CN215113892U - 一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉 - Google Patents

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游世健
罗学萍
龚柯颖
李世杰
张磊
赖奇
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Abstract

本实用新型公开一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,涉及电子束熔炉技术领域,一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,包括熔炉,还包括若干个可拆卸连接在熔炉内壁上的清洁板,清洁板竖直布置在熔炉内壁上,若干个所述清洁板沿着熔炉内壁周向排列成闭合的保护结构,且相邻两块清洁板之间的竖直侧边相互重叠。本实用新型通过在熔炉的内壁可拆卸连接清洁板,熔炉内的炉渣将会附着在清洁板,从而不会附着在熔炉的内壁,同时清洁板对熔炉内壁也具有一定的保护作用,相邻两块清洁板之间的竖直侧边相互重叠,使得两块清洁板之间紧密衔接,板与板间的空隙被覆盖,防止部分杂质吸附在熔炉表面,保证污垢不能渗入到熔炉内壁内,使得熔炉内壁始终维持清洁。

Description

一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉
技术领域
本实用新型涉及电子束熔炉技术领域,具体涉及一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉。
背景技术
在现有的电子束熔炉制作金属锭的时候,常常会因为电子束所蒸发的金属或者其他物质时不能全部在基板上形成锭,而蒸发的金属由于会做不规则运动,由于炉壁的温度较低,很容易金属冷却并附着在电子束熔炉的内壁当中,使用过久后,就会在内壁形成一层较厚的污垢,而污垢的清理又是一个难点,不但难清理,同时清理时是在熔炉内会产生有害尘且不易排出,大多存在在炉内,使清理人员会吸收大量的有害物质影响身体健康。
所以现在急需一种电子束熔炉,能够方便工作人员有效清理电子束熔炉炉内壁,解决电子束熔炉的清洁问题和工作人员的安全健康问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,能够解决电子束熔炉内壁的清洁问题和工作人员的安全健康问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,包括熔炉,还包括若干个可拆卸连接在熔炉内壁上的清洁板,所述清洁板竖直布置在熔炉内壁上,若干个所述清洁板沿着熔炉内壁周向排列成闭合的保护结构,且相邻两块清洁板之间的竖直侧边相互重叠。
进一步的,所述熔炉内壁设置有若干个挂钩,所述清洁板上设置有挂钩通孔,清洁板通过挂钩通孔设置在挂钩上,从而可拆卸连接在熔炉内壁上。
进一步的,还包括顶部清洁装置,所述顶部清洁装置包括顶部清洁板固定支架和固定在顶部清洁板固定支架上的顶部清洁板,所述顶部清洁板固定支架固定在熔炉的内壁上端。
进一步的,所述熔炉的上端设置有电子枪,顶部清洁板上设置有供电子枪通过的通孔。
进一步的,所述清洁板的材料为钢板。
进一步的,所述熔炉的内腔内壁为圆柱形结构,所述清洁板为弧形结构,且清洁板与熔炉的内腔内壁贴合。
本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过在熔炉的内壁可拆卸连接清洁板,熔炉内的炉渣将会附着在清洁板,从而不会附着在熔炉的内壁,同时清洁板对熔炉内壁也具有一定的保护作用,清理炉渣时,只需将清洁板从熔炉内壁拆卸下来即可,清洁板是可重复利用的,每一次使用后都可以清除其污垢后再次利用,使得熔炉的清理更加方便,能够有效的解决除垢困难,并且解决了以前的熔炉除垢时有害灰尘过多对身体的危害。
2、同时由于清洁板具有安装与拆卸的简便且较轻的特点,可以将其轻易取出。相邻两块清洁板之间的竖直侧边相互重叠,使得两块清洁板之间紧密衔接,使板与板间的空隙被覆盖,防止部分杂质吸附在熔炉表面,保证污垢不能渗入到熔炉内壁内,使得熔炉内壁始终维持清洁。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的顶部清洁板固定支架的结构示意图;
图3为本实用新型的顶部清洁板的结构示意图;
图4为本实用新型的清洁板的结构示意图;
图中所示:1-熔炉;2-清洁板;201-挂钩通孔;3-挂钩;4-顶部清洁板固定支架;5-顶部清洁板;501-通孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
如图1和图2所示,本实用新型的一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,包括熔炉1,还包括若干个可拆卸连接在熔炉1内壁上的清洁板2,所述清洁板2竖直布置在熔炉1内壁上,若干个所述清洁板2沿着熔炉1内壁周向排列成闭合的保护结构,且相邻两块清洁板2之间的竖直侧边相互重叠。本实用新型通过在熔炉1的内壁可拆卸连接清洁板2,熔炉1内的炉渣将会附着在清洁板2,从而不会附着在熔炉1的内壁,同时清洁板2对熔炉1内壁也具有一定的保护作用,清理炉渣时,只需将清洁板2从熔炉1内壁拆卸下来即可,清洁板2是可重复利用的,每一次使用后都可以清除其污垢后再次利用,使得熔炉1的清理更加方便,能够有效的解决除垢困难,并且解决了以前的熔炉除垢时有害灰尘过多对身体的危害。同时由于安装与拆卸的简便且较轻的特点,可以将其轻易取出。相邻两块清洁板2之间的竖直侧边相互重叠,使得两块清洁板2之间紧密衔接,使板与板间的空隙被覆盖,防止部分杂质吸附在熔炉表面,保证污垢不能渗入到熔炉1内壁内,使得熔炉1内壁始终维持清洁。
清洁板2可拆卸连接在熔炉1内壁上,可拆卸连接的方式可以为螺栓连接,卡扣连接,磁力连接等等,本实施例总,所述熔炉1内壁设置有若干个挂钩3,所述清洁板2上设置有挂钩通孔201,清洁板2通过挂钩通孔201设置在挂钩3上,从而可拆卸连接在熔炉1内壁上。
还包括顶部清洁装置,所述顶部清洁装置包括顶部清洁板固定支架4和固定在顶部清洁板固定支架4上的顶部清洁板5,所述顶部清洁板固定支架4固定在熔炉1的内壁上端。设置顶部清洁装置的目的是为了防止炉渣渗入到熔炉1顶部,顶部清洁板5平行于熔炉1的顶部,且位于熔炉1顶部的下方,从而遮挡保护住熔炉1顶部。
所述熔炉1的上端设置有电子枪,顶部清洁板5上设置有供电子枪通过的通孔501。电子枪穿过顶部清洁板5上的通孔501,从而对熔炉1内腔基板上的物料进行作业工作。
清洁板2采用的是与其他金属在高温下不互融的材料且吸附能力较强,保证了熔炼时金属垢不掉落,后续清洁时能够直接与金属垢分离,本实施例中,所述清洁板2的材料为钢板。钢板的熔点1500摄氏度,抗拉强度为176—274MPa,屈服度为98-166MPa,冲击韧性160-200焦耳每平方厘米。
根据具体的熔炉1内腔形状设置清洁板2的具体结构,比如熔炉1内壁为平面,则清洁板2就为直板,熔炉1内壁具有弧度,则清洁板2就为具有弧度的弧形板,熔炉1内壁有抽真空的装置时,在抽真空的位置处可取消清洁板2等等,根据熔炉1内腔的具体结构设置清洁板2的结构和清洁板2的位置,本实施例中,所述熔炉1的内腔内壁为圆柱形结构,所述清洁板2为弧形结构,且清洁板2与熔炉1的内腔内壁贴合。通过将清洁板2设置为弧形结构,使得空间利用率得到提高,同时保证的清洁板2的强度,提高了整个保护结构的稳定性。

Claims (6)

1.一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,包括熔炉(1),其特征在于:还包括若干个可拆卸连接在熔炉(1)内壁上的清洁板(2),所述清洁板(2)竖直布置在熔炉(1)内壁上,若干个所述清洁板(2)沿着熔炉(1)内壁周向排列成闭合的保护结构,且相邻两块清洁板(2)之间的竖直侧边相互重叠。
2.根据权利要求1所述的一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,其特征在于:所述熔炉(1)内壁设置有若干个挂钩(3),所述清洁板(2)上设置有挂钩通孔(201),清洁板(2)通过挂钩通孔(201)设置在挂钩(3)上,从而可拆卸连接在熔炉(1)内壁上。
3.根据权利要求1或2所述的一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,其特征在于:还包括顶部清洁装置,所述顶部清洁装置包括顶部清洁板固定支架(4)和固定在顶部清洁板固定支架(4)上的顶部清洁板(5),所述顶部清洁板固定支架(4)固定在熔炉(1)的内壁上端。
4.根据权利要求3所述的一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,其特征在于:所述熔炉(1)的上端设置有电子枪,顶部清洁板(5)上设置有供电子枪通过的通孔(501)。
5.根据权利要求4所述的一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,其特征在于:所述清洁板(2)的材料为钢板。
6.根据权利要求5所述的一种具有内壁清洁装置的电子束熔炉,其特征在于:所述熔炉(1)的内腔内壁为圆柱形结构,所述清洁板(2)为弧形结构,且清洁板(2)与熔炉(1)的内腔内壁贴合。
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