JP2024039067A - 発光装置 - Google Patents

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Ryo Takayasu
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Abstract

【課題】 小型の発光装置を実現できる。【解決手段】 上面を有する基体と、第1側面と第1側面の反対側の側面である第2側面とを有し、基体の上面において第1側面が第1方向に並べて配置され、第1方向の長さよりも上面視で第1方向に垂直な第2方向の長さの方が大きい、複数のサブマウントと、それぞれが、光出射面を有し、光出射面が第2側面よりも第1側面に近い位置で、互いに異なるサブマウントに配置される、複数の半導体レーザ素子と、それぞれが、第2側面までの距離が、半導体レーザ素子から第2側面までの距離よりも短い位置で、互いに異なるサブマウントに配置される、複数の保護素子と、を備える、発光装置。【選択図】 図4

Description

本発明は、発光装置に関する。
特許文献1には、レーザ素子と、レーザ素子に電気的に接続されたツェナーダイオードとが、サブマウントの上方に配置された半導体レーザ装置が開示されている。また、ツェナーダイオードを配置することで、レーザ素子をサージ電圧等から保護することができる旨も開示されている。
特開2019-169644
1の発光装置において、半導体レーザ素子及び保護素子が配置されたサブマウントを複数実装したい場合がある。また、小型の発光装置を求めるニーズがある。
実施形態に開示される発光装置は、上面を有する基体と、第1側面と前記第1側面の反対側の側面である第2側面とを有し、前記基体の上面において前記第1側面が第1方向に並べて配置され、前記第1方向の長さよりも上面視で前記第1方向に垂直な第2方向の長さの方が大きい、複数のサブマウントと、それぞれが、光出射面を有し、前記光出射面が前記第2側面よりも前記第1側面に近い位置で、互いに異なる前記サブマウントに配置される、複数の半導体レーザ素子と、それぞれが、前記第2側面までの距離が、前記半導体レーザ素子から前記第2側面までの距離よりも短い位置で、互いに異なる前記サブマウントに配置される、複数の保護素子と、を備える。
実施形態によって開示される1または複数の発明の少なくとも一つにおいて、それぞれに半導体レーザ素子及び保護素子が配置される複数のサブマウントが実装された小型の発光装置を実現できるという効果が期待される。
図1は、各実施形態に係る発光装置の斜視図である。 図2は、各実施形態に係る発光装置の上面図である。 図3は、図2のIII-III断面線における第1実施形態に係る発光装置の断面図である。 図4は、第1実施形態に係る発光装置において、内部に配置される各構成要素を説明するための上面図である。 図5は、実施形態に係るサブマウント(第1サブマウント)の上面図である。 図6は、実施形態に係るサブマウント(第1サブマウント)に他の構成要素が配置された状態における上面図である。 図7は、図2のVII-VII断面線における第2実施形態に係る発光装置の断面図である。 図8は、第2実施形態に係る発光装置において、内部に配置される各構成要素を説明するための上面図である。 図9は、図2のIX-IX断面線における第3実施形態に係る発光装置の断面図である。 図10は、第3実施形態に係る発光装置において、内部に配置される各構成要素を説明するための上面図である。 図11は、実施形態に係る第2サブマウントの上面図である。 図12は、実施形態に係る第2サブマウントに他の構成要素が配置された状態における上面図である。 図13は、図2のXIII-XIII断面線における第4実施形態に係る発光装置の断面図である。 図14は、第4実施形態に係る発光装置において、内部に配置される各構成要素を説明するための上面図である。
本明細書または特許請求の範囲において、三角形や四角形などの多角形に関しては、多角形の隅に角丸め、面取り、角取り、丸取り等の加工が施された形状も含めて、多角形と呼ぶものとする。また、隅(辺の端)に限らず、辺の中間部分に加工が施された形状も同様に、多角形と呼ぶものとする。つまり、多角形をベースに残しつつ、部分的な加工が施された形状は、本明細書及び特許請求の範囲で記載される“多角形”の解釈に含まれるものとする。
また、多角形に限らず、台形や円形や凹凸など、特定の形状を表す言葉についても同様である。また、その形状を形成する各辺を扱う場合も同様である。つまり、ある辺において、隅や中間部分に加工が施されていたとしても、“辺”の解釈には加工された部分も含まれる。なお、部分的な加工のない“多角形”や“辺”を、加工された形状と区別する場合は“厳密な”を付して、例えば、“厳密な四角形”などと記載するものとする。
また、本明細書または特許請求の範囲において、上下、左右、表裏、前後、手前と奥などの記載は、相対的な位置、向き、方向などの関係を述べるに過ぎず、使用時における関係と一致していなくてもよい。
また、図面においてX方向、Y方向、及び、Z方向などの方向を、矢印を用いて示すことがある。この矢印の方向は、同じ実施形態に係る複数の図面間で整合が取られている。
また、本明細書において、例えば構成要素などを説明するときに「部材」や「部」と記載することがある。「部材」は、物理的に単体で扱う対象を指すものとする。物理的に単体で扱う対象とは、製造の工程で一つの部品として扱われる対象ということもできる。一方で、「部」は、物理的に単体で扱われなくてもよい対象を指すものとする。例えば、1つの部材の一部を部分的に捉えるときに「部」が用いられる。
なお、上述の「部材」と「部」の書き分けは、均等論の解釈において権利範囲を意識的に限定するという意思を示すものではない。つまり、特許請求の範囲において「部材」と記載された構成要素があったとしても、そのことのみを以って、この構成要素を物理的に単体で扱うことが本発明の適用に必要不可欠であると出願人が認識しているわけではない。
また、本明細書または特許請求の範囲において、ある構成要素が複数あり、それぞれを区別して表現する場合に、その構成要素の頭に“第1”、“第2”と付記して区別することがある。また、本明細書と特許請求の範囲とで区別する対象が異なる場合があり得る。そのため、特許請求の範囲において本明細書と同一の付記がされた構成要素が記載されていても、この構成要素によって特定される対象が、本明細書と特許請求の範囲との間で一致しないことがあり得る。
例えば、本明細書において“第1”、“第2”、“第3”と付記されて区別される構成要素があり、本明細書において“第1”及び“第3”が付記された構成要素を特許請求の範囲に記載する場合に、見易さの観点から特許請求の範囲においては“第1”、“第2”と付記して構成要素を区別することがある。この場合、特許請求の範囲において“第1”、“第2”と付記された構成要素はそれぞれ、本明細書において“第1”“第3”と付記された構成要素を指すことになる。なお、このルールの適用対象は構成要素に限らず、その他の対象に対しても、合理的かつ柔軟に適用される。
以下に、本発明を実施するための形態を説明する。またさらに、図面を参照しながら、本発明を実施するための具体的な形態を説明する。なお、本発明を実施するための形態は、この具体的な形態に限定されない。つまり、図示される実施形態は、本発明が実現される唯一の形態ではない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、理解の便宜を図るために誇張していることがある。
<第1実施形態>
第1実施形態に係る発光装置1を説明する。図1乃至図6は、発光装置1の例示的な一形態を説明するための図面である。図1は、発光装置1の斜視図である。図2は、発光装置1の上面図である。図3は、図2のIII-III断面線における断面図である。図4は、発光装置1の基体10に実装される各構成要素の様子を示す上面図である。図5は、サブマウント30の上面図である。図6は、サブマウント30に半導体レーザ素子20及び保護素子50が実装された状態を示す上面図である。
発光装置1は、複数の構成要素を備えている。複数の構成要素は、基体10、複数の半導体レーザ素子20、複数のサブマウント30、1または複数の反射部材40、複数の保護素子50、複数の配線60、蓋部材70、及び、光学部材80を含む。
なお、発光装置1は、この他にも構成要素を備えていてよい。例えば、発光装置1は、複数の半導体レーザ素子20とは別に、さらに発光ダイオードや半導体レーザ素子などの発光素子を備えていてもよい。また、発光装置1は、ここで挙げた複数の構成要素の一部を備えていなくてもよい。
まず、各構成要素について説明する。
(基体10)
基体10は、上面11A、下面11B、及び、1または複数の外側面11Cを有する。上面視で、基体10の外縁形状は矩形である。この矩形は、長辺と短辺を有する矩形とすることができる。図示される基体10において、この矩形の長辺方向はX方向と同じ方向であり、短辺方向はY方向と同じ方向である。なお、上面視で、基体10の外縁形状は矩形でなくてもよい。
基体10において、凹形状が形成されている。上面11Aから、上面11Aよりも下方に窪んだ凹形状が形成される。基体10の凹形状によって窪みが画定される。この窪みは、上面視で上面11Aに囲まれる。
上面11Aの内縁は、窪みの外縁を画定する。上面視で、窪みの外縁形状は矩形である。この矩形は、長辺と短辺を有する矩形とすることができる。図示される基体10において、この矩形の長辺方向はX方向と同じ方向であり、短辺方向はY方向と同じ方向である。なお、この窪みの外縁形状は矩形でなくてもよい。
基体10は、実装面11D、及び、1または複数の内側面11Eを有する。実装面11Dは、上面11Aよりも下方に、かつ、下面11Bよりも上方に位置する。実装面11Dは上面である。実装面11Dは、上面11Aとは異なる上面といえる。1または複数の内側面11Eは、実装面11Dよりも上方に位置する。1または複数の内側面11Eは、上面11Aと交わる。基体10の窪みを画定する複数の面に、実装面11D及び1または複数の内側面11Eは含まれる。
1または複数の内側面11Eは、実装面11Dに対して垂直に設けられる。ここでの垂直は、±3度の差を許容する。なお、内側面11Eは、実装面11Dに対して垂直でなくてもよい。
基体10は、1または複数の段差部12Cを有する。段差部12Cは、上面、及び、上面と交わり上面から下方に延びる内側面、を有する。段差部12Cの上面は、内側面11Eと交わる。段差部12Cの内側面は、実装面11Dと交わる。
段差部12Cは、上面視で、内側面11Eの一部または全部に沿って形成される。1または複数の段差部12Cは、上面視で、上面11Aの内側に形成される。1または複数の段差部12Cは、上面視で、1または複数の内側面11Eの内側に形成される。
基体10は、複数の段差部12Cを有し得る。複数の段差部12Cには、上面視で、内側面11Eに沿って形成される段差部12Cが含まれる。複数の段差部12Cには、上面視で、内側面11Eの全部に沿って形成される段差部12Cが含まれる。
複数の段差部12Cには、上面視で、ある内側面11E(以下、第1内側面と呼ぶ。)に沿って形成される段差部12C(以下、第1段差部と呼ぶ。)と、別の内側面11E(以下、第2内側面と呼ぶ。)に沿って形成される段差部12C(以下、第2段差部と呼ぶ。)と、が含まれる。
第1内側面11Eと、第2内側面11Eとは、互いに対向する。第1段差部12Cは、第1内側面11Eのみに沿って形成され得る。第2段差部12Cは、第2内側面11Eのみに沿って形成され得る。上面視で、互いに対向する内側面11Eのそれぞれに沿って形成される段差部12Cの間には、段差部12Cは設けられない。
基体10は、上面視で、上面11Aの内側に複数の段差部12C以外の段差部を有さず、また、複数の段差部12Cは2つの段差部12Cのみで構成することができる。複数の段差部12Cは、第1段差部12Cと第2段差部12Cのみで構成することができる。
複数の段差部12Cには、内側面11Eに沿って、実装面11Dに平行な方向に係るこの内側面11Eの長さの50%以上100%以下の長さで形成される段差部12Cが含まれる。
段差部12Cの上面には、1または複数の配線パターン13が設けられる。配線パターン13は、基体10の内部を通る配線を経由して他の配線パターンと電気的に接続する。他の配線パターンは、例えば基体10の下面に設けられる。なお、配線パターン13は、上面11Aまたは外側面11Cに設けられた配線パターンと電気的に接続してもよい。
1または複数の段差部12Cの上面には、複数の配線パターン13が設けられる。複数の段差部12Cのそれぞれに、1または複数の配線パターン13が設けられ得る。基体10は、複数の配線パターン13が上面に設けられた段差部12Cを有することができる。段差部12Cの上面に配線パターン13を設けることで、実装面11Dよりも高い位置で、配線を接続させることができる。これにより、配線の接合処理が容易になることがある。
基体10において、配線パターン13が設けられる箇所は段差部12Cに限らなくてよい。基体10は、電気的な接続のために設けられる配線部を有するといえ、図示される基体10では、段差部12Cが配線部でもある。
基体10は、セラミックを主材料に用いて形成することができる。また、基体10は、金属あるいは金属を含む複合物を主材料に用いて形成された、実装面11Dを有する底部材と、セラミックを主材料に用いて形成された、配線パターン13を有する枠部材と、を接合して形成してもよい。
ここで、主材料とは、対象となる形成物において、質量または体積が最も多くの割合を占める材料をいうものとする。なお、1つの材料から対象となる形成物が形成される場合には、その材料が主材料である。つまり、ある材料が主材料であるとは、その材料の占める割合が100%となり得ることを含む。
セラミックとしては、例えば、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、炭化ケイ素などが挙げられる。金属としては、例えば、銅、アルミニウム、鉄などが挙げられる。あるいは、金属を含む複合物として、銅モリブデン、銅-ダイヤモンド複合材料、銅タングステンなどを用いることができる。
(半導体レーザ素子20)
半導体レーザ素子20は、光を出射する光出射面を有する。半導体レーザ素子20は、上面、下面、複数の側面を有する。半導体レーザ素子20の上面または側面が、光出射面となる。半導体レーザ素子20の上面の形状は、長辺と短辺を有する矩形である。なお、半導体レーザ素子20の上面の形状は、矩形でなくてもよい。
半導体レーザ素子20は、シングルエミッタの半導体レーザ素子である。また、半導体レーザ素子20は、エミッタが複数あるマルチエミッタの半導体レーザ素子とすることもできる。半導体レーザ素子20にマルチエミッタの半導体レーザ素子を採用する場合、エミッタの数は2つにするとよい。エミッタの数が多くなると半導体レーザ素子20も大きくなり得ることや、放熱の影響などを考慮して、適当なエミッタ数の半導体レーザ素子を採用すればよい。
半導体レーザ素子20には、例えば、青色の光を出射する半導体レーザ素子、または、緑色の光を出射する半導体レーザ素子を採用することができる。また、半導体レーザ素子20には、赤色の光を出射する半導体レーザ素子を採用してもよい。またあるいは、半導体レーザ素子20には、その他の色の光を出射する半導体レーザ素子を採用してもよい。
ここで、青色の光は、その発光ピーク波長が420nm~494nmの範囲内にある光をいうものとする。緑色の光は、その発光ピーク波長が495nm~570nmの範囲内にある光をいうものとする。赤色の光は、その発光ピーク波長が605nm~750nmの範囲内にある光をいうものとする。
半導体レーザ素子20は、上面視で、一方の対辺を長辺、他方の対辺を短辺とする矩形の外形を有する。半導体レーザ素子20から出射される光(レーザ光)は拡がりを有する。また、半導体レーザ素子20の出射端面(光出射面)から発散光が出射される。
半導体レーザ素子20から出射される光は、光の出射端面と平行な面において楕円形状のファーフィールドパターン(以下「FFP」という。)を形成する。FFPとは、出射端面から離れた位置における出射光の形状や光強度分布である。
ここで、FFPの楕円形状の中心を通る光、言い換えると、FFPの光強度分布においてピーク強度の光を、光軸を進む光、あるいは、光軸を通る光と呼ぶものとする。また、FFPの光強度分布において、ピーク強度値に対して1/e以上の強度を有する光を、主要部分の光と呼ぶものとする。
半導体レーザ素子20から出射される光のFFPの形状は、光の出射端面と平行な面において、積層方向の方が、積層方向に垂直な方向よりも長い楕円形状である。積層方向とは、半導体レーザ素子20において活性層を含む複数の半導体層が積層される方向のことである。積層方向に垂直な方向は、半導体層の面方向ということもできる。また、FFPの楕円形状の長径方向を半導体レーザ素子20の速軸方向、短径方向を半導体レーザ素子20の遅軸方向ということもできる。
FFPの光強度分布に基づきピーク光強度の1/eの光強度の光が拡がる角度を、半導体レーザ素子20の光の拡がり角とする。光の拡がり角は、ピーク光強度の1/eの光強度の他に、例えば、ピーク光強度の半値の光強度から求められることもある。本明細書の説明において、単に「光の拡がり角」というときは、ピーク光強度の1/eの光強度における光の拡がり角を指すものとする。なお、速軸方向の拡がり角の方が、遅軸方向の拡がり角よりも大きいといえる。
青色の光を発する半導体レーザ素子20、または、緑色の光を発する半導体レーザ素子20として、窒化物半導体を含む半導体レーザ素子20が挙げられる。窒化物半導体としては、例えば、GaN、InGaN、及びAlGaNを用いることができる。赤色の光を発する半導体レーザ素子20として、InAlGaP系やGaInP系、GaAs系やAlGaAs系の半導体を含むものが挙げられる。
(サブマウント30)
サブマウント30は、上面31と、下面と、1または複数の側面32と、を有する。サブマウント30は、上面視において、一方の方向の長さが、これに垂直な方向の長さよりも大きい外形を有する。上面31は、矩形の形状である。上面31は、短辺及び長辺を有する矩形の形状となり得る。
サブマウント30は、直方体の形状で構成される。サブマウント30は、上面31と下面の間の距離が、他の対向する2面の間の距離よりも小さい。この上面31と下面の間の距離をサブマウント30の厚みと呼ぶものとする。なお、サブマウント30の形状は直方体に限らなくてよい。
上面31には、配置領域33が設けられる。配置領域33は、他の構成要素が配置される。配置領域33は、他の構成要素が配置されるスペースを確保する。配置領域33の形状は、そこに配置される構成要素の形状に対応する。上面31には、複数の配置領域33が設けられる。
上面31における短辺の長さは、500μm以上1500μm以下である。上面31における長辺の長さは、1000μm以上3000μm以下である。サブマウント30の厚みは、200μm以上500μm以下である。上面31の長辺の長さは、短辺の長さの150%以上300%以下である。
サブマウント30は、例えば、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、又は炭化ケイ素を用いて形成することができる。また、配置領域33には、他の構成要素と接合するための金属膜が設けられている。
(反射部材40)
反射部材40は、光を反射する光反射面を有する。また、光反射面は、下面に対して傾斜している。つまり、光反射面は、下面からみた配置関係が垂直でも平行でもない。光反射面の下端と上端を結ぶ直線が、反射部材40の下面に対して傾斜している。下面に対する光反射面の角度、あるいは、下面に対する光反射面の下端と上端を結ぶ直線の角度を、光反射面の傾斜角と呼ぶものとする。
図示される反射部材40において、光反射面は、平面であり、かつ、反射部材40の下面に対して45度の傾斜角を成す。なお、光反射面は平面でなくてもよく、例えば曲面であってもよい。また、光反射面は、その傾斜角が45度でなくてもよい。
反射部材40は、主材料に、ガラスや金属などを用いることができる。主材料は熱に強い材料がよく、例えば、石英若しくはBK7(硼珪酸ガラス)等のガラス、アルミニウム等の金属を用いることができる。反射部材40は、Siを主材料に用いて形成することもできる。主材料が反射性材料であれば、主材料から光反射面を形成することができる。主材料とは別に光反射面を形成する場合、光反射面は、例えば、Ag、Al等の金属やTa/SiO、TiO/SiO、Nb/SiO等の誘電体多層膜を用いて形成することができる。
光反射面において、光反射面に照射される光のピーク波長に対する反射率が90%以上である。また、この反射率は95%以上であってもよい。また、この反射率を99%以上とすることもできる。光反射率は、100%以下あるいは100%未満である。
(保護素子50)
保護素子50は、特定の素子(例えば半導体レーザ素子)に過剰な電流が流れて破壊されてしまうことを防ぐためのものである。保護素子50としては、例えば、ツェナーダイオードがあげられる。また、ツェナーダイオードとしては、Siで形成されたものを採用できる。
(配線60)
配線60は、両端を接合部とする線状の導電性材料である。両端の接合部は、他の構成要素との接合部分になる。配線60は、例えば、金属のワイヤである。金属には、例えば、金、アルミニウム、銀、銅などを用いることができる。
(蓋部材70)
蓋部材70は、下面と、上面と、を有し、直方体の平板形状で構成される。なお、直方体でなくてもよい。蓋部材70は、光を透過する透光性を有する。ここで、透光性とは、光に対する透過率が80%以上であることとする。なお、全ての波長の光に対して80%以上の透過率を有していなくてもよい。蓋部材70は、一部に非透光性の領域(透光性を有していない領域)を有していてもよい。
蓋部材70は、ガラスを主材料に用いて形成される。蓋部材70を形成する主材料は、高い透光性を有する材料である。蓋部材70は、ガラスに限らず、例えば、サファイアを主材料に用いて形成してもよい。
(光学部材80)
光学部材80は、上面と、下面と、側面と、を有する。光学部材80は、入射する光に対して、反射、透過、屈折といった光学作用や、集光、拡散、コリメートといった光学作用を与える。
光学部材80は、1または複数のレンズ面を有し得る。1または複数のレンズ面は、光学部材80の上面側に設けられる。なお、光学部材80の下面側に設けられてもよい。上面及び下面は平面である。1または複数のレンズ面は、上面と交わる。1または複数のレンズ面は、上面視で上面に囲まれる。上面視で、光学部材80は、矩形の外形を有している。光学部材80の下面は矩形である。
光学部材80の、上面視で1または複数のレンズ面と重なる部分をレンズ部とする。光学部材80において、上面視で上面と重なる部分を非レンズ部とする。レンズ部を、上面を含む仮想的な平面で二分したときのレンズ面側をレンズ形状部、下面側を平板形状部とする。レンズ部の下面は、下面の一部分である。光学部材80において、下面は、レンズ部の下面及び非レンズ部の下面で構成される。
図示される光学部材80は、複数のレンズ面を有している。また、複数のレンズ面は、一方向に連なって形成される。光学部材80は、5つのレンズ面を有し、この5つレンズ面の頂点が一直線上に設けられるように形成される。この直線は、X方向と同じ方向である。
ここで、上面視で、複数のレンズ面が並ぶ方向を連結方向というものとする。複数のレンズ面は、上面視で、連結方向の長さが、この方向に垂直な方向の長さよりも大きい。図示される光学部材80において、連結方向は、X方向と同じ方向である。
光学部材80は、高い透光性を有する。光学部材80は、レンズ部及び非レンズ部のいずれにおいても高い透光性を有する。また、光学部材80は、全体として、高い透光性を有する。光学部材80は、例えば、BK7等のガラスを用いて形成することができる。
次に、上述した構成要素を備える発光装置1について説明する。なお、以下の発光装置1についての説明では、発光装置1に係る図面に基づいて整合する限り、単体の構成要素についての説明は複数の同じ構成要素のそれぞれについても適用されるものである。つまり、図面において同じ構成要素が複数あり、単体の構成要素について説明が図面から複数の同じ構成要素のそれぞれについても当てはまる場合には、複数の同じ構成要素のそれぞれについてもこの説明が妥当する。
(発光装置1)
発光装置1において、半導体レーザ素子20は、サブマウント30に実装される。半導体レーザ素子20は、サブマウント30の上面31に配置される。半導体レーザ素子20は、上面31に設けられた配置領域33内に配置される。半導体レーザ素子20は、青色の光を出射する。
複数の半導体レーザ素子20は、互いに異なるサブマウント30に配置される。複数の半導体レーザ素子20はいずれも同じ色の光を出射する。なお、半導体レーザ素子20が配置されるサブマウント30に、さらに発光素子が配置されてもよい。放熱性などを考慮すると、1のサブマウント30には、1の半導体レーザ素子20の他に発光素子は配置されない方が望ましいことがある。
半導体レーザ素子20は、光出射面が、サブマウント30の側面32の近傍に位置するように配置される。ここで、光出射面の近傍に位置する側面32を第1側面32Aと呼ぶものとする。また、第1側面32Aと反対側のサブマウント30の側面32を第2側面32Bと呼ぶものとする。第1側面32Aは、上面31の短辺と交わる側面32である。第2側面32Bは、第1側面32Aと上面31とが交わる短辺と対をなす短辺と交わる側面32である。半導体レーザ素子20は、その光出射面が第2側面32Bよりも第1側面32Aに近い位置で、サブマウント30に配置される。
半導体レーザ素子20は、上面視で、上面31の短辺の中心を通り、かつ、長辺に平行な仮想的な直線L1が、半導体レーザ素子20の光出射面及び光出射面と反対側の側面のいずれも通過する位置に配置される。以下、仮想的な直線を「仮想線」と呼ぶものとする。
発光装置1において、保護素子50は、サブマウント30に実装される。保護素子50は、サブマウント30の上面31に配置される。保護素子50は、上面31に設けられた配置領域33内に配置される。保護素子50は、半導体レーザ素子20が配置されるサブマウント30に配置される。複数の保護素子50は、互いに異なるサブマウント30に配置される。
サブマウント30に配置される半導体レーザ素子20及び保護素子50について、保護素子50から第2側面32Bまでの距離が、半導体レーザ素子20から第2側面32Bまでの距離よりも短い位置で、保護素子50はサブマウント30に配置される。第2側面32Bから保護素子50までの最長距離の方が、第2側面32Bから半導体レーザ素子20までの最短距離よりも短い。保護素子50は、第2側面32Bの近傍に配置される。
保護素子50は、上面視で、仮想線L1が通過しない位置に配置される。サブマウント30に配置される半導体レーザ素子20及び保護素子50について、保護素子50は、上面視で、半導体レーザ素子20の光出射面に平行な方向の長さの中心を通り、かつ、光出射面に垂直な仮想線L2が通過しない位置に配置される。このような位置に保護素子50を配置することで、光出射面の反対側の側面から漏れる光の影響を受けにくくすることができる。
半導体レーザ素子20が配置される配置領域33と、保護素子50が配置される配置領域33は異なり、上面視で重ならない。ここで、前者の配置領域33を第1配置領域33Aと呼び、後者の配置領域33を第2配置領域33Bと呼ぶ。上面視で、上面31の長辺に平行な方向で、第1配置領域33A及び第2配置領域33Bを通過する仮想線L3が存在するように、第1配置領域33A及び第2配置領域33Bは設けられる。これにより、上面31の短辺の長さを小さくすることができる。
なお、サブマウント30において、第1配置領域33Aと第2配置領域33Bとは、一部で繋がった1つの配置領域33によって実現されてもよい。この場合、第1配置領域33Aの境界及び第2配置領域33Bの境界は、実質的に判断されればよい。つまり、部材公差や実装精度を加味した上で、半導体レーザ素子20を配置するために確保すべき最小の領域を第1配置領域33Aとして画定し、保護素子50を配置するために確保すべき最小の領域を第2配置領域33Bとして画定することができる。
発光装置1において、サブマウント30は、基体10に実装される。サブマウント30は基体10の実装面11Dに配置される。複数のサブマウント30が、実装面11Dに並べて配置される。複数のサブマウント30は、基体10の長手方向に並べて配置される。複数のサブマウント30は、基体10における長辺方向に並べて配置される。
ここで、上面視で複数のサブマウント30が並ぶ方向を第1方向と呼ぶものとする。発光装置1において、複数の半導体レーザ素子20は第1方向に並べて配置される。図示される発光装置1において、第1方向はX方向と同じ方向である。また、上面視で、サブマウント30に配置された半導体レーザ素子20の光出射面に平行な方向は、X方向と同じ方向である。
複数のサブマウント30は、第1側面32Aが第1方向に並ぶように配置される。複数の半導体レーザ素子20は、光出射面が第1方向に並ぶように配置される。サブマウント30は、上面視で、第1方向の長さよりも、第1方向に垂直な方向(以下、第2方向と呼ぶ。)の長さの方が大きい。サブマウント30は、第2方向の長さが、第1方向の長さの150%以上300%以下である。上面視で、サブマウント30の上面31と第1側面32Aとが交わる辺は、第1方向に平行である。
複数のサブマウント30は、第1方向に50μm以上300μm以下の間隔をあけて配置される。複数のサブマウント30における隣り合うサブマウント30間の間隔の最大値は、サブマウント30の第1方向の長さの50%以下である。サブマウント30の第1方向の長さは、複数のサブマウント30における隣り合うサブマウント30間の間隔の最小値の2.5倍以上5倍以下である。これらの条件の1または複数を満たすようにサブマウント30の大きさ及び配置間隔を規定することで、小型の発光装置において、半導体レーザ素子20が配置されたサブマウント30を第1方向により多く並べることができる。
上面視で、上面31を仮想線L2によって二分した領域のうち保護素子50が配置される領域に含まれる上面31の長辺から第1配置領域33Aまでの距離は、第2側面32Bから第1配置領域33Aまでの距離よりも小さい。またさらに、この長辺から第1配置領域33Aまでの距離は、第2配置領域33Bの第2方向の長さよりも小さい。このような条件を満たすようにサブマウント30の短辺方向の長さを小さくすることで、小型の発光装置1において、より多くのサブマウント30を配置することができる。
上面視で、上面31を仮想線L2によって二分した領域のうち保護素子50が配置される領域に含まれる上面31の長辺から第1配置領域33Aまでの距離は、第2配置領域33Bの第1方向の長さよりも小さい。これにより、サブマウント30の短辺方向の長さを小さくすることができ、小型の発光装置において、より多くのサブマウント30を配置することができる。
サブマウント30及びサブマウント30に配置される半導体レーザ素子20について、上面視で、上面31の短辺の長さは、半導体レーザ素子20の光出射面に平行な方向の長さの、300%以上600%以下である。またあるいは、上面視で、サブマウント30の第1方向の長さは、半導体レーザ素子20の第1方向の長さの、300%以上600%以下である。
サブマウント30及びサブマウント30に配置される保護素子50について、上面視で、上面31の短辺の長さは、半導体レーザ素子20の光出射面に平行な方向における保護素子50の長さの200%以上500%以下である。またあるいは、上面視で、サブマウント30の第1方向の長さは、保護素子50の第1方向の長さの200%以上500%以下である。
サブマウント30と、サブマウント30に配置される半導体レーザ素子20及び保護素子50について、上面視で、サブマウント30の第1方向の長さは、半導体レーザ素子20の第1方向の長さ、及び、保護素子50の第1方向の長さの和の1.5倍以上2.5倍以下である。これらの条件の1または複数を満たすようにサブマウント30の第1方向の長さを規定することで、半導体レーザ素子20が配置されたサブマウント30を第1方向により多く並べることができる。
サブマウント30及びサブマウント30に配置される半導体レーザ素子20について、上面視で、上面31の長辺の長さは、半導体レーザ素子20の光出射面に垂直な方向の長さの105%以上150%以下である。またあるいは、上面視で、サブマウント30の第2方向の長さは、半導体レーザ素子20の第2方向の長さの105%以上150%以下である。
サブマウント30と、サブマウント30に配置される半導体レーザ素子20及び保護素子50について、上面視で、サブマウント30の第2方向の長さは、半導体レーザ素子20の第2方向の長さ、及び、保護素子50の第2方向の長さの和よりも150μm以上500μm以下の範囲で大きい。これにより、サブマウント30の第2方向の大きさを抑え、発光装置1を小型に製造できる。
図示される発光装置1では、複数のサブマウント30として、5つのサブマウント30が第1方向に並べて配置された発光装置が開示される。このように、発光装置1において、複数のサブマウント30は、5以上のサブマウントを含むことができる。
また、図示される発光装置1では、複数の半導体レーザ素子20は、基体10の実装面11Dに配置されるサブマウント30の数と同数の半導体レーザ素子20で構成された発光装置が開示される。さらに、複数の半導体レーザ素子20の他に、半導体レーザ素子を含むいかなる発光素子も有さない発光装置が開示される。
発光装置1において、複数の半導体レーザ素子20の光出射面はそれぞれ側方を向く。複数の半導体レーザ素子20の光出射面はそれぞれ同じ方向を向く。半導体レーザ素子20の光出射面から側方に進む光が出射される。半導体レーザ素子20の光出射面から、実装面11Dに垂直な方向を速軸方向とするFFPの光が出射される。いずれの半導体レーザ素子20も、遅軸方向の拡がり角は20度以下である。なお、拡がり角は0度より大きい角度である。
発光装置1において、1または複数の反射部材40が、基体10に配置される。反射部材40は、実装面11Dに配置される。反射部材40は光反射面を有している。複数の半導体レーザ素子20から出射された光は、1または複数の光反射面により反射される。光反射面は、光軸を通る光の進行方向に対して45度の角度で傾いている。光反射面によって反射された光は上方に進む。反射部材40の光反射面には、1または複数の主要部分の光が照射される。
反射部材40は半導体レーザ素子20に1対1で設けることができる。つまり、半導体レーザ素子20の数と同数の反射部材40が配置される。複数の反射部材40は、上面視で、第1方向に並べて配置される。いずれの反射部材40も、大きさ及び形状は同じである。反射部材40の光反射面は、照射された主要部分の光の90%以上を反射する。なお、複数の半導体レーザ素子20に対して1つの反射部材40を設けてもよい。また、全ての半導体レーザ素子20に対して1つの反射部材40を設けてもよい。またあるいは、発光装置1は、反射部材40を有していなくてもよい。
発光装置1において、配線60が、配線パターン13に接合される。発光装置1は、複数の配線60を備える。複数の配線60は、1または複数の半導体レーザ素子20を基体10に電気的に接続する。
発光装置1において、蓋部材70は、基体10の上面に配される。また、蓋部材70は、段差部12Cよりも上方に位置する。また、蓋部材70が接合されることで、基体10と蓋部材70によって囲まれる閉空間が生まれる。この空間は、半導体レーザ素子20が配される空間である。
所定の雰囲気下で蓋部材70を基体10に接合することで、気密封止された閉空間が作り出される。半導体レーザ素子20が配される空間を気密封止することで、集塵による品質劣化を抑制することができる。蓋部材70は、半導体レーザ素子20から出射される光に対して透光性を有する。半導体レーザ素子20から出射された主要部分の光の90%以上が蓋部材70を透過して外部へと出射される。
光学部材80は蓋部材70の上方に配置される。光学部材80は、蓋部材70に接合される。蓋部材70から出射された複数の光は、光学部材80の入射面に入射する。光学部材80の入射面に入射した光は、レンズ面から出射される。
光学部材80は、上面視で、複数のレンズ面のそれぞれが、互いに異なる半導体レーザ素子20と重なるように配置される。1または複数のレンズ面のそれぞれから、互いに異なる半導体レーザ素子20から出射された主要部分の光が出射される。1のレンズ面に1の半導体レーザ素子20が対応し、各レンズ面から、対応する半導体レーザ素子20からの光が出射される。
<第2実施形態>
第2実施形態に係る発光装置2を説明する。図1、図2、及び、図5乃至図8は、発光装置2の例示的な一形態を説明するための図面である。図1は、発光装置2の斜視図である。図2は、発光装置2の上面図である。図5は、サブマウント30の上面図である。図6は、サブマウント30に半導体レーザ素子20及び保護素子50が実装された状態を示す上面図である。図7は、図1のVII-VII断面線における断面図である。図8は、発光装置1の基体10に実装される各構成要素の様子を示す上面図である。
発光装置2は、複数の構成要素を備えている。複数の構成要素は、基体10、複数の半導体レーザ素子20、複数のサブマウント30、1または複数の反射部材40、複数の保護素子50、複数の配線60、蓋部材70、及び、光学部材80を含む。なお、発光装置2は、この他にも構成要素を備えていてよい。
これらの各構成要素については第1実施形態と共通しており、従って、各構成要素の説明は、第1実施形態で説明した通りである。以下では、発光装置2について説明する。発光装置2は、第1実施形態の発光装置1と異なる特徴を有するが、共通する部分もある。第1実施形態で発光装置1について説明された内容のうち、図1、図2、及び、図5乃至図8に基づいて不整合が生じない内容については、発光装置2にも同様に当てはまる内容である。
(発光装置2)
発光装置2において、複数の半導体レーザ素子20には、光出射面から出射される光のピーク波長が互いに異なる第1半導体レーザ素子20A及び第2半導体レーザ素子20Bが含まれる。発光装置2は、複数の第1半導体レーザ素子20Aを有する。発光装置2は、複数の第2半導体レーザ素子20Bを有する。
第1半導体レーザ素子20Aにおける光のピーク波長は、第2半導体レーザ素子20Bにおける光のピーク波長よりも20nm以上小さい。第1半導体レーザ素子20Aから出射される光の色は、第2半導体レーザ素子20Bから出射される光の色と異なる。図示される発光装置2では、第1半導体レーザ素子20Aは青色の光を出射し、第2半導体レーザ素子20Bは緑色の光を出射する。
第1半導体レーザ素子20Aの光出射面に平行な方向の長さは、第2半導体レーザ素子20Bの光出射面に平行な方向の長さの95%以上105%以下である。複数の半導体レーザ素子20は、光出射面に平行の方向の長さが、およそ同程度の半導体レーザ素子で揃えられる。これにより、いずれの半導体レーザ素子20に対しても、同じ大きさ及び形状のサブマウント30を利用することができる。
複数の第1半導体レーザ素子20Aは第1方向に並べて配置される。複数の第2半導体レーザ素子20Bは第1方向に並べて配置される。上面視で、実装面11Dにおいて、第2方向に平行な仮想線L4によって二分される領域の一方に第1半導体レーザ素子20Aが配置され、他方に第2半導体レーザ素子20Bが配置される。このとき、一方の領域には第2半導体レーザ素子20Bは配置されず、他方の領域には第1半導体レーザ素子20Aは配置されない。
基体10は、上面視で、第1方向に対向し、かつ、間に複数の半導体レーザ素子20が配置される2つの配線部を有する。2つの配線部の一方において、第1半導体レーザ素子20Aを電気的に接続するための配線パターン13が設けられ、他方において、第2半導体レーザ素子20Bを電気的に接続するための配線パターン13が設けられる。
複数の配線60には、複数の第1半導体レーザ素子20Aを電気的に接続するための複数の第1配線60Aと、複数の第2半導体レーザ素子20Bを電気的に接続するための複数の第2配線60Bと、が含まれる。発光装置2では、複数の第1半導体レーザ素子20Aが電気的に直列に接続し、複数の第2半導体レーザ素子20Bが電気的に直列に接続する。
複数の第1配線60Aには、基体10の配線部と、この配線部から最も近い第1半導体レーザ素子20Aあるいはこの第1半導体レーザ素子20Aが配置されるサブマウント30と、に接合される第1配線60Aが含まれる。また、複数の第1配線60Aには、基体10の配線部と、この配線部から最も遠い第1半導体レーザ素子20Aあるいはこの第1半導体レーザ素子20Aが配置されるサブマウント30と、に接合される第1配線60Aが含まれる。これら2つの第1配線60Aのうち一方の第1配線60Aは、上面視で、第1半導体レーザ素子20Aの光出射面と反対側の側面を通り第1方向に平行な仮想線L5によって二分される領域のうちの一方の領域で配線部と接合し、他方の第1配線60Aは他方の領域で配線部と接合する。
複数の第1配線60Aには、基体10の配線部と、この配線部から最も遠い第1半導体レーザ素子20Aが配置されるサブマウント30と、に接合される第1配線60Aが含まれる。この第1配線60Aは、上面視で、仮想線L5によって二分される領域のうち保護素子50が配置される領域で、サブマウント30に接合される。この領域を配線60の接合に利用することで、サブマウント30のサイズを小さく抑えることができ、小型の発光装置を実現できる。
複数の第2配線60Bには、基体10の配線部と、この配線部から最も近い第2半導体レーザ素子20Bあるいはこの第2半導体レーザ素子20Bが配置されるサブマウント30と、に接合される第2配線60Bが含まれる。また、複数の第2配線60Bには、基体10の配線部と、この配線部から最も遠い第2半導体レーザ素子20Bあるいはこの第2半導体レーザ素子20Bが配置されるサブマウント30と、に接合される第2配線60Bが含まれる。これら2つの第2配線60Bのうち一方の第2配線60Bは、上面視で、第2半導体レーザ素子20Bの光出射面と反対側の側面を通り第1方向に平行な仮想線L6によって二分される領域のうちの一方の領域で配線部と接合し、他方の第2配線60Bは他方の領域で配線部と接合する。
複数の第2配線60Bには、基体10の配線部と、この配線部から最も遠い第2半導体レーザ素子20Bが配置されるサブマウント30と、に接合される第2配線60Bが含まれる。この第2配線60Bは、上面視で、仮想線L6によって二分される領域のうち保護素子50が配置される領域で、サブマウント30に接合される。この領域を配線60の接合に利用することで、サブマウント30のサイズを小さく抑えることができ、小型の発光装置を実現できる。
発光装置2において、上面視で、仮想線L4を通過する配線60は存在しない。
このように、発光装置2では、複数の色の光を出射させることができる。また、第1半導体レーザ素子20Aと第2半導体レーザ素子20Bに対し、別個に電源を供給することができるため、それぞれに合った電流または電圧の制御が可能となる。
<第3実施形態>
第3実施形態に係る発光装置3を説明する。図1、図2、図5、図6、及び、図9乃至図12は、発光装置3の例示的な一形態を説明するための図面である。図1は、発光装置3の斜視図である。図2は、発光装置3の上面図である。図5は、第1サブマウント30Aの上面図である。図6は、第1サブマウント30Aに半導体レーザ素子20及び保護素子50が実装された状態を示す上面図である。図9は、図1のIX-IX断面線における断面図である。図10は、発光装置1の基体10に実装される各構成要素の様子を示す上面図である。図11は、第2サブマウント30Bの上面図である。図12は、第2サブマウント30Bに半導体レーザ素子20及び保護素子50が実装された状態を示す上面図である。
発光装置3は、複数の構成要素を備えている。複数の構成要素は、基体10、複数の半導体レーザ素子20、複数のサブマウント30、1または複数の反射部材40、複数の保護素子50、複数の配線60、蓋部材70、及び、光学部材80を含む。また、発光装置3において、複数の半導体レーザ素子20には、第1半導体レーザ素子20A及び第2半導体レーザ素子20Bが含まれる。なお、発光装置3は、この他にも構成要素を備えていてよい。
基体10、半導体レーザ素子20、サブマウント30、反射部材40、保護素子50、配線60、蓋部材70、及び、光学部材80については、第1実施形態と共通しており、従って、各構成要素の説明は、第1実施形態で説明した通りである。また、第1半導体レーザ素子20A及び第2半導体レーザ素子20Bについては、第2実施形態におけるこれらと共通している。
以下では、発光装置3について説明する。発光装置3は、第1実施形態の発光装置1及び第2実施形態の発光装置2と異なる特徴を有するが、共通する部分もある。第1実施形態で発光装置1について説明された内容及び第2実施形態で発光装置2について説明された内容のうち、図1、図2、図5、図6、及び、図9乃至図12に基づいて不整合が生じない内容については、発光装置3にも同様に当てはまる内容である。
(発光装置3)
発光装置3において、複数のサブマウント30には、第1サブマウント30Aと第2サブマウント30Bとが含まれる。第1サブマウント30Aと第2サブマウント30Bとは、第1配置領域33Aに対する第2配置領域33Bの相対的な配置が異なる。サブマウント30の上面31における2辺の長辺のうちの一方に辺に近い位置に第2配置領域33Bを設けているのが第1サブマウント30Aであり、他方の辺に近い位置に第2配置領域33Bを設けているのが第2サブマウント30Bである。
第1サブマウント30Aの上面31の短辺の長さは、第2サブマウント30Bの上面31の短辺の長さの95%以上105%以下である。第1サブマウント30Aの上面31の長辺の長さは、第2サブマウント30Bの上面31の長辺の長さの95%以上105%以下である。第1サブマウント30Aと第2サブマウント30Bは、同じ大きさ及び形状である。
発光装置3において、複数の半導体レーザ素子20には、第1半導体レーザ素子20A及び第2半導体レーザ素子20Bが含まれる。また、複数のサブマウント30には、第1半導体レーザ素子20Aが配置される第1サブマウント30Aと、第2半導体レーザ素子20Bが配置される第2サブマウント30Bと、が含まれる。
第1配線60Aが接合される配線部から最も遠い第1半導体レーザ素子20Aは第1サブマウント30Aに配置される。第1サブマウント30Aの第2配置領域33Bは、2辺の長辺のうち、この配線部により遠い方の辺に近い位置に設けられる。この配線部と、この第1サブマウント30Aとに接合される第1配線60Aの、この配線部から第1サブマウント30Aに接合される位置までの距離は、この配線部から第1サブマウント30Aの第2配置領域33Bまでの距離よりも短い。このようにすることで、配線60の長さを抑えることができ、安定性を向上させることができる。
第2配線60Bが接合される配線部から最も遠い第2半導体レーザ素子20Bは第2サブマウント30Bに配置される。この第2サブマウント30Bの第2配置領域33Bは、2辺の長辺のうち、この配線部により遠い方の辺に近い位置に設けられる。この配線部と、この第2サブマウント30Bとに接合される第2配線60Bの、この配線部からこの第2サブマウント30Bに接合される位置までの距離は、この配線部からこの第2サブマウント30Bの第2配置領域33Bまでの距離よりも短い。このようにすることで、配線60の長さを抑えることができ、安定性を向上させることができる。
複数の第1半導体レーザ素子20Aのうち、第1配線60Aが接合される配線部から最も遠い第1半導体レーザ素子20A以外の第1半導体レーザ素子20Aは、第1サブマウント30Aまたは第2サブマウント30Bに配置される。複数の第2半導体レーザ素子20Bのうち、第2配線60Bが接合される配線部から最も遠い第2半導体レーザ素子20B以外の第2半導体レーザ素子20Bは、第1サブマウント30Aまたは第2サブマウント30Bに配置される。
複数の第1半導体レーザ素子20Aはいずれも、第1サブマウント30Aに配置される。複数の第2半導体レーザ素子20Bはいずれも、第2サブマウント30Bに配置される。このように、半導体レーザ素子20に応じて使用するサブマウント30を統一させることで、製造が容易になり、生産性を向上させることができる。
<第4実施形態>
第4実施形態に係る発光装置4を説明する。図1、図2、図5、図6、図13、及び14は、発光装置4の例示的な一形態を説明するための図面である。図1は、発光装置4の斜視図である。図2は、発光装置4の上面図である。図5は、第1サブマウント30Aの上面図である。図6は、第1サブマウント30Aに半導体レーザ素子20及び保護素子50が実装された状態を示す上面図である。図13は、図1のXIII-XIII断面線における断面図である。図14は、発光装置1の基体10Bに実装される各構成要素の様子を示す上面図である。
発光装置4は、複数の構成要素を備えている。複数の構成要素は、基体10B、複数の半導体レーザ素子20、複数のサブマウント30、1または複数の反射部材40、複数の保護素子50、複数の配線60、蓋部材70、及び、光学部材80を含む。また、発光装置4において、複数の半導体レーザ素子20には、第1半導体レーザ素子20A及び第2半導体レーザ素子20Bが含まれる。また、発光装置4において、複数のサブマウント30には、第1サブマウント30Aまたは第2サブマウント30Bが含まれる。なお、発光装置4は、この他にも構成要素を備えていてよい。
半導体レーザ素子20、サブマウント30、反射部材40、保護素子50、配線60、蓋部材70、及び、光学部材80については、第1実施形態と共通しており、従って、各構成要素の説明は、第1実施形態で説明した通りである。また、第1半導体レーザ素子20A及び第2半導体レーザ素子20Bについては、第2実施形態におけるこれらと共通している。また、第1サブマウント30A及び第2サブマウント30Bについては、第3実施形態におけるこれらと共通している。
基体10Bは、第1実施形態の基体10と異なる特徴を有しているが、共通する部分もある。第1実施形態で基体10について説明された内容とサブマウント30について説明された内容のうち、図13及び図14に基づいて不整合が生じない内容については、基体10Bにも同様に当てはまる内容である。以下、基体10Bの異なる特徴について説明する。
(基体10B)
基体10Bでは、第1段差部12Cが、第1内側面11Eの一部または全部と、第1内側面11Eと交わる内側面11E(以下、第3内側面と呼ぶ。)の一部とに沿って形成される。第1段差部12Cは、隣接する第1内側面11E及び第3内側面11Eのそれぞれに沿って一体的に形成される段差部12Cといえる。
第1段差部12Cは、隣接する内側面11Eのうち、基体10Bの矩形の外縁の短辺方向に延びる内側面11Eの全部と、この外縁の長辺方向に延びる内側面11Eの一部と、に沿って形成される。第1段差部12Cは、この長辺方向に延びる内側面11Eの10%以上50%未満の長さで、この内側面11Eに沿って形成される。
図示される発光装置4では、基体10Bの矩形の外縁の短辺方向に延びるのが第1内側面11Eであり、長辺方向に延びるのが第3内側面11Eである。また、基体10は、第3内側面11Eと対向する内側面11Eに沿って形成される段差部12Cを有していない。
第1段差部12Cでは、基体10Bの矩形の外縁の短辺方向に延びる内側面11Eに沿って形成される部分と、長辺方向に延びる内側面11Eに沿って形成される部分のそれぞれにおいて、配線パターン13が設けられる。
以下、発光装置4について説明する。発光装置4は、第1実施形態の発光装置1、第2実施形態の発光装置2、及び、第3実施形態の発光装置3と異なる特徴を有するが、共通する部分もある。第1実施形態で発光装置1について説明された内容、第2実施形態で発光装置2について説明、及び、第3実施形態で発光装置3について説明された内容のうち、図1、図2、図5、図6、図13、及び、図14に基づいて不整合が生じない内容については、発光装置4にも同様に当てはまる内容である。
(発光装置4)
発光装置4において、複数のサブマウント30には、第1サブマウント30Aまたは第2サブマウント30Bが含まれる。また、複数のサブマウント30には、第3サブマウント30Cが含まれる。図示される発光装置4では、複数のサブマウント30には、第2サブマウント30Bと、第3サブマウント30Cとが含まれる。なお、第2サブマウント30Bを第1サブマウント30Aに代えてもよい。
第3サブマウント30Cは、上面31の長辺方向の長さが、第1サブマウント30Aまたは第2サブマウント30Bの上面31の長辺方向の長さよりも小さい。以下では、第1サブマウント30Aまたは第2サブマウント30Bを長い方のサブマウント30、第3サブマウント30Cを短い方のサブマウント30と呼んで区別するものとする。
複数のサブマウント30には、複数の長い方のサブマウント30が含まれる。複数のサブマウント30には、複数の短い方のサブマウント30が含まれる。短い方のサブマウント30は、第1配置領域33Aを有するが、第2配置領域33Bを有さない。つまり、短い方のサブマウント30には、第2配置領域33Bが設けられていない。そのため、短い方のサブマウント30には、保護素子50が配置されない。第2配置領域33Bを設けないことで、長い方のサブマウント30よりも上面31の長辺方向の長さを短くすることができる。
長辺方向の長さに関して、長い方のサブマウント30は短い方のサブマウント30よりも、100μm以上600μm以下の範囲で大きい。これにより、長い方のサブマウント30において保護素子50を配置する領域を確保しつつ基体10の大型化が抑えられるため、発光装置1の小型化に貢献することができる。
発光装置4において、第1半導体レーザ素子20A及び第2半導体レーザ素子20Bのうちの一方が長い方のサブマウント30に配置され、他方が短い方のサブマウント30に配置される。図示される発光装置4では、第1半導体レーザ素子20Aが短い方のサブマウント30に配置され、第2半導体レーザ素子20Bが長い方のサブマウント30に配置されている。
短い方のサブマウント30は第1段差部12C側に配置され、長い方のサブマウント30は第2段差部側12Cに配置される。
第1段差部12Cの第3内側面11Eに沿って形成される部分との関係で、短い方のサブマウント30は、上面視で第3内側面11Eに垂直であり、第1段差部12Cのこの部分を通過する仮想線L7が通過する位置に配置される。また、長い方のサブマウント30は、上面視で第3内側面11Eに平行であり、第1段差部12Cのこの部分を通過する仮想線L8が通過する位置に配置される。
長い方のサブマウント30に配置される半導体レーザ素子20は、仮想線L8を通過する位置には配置されない。また、長い方のサブマウント30に配置される保護素子50は、仮想線L8を通過する位置に配置される。これにより、基体10Bを大型化せずに、実装面11D上に保護素子50を配置する領域を確保することができる。
短い方のサブマウント30に配置される半導体レーザ素子20を保護する保護素子50は、第1段差部12Cに配置される。それぞれ短い方のサブマウント30に配置される複数の半導体レーザ素子20を保護する1の保護素子50が、第1段差部12Cに配置される。第1段差部12Cに配置される保護素子50の数は1つである。これにより、個々の半導体レーザ素子20に保護素子50を配置するよりも、使用する保護素子50の数を減らすことができる。
第1段差部12Cに接合される複数の配線60には、第1内側面11Eから最も近い位置に配置される短い方のサブマウント30またはこのサブマウント30に配置される半導体レーザ素子20に接合される配線60と、第1内側面11Eから最も遠い位置に配置される短い方のサブマウント30またはこのサブマウント30に配置される半導体レーザ素子20に接合される配線60と、を含む。第1段差部12Cにおいて、この2本の配線60の間に保護素子50は配置される。前者の配線60は、第1段差部12Cの第1内側面11Eに沿って形成される部分で配線パターン13に接合され、後者の配線60は、第1段差部12Cの第3内側面11Eに沿って形成される部分で配線パターン13に接合される。
発光装置4において、実装面11Dに配される長い方のサブマウント30の数は、実装面11Dに配される短い方のサブマウント30の数よりも多い。実装面11Dに配される長い方のサブマウント30の数は3以上である。
半導体レーザ素子20に1対1で保護素子50を設ける場合、保護素子50を段差部12Cに配置すると、サブマウント30との配線60の接合が複雑化するが、長い方のサブマウント30を用いれば、サブマウント30に半導体レーザ素子20及び保護素子50を配置できるため配線60の接合が容易になる。
直列に接続する半導体レーザ素子20の数が多くなるほど、個々に半導体レーザ素子20を保護することの意義が高まると考えられる。一方で、直列に接続する半導体レーザ素子20の数がそこまで多くなければ、まとめて1つの保護素子50で保護するという考え方もある。この考え方によれば、実装面11Dに配される短い方のサブマウント30の数は2以下であることが好ましいと考えることもできる。
第1内側面11Eから、第1段差部12Cの第3内側面11Eに部分的に設けられる部分における第1内側面11Eから最も遠い点までの距離は、第1内側面11Eから、第1内側面11Eから最も近い位置に配置される長い方のサブマウント30までの距離よりも短い。これにより、長い方のサブマウント30を第1段差部12Cに接触させずに配置することができる。
発光装置4において、長い方のサブマウント30の長辺方向の長さと短い方のサブマウント30の長辺方向の長さの差は、第1段差部12Cの第3内側面11Eに沿って形成される部分における第3内側面11Eに垂直な方向の長さよりも小さい。この長さの差は、第1段差部12Cの第3内側面11Eに沿って形成される部分における第3内側面11Eに垂直な方向の長さの30%以上90%以下であることが好ましい。これにより、部分的に段差部12Cを設けることの効果がより顕著になることがある。
以上、本発明に係る各実施形態を説明してきたが、本発明に係る発光装置は、各実施形態の発光装置に厳密に限定されるものではない。つまり、本発明は、各実施形態により開示された発光装置の外形や構造に限定されなければ実現できないものではない。本発明は、全ての構成要素を必要十分に備えることを必須とせずに適用され得るものである。例えば、特許請求の範囲に、実施形態により開示された発光装置の構成要素の一部が記載されていなかった場合、その一部の構成要素については、代替、省略、形状の変形、材料の変更などの当業者による設計の自由度を認め、その上で特許請求の範囲に記載された発明が適用されることを特定するものである。
各実施形態に記載の発光装置は、プロジェクタ、車載ヘッドライト、ヘッドマウントディスプレイ、照明、ディスプレイ等に使用することができる。
1、2、3、4 発光装置
10、10B 基体
11A 上面
11B 下面
11C 外側面
11D 実装面
11E 内側面
12C 段差部
13 配線パターン
20 半導体レーザ素子
20A 第1半導体レーザ素子
20B 第2半導体レーザ素子
30 サブマウント
31 上面
32 側面
32A 第1側面
32B 第2側面
33 配置領域
33A 第1配置領域
33B 第2配置領域
30A 第1サブマウント
30B 第2サブマウント
30C 第3サブマウント
40 反射部材
50 保護素子
60 配線
60A 第1配線
60B 第2配線
70 蓋部材
80 光学部材

Claims (6)

  1. 上面と、第1配線部と、第2配線部と、を有する基体と、
    第1側面と前記第1側面の反対側の側面である第2側面とを有し、前記基体の上面において前記第1側面が第1方向に並べて配置され、前記第1方向の長さよりも上面視で前記第1方向に垂直な第2方向の長さの方が大きい、複数のサブマウントと、
    それぞれが、光出射面を有し、前記光出射面が前記第2側面よりも前記第1側面に近い位置、かつ、上面視で前記第1側面の中心を通る前記第2方向に平行な仮想線が前記光出射面を通過する位置で、互いに異なる前記サブマウントに配置される、複数の半導体レーザ素子と、
    それぞれが、前記第2側面の近傍、かつ、前記仮想線が通過しない位置で、互いに異なる前記サブマウントに配置される、複数の保護素子と、
    複数の配線と、
    を備え、
    前記複数の半導体レーザ素子は、出射される光のピーク波長が互いに異なる第1半導体レーザ素子及び第2半導体レーザ素子を含み、また、上面視で、前記第1配線部と前記第2配線部の間に配置され、
    前記複数の配線には、前記第1半導体レーザ素子と電気的に接続する1または複数の第1配線、及び、前記第2半導体レーザ素子と電気的に接続する1または複数の第2配線、が含まれ、
    前記1または複数の第1配線には、少なくとも前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントと、前記第1配線部とに接合する前記第1配線が含まれ、
    前記1または複数の第2配線には、少なくとも前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントと、前記第2配線部とに接合する前記第2配線が含まれ、
    前記複数の保護素子は、前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに配置される第1保護素子と、前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに配置される第2保護素子と、を含み、
    前記第1保護素子は、前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに基づく前記仮想線から前記第1方向に離れた位置に配置され、
    前記第2保護素子は、前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに基づく前記仮想線から前記第1方向に離れた位置に配置される、発光装置。
  2. 上面と、第1配線部と、第2配線部と、を有する基体と、
    第1側面と前記第1側面の反対側の側面である第2側面とを有し、前記基体の上面において前記第1側面が第1方向に並べて配置され、前記第1方向の長さよりも上面視で前記第1方向に垂直な第2方向の長さの方が大きい、複数のサブマウントと、
    それぞれが、光出射面を有し、前記光出射面が前記第2側面よりも前記第1側面に近い位置、かつ、上面視で前記第1側面の中心を通る前記第2方向に平行な仮想線が前記光出射面を通過する位置で、互いに異なる前記サブマウントに配置される、複数の半導体レーザ素子と、
    それぞれが、前記第2側面の近傍、かつ、前記仮想線が通過しない位置で、互いに異なる前記サブマウントに配置される、複数の保護素子と、
    複数の配線と、
    を備え、
    前記複数の半導体レーザ素子は、出射される光のピーク波長が互いに異なる第1半導体レーザ素子及び第2半導体レーザ素子を含み、また、上面視で、前記第1配線部と前記第2配線部の間に配置され、
    前記複数の配線には、前記第1半導体レーザ素子と電気的に接続する1または複数の第1配線、及び、前記第2半導体レーザ素子と電気的に接続する1または複数の第2配線、が含まれ、
    前記1または複数の第1配線には、少なくとも前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントと、前記第1配線部とに接合する前記第1配線が含まれ、
    前記1または複数の第2配線には、少なくとも前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントと、前記第2配線部とに接合する前記第2配線が含まれ、
    前記複数の保護素子は、前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに配置される第1保護素子と、前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに配置される第2保護素子と、を含み、
    前記第1保護素子は、前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに基づく前記仮想線から前記第1方向に離れた位置に配置され、
    前記第2保護素子は、前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントに基づく前記仮想線から前記第1方向と反対の方向に離れた位置に配置される、発光装置。
  3. 前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントと、前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントは、同じ大きさ及び形状である、請求項1または2に記載の発光装置。
  4. 前記複数の半導体レーザ素子は、複数の前記第1半導体レーザ素子を含み、
    前記1または複数の第1配線には、前記第1配線部と、前記第1配線部から最も近い前記第1半導体レーザ素子あるいは当該第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントとに接合する前記第1配線、及び、前記第1配線部と、前記第1配線部から最も遠い前記第1半導体レーザ素子あるいは当該第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントとに接合する前記第1配線が含まれ、いずれかの前記第1配線が、請求項1に記載の前記少なくとも前記第1半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントと、前記第1配線部とに接合する前記第1配線である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の発光装置。
  5. 前記複数の半導体レーザ素子は、複数の前記第2半導体レーザ素子を含み、
    前記1または複数の第2配線には、前記第2配線部と、前記第2配線部から最も近い前記第2半導体レーザ素子あるいは当該第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントとに接合する前記第2配線、及び、前記第2配線部と、前記第2配線部から最も遠い前記第2半導体レーザ素子あるいは当該第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントとに接合する前記第2配線が含まれ、いずれかの前記第2配線が、請求項1に記載の前記少なくとも前記第2半導体レーザ素子が配置される前記サブマウントと、前記第2配線部とに接合する前記第2配線である、請求項4に記載の発光装置。
  6. 前記第1方向は、前記第1配線部から前記第2配線部へと進む方向である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の発光装置。
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