CN117800125A - 搬运装置 - Google Patents

Abstract

一种搬运装置，即使在从搬运面吸附尺寸不同的介质进行搬运的情况下，也不会使位于介质外侧的吸附垫与载置面接触。搬运装置的吸附机构具备：四个第一吸附垫，其配置在与第一吸附区域(11)的四个内角重叠的位置；以及四个第二吸附垫，其配置在与将第一吸附区域包含在内侧的第二吸附区域(13)的四个内角重叠的位置。吸附机构具备：吸气机构(60)；连接吸气机构和第一吸附垫的第一吸气路(61)；连接吸气机构和第二吸附垫的第二吸气路(62)；连接断开第二吸气路的连接断开机构(63)；以及使第二吸附垫在与第一吸附垫在Z轴方向上相同的吸附位置和与第一吸附垫相比向Z2方向离开的退避位置之间移动的可动框架升降机构(23)。

Description

搬运装置

技术领域

本发明涉及通过吸附垫吸附配置在载置面上的介质并进行搬运的搬运装置。

背景技术

在专利文献1中记载有利用具备多个吸附垫的搬运臂搬运印刷基板等具有挠性的介质的搬运装置。在该文献中，真空配管与搬运臂的各吸附垫连接。在吸附保持配置在载置面上的介质时，向吸附垫提供真空，并且使搬运臂朝向载置面下降，使所有的吸附垫的垫部与介质接触。由此，当成为介质被各吸附垫吸附的状态时，搬运装置使搬运臂上升，使介质移动到规定的场所，停止向各吸附垫提供真空。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-180891号公报

在此，考虑通过具备多个吸附垫的搬运装置来进行尺寸不同的多种介质的搬运。但是，若想要利用能够搬运大的介质的搬运装置搬运比其小的介质，则在吸附配置在载置面上的介质时，多个吸附垫中的几个吸附垫会位于介质的外周侧。因此，在使搬运臂朝向载置面下降时，位于介质的外周侧的几个吸附垫不与介质接触，而与载置面接触。在此，若以与介质接触为目的的吸附垫不是与介质接触，而是与载置面接触，则存在吸附垫发生磨损或损伤的情况。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的课题是提供一种搬运装置，即使在从搬运面吸附尺寸不同的介质进行搬运的情况下，也不会使位于介质外侧的吸附垫与载置面接触。

为了解决上述课题，本发明提供一种搬运装置，该搬运装置吸附载置于载置面的挠性介质进行搬运，其中，具备：吸附所述介质的吸附机构；以及使所述吸附机构升降的升降机构，在将相互正交的三个轴方向设为X轴、Y轴方向和Z轴方向，将上下方向设为Z轴方向，将Z1方向设为下方，将Z2方向设为上方的情况下，所述吸附机构具有：四个第一吸附垫，该四个第一吸附垫配置于在从所述Z轴方向观察的情况下与预先设定于所述载置面的矩形的第一吸附区域的四个内角重叠的位置；四个第二吸附垫，该四个第二吸附垫配置于在从所述Z轴方向观察的情况下与所述载置面上将所述第一吸附区域包含在内侧的第二吸附区域的四个内角重叠的位置；吸气机构；第一吸气路，该第一吸气路将所述吸气机构与所述第一吸附垫连接；第二吸气路，该第二吸气路将所述吸气机构与所述第二吸附垫连接；连接断开机构，该连接断开机构连接或断开所述第二吸气路；以及第二吸附垫移动机构，该第二吸附垫移动机构使所述第二吸附垫在吸附位置与退避位置之间移动，所述吸附位置是在所述Z轴方向上与所述第一吸附垫相同的位置，所述退避位置是与所述第一吸附垫相比向上方离开的位置，在利用所述第一吸附垫吸附所述介质进行搬运时，在将所述第二吸附垫配置于所述退避位置并且切断所述第二吸气路的状态下驱动所述吸气机构而使所述吸气机构下降，从而使所述第一吸附垫与所述载置面上的所述介质接触，在利用所述第一吸附垫和所述第二吸附垫吸附所述介质进行搬运时，在将所述第二吸附垫配置于所述吸附位置并且连接所述第二吸气路的状态下驱动所述吸气机构而使所述吸气机构下降，从而使所述第一吸附垫及所述第二吸附垫与所述载置面上的所述介质接触。

根据本发明，吸附机构具备：配置在与第一吸附区域的四个内角重叠的位置的四个第一吸附垫；以及配置在与包含第一吸附区域的第二吸附区域的四个内角重叠的位置的四个第二吸附垫。另外，四个第二吸附垫能够移动到吸附位置和从吸附位置退避到上方的退避位置。因此，在搬运大尺寸的介质时，通过在将第二吸附垫配置于与第一位置相同高度位置的吸附位置的状态下使吸附机构下降，使第一吸附垫及第二吸附垫与介质接触，由第一吸附垫及第二吸附垫吸附介质。即，大尺寸的介质被四个第一吸附垫以及位于四个第一吸附垫的外侧的四个吸附垫吸附。因此，即使在介质具有挠性的情况下，也能够防止或抑制在搬运时介质挠曲。在此，若在搬运时介质挠曲，则对特定的吸附垫施加负荷，有时导致介质落下的事态，但根据本发明，能够防止或抑制这样的事态的发生。另一方面，在搬运小尺寸的介质时，在将第二吸附垫配置于退避位置的状态下使吸附机构下降。由此，在避免第二吸附垫与载置面接触的同时，仅使第一吸附垫与介质接触，利用第一吸附垫吸附介质。因此，能够防止或抑制因第二吸附垫与载置面接触而产生磨损或损伤。

在本发明中，可以是所述吸附机构具有：基准框架；支撑四个所述第一吸附垫的固定框架；以及支撑四个所述第二吸附垫的可动框架，所述固定框架与所述基准框架连接，所述第二吸附垫移动机构具备与所述可动框架连接的气缸，所述气缸安装在所述基准框架上，使所述可动框架升降。这样一来，容易使四个第二吸附垫升降。

在本发明中，可以是所述气缸是双动式气缸，所述第二吸附垫移动机构具备用于驱动所述气缸的电磁阀，所述电磁阀对第一空气提供路和第二空气提供路进行切换，所述第一空气提供路与在使所述可动框架下降时施加压力的所述气缸的第一端口连通，所述第二空气提供路与在使所述可动框架上升时施加压力的所述气缸的第二端口连通，所述连接断开机构具备：对所述第二吸气路进行开闭的常闭型的空气闸阀；以及用于向所述空气闸阀提供动作用空气的阀动作用空气提供路，所述阀动作用空气提供路与所述第一空气提供路连接。这样一来，当为了使安装有第二吸附垫的可动框架下降而向与气缸的第一端口连通的第一空气提供路提供压缩空气时，该压缩空气也从第一空气提供路经由阀动作用空气提供路提供到空气闸阀。由此，空气闸阀打开第二吸气路，因此第二吸附垫成为能够吸附介质的状态。即，在第二吸附垫从退避位置移动到吸气位置时，第二吸附垫自动地成为能够吸附介质的状态。

在本发明中，可以是在将与上下方向垂直且相互正交的两个方向设为X轴方向和Y轴方向的情况下，在从所述上下方向观察的情况下，所述第一吸附区域具备在所述X轴方向上相对且在所述Y轴方向上延伸的第一吸附区域第一边和第一吸附区域第二边，在从所述上下方向观察的情况下，所述第二吸附区域具备在X轴方向上相对且在Y轴方向上延伸的第二吸附区域第一边和第二吸附区域第二边，所述第一吸附区域位于所述第二吸附区域的中央。这样一来，在利用第一吸附垫和第二吸附垫吸引介质时，第一吸附垫吸引介质的中央部分，第二吸附垫吸附介质的外周侧部分。因此，在搬运时容易防止或抑制介质挠曲。

在本发明中，可以是四个所述第一吸附垫分别经由第一位置调节机构安装于所述固定框架，所述第一位置调节机构具备：第一移动允许部，其在从所述上下方向观察的情况下允许各第一吸附垫在所述固定框架上从所述第一吸附区域的中心沿径向移动第一距离；以及第一固定机构，其将所述第一吸附垫以阻止向所述径向移动的状态固定于所述固定框架。这样一来，能够在从第一吸附区域的中心观察的径向上调节四个第一吸附垫各自的位置。因此，容易应对尺寸不同的介质。

在本发明中，可以是四个所述第二吸附垫分别经由第二位置调节机构安装于所述可动框架，所述第二位置调节机构具备：第二移动允许部，其在从所述上下方向观察的情况下允许各第二吸附垫在所述可动框架上沿所述径向移动第二距离；以及第二固定机构，其将所述第二吸附垫以阻止向所述径向的移动的状态固定于所述可动框架，所述第二距离比所述第一距离长。这样一来，能够在从第一吸附区域的中心观察的径向上调节四个第二吸附垫各自的位置。另外，能够以比较长的第二距离调节第二吸附垫的径向的位置。因此，容易应对尺寸不同的介质。

在本发明中，可以是所述可动框架具备：基座框架；具备所述第二移动允许部且在所述基座框架的外周侧呈放射状延伸的四个延伸设置框架；以及将各延伸设置框架固定于所述基座框架的延伸设置框架固定机构，所述延伸设置框架固定机构能够在第一位置与第二位置之间变更所述基座框架中的各延伸设置框架的所述固定位置，所述第二位置从所述第一位置沿周向偏移，所述第二移动允许部在所述延伸设置框架固定于所述第一位置时允许所述第二吸附垫向所述径向移动，在所述延伸设置框架固定于所述第二位置时允许所述第二吸附垫向从所述径向偏移的方向移动。这样一来，能够在从第一吸附区域的中心观察的径向以及与径向交叉的方向上调节各第二吸附垫。

在本发明中，可以是在从所述上下方向观察的情况下，在与所述第二吸附区域重叠的位置，具备分别配置在周向上彼此相邻的两个所述第二吸附垫之间的四个第三吸附垫，所述第三吸附垫安装于所述可动框架，并与所述第二吸气路连接。这样一来，在搬运大尺寸的介质时，能够利用第一吸附垫、第二吸附垫及第三吸附垫吸附介质。因此，能够抑制所吸附的介质挠曲。

接着，在本发明中，可以是在将与上下方向垂直且相互正交的两个方向设为X轴方向和Y轴方向的情况下，在从所述上下方向观察的情况下，所述第一吸附区域具备在所述X轴方向上相对且在所述Y轴方向上延伸的第一吸附区域第一边和第一吸附区域第二边，在从所述上下方向观察的情况下，所述第二吸附区域具备在X轴方向上相对且在Y轴方向上延伸的第二吸附区域第一边和第二吸附区域第二边，在从所述上下方向观察的情况下，所述第一吸附区域第一边在所述第二吸附区域第一边的Y轴方向的中央与该第二吸附区域第一边重叠。这样一来，在利用第一吸附垫及第二吸附垫吸引介质时，第一吸附垫吸附介质中偏向X轴方向的一侧的区域，第二吸附垫吸附第一吸附垫吸引介质的区域的Y轴方向的两侧及第一吸附垫吸引介质的区域的X2方向。

在本发明中，可以是四个所述第一吸附垫分别经由第一位置调节机构安装于所述固定框架，所述第一位置调节机构具备：第一移动允许部，其在从所述上下方向观察的情况下允许各第一吸附垫在所述固定框架上沿所述Y轴方向移动第一距离；以及第一固定机构，其将所述第一吸附垫以阻止向所述Y轴方向移动的状态固定于所述固定框架。这样一来，能够在Y轴方向上调节四个第一吸附垫各自的位置。

在本发明中，可以是四个所述第二吸附垫分别经由第二位置调节机构安装于所述可动框架，所述第二位置调节机构具备：第二移动允许部，其在从所述上下方向观察的情况下允许各第二吸附垫在所述可动框架上沿所述Y轴方向移动第二距离；以及第二固定机构，其将所述第二吸附垫以阻止向所述Y轴方向移动的状态固定于所述可动框架，所述第二距离比所述第一距离长。这样一来，能够在Y轴方向上调节四个第二吸附垫各自的位置。另外，能够以比较长的第二距离调节第二吸附垫的Y轴方向的位置。

在本发明中，可以是所述可动框架具备：一对轨道框架，其在Y轴方向上相对且沿X轴方向延伸；两个延伸设置框架，其从各轨道框架朝向内周侧沿Y轴方向向相互接近的方向延伸；架设框架，其以能够沿所述X轴方向移动的状态架设于所述一对所述轨道框架且沿Y轴方向延伸；以及架设框架固定机构，其将所述架设框架以阻止向所述X轴方向移动的状态固定于所述轨道框架，在从所述上下方向观察的情况下，所述架设框架位于所述第一吸附区域第二边的与所述第一吸附区域第一边相反的一侧，四个所述第二吸附垫中的两个分别经由所述第二位置调节机构而固定于各延伸设置框架，四个所述第二吸附垫中的另外两个分别经由所述第二位置调节机构而安装于所述架设框架。这样一来，能够在X轴方向上调节两个第二吸附垫的位置。

在本发明中，可以是具备两个第三吸附垫，其在从所述上下方向观察的情况下与所述第二吸附区域重叠，且在所述第一吸附区域第二边与所述第二吸附区域第二边之间在所述Y轴方向上分离地配置，所述第三吸附垫安装于所述可动框架，并与所述第二吸气路连接。这样一来，在搬运大尺寸的介质时，能够利用第一吸附垫、第二吸附垫及第三吸附垫吸附介质。因此，能够抑制所吸附的介质挠曲。

根据本发明，在搬运大尺寸的介质时，通过在将第二吸附垫配置于与第一位置相同高度位置的吸附位置的状态下使吸附机构下降，使第一吸附垫及第二吸附垫与介质接触，由第一吸附垫及第二吸附垫吸附介质。另一方面，在搬运小尺寸的介质时，在将第二吸附垫配置于退避位置的状态下使吸附机构下降。由此，在避免第二吸附垫与载置面接触的同时，仅使第一吸附垫与介质接触，利用第一吸附垫吸附介质。因此，能够防止或抑制因第二吸附垫与载置面接触而产生磨损或损伤。

附图说明

图1是实施例1的搬运装置的立体图。

图2是从下方观察图1的搬运装置时的俯视图。

图3是固定框架和第一吸附垫的立体图。

图4是基座框架、一根延伸设置框架、第二吸附垫的立体图。

图5是气缸的驱动系统和吸气垫的吸气系统的回路图。

图6是吸附与第一吸附区域对应的介质的吸附机构的侧视图。

图7是吸附与第二吸附区域对应的介质的吸附机构的侧视图。

图8是实施例2的搬运装置的立体图。

图9是从下方观察图8的搬运装置时的俯视图。

图10是固定框架和第一吸附垫的立体图。

图11是可动框架、第二吸附垫、第三吸附垫的立体图。

图12是吸附与第一吸附区域对应的介质的吸附机构的侧视图。

图13是吸附与第二吸附区域对应的介质的吸附机构的侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图，对应用了本发明的搬运装置的实施方式进行说明。

(实施例1)

图1是应用了本发明的搬运装置的立体图。图2是从下方观察搬运装置时的俯视图。图3是固定框架和第一吸附垫的立体图。图4是基座框架、一根延伸设置框架以及第二吸附垫的立体图。

如图1所示，本例的搬运装置1搬运配置在载置面2上的具有挠性的介质3。介质3为片状，为矩形。在本例中，介质3是OLED基板。OLED基板是层叠有薄膜晶体管、具有有机EL元件的OLED和薄膜密封层的基板。OLED基板的平面形状为矩形。

搬运装置1具备：吸附载置面2上的介质3的吸附机构5；使吸附机构5升降的升降机构6；以及使升降机构6在与载置面2平行的方向上移动的移动机构7。升降机构6由移动机构7支撑。升降机构6具备用于使吸附机构5沿上下方向移动的未图示的致动器。另外，在以下的说明中，将相互正交的3轴方向设为X轴、Y轴及Z轴。另外，将沿着X轴的方向设为X轴方向，将沿着Y轴的方向设为Y轴方向，将沿着Z轴的方向设为Z轴方向。而且，将X轴方向的一方设为X1方向，将另一方设为X2方向，将Y轴方向的一方设为Y1方向，将另一方设为Y2方向，将Z轴方向的一方设为Z1方向，将另一方设为Z2方向。载置面2是在X轴方向和Y轴方向上扩展的平面。Z轴方向是上下方向。Z1方向为下方，Z2方向为上方。

(吸附机构)

如图2所示，吸附机构5具备：四个第一吸附垫12，其配置于与在载置面2上预先设定的矩形的第一吸附区域11的四个内角重叠的位置；以及四个第二吸附垫14，其在从Z轴方向观察的情况下，配置于与在载置面2上将第一吸附区域11包含在内侧的第二吸附区域13的四个内角重叠的位置。并且，吸附机构5在从Z轴方向观察的情况下与第二吸附区域13重叠的位置，具备分别配置在周向上彼此相邻的两个第二吸附垫14之间的四个第三吸附垫15。

如图1、图2所示，在从Z轴方向观察的情况下，第一吸附区域11具备：在X轴方向上相对且在Y轴方向上延伸的第一吸附区域第一边11a及第一吸附区域第二边11b；以及在Y轴方向上相对且在X轴方向上延伸的第一吸附区域第三边11c及第一吸附区域第四边11d。第一吸附区域11是Y轴方向相对于X轴方向较长的长方形。另外，在从Z轴方向观察的情况下，第二吸附区域13具备：在X轴方向上相对且沿Y轴方向延伸的第二吸附区域第一边13a及第二吸附区域第二边13b；以及在Y轴方向上相对且沿X轴方向延伸的第二吸附区域第三边13c及第二吸附区域第四边13d。第二吸附区域13是Y轴方向相对于X轴方向较长的长方形。第一吸附区域11位于上述第二吸附区域13的中央。

第一吸附垫12、第二吸附垫14和第三吸附垫15是相同的部件。如图1、图3所示，第一吸附垫12、第二吸附垫14及第三吸附垫15分别具备垫部16和轴部17。垫部16是树脂制的，能够变形。轴部17在内部具备与垫部16连通的空气流路。轴部17在上下方向的中途具备向径向外侧突出的凸缘部18。另外，轴部17在上端部分具备外螺纹。

另外，如图1所示，吸附机构5具备与升降机构6连接的基准框架20。另外，如图2所示，吸附机构5具备：安装有第一吸附垫12的固定框架21；以及安装有第二吸附垫14及第三吸附垫15的可动框架22。并且，如图1所示，吸附机构5具备使可动框架22升降的可动框架升降机构23(第二吸附垫移动机构)。可动框架升降机构23具备与可动框架22连接的气缸24。气缸24固定在基准框架20上，使可动框架22升降。在本例中，具备两个气缸24。

如图1所示，基准框架20具有：矩形的框部25；从框部25的中心向Z1方向延伸的筒部26；以及从筒部26的上侧部分向径向外侧延伸并连接筒部26和框部25的连接部27。两个气缸24固定在筒部26的Y轴方向的两侧。在筒部26的下端固定有固定框架21。如图3所示，固定框架21具备：从Z轴方向观察时具备长方形形状的轮廓的板部28；以及从板部28的四角向径向外侧突出的四个突出部29。板部28的中央固定于筒部26。四个第一吸附垫12分别经由第一位置调节机构30固定于固定框架21。

如图3所示，第一位置调节机构30具备：第一移动允许部31，其允许各第一吸附垫12在固定框架21上从第一吸附区域11的中心P沿径向移动第一距离D1；以及第一固定机构32，其将第一吸附垫12以阻止向径向移动的状态固定于固定框架21。第一移动允许部31是从板部28的四角到达突出部29的四个第一长孔21a。各第一吸附垫12在使轴部17的凸缘部18的上方贯通第一长孔21a的状态下，通过从上方拧入轴部17的第一止动螺钉33固定在固定框架21上。第一止动螺钉33是将第一吸附垫12固定在固定框架21上的第一固定机构32。

如图2所示，可动框架22具备：基座框架35；在基座框架35的外周侧呈放射状延伸的四根延伸设置框架36；以及将各延伸设置框架36固定在基座框架35上的延伸设置框架固定机构37。从图2、图4可知，四个第二吸附垫14分别经由第二位置调节机构38固定在四个延伸设置框架36上。

如图4所示，第二位置调节机构38具备：第二移动允许部39，其允许各第二吸附垫14在延伸设置框架36上从第一吸附区域11的中心P沿径向移动第二距离D2；以及第二固定机构40，其将第二吸附垫14以阻止向径向移动的状态固定于延伸设置框架36。第二移动允许部39是在各延伸设置框架36中沿径向延伸的第二长孔36a。各第二吸附垫14在使轴部17的比凸缘部18更靠Z2方向的部分贯通第二长孔36a的状态下，通过从Z2方向侧拧入轴部17的第二止动螺钉41固定在延伸设置框架36上。第二止动螺钉41是将第二吸附垫14固定于固定框架21的第二固定机构40。

在此，底座框架35具备：在从Z轴方向观察的情况下为六边形的框状板部分42；以及在框状板部分42中从在X轴方向及Y轴方向上延伸的4边向径向外侧突出的四个突出板部43。如图2所示，在从Z轴方向观察吸附机构5的情况下，固定框架21位于框状板部分42的内周侧。因此，在可动框架22通过气缸24的动作而升降时，可动框架22与固定框架21不干涉。

如图4所示，延伸设置框架固定机构37将各延伸设置框架36的内周侧的端缘以沿着框状板部分42的在与X轴及Y轴交叉的方向上延伸的四边的每一边的状态固定。另外，延伸设置框架固定机构37能够使基座框架35上的各延伸设置框架36的固定位置在沿着在与X轴及Y轴交叉的方向上延伸的框状板部分42的四边的第一位置和第二位置之间变更。更具体地说，延伸设置框架固定机构37具备：允许各延伸设置框架36移动的框架移动允许部45；以及将延伸设置框架36固定在框状板部分42上的框架固定机构46。框架移动允许部45具备长孔42a，该长孔42a分别设置在框状板部分42的沿与X轴及Y轴交叉的方向延伸的四边。框架固定机构46具备：连接板47，其固定在各延伸设置框架36的内周侧部分的下表面并向内周侧延伸，与框状板部分42的下表面面接触；固定用轴部48，其从连接板47向Z轴方向延伸；以及固定件49，其从Z2方向侧安装于沿Z轴方向贯通长孔42a的固定用轴部48，使连接板47以与框状板部分42紧贴的状态固定。

在此，当通过延伸设置框架固定机构37将各延伸设置框架36固定在位于固定框架21的各突出部29的外周侧的第一位置时，第二移动允许部39允许第二吸附垫14向径向移动。即，如图2所示，当各延伸设置框架36被固定在第一位置时，设置于各延伸设置框架36的长孔42a从第一吸附区域11的中心P沿径向延伸。另外，当通过延伸设置框架固定机构37将各延伸设置框架36固定在与第一位置不同的位置(第二位置)时，第二移动允许部39允许第二吸附垫14向偏离径向的方向移动。即，当各延伸设置框架36固定在第二位置时，设置在各延伸设置框架36上的长孔42a沿与径向交叉的方向延伸。

接着，在基座框架35的突出板部43上，分别经由第三位置调节机构51安装第三吸附垫15。如图4所示，第三位置调节机构51具备：第三移动允许部52，其允许各第三吸附垫15沿突出板部43的延伸设置方向移动；以及第三固定机构53，其将第三吸附垫15固定于突出板部43。第三移动允许部52是设置于突出板部43的第三长孔43a。各第三吸附垫15在使轴部17的比凸缘部18更靠Z2方向的部分贯通第三长孔43a的状态下，通过从Z2方向侧拧入轴部17的第三止动螺钉54固定于突出板部43。第三止动螺钉54是将第三吸附垫15固定在固定框架21上的第三固定机构53。

(气缸的驱动系统和吸气垫的吸气系统)

图5是气缸24的驱动系统及吸气垫的吸气系统的回路图。图5的(a)是气缸24使可动框架22上升的状态。图5的(b)是气缸24使可动框架22下降的状态。如图5所示，可动框架升降机构23具备气缸24和用于驱动气缸24的电磁阀55。气缸24为双动式。电磁阀55切换第一空气提供路56和第二空气提供路57，该第一空气提供路56与在使可动框架22下降时施加压力的气缸24的第一端口24a连通，该第二空气提供路57与在使可动框架22上升时施加压力的气缸24的第二端口24b连通。

另一方面，第一吸附垫12、第二吸附垫14及第三吸附垫15的吸气系统具备：吸气机构60；连接吸气机构60和第一吸附垫12的第一吸气路61；连接吸气机构60和第二吸附垫14及第三吸附垫15的第二吸气路62；以及将第二吸气路62连接或断开的连接断开机构63。连接断开机构63具备：对第二吸气路62进行开闭的常闭型的空气闸阀64；以及用于向空气闸阀64提供动作用空气的阀动作用空气提供路65。阀动作用空气提供路65与第一空气提供路56连接。

(搬运装置的动作)

图6是从X轴方向观察吸附与第一吸附区域11对应的介质3的状态时的吸附机构5的侧视图。图7是从X轴方向观察吸附与第二吸附区域13对应的介质3的状态时的吸附机构5的侧视图。

在搬运与第一吸附区域11对应的小尺寸的介质3的情况下，搬运装置1如图5的(a)所示，使可动框架升降机构23的电磁阀55动作，使气缸24的第二端口24b与第二空气提供路57连通。由此，压缩空气被提供到第二端口24b，因此气缸24动作而使可动框架22上升。因此，安装在可动框架22上的第二吸附垫14和第三吸附垫15配置在退避位置。

另外，搬运装置1使与第一吸气路61及第二吸气路62连通的吸气机构60动作。在此，连接断开与第二吸附垫14及第三吸附垫15连通的第二吸气路62的连接断开机构63具备常闭型的空气闸阀64。另外，在该状态下，不向空气闸阀64提供动作用空气。因此，空气闸阀64切断第二吸气路62。由此，吸气机构60仅经由第一吸气路61从第一吸附垫12进行真空吸引。

之后，搬运装置1通过升降机构6使吸附机构5下降，使第一吸附垫12与载置面2的介质3接触。在此，第二吸附垫14和第三吸附垫15配置在退避位置。因此，如图6所示，搬运装置1在避免第二吸附垫14和第三吸附垫15与载置面2接触的同时，仅使第一吸附垫12与介质3接触而吸附介质3。因此，能够防止或抑制因第二吸附垫14及第三吸附垫15与载置面2接触而产生磨损或损伤。

当介质3被第一吸附垫12吸附时，升降机构6使吸附机构5上升。另外，移动机构使升降机构6移动，将介质3搬运到与载置面2不同的下一个载物台。

接着，在搬运与第二吸附区域13对应的大尺寸的介质3的情况下，如图5的(b)所示，搬运装置1使可动框架升降机构23的电磁阀55动作，使气缸24的第一端口24a与第一空气提供路56连通。由此，压缩空气被提供到第一端口24a，因此气缸24动作，使可动框架22下降。因此，安装在可动框架22上的第二吸附垫14和第三吸附垫15配置在与第一吸附垫12相同高度的吸附位置。

另外，搬运装置1使与第一吸气路61及第二吸气路62连通的吸气机构60动作。在此，向第一端口24a提供压缩空气的第一空气提供路56与连接或断开第二吸气路62的空气闸阀64的阀动作用空气提供路65连通。因此，当向第一端口24a提供压缩空气时，空气闸阀64动作，吸气机构60与第二吸附垫14及第三吸附垫15连接。由此，吸气机构60经由第一吸气路61进行来自第一吸附垫12的真空吸引，并且经由第二吸气路62进行来自第二吸附垫14及第三吸附垫15的真空吸引。

之后，搬运装置1通过升降机构6使吸附机构5下降。在此，第二吸附垫14和第三吸附垫15配置在与第一吸附垫12相同高度的吸附位置。另外，第一吸附垫12、第二吸附垫14及第三吸附垫15均与吸气机构60连通。因此，如图7所示，搬运装置1使四个第一吸附垫12、位于四个第一吸附垫12的外侧的四个第二吸附垫14及四个第三吸附垫与介质3接触并吸附介质3。因此，即使在介质3具有挠性的情况下，也能够防止或抑制在搬运时介质3挠曲。在此，若搬运时尺寸大的介质3挠曲，则对特定的吸附垫施加负荷，有时会导致介质3落下的事态，但根据本例，能够防止或抑制这样的事态的发生。

当介质3被第一吸附垫12、第二吸附垫14和第三吸附垫15吸附时，升降机构6使吸附机构5上升。另外，移动机构使升降机构6移动，将介质3搬运到与载置面2不同的下一个载物台。

(作用效果)

根据本例，吸附机构5具有：基准框架20；支撑四个第一吸附垫12的固定框架21；以及支撑四个第二吸附垫14及四个第三吸附垫15的可动框架22。固定框架21连接到基准框架20。可动框架升降机构23具备与可动框架22连接的气缸24。气缸24固定在基准框架20上，使可动框架22升降。因此，容易使四个第二吸附垫14及四个第三吸附垫15升降。

另外，气缸24是双动式的气缸24，可动框架升降机构23具备用于驱动气缸24的电磁阀55。电磁阀55切换第一空气提供路56和第二空气提供路57，该第一空气提供路56与在使可动框架22下降时施加压力的气缸24的第一端口24a连通，该第二空气提供路57与在使可动框架22上升时施加压力的气缸24的第二端口24b连通。连接断开机构63具备：对第二吸气路62进行开闭的常闭型的空气闸阀64；以及用于向空气闸阀64提供动作用空气的阀动作用空气提供路65。阀动作用空气提供路65与第一空气提供路56连接。因此，当为了使安装有第二吸附垫14和第三吸附垫15的可动框架22下降而向与气缸24的第一端口24a连通的第一空气提供路56提供压缩空气时，该压缩空气也从第一空气提供路56经由阀动作用空气提供路65提供到空气闸阀64。由此，由于空气闸阀64打开第二吸气路62，因而第二吸附垫14及第三吸附垫15成为能够吸附介质3的状态。即，在第二吸附垫14从退避位置移动到吸气位置时，第二吸附垫14自动地成为能够吸附介质3的状态。

在本例中，第一吸附区域11位于第二吸附区域13的中央。因此，在利用第一吸附垫12和第二吸附垫14吸引介质3时，第一吸附垫12吸引介质3的中央部分，第二吸附垫14吸附介质3的外周侧部分。因此，在搬运时容易防止或抑制介质3挠曲。

在本例中，四个第一吸附垫12分别经由第一位置调节机构30固定于固定框架21。第一位置调节机构30具备：第一移动允许部31，其在从Z轴方向观察的情况下允许各第一吸附垫12在固定框架21上从第一吸附区域11的中心P沿径向移动第一距离D1；以及第一固定机构32，其将第一吸附垫12以阻止向径向移动的状态固定于固定框架21。因此，能够在从第一吸附区域11的中心P观察的径向上调节四个第一吸附垫12各自的位置。因此，容易应对尺寸不同的介质3。

另外，四个第二吸附垫14分别经由第二位置调节机构38固定在可动框架22上。第二位置调节机构38具备：第二移动允许部39，其在从Z轴方向观察的情况下允许各第二吸附垫14在可动框架22上沿径向移动第二距离D2；以及第二固定机构40，其将第二吸附垫14以阻止向径向移动的状态固定于可动框架22，第二距离D2可以比第一距离D1长。这样，能够在从第一吸附区域11的中心P观察的径向上调节四个第二吸附垫14各自的位置。另外，能够以比较长的第二距离D2调节第二吸附垫14的径向的位置。因此，容易应对尺寸不同的介质3。

在本例中，可动框架22具备：基座框架35；具备第二移动允许部39且在基座框架35的外周侧呈放射状延伸的四个延伸设置框架36；以及将各延伸设置框架36固定在基座框架35上的延伸设置框架固定机构37。延伸设置框架固定机构37能够在长孔的范围内沿周向变更基座框架35中的各延伸设置框架36的固定位置，第二移动允许部39在延伸设置框架36固定于周向的第一位置时，允许第二吸附垫14向径向移动。当延伸设置框架36固定在偏离第一位置的位置(第二位置)时，第二移动允许部39允许第二吸附垫14在偏离径向的方向上移动。因此，能够在从第一吸附区域11的中心P观察的径向及与径向交叉的方向上调节各第二吸附垫14。

(实施例2)

图8是应用了本发明的实施例2的搬运装置1A的立体图。图9是从Z1方向观察本例的搬运装置1A时的俯视图。图10是固定框架21和第一吸附垫12的立体图。图11是可动框架22、第二吸附垫14及第三吸附垫15的立体图。本例的搬运装置1A具备与上述例子的搬运装置1对应的结构。因此，对对应的结构标注相同的符号，并省略其详细说明。

如图8所示，搬运装置1A具备：吸附载置面2上的介质3的吸附机构5A；使吸附机构5A升降的升降机构6；以及使升降机构6在与载置面2平行的方向上移动的移动机构7。

(吸附机构)

如图8所示，吸附机构5A具备：四个第一吸附垫12，其配置于与在载置面2上预先设定的矩形的第一吸附区域11的四个内角重叠的位置；四个第二吸附垫14，其在从Z轴方向观察的情况下配置于与载置面2上的将第一吸附区域11包含在内侧的第二吸附区域13的四个内角重叠的位置。并且，吸附机构5A具备两个第三吸附垫15，该两个第三吸附垫15配置在从Z轴方向观察时与第二吸附区域13重叠且与第一吸附区域11不重叠的位置。

在从Z轴方向观察的情况下，第一吸附区域11具备：在X轴方向上相对且沿Y轴方向延伸的第一吸附区域第一边11a及第一吸附区域第二边11b；以及在Y轴方向上相对且沿X轴方向延伸的第一吸附区域第三边11c及第一吸附区域第四边11d。另外，在从Z轴方向观察的情况下，第二吸附区域13具备：在X轴方向上相对且沿Y轴方向延伸的第二吸附区域第一边13a及第二吸附区域第二边13b；以及在Y轴方向上相对且沿X轴方向延伸的第二吸附区域第三边13c及第二吸附区域第四边13d。在从Z轴方向观察的情况下，第一吸附区域第一边11a在第二吸附区域第一边13a的Y轴方向的中央与该第二吸附区域第一边13a重叠。因此，第一吸附区域11偏靠第二吸附区域13内的X1方向。

另外，如图1所示，吸附机构5A具备：与升降机构6连接的基准框架20；安装有第一吸附垫12的固定框架21；安装有第二吸附垫14及第三吸附垫15的可动框架22；以及使可动框架22升降的可动框架升降机构23。可动框架升降机构23具备与可动框架22连接的气缸24。气缸24固定在基准框架20上，使可动框架22升降。气缸24是双动式的气缸24。在本例中，具备两个气缸24。

在从Z轴方向观察的情况下，基准框架20设置在吸附机构5A的Y轴方向的中央部分。基准框架20具备：沿Z轴方向延伸的第一延伸设置部71；以及从第一延伸设置部71的下端部分沿X1方向延伸的第二延伸部72。两个气缸24固定在第一延伸设置部71的Y轴方向的两侧。

另外，基准框架20具备：第一纵框架73，其从第二延伸设置部72的与第一延伸设置部71相反侧的端部向Z1方向延伸；以及第二纵框架74，其在第一纵框架73的X2方向上与第一纵框架73平行地向Z1方向延伸。第二纵框架74安装于第二延伸设置部72。在本例中，能够沿着第二延伸设置部72在X轴方向上改变第二纵框架74向第二延伸设置部72的固定位置。即，基准框20具备：允许第二纵框架74向X轴方向移动的纵框架移动允许部75；以及在阻止第二纵框架74向X轴方向移动的状态下将第二纵框架74固定于第二延伸设置部72的纵框架固定机构76。纵框架移动允许部75是在第二延伸设置部72中沿X轴方向延伸的长孔72a。在本例中，第二纵框架74具备向上方突出的固定用轴部74a。纵框架固定机构76具备固定件70，该固定件70从Z2方向侧安装于沿Z轴方向贯通长孔72a的固定用轴部74a，将第二纵框架74固定于第二延伸设置部72。

在第一纵框架73的下端及第二纵框架74的下端分别固定有固定框架21。固定框架21具备从第一纵框架73的下端部分向Y1方向延伸的第一安装板部77和向Y2方向延伸的第二安装板部78。另外，固定框架21具备从第二纵框架74的下端部分向Y1方向延伸的第三安装板部79和向Y2方向延伸的第四安装板部80。

如图10所示，四个第一吸附垫12分别经由第一位置调节机构30固定于四个安装板部77～80的每一个。第一位置调节机构30具备：第一移动允许部31，其允许各第一吸附垫12在各安装板部77～80上沿Y轴方向移动第一距离D1；以及第一固定机构32，其将第一吸附垫12以阻止向径向的移动的状态固定于固定框架21。第一移动允许部31是在各安装板部77～80中沿X轴方向较长地延伸设置的第一长孔21a。各第一吸附垫12在使轴部17的比凸缘部18更靠Z2方向的部分贯通第一长孔21a的状态下，通过从Z2方向侧拧入轴部17的第一止动螺钉33固定在固定框架21上。第一止动螺钉33是将第一吸附垫12固定在固定框架21上的第一固定机构32。

如图11所示，可动框架22具备：在Y轴方向上相对且在X轴方向上延伸的一对轨道框架81、82；以及架设在各轨道框架81、82中向Z2方向突出的突出部分81a、82a上的第一连接框架83及第二连接框架84。第一连接框架83及第二连接框架84连接一对轨道框架81、82。第一连接框架83在突出部分81a、82a的X轴方向的中央沿Y轴方向延伸。在第一连接框架83的Y轴方向上的中央部分，分别连接有两个气缸24。第二连接框架84在突出部分81a、82a的X2方向的端部沿Y轴方向延伸。

另外，可动框架22具备：从一对轨道框架81、82的X1方向的端部分别沿Y轴方向向相互接近的方向延伸的两个延伸设置框架85；以能够在X轴方向上移动的状态架设在一对轨道框架81、82上且在Y轴方向上延伸的第一架设框架86；以及将第一架设框架86以阻止向X轴方向移动的状态固定在轨道框架81、82上的第一架设框架位置调节机构87。并且，可动框架22具备：第二架设框架88，其在X轴方向上的延伸设置框架85与第一架设框架86之间，以能够沿X轴方向移动的状态架设在一对轨道框架81、82上，并沿Y轴方向延伸；以及第二架设框架位置调节机构89，其将第二架设框架88以阻止沿X轴方向移动的状态固定在轨道框架81、82上。

在此，如图9所示，在从Z轴方向观察的情况下，第一架设框架86及第二架设框架88位于第一吸附区域第二边11b的与第一吸附区域第一边11a相反的一侧。即，第一架设框架86和第二架设框架88配置在比固定框架21更靠X2方向的位置。因此，在可动框架22通过气缸24的动作而升降时，可动框架22与固定框架21不干涉。

如图9及图11所示，四个第二吸附垫14经由第二位置调节机构38安装于可动框架22。更具体而言，四个第二吸附垫14中位于X1方向的两个第二吸附垫14分别经由第二位置调节机构38安装于各延伸设置框架85。第二位置调节机构38具备：第二移动允许部39，其允许各第二吸附垫14在各延伸设置框架85上沿Y轴方向移动第二距离D2；以及第二固定机构40，其将第二吸附垫14以阻止向Y轴方向移动的状态固定于延伸设置框架85。第二移动允许部39是在各延伸设置框架85中沿Y轴方向延伸的第二长孔85a。各第二吸附垫14在使轴部17的比凸缘部18更靠Z2方向的部分贯通第二长孔85a的状态下，通过从Z2方向侧拧入轴部17的第二止动螺钉41固定在延伸设置框架85上。第二止动螺钉41是将第二吸附垫14固定于固定框架21的第二固定机构40。如图9所示，第二吸附垫14沿Y轴方向移动的移动距离(第二长孔85a的长度)比第一吸附垫12沿Y轴方向移动的移动距离(第一长孔21a的长度)长。

四个第二吸附垫14中的位于X2方向的两个第二吸附垫14分别经由第二位置调节机构38安装于第一架设框架86。如图11所示，第二位置调节机构38具备：第二移动允许部39，其允许各第二吸附垫14在第一架设框架86上沿Y轴方向移动第二距离D2；以及第二固定机构40，其将第二吸附垫14以阻止向Y轴方向移动的状态固定于第一架设框架86。第二移动允许部39是在第一架设框架86中沿Y轴方向延伸的第二长孔86a，设置在第一架设框架86的Y轴方向上的一侧的端部和另一侧的端部这两处。各第二吸附垫14在使轴部17的比凸缘部18更靠Z2方向的部分贯通第二长孔86a的状态下，通过从Z2方向侧拧入轴部17的第二止动螺钉41而固定于第一架设框架86。第二止动螺钉41是将第二吸附垫14固定在第一架设框架86上的第二固定机构40。第二吸附垫14沿Y轴方向移动的移动距离(第二长孔86a的长度)比第一吸附垫12沿Y轴方向移动的移动距离(第一长孔21a的长度)长。

两个第三吸附垫15分别经由第三位置调节机构51安装于第二架设框架88。第三位置调节机构51具备：第三移动允许部52，其允许各第三吸附垫15在第二架设框架88上沿Y轴方向移动第二距离D2；以及第三固定机构53，其将第二吸附垫14以阻止向Y轴方向移动的状态固定于第一架设框架86。第三移动允许部52是在第二架设框架88中沿Y轴方向延伸的第三长孔88a，设置在第二架设框架88的Y轴方向上的一侧的端部和另一侧的端部这两处。各第三吸附垫15在使轴部17的比凸缘部18更靠Z2方向的部分贯通第三长孔88a的状态下，通过从Z2方向侧拧入轴部17的第三止动螺钉54固定在第二架设框架88上。第三止动螺钉54是将第三吸附垫15固定在第二架设框架88上的第三固定机构53。第三吸附垫15沿Y轴方向移动的移动距离(第三长孔88a的长度)与第二吸附垫14沿Y轴方向移动的移动距离(第二长孔85aa、第二长孔86a的长度)相同，比第一吸附垫12沿Y轴方向移动的移动距离(第一长孔21a的长度)长。

在此，在一对轨道框架81、82中位于Y1方向的第一轨道框架81的下侧，固定有沿X轴方向延伸的板状部件92。板状部件92与第一轨道框架81的下表面隔开规定的间隙而相对。第一架设框架86和第二架设框架88通过在该间隙中插入Y1方向的端部，以能够在X轴方向上移动的状态支撑于第一轨道框架81。在该状态下，第一架设框架86的Y2方向的端部及第二架设框架88的Y2方向的端部与一对轨道框架81、82中位于Y2方向的第二轨道框架82的下表面接触。

第一架设框架位置调节机构87和第二架设框架位置调节机构89具备架设框架移动允许部93，该架设框架移动允许部93允许第一架设框架86沿着第二轨道框架82在X轴方向上移动。架设框架移动允许部93是设置在第二轨道框架82上的沿X轴方向延伸的一个长孔82b。另外，第一架设框架位置调节机构87和第二架设框架位置调节机构89分别具备架设框架固定机构94，该架设框架固定机构94在阻止各架设框架沿X轴方向移动的状态下固定各架设框架。架设框架固定机构94具备：未图示的贯穿孔，其在Z轴方向上贯通各架设框架86、88的Y2方向的端部分；以及支撑件98，其从Z1方向安装于各架设框架的Y2方向的端部分。支撑件98具备：抵接板部99，其从Z1方向与各架设框架抵接；以及固定用轴部100，其从抵接板部99向Z2方向突出，并贯通贯穿孔97及长孔而从第二轨道框架82的上表面向Z2方向突出。另外，框架固定机构94具备固定件101，该固定件从Z2方向侧安装于固定用轴部100，使各架设框架以与第二轨道框架82紧贴的状态固定。

在此，在本例中，在第三吸附垫15的数量为两个这一点上，与第三吸附垫15的数量为四个的实施例1不同，但除了这一点以外，气缸24的驱动系统及吸气垫的吸气系统的回路图与图5所示的实施例1的回路图相同。另外，搬运装置1的动作与实施例1的搬运装置1的动作相同。

(作用效果)

图12是吸附与第一吸附区域11对应的介质3的吸附机构5A的侧视图。图13是吸附与第二吸附区域13对应的介质3的吸附机构的侧视图。在本例中，在搬运与第一吸附区域11对应的小尺寸的介质3的情况下，搬运装置1A也使可动框架升降机构23的电磁阀55动作，使气缸24的第二端口24b与第二空气提供路57连通。由此，压缩空气被提供到第二端口24b，因此气缸24驱动而使可动框架22上升。因此，安装在可动框架22上的第二吸附垫14和第三吸附垫15配置在退避位置。

另外，搬运装置1A使与第一吸气路61及第二吸气路62连通的吸气机构60动作。在此，连接断开与第二吸附垫14及第三吸附垫15连通的第二吸气路62的连接断开机构63是常闭型的空气闸阀64，在没有向空气闸阀64向连接断开机构63提供动作用空气的情况下，切断第二吸气路62。因此，吸气机构60仅经由第一吸气路61从第一吸附垫12进行真空吸引。

在此，第二吸附垫14配置在退避位置。因此，如图12所示，在吸附机构5A下降时，搬运装置1A在避免第二吸附垫14与载置面2接触的同时，仅使第一吸附垫12与介质3接触，吸附介质3。因此，能够防止或抑制因第二吸附垫14及第三吸附垫15与载置面2接触而产生磨损或损伤。另外，在本例中，第一吸附区域11偏向配置在载置面12上的介质3的X1方向。因此，搬运装置1A以悬臂方式保持介质3的X1方向的端部分。

接着，在搬运与第二吸附区域13对应的大尺寸的介质3的情况下，搬运装置1A使可动框架升降机构23的电磁阀55动作，使气缸24的第一端口24a与第一空气提供路56连通。由此，压缩空气被提供到第一端口24a，因此气缸24驱动，可动框架22下降。因此，安装在可动框架22上的第二吸附垫14和第三吸附垫15配置在与第一吸附垫12相同高度的吸附位置。

另外，搬运装置1A使与第一吸气路61及第二吸气路62连通的吸气机构60动作。在此，向第一端口24a提供压缩空气的第一空气提供路56与连接或切断第二吸气路62的空气闸阀64的阀动作用空气提供路65连通。因此，当向第一端口24a提供压缩空气时，空气闸阀64动作，吸气机构60与第二吸附垫14及第三吸附垫15连接。由此，吸气机构60经由第一吸气路61进行来自第一吸附垫12的真空吸引，并且经由第二吸气路62进行来自第二吸附垫14及第三吸附垫15的真空吸引。

在此，第二吸附垫14和第三吸附垫15配置在与第一吸附垫12相同高度的吸附位置。另外，第一吸附垫12、第二吸附垫14及第三吸附垫15均与吸气机构60连通。如图13所示，在搬运大尺寸的介质3时，与四个第一吸附垫12一起，由位于四个第一吸附垫12的外侧的四个第二吸附垫14及两个第三吸附垫吸附。

根据本例，吸附机构5A具有：基准框架20；支撑四个第一吸附垫12的固定框架21；以及支撑四个第二吸附垫14及两个第三吸附垫15的可动框架22。固定框架21连接到基准框架20。可动框架升降机构23具备与可动框架22连接的气缸24。气缸24固定在基准框架20上，使可动框架22升降。因此，容易使四个第二吸附垫14及两个第三吸附垫15升降。另外，在本例中，第二吸附区域13偏向配置于载置面12的介质3的X1方向。因此，搬运装置1A以悬臂方式保持介质3的X1方向的端部分。

另外，气缸24是双动式的气缸24，可动框架升降机构23具备用于驱动气缸24的电磁阀55。电磁阀55切换第一空气提供路56和第二空气提供路57，该第一空气提供路56与在使可动框架22下降时施加压力的气缸24的第一端口24a连通，该第二空气提供路57与在使可动框架22上升时施加压力的气缸24的第二端口24b连通。连接断开机构63具备：对第二吸气路62进行开闭的常闭型的空气闸阀64；以及用于向空气闸阀64提供动作用空气的阀动作用空气提供路65。阀动作用空气提供路65与第一空气提供路56连接。因此，当为了使安装有第二吸附垫14和第三吸附垫15的可动框架22下降而向与气缸24的第一端口24a连通的第一空气提供路56提供压缩空气时，该压缩空气也从第一空气提供路56经由阀动作用空气提供路65提供到空气闸阀64。由此，由于空气闸阀64打开第二吸气路62，因而第二吸附垫14及第三吸附垫15成为能够吸附介质3的状态。即，在第二吸附垫14从退避位置移动到吸气位置时，第二吸附垫14自动地成为能够吸附介质3的状态。

在本例中，在从Z轴方向观察的情况下，第一吸附区域11具备在X轴方向上相对且在Y轴方向上延伸的第一吸附区域第一边11a以及第一吸附区域第二边11b。第二吸附区域13具备在X轴方向上相对且沿Y轴方向延伸的第二吸附区域第一边13a及第二吸附区域第二边13b。第一吸附区域第一边11a在第二吸附区域第一边13a的Y轴方向的中央与该第二吸附区域第一边13a重叠。因此，在利用第一吸附垫12及第二吸附垫14吸引介质3时，第一吸附垫12吸附介质3中偏向X1方向的区域，第二吸附垫14吸附第一吸附垫12吸引介质3的区域的Y轴方向的两侧及第一吸附垫12吸引介质3的区域的X2方向。

在本例中，四个第一吸附垫12分别经由第一位置调节机构30固定于固定框架21。在从Z轴方向观察的情况下，第一位置调节机构30具备：第一移动允许部31，其允许各第一吸附垫12在固定框架21上沿Y轴方向移动第一距离D1；以及第一固定机构32，其将第一吸附垫12以阻止向Y轴方向移动的状态固定于固定框架21。因此，能够在Y轴方向上调节四个第一吸附垫12各自的位置。因此，容易应对尺寸不同的介质3。

另外，四个第二吸附垫14分别经由第二位置调节机构38固定在可动框架22上。即，四个第二吸附垫14中的两个第二吸附垫14分别经由第二位置调节机构38安装于各延伸设置框架85。四个第二吸附垫14中的位于X2方向的两个第二吸附垫14分别经由第二位置调节机构38安装于第一架设框架86。第二位置调节机构38具备：第二移动允许部39，其允许各第二吸附垫14在各延伸设置框架85上沿Y轴方向移动第二距离D2；以及第二固定机构40，其将第二吸附垫14以阻止向Y轴方向移动的状态固定于延伸设置框架85。因此，能够在Y轴方向上调节四个第二吸附垫14各自的位置。另外，能够以比较长的第二距离D2调节第二吸附垫14的Y轴方向的位置。因此，容易应对尺寸不同的介质3。

而且，可动框架22具备：在Y轴方向上相对且在X轴方向上延伸的一对轨道框架81、82；从各轨道框架81、82朝向内周侧沿Y轴方向向相互接近的方向延伸的两个延伸设置框架85；以能够在X轴方向上移动的状态架设在一对轨道框架81、82上的第一架设框架86；以及以阻止向X轴方向的移动的状态将第一架设框架86固定在轨道框架81、82上的架设框架固定机构94。在从Z轴方向观察的情况下，第一架设框架86位于第一吸附区域第二边11b的与第一吸附区域第一边11a相反的一侧。四个第二吸附垫14中的两个分别经由第二位置调节机构38固定在各延伸设置框架85上，四个第二吸附垫14中的另外两个分别经由第二位置调节机构38安装在架设框架上。因此，在本例中，能够在X轴方向上调节位于第一吸附区域11的X2方向的两个第二吸附垫14的位置。

另外，在本例中，在从Z轴方向观察的情况下，具备与第二吸附区域13重叠且在第一吸附区域第二边11b与第二吸附区域第二边13b之间在Y轴方向上分开配置的两个第三吸附垫15。第三吸附垫15安装在可动框架22上，并与第二吸气路62连接。这样，在搬运大尺寸的介质3时，能够通过第一吸附垫12、第二吸附垫14及第三吸附垫15吸附介质3。因此，能够抑制所吸附的介质3挠曲。

符号说明

1…搬运装置；2…载置面；3…介质；5…吸附机构；6…升降机构；11…第一吸附区域；11a…第一吸附区域第一边；11b…第一吸附区域第二边；11c…第一吸附区域第三边；11d…第一吸附区域第四边；12…第一吸附垫；13…第二吸附区域；13a…第二吸附区域第一边；13b…第二吸附区域第二边；13c…第二吸附区域第三边；13d…第二吸附区域第四边；14…第二吸附垫；15…第三吸附垫；16…垫部；17…轴部；18…凸缘部；20…基准框架；21…固定框架；22…可动框架；23…可动框架升降机构；24…气缸；24a…第一端口；24b…第二端口；25…框部；26…筒部；27…连接部；28…板部；29…突出部；30…第一位置调节机构；31…第一移动允许部；32…第一固定机构；33…第一止动螺钉；35…基座框架；36…延伸设置框架；37…延伸设置框架固定机构；38…第二位置调节机构；39…第二移动允许部；40…第二固定机构；41…第二止动螺钉；42…框状板部分；43…突出板部；45…框架移动允许部；46…框架固定几个；47…连接板；48…固定用轴部；49…固定件；51…第三位置调节机构；52…第三移动允许部；53…第三固定机构；54…第三止动螺钉；55…电磁阀；56…第一空气提供路；57…第二空气提供路；60…吸气机构；61…第一吸气路；62…第二吸气路；63…连接断开机构；64…空气闸阀；65…阀动作用空气提供路；70…固定件；71…第一延伸设置部；72…第二延伸设置部；73…第一纵框架；74…第二纵框架；74a…固定用轴部；75…纵框架移动允许部；76…纵框架固定机构；77…第一安装板部；78…第二安装板部；79…第三安装板部；80…第四安装板部；81…第一轨道框架；82…第二轨道框架；83…连接框架；85…延伸设置框架；86…第一架设框架；87…第一架设框架位置调节机构；88…第二架设框架；89…第二架设框架位置调节机构；91…第三位置调节机构；92…板状部件；93…框架移动允许部；94…框架固定机构；97…贯穿孔；98…支撑件；99…抵接板部；100…固定用轴部；101…固定件；D1…第一距离；D2…第二距离。

Claims (13)

1.一种搬运装置，吸附载置在载置面上的挠性介质进行搬运，其特征在于，

具备：吸附所述介质的吸附机构；以及使所述吸附机构升降的升降机构，

在将相互正交的三个轴方向设为X轴、Y轴方向及Z轴方向，将上下方向设为Z轴方向，将Z1方向设为下方，将Z2方向设为上方的情况下，

所述吸附机构具备：

四个第一吸附垫，该四个第一吸附垫在从所述Z轴方向观察的情况下配置于与预先设定于所述载置面的矩形的第一吸附区域的四个内角重叠的位置；

四个第二吸附垫，该四个第二吸附垫在从所述Z轴方向观察的情况下配置于与所述载置面上将所述第一吸附区域包含在内侧的第二吸附区域的四个内角重叠的位置；

吸气机构；

第一吸气路，该第一吸气路连接所述吸气机构与所述第一吸附垫；

第二吸气路，该第二吸气路连接所述吸气机构与所述第二吸附垫；

连接断开机构，该连接断开机构连接或断开所述第二吸气路；以及

第二吸附垫移动机构，该第二吸附垫移动机构使所述第二吸附垫在吸附位置与退避位置之间移动，所述吸附位置是在所述Z轴方向上与所述第一吸附垫相同的位置，所述退避位置是与所述第一吸附垫相比向上方离开的位置，

在利用所述第一吸附垫吸附所述介质进行搬运时，在将所述第二吸附垫配置在所述退避位置并且切断所述第二吸气路的状态下驱动所述吸气机构而使所述吸气机构下降，从而使所述第一吸附垫与所述载置面上的所述介质接触，在利用所述第一吸附垫及所述第二吸附垫吸附所述介质进行搬运时，在将所述第二吸附垫配置在所述吸附位置并且连接所述第二吸气路的状态下驱动所述吸气机构而使所述吸气机构下降，从而使所述第一吸附垫及所述第二吸附垫与所述载置面上的所述介质接触。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

所述吸附机构具有：基准框架；支撑四个所述第一吸附垫的固定框架；以及支撑四个所述第二吸附垫的可动框架，

所述固定框架与所述基准框架连接，

所述第二吸附垫移动机构具备与所述可动框架连接的气缸，

所述气缸安装于所述基准框架，并使所述可动框架升降。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，

所述气缸为双动式气缸，

所述第二吸附垫移动机构具备用于驱动所述气缸的电磁阀，

所述电磁阀对第一空气提供路和第二空气提供路进行切换，所述第一空气提供路与在使所述可动框架下降时施加压力的所述气缸的第一端口连通，所述第二空气提供路与在使所述可动框架上升时施加压力的所述气缸的第二端口连通，

所述连接断开机构具备：对所述第二吸气路进行开闭的常闭型的空气闸阀；以及用于向所述空气闸阀提供动作用空气的阀动作用空气提供路，

所述阀动作用空气提供路与所述第一空气提供路连接。

4.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，

在将与上下方向垂直且相互正交的两个方向设为X轴方向和Y轴方向的情况下，

在从所述上下方向观察的情况下，所述第一吸附区域具备在所述X轴方向上相对且在所述Y轴方向上延伸的第一吸附区域第一边和第一吸附区域第二边，

在从所述上下方向观察的情况下，所述第二吸附区域具备在X轴方向上相对且在Y轴方向上延伸的第二吸附区域第一边及第二吸附区域第二边，

所述第一吸附区域位于所述第二吸附区域的中央。

5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，

四个所述第一吸附垫分别经由第一位置调节机构安装于所述固定框架，所述第一位置调节机构具备：第一移动允许部，该第一移动允许部在从所述上下方向观察的情况下允许各第一吸附垫在所述固定框架上从所述第一吸附区域的中心沿径向移动第一距离；以及第一固定机构，该第一固定机构将所述第一吸附垫以阻止向所述径向的移动的状态固定于所述固定框架。

6.根据权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，

四个所述第二吸附垫分别经由第二位置调节机构安装于所述可动框架，

所述第二位置调节机构具备：第二移动允许部，该第二移动允许部在从所述上下方向观察的情况下允许各第二吸附垫在所述可动框架上沿所述径向移动第二距离；以及第二固定机构，该第二固定机构将所述第二吸附垫以阻止向所述径向的移动的状态固定于所述可动框架，

所述第二距离比所述第一距离长。

7.根据权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，

所述可动框架具备：基座框架；具备所述第二移动允许部且在所述基座框架的外周侧呈放射状延伸的四个延伸设置框架；以及将各延伸设置框架固定于所述基座框架的延伸设置框架固定机构，

所述延伸设置框架固定机构能够在第一位置与第二位置之间变更所述基座框架中的各延伸设置框架的固定位置，所述第二位置在周向上从所述第一位置偏移，

所述第二移动允许部在所述延伸设置框架固定于所述第一位置时允许所述第二吸附垫向所述径向移动，在所述延伸设置框架固定于所述第二位置时允许所述第二吸附垫向偏离所述径向的方向移动。

8.根据权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，

从所述上下方向观察的情况下，在与所述第二吸附区域重叠的位置具备四个第三吸附垫，该四个第三吸附垫分别配置于在周向上彼此相邻的两个所述第二吸附垫之间，

所述第三吸附垫安装于所述可动框架，并与所述第二吸气路连接。

9.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，

在将与上下方向垂直且相互正交的两个方向设为X轴方向和Y轴方向的情况下，

在从所述上下方向观察的情况下，所述第一吸附区域具备在所述X轴方向上相对且在所述Y轴方向上延伸的第一吸附区域第一边和第一吸附区域第二边，

在从所述上下方向观察的情况下，所述第二吸附区域具备在X轴方向上相对且在Y轴方向上延伸的第二吸附区域第一边及第二吸附区域第二边，

在从所述上下方向观察的情况下，所述第一吸附区域第一边在所述第二吸附区域第一边的Y轴方向的中央与该第二吸附区域第一边重叠。

10.根据权利要求9所述的搬运装置，其特征在于，

四个所述第一吸附垫分别经由第一位置调节机构安装于所述固定框架，

所述第一位置调节机构具备：第一移动允许部，该第一移动允许部在从所述上下方向观察的情况下允许各第一吸附垫在所述固定框架上沿所述Y轴方向移动第一距离；以及第一固定机构，该第一固定机构将所述第一吸附垫以阻止向所述Y轴方向的移动的状态固定于所述固定框架。

11.根据权利要求10所述的搬运装置，其特征在于，

四个所述第二吸附垫分别经由第二位置调节机构安装于所述可动框架，

所述第二位置调节机构具备：第二移动允许部，该第二移动允许部在从所述上下方向观察的情况下允许各第二吸附垫在所述可动框架上沿所述Y轴方向移动第二距离；以及第二固定机构，该第二固定机构将所述第二吸附垫以阻止向所述Y轴方向的移动的状态固定于所述可动框架，所述第二距离比所述第一距离长。

12.根据权利要求11所述的搬运装置，其特征在于，

所述可动框架具有：一对轨道框架，该一对轨道框架在Y轴方向上相对并沿X轴方向延伸；两个延伸设置框架，该两个延伸设置框架从各轨道框架朝向内周侧沿Y轴方向向相互接近的方向延伸；架设框架，该架设框架以能够沿所述X轴方向移动的状态架设于所述一对所述轨道框架并沿Y轴方向延伸；以及架设框架固定机构，该架设框架固定机构将所述架设框架以阻止向所述X轴方向的移动的状态固定于所述轨道框架，

在从所述上下方向观察的情况下，所述架设框架位于所述第一吸附区域第二边的与所述第一吸附区域第一边相反的一侧，

四个所述第二吸附垫中的两个分别经由所述第二位置调节机构固定于各延伸设置框架，

四个所述第二吸附垫中的另外两个分别经由所述第二位置调节机构安装于所述架设框架。

13.根据权利要求9所述的搬运装置，其特征在于，

具备两个第三吸附垫，该两个第三吸附垫在从所述上下方向观察的情况下与所述第二吸附区域重叠，且在所述第一吸附区域第二边与所述第二吸附区域第二边之间在所述Y轴方向上分开配置，

所述第三吸附垫安装于所述可动框架，并与所述第二吸气路连接。