JP2023513321A - 多段式真空ポンプ - Google Patents

Abstract

複数のポンピングチャンバを定めるステータを含む多段式真空ポンプについて説明する。ステータは、複数のポンピングチャンバのうちの１つのポンピングチャンバの出口ポートから後続のポンピングチャンバの入口ポートへの流体通路を提供する複数の移送チャネルを含む。移送チャネルの一部は、ステータの両側に２つの側方チャネル部分を含む。移送チャネルのうちの１つは、ステータの片側に単一の側方チャネル部分を含む。真空ポンプは、ステータの片側に対してステータの反対側に配置されたガスバラスト入口チャネルをさらに含む。【選択図】図３

Description

本発明の分野は、多段式真空ポンプに関する。

多段式真空ポンプでは、真空ポンプの入口から出口に流体が圧送される際に、段間で流体を移送するための移送チャネルが必要である。これらの移送チャネルは、ステータブロック内に空間を必要とする。また、１又は２以上の段にガスバラストを追加する場合などの、チャンバへのさらなるアクセスが必要な場合には、これらのさらなるチャネル及び／又は弁を設ける必要があり、困難となり得る。小型のコンパクトなポンプではこのことが特に顕著である。

実施形態は、ポンプ段のうちの１つにバラストガスを供給するためのガスバラスト入口チャネルを備えたコンパクトな多段ポンプを提供することを目指す。

第１の態様は、多段式真空ポンプであって、
複数のポンピングチャンバを定めるステータを備え、
前記ステータは、前記ポンピングチャンバのうちの１つのポンピングチャンバの出口ポートから後続のポンピングチャンバの入口ポートへの流体通路をそれぞれが提供する複数の移送チャネルを含み、
前記移送チャネルのうちの少なくとも１つは、前記ステータの両側に２つの側方チャネル部分を含み、
前記移送チャネルのうちの少なくとも１つは、前記ステータの片側に単一の側方チャネル部分を含み、
前記真空ポンプは、前記ステータの前記片側に対して前記ステータの反対側に配置されたガスバラスト入口チャネルをさらに備える、多段式真空ポンプを提供する。

本発明の発明者は、多段式真空ポンプ、特にコンパクトな多段式真空ポンプでは、ポンピングチャンバのための、及び異なる段のポンピングチャンバ間で流体を導く移送チャネルのためのステータ内空間が限られていることを認識した。この点、移送チャネルは、その断面が大幅な圧力損失を伴わずにチャンバ間でのガスの流れを可能にするほど十分に大きなものであるようなサイズとすべきである。

真空ポンプが高真空から低真空へと圧送を行う際には、入口端部において圧送されるガスの体積の方が出口端部において圧送される体積よりも大幅に大きく、従ってポンピングチャンバ及び移送チャネルも入口から出口へとサイズを縮小することができる。

いくつかのポンプでは、水蒸気などの圧送される凝縮性ガスの凝縮を抑制するために、ポンピングサイクルの特定の段階中に真空ポンプにバラストガスを導入するためのガスバラスト入口チャネルを設けることが有利となり得る。バラストガスは、空気又は不活性ガス又はプロセスガスとすることができ、この流れは、ポンプ機構内の蒸気を「希釈」して、例えば水蒸気が大気圧近くまで圧縮された時に凝縮するのを抑制するのに役立つ。この結果、ガスバラストを使用しない場合と比べて、ポンプがその最終圧力まではるかに速く回復できるようになる。また、ガスバラストはポンプ内の凝縮を抑制するのに役立つため、ガスバラストを使用しない場合よりも多くの蒸気の圧送も可能にする。

これらのガスバラスト入口チャネルは、ガスの凝縮が真空ポンプの排気端で発生するという理由で、一般にこの排気端の方に設けられる。本発明者らは、真空ポンプの排気側の方では圧送されるガスの体積が一般に小さく、従ってバラストガス入口チャネルを真空ポンプのステータ内に設ける機会も考えられることを認識した。具体的には、本発明者らは、流れを妨げないほどの十分なサイズの移送チャネルを提供するために、一般にこれらの移送チャネルはステータの側壁内のポンピングチャンバの両側の２つの側方部分に形成されて、入口と出口との間に連結チャネル（ｌｉｎｋｉｎｇ ｃｈａｎｎｅｌｓ）が存在しており、場合によっては移送チャネルのうちの１つについてステータの片側のみに単一の側方部分を使用することができ、この場合、従来は他方の側方チャネルが存在するはずのステータの反対側に利用可能な空間が存在することを認識した。このような場合、移送チャネルのうちの１つに第２の側方部分を設けないことによってもたらされるこちら側の空き空間にガスバラストチャネルを配置することができる。従って、ステータ内の移送チャネル構成を適合させることにより、真空ポンプ内のポンピングチャンバのうちの１つにガスバラストを供給するためのガスバラストチャネルを、ステータ又は真空ポンプのサイズを増やす必要なくステータ内に設けることができる。

いくつかの実施形態では、前記真空ポンプ入口の方に近いポンピングチャンバ間に流体通路を提供する前記移送チャネルの前記部分のうちの少なくともいくつかの部分の断面が、前記ポンプ出口の方に近いポンピングチャンバ間の前記移送チャネルの前記部分の断面よりも大きな断面を有する。

上述したように、ガスは、真空ポンプを通じて圧送されると圧縮され、従ってガスによって占められる体積は小さくなる。従って、比較的抑制されていない流体流にとって必要な移送チャネルの断面は、真空ポンプの出口の方が入口の方よりも小さくなる。従って、いくつかの実施形態では、ポンピングチャンバ間の移送チャネルのうちの少なくともいくつかの移送チャネルのサイズが入口から出口に向かって減少し、同じ圧力損失をもたらすために必要なサイズは入口の方が出口の方よりも大幅に大きいという事実を利用することができる。移送チャネルのサイズを縮小することは、ステータ内の空間を効率的に使用する効果的な方法である。

いくつかの実施形態では、前記単一の側方チャネル部分を含む前記移送チャネルが、隣接する上流の移送チャネルの断面よりも大きな断面を有する。

一方で、ステータの反対側にガスバラストチャネルを配置するために移送チャネルが単一の側方チャネル部分しか有さない場合には、この側方チャネルを流れるガスの量が２つの側方チャネルの存在時の２倍になるため、２つの側方チャネルが存在する場合のチャネル部分よりも大きな断面を有するようにすることができる。この場合、この移送チャネルは、直前の上流移送チャネルの側方チャネル部分の断面積と比べて断面積が減少することはない。

いくつかの実施形態では、前記ステータが、前記複数のポンピングチャンバの両側の側壁と、前記複数のポンピングチャンバの対向面を覆うカバー部分とを含み、前記複数のポンピングチャンバの前記入口及び出口ポートは、それぞれ前記入口及び出口カバー部分に向かって延び、前記カバー部分は、それぞれの入口及び出口を前記側方チャネル部分に連結する前記移送チャネルの部分を含む。

移送チャネルは、流体が１つのポンピングチャンバの出口から後続のポンピングチャンバの入口に流れるための通路を提供し、移送チャネルは、ステータの一方又は両方の側壁を貫いてカバー部分に対して垂直に延びる１又は２以上の側方チャネル部分と、側方チャネル部分の両端をそれぞれの入口及び出口に連結する連結チャネルとを含むことができる。連結チャネルは、それぞれの入口及び出口端部においてポンピングチャンバを覆う表面内に設けられる。

いくつかの実施形態では、前記ステータが、２つのクラムシェルコンポーネントを含むクラムシェルステータを含み、前記側方チャネル部分及びポンピングチャンバが、前記両クラムシェルコンポーネント内に延び、前記クラムシェルの一方が、前記ポンピングチャンバの入口部分を含む入口クラムを含み、もう一方が、前記ポンピングチャンバの出口部分を含む出口クラムを含む。

いくつかの実施形態では、ステータが、２つのブロックから成るクラムシェル型ステータとして形成されて、ステータ内におけるロータの取り付けを容易にする。

いくつかの実施形態では、前記ポンピングチャンバ入口を前記入口カバー部分の前記単一の側方チャネルに連結する前記チャネルが角度付きであり、前記単一の側方チャネル部分は、該単一の側方チャネル部分が前記連結チャネルを介して接続される前記ポンピングチャンバ入口に対してオフセットされ、前記側方チャネルは、前記ポンピングチャンバ入口よりも前記真空ポンプ入口に近い。

上述したように、ステータ内に移送チャネルを設けるための空間は限られており、単一の側方チャネルを有する移送チャネルはより大きな断面を有することができ、このための空間を提供するために、チャネルに角度を付けて側方チャネルをポンピングチャンバに対してオフセットすることが好都合となり得る。

いくつかの実施形態では、前記単一の側方チャネルを含む前記チャネルに隣接して前記真空ポンプ入口に近い前記移送チャネルが、前記入口カバー部分における角度付きの連結部分を含み、前記側方チャネル部分は、該側方チャネル部分が前記連結チャネルを介して接続される前記ポンピングチャンバ入口に対してオフセットされ、前記側方チャネル部分は、前記ポンピングチャンバ入口よりも前記真空ポンプ入口に近い。

ガスバラスト入口のための追加空間を提供するために、次の移送チャネル連結部分も入口に向けて角度を付けることが有利となり得る。これにより、単一の側方部分を有する移送チャネルのためのより広い断面の側方部分及び連結チャネル部分、並びにガスバラスト入口チャネルの両方のための追加空間を提供することができる。

単一の側方チャネルは、ポンピングチャンバのうちのいずれか２つのポンピングチャンバ間を接続することができるが、いくつかの実施形態では、前記単一の側方チャネル部分を含む前記移送チャネルが、最後から３番目のポンピングチャンバを最後から２番目のポンピングチャンバに接続するチャネルであり、前記最後から２番目のポンピングチャンバは排気ポンピングチャンバに隣接する。

上述したように、ガスバラストは、真空ポンプの排気端に向かって真空ポンプに投入されることが有利であり、従ってガスバラストチャネルは、ステータ内でも真空ポンプの排気側に向かって配置されれば有利となり得る。具体的には、最後から３番目のポンピングチャンバを最後から２番目のポンピングチャンバに連結する側方チャネルによって空け渡された空間内にガスバラストを配置することが有利となり得る。

いくつかの実施形態では、前記ガスバラスト入口チャネルの一部が、前記最後から３番目のポンピングチャンバの片側に対して少なくとも部分的に前記ステータの前記反対側に配置される。

単一の側方チャネル部分を含む移送チャネルが、最後から３番目のポンピングチャンバと最後から２番目のポンピングチャンバとの間を接続するものである場合、ガスバラスト入口チャネルは、この時点で移送チャネルへの側方チャネルが存在しないことによって空け渡された、最後から３番目のポンピングチャンバの片側の空間内に少なくとも部分的に配置することができる。

いくつかの実施形態では、前記ガスバラスト入口チャネルが、前記ポンプから前記ガスバラスト入口ポートへの流れを抑制する逆止弁を含むキャビティを含む。

ポンピングチャンバ内の圧力が上昇した時に、真空ポンプによって圧送されるガスがガスバラスト入口チャネルを通じて流出しないように、このチャネル内に逆止弁を配置できることが有利である。この逆止弁は、逆止弁とポンピングチャンバとの間のいずれかの容積の緩衝効果を避けるためにポンピングチャンバに近ければ好都合であり、従ってこのことは、ガスバラストチャネルがガスの供給先であるポンピングチャンバの近くに配置されれば有利であることのさらなる理由である。逆止弁はチャネル内のキャビティに配置され、従って馬鹿にならない容積を必要とする。

いくつかの実施形態では、前記ガスバラスト入口チャネルが、前記ガスバラスト入口チャネルを通じてガスバラストを流入させる、又は前記ポンピングチャンバを前記ガスバラストからシールする制御弁を含む。

真空ポンプへのガスバラストの投入を制御するために、ポンプが処理される特定の段階で必要時に必要なだけガスバラストを投入できるように制御弁を設けることができる。

添付の独立請求項及び従属請求項には、さらなる特定の好ましい態様を示す。従属請求項の特徴は、必要に応じて独立請求項の特徴と組み合わせることができ、特許請求の範囲に明示するもの以外の組み合わせとすることもできる。

機能を提供するものとして装置の特徴を説明している場合、この特徴は、その機能を提供する装置、或いはその機能を提供するように適合又は構成された装置の特徴を含むと理解されたい。

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態をさらに説明する。

先行技術による真空ポンプの主要ステータコンポーネントの等角図である。 図１の入口ステータコンポーネントの上面図である。 ある実施形態による入口ステータコンポーネントの上面図である。 ある実施形態によるステータ入口コンポーネントの端面図である。 ある実施形態によるステータ入口コンポーネントの等角図である。

実施形態をさらに詳細に説明する前に、まず概要について説明する。

実施形態は、複数の真空チャンバを少なくとも部分的に取り囲むステータを含む多段式真空ポンプを提供する。ステータは、複数のポンピングチャンバ間で１つのポンピングチャンバの出口から後続のポンピングチャンバの入口に流体を移送するための移送チャネルを含む。これらの移送チャネルはステータ内に配置される。

いくつかの実施形態では、ステータが、複数のポンピングチャンバ及びロータが間に配置された側壁と、側壁に対して垂直に延びて、複数のチャンバを含む１又は複数のステータコンポーネントの上面及び下面を覆うカバー部分とを含む。これらのカバー部分は、独立したプレートとすることも、或いは側壁を含むステータブロックの一部とすることもできる。

いくつかの実施形態では、移送チャネルの一部が、ステータの側壁を貫通する２つの側方チャネル部分を有し、これらは少なくとも部分的にそれぞれのポンピングチャンバの両側に配置される。複数のポンピングチャンバの入口は入口カバー部分に向かって延び、出口は対向する出口カバー部分に向かって延びる。移送チャネルは、１つのポンピングチャンバの出口から出口カバー部分内の連結チャネルに沿って側方チャネル部分に向けて流体を導くように構成され、流体は、側方チャネル部分を通じて入口カバー部分内のチャネルに流れ、そこで後続のポンピングチャンバの入口に導かれる。

流体移送チャネルの断面積は、過度に流れを妨げないほどの十分な大きさであることが好ましい。

流体は、真空ポンプの入口から出口に向かって流れるにつれて圧縮され、従って流体に必要な断面積が減少し、移送チャネルの断面も減少することができる。

実施形態は、真空ポンプ内のポンピングチャンバのうちの１つに排気目的でガスバラストを供給するガスバラスト入口チャネルを提供し、このようなガスバラスト入口チャネルのための空間を提供するために、ポンピングチャンバ間の移送チャネルのうちの１つは、ステータの一方の側に単一の側方部分のみを有してステータの反対側をガスバラストチャネルのために利用可能な状態にしておくように構成される。この移送チャネルの単一の側方部分は、この１つのチャネル内のガス流に十分な伝導力を与えるために、隣接する上流の移送チャネルのうちの少なくとも１つと比べて増加した断面積を有する。

図１に、先行技術による、共にステータブロックの本体を形成する入口ハーフシェルステータコンポーネント２及び出口ハーフシェルステータコンポーネント４を含む真空ポンプステータを示す。この例では、ステータが５段真空ポンプのためのものであり、水平壁の形態の仕切り部材（ｐａｒｔｉｔｉｏｎ ｍｅｍｂｅｒｓ）によって分離された５つのポンピングチャンバを含む。これらの水平壁は、ステータコンポーネント２及び４と一体であることが好ましい。

ステータには、それぞれが真空ポンプのロータアセンブリのそれぞれのシャフトを受け取るためのアパーチャ３４及び３６が設けられる。この実施形態では、真空ポンプがルーツ（Ｒｏｏｔｓ）真空ポンプを含み、ロータがルーツロータを含む。ステータコンポーネント２、４の端面３８及び４０には、ステータコンポーネント２、４の端部をシールするヘッドプレート（図示せず）が取り付けられる。

各ポンピングチャンバは、コンポーネント２の上面においてチャネルに連結される入口を含む。ポンピングチャンバのそれぞれの入口及び出口間の移送チャネルは、ポンピングチャンバの両端においてブロック２及び４を貫いて垂直に延びる側方部分を有し、これらの側方部分は、上面に示されるチャネル内に延びて側方チャネル部分からポンピングチャンバの入口へのガスの通路を提供する。

ポンピングチャンバの出口は、出口ステータコンポーネント４の下面のチャネル（図示せず）内に開口し、この表面には、ポンピングチャンバ出口からそれぞれの側方チャネルへの通路を提供する連結チャネルが存在する。

図２は、先行技術による入口ステータコンポーネント２の上面５２を示す図である。この図には、それぞれのポンピングチャンバの入口１７、１９、２１、２３及び２５を示す。また、この入口ステータコンポーネント２の表面には、ステータの両側の移送チャネルのそれぞれの側方チャネル部分に入口を連結する連結チャネルも存在する。左側には、側方チャネル部分の開口部を１２、１４、１６、１８、２０として示しており、これらは、入口ステータ部分の表面５２に沿って延びる連結チャネルによってポンピングチャンバのそれぞれの入口に連結される。同様に、右側には側方チャネル部分の開口部２２、２４、２６、２８及び３０を示しており、これらも連結チャネルを介して入口に連結される。この先行技術の真空ポンプでは、ポンピングチャンバの両側に移送チャネルの側方チャネル部分がポンピングチャンバ毎に存在し、真空ポンプの入口側６０から出口側６２に向かって側方チャネル部分の断面が減少している。側方チャネルは、入口ステータ部分における連結チャネルが側壁に対して垂直に延びるようにポンピングチャンバの片側に配置される。

図３は、ある実施形態による入口ステータコンポーネント２の上面５２の端面図である。この多段ポンプには７つのポンピングチャンバが存在するが、このコンポーネントには５つのポンピングチャンバ入口を示しており、入口段は入口ヘッドプレート（図示せず）内に存在し、出口段は、ステータコンポーネントを取り囲む、シールを収容する溝の下方に存在し、従って図３では見えない。

図３には、第２のポンピングチャンバへの入口１７と、後続の入口１９、２１、２３及び２５とを示しており、排気ポンプ段へのさらなる入口２７は図４に示す。多段式真空ポンプの段間には流体を移送するための移送チャネルが存在し、これらはそれぞれ、ポンピングチャンバに少なくとも部分的に隣接してステータの側部を貫通する側方部分を有する。入口１７を有する第２のポンピングチャンバでは、低圧ガスに十分な流れをもたらす２つの側方チャネル部分が両側に存在する。これらの２つの側方チャネル部分を、左側に１２として、右側に２２として示す。後続のポンピングチャンバは、左側に側方チャネル部分１４を有し、右側に側方チャネル部分２４を有する。これらの側方チャネルは、他方のステータコンポーネント４の対向面に存在する前のポンピングチャンバの出口から流体を受け取るように構成され、流体はチャネルを通じて入口面に流れ、その後に連結チャネル１４ａ及び２４ａに沿って入口１９に流れる。

その後、流体は、ポンピングチャンバを通じて圧送されて、ステータコンポーネント４の出口面の出口において後続の側方チャネル１６及び２６内に出力され、その後に入口コンポーネント２の入口面５２に移動し、そこから連結チャネルを通じて後続のポンピングチャンバの入口２１内に移動する。

この実施形態では、真空ポンプの排気段にバラストガスを入力するためのガスバラスト入口チャネル７０が設けられる。この実施形態では、ガスバラスト入口チャネル７０が、２５を入口とする最後から２番目のポンピングチャンバの片側に配置される。この最後から２番目のポンピングチャンバは、１つの側方部分３０しか有していない移送チャネルから流体を受け取り、この移送チャネルは、最後から３番目のポンピングチャンバから最後から２番目のポンピングチャンバに流体を移送する。この移送チャネルは、１つの側方チャネル部分しか存在しないため、前の２つのポンピングチャンバ間で流体を移送する位相チャネルよりも大きな断面積を有する。この結果、ステータの反対側にガスバラスト入口チャネル７０のための空間がもたらされる。

真空ポンプの排気端に向かうにつれて、移送チャネルに必要な断面積は小さくなり、従って移送チャネル側方部分の断面積を増やしても空間に過度な負担がかかることはない。しかしながら空間は限られており、従ってこの実施形態では、側方チャネル３０がポンピングチャンバ及びポンピングチャンバ入口２５に対してオフセットされ、従って連結チャネル３０ａに角度が付いている。これによってチャネルを大きくすることができるにもかかわらず、次の排気段への、表面５２上には開口せずに表面の下方を横切って進む後続の側方チャネルのための空間を提供することができ、このことを図４に示す。

図４は、排気ポンピングチャンバへのポンピングチャンバ入口２７を有する入口ステータコンポーネント２の端面図である。ガスバラスト入口通路７０は、最後から２番目から排気段への左手移送チャネル３１の側方部分を排気ポンピング段の入口２７に連結する接続連結チャネル（ｃｏｎｎｅｃｔｉｎｇ ｌｉｎｋｉｎｇ ｃｈａｎｎｅｌ）３１ａ内に開口する。従って、ガスバラスト及び最後から２番目のポンピングチャンバからの流体の両方が連結チャネル３１ａを通じて入口２７に流れる。右手移送チャネル３２の側方部分を排気ポンピングチャンバの入口に連結するさらなる連結チャネル３２ａも存在する。

図５は、入口ステータコンポーネント２の等角図である。このコンポーネントの上面に開口部を有するガスバラスト入口チャネル７０を示しており、移送チャネルの側方部分を入口に連結する連結チャネルも示す。側方チャネルは、これらの連結チャネルから下方に延びていて見えない。端面が見えており、入口２７から排気段までが独自の連結チャネルによってどのように連結されているかを示す。

垂直な側方チャネルを通るガスの流れは、ステータ出口ブロック４の下面のそれぞれのポンピングチャンバの出口から入口ステータブロックの上面への移送チャネルを通じて図示のように上向き方向に流れる。ガスバラストチャネルは、入口クラム（ｉｎｌｅｔ ｃｌａｍ）の上面５２の開口部からバラストガスを受け取り、このバラストガスが排気段の入口に流れ落ちる。

ガスバラストチャネルは、排気ポンピングチャンバに近いチャネル内に配置されてポンピングチャンバからバラストガス入口ポートへのガスの流れを抑制する逆止弁（図示せず）と、バラストガスの投入を制御する制御弁（やはり図示せず）とを有する。

本明細書では、添付図面を参照しながら本考案の例示的な実施形態を詳細に開示したが、本考案は正確な実施形態に限定されるものではなく、当業者であれば、添付の実用新案登録請求の範囲及びその同等物によって定められる本考案の範囲から逸脱することなく実施形態において様々な変更及び修正を行うことができると理解される。

２ 入口ハーフシェルステータコンポーネント
４ 出口ハーフシェルステータコンポーネント
１７、１９、２１、２３、２５、２７ ポンピングチャンバ入口
１２、１４、１６、１８、２０、２２、２４、２６、２８、３０、３１、３２ 移送チャネル側方部分
１４ａ、２４ａ、３０ａ、３１ａ、３２ａ 移送チャネル連結部分
３４、３６ ロータ収容アパーチャ
３８、４０ ステータブロックの端面
５２ 入口ハーフシェルステータコンポーネントの上面
６０ 真空入口端部
６２ 真空ポンプ出口端部
７０ ガスバラスト入口チャネル

Claims (11)

1. 多段式真空ポンプであって、
   複数のポンピングチャンバを定めるステータを備え、
   前記ステータは、前記ポンピングチャンバのうちの１つのポンピングチャンバの出口ポートから後続のポンピングチャンバの入口ポートへの流体通路をそれぞれが提供する複数の移送チャネルを含み、
   前記移送チャネルのうちの少なくとも１つは、前記ステータの両側に２つの側方チャネル部分を含み、
   前記移送チャネルのうちの少なくとも１つは、前記ステータの片側に単一の側方チャネル部分を含み、
   前記真空ポンプは、前記ステータの前記片側に対して前記ステータの反対側に配置されたガスバラスト入口チャネルをさらに備える、
   ことを特徴とする多段式真空ポンプ。
2. 前記真空ポンプ入口の方に近いポンピングチャンバ間に流体通路を提供する前記移送チャネルの前記部分のうちの少なくともいくつかの部分の断面は、前記ポンプ出口の方に近いポンピングチャンバ間の前記移送チャネルの前記部分の断面よりも大きな断面を有する、
   請求項１に記載の多段式真空ポンプ。
3. 前記単一の側方チャネル部分を含む前記移送チャネルは、隣接する上流の移送チャネルの断面よりも大きな断面を有する、
   請求項１又は２に記載の多段式真空ポンプ。
4. 前記ステータは、前記複数のポンピングチャンバの両側の側壁と、前記複数のポンピングチャンバの対向面を覆うカバー部分とを含み、前記複数のポンピングチャンバの前記入口及び出口ポートは、それぞれ前記入口及び出口カバー部分に向かって延び、前記カバー部分は、それぞれの入口及び出口を前記側方チャネル部分に連結する前記移送チャネルの部分を含む、
   請求項１から３のいずれかに記載の多段式真空ポンプ。
5. 前記ステータは、２つのクラムシェルコンポーネントを含むクラムシェルステータを含み、前記側方チャネル部分及びポンピングチャンバは、前記クラムシェルコンポーネントの両方内に延び、前記クラムシェルの一方は、前記ポンピングチャンバの入口部分を含む入口クラムを含み、もう一方は、前記ポンピングチャンバの出口部分を含む出口クラムを含む、
   請求項１から４のいずれかに記載の多段式真空ポンプ。
6. 前記ポンピングチャンバ入口を前記入口カバー部分の前記単一の側方チャネルに連結する前記チャネルは角度付きであり、前記単一の側方チャネル部分は、該単一の側方チャネル部分が前記連結チャネルを介して接続される前記ポンピングチャンバ入口に対してオフセットされ、前記側方チャネルは、前記ポンピングチャンバ入口よりも前記真空ポンプ入口に近い、
   請求項４又は５に記載の多段式真空ポンプ。
7. 前記単一の側方チャネルを含む前記チャネルに隣接して前記真空ポンプ入口に近い前記移送チャネルは、前記入口カバー部分における角度付きの連結部分を含み、前記側方チャネル部分は、該側方チャネル部分が前記連結チャネルを介して接続される前記ポンピングチャンバ入口に対してオフセットされ、前記側方チャネル部分は、前記ポンピングチャンバ入口よりも前記真空ポンプ入口に近い、
   請求項４又は５に記載の多段式真空ポンプ。
8. 前記単一の側方チャネル部分を含む前記移送チャネルは、最後から３番目のポンピングチャンバを最後から２番目のポンピングチャンバに接続するチャネルであり、前記最後から２番目のポンピングチャンバは排気ポンピングチャンバに隣接する、
   請求項１から７のいずれかに記載の多段式真空ポンプ。
9. 前記ガスバラスト入口チャネルの一部は、前記最後から３番目のポンピングチャンバの片側に対して少なくとも部分的に前記ステータの前記反対側に配置される、
   請求項８に記載の多段式真空ポンプ。
10. 前記ガスバラスト入口チャネルは、前記ポンプから前記ガスバラスト入口ポートへの流れを抑制する逆止弁を含むキャビティを含む、
    請求項１から９のいずれかに記載の多段式真空ポンプ。
11. 前記ガスバラスト入口チャネルは、前記ガスバラスト入口チャネルを通じてガスバラストを流入させる、又は前記ポンピングチャンバを前記ガスバラストからシールする制御弁を含む、
    請求項１から１０のいずれかに記載の多段式真空ポンプ。

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