、エアシリンダー２４を駆動するための電磁弁５５を備える。電磁弁５５は、可動フレーム２２を下降させる際に圧力を印加するエアシリンダー２４の第１ポート２４ａに連通する第１空気供給路５６と、可動フレーム２２を上昇させる際に圧力を印加するエアシリンダー２４の第２ポート２４ｂに連通する第２空気供給路５７と、を切り替える。継断機構６３は、第２吸気路６２を開閉するノーマルクロース型のエアゲートバルブ６４と、エアゲートバルブ６４に動作用空気を供給するためのバルブ動作用空気供給路６５と、を備える。バルブ動作用空気供給路６５は、第１空気供給路５６に接続されている。従って、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５が取り付けらえた可動フレーム２２を下降させるために、エアシリンダー２４の第１ポート２４ａに連通する第１空気供給路５６に圧縮空気を供給すると、この圧縮空気は、第１空気供給路５６からバルブ動作用空気供給路６５を介して、エアゲートバルブ６４にも供給される。よって、エアゲートバルブ６４が第２吸気路６２を開くので、第２吸着パッド１４および第３吸着パッド１５は媒体３を吸着可能な状態となる。すなわち、第２吸着パッド１４が退避位置から吸気位置に移動したときに、第２吸着パッド１４は、自動的に、媒体３を吸着可能な状態となる。

本例において、Ｚ軸方向から見た場合に、第１吸着領域１１は、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第１吸着領域第１辺１１ａおよび第１吸着領域第２辺１１ｂを備える。第２吸着領域１３は、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第２吸着領域第１辺１３ａおよび第２吸着領域第２辺１３ｂを備える。第１吸着領域第１辺１１ａは、第２吸着領域第１辺１３ａのＹ方向の中央で当該第２吸着領域第１辺１３ａと重なる。従って、媒体３を第１吸着パッド１２および第２吸着パッド１４で吸引する際に、第１吸着パッド１２は、媒体３においてＸ１方向に偏在する領域を吸着し、第２吸着パッド１４は、第１吸着パッド１２が媒体３を吸引する領域のＹ軸方向の両側および第１吸着パッド１２が媒体３を吸引する領域のＸ２方向を吸着するものとなる。

本例において、４つの第１吸着パッド１２のそれぞれは、第１位置調節機構３０を介して固定フレーム２１に固定されている。第１位置調節機構３０は、Ｚ軸方向から見た場合に、各第１吸着パッド１２が固定フレーム２１上でＹ軸方向に第１距離Ｄ１だけ移動することを許容する第１移動許容部３１と、第１吸着パッド１２を、Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で固定フレーム２１に固定する第１固定機構３２と、を備える。従って、４つの第１吸着パッド１２のそれぞれの位置を、Ｙ軸方向で調節できる。よって、サイズの異なる媒体３に対応することが容易となる。

また、４つの第２吸着パッド１４のそれぞれは、第２位置調節機構３８を介して可動フレーム２２に固定されている。すなわち、４つの第２吸着パッド１４のうちの２つの第２吸着パッド１４は、それぞれ第２位置調節機構３８を介して、各延設フレーム８５に取り付けられている。４つの第２吸着パッド１４のうち、Ｘ２方向に位置するの２つの第２吸着パッド１４は、それぞれ第２位置調節機構３８を介して、第１架け渡しフレーム８６に取り付けられている。第２位置調節機構３８は、各第２吸着パッド１４が各延設フレーム８５上でＹ軸方向に第２距離Ｄ２だけ移動することを許容する第２移動許容部３９と、第２吸着パッド１４を、Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で延設フレーム８５に固定する第２固定機構４０と、を備える。従って、４つの第２吸着パッド１４のそれぞれの位置を、Ｙ軸方向で調節できる。また、第２吸着パッド１４のＹ軸方向の位置を、比較的長い第２距離Ｄ２で調節できる。従って、サイズの異なる媒体３に対応することが容易となる。

さらに、可動フレーム２２は、Ｙ軸方向で対向してＸ軸方向に延びる一対のレールフレーム８１、８２と、各レールフレーム８１、８２から内周側に向かってＹ軸方向を互いに接近する方向に延びる２本の延設フレーム８５と、一対のレールフレーム８１、８２にＸ軸方向に移動可能な状態で架け渡された第１架け渡しフレーム８６と、第１架け渡しフレーム８６を、Ｘ軸方向への移動を阻止した状態でレールフレーム８１、８２に固定する架け渡しフレーム固定機構９４と、を備える。Ｚ軸方向から見た場合に、第１架け渡しフレーム８６は、第１吸着領域第２辺１１ｂの第１吸着領域第１辺１１ａとは反対側に位置する。４つの第２吸着パッド１４のうちの２つは、それぞれ第２位置調節機構３８を介して、各延設フレーム８５に固定され、４つの第２吸着パッド１４のうちの他の２つは、それぞれ第２位置調節機構３８を介して、架け渡しフレームに取り付けられている。従って、本例では、第１吸着領域１１のＸ２方向に位置する２つの第２吸着パッド１４の位置を、Ｘ軸方向で調節できる。

また、本例では、Ｚ軸方向から見た場合に、第２吸着領域１３と重なり、第１吸着領域第２辺１１ｂと第２吸着領域第２辺１３ｂとの間において、Ｙ軸方向で離間して配置された２つの第３吸着パッド１５を備える。第３吸着パッド１５は、可動フレーム２２に取り付けられて、第２吸気路６２に接続される。このようにすれば、大きいサイズの媒体３を搬送する際に、媒体３を、第１吸着パッド１２、第２吸着パッド１４、および第３吸着パッド１５で吸着できる。従って、吸着した媒体３が撓むことを抑制できる。

１…搬送装置、２…載置面、３…媒体、５…吸着機構、６…昇降機構、１１…第１吸着領域、１１ａ…第１吸着領域第１辺、１１ｂ…第１吸着領域第２辺、１１ｃ…第１吸着領域第３辺、１１ｄ…第１吸着領域第４辺、１２…第１吸着パッド、１３…第２吸着領域、１３ａ…第２吸着領域第１辺、１３ｂ…第２吸着領域第２辺、１３ｃ…第２吸着領域第３辺、１３ｄ…第２吸着領域第４辺、１４…第２吸着パッド、１５…第３吸着パッド、１６…パッド部、１７…軸部、１８…フランジ部、２０…基準フレーム、２１…固定フレーム、２２…可動フレーム、２３…可動フレーム昇降機構、２４…エアシリンダー、２４ａ…第１ポート、２４ｂ…第２ポート、２５…枠部、２６…筒部、２７…接続部、２８…板部、２９…突出部、３０…第１位置調節機構、３１…第１移動許容部、３２…第１固定機構、
３３…第１止めネジ、３５…ベースフレーム、３６…延設フレーム、３７…延設フレーム固定機構、３８…第２位置調節機構、３９…第２移動許容部、４０…第２固定機構、４１…第２止めネジ、４２…枠状板部分、４３…突出板部、４５…フレーム移動許容部、４６…フレーム固定機構、４７…接続板、４８…固定用軸部、４９…固定具、５１…第３位置調節機構、５２…第３移動許容部、５３…第３固定機構、５４…第３止めネジ、５５…電磁弁、５６…第１空気供給路、５７…第２空気供給路、６０…吸気機構、６１…第１吸気路、６２…第２吸気路、６３…継断機構、６４…エアゲートバルブ、６５…バルブ動作用空気供給路、７０…固定具、７１…第１延設部、７２…第２延設部、７３…第１縦フレーム、７４…第２縦フレーム、７４ａ…固定用軸部、７５…縦フレーム移動許容部、７６…縦フレーム固定機構、７７…第１取付け板部、７８…第２取付け板部、７９…第３取付け板部、８０…第４取付け板部、８１…第１レールフレーム、８２…第２レールフレーム、８３…接続フレーム、８５…延設フレーム、８６…第１架け渡しフレーム、８７…第１架け渡しフレーム位置調節機構、８８…第２架け渡しフレーム、８９…第２架け渡しフレーム位置調節機構、９１…第３位置調節機構、９２…板状部材、９３…フレーム移動許容部、９４…フレーム固定機構、９７…貫通孔、９８…支持具、９９…当接板部、１００…固定用軸部、１０１…固定具、Ｄ１…第１距離、Ｄ２…第２距離

Claims (13)

1. 載置面に載置された可撓性の媒体を吸着して搬送する搬送装置において、
   前記媒体を吸着する吸着機構と、前記吸着機構を昇降させる昇降機構と、を備え、
   互いに直交する３軸方向をＸ軸、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向、Ｚ１方向を下方、Ｚ２方向を上方とした場合に、
   前記吸着機構は、
   前記Ｚ軸方向から見た場合に前記載置面に予め設定された矩形の第１吸着領域の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第１吸着パッドと、
   前記Ｚ軸方向から見た場合に前記載置面上で前記第１吸着領域を内側に包含する第２吸着領域の四つの入隅と重なる位置に配置された４つの第２吸着パッドと、
   吸気機構と、
   前記吸気機構と前記第１吸着パッドとを接続する第１吸気路と、
   前記吸気機構と前記第２吸着パッドとを接続する第２吸気路と、
   前記第２吸気路を継断する継断機構と、
   前記第２吸着パッドを、前記Ｚ軸方向で前記第１吸着パッドと同一の吸着位置と、前記第１吸着パッドよりも上方に離間した退避位置との間で移動させる第２吸着パッド移動機構と、を備え、
   前記第１吸着パッドにより前記媒体を吸着して搬送する際には、前記第２吸着パッドを前記退避位置に配置するとともに前記２吸気路を遮断した状態で前記吸気機構を駆動して前記吸気機構を下降させて前記第１吸着パッドを前記載置面上の前記媒体に接触させ、前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドにより前記媒体を吸着して搬送する際には、前記第２吸着パッドを前記吸着位置に配置するとともに前記第２吸気路を繋げた状態で前記吸気機構を駆動して前記吸気機構を下降させて前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドを前記載置面上の前記媒体に接触させることを特徴とする搬送装置。
2. 前記吸着機構は、基準フレームと、４つの前記第１吸着パッドを支持する固定フレームと、４つの前記第２吸着パッドを支持する可動フレームと、を有し、
   前記固定フレームは、前記基準フレームに接続され、
   前記第２吸着パッド移動機構は、前記可動フレームに接続されたエアシリンダーを備え、
   前記エアシリンダーは、前記基準フレームに取り付けられて前記可動フレームを昇降させることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記エアシリンダーは、複動式のエアシリンダーであり、
   前記第２吸着パッド移動機構は、前記エアシリンダーを駆動するための電磁弁を備え、
   前記電磁弁は、前記可動フレームを下降させる際に圧力を印加する前記エアシリンダーの第１ポートに連通する第１空気供給路と、前記可動フレームを上昇させる際に圧力を印加する前記エアシリンダーの第２ポートに連通する第２空気供給路と、を切り替え、
   前記継断機構は、前記第２吸気路を開閉するノーマルクロース型のエアゲートバルブと、前記エアゲートバルブに動作用空気を供給するためのバルブ動作用空気供給路と、を備え、
   前記バルブ動作用空気供給路は、前記第１空気供給路に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
4. 上下方向と垂直で互いに直交する２方向をＸ軸方向およびＹ軸方向とした場合に、
   前記上下方向から見た場合に、前記第１吸着領域は、前記Ｘ軸方向で対向し前記Ｙ軸方向に延びる第１吸着領域第１辺および第１吸着領域第２辺を備え、
   前記上下方向から見た場合に、前記第２吸着領域は、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第２吸着領域第１辺および第２吸着領域第２辺を備え、
   前記第１吸着領域は、前記第２吸着領域の中央に位置することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
5. ４つの前記第１吸着パッドのそれぞれは、第１位置調節機構を介して前記固定フレームに取り付けられており、前記第１位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第１吸着パッドが前記固定フレーム上で前記第１吸着領域の中心から径方向に第１距離だけ移動することを許容する第１移動許容部と、前記第１吸着パッドを、前記径方向への移動を阻止した状態で前記固定フレームに固定する第１固定機構と、を備えることを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
6. ４つの前記第２吸着パッドのそれぞれは、第２位置調節機構を介して前記可動フレームに取り付けられており、
   前記第２位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第２吸着パッドが前記可動フレーム上で前記径方向に第２距離だけ移動することを許容する第２移動許容部と、前記第２吸着パッドを、前記径方向への移動を阻止した状態で、前記可動フレームに固定する第２固定機構と、を備え、
   前記第２距離は、前記第１距離よりも長いことを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
7. 前記可動フレームは、ベースフレームと、前記第２移動許容部を備え、前記ベースフレームの外周側で放射状に延びる４本の延設フレームと、各延設フレームを前記ベースフレームに固定する延設フレーム固定機構と、を備え、
   前記延設フレーム固定機構は、前記ベースフレームにおける各延設フレームの前記固定位置を、第１位置と、前記第１位置から周方向にずれた第２位置との間で変更可能であり、
   前記第２移動許容部は、前記延設フレームが前記第１位置に固定されたときに、前記第２吸着パッドの前記径方向への移動を許容するものとなり、前記延設フレームが前記第２位置に固定されたときに、前記第２吸着パッドの前記径方向からズレた方向への移動を許容するものとなることを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
8. 前記上下方向から見た場合に前記第２吸着領域と重なる位置において、周方向で互いに隣り合う２つの前記第２吸着パッドの間にそれぞれ配置された４つの第３吸着パッドを備え、
   前記第３吸着パッドは、前記可動フレームに取り付けられて、前記第２吸気路に接続されることを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
9. 上下方向と垂直で互いに直交する２方向をＸ軸方向およびＹ軸方向とした場合に、
   前記上下方向から見た場合に、前記第１吸着領域は、前記Ｘ軸方向で対向し前記Ｙ軸方向に延びる第１吸着領域第１辺および第１吸着領域第２辺を備え、
   前記上下方向から見た場合に、前記第２吸着領域は、Ｘ軸方向で対向しＹ方向に延びる第２吸着領域第１辺および第２吸着領域第２辺を備え、
   前記上下方向から見た場合に、前記第１吸着領域第１辺は、前記第２吸着領域第１辺のＹ方向の中央で当該第２吸着領域第１辺と重なることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
10. ４つの前記第１吸着パッドのそれぞれは、第１位置調節機構を介して前記固定フレームに取り付けられており、
    前記第１位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第１吸着パッドが前記固定フレーム上で前記Ｙ軸方向に第１距離だけ移動することを許容する第１移動許容部と、前記第１吸着パッドを、前記Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で前記固定フレームに固定す
    る第１固定機構と、を備えることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。
11. ４つの前記第２吸着パッドのそれぞれは、第２位置調節機構を介して前記可動フレームに取り付けられており、
    前記第２位置調節機構は、前記上下方向から見た場合に、各第２吸着パッドが前記可動フレーム上で前記Ｙ軸方向に第２距離だけ移動することを許容する第２移動許容部と、前記第２吸着パッドを、前記Ｙ軸方向への移動を阻止した状態で、前記可動フレームに固定する第２固定機構と、を備え、前記第２距離は、前記第１距離よりも長いことを特徴とする請求項１０に記載の搬送装置。
12. 前記可動フレームは、Ｙ軸方向で対向してＸ軸方向に延びる一対のレールフレームと、各レールフレームから内周側に向かってＹ軸方向を互いに接近する方向に延びる２本の延設フレームと、前記一対の前記レールフレームに前記Ｘ軸方向に移動可能な状態で架け渡されてＹ軸方向に延びる架け渡しフレームと、前記架け渡しフレームを、前記Ｘ軸方向への移動を阻止した状態で前記レールフレームに固定する架け渡しフレーム固定機構と、を備え、
    前記上下方向から見た場合に、前記架け渡しフレームは、前記第１吸着領域第２辺の前記第１吸着領域第１辺とは反対側に位置し、
    ４つの前記第２吸着パッドのうちの２つは、それぞれ前記第２位置調節機構を介して、各延設フレームに固定され、
    ４つの前記第２吸着パッドのうちの他の２つは、それぞれ前記第２位置調節機構を介して、前記架け渡しフレームに取り付けられていることを特徴とする請求項１１に記載の搬送装置。
13. 前記上下方向から見た場合に、前記第２吸着領域と重なり、前記第１吸着領域第２辺と前記第２吸着領域第２辺との間において、前記Ｙ軸方向で離間して配置された２つの第３吸着パッドを備え、
    前記第３吸着パッドは、前記可動フレームに取り付けられて、前記第２吸気路に接続されることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。
    

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