JPWO2021079088A5

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Publication number: JPWO2021079088A5
Application number: JP2022523857A
Authority: JP
Publication date: 2023-10-13
Anticipated expiration: 2040-10-09

Claims

ポンプハウジング（１）用のステータ構成要素（５）であって、前記ステータ構成要素（５）は、
それぞれのポンプチャンバ（１１－ｎ）に流体を移送するための複数の流体入口経路（１９－ｎ）であって、前記流体入口経路（１９－ｎ）の各々は、前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）内に流体を移送するための入口ポート（２１－ｎ）を有する、複数の流体入口経路（１９－ｎ）と、
前記流体入口経路（１９－ｎ）のそれぞれの１つに流体を移送するための複数の流体移送経路（３１－ｎ）であって、前記流体移送経路（３１－ｎ）の各々は、ポンプ送給された流体を受け取るための入口（３３－ｎ）を有する、複数の流体移送経路（３１－ｎ）と、
を備え、
前記ステータ構成要素（５）は、前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）の関連する１つへのポンプ送給された流体の移送を阻止するように前記流体移送経路（３１－ｎ）又は前記入口ポート（２１－ｎ）を少なくとも実質的にシールするための少なくとも１つのシール部材（４３）を収容するようになっている、ステータ構成要素（５）。
実質的に流体密封シールを形成するために前記シール部材（４３）を収容するための座部（４５）を備える、請求項１に記載のステータ構成要素（５）。
前記座部（４５）は、前記入口ポート（２１－ｎ）又は前記流体移送経路入口（３３－ｎ）の周りに少なくとも部分的に広がるリング状のシール面（４７）を備えるか又はそれから成る、請求項２に記載のステータ構成要素（５）。
前記座部（４５）は、凹部を備える、請求項２又は３に記載のステータ構成要素（５）。
ステータ構成要素（５）は、第２の半殻ステータ構成要素（７）に固定するための第１の半殻ステータ構成要素（５）を備える、請求項１から４のいずれか１項に記載のステータ構成要素（５）。
ポンプハウジング（１）用のステータ組立体であって、前記ステータ組立体は、請求項１から５のいずれか１項に記載のステータ構成要素（５）と、シール部材（４３）とを備え、前記シール部材（４３）及び前記ステータ構成要素（５）は、互いに協働して、前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）へのポンプ送給された流体の移送を阻止する、ステータ組立体。
前記シール部材（４３）は、少なくとも実質的に前記流体移送経路（３１－ｎ）をシールして、前記流体入口経路（１９－ｎ）へのポンプ送給された流体の移送を阻止し、前記シール部材（４３）は、随意的に前記流体移送経路入口（３３－ｎ）に配置される、請求項６に記載のステータ組立体。
前記シール部材（４３）は、少なくとも実質的に前記入口ポート（２１－ｎ）をシールして、前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）へのポンプ送給された流体の移送を阻止する、請求項６に記載のステータ組立体。
前記シール部材（４３）は、外部流体源から前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）に流体を入れるための流体流入口（１３、１５）を備える、請求項８に記載のステータ組立体。
前記ステータ構成要素（５）に固定されたカバープレート（９）を備え、前記シール部材（４３）は、前記カバープレート（９）上に配置される、請求項６から９のいずれか１項に記載のステータ組立体。
前記シール部材（４３）は、前記カバープレート（９）と一体形成される、請求項１０に記載のステータ組立体。
ポンプハウジング（１）用のステータ構成要素（７）であって、前記ステータ構成要素（７）は、
それぞれのポンプチャンバ（１１－ｎ）からポンプ送給された流体を移送するための複数の流体出口経路（２５－ｎ）であって、前記流体出口経路（２５－ｎ）の各々は、前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）からポンプ送給された流体を受け取るための出口ポート（２７－ｎ）を有する、複数の流体出口経路（２５－ｎ）と、
前記流体出口経路（２５－ｎ）のそれぞれの１つから流体を移送するための複数の流体移送経路（３１－ｎ）であって、前記流体移送経路（３１－ｎ）の各々は、ポンプ送給された流体を移送するための出口を有する、複数の流体移送経路（３１－ｎ）と、
を備え、
前記ステータ構成要素（７）は、前記流体移送経路出口を通るポンプ送給された流体の移送を阻止するためのシール部材（４３）を収容するようになっている、ステータ構成要素（７）。
ポンプハウジング（１）のステータ構成要素（５）に固定するためのカバープレート（９）であって、前記カバープレート（９）は、前記ステータ構成要素（５）の流体移送経路（３１－ｎ）内に位置してポンプチャンバ（１１－ｎ）へのポンプ送給された流体の移送を阻止するためのシール部材（４３）を備える、カバープレート（９）。
前記シール部材（４３）は、前記カバープレート（９）と一体形成される、請求項１３に記載のカバープレート（９）。
外部流体源から前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）に流体を入れるための流体入口（４９）を備える、請求項１３又は１４に記載のカバープレート（９）。
請求項１から６のいずれか１項に記載の又は請求項１２に記載のステータ構成要素（５）を有するポンプハウジング（１）を備える、ポンプ（３）。
前記ポンプは、多段容積式真空ポンプである、請求項１６に記載のポンプ（３）。
少なくとも１つのシール部材（４３）を収容するようにステータ構成要素（５）を改造する方法であって、前記ステータ構成要素（５）は、ポンプハウジング（１）用であり、それぞれのポンプチャンバ（１１－ｎ）に流体を移送するための複数の流体入口経路（１９－ｎ）と、前記流体入口経路（１９－ｎ）のそれぞれの１つに流体を移送するための複数の流体移送経路（３１－ｎ）とを備え
前記方法は、
前記ポンプチャンバ（１１－ｎ）の関連する１つへのポンプ送給された流体の移送を阻止するため前記流体移送経路（３１－ｎ）を少なくとも実質的にシールする少なくとも１つのシール部材（４３）を収容するための座部（４５）を前記ステータ構成要素（５）に形成するステップを含む、方法。
前記座部（４５）は、前記流体入口経路（１９－ｎ）の１つの入口ポート（２１－ｎ）の周りに少なくとも部分的に広がるリング状のシール面（４７）を備えるか又はそれから成り、及び／又は、前記座部（４５）は、前記流体移送経路入口（３３－ｎ）の１つの周りに少なくとも部分的に広がるリング状のシール面（４７）を備えるか又はそれから成り、前記座部（４５）の形成は、随意的に前記ステータ構成要素（５）に凹部を形成することを含むことができる、請求項１８に記載の方法。