JP2024046684A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2024046684A5
JP2024046684A5 JP2024022513A JP2024022513A JP2024046684A5 JP 2024046684 A5 JP2024046684 A5 JP 2024046684A5 JP 2024022513 A JP2024022513 A JP 2024022513A JP 2024022513 A JP2024022513 A JP 2024022513A JP 2024046684 A5 JP2024046684 A5 JP 2024046684A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding device
plate
joint
shaped portion
adhesive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2024022513A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2024046684A (ja
JP7612075B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2021150178A external-priority patent/JP7458354B2/ja
Application filed filed Critical
Priority to JP2024022513A priority Critical patent/JP7612075B2/ja
Publication of JP2024046684A publication Critical patent/JP2024046684A/ja
Publication of JP2024046684A5 publication Critical patent/JP2024046684A5/ja
Priority to JP2024164280A priority patent/JP7833507B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7612075B2 publication Critical patent/JP7612075B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2024022513A 2021-09-15 2024-02-19 保持装置 Active JP7612075B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2024022513A JP7612075B2 (ja) 2021-09-15 2024-02-19 保持装置
JP2024164280A JP7833507B2 (ja) 2021-09-15 2024-09-20 保持装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021150178A JP7458354B2 (ja) 2021-09-15 2021-09-15 保持装置
JP2024022513A JP7612075B2 (ja) 2021-09-15 2024-02-19 保持装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021150178A Division JP7458354B2 (ja) 2021-09-15 2021-09-15 保持装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024164280A Division JP7833507B2 (ja) 2021-09-15 2024-09-20 保持装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2024046684A JP2024046684A (ja) 2024-04-03
JP2024046684A5 true JP2024046684A5 (https=) 2024-05-16
JP7612075B2 JP7612075B2 (ja) 2025-01-10

Family

ID=85724116

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021150178A Active JP7458354B2 (ja) 2021-09-15 2021-09-15 保持装置
JP2024022513A Active JP7612075B2 (ja) 2021-09-15 2024-02-19 保持装置
JP2024164280A Active JP7833507B2 (ja) 2021-09-15 2024-09-20 保持装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021150178A Active JP7458354B2 (ja) 2021-09-15 2021-09-15 保持装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024164280A Active JP7833507B2 (ja) 2021-09-15 2024-09-20 保持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (3) JP7458354B2 (https=)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7561164B2 (ja) * 2022-08-01 2024-10-03 日本特殊陶業株式会社 保持装置
WO2024219229A1 (ja) * 2023-04-18 2024-10-24 日本特殊陶業株式会社 保持装置
WO2026058633A1 (ja) * 2024-09-12 2026-03-19 日本碍子株式会社 ウエハ載置台

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001315163A (ja) 2000-05-11 2001-11-13 Canon Inc 成形方法
JP4727434B2 (ja) * 2006-01-18 2011-07-20 住友大阪セメント株式会社 静電チャック装置
JP5016510B2 (ja) * 2007-02-09 2012-09-05 日本碍子株式会社 半導体支持装置
CN102217054B (zh) 2008-11-25 2013-05-08 京瓷株式会社 晶片加热装置、静电卡盘以及晶片加热装置的制造方法
JP5267603B2 (ja) * 2010-03-24 2013-08-21 Toto株式会社 静電チャック
JP6250949B2 (ja) 2013-04-15 2017-12-20 日本特殊陶業株式会社 半導体製造装置用部品及びその製造方法
JP2016050213A (ja) 2014-08-28 2016-04-11 パナソニックIpマネジメント株式会社 熱伝導性フィラー、熱伝導性繊維および熱伝導性樹脂
JP6886439B2 (ja) * 2018-08-07 2021-06-16 日本特殊陶業株式会社 複合部材および接着剤組成物
JP6859309B2 (ja) * 2018-10-22 2021-04-14 日本特殊陶業株式会社 保持装置
JP7169958B2 (ja) 2019-10-18 2022-11-11 日本特殊陶業株式会社 シリコーン接着剤組成物、シリコーン接着剤組成物の製造方法、および、複合部材

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2024046684A5 (https=)
JP2008105420A5 (https=)
ES2116329T3 (es) Procedimiento para fabricar una placa compuesta a base de un nucleo celular y al menos una capa de cubierta.
KR20170118883A (ko) 열 전도 시트 및 전자 디바이스
JP2023181341A5 (https=)
JP2007516868A5 (https=)
JPH1135893A5 (https=)
JP2009117656A (ja) 熱伝導材及びその製造方法
JPH11231142A5 (https=)
JP6376274B2 (ja) 複合材料構造体
JP2017525591A (ja) ガラス及びポリマーフィルム組立体並びに作製方法
JPH0438402A (ja) ひずみゲージとその製造方法
JP2008542483A5 (https=)
JP2021093524A (ja) 熱伝導体
JP2012045757A5 (https=)
JP3434186B2 (ja) 熱伝導性シリコーンゲル成形シート及びその製造方法
KR20020037331A (ko) 미세 구조식 열교환기 및 그 제조 방법
JP2001284504A (ja) 熱伝導性シート用剥離フィルム及び熱伝導性シート
JP4382899B2 (ja) 圧電式アクチュエータ及びその製造方法
EP4255106A1 (en) Heating structure and manufacturing method therefor
DE60034109D1 (de) Röhrenwärmeübertragungselement
JPH0886578A (ja) 柔軟性薄形プレートヒートパイプ
CA2485473A1 (en) Process for fabricating weatherseals
CN223364424U (zh) 一种导热垫片组件
CN223016740U (zh) 一种具有阻燃性能的导热凝胶片