JP2024023037A - 液処理装置及び液処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に液処理を行うにあたり利便性が高い装置とする。【解決手段】本開示の液処理装置は、基板が載置される載置部と、前記載置部及び当該載置部に載置された前記基板を囲むカップと、前記基板に第１処理液、第２処理液を夫々供給する第１処理ノズル、第２処理ノズルと、前記カップに対する左右の一方で前記第１処理ノズルを待機させる第１待機部と、前記カップに対する左右の他方で前記第２処理ノズルを待機させる第２待機部と、前記第１処理ノズルを前記第１待機部と、前記基板上の第１処理位置との間で移動させる第１移動部と、前記第２処理ノズルを前記第２待機部と、前記基板上の第２処理位置との間で移動させる第２移動部と、前記第１移動部及び前記第２移動部に共用され、当該第１移動部、当該第２移動部を各々左右に移動させるためのガイドと、を各々備え、左右に並んで複数設けられる処理部を備える。【選択図】図１

Description

本開示は、液処理装置及び液処理方法に関する。

半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウエハ（以下、ウエハと記載する）に対して各種の処理液を供給して処理を行う。特許文献１では、左右に並んだカップ内に各々格納されたウエハに対して、処理液として現像液を各々供給する装置について示されている。

特開２０１２－１５３８５号公報

本開示は、基板に液処理を行うにあたって利便性が高い装置を提供する。

本開示の液処理装置は、基板が載置される載置部と、
前記載置部及び当該載置部に載置された前記基板を囲むカップと、
前記基板に第１処理液、第２処理液を夫々供給する第１処理ノズル、第２処理ノズルと、
前記カップに対する左右の一方で前記第１処理ノズルを待機させる第１待機部と、
前記カップに対する左右の他方で前記第２処理ノズルを待機させる第２待機部と、
前記第１処理ノズルを前記第１待機部と、前記基板上の第１処理位置との間で移動させる第１移動部と、
前記第２処理ノズルを前記第２待機部と、前記基板上の第２処理位置との間で移動させる第２移動部と、
前記第１移動部及び前記第２移動部に共用され、当該第１移動部、当該第２移動部を各々左右に移動させるためのガイドと、
を各々備え、左右に並んで複数設けられる処理部を備える。

本開示は、基板に液処理を行うにあたって利便性が高い装置を提供することができる。

本開示の第１の実施形態に係る現像装置の平面図である。 前記現像装置の概略側面図である。 前記現像装置に設けられるカップの縦断正面図である。 前記カップの縦断側面図である。 前記カップの上部側の斜視図である。 前記カップを排気する排気経路を示す概略平面図である。 前記カップの縦断側面図である。 前記カップの縦断側面図である。 前記処理部に設けられるノズルについて取得される画像の模式図である。 前記処理部について取得される画像の模式図である。 前記現像装置の効果を示すための説明図である。 本開示の第２の実施形態に係る現像装置の平面図である。 前記第２の実施形態の現像装置に設けられるカップの縦断側面図である。

〔第１の実施形態〕
本開示の第１の実施形態に係る現像装置１について、図１の平面図及び図２の概略側面図を参照して、先ずその概要を説明する。現像装置１には図示しない搬送機構により、円形の基板であるウエハＷが搬送される。このウエハＷの表面には、所定のパターンに沿って露光されたレジスト膜が形成されている。このレジスト膜は、例えばポジ型のレジストにより構成されており、現像装置１は、ポジ型レジスト用の現像液（ポジ型現像液）をウエハＷの表面に供給することによるレジスト膜の現像処理と、洗浄液をウエハＷの表面に供給することによる現像処理後の洗浄処理と、を行う。現像用のノズル（現像液ノズル）、洗浄用のノズル（洗浄液ノズル）から、処理液として夫々現像液、洗浄液が吐出されることで、これらの処理が行われる。

現像装置１はウエハＷを各々格納して処理するカップ３を２つ備えており、カップ３毎に個別にウエハＷを処理することができる。カップ３の外側には、上記した各ノズルを非使用時に待機させるための待機部が設けられている。ノズルは当該ノズルが接続される移動部によって、カップ３に格納されるウエハＷの上方で処理液を吐出する位置（処理位置）と、待機部と、の間を移動する。現像装置１では、２つのカップ３間で共用の移動部と、カップ３に対して専用の移動部と、が設けられており、専用の２つの移動部はカップ毎に２つずつ設けられている。従って、１つのカップ３に対して３つの移動部を用いて、ノズルを移動させて処理を行うことができる。

各カップ３内のウエハＷに対して現像液及び洗浄液の供給を行うことができれば、各移動部に接続されるノズルに関して、吐出される処理液の種類や形状については任意である。図１で説明する例では、１つのカップ３に用いられる３つの移動部のうち、専用の１つの移動部に洗浄用のノズルが接続され、専用の他の１つの移動部と共用の移動部とには、異なる形状の現像用のノズルが接続されている。つまり、１つのカップ３に対して２種類の形状の現像用のノズルが設けられており、そのうちの１つを選択して現像処理を行うことができる。

以下、詳細に現像装置１について説明する。現像装置１は、筐体１９と、排気ダクト２８と、２つの処理部２と、２つの処理部２間で共用される移動部８１と、現像液ノズル７５、８４及び洗浄液ノズル７６と、を備え、カップ３及び当該カップ３に対して専用となる移動部７１、７２が、処理部２に含まれる。なお、現像液ノズル７５、８５、洗浄液ノズル７６の各々については、単にノズル７５、８５、７６として表記する場合が有る。

筐体１９は角型に形成されており、平面視で左右に長辺が延びる矩形状である。筐体１９の後方側の側壁には、ウエハＷを搬入出するための搬送口１８が左右に離れて形成されており、筐体１９の外部に設けられる搬送機構（不図示）が各搬送口１８を介して筐体１９内に進入し、筐体１９内の処理部２に対して、ウエハＷの受け渡しが行われる。なお、以降の説明での左側、右側とは特に記載無い限り、前方から後方を見た場合の左側、右側である。前後方向、左右方向を図中では、Ｘ方向、Ｙ方向として夫々示している。また、Ｘ方向、Ｙ方向の各々に直交する鉛直方向（垂直方向）をＺ方向として示している。Ｘ、Ｙ、Ｚ方向は、互いに直交する。

２つの処理部２は筐体１９内において互いに左右に離れて設けられており、上記したカップ３等の他に、ウエハＷを載置する載置部をなすスピンチャック２１等を備える。２つの処理部２は互いに同様に構成されており、左側の処理部２を２Ａ、右側の処理部２を２Ｂとして記載する場合が有る。処理部２Ａ、２Ｂは夫々一の処理部、他の処理部である。なお、処理部２Ａ、２Ｂの各々に含まれるカップ３等の各構成部材について、処理部２Ａ、２Ｂが同様に構成されていることにより、処理部２Ａ、２Ｂ間では、同じ構成部材は左右に並び、且つ互いに同じ高さに位置している。

以降は処理部２Ａ、２Ｂのうち代表して処理部２Ａについて、図３の縦断正面図、図４の縦断側面図も参照して説明する。上記したスピンチャック２１は円形であり、搬送機構との受け渡しを行えるように、搬送口１８の前方に配置されている。スピンチャック２１上にウエハＷの下面の中心部が載置され、スピンチャック２１は当該下面中心部を真空吸着する。それにより、ウエハＷはスピンチャック２１上に水平に保持される。スピンチャック２１は、垂直に伸びるシャフト２２の上端に支持されている。シャフト２２の下端側は回転機構２３に接続されており、回転機構２３によってスピンチャック２１は保持したウエハＷと共に鉛直軸回りに回転する。

スピンチャック２１に保持されたウエハＷの側周を囲むように、カップ３が設けられる。従って、スピンチャック２１はカップ３内に設けられている。カップ３の内部は排気され、ウエハＷに供給された処理液の液滴やミストが、カップ３の外側へと飛散することが防止される。図５のカップ３の上部側の斜視図も参照して説明すると、カップ３は角型環状壁３１が形成されるカップ本体３２と、下側円環部５１と、上側円環部６１と、を備えている。平面視において角型環状壁３１、下側円環部５１及び上側円環部６１がスピンチャック２１に吸着されたウエハＷを囲む。また、上側円環部６１は、下側円環部５１に上側から重なっており、平面視で第３環状体である角型環状壁３１が、第１環状体である下側円環部５１及び第２環状体である上側円環部６１を囲む。なお、図５では下側円環部５１を示すために図示の便宜上、上側円環部６１の周の一部を切り欠いて表示している。

下側円環部５１及び上側円環部６１の各々は、角型環状壁３１に対して昇降可能であり、この昇降によって、カップ３については互いに高さが異なる第１状態と、第２状態と、第３状態との間で切り替えられる。第１状態が最も低背であり、第３状態が最も高背である。第１～第３状態間の切り替えは、使用するノズル及びウエハＷの搬送機構をカップ３と干渉させず、且つウエハＷに対して行う処理に応じて（即ち使用するノズルに応じて）、カップ３におけるウエハＷの上方側へ伸びる高さを、カップ３外へのミスト及び液滴の流出が防止される適切な高さとするために行われる。

以降はカップ３について、より具体的に説明する。カップ３を構成するカップ本体３２は、角型環状壁３１の他に、下壁部３３、ガイド部３４、環状凹部３５を備える（図３、図４参照）。下壁部３３はシャフト２２を囲むように円環状に形成され、この下壁部３３の上部側の周縁が外方に引き出されて、ガイド部３４として形成されている。ガイド部３４は、下壁部３３から外方へ向かうように斜め下方へと引き出され、上面が傾斜面をなす傾斜壁３４Ａと、傾斜壁３４Ａの周端から鉛直下方へと伸びる円筒状の垂直壁３４Ｂと、により構成される。ガイド部３４は、付着した液滴を後述の区画壁４１に開口する排液口４６へと流下させる役割を有する。

下壁部３３の周縁部の下部側は垂直下方へ引き出されて円筒状の内壁３５Ａを形成し、内壁３５Ａの下端はカップ本体３２の外方へ向けて広がることで、円環状の底壁３５Ｂを形成し、底壁３５Ｂの周縁は上方へと向かうことで円筒状の外壁３５Ｃとして構成されている。これらの内壁３５Ａ、底壁３５Ｂ、外壁３５Ｃによって、環状凹部３５が形成される。外壁３５Ｃの上部側は内方へ膨らみ、その膨らみの内端が下方へ突出して、円環状のシール用突起３５Ｄとして形成されている。

そして外壁３５Ｃの上端は下壁部３３よりも上方に位置しており、その周の一部は外方へ向けて広がることで、外形が平面視で正方形をなす液受け部３６として構成されており（図１、図５参照）、この液受け部３６の周端が鉛直上方へ向けて延伸されることで、上記した角型環状壁３１が形成されている。以上のように各部が構成されるため、外壁３５Ｃの上端に囲まれる領域と、下壁部３３に囲まれる領域とが、カップ本体３２の開口を形成する。

平面視で正方形である角型環状壁３１をなす一の辺と、当該一の辺に隣接する他の辺とは、前後方向（Ｘ方向）、左右方向（Ｙ方向）に夫々沿って形成されており、平面視での角型環状壁３１の前方側且つ右側の角部には、切り欠き３７が形成されている。従って、この切り欠き３７は平面視での角型環状壁３１の外形をなす４つの辺のうちの２つの辺に跨がって形成されている。この切り欠き３７のうち、前後方向に沿って伸びる部位を３７Ａ、左右方向に沿って伸びる部位を３７Ｂとして、互いに区別して記載する場合が有る。

外壁３５Ｃの下部側について述べると、外壁３５Ｃの内周面でシール用突起３５Ｄが設けられる位置よりも下方側はカップ３の内側へ向けて突出し、カップ３内の上下の空間を区画する区画壁４１を形成する。区画壁４１は内壁３５Ａに至る途中で上方へ向うように屈曲され、この区画壁４１の上端は内壁３５Ａの周面に設けられるフランジ４２に接する。このフランジ４２の周方向に間隔を空けて、上方に向かう排気口４３が形成され、処理液の流入が防止されるように、ガイド部３４の垂直壁３４Ｂの下端よりも上方に開口している。区画壁４１と、環状凹部３５の底壁３５Ｂとに囲まれて排気空間４４が形成されており、当該排気空間４４は後述するように負圧とされることで、排気口４３からの排気が行われる。また、区画壁４１の周縁部側には排液口４６が開口し、当該排液口４６に流入した処理液は、当該排液口４６に接続される流路形成部４７を介して、カップ３外へと流れて除去される。

カップ本体３２の外側には、複合昇降機構５が設けられている（図４、図５参照）。この複合昇降機構５は、第１基部５２と、第１昇降部５３と、第２基部６２と、第２昇降部６３と、を備えており、第１基部５２についてはカップ本体３２に対して位置が固定されている。第１昇降部５３は第１基部５２上に、当該基部５２に対して鉛直方向に昇降自在に設けられている。第１昇降部５３及び第１基部５２は、第１昇降機構に相当する。

そして、第２基部６２及び第２昇降部６３により第２昇降機構が構成され、これら第２基部６２及び第２昇降部６３は、第１昇降部５３において例えば左側に設けられている。そして、第２昇降部６３が第２基部６２の後方側に位置し、第２基部６２は第１昇降部５３に固定されて設けられる一方、第２昇降部６３は当該第１昇降部５３に対して鉛直方向に昇降可能である。以下に詳しく述べるが、第１昇降部５３は下側円環部５１に接続されることでこれらは共に昇降し、第２昇降部６３は上側円環部６１に接続されることで、これらは共に昇降する。ところで、以下も引き続き図３～図５を用いて説明するが、この説明では、第１昇降部５３及び第２昇降部６３が、各々の昇降範囲における下方位置に位置した状態であるものとする。当該状態では、下側円環部５１及び上側円環部６１が各々の昇降範囲における下方位置に位置することで上記した第１状態となっているので、この図３～図５による説明は第１状態の説明である。

第１昇降部５３の左端部及び第２昇降部６３の各々は、角型環状壁３１の外側から切り欠き３７Ｂに面している。そして、第１昇降部５３の左端部から切り欠き３７Ｂを介して角型環状壁３１の内側へと２本の外側支持アーム５４が伸びており、そのうちの一本は左方へ、他の一本は後方へと向かう。後方へ向かう外側支持アーム５４は角型環状壁３１に突き当たると左側へ向けて屈曲されている。このように伸長することで、２本の外側支持アーム５４は角型環状壁３１に沿って形成されている。後方へ向けて伸びる外側支持アーム５４の基端部は他の部位に比べて高く、切り欠き３７Ａに面した高背部５４Ａとして形成されている。そして、外側支持アーム５４には下方に伸びる第１支持部５５が互いに離れて３つ設けられており、カップ本体３２の中心に対して前方、後方、右方の各々に位置している。これらの第１支持部５５によって、下側円環部５１が支持されている。

下側円環部５１は、上方へ向かうにつれて縮径されることで上面が傾斜面をなす傾斜壁５７と、傾斜壁５７の下端から鉛直方向に伸びる胴部５８とを備え、傾斜壁５７、胴部５８は各々円筒状に構成されている。上記の第１支持部５５に傾斜壁５７の上面の周端の互いに離れた位置が接続されることで、外側支持アーム５４に下側円環部５１が支持されている。胴部５８の下端部は外方へ折り返され、円環をなすシール用凹部５９が形成されている。下側円環部５１とカップ本体３２との位置関係を述べると、下側円環部５１の傾斜壁５７は傾斜壁３４Ａよりも若干上方に位置し、傾斜壁５７の内周縁は傾斜壁３４Ａ上に位置している。胴部５８は、カップ本体３２の垂直壁３４Ｂと外壁３５Ｃとの間に、これらの各壁から離れて位置している。シール用凹部５９は、シール用突起３５Ｄよりも下方に位置している。

続いて第２昇降部６３について詳しく述べると、第２昇降部６３の後方側は、切り欠き３７Ｂを介して角型環状壁３１内へ若干突出して、外側支持アーム５４上を通過する突出部６０を形成する。この突出部６０の右端が後方へ、左端が左方へと夫々伸びて、内側支持アーム６４を各々形成する。後方へ向かう内側支持アーム６４は、外側支持アーム５４に突き当たると左側へ向けて屈曲されている。このように伸長することで、２本の内側支持アーム６４は外側支持アーム５４に対してカップ本体３２の中心寄りに位置すると共に、外側支持アーム５４の伸長方向に沿って、即ち角型環状壁３１に沿って形成されている。

各内側支持アーム６４の基端部は他の部位に比べて高背であり、切り欠き３７Ａ、３７Ｂに対向する高背部６４Ａ、６４Ｂを夫々形成しており、角型環状壁３１の角部にて、高背部６４Ａ、６４Ｂ同士は互いに接続されている。従って、切り欠き３７Ａについては、内側支持アーム６４の高背部６４Ａ、外側支持アーム５４の高背部６４Ｂが互いに重なることで塞がれ、切り欠き３７Ｂについては、第２昇降部６３の突出部６０及び内側支持アーム６４の高背部６４Ｂが重なることで塞がれている。さらに言えば、切り欠き３７を塞ぐ（閉じる）各部（高背部６４Ａ、６４Ｂ、５４Ａ及び突出部６０）と、角型環状壁３１とを合わせて見ることで、欠けのないように環が形成され、平面視で見て下側円環部５１及び上側円環部６１の全周を囲む。

上記の切り欠き３７を塞ぐ（閉じる）部分は、下側円環部５１または上側円環部６１を昇降させるための昇降用部材とも言える。つまり、切り欠きを有する角型環状壁３１と、その内側に有る部材（下側円環部５１及び上側円環部６１）を昇降させる昇降用部材は、上記のように環を形成することで、その環の内側で生じたミストや液滴を受け止めて、外側への流出を防ぐ環状液受け部を形成する。また、本実施形態の１つの例として、この環状液受け部は載置部であるスピンチャック２１よりも高い位置であり、カップ３のうち、最も高い位置に有る液受け部となっている。

内側支持アーム６４には、下方に伸びる第２支持部６５が互いに離れて３つ設けられており、カップ本体３２の中心に対して前方、後方、右方の各々に位置している。これらの第２支持部６５によって、上側円環部６１が支持されている。上側円環部６１は、上方へ向かうにつれて縮径されることで、上面が傾斜面をなす円筒状に形成されている。この上面の周端の互いに離れた位置が、上記の第２支持部６５に接続されている。上側円環部６１の周縁の一部は切り欠かれ、この切り欠きを介して上記の第１支持部５５は、下側円環部５１に接続されている。

上側円環部６１は、下側円環部５１よりも若干上方に位置している。平面視で上側円環部６１の内周縁と、下側円環部５１の内周縁とは互いに重なっている。さらに詳しく述べると、上側円環部６１の内周縁と、下側円環部５１の内周縁とはカップ本体３２の傾斜壁３４Ａ上で、角型環状壁３１の上端よりも下方に各々位置している。また、上側円環部６１の下端は、下側円環部５１の傾斜壁５７の下部側の上方に位置している。

ところでカップ本体３２について、図４を参照して補足して説明する。カップ本体３２における下壁部３３を貫通すると共に、平面視でスピンチャック２１の周囲には、垂直な３本のピン２４が設けられ、昇降機構２５によって昇降自在とされる。当該ピン２４の昇降により、上記した搬送機構とスピンチャック２１との間で、ウエハＷの受け渡しが行われる。そして、カップ本体３２は円形のベース体２６上に支持されており、カップ本体３２の下部の側周と、ベース体２６の側周とは互いに揃っている。このベース体２６には排気路２７が設けられ、連通路を介してカップ本体３２の排気空間４４に接続される。後に詳述する排気ダクト２８からの排気によって、排気路２７及び排気空間４４が負圧となる。

続いて、第１移動部である移動部７１及び第２移動部である移動部７２について説明する。カップ３の前方を左右に水平に伸びるガイド部材としてガイドレール７３が設けられており、このガイドレール７３に移動部７１、７２が接続されている。ガイドレール７３の伸長方向に沿って、移動部７１、７２が、カップ３の後方側を左右に移動可能である。移動部７１、７２から各々アーム７４が後方に向けて伸びる。各アーム７４は、移動部７１、７２のうちの伸長元となる移動部によって昇降自在である。移動部７１から伸びるアーム７４の先端側、移動部７２から伸びるアーム７４の先端側には夫々、現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６が設けられている。

現像液ノズル７５は前後に複数並んだ吐出孔７５Ａを備えており、各吐出孔７５Ａは例えば傾斜して穿孔され、左斜め下方へと現像液を吐出可能である。洗浄液ノズル７６は、鉛直下方に洗浄液を吐出する。カップ３に対する左方、右方には左側待機部７７、右側待機部７８が設けられており、左側待機部７７、右側待機部７８については上方が開放された箱状に形成されており、昇降動作によってノズルが当該箱内の空間に対して搬入、搬出され、搬入されたノズルを待機させる。

第１待機部である左側待機部７７が第１ノズルである現像液ノズル７５の待機に、第２待機部である右側待機部７８が第２ノズルである洗浄液ノズル７６の待機に、夫々用いられる。なお、これら左側待機部７７、右側待機部７８について、単に待機部７７、７８と呼称する場合が有る。移動部７１、７２のガイドとして、ガイドレール７３が当該移動部７１、７２に共通であることにより、現像液ノズル７５については左側待機部７７内からカップ３の右端部上方への移動、洗浄液ノズル７６については右側待機部７８内からカップ３の左端部上方への移動が夫々可能である。なお、現像液ノズル７５から吐出される現像液、洗浄液ノズル７６から吐出される洗浄液は夫々第１処理液、第２処理液であり、従って第１処理液、第２処理液の種類は異なっている。なお本明細書で構成成分が異なれば、処理液の種類が異なることとする。従って、各々現像処理に用いるポジ型現像液、ネガ型現像液についても、互いに種類が異なる処理液である。

以上に述べたように、ガイドレール７３は移動部７１、７２に共用されるように設けられている。そして、ガイドレール７３の同じ部位が移動部７１、７２によって異なるタイミングで使用されることになる。具体的に述べるとウエハＷに処理を行うにあたり、現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６の各々は、ウエハＷの中心部上に移動することになる。そのように、現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６を夫々ウエハＷの中心部上に移動させるにあたり、移動部７１、７２は各々ガイドレール７３の長さ方向の中心部へ移動するので、当該中心部は異なるタイミングで、これら移動部７１、７２のガイドに用いられることになる。

続いて、処理部２Ａ、２Ｂで共用される移動部８１について説明する。処理部２Ａ、２Ｂのガイドレール７３の前方側に、ガイドレール８３が設けられており、ガイドレール８３については左右に水平に伸び、処理部２Ａのカップ３の左端部前方から処理部２Ｂのカップ３の右端部前方に亘って形成されている。ガイドレール８３に第３移動部である移動部８１が接続されており、当該移動部８１はガイドレール８３の伸長方向に沿って移動部７１、７２の各移動領域の前方側を、左右に移動することができる。従って、移動部８１は、処理部２Ａのカップ３に対する前方側と、処理部２Ｂのカップ３に対する前方側との間を左右に移動する。

移動部８１からアーム８４が後方に向けて伸びており、当該アーム８４は移動部８１によって昇降自在である。アーム８４の先端側には、現像液ノズル８５が設けられている。第３処理ノズルである現像液ノズル８５は、前後に長尺なスリット状の吐出口８５Ａを備え、鉛直下方に第３処理液として現像液を吐出可能である。

処理部２Ａの右側待機部７８と処理部２Ｂの左側待機部７７との間に、待機部８７が設けられている。従って、処理部２Ａについて見れば左右方向において、右側待機部７８に対してスピンチャック２１が設けられる側とは逆側に待機部８７が設けられ、処理部２Ｂについて見れば左右方向において、左側待機部７７に対してスピンチャック２１が設けられる側とは逆側に待機部８７が設けられている。待機部８７は現像液ノズル８５を収納できる大きさに構成されることを除き、左側待機部７７及び右側待機部７８と同様の構成である。現像液ノズル８５は、待機部８７内から処理部２Ａのカップ３の左端部上方への移動、待機部８７内から処理部２Ｂのカップ３の右端部上方への移動が夫々可能である。なお、移動部８１、ガイドレール８３、アーム８４、現像液ノズル８５、待機部８７については、処理部２Ａまたは２Ｂに固有の移動部、アーム、現像液ノズル、待機部と区別するために、共用移動部８１、共用ガイドレール８３、共用アーム８４、共用現像液ノズル８５、共用待機部８７と記載する場合が有る。

これまでに述べた現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６、共用現像液ノズル８５については左右の移動により、ウエハＷの周縁部から中心部に至る領域に各々処理液を供給できるようにアームに設けられている。また、現像液ノズル７５及び共用現像液ノズル８５は現像液の供給源に、洗浄液ノズル７６は洗浄液の供給源に夫々接続され、各供給源から現像液あるいは洗浄液の給断が行われるが、当該各供給源の図示は省略している。

そして、現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６、共用現像液ノズル８５について、使用しない場合には左側待機部７７、右側待機部７８、共用待機部８７に夫々収納される。そして、現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６、共用現像液ノズル８５の夫々は、収納される待機部から上昇した後、左右方向に移動してカップ３上に移動し、下降してウエハＷ上の処理位置に移動して使用されることになる。なおノズルによって、ウエハＷからの処理位置の高さは異なる。上記のようにカップ３上と待機部との間での移動において、現像液ノズル７５が左右方向に移動する高さ、洗浄液ノズル７６が左右方向に移動する高さ、共用現像液ノズル８５が左右方向に移動する高さは互いに重なりあっている。つまり、所定の高さについては、ノズル７５、７６、８６の各々が移動する高さである。これらの各ノズルが左右方向に移動する高さを、図３中ではまとめて移動領域Ｒ１として示している。

また、待機部７７、７８、８７の各上端は、待機部とカップ上との間を各ノズル７５、７６、８５が左右方向に移動する際のカップ３の上端（角型環状壁３１の上端）よりも低く位置している。そのような待機部７７、７８、８７の配置は、上記のようにノズルが左右方向に移動するにあたって、その移動するノズルが、待機状態のノズル及び当該待機状態のノズルを支持するアームに対して干渉することを防止することに寄与する。具体的に例を挙げると、共用現像液ノズル８５が処理部２Ａ、２Ｂのカップ３上に移動するにあたり、処理部２Ａの右側待機部７８で待機する洗浄液ノズル７６、処理部２Ｂの左側待機部７７で待機する現像液ノズル７５、及びこれらのノズルを支持するアーム７４に対して、当該共用現像液ノズル８５は干渉せずに移動することができる。

以上の各ノズルの横方向の移動領域Ｒ１の設定、及び待機部７７、７８、８７の高さの設定は、現像装置１の高さを低減させることに寄与する。その高さの低減により、現像装置１を限られたスペースに多数積層して配置することができるので、現像装置１が搭載されるシステムのスループットを向上させることができる。

続いて、図６の平面図も参照して排気路形成部材である排気ダクト２８について説明する。排気ダクト２８は処理部２Ａ、２Ｂのカップ３の後方側を左右に伸び、処理部２Ａ、２Ｂの各ベース体２６の後方に接続されている。排気ダクト２８の下流側は左方へ向かい、筐体１９の外部へ向う。そして、排気ダクト２８に形成されるダクト内排気路２９の下流側は、現像装置１が設置される工場の排気路に接続されている。従って、左右に並ぶカップ３のうち、左端（一端）のカップ３の後方から右端（他端）のスピンチャック２１の後方に跨がるように、ダクト内排気路２９が設けられている。

上記した各ベース体２６に形成される排気路２７は、カップ３の後方側においてカップ３の周縁に沿うように平面視で円弧状に形成されており、この円弧の中央部が、ダンパー２０を介してダクト内排気路２９に接続されている。従って各カップ３内が、排気路２９に接続されている。このダクト内排気路２９は例えば常時排気されており、ダンパー２０によって各カップ３における排気量が調整される。以上の構成であるため、各カップ３を排気する排気路については、下流側は処理部２Ａ、２Ｂにおいて共通であり、上流側は処理部２Ａ、２Ｂ毎のダンパー２０を各々備えた排気路として形成されている。具体的には、ダクト内排気路２９において、処理部２Ａの排気路２７が接続される位置よりも左方の位置は、処理部２Ａ、２Ｂに共通の排気路である。

既述のように、排気ダクト２８が各カップ３の後方側、即ち前後方向においてノズルを移動させるための移動部７１、７２、８１が配置される側とは逆側に配置されている。それによって、移動部７１、７２、８１については、排気ダクト２８の上方に配置する必要が無い。従って、この排気ダクト２８のレイアウトは、現像装置１の高さを抑制する上で有利である。

ところで現像装置１には、カメラ３８、３９が設けられており、カメラ３８、３９で取得される画像については、後述の制御部１０に送信されて、装置の異常の有無の判定に用いられる。図１、図２に戻ってこれらのカメラ３８、３９について説明する。互いに区別するために、カメラ３８をノズル撮像用カメラ３８、カメラ３９をカップ内撮像用カメラと記載する場合が有る。

各アーム７４及び共用アーム８４に、ノズル撮像用カメラ３８が設けられている。各ノズル撮像用カメラ３８については、光軸Ｌ１が後方且つ斜め下方に向うように配置されている。即ち、光軸Ｌ１は、Ｘ方向に沿い、且つＹ方向及びＺ方向に対しては傾いている。そしてノズル撮像用カメラ３８により、当該ノズル撮像用カメラ３８が設けられるアームに支持されるノズルを撮像することができる。図７は、洗浄液ノズル７６が設けられるアーム７４のノズル撮像用カメラ３８によって取得される画像の一例を示している。

そしてカップ内撮像用カメラ３９については２つ設けられ、そのうちの一方、他方は処理部２Ａのカップ３内の撮像、処理部２Ｂのカップ３内の撮像に夫々用いられる。カメラ３９は、対応するカップ３の内部に位置する載置部（スピンチャック２１）やウエハＷ、各種ノズルを撮像可能である。また、カップ３の開口端及びその外側の外壁も撮像可能な画角に調整されてもよい。この２つのカップ内撮像用カメラ３９は各カップ３の上方に位置している。そして平面視において、当該カップ内撮像用カメラ３９は、左右方向に関しては処理部２Ａのカップ３と処理部２Ｂのカップ３との間、前後方向に関しては各カップ３の後方に位置している。処理部２Ａに対するカップ内撮像用カメラ３９については、光軸Ｌ２が斜め下方で左前方に向けられるように配置され、処理部２Ｂに対するカップ内撮像用のカメラ３９については、光軸Ｌ２が斜め下方で右前方に向けられるように配置されている。従って、各カップ内撮像用カメラ３９の光軸Ｌ２は、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各々に対して傾いている。

上記した配置によって、カップ内撮像用カメラ３９はウエハＷの表面を俯瞰撮像することができるため、制御部１０は、取得される画像に基づいてウエハＷの表面の処理状態についての異常の有無の判定を行うことができる。またウエハＷに処理を行うにあたり、ウエハＷ上に現像液ノズル７５、共用現像液ノズル８５あるいは洗浄液ノズル７６が位置する際に、カップ内撮像用カメラ３９の視界にこれらのノズルが収まることで、撮像可能となる。図８は、処理部２Ａのカップ内撮像用カメラ３９によって、取得される洗浄液ノズル７６の画像の一例を示している。なお、上記のようにカップ内撮像用カメラ３９は、ウエハＷの表面の異常の検出が可能であるように、ウエハＷ上の比較的広い範囲を撮像可能に配置される。そのため同じノズルについて、カメラ３８、３９の各々で取得される画像中での大きさとしては異なっており、ノズル撮像用カメラ３８で取得される画像中により大きく写ることになる。また、カメラ３９はカップ３の上方の位置だが、さらに撮像対象のノズルの移動によらず、常にそのノズルよりも上方に位置させてもよい。そうすることで、ノズルから飛散する液滴やミストが付着し難くなり、良好な画質の撮像を継続し易くなる。

現像液ノズル７５、共用現像液ノズル８５、洗浄液ノズル７６の各々について、カップ内撮像用カメラ３９の視界に入る所定の位置に移動した際に、当該カップ内撮像用カメラ３９によって撮像される。また、このカップ内撮像用カメラ３９による撮像されるノズルについて、任意のタイミングでノズル撮像用カメラ３８による撮像も行われる。そして、ノズル撮像用カメラ３８、カップ内撮像用カメラ３９から各々取得される画像を用いて、制御部１０は画像を取得したノズルに関する異常の有無の判定を行う。この異常とは例えば、破損等による形状変化、アームにおける正常な位置からのずれ、処理液のノズル表面への付着や、ノズルの吐出孔からの処理液の垂れなどである。

例えば、第１撮像部であるノズル撮像用カメラ３８及び第２撮像部であるカップ内撮像用カメラ３９のうちの一方のみを用いて取得した画像からノズルの異常について判定しようとすると、一方向のみからの撮像である故に、正常な状態との識別が困難である場合が生じるおそれが有る。具体的には、例えばノズルにおいて、撮像方向に対する正面に液滴が付着していたり、破損箇所が生じていたりするなどの異常が生じているものとする。その場合、画像から検出されるノズルの外形及びノズルの位置については、ノズルが正常な状態の外形及び位置と同じであるため、異常の判定が行い難い懸念が有る。また、ノズルにおいて撮像方向に対する反対の面に上記の液滴の付着や破損箇所が生じた場合についても、撮像の死角となるために正確な異常の判定が行い難い懸念が有る。

ノズル撮像用カメラ３８の光軸Ｌ１が向う方向、カップ内撮像用カメラ３９の光軸Ｌ２が向う方向については、上記したように並行せず、互いに交差する関係となっている。即ち、光軸Ｌ１、Ｌ２の向う方向がＸＹＺ座標系において、同一方向あるいは逆方向とはなっておらず、交差する方向から撮像が行われる。そのため、上記した一つのカメラのみを用いて撮像する場合におけるノズルの撮像方向の正面、背面に発生する異常に関して、より精度高く判定することができる。なお、ノズルを互いに異なる方向から撮像して異常の検出精度を高くするという観点から、例えばノズル撮像用カメラ３８の撮像タイミングと、カップ内撮像用カメラ３９の撮像タイミングとは同時であることが好ましいが、タイミングがずれていてもよい。

図１に戻って説明すると、現像装置１は制御部１０を備えている。制御部１０はコンピュータにより構成されており、プログラムを備えている。プログラムには、現像装置１における一連の動作を実施することができるように、ステップ群が組み込まれている。そして、当該プログラムによって制御部１０は現像装置１の各部に制御信号を出力し、当該各部の動作が制御される。具体的には回転機構２３によるスピンチャック２１の回転、昇降機構２５によるピン２４の昇降、処理液の供給源から各ノズルへの処理液の供給、各移動部によるノズルの移動、複合昇降機構５による下側円環部５１及び上側円環部６１の昇降などの各動作が、上記の制御信号によって制御される。上記のプログラムは、例えばコンパクトディスク、ハードディスク、ＤＶＤなどの記憶媒体に格納されて、制御部１０にインストールされる。

上記のプログラムは、カップ内撮像用カメラ３９により送信された画像に基づいたウエハＷ表面の異常の有無の判定、ノズル撮像用カメラ３８及びカップ内撮像用カメラ３９により送信された画像に基づいた各ノズル７５、７６、８５の各々についての異常の有無の判定も行うことができるように構成されている。そして制御部１０は異常が有ると判定された際に、アラームを出力してその旨をユーザーに報知する報知部を備えており、このアラーム出力もプログラムにより行われる。なお、アラームは、例えば所定の画面表示や音声である。

続いて、カップ３の第１～第３状態について、さらに詳しく説明する。共用現像液ノズル８５にて処理を行う際、及びピン２４を介した搬送機構とスピンチャック２１との間でのウエハＷの受け渡しが行われる際、及び各ノズル７５、７６、８５が待機部と、ウエハＷ上の処理位置との間で移動するにあたり、これまでに述べた第１状態とされる。

図４に示した現像液ノズル８５にて処理を行うにあたっては、現像液ノズル８５の左右方向の移動中に現像液ノズル８５からの現像液の吐出が行われ、ウエハＷ表面上、カップ本体３２の液受け部３６上及び上側円環部６１上に、現像液が供給される。そのように各部に供給された現像液は、カップ本体３２と下側円環部５１と上側円環部６１とがなす隙間を介して、排液口４６が形成される区画壁４１上へ流下し、当該排液口４６から除去される。その過程で液受け部３６上に形成される現像液の液溜まり、現像液が供給される位置から撥ねて生じた液滴、ミストについては、角型環状壁３１及び既述した角型環状壁３１の切り欠き３７を塞ぐ部材に受け止められ、角型環状壁３１の外側へ漏れることなく、上記の隙間を介して排液口４６へ流れ込む。

次に、カップ３の第２状態について図９を参照して説明する。第２状態は、第１昇降部５３が昇降範囲における上方位置に位置する一方、第２昇降部６３は第１状態と同様に昇降範囲における下方位置に位置する状態である。上記したように第１昇降部５３に第２昇降部６３が設けられることで上側円環部６１、下側円環部５１が共に昇降する構成であるため、第１状態に比べると第２状態では上側円環部６１、下側円環部５１が共に上方に位置しており、下側円環部５１の内周端は、スピンチャック２１上のウエハＷよりも上方に配置される。なお、第２状態では下側円環部５１のシール用凹部５９にカップ本体３２のシール用突起３５Ｄが進入することで、下側円環部５１の外周からは排気がなされずに、下側円環部５１の開口から十分な量で排気がなされ、当該開口からのミストの流出が防止されるようにされている。

洗浄液ノズル７６による処理を行う際、及び乾燥（洗浄液の振り切り）を行う際に、このような第２状態とされる。洗浄液ノズル７６からウエハＷの中心へ洗浄液が吐出されると共にウエハＷが回転する。ウエハＷから飛散した液滴やミストは、下側円環部５１の傾斜壁５７の内周面に受け止められ、液滴となって胴部５８の内周面を伝わって、区画壁４１上へ流下し、当該排液口４６から除去される。洗浄液ノズル７６からの洗浄液の吐出停止後、ウエハＷを乾燥するにあたっても、同様にしてウエハＷから飛散した液滴、ミストが除去される。

カップ３の第３状態について図１０を参照して説明する。第３状態は、第１昇降部５３、第２昇降部６３が共に、各々の昇降範囲における上方位置に位置する状態であり、第２状態に比べると第３状態では、上側円環部６１が上方に位置している。現像液ノズル７５による処理を行う際に、この第３状態とされる。

ウエハＷが回転すると共に、現像液を吐出した状態で共用現像液ノズル８５が左右方向に移動し、回転するウエハＷの周縁部から中心部へ向けて現像液の供給位置が移動することで、現像処理が行われる。ウエハＷから飛散した液滴やミストは、第２状態と同じく下側円環部５１の傾斜壁５７の内周面に受け止められたものについては、当該内周面で液滴となって、排液口４６から除去される。そして、その液滴やミストのうちで、高所に向けて飛散したものについては、上側円環部６１の内周面に受け止められ、液滴となって下側円環部５１の上面に落下し、下側円環部５１の外周面を下方へ流下し、シール用凹部５９に溜められる。

第２状態及び第３状態においては、第１状態で角型環状壁３１の切り欠き３７を塞いでいた外側支持アーム５４、内側支持アーム６４、第２昇降部６３が上方へと移動することによって、切り欠き３７が開かれた状態となる。しかし、上記したようにカップ３外への処理液の漏洩を防止する役割を有するのは、第２状態では下側円環部５１であり、第３状態では下側円環部５１及び上側円環部６１であるため、そのように切り欠き３７が開放されていても、処理液のカップ３外への流出が防止される。

以上のように現像装置１では、角型環状壁３１の外側において昇降する第１昇降部５３及び第２昇降部６３が設けられている。そして、この第１昇降部５３と下側円環部５１とを接続する第１接続部（外側支持アーム５４の高背部５４Ａ）、第２昇降部６３と上側円環部６１とを接続する第２接続部（内側支持アーム６４の高背部６４Ａ、６４Ｂ及び突出部６０）が、必要時のみ角型環状壁３１の切り欠きを塞ぐ。例えば切り欠きが無いように角型環状壁３１を形成し、第１昇降部５３と下側円環部５１とを接続する第１接続部、第２昇降部６３と上側円環部６１とを接続する第２接続部の各々については、角型環状壁３１の上方を通過するように設けることも考えられる。しかし、このような構成とする場合は、その接続部の分だけ装置の高さが大きくなってしまう。即ち、上記した切り欠き４７を設けて、必要時にその切り欠き４７が第１及び第２接続部に塞がれる現像装置１の構成によれば、装置の高さを低減させることができ、それによって既述したように限られたスペースへの設置数を増加させることができるので好ましい。

なお角型環状壁３１に切り欠きが設けられず、角型環状壁３１と下側円環部５１とがカップ３の外側に設けられた同じ昇降機構に接続されることで共に昇降する構成（比較例のカップ構成とする）とすることが考えられる。しかし、第１状態でウエハＷと現像液ノズル８５との距離を適切なものとするために、角型環状壁３１との上端は、下側円環部５１の上端よりも上方に位置する。そのために上側円環部６１が上方位置に位置した場合において、角型環状壁３１の上端の方が上側円環部６１の上端よりも高い位置に位置することが考えられる。つまり、比較例のカップ構成に比べても、上記したように角型環状壁３１の切り欠き４７が必要時に塞がれる構成は、現像装置１の高さを低減させることができ、好ましい。

なお、上記した第１接続部及び第２接続部のうちの両方を切り欠き３７を通過させる（即ち切り欠き３７を塞ぐ）ように設けて、第１昇降部５３と下側円環部５１とを接続すると共に、第２昇降部６３と上側円環部６１とを接続することが好ましい。ただし、第１接続部及び第２接続部のうちの一方のみを、切り欠き３７を通過させず角型環状壁３１の上側を通過させるなどして接続を行ってもよい。即ち、第１接続部及び第２接続部のうちの他方のみの接続部によって切り欠き３７の開閉がなされる構成としてもよい。ただし装置の高さを低減させる上で、上記したように、第１接続部及び第２接続部の両方で切り欠き３７を塞ぐ方が有利である。

続いて、処理部２ＡにおけるウエハＷの処理について、順を追って説明する。先ず、現像液ノズル７５、８４のうち共用現像液ノズル８５を用いた処理が行われるとして説明する。処理部２Ａにおいて、カップ３が図３～図５で説明した第１状態となっており、現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６、共用現像液ノズル８５が、左側待機部７７、右側待機部７８、共用待機部８７で夫々待機しているものとする。

搬送機構によりウエハＷが処理部２Ａのスピンチャック２１上に搬送され、ピン２４が昇降して、ウエハＷがスピンチャック２１に吸着されると、共用現像液ノズル８５が共用待機部８７から、カップ３上の左右の一端部に移動する。そして、共用現像液ノズル８５は現像液を吐出しつつ、カップ３上の左右の他端部に向けて移動し、ウエハＷの表面全体に現像液が供給されると、現像液の吐出が停止する。そして、共用現像液ノズル８５が共用待機部８７に向けて戻る。

例えば上記のようにカップ３上へ移動した共用現像液ノズル８５について、現像液の吐出開始前から吐出終了後の期間中における任意のタイミングで、ノズル撮像用カメラ３８及びカップ内撮像用カメラ３９による撮像が行われる。そして、上記したようにこれらのカメラ３８、３９の各々から取得された画像により、ウエハＷの表面及び共用現像液ノズル８５についての異常の有無が判定される。

共用待機部８７に向う共用現像液ノズル８５が右側待機部７８上を通過すると、当該右側待機部７８から洗浄液ノズル７６が上昇してウエハＷの中心部上に移動し、カップ３が図９で説明した第２状態となる。そして、洗浄液ノズル７６が洗浄液を吐出すると共にウエハＷが回転し、洗浄液がウエハＷの周縁部に向けて流れ、ウエハＷ上から現像液が除去される。然る後、洗浄液の吐出が終了する一方、ウエハＷの回転が続けられ洗浄液が振り切られて、ウエハＷが乾燥される。乾燥されたウエハＷはピン２４を介して搬送機構に受け渡され、現像装置１から搬出される。

例えば上記のようにウエハＷ上へ移動した洗浄液ノズル７６について、洗浄液の吐出開始前から吐出終了後の期間中における任意のタイミングで、ノズル撮像用カメラ３８及びカップ内撮像用カメラ３９による撮像が行われる。そして、上記したようにこれらのカメラ３８、３９の各々から取得された画像により、ウエハＷの表面及び洗浄液ノズル８６についての異常の有無が判定される。

なお、上記のように共用現像液ノズル８５に続いて洗浄液ノズル７６を使用するにあたり、ノズル及びアーム同士の干渉を防ぐために、共用待機部８７に戻る共用現像液ノズル８５が、洗浄液ノズル７６が待機する右側待機部７８上を通過するまでは、洗浄液ノズル７６を右側待機部７８から上昇させない。そして、共用現像液ノズル８５が右側待機部７８上を通過した後は、任意のタイミングで洗浄液ノズル７６を上昇させて、ウエハＷ上へと移動させることができる。例えば、共用現像液ノズル８５が共用待機部８７へ向けて下降を開始する前（即ち、共用現像液ノズル８５が共用待機部８７へ収納される前）に洗浄液ノズル７６の上昇を開始させ、処理効率が向上されるようにしてもよい。

共用現像液ノズル８５の代わりに現像液ノズル７５が用いられる場合の動作について、共用現像液ノズル８５が用いられる場合の動作との差異点を中心に述べる。カップ３が第１状態で、現像液ノズル７５が待機部７７から、ウエハＷの左右のうちの一端部上に移動すると、カップ３が図１０で説明した第３状態となる。そして、ウエハＷが回転すると共に、現像液を吐出しながら現像液ノズル７５がウエハＷの左右の他端部側へ向けて移動する。現像液の供給位置がウエハＷの一端部から中心部へと移動し、当該現像液がウエハＷの表面全体に供給されると、現像液ノズル７５からの現像液の吐出と、ウエハＷの回転とが停止する。現像液ノズル７５を用いる場合も、共用現像液ノズル８５を用いる場合と同様、ウエハＷ上に移動した現像液ノズル７５に対して、現像液の吐出開始前から吐出終了後の期間中における任意のタイミングで、ノズル撮像用カメラ３８及びカップ内撮像用カメラ３９による撮像が行われる。そして、異常の有無の判定が行われる。

現像液の供給終了後はカップ３が第１状態に戻り、現像液ノズル７５が待機部７７に戻る一方で、洗浄液ノズル７６を待機部７８からウエハＷの中心部上に移動し、カップ３が図９で説明した第２状態となる。以降は、共用現像液ノズル８５を用いた場合の処理と同様に処理が進行する。なお、現像液ノズル７５については左側待機部７７に戻る際に、洗浄液ノズル７６が待機する右側待機部７８上を通過しないので、洗浄液ノズル７６はカップ３が第１状態に戻った後の任意のタイミングで右側待機部７８から上昇させて、ウエハＷ上へ搬送すればよい。

以上に述べた現像装置１においては、処理部２Ａ、２Ｂの各々において、カップ３の左方、右方に現像液ノズル７５用の待機部７７、洗浄液ノズル７６用の待機部７８が夫々設けられ、現像液ノズル７５用の移動部７１、洗浄液ノズル７６用の移動部７２にガイドレール７３が共用される。そのようにガイドレール７３が共用であることで、現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６は各々ウエハＷの中心部上に位置することができ、既述したようにウエハＷの表面全体に現像液、洗浄液を供給することができる。仮に現像液ノズル７５、洗浄液ノズル７６が待機部７７、７８からウエハＷの中心部上に夫々移動することができるように、移動部７１、７２に対して個別にガイドレール７３を設けたとすると、これらのガイドレール７３が前後に配置されることで、現像装置１が大型化してしまうおそれが有る。つまり現像装置１に関しては、大型化を防止することができる構成となっている。

ところで、既述した例では１つのアーム７４にはノズルが各々１つのみ設けられるが、１つのアーム７４に左右に並ぶように複数のノズルを設けて、そのうちの一つのノズルを選択して使用してもよい。具体的に図１１の平面図を用いて説明すると、この図１１中では、アーム７４にこれまでに説明したノズルの代わりにノズル７９が、そのように左右に並んで設けられるものとしている。

ウエハＷ全体に処理液を供給するには、処理液を吐出するように選択したノズル７９は少なくともウエハＷの中心部上に位置し、当該中心部に処理液を吐出することになる。ガイドレール７３が移動部７１、７２に共用されることで、移動部７１に関しては、当該移動部７１に接続されるアーム７４のノズル７９を待機させるにあたって位置するカップ３の左側から、ウエハＷの中心部を越えた右方へと移動することができる。同様に、移動部７２に関しては、当該移動部７２に接続されるアーム７４のノズル７９を待機させるにあたって位置するカップ３の右側から、ウエハＷの中心部を越えた左方へと移動することができる。そのため、上記のように１つのアーム７４に複数のノズル７９を設けても、選択したノズル７９を支障無くウエハＷの中心部上に位置させて処理を行うことができる。以上のことから、ガイドレール７３が移動部７１、７２に共用される構成は、装置に設けるノズルの数を比較的多くすることができ、それによって多様な処理を行うことができるので、装置としての利便性が高い。

また現像装置１では、処理部２Ａ、２Ｂについて共に、左右方向において処理部２に固有のノズルを待機させる待機部から見て、スピンチャック２１が位置する側とは逆側に、処理部２Ａ、２Ｂで共用の現像液ノズル８５を待機させる共用待機部８７が位置するレイアウトとなっている。このようなレイアウトによって、処理部２ＡのウエハＷ上、処理部２ＢのウエハＷ上の各々に対して、共用待機部８７から共用現像液ノズル８５を移動させるために必要な時間を抑えられるので、スループットの低下を防止することができる。

〔第２の実施形態〕
続いて第２の実施形態に係る現像装置１０１について、図１２を参照して第１の実施形態の現像装置１との差異点を中心に説明する。なお、図中では排気ダクト２８、カップを支持するベース体２６、ノズル撮像用カメラ３８、カップ内撮像用カメラ３９など、筐体１９等の現像装置１と同様に構成される部材のうちの一部については、表示を省略している。従って、この現像装置１０１でも現像装置１と同様の経路で排気がなされ、カメラ３８、３９によって、ノズルの撮像が行われる。現像装置１０１では、ノズルを支持するアームの本数が現像装置１と異なるが、例えばノズル撮像用カメラ３８についてはアーム毎に設けられ、第１の実施形態と同様に各ノズルについての撮像がなされ、異常の有無の判定がなされる。

現像装置１０１では、ウエハＷに対してポジ型現像液及びネガ型レジスト用の現像液（ネガ型現像液）のうちのいずれかを用いて現像処理が行われる。また、現像装置１０１には、共用移動部８１、共用ガイドレール８３、共用アーム８４及び共用現像液ノズル８５が設けられていない。そして、現像装置１０１ではカップ３の代わりにカップ３０が設けられている。現像装置１０１でも現像装置１と同じく、処理部２Ａ、２Ｂは、互いに同様の構成であるため、以降は代表して処理部２Ａについて説明する。移動部７１に接続されるアーム７４、移動部７２に接続されるアーム７４には、第１の実施形態で説明したノズルの代わりに、ポジ型現像液を吐出する現像液ノズル１１５、ネガ型現像液を吐出する現像液ノズル１１６が夫々設けられている。これらの現像液ノズル１１５、１１６は、例えば左右に延びるスリットを夫々吐出口１１５Ａ、１１６Ａとして備えており、回転するウエハＷの周縁部上から中心部上に移動する間に現像液を吐出することで、ウエハＷ表面全体に現像液を供給する。

そして現像装置１０１には、移動部７１、７２、ガイドレール７３、アーム７４と夫々同様に構成された、移動部１２１、１２２、ガイドレール１２３、アーム１２４が設けられている。従って、ガイドレール１２３は移動部１２１、１２２に共用され、移動部１２１、１２２はガイドレール１２３に沿って各々左右への移動が可能であり、接続されたアーム１２４を各々昇降させることができる。ガイドレール１２３は、ガイドレール７３の前方に設けられており、移動部１２１、１２２は、移動部７１、７２の移動領域の前方側を移動する。

移動部１２１に接続されるアーム１２４の先端側には洗浄液ノズル７６が設けられ、移動部１２２に接続されるアーム１２４の先端側には現像液ノズル１２６が設けられている。現像液ノズル１２６は円形の下面と、当該下面の中心に開口した吐出口１２６Ａとを備え、当該下面をウエハＷ表面に近接させつつ、回転するウエハＷの周縁部上から中心部上に移動する間に現像液を吐出することで、ウエハＷ表面全体に現像液を供給する。現像液ノズル１２６から吐出される現像液は例えばポジ型である。

この現像装置１０１では左側待機部７７、右側待機部７８は、現像液ノズル１１５、１１６を夫々待機させるために用いられる。そして、現像装置１０１では左側待機部７７、右側待機部７８と夫々同様の構成の待機部１２７、１２８が設けられている。待機部同士を区別するために、待機部１２７、１２８について外左側待機部１２７、外右側待機部１２８として記載する場合が有る。洗浄液ノズル７６は外左側待機部１２７に、現像液ノズル１２６は外右側待機部１２８に、夫々収納されて待機される。外左側待機部１２７は左側待機部７７の左方に、外右側待機部１２８は右側待機部７８の右方に夫々配置されている。従って、外左側待機部１２７、左側待機部７７、カップ３０、右側待機部７８、外右側待機部１２８の順で左から右側に向けて配列されている。なお、外左側待機部１２７及び外右側待機部１２８についても、左側待機部７７、右側待機部７８について述べた高さと同様の高さに配置され、各ノズルは図３で述べた移動領域Ｒ１を移動し、各ノズルが左右方向に移動するにあたっての高さは重なり合う。

以上の構成により、現像装置１０１では移動部７１、７２、１２１、１２２の各々を利用することでノズルを待機部からウエハＷ上へと搬送して、ポジ型現像液による現像処理、あるいはネガ型現像液による現像処理と、それに続く洗浄処理と、を行うことができる。
なお、ポジ型現像液を使用する場合には、現像液ノズル１１５、１２６のうちのいずれかのノズルが選択されて使用される。そのようにポジ型現像及びネガ型現像のうちの一つを選択して処理を行うにあたり、カップ３０については、カップ３のように高さが変化する代わりに、内部で昇降する部材によってポジ型現像液による処理時と、ネガ型現像液による処理時とで、流路が切り替わる。それによって、ポジ型現像液、ネガ型現像液を異なる経路で排出できるように構成されている。

図１３は、カップ３０の縦断側面図である。カップ３との差異点として、カップ３０は、カップ本体３２と、円環部１３１と、により構成されている。ただし、このカップ本体３２には角型環状壁３１及び液受け部３６が設けられていないことで、平面視円形である。
円環部１３１は、下端にシール用凹部５９が形成されないことを除いて、下側円環部５１と同様の構成である。
カップ本体３２の底壁３５Ｂ上の領域を径方向に３つに区分するように、上方に向けて内側垂直壁１３３、外側垂直壁１３４が、底壁３５Ｂの中心側からこの順で設けられ、内側垂直壁１３３はカップ本体３２の垂直壁３４Ｂの内側に位置し、外側垂直壁１３４は垂直壁３４Ｂと、円環部１３１の胴部５８との間に位置する。３つに区分された底壁３５Ｂのうち、最も内側領域には排気口４３が開口し、最も外側領域にはネガ型現像液用の排液口１３５が開口し、これらの中間の領域にはポジ型現像液用の排液口１３６が開口している。

図示しない昇降機構により、円環部１３１はカップ本体３２に対して昇降する。ポジ型現像液で処理を行う際には、円環部１３１が図中に実線で示す上方位置に移動し、その内周面でウエハＷから飛散するポジ型現像液を受け止め、当該ポジ型現像液は排液口１３６へとガイドされる。ネガ型現像液で処理を行う際には、円環部１３１が図中に鎖線で示す下方位置に移動し、カップ本体３２の外壁３５Ｃによって飛散するネガ型現像液が受け止められ、当該ネガ型現像液は排液口１３５へとガイドされる。

ところで、第１の実施形態及び第２の実施形態でアーム７４、１２４、共用アーム８４に設けられるノズルについて、形状や吐出する処理液の種類は適宜変更可能である。従って、既述した例に対してノズルの配置を入れ替えてもよいし、任意の処理液について、その処理液が吐出されるとして説明した形状とは異なる形状のノズルから吐出されるようにしてもよい。従って第１の実施形態において、既述した例ではガイドレール７３を共用する移動部７１、７２について接続されるノズル７５、７６について、互いに異なる処理液（現像液、洗浄液）を吐出する構成であるが、例えば共に現像液を吐出する構成とし、処理部２Ａ、２Ｂで共用のノズル８５からは洗浄液を吐出するようにすることで、各処理部２Ａ、２ＢでウエハＷに異なる種類の処理液が供給されるものとしてもよい。つまり、ガイドレール７３を共用する各移動部に接続されるノズルからは、同じ処理液が吐出されつつ、同じ処理部内で異なる処理液がウエハＷに供給される構成とすることもできる。

そして、これまでに述べたように第１の実施形態の現像装置１、第２の実施形態の現像装置１０１は、１つのカップ３に対して３つあるいは４つのアーム及び４つの移動部を利用して、所望のノズルを搬送可能である。また、図１１で説明したように、ノズルとしてはアームに１つのみ設けることに限られない。従って、多種多様な処理を行うことができるため、利便性が高い。上記したように現像装置１、１０１は、比較的高さが小さい領域に複数段設けることができる。そのように複数段に設けた現像装置１、１０１をまとめて一つの装置として見た場合、多種多様な処理を、高いスループットをもって行うことができることになる。

なお、後でも述べるように現像装置１、１０１は、現像処理を行う構成とすることに限られない。実施する処理によっては、異なるアームに接続される一のノズル、他のノズルを共にカップ３上へと移動させて処理を行うことが必要な場合が発生することが考えられる。その場合は、一のノズルは当該一のノズルをカップ３の左側の待機部に待機させるように設けられるアームに、当該他のノズルをカップ３の右側の待機部に待機させるように設けられるアームに夫々接続すればよい。そして、一のノズルを待機部から右方へ、他のノズルを待機部から左方へ移動させることで、ウエハＷ上に各々配置すればよい。つまり、図３で説明したように、各ノズルは各々移動領域Ｒ１を移動し、移動する高さは重なることになるが、各ノズルを設けるアームを適切に選択することで、ウエハＷ上へ順番に配置するのみならず、同時にウエハＷ上に搬送することができる。

ところで第１の実施形態では、共用ガイドレール８３に接続されて、当該共用ガイドレール８３によって移動する移動部は、移動部（共用移動部）８１の１つであるが、複数設けられていてもよい。例えば、移動部８１の他に移動部８２が設けられ、この移動部８２についても移動部８１と同様、アーム８４を介してノズルが接続されているものとする。そして、このノズルをノズル８９とすると、ノズル８９を待機させる待機部８８を処理部２Ａのカップ３と処理部２Ｂのカップ３との間に設け、移動部８１に接続されるノズル８５の待機部８７、移動部８２に接続されるノズル８９の待機部８８が、カップ３間にて左右に並んで配置されるようにする。このようにすることで、処理部２Ａまたは２ＢのウエハＷについて、ノズル８５、８９、７６、７７を用いて処理が可能とされる。以上のように、処理部２Ａ、２Ｂで共用となるガイドレール８３についても、１つのみの移動部のガイドに用いられる構成とされることに限られず、複数の移動部に共用される構成とすることで、装置の利便性をより高くすることができる。

装置で使用される処理液として現像液及び洗浄液を例示したが、これらの液には限られない。例えばレジスト、絶縁膜形成用の薬液、反射防止膜形成用の薬液などの塗布膜形成用の塗布液を用いてもよいし、複数のウエハＷを貼り合わせるための接着剤を用いてもよい。従って本技術の液処理装置は、現像装置に限られるものではない。

また、処理部については２つ設けられる例を示したが、３つ以上左右に並んで設けられていてもよい。第１の実施形態では、２つの処理部２Ａ、２Ｂに移動部８１、アーム８４、現像液ノズル８５が共用されるものとしたが、３つ以上の処理部が設けられた場合には、その３つ以上の処理部に、これらが共用されるようにすることができる。そして、排気ダクト２８については、各カップ３あるいは各カップ３０の下方のベース体２６に接続されるように、各カップ３の後方側にて左右に伸長する構成とすればよい。また、カップの構成についてカップ３、３０を例示したが、カップの構成は任意であり、装置にて行う処理に応じて適宜選択すればよい。なお、カップ３において、既述したカップ本体３２に対して下側円環部５１及び上側円環部６１の各々が昇降する構成とすることには限られない。カップ本体３２、下側円環部５１及び上側円環部６１のうちの任意の一つに対して、他の２つが昇降する構成であればよい。さらに、処理対象の基板としてはウエハＷであることに限られず、例えばフラットパネルディスプレイ製造用の基板であってもよい。

今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲及びその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更及び組み合わせがなされてもよい。

Ｗ ウエハＷ
２Ａ、２Ｂ 処理部
２１ スピンチャック
３ カップ
７３ ガイドレール
７５ 現像液ノズル
７６ 洗浄液ノズル
７７ 左側待機部
７８ 右側待機部

Claims (9)

1. 基板が載置される載置部と、
   前記載置部及び当該載置部に載置された前記基板を囲むカップと、
   前記基板に第１処理液、第２処理液を夫々供給する第１処理ノズル、第２処理ノズルと、
   前記カップに対する左右の一方で前記第１処理ノズルを待機させる第１待機部と、
   前記カップに対する左右の他方で前記第２処理ノズルを待機させる第２待機部と、
   前記第１処理ノズルを前記第１待機部と、前記基板上の第１処理位置との間で移動させる第１移動部と、
   前記第２処理ノズルを前記第２待機部と、前記基板上の第２処理位置との間で移動させる第２移動部と、
   前記第１移動部及び前記第２移動部に共用され、当該第１移動部、当該第２移動部を各々左右に移動させるためのガイドと、
   を各々備え、左右に並んで複数設けられる処理部を備える液処理装置。
2. 前記第１処理液、前記第２処理液は、互いに異なる種類の処理液である請求項１記載の液処理装置。
3. 前記複数の処理部の各々において前記ガイドは前記カップの前方側に設けられ、且つ前記第１移動部及び前記第２移動部は、前記カップに対する前方側を左右に移動し、
   前記複数の処理部のうちの一の処理部における前記基板に、第３処理液を供給する第３処理ノズルと、
   前記一の処理部における前記第１待機部または前記第２待機部に対して左右の前記載置部が位置する側とは反対側に設けられる、前記第３処理ノズルを待機させる第３待機部と、
   前記一の処理部のカップの前方側を左右に移動し、前記第３処理ノズルを前記第３待機部と、前記基板上の第３処理位置との間で移動させる第３移動部と、
   を備える１記載の液処理装置。
4. 前記第３処理ノズルは、前記一の処理部と前記複数の処理部のうちの他の処理部とに共用され、
   前記第３待機部は、前記一の処理部と前記他の処理部との間に設けられ、
   前記第３移動部は、前記一の処理部の前記カップに対する前方側と前記他の処理部のカップに対する前方側との間を左右に移動する請求項３記載の液処理装置。
5. 前記複数のカップ内を各々排気するために、当該複数の前記カップのうち、左右の一端におけるカップの後方から左右の他端におけるカップの後方に跨がる排気路を形成する排気路形成部材が設けられ、
   前記排気路の下流側が、当該複数のカップに共通の排気路である請求項１ないし４のいずれか一つに記載の液処理装置。
6. 各処理部における前記第１処理ノズル及び前記第２処理ノズルの各々について、互いに交差する方向から撮像する第１撮像部及び第２撮像部を備える請求項１ないし４のいずれか一つに記載の液処理装置。
7. 前記載置部に載置される前記基板を平面視で各々囲む第１環状体と、前記第１環状体の上側に重なる第２環状体と、が設けられ、
   前記第１環状体、前記第２環状体の夫々を前記カップに対して相対的に昇降させる第１昇降機構、第２昇降機構が設けられ、
   前記第２昇降機構は、前記第１昇降機構によって前記第１環状体と共に昇降する請求項１ないし４のいずれか一つに記載の液処理装置。
8. 平面視で前記第１環状体及び前記第２環状体を囲むと共に、切り欠きが形成された第３環状体が設けられ、
   前記第１昇降機構は、前記第３環状体の外側で相対的に昇降する第１昇降部を備え、
   前記第２昇降機構は、第３環状体の外側で前記第１昇降部に対して相対的に昇降する第２昇降部を備え、
   前記第１昇降部と前記第１環状体とを接続する第１接続部と、
   前記第２昇降部と前記第２環状体とを接続する第２接続部と、が設けられ、
   前記第１昇降部の昇降により、前記第１接続部及び前記第２接続部のうちの少なくとも一方によって前記切り欠きが閉じられた状態と、前記切り欠きが開かれた状態とが切り替わる請求項７記載の液処理装置。
9. 基板が載置される載置部と、
   前記載置部及び当該載置部に載置された前記基板を囲むカップと、
   前記基板に第１処理液、第２処理液を夫々供給する第１処理ノズル、第２処理ノズルと、
   前記カップに対する左右の一方で前記第１処理ノズルを待機させる第１待機部と、
   前記カップに対する左右の他方で前記第２処理ノズルを待機させる第２待機部と、
   前記第１処理ノズルを前記第１待機部と、前記基板上の第１処理位置との間で移動させる第１移動部と、
   前記第２処理ノズルを前記第２待機部と、前記基板上の第２処理位置との間で移動させる第２移動部と、
   前記第１移動部及び前記第２移動部に共用され、当該第１移動部、当該第２移動部を各々左右に移動させるためのガイドと、
   を各々備え、左右に並んで複数設けられる処理部を備える液処理装置を用いた液処理方法において、
   前記各処理部において、前記第１待機部と前記第１処理位置との間、前記第２待機部と前記第２処理位置との間で、前記第１処理ノズル、前記第２処理ノズルを夫々移動させる工程と、
   前記各処理部において、前記第１処理ノズル、第２処理ノズルから夫々前記第１処理液、前記第２処理液を前記基板に供給して当該基板を処理する工程と、
   を備える液処理方法。

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