JP2023524760A - 基板の表面についてのレベルデータを生成するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2020年5月4日に出願された欧州出願20172770.8の優先権を主張し、その全体が参照によって本書に援用される。
本開示は、リソグラフィ、特にリソグラフィツールをフォーカシングするためのシステムおよび方法に関する。
一例では、スキャナ等のリソグラフィ装置が、露光前にウェーハ表面の高さを測定するためのレベルセンサ(または高さセンサ)を含みうる。リソグラフィ装置は、(i)露光中にウェーハステージによって従われる露光プロファイル(および、いくつかの側面では、投影システム特性)を演算するため、(ii)露光中に生じるレベリングおよびフォーカスエラーの診断のために本測定を使用しうる。レベルセンサは、ウェーハマップを測定しながら、ウェーハに焦点が合うようにウェーハステージを制御できる。レベルセンサは、ウェーハの表面を見付けるために初期測定結果を取得する。
a.レベルセンサ取得の失敗(例えば、センサ(自動)フォーカス制御または測定高さ制御)
b.予期しないオフセットをもたらす、誤ったレベル(例えば、メモリセルではなく周辺)でのレベルセンサ取得
c.正しい高さを得られない問題
d.ウェーハマップにおける期間ジャンプ(例えば、誤った高さ測定、大きいゲインエラー、サーボの問題(例えば、ダイナミクスが従えない))
1.一または複数のフィールドを大きいZ範囲スキャンで密に測定する
2.LS高さマップ(広範囲)を演算する
3.次のウェーハについて取得Zレベル(例えば、最大領域を有するレベル)および安全位置を定める
4.サーボコントロールについて有効位置を定める
5.例えば、不十分なゲインを有する、または、センサの測定範囲(例えば、線型範囲)外にあるフィールド位置を無効化する
6.有効位置(例えば、興味のある領域)上の取得
7.有効領域上のみのサーボ(例えば、初期キャリブレーションからの有効マップを使用する)
8.測定されたウェーハマップおよびフィールド内マップ(例えば、平均露光フィールドについてキャリブレーションされたデバイストポグラフィマップ)からの信頼できるデータサブセットを使用して、高さプロファイルをレポートする
図1は、本開示の側面が実施されうるリソグラフィ装置100の模式図である。図1に示されるように、リソグラフィ装置100は、XZ平面(例えば、X軸は右を向き、Z軸は上を向き、Y軸は紙面に垂直な方向を向く)に垂直な視点(例えば、側面視)から例示される。パターニングデバイスMAおよび基板Wは、XY平面(例えば、X軸は右を向き、Y軸は上を向き、Z軸は紙面に垂直な方向を向く)に垂直な追加的な視点(例えば、上面視)から提示される。
1.ステップモードでは、支持構造MTおよび基板テーブルWTが実質的に静止状態に保たれながら、放射ビームBに形成された全体パターンがターゲット部分C上に一度に投影される(例えば、単一静的露光)。そして、異なるターゲット部分Cが露光されるように、基板テーブルWTはXおよび/またはY方向にシフトされる。
2.スキャンモードでは、支持構造MTおよび基板テーブルWTが同時にスキャンされながら、放射ビームBに形成されたパターンがターゲット部分C上に投影される(例えば、単一動的露光)。支持構造MT(例えば、マスクテーブル)に対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの倍率および像反転特性によって決定されうる。
3.他のモードでは、プログラマブルパターニングデバイスMAを保持する支持構造MTが実質的に静止状態に保たれ、基板テーブルWTが駆動またはスキャンされながら、放射ビームBに形成されたパターンがターゲット部分C上に投影される。パルス放射源SOが利用されてもよく、基板テーブルWTの各移動後またはスキャン中の連続的な放射パルスの間に、プログラマブルパターニングデバイスが必要に応じて更新される。この動作モードは、プログラマブルミラーアレイ等のプログラマブルパターニングデバイスMAを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用されうる。
いくつかの側面では、レベルセンサ(例えば、トポグラフィ測定システムまたは高さセンサとも表される)が、リソグラフィ装置100に組み込まれ、基板Wの頂面のトポグラフィを測定するように設けられる。これらの測定から、コンピューティングシステム(例えば、図9に示されるコンピューティングシステム例1100)は、基板Wのトポグラフィのマップ(「高さマップ」とも表される)を生成できる。高さマップは、基板W上の位置の関数としての基板Wの高さを示す電子情報(例えば、データ、数値)を含みうる。続いて、コンピューティングシステムは、この高さマップを、適切にフォーカスされた基板W上の位置におけるパターニングデバイスMAの空間像を提供するために、基板W上へのパターンの転写中に基板Wの位置を補正または調整するために使用しうる。この文脈における「高さ」は、基板Wの頂面に平行な面から離れる寸法(例えば、Z軸)を広義に表すことが理解される。いくつかの側面では、レベルセンサが、固定された位置(例えば、自身の光学システムに対して)で測定を実行でき、基板Wおよびレベルセンサの光学システムの間の相対移動が、基板Wに亘る位置での高さ測定を可能にする。
図8は、本開示のいくつかの側面またはそれらの部分に係るレベルデータを生成するための方法例1000である。方法例1000を参照して記述される動作は、以上の図1~図7および以下の図9を参照して記述されるもの等の、ここで記述される任意のシステム、装置、コンポーネント、技術、またはそれらの組合せによって、または、これらに従って実行されうる。
開示の側面は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア、またはこれらの任意の組合せにおいて実施されうる。開示の側面は、一または複数のプロセッサによって読み取られて実行されうる機械読取可能媒体に格納された命令としても実施されうる。機械読取可能媒体は、装置(例えば、演算デバイス)によって読み取り可能な形態で情報を格納または送信するための任意のメカニズムを含みうる。例えば、機械読取可能媒体は、リードオンリーメモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)、磁気ディスクストレージ媒体、光学ストレージ媒体、フラッシュメモリデバイス、電気、光、音声または他の態様の伝送信号(例えば、搬送波、赤外信号、デジタル信号)を含みうる。更に、ファームウェア、ソフトウェア、ルーティン、命令、およびこれらの組合せは、特定のアクションを実行するものとしてここで記述されうる。しかし、このような記述は単に便宜的であり、このようなアクションは、実際には、ファームウェア、ソフトウェア、ルーティン、命令、またはこれらの組合せを実行する演算デバイス、プロセッサ、コントローラ、または他のデバイスが実行し、その際にアクチュエータまたは他のデバイス(例えば、サーボモータ、ロボティックデバイス)に物理的な世界と相互作用させると理解されるべきである。
1.基板の第1領域についての第1レベルデータを受け取り、第1レベルデータに基づいて測定コントロールマップデータを生成するように構成されるレベルセンシングコントローラと、測定コントロールマップデータに基づいて、基板の第2領域についての第2レベルデータを生成するように構成される第2レベルセンシングデバイスと、を備え、第1領域は、第1表面レベルを有する第1サブ領域および第2表面レベルを有する第2サブ領域を備え、第2領域は、それぞれが第1表面レベルに略等しい第3表面レベルを有する複数の第3サブ領域を備える、システム。
2.レベルセンシングコントローラは、第1レベルデータを備えるデザインレイアウトデータを受け取るように構成される、項目1に記載のシステム。
3.デザインレイアウトデータは、グラフィックデータシステム(GDS)データファイルを備える、項目2に記載のシステム。
4.第1レベルデータを生成し、第1レベルデータを送信するように構成される第1レベルセンシングデバイスを更に備え、レベルセンシングコントローラは、第1レベルセンシングデバイスから第1レベルデータを受け取るように構成される、項目1に記載のシステム。
5.第1レベルセンシングデバイスは、第1解像度での第1レベルデータを生成するように更に構成され、第2レベルセンシングデバイスは、第2解像度での第2レベルデータを生成するように更に構成され、第2解像度は、第1解像度より高い。項目4に記載のシステム。
6.第1レベルセンシングデバイスは、可視スペクトルセンサを備え、第2レベルセンシングデバイスは、紫外スペクトルセンサを備える、項目4に記載のシステム。
7.レベルセンシングコントローラは、第1サブ領域への第1重み値の適用および第2サブ領域への第2重み値の適用に基づいて、測定コントロールマップデータを生成するように構成される、項目1に記載のシステム。
8.第1重み値は約1であり、第2重み値は約0である、項目7に記載のシステム。
9.レベルセンシングコントローラは、第1レベルデータに基づいて第1トポグラフィマップデータを生成し、第2レベルデータに基づいて第2トポグラフィマップデータを生成するように構成され、第2トポグラフィマップデータは第1トポグラフィマップデータと異なる、項目1に記載のシステム。
10.レベルセンシングコントローラは、測定コントロールマップデータに基づいて、サーボコントロール信号を生成するように構成され、サーボコントロール信号は、第2レベルセンシングデバイスに、略第3表面レベルでの基板のトポグラフィに従い、測定プロセス中に第2レベルセンシングデバイスの測定範囲内で第3表面レベルを保つことを指示するように構成される、項目1に記載のシステム。
11.サーボコントロール信号は、第2レベルセンシングデバイスに、サーボ高さ目標を変更することを指示するように構成される、項目10に記載のシステム。
12.サーボコントロール信号は、第2レベルセンシングデバイスに、サーボ高さ目標を第1表面レベルおよび第2表面レベルの間に変更することを指示するように構成される、項目11に記載のシステム。
13.基板の第1領域についての第1レベルデータを受け取り、第1レベルデータに基づいて測定コントロールマップデータを生成するように構成されるレベルセンシングコントローラと、測定コントロールマップデータに基づいて、基板の第2領域についての第2レベルデータを生成するように構成される第2レベルセンシングデバイスと、を備え、第1領域は、第1表面レベルを有する第1サブ領域および第2表面レベルを有する第2サブ領域を備え、第2領域は、それぞれが第1表面レベルに略等しい第3表面レベルを有する複数の第3サブ領域を備える、装置。
14.レベルセンシングコントローラによって、第1表面レベルを有する第1サブ領域および第2表面レベルを有する第2サブ領域を備える基板の第1領域についての第1レベルデータを受け取ることと、レベルセンシングコントローラによって、第1レベルデータに基づいて測定コントロールマップデータを生成することと、
第2レベルセンシングデバイスによって、測定コントロールマップデータに基づいて、それぞれが第1表面レベルに略等しい第3表面レベルを有する複数の第3サブ領域を備える基板の第2領域についての第2レベルデータを生成することと、を備える方法。
15.レベルセンシングコントローラによって、第1レベルデータを備えるデザインレイアウトデータを受け取ることを更に備える、項目14に記載の方法。
16.第1レベルセンシングデバイスによって、第1レベルデータを生成することを更に備える、項目14に記載の方法。
17.レベルセンシングコントローラによって、第1サブ領域への第1重み値の適用および第2サブ領域への第2重み値の適用に基づいて、測定コントロールマップデータを生成することを更に備える、項目14に記載の方法。
18.レベルセンシングコントローラによって、第1レベルデータに基づいて第1トポグラフィマップデータを生成することと、レベルセンシングコントローラによって、第2レベルデータに基づいて第2トポグラフィマップデータを生成することと、を更に備え、第2トポグラフィマップデータは第1トポグラフィマップデータと異なる、項目14に記載の方法。
19.レベルセンシングコントローラによって、測定コントロールマップデータに基づいて、サーボコントロール信号を生成することと、第2レベルセンシングデバイスによって、サーボコントロール信号に基づいて、略第3表面レベルでの基板のトポグラフィに従うことと、第2レベルセンシングデバイスによって、サーボコントロール信号に基づいて、測定プロセス中に測定範囲内で第3表面レベルを保つことと、を更に備える項目14に記載の方法。
20.第2レベルセンシングデバイスによって、サーボコントロール信号に基づいて、サーボ高さ目標を第1表面レベルおよび第2表面レベルの間に変更することを更に備える、項目19に記載の方法。
Claims (15)
- 基板の第1領域についての第1レベルデータを受け取り、第1レベルデータに基づいて測定コントロールマップデータを生成するように構成されるレベルセンシングコントローラと、
測定コントロールマップデータに基づいて、基板の第2領域についての第2レベルデータを生成するように構成される第2レベルセンシングデバイスと、
を備え、
第1領域は、第1表面レベルを有する第1サブ領域および第2表面レベルを有する第2サブ領域を備え、
第2領域は、それぞれが第1表面レベルに略等しい第3表面レベルを有する複数の第3サブ領域を備える、
システム。 - レベルセンシングコントローラは、第1レベルデータを備えるデザインレイアウトデータを受け取るように構成される、請求項1に記載のシステム。
- デザインレイアウトデータは、グラフィックデータシステム(GDS)データファイルを備える、請求項2に記載のシステム。
- 第1レベルデータを生成し、第1レベルデータを送信するように構成される第1レベルセンシングデバイスを更に備え、
レベルセンシングコントローラは、第1レベルセンシングデバイスから第1レベルデータを受け取るように構成される、
請求項1に記載のシステム。 - 第1レベルセンシングデバイスは、第1解像度での第1レベルデータを生成するように更に構成され、
第2レベルセンシングデバイスは、第2解像度での第2レベルデータを生成するように更に構成され、
第2解像度は、第1解像度より高い。
請求項4に記載のシステム。 - レベルセンシングコントローラは、第1サブ領域への第1重み値の適用および第2サブ領域への第2重み値の適用に基づいて、測定コントロールマップデータを生成するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- レベルセンシングコントローラは、測定コントロールマップデータに基づいて、サーボコントロール信号を生成するように構成され、
サーボコントロール信号は、第2レベルセンシングデバイスに、略第3表面レベルでの基板のトポグラフィに従い、測定プロセス中に第2レベルセンシングデバイスの測定範囲内で第3表面レベルを保つことを指示するように構成される、
請求項1に記載のシステム。 - サーボコントロール信号は、第2レベルセンシングデバイスに、サーボ高さ目標を変更することを指示するように構成される、請求項7に記載のシステム。
- サーボコントロール信号は、第2レベルセンシングデバイスに、サーボ高さ目標を第1表面レベルおよび第2表面レベルの間に変更することを指示するように構成される、請求項8に記載のシステム。
- 基板の第1領域についての第1レベルデータを受け取り、第1レベルデータに基づいて測定コントロールマップデータを生成するように構成されるレベルセンシングコントローラと、
測定コントロールマップデータに基づいて、基板の第2領域についての第2レベルデータを生成するように構成される第2レベルセンシングデバイスと、
を備え、
第1領域は、第1表面レベルを有する第1サブ領域および第2表面レベルを有する第2サブ領域を備え、
第2領域は、それぞれが第1表面レベルに略等しい第3表面レベルを有する複数の第3サブ領域を備える、
装置。 - レベルセンシングコントローラによって、第1表面レベルを有する第1サブ領域および第2表面レベルを有する第2サブ領域を備える基板の第1領域についての第1レベルデータを受け取ることと、
レベルセンシングコントローラによって、第1レベルデータに基づいて測定コントロールマップデータを生成することと、
第2レベルセンシングデバイスによって、測定コントロールマップデータに基づいて、それぞれが第1表面レベルに略等しい第3表面レベルを有する複数の第3サブ領域を備える基板の第2領域についての第2レベルデータを生成することと、
を備える方法。 - レベルセンシングコントローラによって、第1レベルデータを備えるデザインレイアウトデータを受け取ることを更に備える、請求項11に記載の方法。
- レベルセンシングコントローラによって、第1サブ領域への第1重み値の適用および第2サブ領域への第2重み値の適用に基づいて、測定コントロールマップデータを生成することを更に備える、請求項11に記載の方法。
- レベルセンシングコントローラによって、測定コントロールマップデータに基づいて、サーボコントロール信号を生成することと、
第2レベルセンシングデバイスによって、サーボコントロール信号に基づいて、略第3表面レベルでの基板のトポグラフィに従うことと、
第2レベルセンシングデバイスによって、サーボコントロール信号に基づいて、測定プロセス中に測定範囲内で第3表面レベルを保つことと、
を更に備える請求項11に記載の方法。 - 第2レベルセンシングデバイスによって、サーボコントロール信号に基づいて、サーボ高さ目標を第1表面レベルおよび第2表面レベルの間に変更することを更に備える、請求項14に記載の方法。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917717A (ja) * | 1995-07-03 | 1997-01-17 | Nikon Corp | 露光装置 |
US20050259272A1 (en) * | 2004-05-19 | 2005-11-24 | Chun-Sheng Wang | Method of wafer height mapping |
JP2006343152A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Anritsu Corp | 印刷はんだ検査装置 |
JP2016031368A (ja) * | 2014-07-25 | 2016-03-07 | 株式会社ミツトヨ | テスト表面の高精度高さマップを測定する方法 |
JP2016218355A (ja) * | 2015-05-25 | 2016-12-22 | 三菱電機株式会社 | 表面段差測定方法、表面段差測定装置および液晶表示装置の製造方法 |
JP2017509016A (ja) * | 2014-03-04 | 2017-03-30 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | データ処理装置を用いたリソグラフィ装置 |
JP2018017608A (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 株式会社サキコーポレーション | 回路基板の検査方法及び検査装置 |
JP2018528462A (ja) * | 2015-09-15 | 2018-09-27 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置を制御するための方法、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2020057008A (ja) * | 2012-08-01 | 2020-04-09 | ケーエルエー コーポレイション | デバイスの特性の予測方法及びシステム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI232357B (en) | 2002-11-12 | 2005-05-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG125101A1 (en) | 2003-01-14 | 2006-09-29 | Asml Netherlands Bv | Level sensor for lithographic apparatus |
US7265364B2 (en) | 2004-06-10 | 2007-09-04 | Asml Netherlands B.V. | Level sensor for lithographic apparatus |
US7511799B2 (en) | 2006-01-27 | 2009-03-31 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic projection apparatus and a device manufacturing method |
EP2228685B1 (en) | 2009-03-13 | 2018-06-27 | ASML Netherlands B.V. | Level sensor arrangement for lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR101704591B1 (ko) * | 2012-02-21 | 2017-02-08 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 검사 장치 및 방법 |
US10241425B2 (en) | 2014-12-22 | 2019-03-26 | Asml Netherlands B.V. | Level sensor, lithographic apparatus and device manufacturing method |
US11137695B2 (en) * | 2016-10-06 | 2021-10-05 | Asml Netherlands B.V. | Method of determining a height profile, a measurement system and a computer readable medium |
EP3339959A1 (en) * | 2016-12-23 | 2018-06-27 | ASML Netherlands B.V. | Method of determining a position of a feature |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917717A (ja) * | 1995-07-03 | 1997-01-17 | Nikon Corp | 露光装置 |
US20050259272A1 (en) * | 2004-05-19 | 2005-11-24 | Chun-Sheng Wang | Method of wafer height mapping |
JP2006343152A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Anritsu Corp | 印刷はんだ検査装置 |
JP2020057008A (ja) * | 2012-08-01 | 2020-04-09 | ケーエルエー コーポレイション | デバイスの特性の予測方法及びシステム |
JP2017509016A (ja) * | 2014-03-04 | 2017-03-30 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | データ処理装置を用いたリソグラフィ装置 |
JP2019070859A (ja) * | 2014-03-04 | 2019-05-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | データ処理装置を用いたリソグラフィ装置 |
JP2016031368A (ja) * | 2014-07-25 | 2016-03-07 | 株式会社ミツトヨ | テスト表面の高精度高さマップを測定する方法 |
JP2016218355A (ja) * | 2015-05-25 | 2016-12-22 | 三菱電機株式会社 | 表面段差測定方法、表面段差測定装置および液晶表示装置の製造方法 |
JP2018528462A (ja) * | 2015-09-15 | 2018-09-27 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置を制御するための方法、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
JP2018017608A (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 株式会社サキコーポレーション | 回路基板の検査方法及び検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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