CN220691257U - 液处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及液处理装置。在对基板进行液处理时便利性较高。液处理装置具备左右排列地设有多个的处理部，处理部各自具备：载置部，其供基板载置；杯，其包围载置部和载置于载置部的基板；第1处理喷嘴、第2处理喷嘴，其分别向基板供给第1处理液、第2处理液；第1待机部，其使第1处理喷嘴在相对于杯的左右的一侧待机；第2待机部，其使第2处理喷嘴在相对于杯的左右的另一侧待机；第1移动部，其使第1处理喷嘴在第1待机部和基板上的第1处理位置之间移动；第2移动部，其使第2处理喷嘴在第2待机部和基板上的第2处理位置之间移动；引导件，其共用于第1移动部和第2移动部，用于使第1移动部、第2移动部各自左右移动。

Description

液处理装置

技术领域

本申请涉及液处理装置。

背景技术

在半导体器件的制造工序中，对半导体晶圆(以下，记载为晶圆)供给各种的处理液而进行处理。在专利文献1中示出了以下装置：对在左右排列的杯内分别收纳的晶圆分别供给显影液作为处理液。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－15385号公报

实用新型内容

实用新型要解决的问题

本申请提供在对基板进行液处理时便利性较高的装置。

用于解决问题的方案

本申请的液处理装置具备左右排列地设有多个的处理部，该处理部各自具备：载置部，其供基板载置；杯，其包围所述载置部和载置于该载置部的所述基板；第1处理喷嘴、第2处理喷嘴，其分别向所述基板供给第1处理液、第2处理液；第1待机部，其使所述第1处理喷嘴在相对于所述杯的左右的一侧待机；第2待机部，其使所述第2处理喷嘴在相对于所述杯的左右的另一侧待机；第1移动部，其使所述第1处理喷嘴在所述第1待机部和所述基板上的第1处理位置之间移动；第2移动部，其使所述第2处理喷嘴在所述第2待机部和所述基板上的第2处理位置之间移动；以及引导件，其共用于所述第1移动部和所述第2移动部，用于使该第1移动部、该第2移动部各自左右移动。

也可以是，所述第1处理液、所述第2处理液是彼此不同的种类的处理液。

也可以是，在所述多个处理部的各个处理部中，所述引导件设于所述杯的前方侧，且所述第1移动部和所述第2移动部在相对于所述杯的前方侧左右移动，该液处理装置具备：第3处理喷嘴，其向所述多个处理部中的一处理部的所述基板供给第3处理液；第3待机部，其相对于所述一处理部的所述第1待机部或所述第2待机部设于与左右的所述载置部所位于的那侧相反的一侧，使所述第3处理喷嘴待机；以及第3移动部，其在所述一处理部的杯的前方侧左右移动，使所述第3处理喷嘴在所述第3待机部和所述基板上的第3处理位置之间移动。

也可以是，所述第3处理喷嘴共用于所述一处理部和所述多个处理部中的其他处理部，所述第3待机部设于所述一处理部和所述其他处理部之间，所述第3移动部在相对于所述一处理部的所述杯的前方侧和相对于所述其他处理部的杯的前方侧之间左右移动。

也可以是，为了使所述多个杯内分别进行排气，该液处理装置设有形成排气路径的排气路径形成构件，该排气路径从该多个所述杯中的左右的一端处的杯的后方跨越到左右的另一端处的杯的后方，所述排气路径的靠下游侧的部位是共用于该多个杯的排气路径。

也可以是，该液处理装置具备针对各处理部的所述第1处理喷嘴和所述第2处理喷嘴均从互相交叉的方向进行拍摄的第1摄像部和第2摄像部。

也可以是，该液处理装置设有在俯视时分别包围载置于所述载置部的所述基板的第1环状体和在所述第1环状体的上侧重叠的第2环状体，所述液处理装置设有使所述第1环状体、所述第2环状体分别相对于所述杯相对地升降的第1升降机构、第2升降机构，所述第2升降机构利用所述第1升降机构与所述第1环状体一起升降。

也可以是，该液处理装置设有在俯视时包围所述第1环状体和所述第2环状体并且形成有缺口的第3环状体，所述第1升降机构具备在所述第3环状体的外侧相对地升降的第1升降部，所述第2升降机构具备在第3环状体的外侧相对于所述第1升降部相对地升降的第2升降部，该液处理装置设有：第1连接部，其将所述第1升降部和所述第1环状体连接；以及第2连接部，其将所述第2升降部和所述第2环状体连接，利用所述第1升降部的升降，在由所述第1连接部和所述第2连接部中的至少一者封闭所述缺口的状态和打开所述缺口的状态之间切换。

实用新型的效果

本申请能够提供在对基板进行液处理时便利性较高的装置。

附图说明

图1是本申请的第1实施方式的显影装置的俯视图。

图2是所述显影装置的概略侧视图。

图3是设于所述显影装置的杯的纵剖主视图。

图4是所述杯的纵剖侧视图。

图5是所述杯的上部侧的立体图。

图6是表示使所述杯进行排气的排气路径的概略俯视图。

图7是针对设于所述处理部的喷嘴获取的图像的示意图。

图8是针对所述处理部获取的图像的示意图。

图9是所述杯的纵剖侧视图。

图10是所述杯的纵剖侧视图。

图11是用于表示所述显影装置的效果的说明图。

图12是本申请的第2实施方式的显影装置的俯视图。

图13是设于所述第2实施方式的显影装置的杯的纵剖侧视图。

具体实施方式

〔第1实施方式〕

对于本申请的第1实施方式的显影装置1，参照图1的俯视图和图2的概略侧视图，首先说明其概要。利用未图示的输送机构向显影装置1输送作为圆形的基板的晶圆W。在该晶圆W的表面形成有沿着规定的图案曝光了的抗蚀膜。该抗蚀膜例如由正型的抗蚀剂构成，显影装置1进行向晶圆W的表面供给正型抗蚀剂用的显影液(正型显影液)的抗蚀膜的显影处理和向晶圆W的表面供给清洗液的显影处理后的清洗处理。通过从显影用的喷嘴(显影液喷嘴)、清洗用的喷嘴(清洗液喷嘴)分别喷出显影液、清洗液作为处理液，从而进行这些处理。

显影装置1具备两个分别收纳并处理晶圆W的杯3，能够在每个杯3单独地处理晶圆W。在杯3的外侧设有用于使上述的各喷嘴在非使用时待机的待机部。喷嘴利用与该喷嘴连接的移动部在收纳于杯3的晶圆W的上方喷出处理液的位置(处理位置)和待机部之间移动。在显影装置1中，设有在两个杯3之间共用的移动部和针对杯3专用的移动部，专用的两个移动部在每个杯各设有两个。因而，能够针对一个杯3使用三个移动部，使喷嘴移动而进行处理。

只要能够对各杯3内的晶圆W进行显影液和清洗液的供给即可，关于与各移动部连接的喷嘴，所喷出的处理液的种类、形状是任意的。在图1说明的例子中，在一个杯3所使用的三个移动部中的、专用的一个移动部连接有清洗用的喷嘴，在专用的另一个移动部和共用的移动部连接有不同形状的显影用的喷嘴。也就是说，针对一个杯3设置有两种形状的显影用的喷嘴，能够选择其中的一者进行显影处理。

以下，详细地对显影装置1进行说明。显影装置1具备壳体19、排气管道28、两个处理部2、在两个处理部2之间共用的移动部81、显影液喷嘴75、85以及清洗液喷嘴76，杯3和针对该杯3专用的移动部71、72包含在处理部2内。另外，对于各个显影液喷嘴75、85、清洗液喷嘴76，有时简记为喷嘴75、85、76。

壳体19形成为方形，是俯视时长边在左右方向上延伸的矩形形状。在壳体19的后方侧的侧壁，左右分离地形成有用于送入送出晶圆W的输送口18，在壳体19的外部设置的输送机构(未图示)经由各输送口18进入壳体19内，相对于壳体19内的处理部2进行晶圆W的交接。另外，对于以后的说明中的左侧、右侧，只要没有特别记载，均为从前方观察后方的情况下的左侧、右侧。将前后方向、左右方向在图中分别表示为X方向、Y方向。此外，将与X方向、Y方向分别正交的铅垂方向(垂直方向)表示为Z方向。X、Y、Z方向互相正交。

两个处理部2在壳体19内彼此左右分离地设置，除了具备上述的杯3等以外，还具备构成载置晶圆W的载置部的旋转保持盘21等。两个处理部2彼此同样地构成，有时将左侧的处理部2记载为2A，将右侧的处理部2记载为2B。处理部2A、2B分别是一处理部、另一处理部。另外，对于各个处理部2A、2B所包含的杯3等各构成构件，由于处理部2A、2B同样地构成，因此，在处理部2A、2B之间，相同的构成构件左右排列，且彼此位于相同的高度。

之后，也参照图3的纵剖主视图、图4的纵剖侧视图，代表性地对处理部2A、2B中的处理部2A进行说明。上述的旋转保持盘21是圆形，配置在输送口18的前方，以能够进行与输送机构的交接。晶圆W的下表面的中心部载置在旋转保持盘21上，旋转保持盘21真空吸附该下表面中心部。由此，晶圆W被水平地保持在旋转保持盘21上。旋转保持盘21支承于垂直地延伸的轴22的上端。轴22的下端侧与旋转机构23连接，利用旋转机构23使旋转保持盘21与所保持的晶圆W一起绕铅垂轴线旋转。

杯3以包围保持在旋转保持盘21的晶圆W的侧周的方式设置。因而，旋转保持盘21设于杯3内。使杯3的内部进行排气，防止向晶圆W供给的处理液的液滴、雾沫向杯3的外侧飞散。也参照图5的杯3的上部侧的立体图进行说明，杯3具备形成有方形环状壁31的杯主体32、下侧圆环部51以及上侧圆环部61。在俯视时方形环状壁31、下侧圆环部51以及上侧圆环部61包围吸附于旋转保持盘21的晶圆W。此外，上侧圆环部61自上侧与下侧圆环部51重叠，在俯视时作为第3环状体的方形环状壁31包围作为第1环状体的下侧圆环部51和作为第2环状体的上侧圆环部61。另外，在图5中，为了示出下侧圆环部51，出于图示的方便，去掉上侧圆环部61的圆周的局部地进行表示。

下侧圆环部51和上侧圆环部61均能够相对于方形环状壁31升降，利用该升降，杯3能够在彼此高度不同的第1状态、第2状态以及第3状态之间切换。第1状态最低，第3状态最高。进行第1～第3状态之间的切换，以使所使用的喷嘴以及晶圆W的输送机构不与杯3干扰，且根据对晶圆W进行的处理(即根据所使用的喷嘴)，将杯3向晶圆W的上方侧延伸的高度设为防止雾沫和液滴向杯3外流出的适合的高度。

之后，更具体地对杯3进行说明。构成杯3的杯主体32除了具备方形环状壁31以外，还具备下壁部33、引导部34以及环状凹部35(参照图3、图4)。下壁部33以包围轴22的方式形成为圆环状，该下壁部33的上部侧的周缘向外侧伸出，形成为引导部34。引导部34以从下壁部33朝向外侧的方式向斜下方伸出，包括上表面构成倾斜面的倾斜壁34A和从倾斜壁34A的周端向铅垂下方延伸的圆筒状的垂直壁34B。引导部34具有使附着的液滴向开设在后述的划分壁41的排液口46流下的作用。

下壁部33的周缘部的下部侧向垂直下方伸出而形成圆筒状的内壁35A，内壁35A的下端朝向杯主体32的外侧扩展而形成圆环状的底壁35B，底壁35B的周缘朝向上方去而构成为圆筒状的外壁35C。利用这些内壁35A、底壁35B、外壁35C，形成环状凹部35。外壁35C的上部侧向内侧鼓起，该鼓起部分的内端向下方突出，形成为圆环状的密封用突起35D。

并且，外壁35C的上端位于比下壁部33靠上方的位置，其圆周的局部朝向外侧扩展而构成为外形在俯视时呈正方形的液接收部36(参照图1、图5)，该液接收部36的周端朝向铅垂上方延伸，从而形成上述的方形环状壁31。各部分如以上这样构成，因此，被外壁35C的上端包围的区域和被下壁部33包围的区域形成杯主体32的开口。

构成俯视时呈正方形的方形环状壁31的一边和与该一边相邻的另一边分别沿着前后方向(X方向)、左右方向(Y方向)形成，在俯视时的方形环状壁31的前方侧且右侧的角部形成有缺口37。因而，该缺口37跨越构成俯视时的方形环状壁31的外形的四个边中的两个边地形成。有时彼此区分地将该缺口37中的沿着前后方向延伸的部位记载为37A，将沿着左右方向延伸的部位记载为37B。

对外壁35C的下部侧进行叙述，在外壁35C的内周面，在比设有密封用突起35D的位置靠下方侧的位置，形成朝向杯3的内侧突出并划分杯3内的上下的空间的划分壁41。划分壁41在到达内壁35A的中途以朝向上方的方式弯曲，该划分壁41的上端与设于内壁35A的圆周面的凸缘42相接。在该凸缘42的周向上空开间隔地形成有朝向上方的排气口43，在比引导部34的垂直壁34B的下端靠上方的位置开口，以防止处理液的流入。被划分壁41和环状凹部35的底壁35B包围而形成有排气空间44，该排气空间44如后述那样成为负压，从而进行自排气口43的排气。此外，在划分壁41的周缘部侧开设有排液口46，流入该排液口46的处理液经由与该排液口46连接的流路形成部47向杯3外流动而被去除。

在杯主体32的外侧设有复合升降机构5(参照图4、图5)。该复合升降机构5具备第1基部52、第1升降部53、第2基部62以及第2升降部63，第1基部52相对于杯主体32位置固定。第1升降部53在第1基部52上相对于该基部52沿铅垂方向升降自如地设置。第1升降部53和第1基部52相当于第1升降机构。

并且，由第2基部62和第2升降部63构成第2升降机构，这些第2基部62和第2升降部63在第1升降部53设于例如左侧。并且，第2升降部63位于第2基部62的后方侧，第2基部62固定地设于第1升降部53，另一方面，第2升降部63能够相对于该第1升降部53沿铅垂方向升降。以下详细地进行叙述，第1升降部53与下侧圆环部51连接，从而该第1升降部53与下侧圆环部51一起升降，第2升降部63与上侧圆环部61连接，从而该第2升降部63与上侧圆环部61一起升降。另外，以下也继续使用图3～图5进行说明，在该说明中，第1升降部53和第2升降部63设为位于各自的升降范围中的下方位置的状态。在该状态下，下侧圆环部51和上侧圆环部61位于各自的升降范围中的下方位置，从而成为上述的第1状态，因此，该利用图3～图5进行的说明是第1状态的说明。

第1升降部53的左端部和第2升降部63分别从方形环状壁31的外侧与缺口37B相对。并且，两个外侧支承臂54从第1升降部53的左端部经由缺口37B向方形环状壁31的内侧延伸，其中一者去向左方，另一者去向后方。去向后方的外侧支承臂54在与方形环状壁31抵接时朝向左侧弯曲。通过这样伸长，从而两个外侧支承臂54沿着方形环状壁31形成。朝向后方延伸的外侧支承臂54的基端部比其他部位高，形成为面向缺口37A的高部54A。并且，在外侧支承臂54，彼此分离地设有三个向下方延伸的第1支承部55，相对于杯主体32的中心分别位于前方、后方、右方。利用这些第1支承部55支承下侧圆环部51。

下侧圆环部51具备随着朝向上方去而直径缩小从而上表面构成倾斜面的倾斜壁57和从倾斜壁57的下端沿铅垂方向延伸的主体部58，倾斜壁57、主体部58分别构成为圆筒状。倾斜壁57的上表面的周端在彼此分离的位置与上述的第1支承部55连接，从而下侧圆环部51支承于外侧支承臂54。主体部58的下端部向外侧弯折，形成有构成圆环的密封用凹部59。对下侧圆环部51和杯主体32之间的位置关系进行叙述，下侧圆环部51的倾斜壁57位于比倾斜壁34A稍微靠上方的位置，倾斜壁57的内周缘位于倾斜壁34A上。主体部58位于杯主体32的垂直壁34B和外壁35C之间，且与这些各壁分离。密封用凹部59位于比密封用突起35D靠下方的位置。

接下来，详细地对第2升降部63进行叙述，第2升降部63的后方侧形成经由缺口37B向方形环状壁31内稍微突出而在外侧支承臂54上经过的突出部60。该突出部60的右端向后方延伸，左端向左方延伸而分别形成内侧支承臂64。去向后方的内侧支承臂64在与外侧支承臂54抵接时朝向左侧弯曲。通过这样伸长，从而两个内侧支承臂64相对于外侧支承臂54位于靠近杯主体32的中心的位置，并且沿着外侧支承臂54的伸长方向、即沿着方形环状壁31形成。

各内侧支承臂64的基端部比其他部位高，分别形成与缺口37A、37B相对的高部64A、64B，在方形环状壁31的角部，高部64A、64B彼此互相连接。因而，缺口37A通过内侧支承臂64的高部64A、外侧支承臂54的高部54A彼此重叠而被封堵，缺口37B通过第2升降部63的突出部60和内侧支承臂64的高部64B重叠而被封堵。进一步说，通过将封堵(封闭)缺口37的各部(高部64A、64B、54A和突出部60)与方形环状壁31合起来观察，从而以没有缺口的方式形成环，在俯视时包围下侧圆环部51和上侧圆环部61的整周。

封堵(封闭)上述的缺口37的部分也称为用于使下侧圆环部51或上侧圆环部61升降的升降用构件。也就是说，具有缺口的方形环状壁31和使在其内侧设置的构件(下侧圆环部51和上侧圆环部61)升降的升降用构件通过如上述那样形成环，从而形成承接在该环的内侧产生的雾沫、液滴并防止其向外侧流出的环状液接收部。此外，作为本实施方式的一个例子，该环状液接收部位于比作为载置部的旋转保持盘21高的位置，成为杯3中位于最高位置的液接收部。

在内侧支承臂64彼此分离地设有三个向下方延伸的第2支承部65，相对于杯主体32的中心分别位于前方、后方、右方。利用这些第2支承部65支承上侧圆环部61。上侧圆环部61形成为随着朝向上方去而直径缩小从而上表面构成倾斜面的圆筒状。该上表面的周端在彼此分离的位置与上述的第2支承部65连接。上侧圆环部61的周缘的局部形成缺口，上述的第1支承部55经由该缺口与下侧圆环部51连接。

上侧圆环部61位于比下侧圆环部51稍微靠上方的位置。在俯视时上侧圆环部61的内周缘和下侧圆环部51的内周缘彼此重叠。进一步详细地叙述，上侧圆环部61的内周缘和下侧圆环部51的内周缘在杯主体32的倾斜壁34A之上分别位于比方形环状壁31的上端靠下方的位置。此外，上侧圆环部61的下端位于下侧圆环部51的倾斜壁57的下部侧的上方。

另外，参照图4对杯主体32进行补充说明。垂直的三个销24贯穿杯主体32的下壁部33，并且在俯视时设于旋转保持盘21的周围，该销24利用升降机构25升降自如。利用该销24的升降，在上述的输送机构和旋转保持盘21之间进行晶圆W的交接。并且，杯主体32被支承在圆形的基座体26上，杯主体32的下部的侧周和基座体26的侧周互相对齐。在该基座体26设有排气路径27，该排气路径27经由连通路径与杯主体32的排气空间44连接。利用自随后详细叙述的排气管道28的排气，使排气路径27和排气空间44成为负压。

接下来，对作为第1移动部的移动部71和作为第2移动部的移动部72进行说明。设置导轨73作为在杯3的前方沿左右水平地延伸的引导构件，在该导轨73连接有移动部71、72。移动部71、72能够沿着导轨73的延伸方向在杯3的前方侧左右移动。各个臂74从移动部71、72朝向后方延伸。各臂74利用移动部71、72中的作为延伸起点的移动部升降自如。在从移动部71延伸的臂74的顶端侧设置有显影液喷嘴75，在从移动部72延伸的臂74的顶端侧设置有清洗液喷嘴76。

显影液喷嘴75具备前后排列有多个的喷出孔75A，各喷出孔75A例如倾斜地穿孔，能够向左斜下方喷出显影液。清洗液喷嘴76向铅垂下方喷出清洗液。在相对于杯3的左方、右方设有左侧待机部77、右侧待机部78，左侧待机部77、右侧待机部78形成为上方开放的箱状，利用升降动作使喷嘴相对于该箱内的空间送入、送出，使送入的喷嘴待机。

作为第1待机部的左侧待机部77用于作为第1喷嘴的显影液喷嘴75的待机，作为第2待机部的右侧待机部78用于作为第2喷嘴的清洗液喷嘴76的待机。另外，这些左侧待机部77、右侧待机部78有时简称为待机部77、78。作为移动部71、72的引导件，导轨73共用于该移动部71、72，从而显影液喷嘴75能够从左侧待机部77内向杯3的右端部上方移动，清洗液喷嘴76能够从右侧待机部78内向杯3的左端部上方移动。另外，从显影液喷嘴75喷出的显影液为第1处理液，从清洗液喷嘴76喷出的清洗液为第2处理液，因而，第1处理液、第2处理液的种类不同。另外，在本说明书中，设为只要结构成分不同，处理液的种类就不同。因而，用于各个显影处理的正型显影液、负型显影液也是彼此种类不同的处理液。

如以上所述，导轨73设为共用于移动部71、72。并且，导轨73的相同部位被移动部71、72在不同的时刻使用。具体地说，在对晶圆W进行处理时，显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76分别在晶圆W的中心部上移动。如此，在使显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76分别在晶圆W的中心部上移动时，移动部71、72分别向导轨73的长度方向上的中心部移动，因此，该中心部在不同的时刻用于这些移动部71、72的引导。

接下来，对在处理部2A、2B共用的移动部81进行说明。在处理部2A、2B的导轨73的前方侧设有导轨83，导轨83沿左右水平地延伸，从处理部2A的杯3的左端部前方形成至处理部2B的杯3的右端部前方。在导轨83连接有作为第3移动部的移动部81，该移动部81能够沿着导轨83的延伸方向在移动部71、72的各移动区域的前方侧左右移动。因而，移动部81在相对于处理部2A的杯3的前方侧和相对于处理部2B的杯3的前方侧之间左右移动。

臂84从移动部81朝向后方延伸，该臂84利用移动部81升降自如。在臂84的顶端侧设有显影液喷嘴85。作为第3处理喷嘴的显影液喷嘴85具备在前后方向上纵长的狭缝状的喷出口85A，能够向铅垂下方喷出显影液作为第3处理液。

在处理部2A的右侧待机部78和处理部2B的左侧待机部77之间设有待机部87。因而，若观察处理部2A，则在左右方向上，相对于右侧待机部78在与设有旋转保持盘21那侧相反的一侧设置待机部87，若观察处理部2B，则在左右方向上，相对于左侧待机部77在与设有旋转保持盘21那侧相反的一侧设置待机部87。待机部87除了构成为能够收纳显影液喷嘴85的大小以外，是与左侧待机部77以及右侧待机部78同样的结构。显影液喷嘴85能够分别从待机部87内向处理部2A的杯3的左端部上方移动，从待机部87内向处理部2B的杯3的右端部上方移动。另外，对于移动部81、导轨83、臂84、显影液喷嘴85、待机部87，有时记载为共用移动部81、共用导轨83、共用臂84、共用显影液喷嘴85、共用待机部87，以与处理部2A或2B中特有的移动部、臂、显影液喷嘴、待机部区分。

至此所述的显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76、共用显影液喷嘴85设置于臂，以能够通过左右移动向晶圆W的从周缘部至中心部的区域分别供给处理液。此外，显影液喷嘴75以及共用显影液喷嘴85与显影液的供给源连接，清洗液喷嘴76与清洗液的供给源连接，并从各供给源进行显影液或清洗液的供给、断开，但省略该各供给源的图示。

并且，显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76、共用显影液喷嘴85在不使用的情况下分别收纳于左侧待机部77、右侧待机部78、共用待机部87。并且，显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76、共用显影液喷嘴85分别在从所收纳的待机部上升之后，在左右方向上移动而向杯3上移动，下降而向晶圆W上的处理位置移动来使用。另外，处理位置距晶圆W的高度根据喷嘴而不同。如上所述，在杯3上和待机部之间的移动中，显影液喷嘴75在左右方向上移动的高度、清洗液喷嘴76在左右方向上移动的高度、共用显影液喷嘴85在左右方向上移动的高度互相重叠。也就是说，规定的高度是喷嘴75、76、86各自移动的高度。将这些各喷嘴在左右方向上移动的高度在图3中统一表示为移动区域R1。

此外，待机部77、78、87的各上端位于比各喷嘴75、76、85在待机部和杯上之间沿左右方向移动时的杯3的上端(方形环状壁31的上端)低的位置。这样的待机部77、78、87的配置有助于防止在如上所述那样喷嘴沿左右方向移动时该移动的喷嘴与待机状态的喷嘴以及支承该待机状态的喷嘴的臂干扰。具体举例的话，共用显影液喷嘴85在处理部2A、2B的杯3上移动时，能够不与在处理部2A的右侧待机部78待机的清洗液喷嘴76、在处理部2B的左侧待机部77待机的显影液喷嘴75以及支承这些喷嘴的臂74干扰地移动。

以上的各喷嘴的横向上的移动区域R1的设定和待机部77、78、87的高度的设定有助于使显影装置1的高度降低。通过该高度的降低，能够将显影装置1在有限的空间层叠多个地配置，因此，能够提高搭载有显影装置1的系统的生产率。

接下来，参照图6的俯视图对作为排气路径形成构件的排气管道28进行说明。排气管道28在处理部2A、2B的杯3的后方侧左右延伸，并与处理部2A、2B的各基座体26的后方连接。排气管道28的下游侧朝向左方，且朝向壳体19的外部。并且，形成于排气管道28的管道内排气路径29的下游侧与设置有显影装置1的工厂的排气路径连接。因而，管道内排气路径29以从左右排列的杯3中的左端(一端)的杯3的后方跨越到右端(另一端)的旋转保持盘21的后方的方式设置。

形成于上述的各基座体26的排气路径27在杯3的后方侧以沿着杯3的周缘的方式形成为俯视时呈圆弧状，该圆弧的中央部经由气闸20与管道内排气路径29连接。因而，各杯3内与排气路径29连接。该管道内排气路径29例如始终进行排气，利用气闸20调整各杯3的排气量。由于是以上的结构，因此，对于使各杯3进行排气的排气路径，形成为下游侧在处理部2A、2B共用且上游侧针对每个处理部2A、2B分别具备气闸20的排气路径。具体地说，在管道内排气路径29中，其位于比连接有处理部2A的排气路径27的位置靠左方的位置的部位是共用于处理部2A、2B的排气路径。

如上述那样，排气管道28配置在各杯3的后方侧、即与配置有用于使喷嘴在前后方向上移动的移动部71、72、81那侧相反的一侧。由此，移动部71、72、81不需要配置在排气管道28的上方。因而，该排气管道28的布局在抑制显影装置1的高度这方面有利。

另外，在显影装置1设有照相机38、39，由照相机38、39获取的图像向后述的控制部10发送，用于判断装置有无异常。返回图1、图2，对这些照相机38、39进行说明。为了互相区分，有时将照相机38记载为喷嘴拍摄用照相机38，将照相机39记载为杯内拍摄用照相机。

在各臂74和共用臂84设有喷嘴拍摄用照相机38。对于各喷嘴拍摄用照相机38，光轴L1以朝向后方且斜下方的方式配置。即，光轴L1沿着X方向且相对于Y方向和Z方向倾斜。于是，能够利用喷嘴拍摄用照相机38拍摄被设有该喷嘴拍摄用照相机38的臂所支承的喷嘴。图7示出由设有清洗液喷嘴76的臂74的喷嘴拍摄用照相机38获取的图像的一例。

并且，杯内拍摄用照相机39设有两个，其中一者用于处理部2A的杯3内的拍摄，另一者用于处理部2B的杯3内的拍摄。照相机39能够拍摄位于对应的杯3的内部的载置部(旋转保持盘21)、晶圆W、各种喷嘴。此外，也可以调整为还能够拍摄杯3的开口端和其外侧的外壁的视角。这两个杯内拍摄用照相机39位于各杯3的上方。并且，在俯视时，该杯内拍摄用照相机39在左右方向上位于处理部2A的杯3和处理部2B的杯3之间，在前后方向上位于各杯3的后方。针对处理部2A的杯内拍摄用照相机39的光轴L2以朝向斜下方且左前方的方式配置，针对处理部2B的杯内拍摄用的照相机39的光轴L2以朝向斜下方且右前方的方式配置。因而，各杯内拍摄用照相机39的光轴L2相对于X、Y、Z方向分别倾斜。

利用上述的配置，杯内拍摄用照相机39能够俯视拍摄晶圆W的表面，因此，控制部10能够基于获取的图像进行针对晶圆W的表面的处理状态的有无异常的判断。此外，在对晶圆W进行处理时，当显影液喷嘴75、共用显影液喷嘴85或者清洗液喷嘴76位于晶圆W上时，这些喷嘴收入杯内拍摄用照相机39的视野内，从而能够拍摄。图8示出由处理部2A的杯内拍摄用照相机39获取的清洗液喷嘴76的图像的一例。另外，如上所述，杯内拍摄用照相机39配置为能够拍摄晶圆W上的比较大的范围，以能够检测晶圆W的表面的异常。因此，对于相同的喷嘴，在由各个照相机38、39获取的图像中的大小不同，在由喷嘴拍摄用照相机38获取的图像中拍摄得更大。此外，照相机39位于杯3的上方的位置，但也可以进一步位于无论作为拍摄对象的喷嘴如何移动始终比该喷嘴靠上方的位置。这样一来，从喷嘴飞散的液滴、雾沫难以附着，容易持续进行良好的图像质量的拍摄。

对于各个显影液喷嘴75、共用显影液喷嘴85、清洗液喷嘴76，在移动至进入杯内拍摄用照相机39的视野的规定的位置时，由该杯内拍摄用照相机39进行拍摄。此外，对于由该杯内拍摄用照相机39拍摄的喷嘴，也能够在任意的时刻由喷嘴拍摄用照相机38进行拍摄。并且，控制部10使用从喷嘴拍摄用照相机38、杯内拍摄用照相机39分别获取的图像，进行关于获取了图像的喷嘴的有无异常的判断。该异常是指例如由破损等导致的形状变化、相对于臂中的正常的位置的偏移、处理液向喷嘴表面的附着、处理液从喷嘴的喷出孔的滴落等。

例如，若仅从使用作为第1摄像部的喷嘴拍摄用照相机38和作为第2摄像部的杯内拍摄用照相机39中的一者获取的图像来判断喷嘴的异常，则由于是仅从一方向进行的拍摄，因此有可能发生难以识别为正常的状态的情况。具体地说，例如在喷嘴中，设为发生了在相对于拍摄方向的正面附着有液滴、产生破损部位等异常。在该情况下，对于根据图像检测到的喷嘴的外形和喷嘴的位置，由于喷嘴与正常的状态的外形和位置相同，因此有可能难以进行异常的判断。此外，对于在喷嘴中于相对于拍摄方向相反的面产生上述的液滴的附着、破损部位的情况，也由于成为拍摄的死角，因此有可能难以进行准确的异常的判断。

喷嘴拍摄用照相机38的光轴L1所朝向的方向、杯内拍摄用照相机39的光轴L2所朝向的方向如上述那样不平行，而是成为互相交叉的关系。即，光轴L1、L2所朝向的方向在XYZ坐标系中不是相同方向或相反方向，能够从交叉的方向进行拍摄。因此，关于在上述的仅使用一个照相机进行拍摄的情况下的喷嘴的拍摄方向上的正面、背面发生的异常，能够更高精度地判断。另外，根据从彼此不同的方向拍摄喷嘴而提高异常的检测精度这样的观点，例如优选喷嘴拍摄用照相机38的拍摄时刻和杯内拍摄用照相机39的拍摄时刻是同时，但也可以将时刻错开。

返回图1进行说明，显影装置1具备控制部10。控制部10由计算机构成，具备程序。在程序编入有步骤组，以能够实施显影装置1中的一系列动作。并且，控制部10利用该程序向显影装置1的各部分输出控制信号，控制该各部分的动作。具体地说，旋转保持盘21利用旋转机构23进行的旋转、销24利用升降机构25进行的升降、处理液从处理液的供给源向各喷嘴的供给、喷嘴利用各移动部进行的移动、下侧圆环部51和上侧圆环部61利用复合升降机构5进行的升降等各动作由上述的控制信号控制。上述的程序例如存储在光盘、硬盘、DVD等存储介质，并向控制部10加载。

上述的程序构成为也能够进行基于由杯内拍摄用照相机39发送的图像对晶圆W表面有无异常的判断、基于由喷嘴拍摄用照相机38和杯内拍摄用照相机39发送的图像分别对各喷嘴75、76、85有无异常的判断。并且，控制部10具备通知部，在判断为有异常时，该通知部输出警报并将该意思通知使用者，该警报输出也由程序来进行。另外，警报例如是规定的画面显示、声音。

接下来，进一步详细地对杯3的第1～第3状态进行说明。当利用共用显影液喷嘴85进行处理时、当借助销24在输送机构和旋转保持盘21之间进行晶圆W的交接时、以及各喷嘴75、76、85在待机部和晶圆W上的处理位置之间移动时，设为至此所述的第1状态。

当利用图4所示的显影液喷嘴85进行处理时，在显影液喷嘴85的左右方向上的移动过程中进行显影液从显影液喷嘴85的喷出，向晶圆W表面上、杯主体32的液接收部36上以及上侧圆环部61上供给显影液。如此供给到各部分的显影液经由杯主体32、下侧圆环部51以及上侧圆环部61所构成的间隙向形成有排液口46的划分壁41上流下，从该排液口46被去除。对于在该过程中在液接收部36上形成的显影液的积液、从被供给显影液的位置溅起而产生的液滴、雾沫，被方形环状壁31和上述的封堵方形环状壁31的缺口37的构件承接，不会向方形环状壁31的外侧泄漏，而经由上述的间隙向排液口46流入。

接着，参照图9对杯3的第2状态进行说明。第2状态为以下状态：第1升降部53位于升降范围中的上方位置，另一方面，第2升降部63与第1状态同样地位于升降范围中的下方位置。如上所述，在第1升降部53设置第2升降部63，从而上侧圆环部61、下侧圆环部51为一起升降的结构，因此，若与第1状态相比，则在第2状态下，上侧圆环部61、下侧圆环部51均位于上方的位置，下侧圆环部51的内周端配置在比旋转保持盘21上的晶圆W靠上方的位置。另外，在第2状态下，杯主体32的密封用突起35D进入于下侧圆环部51的密封用凹部59，因而不从下侧圆环部51的外周进行排气，而是从下侧圆环部51的开口以充分的量进行排气，防止雾沫从该开口流出。

在利用清洗液喷嘴76进行处理时以及在进行干燥(清洗液的甩落)时，设为这样的第2状态。从清洗液喷嘴76向晶圆W的中心喷出清洗液，并且使晶圆W旋转。从晶圆W飞散的液滴、雾沫被下侧圆环部51的倾斜壁57的内周面承接，成为液滴并沿着主体部58的内周面向划分壁41上流下，从该排液口46被去除。在清洗液从清洗液喷嘴76的喷出停止后而对晶圆W进行干燥时，也同样地将从晶圆W飞散的液滴、雾沫去除。

参照图10对杯3的第3状态进行说明。第3状态是以下状态：第1升降部53、第2升降部63均位于各自的升降范围中的上方位置，若与第2状态相比，则在第3状态下，上侧圆环部61位于上方的位置。在利用显影液喷嘴75进行处理时，设为该第3状态。

通过使晶圆W旋转，并且在喷出显影液的状态下使共用显影液喷嘴85在左右方向上移动，显影液的供给位置从旋转的晶圆W的周缘部朝向中心部移动，从而进行显影处理。从晶圆W飞散的液滴、雾沫与第2状态同样地被下侧圆环部51的倾斜壁57的内周面承接，在该内周面成为液滴，从排液口46被去除。并且，该液滴、雾沫中的朝向高处飞散的液滴、雾沫被上侧圆环部61的内周面承接，成为液滴并下落到下侧圆环部51的上表面，在下侧圆环部51的外周面向下方流下，被积存在密封用凹部59。

在第2状态和第3状态下，在第1状态下封堵方形环状壁31的缺口37的外侧支承臂54、内侧支承臂64、第2升降部63向上方移动，因此，缺口37成为打开的状态。但是，如上所述，对于具有防止处理液向杯3外泄漏的作用的构件，在第2状态下是下侧圆环部51，在第3状态下是下侧圆环部51和上侧圆环部61，因此，即使缺口37像这样开放，也能够防止处理液向杯3外流出。

如以上这样，在显影装置1中，在方形环状壁31的外侧设置有升降的第1升降部53和第2升降部63。并且，将该第1升降部53和下侧圆环部51连接的第1连接部(外侧支承臂54的高部54A)、将第2升降部63和上侧圆环部61连接的第2连接部(内侧支承臂64的高部64A、64B和突出部60)仅在需要时封堵方形环状壁31的缺口。例如，也考虑到：以没有缺口的方式形成方形环状壁31，将第1升降部53和下侧圆环部51连接的第1连接部、将第2升降部63和上侧圆环部61连接的第2连接部分别设为在方形环状壁31的上方经过。但是，在设为这样的结构的情况下，装置的高度会增大与该连接部相应的量。即，根据设置上述的缺口47且在需要时该缺口47被第1连接部和第2连接部封堵的显影装置1的结构，能够降低装置的高度，由此，如上述那样，能够增加向有限的空间设置的设置数量，因而优选。

另外，考虑设为以下结构(设为比较例的杯结构)：在方形环状壁31不设置缺口，方形环状壁31以及下侧圆环部51与设于杯3的外侧的相同的升降机构连接而一起进行升降。但是，方形环状壁31的上端位于比下侧圆环部51的上端靠上方的位置，以在第1状态下将晶圆W和显影液喷嘴85之间的距离设为适当的距离。因此，能够想到在上侧圆环部61位于上方位置的情况下，方形环状壁31的上端位于比上侧圆环部61的上端高的位置。也就是说，与比较例的杯结构相比，如上述那样方形环状壁31的缺口47在需要时被封堵的结构也能够降低显影装置1的高度，较为优选。

另外，优选的是，将上述的第1连接部和第2连接部中的两者设为经过缺口37(即封堵缺口37)，将第1升降部53和下侧圆环部51连接，并且将第2升降部63和上侧圆环部61连接。但是，也可以是，仅使第1连接部和第2连接部中的一者不经过缺口37而是经过方形环状壁31的上侧等来进行连接。即，也可以设为以下结构：仅利用第1连接部和第2连接部中的另一者的连接部进行缺口37的开闭。但是，在使装置的高度降低这方面，如上述那样利用第1连接部和第2连接部这两者封堵缺口37较为有利。

接下来，按照顺序对处理部2A中的晶圆W的处理进行说明。首先，对使用显影液喷嘴75、85中的共用显影液喷嘴85进行处理的情况进行说明。在处理部2A中，杯3成为以图3～图5说明了的第1状态，显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76、共用显影液喷嘴85分别在左侧待机部77、右侧待机部78、共用待机部87待机。

当利用输送机构将晶圆W向处理部2A的旋转保持盘21上输送，使销24升降，而使晶圆W吸附于旋转保持盘21时，共用显影液喷嘴85从共用待机部87向杯3上的左右的一端部移动。然后，共用显影液喷嘴85一边喷出显影液，一边朝向杯3上的左右的另一端部移动，当晶圆W的整个表面被供给有显影液时，停止显影液的喷出。然后，共用显影液喷嘴85朝向共用待机部87返回。

例如，如上所述，对于移动至向杯3上的共用显影液喷嘴85，在从显影液的喷出开始前到喷出结束后的期间内的任意的时刻，进行喷嘴拍摄用照相机38和杯内拍摄用照相机39的拍摄。然后，如上所述，利用从这些照相机38、39分别获取到的图像，判断晶圆W的表面和共用显影液喷嘴85有无异常。

若去向共用待机部87的共用显影液喷嘴85在右侧待机部78上经过，则清洗液喷嘴76从该右侧待机部78上升并向晶圆W的中心部上移动，杯3成为以图9说明了的第2状态。然后，清洗液喷嘴76喷出清洗液并且晶圆W旋转，使清洗液朝向晶圆W的周缘部流动，显影液被从晶圆W上去除。之后，结束清洗液的喷出，另一方面，晶圆W的旋转继续，将清洗液甩落，使晶圆W干燥。被干燥的晶圆W借助销24向输送机构交接，从显影装置1送出。

例如，如上所述，对于移动至晶圆W上的清洗液喷嘴76，在从清洗液的喷出开始前到喷出结束后的期间内的任意的时刻，进行喷嘴拍摄用照相机38和杯内拍摄用照相机39的拍摄。然后，如上所述，利用从这些照相机38、39分别获取到的图像，判断晶圆W的表面和清洗液喷嘴76有无异常。

另外，如上所述，当接着共用显影液喷嘴85之后使用清洗液喷嘴76时，为了防止喷嘴和臂彼此的干扰，在返回共用待机部87的共用显影液喷嘴85经过供清洗液喷嘴76待机的右侧待机部78上之前，不使清洗液喷嘴76从右侧待机部78上升。而且，在共用显影液喷嘴85在右侧待机部78上经过之后，能够在任意的时刻使清洗液喷嘴76上升，并使其向晶圆W上移动。例如，也可以是，在共用显影液喷嘴85开始朝向共用待机部87下降之前(即，在共用显影液喷嘴85向共用待机部87收纳之前)，开始清洗液喷嘴76的上升，提高处理效率。

对于使用显影液喷嘴75来代替共用显影液喷嘴85的情况下的动作，以与使用共用显影液喷嘴85的情况下的动作的差异点为中心进行叙述。当杯3处于第1状态，显影液喷嘴75从待机部77向晶圆W的左右的端部中的一端部上移动时，杯3成为以图10说明了的第3状态。然后，晶圆W旋转，并且显影液喷嘴75一边喷出显影液一边朝向晶圆W的左右的另一端部侧移动。显影液的供给位置从晶圆W的一端部向中心部移动，当在晶圆W的整个表面供给有该显影液时，停止显影液从显影液喷嘴75的喷出和晶圆W的旋转。在使用显影液喷嘴75的情况下，也与使用共用显影液喷嘴85的情况同样地，对于移动至晶圆W上的显影液喷嘴75，在从显影液的喷出开始前到喷出结束后的期间内的任意的时刻，进行喷嘴拍摄用照相机38和杯内拍摄用照相机39的拍摄。然后，进行有无异常的判断。

显影液的供给结束后，杯3返回第1状态，显影液喷嘴75返回待机部77，另一方面，使清洗液喷嘴76从待机部78向晶圆W的中心部上移动，使杯3成为以图9说明了的第2状态。之后，与使用共用显影液喷嘴85的情况下的处理同样地进行处理。另外，在显影液喷嘴75返回左侧待机部77时，由于不会在供清洗液喷嘴76待机的右侧待机部78上经过，因此，清洗液喷嘴76只要在杯3返回至第1状态后的任意的时刻从右侧待机部78上升并向晶圆W上输送即可。

在以上所述的显影装置1中，在各个处理部2A、2B，分别在杯3的左方、右方设置显影液喷嘴75用的待机部77、清洗液喷嘴76用的待机部78，导轨73共用于显影液喷嘴75用的移动部71、清洗液喷嘴76用的移动部72。通过像这样共用导轨73，从而能够使显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76分别位于晶圆W的中心部上，如上述那样，能够向晶圆W的整个表面供给显影液、清洗液。假设，若针对移动部71、72单独地设置导轨73，以使显影液喷嘴75、清洗液喷嘴76能够分别从待机部77、78向晶圆W的中心部上移动，则由于这些导轨73前后配置，因而有可能使显影装置1大型化。也就是说，关于显影装置1，成为能够防止大型化的结构。

另外，在上述的例子中，在一个臂74仅设有各一个喷嘴，但也可以是，在一个臂74以左右排列的方式设置多个喷嘴，并选择其中一个喷嘴来使用。使用图11的俯视图具体说明，在该图11中，在臂74像这样左右排列地设置喷嘴79，来代替至此为止所说明的喷嘴。

对于向整个晶圆W供给处理液，至少使选择为喷出处理液的喷嘴79位于晶圆W的中心部上，向该中心部喷出处理液。由于导轨73共用于移动部71、72，因而关于移动部71，能够从使与该移动部71连接的臂74的喷嘴79待机时所位于的杯3的左侧向越过晶圆W的中心部的右方移动。同样地，关于移动部72，能够从使与该移动部72连接的臂74的喷嘴79待机时所位于的杯3的右侧向越过晶圆W的中心部的左方移动。因此，如上所述，即使在一个臂74设置多个喷嘴79，也能够使所选择的喷嘴79无障碍地位于晶圆W的中心部上并进行处理。根据以上内容，导轨73共用于移动部71、72的结构能够使设于装置的喷嘴的数量较多，由此，能够进行多种多样的处理，因此，作为装置的便利性较高。

此外，在显影装置1中，处理部2A、2B均成为以下布局：在左右方向上，在基于使处理部2中特有的喷嘴待机的待机部观察时，使处理部2A、2B中共用的显影液喷嘴85待机的共用待机部87位于与旋转保持盘21所位于的那侧相反的一侧。根据这样的布局，抑制为了使共用显影液喷嘴85从共用待机部87分别向处理部2A的晶圆W上、处理部2B的晶圆W上移动所需的时间，因此，能够防止生产率的降低。

〔第2实施方式〕

接下来，参照图12以与第1实施方式的显影装置1的差异点为中心对第2实施方式的显影装置101进行说明。另外，在附图中，对于排气管道28、支承杯的基座体26、喷嘴拍摄用照相机38、杯内拍摄用照相机39、壳体19等与显影装置1同样地构成的构件中的一部分构件，省略表示。因而，在该显影装置101中，也以与显影装置1同样的路径进行排气，由照相机38、39进行喷嘴的拍摄。在显影装置101中，支承喷嘴的臂的个数与显影装置1不同，但例如在每个臂均设置喷嘴拍摄用照相机38，与第1实施方式同样地对各喷嘴进行拍摄，进行有无异常的判断。

在显影装置101中，对晶圆W使用正型显影液和负型抗蚀剂用的显影液(负型显影液)中的任一者来进行显影处理。此外，在显影装置101未设置共用移动部81、共用导轨83、共用臂84以及共用显影液喷嘴85。并且，在显影装置101中，设有杯30来代替杯3。在显影装置101中，也与显影装置1相同，处理部2A、2B是彼此同样的结构，因此，之后代表性地对处理部2A进行说明。在与移动部71连接的臂74、与移动部72连接的臂74分别设置喷出正型显影液的显影液喷嘴115、喷出负型显影液的显影液喷嘴116，来代替第1实施方式中说明了的喷嘴。这些显影液喷嘴115、116例如分别具备左右延伸的狭缝作为喷出口115A、116A，在从旋转的晶圆W的周缘部上向中心部上移动的期间喷出显影液，从而向晶圆W的整个表面供给显影液。

并且，在显影装置101设置有分别与移动部71、72、导轨73、臂74同样地构成的移动部121、122、导轨123、臂124。因而，导轨123共用于移动部121、122，移动部121、122能够沿着导轨123各自左右移动，能够使所连接的臂124分别升降。导轨123设于导轨73的前方，移动部121、122在移动部71、72的移动区域的前方侧移动。

在与移动部121连接的臂124的顶端侧设置有清洗液喷嘴76，在与移动部122连接的臂124的顶端侧设置有显影液喷嘴126。显影液喷嘴126具备圆形的下表面和在该下表面的中心开口的喷出口126A，一边使该下表面靠近晶圆W表面，一边在从旋转的晶圆W的周缘部上向中心部上移动的期间喷出显影液，从而向晶圆W的整个表面供给显影液。从显影液喷嘴126喷出的显影液例如是正型的。

在该显影装置101中，左侧待机部77、右侧待机部78分别用于使显影液喷嘴115、116待机。并且，在显影装置101中，设置有分别与左侧待机部77、右侧待机部78为同样的结构的待机部127、128。为了区分待机部彼此，有时将待机部127、128记载为外左侧待机部127、外右侧待机部128。清洗液喷嘴76收纳并待机于外左侧待机部127，显影液喷嘴126收纳并待机于外右侧待机部128。外左侧待机部127配置在左侧待机部77的左方，外右侧待机部128配置在右侧待机部78的右方。因而，以外左侧待机部127、左侧待机部77、杯30、右侧待机部78、外右侧待机部128的顺序从左向右排列。另外，外左侧待机部127和外右侧待机部128也配置于与针对左侧待机部77、右侧待机部78叙述的高度同样的高度，各喷嘴在以图3叙述的移动区域R1移动，各喷嘴在左右方向上移动时的高度重叠。

根据以上的结构，在显影装置101中，能够利用各个移动部71、72、121、122，从而将喷嘴从待机部向晶圆W上输送，进行正型显影液的显影处理或负型显影液的显影处理和接在该处理之后的清洗处理。另外，在使用正型显影液的情况下，选择并使用显影液喷嘴115、126中的任一喷嘴。在像这样选择正型显影和负型显影中的一者进行处理时，对于杯30，利用在内部进行升降的构件，在正型显影液的处理时和负型显影液的处理时切换流路，来代替像杯3那样使高度变化。由此，构成为能够以不同的路径排出正型显影液、负型显影液。

图13是杯30的纵剖侧视图。作为与杯3的差异点，杯30包括杯主体32和圆环部131。此外，在该杯主体32未设置方形环状壁31和液接收部36，因而俯视时呈圆形。圆环部131除了未在下端形成密封用凹部59以外，是与下侧圆环部51同样的结构。

以将杯主体32的底壁35B上的区域在径向上划分为三部分的方式，从底壁35B的中心侧起依次朝向上方设置有内侧垂直壁133、外侧垂直壁134，内侧垂直壁133位于杯主体32的垂直壁34B的内侧，外侧垂直壁134位于垂直壁34B和圆环部131的主体部58之间。在划分为三部分的底壁35B中，在最内侧区域开设有排气口43，在最外侧区域开设有负型显影液用的排液口135，在它们中间的区域开设有正型显影液用的排液口136。

利用未图示的升降机构，使圆环部131相对于杯主体32升降。在利用正型显影液进行处理时，圆环部131向图中实线所示的上方位置移动，由其内周面承接从晶圆W飞散的正型显影液，该正型显影液被向排液口136引导。在利用负型显影液进行处理时，圆环部131向图中虚线所示的下方位置移动，由杯主体32的外壁35C承接飞散的负型显影液，该负型显影液被向排液口135引导。

另外，对于在第1实施方式和第2实施方式中设于臂74、124、共用臂84的喷嘴，其形状、所喷出的处理液的种类能够适当变更。因而，也可以对于上述的例子替换喷嘴的配置，对于任意的处理液，也可以从与说明为喷出该处理液的形状不同的形状的喷嘴喷出。因而，在第1实施方式中，在上述的例子中，与共用导轨73的移动部71、72连接的喷嘴75、76是喷出彼此不同的处理液(显影液、清洗液)的结构，但例如也可以是，设为均喷出显影液的结构，并从在处理部2A、2B共用的喷嘴85喷出清洗液，从而在各处理部2A、2B向晶圆W供给不同种类的处理液。也就是说，也能够设为以下结构：从与共用导轨73的各移动部连接的喷嘴喷出相同的处理液，并且在同一处理部内向晶圆W供给不同的处理液。

并且，如至此所述那样，第1实施方式的显影装置1、第2实施方式的显影装置101能够针对一个杯3、30利用三个或四个臂和四个移动部来输送期望的喷嘴。此外，如以图11说明了的那样，不限于在臂仅设置一个喷嘴。因而，能够进行多种多样的处理，因此，便利性较高。如上所述，显影装置1、101能够在高度较小的区域设置多层。在将像这样设有多层的显影装置1、101统一看作一个装置的情况下，能够以较高的生产率进行多种多样的处理。

另外，也如随后叙述那样，显影装置1、101不限于进行显影处理的结构。根据实施的处理，考虑到存在需要使与不同的臂连接的一喷嘴、另一喷嘴一起向杯3上移动而进行处理的情况。在该情况下，只要使一喷嘴与以使该一喷嘴在杯3的左侧的待机部待机的方式设置的臂连接，并使另一喷嘴与以使该另一喷嘴在杯3的右侧的待机部待机的方式设置的臂连接即可。并且，使一喷嘴从待机部向右方移动，使另一喷嘴从待机部向左方移动，从而分别配置在晶圆W上即可。也就是说，虽然如以图3说明了的那样，各喷嘴分别在移动区域R1移动，移动的高度重叠，但通过适当地选择设置各喷嘴的臂，从而不仅能够向晶圆W上依次配置，还能够向晶圆W上同时输送。

另外，在第1实施方式中，与共用导轨83连接而利用该共用导轨83移动的移动部为一个移动部(共用移动部)81，但也可以设置多个移动部。例如，除了设置移动部81以外，还设置移动部82，该移动部82也与移动部81同样，借助臂84连接有喷嘴。并且，若将该喷嘴设为喷嘴89，则将使喷嘴89待机的待机部88设于处理部2A的杯3和处理部2B的杯3之间，与移动部81连接的喷嘴85的待机部87、与移动部82连接的喷嘴89的待机部88在杯3之间左右排列地配置。这样一来，对于处理部2A或处理部2B的晶圆W，能够使用喷嘴85、89、76、77进行处理。如以上这样，在处理部2A、2B共用的导轨83也不限于设为仅用于一个移动部的引导的结构，通过设为共用于多个移动部的结构，从而能够进一步提高装置的便利性。

作为在装置使用的处理液，例示了显影液和清洗液，但不限于这些液体。例如也可以使用抗蚀剂、绝缘膜形成用的化学溶液、防反射膜形成用的化学溶液等涂布膜形成用的涂布液，也可以使用用于粘贴多个晶圆W的粘接剂。因而，本技术的液处理装置不限于显影装置。

此外，示出了设置两个处理部的例子，但也可以左右排列地设置三个以上的处理部。在第1实施方式中，在两个处理部2A、2B共用移动部81、臂84、显影液喷嘴85，但在设置三个以上的处理部的情况下，能够在该三个以上的处理部共用它们。并且，对于排气管道28，只要设为以与各杯3或各杯30的下方的基座体26连接的方式在各杯3或各杯30的后方侧沿左右延伸的结构即可。此外，对于杯的结构，例示了杯3、30，但杯的结构是任意的，只要根据在装置进行的处理而适当选择即可。另外，在杯3中，不限于设为上述的下侧圆环部51和上侧圆环部61分别相对于杯主体32升降的结构。只要是相对于杯主体32、下侧圆环部51以及上侧圆环部61中的任意一者而使其他两者升降的结构即可。而且，作为处理对象的基板，不限于晶圆W，例如也可以是平板显示器制造用的基板。

应当认为，本次申请的实施方式在所有方面均是示例而不是限制性的。上述实施方式也可以在不脱离权利要求书及其主旨的情况下以各种各样的形态进行省略、置换、变更以及组合。

Claims (8)

1.一种液处理装置，其特征在于，

该液处理装置具备左右排列地设有多个的处理部，该处理部各自具备：

载置部，其供基板载置；

杯，其包围所述载置部和载置于该载置部的所述基板；

第1处理喷嘴、第2处理喷嘴，其分别向所述基板供给第1处理液、第2处理液；

第1待机部，其使所述第1处理喷嘴在相对于所述杯的左右的一侧待机；

第2待机部，其使所述第2处理喷嘴在相对于所述杯的左右的另一侧待机；

第1移动部，其使所述第1处理喷嘴在所述第1待机部和所述基板上的第1处理位置之间移动；

第2移动部，其使所述第2处理喷嘴在所述第2待机部和所述基板上的第2处理位置之间移动；以及

引导件，其共用于所述第1移动部和所述第2移动部，用于使该第1移动部、该第2移动部各自左右移动。

2.根据权利要求1所述的液处理装置，其特征在于，

所述第1处理液、所述第2处理液是彼此不同的种类的处理液。

3.根据权利要求1所述的液处理装置，其特征在于，

在所述多个处理部的各个处理部中，所述引导件设于所述杯的前方侧，且所述第1移动部和所述第2移动部在相对于所述杯的前方侧左右移动，

该液处理装置具备：

第3处理喷嘴，其向所述多个处理部中的一处理部的所述基板供给第3处理液；

第3待机部，其相对于所述一处理部的所述第1待机部或所述第2待机部设于与左右的所述载置部所位于的那侧相反的一侧，使所述第3处理喷嘴待机；以及

第3移动部，其在所述一处理部的杯的前方侧左右移动，使所述第3处理喷嘴在所述第3待机部和所述基板上的第3处理位置之间移动。

4.根据权利要求3所述的液处理装置，其特征在于，

所述第3处理喷嘴共用于所述一处理部和所述多个处理部中的其他处理部，

所述第3待机部设于所述一处理部和所述其他处理部之间，

所述第3移动部在相对于所述一处理部的所述杯的前方侧和相对于所述其他处理部的杯的前方侧之间左右移动。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的液处理装置，其特征在于，

为了使所述多个杯内分别进行排气，该液处理装置设有形成排气路径的排气路径形成构件，该排气路径从该多个所述杯中的左右的一端处的杯的后方跨越到左右的另一端处的杯的后方，

所述排气路径的靠下游侧的部位是共用于该多个杯的排气路径。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的液处理装置，其特征在于，

该液处理装置具备针对各处理部的所述第1处理喷嘴和所述第2处理喷嘴均从互相交叉的方向进行拍摄的第1摄像部和第2摄像部。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的液处理装置，其特征在于，

该液处理装置设有在俯视时分别包围载置于所述载置部的所述基板的第1环状体和在所述第1环状体的上侧重叠的第2环状体，

所述液处理装置设有使所述第1环状体、所述第2环状体分别相对于所述杯相对地升降的第1升降机构、第2升降机构，

所述第2升降机构利用所述第1升降机构与所述第1环状体一起升降。

8.根据权利要求7所述的液处理装置，其特征在于，

该液处理装置设有在俯视时包围所述第1环状体和所述第2环状体并且形成有缺口的第3环状体，

所述第1升降机构具备在所述第3环状体的外侧相对地升降的第1升降部，

所述第2升降机构具备在第3环状体的外侧相对于所述第1升降部相对地升降的第2升降部，

该液处理装置设有：

第1连接部，其将所述第1升降部和所述第1环状体连接；以及

第2连接部，其将所述第2升降部和所述第2环状体连接，

利用所述第1升降部的升降，在由所述第1连接部和所述第2连接部中的至少一者封闭所述缺口的状态和打开所述缺口的状态之间切换。