JP2023507616A - 溶融炉用モジュラーガンアセンブリ - Google Patents
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Abstract
EB炉のための電子ビーム(EB)ガンアセンブリが提供される。EBガンアセンブリは、スケルトンフレームと、スケルトンフレームに取り付けられた少なくとも1つのEBガンとを含むEBガンフレームアセンブリを含み、EBガンフレームアセンブリは、第1のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、第1のEBチャンバ内の材料を溶融し、取り外されて第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、第2のEBチャンバ内の材料を溶融するように構成される。いくつかの形態において、EBガンアセンブリは少なくとも1つの取付けフレームを含み、少なくとも1つのEBガンは少なくとも1つの取付けフレームに取り付けられ、少なくとも1つの取付けフレームはスケルトンフレームに取り付けられる。【選択図】 図8
Description
(関連出願の相互参照)
本出願は、2019年12月17日に出願された仮出願第62/948,997号の優先権および利益を主張するものである。上記出願の開示は、参照によって本願に組み込まれる。
本出願は、2019年12月17日に出願された仮出願第62/948,997号の優先権および利益を主張するものである。上記出願の開示は、参照によって本願に組み込まれる。
(分野)
本開示は、電子ビーム炉に関し、特に、電子ビーム炉のための電子ビームガンアセンブリに関する。
本開示は、電子ビーム炉に関し、特に、電子ビーム炉のための電子ビームガンアセンブリに関する。
本項における記載は、単に本開示に関連する背景情報を提供するものであり、従来技術を構成するものではない場合がある。
電子ビーム(EB)炉は、1または複数の電子ビームを用いて材料(たとえば廃材やバージン合金材)を溶融し、鋳塊を製造する。そのような炉は、通常、チャンバに取り付けられたチャンバ蓋の開口部に取り付けられた1または複数のEBガンを有し、EBガン(複数も可)によって発生した電子ビーム(複数も可)が開口部を通って伝搬し、溶融キャンペーン中にチャンバ内に含まれる材料を溶融させる。EB炉の溶融効率に関する1つの問題は、別の溶融キャンペーンが開始し得る前にチャンバおよび/またはチャンバ蓋を洗浄するために必要なダウンタイムである。
本開示は、溶融および合金鋳塊の形成に関連する様々な問題の中でも特に、EB炉溶融におけるダウンタイムに関連する問題に対処する。
本開示の一形態において、電子ビーム炉のための電子ビーム(EB)ガンアセンブリが提供される。EBガンアセンブリは、スケルトンフレームと、スケルトンフレームに取り付けられた少なくとも1つのEBガンとを備えるEBガンフレームアセンブリを備え、EBガンフレームアセンブリは、第1のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、第1のEBチャンバ内の材料を溶融し、取り外されて第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、第2のEBチャンバ内の材料を溶融するように構成される。いくつかの変形例において、スケルトンフレームは、少なくとも1つのEBガン開口部を備え、少なくとも1つのEBガンは、少なくとも1つのEBガン開口部を貫通して延びる。
本開示の少なくとも1つの変形例において、EBガンアセンブリは、少なくとも1つの取付けフレームを含み、少なくとも1つのEBガンは少なくとも1つの取付けフレームに取り付けられ、少なくとも1つの取付けフレームはスケルトンフレームに取り付けられる。いくつかの変形例において、取付けフレームは、ノズル開口部を備え、少なくとも1つのEBガンは、ノズル開口部を貫通して延びるノズルを備える。少なくとも1つの変形例において、取付けフレームは、ノズル開口部を有する天板と、天板に可動的に取り付けられた浮動板とを備え、少なくとも1つのEBガンのノズルは、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後にノズルの位置が移動可能であるように、浮動板に取り付けられる。
いくつかの変形例において、カラーは、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後にノズルの位置が移動可能であるように、EBガンのノズルに強固に取り付けられ、取付けフレームの天板に可動的に取り付けられる。少なくとも1つの変形例において、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後にカラーが可動であるように、カラーと天板との間に複数の付勢部材が配置される。また、少なくとも1つのEBガンが蓋のガン開口部と位置合わせされるように、第1のEBチャンバ蓋および第2のEBチャンバ蓋の少なくとも1つから延びる第2の位置合わせピンを受容するように構成された第1の位置合わせガイドが含まれ得る。
本開示のいくつかの変形例において、少なくとも1つのEBガンは、スケルトンフレームに取り付けられた複数のEBガンである。そのような変形例において、EBガンアセンブリは複数の取付けフレームを有し、複数のEBガンの各々は取付けフレームに取り付けられ、複数の取付けフレームの各々はスケルトンフレームに取り付けられる。少なくとも1つの変形例において、複数の取付けフレームの各々は、ノズル開口部を有し、複数のEBガンの各々は、取付けフレームのノズル開口部を貫通して延びるノズルを有する。複数の取付けフレームの各々は、ノズル開口部を有する天板と、天板に可動的に取り付けられた浮動板とを含む。複数のEBガンの各々のノズルは、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に複数のEBガンの各々のノズルの位置が移動可能であるように、取付けフレームの浮動板に取り付けられる。いくつかの変形例において、複数の取付けフレームの各々は、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に複数のEBガンの各々のノズルの位置が移動可能であるように、EBガンのノズルに強固に取り付けられ、取付けフレームの天板に可動的に取り付けられたカラーを含む。少なくとも1つの変形例において、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に各カラーが可動であるように、各カラーと天板との間に複数の付勢部材が配置される。
本開示の他の形態において、電子ビーム(EB)炉アセンブリが提供される。EB炉アセンブリは、第1のEBチャンバと、第1のEBガン開口部セットを有する第1のEBチャンバ蓋とを備える第1のEB炉と、第2のEBチャンバと、第2のEBガン開口部セットを有する第2のEBチャンバ蓋とを備える第2のEB炉と、EBガンフレームアセンブリとを備える。EBガンフレームアセンブリは、スケルトンフレームと、スケルトンフレームに取り付けられた複数のEBガンとを備える。EBガンフレームアセンブリは、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋で交換可能であるように、第1のEBガン開口部セットに取り付けられた複数のEBガンを有する第1のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、第2のEBガン開口部セットに取り付けられた複数のEBガンを有する第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられるように構成される。
本開示のいくつかの変形例において、EBガンアセンブリは、複数の取付けフレームを含み、複数のEBガンは複数の取付けフレームに確実に取り付けられ、複数の取付けフレームはスケルトンフレームに確実に取り付けられる。少なくとも1つの変形例において、複数の取付けフレームの各々は、天板と、天板に可動的に取り付けられた浮動板とを有する。また、複数のEBガンの各々は、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に複数のEBガンの各々の位置が移動可能であるように、複数のEBガンの各々のノズルが取付けフレームの浮動板に取り付けられるように、浮動板に強固に取り付けられる。いくつかの変形例において、複数の取付けフレームの各々は、EBガンのノズルに強固に取り付けられたカラーを含み、ノズルは、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に複数のEBガンの各々のノズルの位置が移動可能であるように、取付けフレームの天板に可動的に取り付けられる。
本開示のまた別の形態において、電子ガン(EB)炉アセンブリで材料を溶融する方法が提供される。方法は、EBガンフレームアセンブリを第1のEBチャンバ蓋に確実に取り付けることを含む。EBガンフレームアセンブリは、スケルトンフレームと、スケルトンフレームに確実に取り付けられた複数のEBガンとを含む。第1のEBチャンバ蓋は第1のEBガン開口部セットを備え、複数のEBガンは第1のEBガン開口部セットに取り付けられる。第1のEBチャンバ蓋およびEBガンフレームアセンブリが第1のEBチャンバに確実に取り付けられると、複数のEBガンを用いて第1のEBチャンバ内で材料が溶融される。いくつかの変形例において、方法は、第1のEBチャンバ蓋からEBガンフレームアセンブリを取り外し、EBガンフレームアセンブリを、第2のEBガン開口部セットを有する第2のEBチャンバ蓋に確実に取り付けることを含む。複数のEBガンは、第2のEBガン開口部セットに取り付けられ、第2のEBチャンバ蓋およびEBガンフレームアセンブリが第2のEBチャンバに確実に取り付けられると、複数のEBガンを用いて第2のEBチャンバ内で材料が溶融される。
本開示のいくつかの変形例において、EBガンフレームアセンブリは、スケルトンフレームに確実に取り付けられた複数の取付けフレームと、複数の取付けフレームに確実に取り付けられた複数のEBガンとを含む。少なくとも1つの変形例において、複数の取付けフレームの各々は、天板と、天板に可動的に取り付けられた浮動板とを有し、複数のEBガンの各々は、EBガンフレームアセンブリが第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に複数のEBガンの各々の位置が移動可能であるように、浮動板に強固に取り付けられる。いくつかの変形例において、方法は、EBガンフレームアセンブリが第1のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後、複数のEBガンの少なくとも1つの位置を動かし、複数のEBガンの少なくとも1つを、第1のEBチャンバ蓋のEBガン開口部に確実に取り付けることを含む。少なくとも1つの変形例において、EBガンフレームアセンブリが第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後、複数のEBガンの少なくとも1つの位置が動かされ、第2のEBチャンバ蓋のEBガン開口部に確実に取り付けられる。
更なる適用領域は、本明細書に提供される説明から明らかになる。理解すべき点として、この説明および具体例は、単に例示を目的とすることが意図され、本開示の範囲を限定することは意図されていない。
本開示が適切に理解されるように、以下、添付図面を参照しながら、例として付与される本開示の様々な形態が説明される。
本明細書で説明される図面は、例示のみを目的としており、いかなるようにも本開示の範囲を限定することは意図されていない。
以下の説明は、本質的に単なる典型例であり、本開示、応用、または用途を限定することは意図されていない。理解すべき点として、図面を通して、対応する参照番号は、類似または対応する部品および特徴を示す。
図1を参照すると、電子ビーム(EB)ガンおよび蓋アセンブリ20が示される。EBガンおよび蓋アセンブリ20は、少なくとも1つのEBガン22(本明細書において単に「EBガン」とも称される)と、蓋40とを備える。EBガン22の各々は、後述するように、一対のEBガンダクト24、26を有し、これを通ってEBガン22の動作中に空気が引き出され、排気ガスが流動し得る。EBガン22は、EBガン開口部44において蓋40に取付けまたは装着され、EBガンおよび蓋アセンブリ20は、内部64を有するチャンバ60に結合する。本開示のいくつかの変形例において、蓋40とチャンバ60との間に気密または真空気密封止が設けられるように、蓋40の蓋フランジ42をチャンバ60のチャンバフランジ62に締結および固定するためにクランプ(不図示)が用いられる。いくつかの変形例において、蓋40がチャンバ60に取付けまたは結合される前に、EBガン22の1または複数が蓋40に取り付けられるが、他の変形例では、蓋40がチャンバ60に取付けまたは結合された後に、EBガン22の1または複数が蓋40に取り付けられる。
EBガン22をEBガン開口部44に取り付け、EBガンおよび蓋アセンブリ20をチャンバ60に結合すると、EBガン22が内部64に対して所望の角度で位置合わせされる。EBガン22の動作中、EBガンダクト24、26を通ってEBガン22(すなわちEBガン22を収容するハウジング(符号なし))に真空が引かれ、EBガン22からの電子ビームがEBガン開口部44を通ってチャンバ60内に伝搬する。理解すべき点として、真空ポンプ(不図示)を用いてチャンバ60から空気も引き出される。電子ビームは、溶融キャンペーン中にチャンバ60の内部64において液体金属(不図示)を形成するために1または複数の材料バッチのキャンペーンを加熱および溶融し、EBガン22が取り付けられた蓋40が取り外される前に、液体金属はチャンバ内で冷却され、鋳塊(不図示)が形成される。
理解すべき点として、そのようなEBガンおよび蓋アセンブリ20を用いることにより、たとえば商業用のチタン合金鋳塊など、商業用の鋳塊を製造するためのクリーンかつエネルギ効率の良いプロセスが提供される。しかし、後続の溶融キャンペーンを進行させる前に、チャンバ60および蓋40を洗浄および/または改修することが望ましく、そのような洗浄および/または改修は時間を要し、その間、EBガンおよび蓋アセンブリ20を溶融のために使用することが妨げられる。すなわち、チャンバ60および蓋40が洗浄および/または改修されている時、EBガンおよび蓋アセンブリ20は、材料を溶融するために用いることができない。
ここで図2を参照すると、本開示の教示に係るEBガンアセンブリ80が示される。EBガンアセンブリ80は、スケルトンフレーム100と、スケルトンフレーム100に取り付けられたEBガン22とを備える。いくつかの変形例において、EBガン22の各々は、一対のEBダクト24、26を有する。図2に示すように、スケルトンフレーム100は、第1の蓋40Aおよび第2の蓋40b(本明細書において集合的に「蓋40a、40b」と称される)に結合するように構成され、第1の蓋40aは第1のチャンバ60aに結合するように構成され、第2の蓋40bは第2のチャンバ60bに結合するように構成される。いくつかの変形例において、第1の蓋40aは第2のチャンバ60bに結合するようにも構成され、第2の蓋40bは第1のチャンバ60aに結合するように構成される。すなわち、蓋40a、40bは、第1のチャンバ60aおよび第2のチャンバ60b(本明細書において集合的に「チャンバ60a、60b」と称される)で交換可能である。少なくとも1つの変形例において、蓋40a、40bの一方または両方は、更に詳しく後述するように、蓋40a、40bへのEBガンアセンブリ80の位置合わせを支援する第1の位置合わせガイド41を含んでよい。理解すべき点として、そのような構成により、EBガンアセンブリ80は、たとえば第1の溶融キャンペーン後に第1の蓋40aから取り外され、第2のチャンバ60bにおける第2の溶融キャンペーンのために第2の蓋40bに取り付けられることが可能である。また、そのような構成により、第1の蓋40aが、第2のチャンバ60bにおける第2の溶融キャンペーン中に、第1のチャンバ60aにおける別の溶融キャンペーンのために洗浄および/または改修されることも可能である。
ここで図3を参照すると、スケルトンフレーム100が示され、外側リング102と、複数のクロス部材104と、少なくとも1つの取付け部材106とを含む。外側リング102、複数のクロス部材104、および少なくとも1つの取付け部材106は、スケルトンフレーム100を形成し、複数の開口部110を画定するように、互いに強固に取り付けられる。開口部110は、スケルトンフレーム100の重量を軽減し、蓋40a、40bに対する目視検査、観察、および接近を可能にする。いくつかの変形例において、デッキ108が含まれ、少なくとも1つのクロス部材104に取り付けられる。デッキ108は、スケルトンフレーム100へのEBガン22の設置または取付け、蓋40a、40bの1つへのEBガンアセンブリ80の取付け、および/またはチャンバ60a、60b内での材料の溶融中に、個人が歩行し作業するためのプラットフォームを提供する。少なくとも1つの変形例において、第2の位置合わせガイド101を有する、または有さないカバープレート112が含まれ、クロス部材104の1または複数の間に延び、クロス部材104の1または複数に取り付けられる。
図4を参照すると、いくつかの変形例において、EBガンアセンブリ80は、EBガン22の1つを受容し保持するように構成された取付けフレーム120を含む。特に、更に詳しく後述するように、取付けフレーム120は、スケルトンフレーム100に強固に取り付けられ、EGガン開口部44へのEBガン22の位置合わせおよび強固な取付けを支援することができる。本開示のいくつかの変形例において、スケルトンフレーム100は、EBダクト24、26の少なくとも1つにも結合し、支持する。
図5Aおよび図5Bを参照すると、いくつかの変形例において、取付けフレーム120は、取付け板122と、一対の側板124と、天板126とを含む。取付け板122、一対の側板124、および天板126は、EBガン22を支持するように構成されたフレーム121を形成する。また、取付け板122は、スケルトンフレーム100の取付け部材106(図3)に強固に取り付けられるように構成され、天板126および浮動板130は、各々がガン開口部132を有する。
本開示のいくつかの変形例において、浮動板130が含まれ、複数のロッド134および浮動ばね136で天板126に結合される。たとえば、複数のロッド134は、図5Bに示すように、浮動板130に強固に取り付けられた上端(符号なし、+z方向)と、ロッド134の下端(符号なし、-z方向)と天板126との間に設けられた複数の浮動ばね136とを有する。したがって、浮動板130は、天板126およびフレーム121に対し制限された付勢運動を有する。すなわち、ロッド134は天板126を通って平行移動し、ロッド134の下端と天板126との間に設けられた浮動ばね136によって、取付けフレーム120がスケルトンフレーム100に強固に取り付けられると、浮動板130は上下(+/-z方向)に動き、(z軸を中心に)傾くように構成される。
いくつかの変形例において、カラー138が含まれ、浮動板130およびカラーの両方が天板126に対し制限された付勢運動を有するように浮動板130に結合される。理解すべき点として、ロッド134はねじ部材であってよく、市販の留め具(ピン、ナット、ワッシャなど)がロッド134を浮動ばね136および浮動板130に固定する。
少なくとも1つの変形例において、取付けフレーム120は、天板126または浮動板130に結合されたブレース128を含む。ブレース128が天板126に結合される変形例において、ブレース128は、浮動板130に摺動可能に結合され、および/または浮動板130を通って平行移動することができる。代替例において、天板126は、ブレース128が天板126に結合されるが浮動板130に結合されないように、浮動板130の向こう側に(+y方向に)延びてよい。ブレース128が浮動板130に結合される変形例において、ブレース128は浮動板130に伴って動き、天板126に対して制限された動きを有する。
図6を参照すると、取付けフレーム120に取り付けられたEBガン22が示される。EBガン22は、浮動板130上に位置するガンチャンバ23と、天板126および浮動板130のガン開口部132(図5A)内に設けられた取付けフランジ27を有するガンノズル25とを含む。いくつかの変形例において、ガンチャンバ23の底面(符号なし、-z方向)は浮動板130に強固に取り付けられ、および/または、カラー138はガンノズル25に強固に取り付けられ、ガンノズル25は取付けフレーム120に対して制限された動きを有する。したがって、取付けフレーム120がスケルトンフレーム100に強固に取り付けられると、ガンノズル25は、スケルトンフレーム100に対して制限された動きを有し、スケルトンフレーム100が蓋40a、40bに強固に取り付けられると、ガンノズル23は、蓋40a、40bに対して制限された動きを有し、EBガン開口部44に対して制限された動きを有する。ガンノズル25によるそのような制限された動きは、特定のEBガン開口部44へのガンノズル25の位置合わせおよび取付けを支援し、強化する。
図7を参照すると、複数のフレーム120を介してスケルトンフレーム100に取り付けられた複数のEBガン22を有するEBガンアセンブリ80が示される。理解すべき点として、取付けフレーム120の各々は、それぞれのEBガン開口部44へのガンノズル25の位置合わせおよび取付け中にガンノズル25の各々に制限された動きがもたらされるように、上述したように天板126に可動に取り付けられた浮動板130を含む。
図8を参照すると、第1の蓋40aまたは第2の蓋40bに強固に取り付けられたEBガンアセンブリ80が示される。特に、スケルトンフレーム100は、複数のクランプ103で第1の蓋40aまたは第2の蓋40bに強固に取り付けられ、EBガン22の各々は、それぞれのEBガン開口部44に強固に取り付けられる。少なくとも1つの変形例において、各ガンノズル25の取付けフランジ27は、それぞれのガン開口部44にボルト留めされる(不図示)。理解すべき点として、EBガン開口部44へのEBガン22の各々の取付けは、取付けフレーム120によって支援および強化される。たとえば、いくつかの変形例において、EBガンアセンブリ80が定位置に動かされ、第1の蓋40aまたは第2の蓋40bに取り付けられると、EBガン22の各々は、取付けフレーム120に取り付けられる。少なくとも1つの変形例において、第1の位置合わせガイド41および第2の位置合わせガイド101は、蓋40aまたは第2の蓋40bにおけるスケルトンフレーム100の位置決めを支援する。スケルトンフレーム100が第1の蓋40に取り付けられた後、ガンノズル25の各々は、それぞれのEBガン開口部44と位置合わせされる。ガンノズル25とEBガン開口部44との位置合わせは、浮動板130によって提供される天板126に対する制限された動きによって支援され、各ガンノズル25は、適切に位置合わせされた後、取付けフランジ27を介してEBガン開口部44に強固に取り付けられる。EBガン22がEBガン開口部44に強固に取り付けられた後、第1のチャンバ60aに真空が引き込まれ(すなわち、第1のチャンバ60aから空気が排除され)、第1のチャンバ60aにおける材料のEB溶融が開始する(たとえば、第1の溶融キャンペーンが実行または実施される)。理解すべき点として、第1の溶融キャンペーンの後、第1の蓋40aおよび第1のチャンバ60aが洗浄および/または改修されている間に第2のチャンバ60bにおける第2の溶融キャンペーンが進行し得るように、EBガンアセンブリ80は第1の蓋40aから取り外され、第1の蓋40aに関して上述したように第2の蓋40bに取り付けられる。加えて、EBガンアセンブリを別の蓋に取り付け、先に使用された蓋およびチャンバを洗浄および/または改修する間に別のチャンバにおける溶融キャンペーンを実行するというこのサイクルは、生産性が向上し、コストが削減されるように、何度も繰り返される。
ここで図9を参照すると、ハンガ160を用いた支持体(不図示)からのEBガンアセンブリ80の吊り下げが示される。支持体は、たとえば天井、クレーン、フレーム、プラットフォーム、レール、および壁などの支持構造を含んでよい。ハンガ160は、ケーブル、チェーン、ロッド、ストラット、ワイヤ、または他の適当な締結および固定アセンブリを含んでよい。代替または追加として、第1の蓋40a、第2の蓋40b、スケルトンフレーム100、および/またはハンガ160は、車輪(不図示)によって支持される。車輪は、蓋40a、40b、および/またはスケルトンフレーム100がチャンバ、蓋、および炉ステーションの外側を移動することを可能にするレールによって支持される。
本開示の教示から理解すべき点として、1または複数のEBガンに関するダウンタイムを低減するEBガンアセンブリが提供される。EBガンアセンブリは、1または複数のEBガンが強固に取り付けられ、EBガン開口部とチャンバ蓋との位置合わせのために1または複数のEBガンに制限された動きを提供するように構成されたスケルトンフレームを含む。EBガンアセンブリは、時間効率の良い方法でチャンバ蓋に取り付けられ、および/またはチャンバ蓋から取り外されることができる。加えて、一対のチャンバおよび一対のチャンバ蓋が含まれる場合、EBガンアセンブリにより、一方のチャンバおよびチャンバ蓋が洗浄または改修されている間に他方のチャンバにおいて溶融キャンペーンが進行することになる。本開示の教示に係る2つのチャンバ、2つのチャンバ蓋、スケルトンフレーム、およびEBガンアセンブリの使用により、約15,000~約40,000ポンドの重量の商業用鋳塊を溶融および形成する場合、交換時間(すなわちEBガンのダウンタイム)が20時間以上減少する。すなわち、スケルトンフレームを有するEBガンアセンブリは、溶融キャンペーン間の複雑性および時間を低減する。
スケルトンフレームにより、炉の操作者は、炉のガス抜き中、チャンバ蓋をチャンバに結合された状態で残すことが可能であり、それによってガス抜き中に溶解工場に取り込まれる炉の副産物(灰、粉塵、煙など)が減少する。溶解工場に取り込まれる副産物の低減により、製造機器に作用する炉の副産物が少なくなるために溶解工場設備の寿命が延び、効率が向上する。またスケルトンフレームにより、チャンバ蓋の洗浄、検査、および/または修理を炉ステーション(すなわち鋳塊材料の溶融が行われる場所)の外で行うことができるので、室内を広く使用でき、蓋への接近が容易になり、効率、生産性、および安全性が向上する。更に、改修活動がEBガンに影響を及ぼさないので、EBガンのメンテナンスが軽減されるとともにEBガンの信頼性が高くなる。
本明細書において特に明示されない限り、機械/熱特性、組成割合、寸法および/または公差、または他の特性を示す全ての数値は、本開示の範囲を説明する上で「約」または「およそ」という言葉で修飾されるものとして理解される。この修飾は、工業的慣行、材料、製造、および組立ての公差、および試験性能を含む様々な理由から望ましい。
本明細書で用いられる場合、A、B、およびCの少なくとも1つという表現は、非排他的論理和を用いた論理的(A OR B OR C)を意味すると解釈すべきであり、「Aの少なくとも1つ、Bの少なくとも1つ、およびCの少なくとも1つ」を意味すると解釈してはならない。
本開示の説明は、本質的に単なる典型例であり、したがって、本開示の本質から逸脱しない変形例は本開示の範囲内であることが意図される。そのような変形例は、本開示の主旨および範囲からの逸脱と見なされてはならない。
Claims (20)
- 電子ビーム炉のための電子ビーム(EB)ガンアセンブリであって、
スケルトンフレームと、前記スケルトンフレームに取り付けられた少なくとも1つのEBガンとを備えるEBガンフレームアセンブリを備え、前記EBガンフレームアセンブリは、第1のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、第1のEBチャンバ内の材料を溶融し、取り外されて第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、第2のEBチャンバ内の材料を溶融するように構成される、EBガンアセンブリ。 - 前記スケルトンフレームは、少なくとも1つのEBガン開口部を備え、前記少なくとも1つのEBガンは、前記少なくとも1つのEBガン開口部を貫通して延びる、請求項1に記載のEBガンアセンブリ。
- 少なくとも1つの取付けフレームを更に備え、前記少なくとも1つのEBガンは前記少なくとも1つの取付けフレームに取り付けられ、前記少なくとも1つの取付けフレームは前記スケルトンフレームに取り付けられる、請求項1に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの取付けフレームは、ノズル開口部を備え、前記少なくとも1つのEBガンは、前記ノズル開口部を貫通して延びるノズルを備える、請求項3に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記取付けフレームは、前記ノズル開口部を有する天板と、前記天板に可動的に取り付けられた浮動板とを備え、前記少なくとも1つのEBガンの前記ノズルは、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1のEBチャンバ蓋および前記第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に前記ノズルの位置が移動可能であるように、前記浮動板に取り付けられる、請求項4に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に前記ノズルの前記位置が移動可能であるように、前記EBガンの前記ノズルに強固に取り付けられ、前記取付けフレームの前記天板に可動的に取り付けられたカラーを更に備える、請求項5に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に前記カラーが可動であるように、前記カラーと前記天板との間に複数の付勢部材を更に備える、請求項6に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記少なくとも1つのEBガンが蓋のガン開口部と位置合わせされるように、前記第1のEBチャンバ蓋および前記第2のEBチャンバ蓋の少なくとも1つから延びる第2の位置合わせピンを受容するように構成された第1の位置合わせガイドを更に備える、請求項1に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記少なくとも1つのEBガンは、前記スケルトンフレームに取り付けられた複数のEBガンである、請求項1に記載のEBガンアセンブリ。
- 複数の取付けフレームを更に備え、前記複数のEBガンの各々は取付けフレームに取り付けられ、前記複数の取付けフレームの各々は前記スケルトンフレームに取り付けられる、請求項9に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記複数の取付けフレームの各々は、ノズル開口部を備え、前記複数のEBガンの各々は、取付けフレームの前記ノズル開口部を貫通して延びるノズルを備える、請求項10に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記複数の取付けフレームの各々は、前記ノズル開口部を有する天板と、前記天板に可動的に取り付けられた浮動板とを備え、前記複数のEBガンの各々の前記ノズルは、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に前記複数のEBガンの各々の前記ノズルの位置が移動可能であるように、前記複数の取付けフレームのうちの1つの取付けフレームの前記浮動板に取り付けられる、請求項11に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記複数の取付けフレームの各々は、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に前記複数のEBガンの各々の前記ノズルの前記位置が移動可能であるように、前記複数のEBガンの1つの前記ノズルに強固に取り付けられ、前記取付けフレームの前記天板に可動的に取り付けられたカラーを備える、請求項12に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に各カラーが可動であるように、各カラーと天板との間に複数の付勢部材を更に備える、請求項13に記載のEBガンアセンブリ。
- 前記少なくとも1つのEBガンは、前記スケルトンフレームに取り付けられた複数のEBガンであり、複数の取付けフレームを更に備え、
前記複数の取付けフレームの各々は、ノズル開口部を有する天板と、前記天板に可動的に取り付けられた浮動板とを備え、
前記複数のEBガンの各々の前記ノズルは、前記複数のEBガンの各ノズルの位置が移動可能であるように、浮動板に取り付けられ、天板のノズル開口部を貫通して延び、
前記複数のEBガンの各ノズルは、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋で交換可能であるように、それぞれ、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後、前記第1および第2のEBチャンバ蓋のガン開口部に確実に取付け可能である、請求項1に記載のEBガンアセンブリ。 - 電子ビーム(EB)炉アセンブリであって、
第1のEBチャンバと、第1のEBガン開口部セットを有する第1のEBチャンバ蓋とを備える第1のEB炉と、
第2のEBチャンバと、第2のEBガン開口部セットを有する第2のEBチャンバ蓋とを備える第2のEB炉と、
EBガンフレームアセンブリと
を備え、前記EBガンフレームアセンブリは、
スケルトンフレームと、前記スケルトンフレームに取り付けられた複数のEBガンとを備え、前記EBガンフレームアセンブリは、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋で交換可能であるように、前記第1のEBガン開口部セットに取り付けられた前記複数のEBガンを有する前記第1のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられ、前記第2のEBガン開口部セットに取り付けられた前記複数のEBガンを有する前記第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられるように構成される、EB炉アセンブリ。 - 複数の取付けフレームを更に備え、前記複数のEBガンは前記複数の取付けフレームに確実に取り付けられ、前記複数の取付けフレームは前記スケルトンフレームに確実に取付けられる、請求項16に記載のEB炉アセンブリ。
- 前記複数の取付けフレームの各々は、天板と、前記天板に可動的に取り付けられた浮動板とを有し、前記複数のEBガンの各々は、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に前記複数のEBガンの各々の位置が移動可能であるように、前記複数のEBガンの各々のノズルが取付けフレームの前記浮動板に取り付けられるように、浮動板に強固に取り付けられる、請求項17に記載のEB炉アセンブリ。
- 電子ガン(EB)炉アセンブリで材料を溶融する方法であって、
スケルトンフレームと、前記スケルトンフレームに確実に取り付けられた複数のEBガンとを備えるEBガンフレームアセンブリを第1のEBチャンバ蓋に確実に取り付けることであって、前記第1のEBチャンバ蓋は第1のEBガン開口部セットを備え、前記複数のEBガンは前記第1のEBガン開口部セットに取り付けられることと、
前記複数のEBガンを用いて第1のEBチャンバ内の材料を溶融することであって、前記第1のEBチャンバ蓋および前記EBガンフレームアセンブリは、前記第1のEBチャンバに確実に取り付けられることと、
前記第1のEBチャンバ蓋から前記EBガンフレームアセンブリを取り外し、前記EBガンフレームアセンブリを第2のEBチャンバ蓋に確実に取り付けることであって、前記第2のEBチャンバ蓋は第2のEBガン開口部セットを備え、前記複数のEBガンが前記第2のEBガン開口部セットに取り付けられることと、
前記複数のEBガンを用いて第2のEBチャンバ内の材料を溶融することであって、前記第2のEBチャンバ蓋および前記EBガンフレームアセンブリは、前記第2のEBチャンバに確実に取り付けられることと
を備える方法。 - 前記EBガンフレームアセンブリは、前記スケルトンフレームに確実に取り付けられた複数の取付けフレームと、前記複数の取付けフレームに確実に取り付けられた前記複数のEBガンとを更に備え、
前記複数の取付けフレームの各々は、天板と、前記天板に可動的に取り付けられた浮動板とを有し、
前記複数のEBガンの各々は、前記EBガンフレームアセンブリが前記第1および第2のEBチャンバ蓋に強固に取り付けられた後に前記複数のEBガンの各々の位置が移動可能であるように、浮動板に強固に取り付けられる、請求項19に記載の方法。
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