JP2024032205A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】板状の部材が各々配置される複数の凹部が配列された保持機構に板状の部材を搬送することができる搬送装置を提供すること。【解決手段】実施形態の一態様に係る搬送装置は、板状の部材が各々搬入される複数の凹部が配列された保持機構に板状の部材を搬送する搬送装置であって、保持部と、本体部とを備える。保持部は、凹部を構成する上面とその凹部を構成する底面とのうちの上面よりも高い位置で、板状の部材の端部であって搬送先の凹部寄りの端部を保持する。本体部は、板状の部材板状の部材の端部を保持した状態の保持部を凹部の配列方向に移動させる。【選択図】図２

Description

開示の実施形態は、搬送装置に関する。

従来、リードフレームや基板などの板状の部材を搬送する搬送装置が知られている。例えば、特許文献１には、リードフレームに設けられた穴に送りピンを挿入して送りピンを移動させることによってリードフレームを搬送する搬送装置が開示されている。

特開２００７－１８４５１４号公報

上記従来の搬送装置は、ガイドレールなどに載置された状態のリードフレームを、かかるリードフレームに設けられた穴に送りピンを挿入して引っ張ることによって搬送する。

そのため、上記従来の搬送装置では、リードフレームを各々配置する複数の凹部のうちの１つの凹部にリードフレームを搬送する場合、リードフレームの搬送中に、リードフレームが搬入されるべき凹部とは別の凹部にリードフレームが引っかかる可能性がある。このことは、搬送対象が例えば基板などであっても同様であり、いわゆる板状の部材を搬送する際に生じる。

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、板状の部材が各々配置される複数の凹部が配列された保持機構に、所望の板状の部材を搬送することができる搬送装置を提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係る搬送装置は、板状の部材が各々配置される複数の凹部が配列された保持機構に板状の部材を搬送する搬送装置であって、保持部と、本体部とを備える。保持部は、凹部を構成する上面とその凹部を構成する底面とのうちの上面よりも高い位置で、板状の部材の端部であって搬送先の凹部寄りの端部を保持する。本体部は、板状の部材の端部を保持した状態の保持部を凹部の配列方向に移動させる。

実施形態の一態様によれば、板状の部材が各々配置される複数の凹部が配列された保持機構に、所望の板状の部材を搬送することができる。

図１は、実施形態に係る樹脂封止装置の一例を示す平面図である。 図２は、実施形態に係る搬送装置および保持機構の一例を示す平面図である。 図３は、実施形態に係る保持機構の一例を示す側面図である。 図４は、実施形態に係る搬送装置による複数のリードフレームの保持機構への搬送順番の一例を示す図である。 図５は、実施形態に係るリードフレームを保持している状態の搬送装置とレールの一例を示す側面図である。 図６は、実施形態に係るリードフレームを保持している状態の搬送装置の一例を示す正面図である。 図７は、実施形態に係るリードフレームを保持している状態の搬送装置の一例を示す側面図である。 図８は、図７に示すＡＲ領域の拡大図である。 図９は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その１）である。 図１０は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その２）である。 図１１は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その３）である。 図１２は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その４）である。 図１３は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その５）である。 図１４は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その６）である。 図１５は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その７）である。 図１６は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その８）である。 図１７は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その９）である。 図１８は、実施形態に係る搬送装置によるリードフレームの搬送方法の一例を説明するための図（その１０）である。 図１９は、実施形態に係るリードフレームを保持している状態の搬送装置の他の例を示す側面図である。

以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送装置を含む樹脂封止装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。以下においては、搬送装置によって搬送される板状の部材がリードフレームである場合の例について説明するが、搬送装置によって搬送される板状の部材は、樹脂製基板などの基板であってもよい。

＜１．樹脂封止装置の構成＞
図１に示すように、実施形態に係る樹脂封止装置２００は、搬送装置１と、インローダ２と、アウトローダ３と、部材供給ユニット３０と、樹脂封止ユニット４０と、アウトプットユニット５０とを備える。図１において、紙面に直交し紙面に近づく方向が下方向であり、紙面に直交し紙面から遠ざかる方向が上方向である。

また、樹脂封止装置２００は、制御装置８を備えており、搬送装置１、インローダ２、アウトローダ３、搬出装置４と、部材供給ユニット３０、樹脂封止ユニット４０、およびアウトプットユニット５０の各々は、制御装置８によって制御される。制御装置８は、制御部８０を備えており、後述するように、搬送装置１は、制御装置８の制御部８０によって制御される。

部材供給ユニット３０は、被成形品供給装置３１と、保持機構３２と、樹脂タブレット供給装置３３と、ガイドレール３４と、ガイドバー３５とを備える。被成形品供給装置３１は、樹脂封止ユニット４０において樹脂封止される部材である複数のリードフレーム５を供給する。リードフレーム５は、板状の部材の一例である。かかるリードフレーム５には、例えば、複数の半導体素子が載置されており、複数の半導体素子が搭載されたリードフレーム５は、樹脂封止ユニット４０による樹脂封止対象となる被成形品とも呼ぶことができる。

被成形品供給装置３１には、複数の供給マガジン３１１が供給され、かかる供給マガジン３１１には、リードフレーム５が多段に装填されている。リードフレーム５は、不図示のプッシャで押し出されて供給マガジン３１１から突出したリードフレーム５の端部が搬送装置１によって保持される。

搬送装置１は、リードフレーム５の端部を保持した状態でリードフレーム５をガイドレール３４に沿って移動させて保持機構３２に搬送する。搬送装置１は、図１における左右方向に延在するガイドバー３５に沿って移動して、被成形品供給装置３１からリードフレーム５を１つずつ保持機構３２に搬送する。

保持機構３２は、搬送装置１によって１つずつ被成形品供給装置３１から保持機構３２に搬送されたリードフレーム５を４つ同時に保持し、被成形品供給装置３１から搬送された４つのリードフレーム５をインローダ２に同時に受け渡す。なお、保持機構３２によって保持されるリードフレーム５の数は４つに限定されず、例えば、５つ以上であってもよく、３つ以下であってもよい。

樹脂タブレット供給装置３３は、樹脂封止用の樹脂材料である樹脂タブレット６をインローダ２に供給する。図１に示す例では、樹脂タブレット供給装置３３は、４つの樹脂タブレット６をインローダ２に同時に供給する。なお、樹脂タブレット６の数は４つに限定されず、例えば、５つ以上であってもよく、３つ以下であってもよい。

樹脂封止ユニット４０は、リードフレーム５の予熱を行う不図示の予熱部と、リードフレーム５を樹脂封止する樹脂封止金型４２とを備える。不図示の予熱部は、インローダ２によって保持機構３２から搬送された４つのリードフレーム５をインローダ２から受け取り、受け取った４つのリードフレーム５の予熱を行う。樹脂封止金型４２は、不図示の予熱部で予熱され不図示の予熱部からインローダ２によって搬送された４つのリードフレーム５と４つの樹脂タブレット６とを、インローダ２から受け取る。

樹脂封止金型４２は、下型と上型とを備え、４つの樹脂タブレット６を用いて、４つのリードフレーム５の樹脂封止を一度に行う。樹脂封止金型４２における下型および上型の構造は、チェスブロックまたはキャビティブロックを有する一般的な樹脂封止金型と同様であるため、ここでは説明を省略する。なお、図１に示す例では、樹脂封止金型４２が１つであるが、かかる例に限定されず、樹脂封止金型４２は、２つ以上であってもよい。

樹脂封止金型４２は、インローダ２によって搬送される４つのリードフレーム５と４つの樹脂タブレット６とを、例えば下型を上方に移動させてインローダ２から受ける。樹脂封止金型４２は、４つのリードフレーム５と４つの樹脂タブレット６とを上型と下型とで囲まれる空間に配置し、かかる空間に圧力をかけつつ上型と下型とを加熱することで４つの樹脂タブレット６を溶解させ、４つのリードフレーム５を樹脂封止して、４つの成形品７を生成する。

アウトプットユニット５０は、不要樹脂除去部５１と、アウトプット部５２とを備える。不要樹脂除去部５１は、樹脂封止金型４２からアウトローダ３によって取り出された４つの成形品７をアウトローダ３から受け取って各成形品７の不要樹脂を除去する。搬出装置４は、不要樹脂除去部５１から４つの成形品７を受け取り、受け取った４つの成形品７をアウトプット部５２に搬送する。

＜２．保持機構３２および搬送装置１＞
次に、実施形態に係る保持機構３２および搬送装置１について説明する。まず、保持機構３２の構成について説明した後に、搬送装置１の構成および動作について説明する。

＜２．１．保持機構３２の構成および動作＞
図２に示すように、保持機構３２は、１８０度以上回転するターンテーブル６０と、ターンテーブル６０上に配置された２つの保持レール部６１ａ，６１ｂとを備える。図２および図３に示すように、保持レール部６１ａでは、リードフレーム５が各々配置される複数の凹部６１２ａ，６１２ｂが保持レール部６１ａの延在方向において配列されている。

同様に、図２に示すように、保持レール部６１ｂでは、リードフレーム５が各々配置される複数の凹部６１２ａ，６１２ｂが保持レール部６１ｂの延在方向において配列されている。これら凹部６１２ａ，６１２ｂによって、各保持レール部６１ａ，６１ｂは、リードフレーム５を２つ同時に保持することができる。

凹部６１２ａは、図３に示すように、上面６１２１ａと底面６１２２ａと側壁面６１２３ａによって構成され、底面６１２２ａにリードフレーム５が配置され、側壁面６１２３ａによってリードフレーム５の図３における左右方向の移動が規制される。同様に、凹部６１２ｂは、上面６１２１ｂと底面６１２２ｂと側壁面６１２３ｂによって構成され、底面６１２２ｂにリードフレーム５が配置され、側壁面６１２３ｂによってリードフレーム５の図３における左右方向の移動が規制される。

以下において、保持レール部６１ａ，６１ｂの各々を個別に区別せずに示す場合、保持レール部６１と記載する場合があり、また、凹部６１２ａ，６１２ｂの各々を個別に区別せずに示す場合、凹部６１２と記載する場合がある。図２に示す例では、各保持レール部６１において、２つの凹部６１２が設けられているが、凹部６１２の数は、２つに限定されず、３つ以上であってもよい。また、以下において、上面６１２１ａ，６１２１ｂの各々を個別に区別せずに示す場合、上面６１２１と記載する場合があり、底面６１２２ａ，６１２２ｂの各々を個別に区別せずに示す場合、底面６１２２と記載する場合がある。

図２に示すように、各保持レール部６１ａ，６１ｂは、互いに間隔を空けてターンテーブル６０に設置された一対の延在部６１１ａ，６１１ｂを有しており、複数の凹部６１２ａ，６１２ｂは、一対の延在部６１１ａ，６１１ｂに形成される。

ターンテーブル６０は、制御装置８によって制御され、図２に示す状態から１８０度回転し、その後、逆方向に１８０度回転して図２に示す状態に戻る。なお、ターンテーブル６０は、同一方向に繰り返し１８０度ずつ回転する構成であってもよい。

図２に示す状態では、搬送装置１からリードフレーム５が受け渡される保持レール部６１は、保持レール部６１ａであり、図２に示す状態からターンテーブル６０が１８０度回転した場合には、搬送装置１からリードフレーム５が受け渡される保持レール部６１は、保持レール部６１ｂになる。

ここで、搬送装置１による複数のリードフレーム５の保持機構３２への搬送順番の一例について、図４を参照して説明する。図４の（ａ）に示す状態では、保持レール部６１ａが搬送装置１からリードフレーム５が受け渡される位置になっており、各保持レール部６１ａ，６１ｂの複数の凹部６１２にはいずれにもリードフレーム５が搬入されていない。

図４の（ａ）に示す状態から、図４の（ｂ）に示すように、搬送装置１によって保持レール部６１ａの凹部６１２ａに１つ目のリードフレーム５が搬入される。このとき、搬送装置１によって搬送されるリードフレーム５は、保持レール部６１ａの凹部６１２ｂ上を通過するが、搬送装置１は、リードフレーム５の端部であって保持レール部６１ａの凹部６１２ａ寄りの端部５ａ（図２参照）を、凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂ（図３参照）とその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置で保持する。そのため、搬送装置１は、保持レール部６１ｂの凹部６１２ｂに引っかかることなく、１つ目のリードフレーム５（所望のリードフレーム５）を保持レール部６１ｂの凹部６１２ａに搬入することができる。

つづいて、図４の（ｂ）に示す状態から、図４の（ｃ）に示すように、搬送装置１によって保持レール部６１ａの凹部６１２ｂに２つ目のリードフレーム５（所望のリードフレーム５）が搬入される。搬送装置１によって保持レール部６１ａの凹部６１２ｂに２つ目のリードフレーム５が搬入された後、図４の（ｄ）に示すように、ターンテーブル６０が１８０度回転し、保持レール部６１ｂが搬送装置１からリードフレーム５が受け渡される位置になる。

つづいて、図４の（ｄ）に示す状態から、図４の（ｅ）に示すように、搬送装置１によって保持レール部６１ｂの凹部６１２ａに３つ目のリードフレーム５が搬入される。このとき、搬送装置１によって搬送されるリードフレーム５は、保持レール部６１ｂの凹部６１２ｂ上を通過するが、搬送装置１は、リードフレーム５の端部であって保持レール部６１ｂの凹部６１２ａ寄りの端部５ａ（図２参照）を、凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂ（図３参照）とその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置で保持する。そのため、搬送装置１は、保持レール部６１ｂの凹部６１２ｂに引っかかることなく、３つ目のリードフレーム５（所望のリードフレーム５）を保持レール部６１ｂの凹部６１２ａに搬入することができる。

つづいて、図４の（ｅ）に示す状態から、図４の（ｆ）に示すように、搬送装置１によって保持レール部６１ｂの凹部６１２ｂに４つ目のリードフレーム５（所望のリードフレーム５）が搬入される。これにより、保持機構３２には、搬送装置１によって４つのリードフレーム５が搬入される。保持機構３２に搬入された４つのリードフレーム５は、上述したようにインローダ２によって搬出され、保持機構３２は、図４の（ｆ）に示す状態から図４の（ａ）に示す状態になる。

＜２．２．搬送装置１の構成＞
次に、搬送装置１の構成および動作について、図２、図５～図８を参照して説明する。図２に示すように、搬送装置１は、ガイドバー３５に沿って移動する本体部１０と、本体部１０に支持されリードフレーム５を保持する保持部１１とを備える。

本体部１０は、図２に示すように、ガイドバー３５に沿って移動する駆動機構部１００と、駆動機構部１００に取り付けられ、ガイドバー３５の延在方向と直交する方向に延在し保持部１１を支持する支持部１０１とを備える。

駆動機構部１００は、制御装置８の制御部８０の制御によってガイドバー３５に沿って移動し、さらに、支持部１０１を上下方向に移動させる。支持部１０１の上下方向の移動によって保持部１１が上下方向に移動する。

駆動機構部１００は、第１モータおよび第２モータを駆動源として有し、第１モータの回転に応じてガイドバー３５に沿って移動する機構、および第２モータの回転に応じて支持部１０１を上下方向移動させる機構などを備える。なお、駆動機構部１００は、ガイドバー３５に沿って移動し、かつ支持部１０１を上下方向移動させることができる構成であればよく、上述した構成に限定されない。

保持部１１は、図２に示すように、本体部１０の支持部１０１に取り付けられて本体部１０に支持され、リードフレーム５の端部であって搬送先の凹部６１２ｂ寄りの端部５ａを、搬送先の凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂ（図３参照）とその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置で保持する。

保持部１１は、図２、図５、および図７に示すように、一対のピン１１０（図６参照）と、爪部１１１と、移動機構部１１２と、基体部１１３とを備える。一対のピン１１０は、基体部１１３に取り付けられ、リードフレーム５の端部５ａに設けられた一対の貫通孔７０（図８参照）に挿入される。

一対のピン１１０は、リードフレーム５の端部５ａに設けられた一対の貫通孔７０（図８参照）に挿入された状態において、図６に示すように、ガイドレール３４に設けられたガイド溝３４ａに挿入された状態である。一対のピン１１０は、本体部１０の移動に伴って保持部１１が移動した場合に、ガイドレール３４に設けられたガイド溝３４ａ内をガイド溝３４ａの延在方向に沿って移動する。なお、図６では、ガイド溝３４ａの位置が把握しやすいように、便宜的にガイドレール３４を断面図として示している。

また、保持レール部６１にもガイドレール３４のガイド溝３４ａと同様のガイド溝が設けられており、保持レール部６１上を保持部１１が移動する場合、一対のピン１１０は、保持レール部６１に設けられたガイド溝内をかかるガイド溝の延在方向に沿って移動する。

爪部１１１は、図７に示すように、基部１１１ａと爪片１１１ｂとを備える。基部１１１ａは、クランク状に形成され、一端部が移動機構部１１２に取り付けられる。爪片１１１ｂは、一端部が基部１１１ａの他端部に取り付けられ、一端部から他端部にかけて基部１１１ａから離れる方向であって搬送装置１の移動方向に延在する。

移動機構部１１２は、一端部が基体部１１３に取り付けられて基体部１１３に支持され、他端部が爪部１１１の一端部に取り付けられる。これにより、爪部１１１は、移動機構部１１２を介して移動可能に基体部１１３に支持される。そして、移動機構部１１２は、制御装置８の制御部８０による制御によって駆動され、上下方向に対して斜めの方向に爪部１１１を移動させる。

そのため、爪部１１１は、一対のピン１１０が貫通孔７０に挿入された状態のリードフレーム５の端部５ａにおける下面７１に対して斜めの方向に移動することができる。これにより、爪部１１１は、斜め上方への移動によって、図８に示すように、リードフレーム５の端部５ａにおける下面７１に当接してリードフレーム５を支持し、リードフレーム５の端部５ａを一対のピン１１０と協働して保持する。すなわち、リードフレーム５の端部５ａは、爪部１１１と一対のピン１１０とによって把持された状態になって、保持部１１によって保持される。

基体部１１３は、図７に示すように、本体部１０の支持部１０１に取り付けられた被支持部１１３ａと、被支持部１１３ａに片持ち支持される一対の延在部１１３ｂとを備える。一対の延在部１１３ｂの先端部には、図６に示すように、一対のピン１１０が取り付けられる。

また、図６に示す状態では、一対の延在部１１３ｂ間および一対のピン１１０間には、爪部１１１の基部１１１ａが位置し、ガイドレール３４を形成する一対のレール間には、爪片１１１ｂが位置している。そのため、爪片１１１ｂは、延在部１１３ｂ、ピン１１０、およびガイドレール３４に干渉することなく、移動することができる。

＜２．３．搬送装置１の動作＞
次に、搬送装置１によるリードフレーム５の搬送動作について、図９～図１８を用いて説明する。搬送装置１によるリードフレーム５の搬送動作は、制御装置８の制御部８０による制御によって行われる。なお、図９～図１８に示す搬送動作は、搬送装置１によって保持レール部６１の凹部６１２ａにリードフレーム５が搬送される例を示している。

図９の（ａ），（ｂ）に示すように、搬送装置１は、本体部１０のガイドバー３５（図１参照）に沿った移動に伴って、供給マガジン３１１（図１参照）からガイドレール３４に押し出されたリードフレーム５の近くに保持部１１が移動する。

図９の（ａ），（ｂ）に示す状態では、保持部１１のピン１１０は、ガイドレール３４のガイド溝３４ａ内に挿入されており、保持部１１の爪部１１１における爪片１１１ｂの当接面１１１ｂ１は、リードフレーム５の下面７１と同じ位置になっている。

つづいて、本体部１０の駆動による支持部１０１の上方への移動に伴い、保持部１１が上方に移動する。これにより、保持部１１は、図１０の（ａ），（ｂ）に示すように、爪部１１１の爪片１１１ｂの当接面１１１ｂ１およびピン１１０の先端が、リードフレーム５の下面７１よりも上方に位置する。

つづいて、保持部１１の移動機構部１１２の駆動によって爪部１１１が、斜め下方であってピン１１０から遠ざかる方向に移動する。これにより、爪部１１１の爪片１１１ｂは、図１１の（ａ），（ｂ）に示すように、リードフレーム５の下面７１よりも下方に位置する。

つづいて、保持部１１は、本体部１０のガイドバー３５（図１参照）に沿った移動に伴い、図１２の（ａ），（ｂ）に示すように、リードフレーム５の貫通孔７０と上下方向でピン１１０が向かい合う位置まで移動する。このとき、保持部１１のピン１１０は、リードフレーム５の貫通孔７０よりも上方に位置し、爪部１１１の爪片１１１ｂは、リードフレーム５の下面７１よりも下方に位置している。

つづいて、保持部１１は、本体部１０の駆動による支持部１０１の下方への移動に伴い、下方に移動する。これにより、図１３の（ａ），（ｂ）に示すように、保持部１１のピン１１０が、リードフレーム５の貫通孔７０に挿入される。

つづいて、保持部１１の移動機構部１１２は、リードフレーム５の端部５ａの下面７１に対して斜めの方向であってリードフレーム５の端部５ａの下面７１に近づける方向に爪部１１１を移動させる。これにより、図１４の（ａ），（ｂ）に示すように、爪部１１１の爪片１１１ｂにおける当接面１１１ｂ１がリードフレーム５の端部５ａの下面７１に当接し、保持部１１によってリードフレーム５の端部５ａが保持される。

また、爪片１１１ｂは、ピン１１０よりも、リードフレーム５の端面５ｂ寄りの下面７１に当接することから、保持部１１によってリードフレーム５の端部５ａを精度よく保持することができる。

図１４の（ａ），（ｂ）に示す状態では、リードフレーム５の端部５ａは、保持機構３２（図２参照）の保持レール部６１に設けられた凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂ（図３参照）とその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置で、保持部１１によって保持される。

つづいて、保持部１１は、本体部１０のガイドバー３５（図１参照）に沿った移動に伴い、図１５に示すように、リードフレーム５の端部５ａを保持した状態で保持機構３２（図２参照）に向かう方向に移動し、リードフレーム５をガイドレール３４に沿って保持機構３２に向かう方向に移動させる。

さらに、保持部１１は、本体部１０のガイドバー３５（図１参照）に沿った移動に伴い、リードフレーム５の端部５ａを保持した状態でリードフレーム５をガイドレール３４上から保持機構３２（図２参照）上に進入させて、リードフレーム５を保持レール部６１に沿って移動させる。

このとき、保持部１１のピン１１０は、保持レール部６１に設けられたガイド溝６１４に挿入されており、ガイド溝６１４に沿って移動する。このように、保持レール部６１は、リードフレーム５の移動をガイドするガイドレールとしての機能を有している。

保持部１１に爪部１１１が設けられていない場合、リードフレーム５の貫通孔７０にピン１１０が挿入された状態で本体部１０の移動に伴って保持部１１が移動すると、リードフレーム５は、保持レール部６１に設けられた凹部６１２ｂに落下して、凹部６１２ｂに引っかかる可能性がある。そのため、リードフレーム５を保持レール部６１に設けられた凹部６１２ａ上の位置まで搬送することができない可能性がある。

そこで、実施形態に係る搬送装置１は、上述したように、爪部１１１を有しており、かかる爪部１１１によってリードフレーム５の端部５ａの下面７１を支持し、リードフレーム５の端部５ａを、保持レール部６１の凹部６１２，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂ（図３参照）とその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置で保持する。

そして、搬送装置１は、複数の凹部６１２ａ，６１２ｂのうちリードフレーム５の搬送途中に位置する凹部６１２ｂをリードフレーム５の端部５ａが通過した後に、保持部１１によるリードフレーム５の端部５ａの保持を解除する。

図１６に示すように、搬送装置１は、保持レール部６１に設けられた凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂとその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置で、リードフレーム５を保持するため、保持レール部６１に設けられた凹部６１２ｂにリードフレーム５が引っかかることなく、保持レール部６１に設けられた凹部６１２ａ上の位置までリードフレーム５を搬送することができる。

つづいて、保持部１１の移動機構部１１２の駆動によって爪部１１１の爪片１１１ｂが、斜め下方であってピン１１０から遠ざかる方向に移動する。これにより、爪部１１１の爪片１１１ｂは、図１７の（ａ），（ｂ）に示すように、リードフレーム５の下面７１よりも下方に移動する。爪部１１１の爪片１１１ｂが下方に移動すると、リードフレーム５も下方に移動する。

つづいて、本体部１０の駆動による支持部１０１の下方への移動に伴い、保持部１１が上方に移動する。これにより、保持部１１のピン１１０は、図１８の（ａ），（ｂ）に示すように、リードフレーム５の貫通孔７０から抜去されて、リードフレーム５が保持レール部６１に設けられた凹部６１２ａに載置されて凹部６１２ａで保持された状態になる。

このように、搬送装置１の保持部１１は、凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂとその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置で、リードフレーム５の端部であって搬送先の凹部６１２ｂ寄りの端部５ａを保持し、本体部１０は、リードフレーム５の端部５ａを保持した状態の保持部１１を凹部６１２ａ，６１２ｂの配列方向（図２における上下方向）に移動させる。これにより、搬送装置１は、リードフレーム５が各々搬入される複数の凹部６１２ａ，６１２ｂが配列された保持機構３２にリードフレーム５を搬送することができる。

上述した例では、凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂとその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置でのリードフレーム５の保持が保持部１１によって開始されるが、保持部１１によるリードフレーム５の搬送方法は、上述した例に限定されない。

例えば、搬送装置１は、制御装置８の制御部８０による制御によって、リードフレーム５の搬送途中に位置する凹部６１２ｂの底面６１２２ｂ上をリードフレーム５の端部５ａが通過する前の位置で、保持部１１による保持を開始する搬送方法によってもリードフレーム５を搬送することもできる。

この場合、搬送装置１の保持部１１は、リードフレーム５の端部５ａの下面７１に爪片１１１ｂを当接することなく、リードフレーム５の端部５ａの貫通孔７０にピン１１０を挿入した状態で、本体部１０の移動に伴って移動しリードフレーム５を引っ張って搬送する。

つづいて、保持部１１の移動機構部１１２は、リードフレーム５の端部５ａが凹部６１２ｂを通過する前の位置で、リードフレーム５の端部５ａの下面７１に対して斜めの方向であってリードフレーム５の端部５ａの下面７１に近づく方向に爪部１１１を移動させる。これにより、凹部６１２ａ，６１２ｂの上面６１２１ａ，６１２１ｂとその凹部６１２ａ，６１２ｂを構成する底面６１２２ａ，６１２２ｂとのうちの上面よりも高い位置に、リードフレーム５の端部５ａが保持される。

つづいて、保持部１１によってリードフレーム５が凹部６１２ａと対向する位置まで搬送された後、保持部１１の移動機構部１１２は、リードフレーム５の端部５ａの下面７１に対して斜めの方向であってリードフレーム５の端部５ａの下面７１から離れる方向に爪部１１１を移動させる。

なお、リードフレーム５の端部５ａが凹部６１２ｂを通過する前の位置は、リードフレーム５の端部５ａが凹部６１２ｂに到達する前の位置であってもよく、リードフレーム５の端部５ａが凹部６１２ｂを通過する直前の位置であってもよい。

また、上述した例では、搬送装置１は、凹部６１２の上面６１２１とその凹部６１２の底面６１２２とのうちの上面よりも高い位置で、リードフレーム５の端部５ａを保持する構成であるが、かかる例に限定されない。例えば、リードフレーム５の端部５ａを吸着する吸着部によって、リードフレーム５の端部５ａを、凹部６１２の上面６１２１とその凹部６１２の底面６１２２とのうちの上面よりも高い位置で保持する構成であってもよい。

図１９に示す搬送装置１の保持部１１は、爪部１１１および移動機構部１１２に代えて吸着部１１５を備える点で、図７に示す搬送装置１の保持部１１と異なる。吸着部１１５は、リードフレーム５の端部５ａを吸着することによって、リードフレーム５の端部５ａを凹部６１２の上面６１２１とその凹部６１２の底面６１２２とのうちの上面よりも高い位置で保持する。

吸着部１１５は、ピン１１０よりもリードフレーム５の端面５ｂ寄りの位置でリードフレーム５の端部５ａを吸着するため、リードフレーム５の端部５ａを精度よく保持することができる。なお、吸着部１１５は、ピン１１０の中心線を中心としてピン１１０に対して同心円状の吸着口を有する構成であってもよい。

上述した例では、搬送装置１が制御装置８によって制御される例を説明したが、搬送装置１は、上述した制御部８０を有する構成であってもよい。この場合、搬送装置１の制御部８０は、本体部１０および保持部１１とは別体で設けられて有線または無線で本体部１０および保持部１１を制御する構成であってもよく、本体部１０の筐体内に設けられて有線または無線で本体部１０および保持部１１を制御する構成であってもよい。

以上のように、実施形態に係る搬送装置１は、リードフレーム５が各々搬入される複数の凹部６１２が配列された保持機構３２にリードフレーム５を搬送する搬送装置であって、保持部１１と、本体部１０とを備える。リードフレーム５は、板状の部材の一例である。保持部１１は、リードフレーム５の端部であって搬送先の凹部６１２寄りの端部５ａを、凹部６１２を構成する上面６１２１とその凹部６１２を構成する底面６１２２のうちの上面６１２１よりも高い位置で保持する。本体部１０は、リードフレーム５の端部５ａを保持した状態の保持部１１を、凹部６１２の配列方向に移動させる。これにより、搬送装置１は、リードフレーム５が各々搬入される複数の凹部６１２が配列された保持機構３２に、所望のリードフレーム５を搬送することができる。

また、保持部１１は、リードフレーム５の端部５ａに設けられた貫通孔７０に挿入されるピン１１０と、リードフレーム５の端部５ａの下面７１を凹部６１２の上面６１２１よりも高い位置で支持する爪部１１１とを備える。これにより、搬送装置１は、リードフレーム５の端部５ａを、凹部６１２よりも高い位置で精度よく保持することができる。

また、保持部１１は、貫通孔７０にピン１１０が挿入された状態で、爪部１１１を、端部５ａの下面７１に対して斜めの方向であって端部５ａの下面７１に近づける方向に移動させて、端部５ａの下面７１に当接させる移動機構部１１２を備える。これにより、搬送装置１は、爪部１１１の移動を一方向への移動で行うことができることから、爪部１１１の移動を二方向への移動で行う構成に比べて、移動機構部１１２の構成を簡易な構成とすることができる。

また、保持部１１は、リードフレーム５の凹部６１２寄りの端部５ａを、凹部６１２の上面６１２１よりも高い位置で吸着する吸着部１１５を備える。これにより、搬送装置１は、リードフレーム５の端部５ａを凹部６１２よりも高い位置で保持することができる。

また、搬送装置１は、リードフレーム５の搬送途中に位置する凹部６１２をリードフレーム５の端部５ａが通過した後に、リードフレーム５の端部５ａの保持部１１による保持を解除させる制御部８０を備える。これにより、搬送装置１は、リードフレーム５が各々搬入される複数の凹部６１２が配列された保持機構３２に、所望のリードフレーム５を適切に搬送することができる。

また、制御部８０は、搬送途中に位置する凹部６１２をリードフレーム５の端部５ａが通過する前の位置で、リードフレーム５の端部５ａの保持部１１による保持を開始させる。これによっても、搬送装置１は、複数の凹部６１２が配列された保持機構３２にリードフレーム５を適切に搬送することができる。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１ 搬送装置
５ リードフレーム
５ａ 端部
５ｂ 端面
１０ 本体部
１１ 保持部
３２ 保持機構
３４ ガイドレール
３４ａ，６１４ ガイド溝
３５ ガイドバー
６０ ターンテーブル
６１，６１ａ，６１ｂ 保持レール部
７０ 貫通孔
７１ 下面
８０ 制御部
１００ 駆動機構部
１０１ 支持部
１１０ ピン
１１１ 爪部
１１１ａ 基部
１１１ｂ 爪片
１１１ｂ１ 当接面
１１２ 移動機構部
１１３ 基体部
１１３ａ 被支持部
１１３ｂ，６１１ａ，６１１ｂ 延在部
１１５ 吸着部
２００ 樹脂封止装置
６１２，６１２ａ，６１２ｂ 凹部

Claims (7)

1. 板状の部材が各々配置される複数の凹部が配列された保持機構に前記板状の部材を搬送する搬送装置であって、
   前記凹部を構成する上面とその凹部を構成する底面とのうちの上面よりも高い位置で、前記板状の部材の端部であって搬送先の前記凹部寄りの端部を保持する保持部と、
   前記板状の部材の前記端部を保持した状態の前記保持部を前記凹部の配列方向に移動させる本体部と、を備える
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 前記保持部は、
   前記板状の部材の前記端部に設けられた貫通孔に挿入されるピンと、
   前記板状の部材の前記端部の下面を前記凹部の上面よりも高い位置で支持する爪部と、を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記保持部は、
   前記貫通孔に前記ピンが挿入された状態で、前記爪部を前記端部の下面に対して斜めの方向であって前記端部の下面に近づける方向に移動させて、前記爪部を前記端部の下面に当接させる移動機構部を備える
   ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記保持部は、
   前記板状の部材の前記凹部寄りの前記端部を、前記凹部の上面よりも高い位置で吸着する吸着部を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
5. 前記板状の部材の搬送途中に位置する前記凹部を前記端部が通過した後に、前記保持部による前記端部の保持を解除させる制御部を備える
   ことを特徴とする請求項１～４のいずれか１つに記載の搬送装置。
6. 前記制御部は、
   前記搬送途中に位置する前記凹部を前記端部が通過する前の位置で前記保持部による前記端部の保持を開始させる
   ことを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
7. 前記保持機構は、
   前記板状の部材の移動をガイドするガイドレールである
   ことを特徴とする請求項１～４のいずれか１つに記載の搬送装置。

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