JP2023181444A5 - 分光器および分析装置および波長可変光源 - Google Patents

Description

本発明は、分光器および分析装置および波長可変光源に関する。

上述した課題を解決するために、本発明の分光器は、光を入射させる光入射手段と、前記光入射手段によって入射された前記光を波長分散させる凹面回折格子と、前記凹面回折格子によって波長分散された異なる波長の前記光を反射する反射面を有し、回転軸を中心に回転することにより当該反射面の傾きが可変である反射手段と、前記反射手段の前記反射面の傾きを変化させることによって反射された前記波長が異なり分光されたそれぞれの光を出射する単一の光出射手段と、を備え、前記反射手段は、第１の基板にＭＥＭＳプロセスにより形成され、前記凹面回折格子の中央部における垂線が、前記第１の基板と交わるように配置されることを特徴とする。

Claims (21)

1. 光を入射させる光入射手段と、
   前記光入射手段によって入射された前記光を波長分散させる凹面回折格子と、
   前記凹面回折格子によって波長分散された異なる波長の前記光を反射する反射面を有し、回転軸を中心に回転することにより当該反射面の傾きが可変である反射手段と、
   前記反射手段の前記反射面の傾きを変化させることによって反射された前記波長が異なり分光されたそれぞれの光を出射する単一の光出射手段と、を備え、
   前記反射手段は、第１の基板にＭＥＭＳプロセスにより形成され、前記凹面回折格子の中央部における垂線が、前記第１の基板と交わるように配置されることを特徴とする分光器。
2. 前記反射手段を駆動することによって前記反射面の傾きを制御する駆動手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の分光器。
3. 前記光出射手段と、前記凹面回折格子とが、同一の基板に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の分光器。
4. 前記光入射手段と、前記反射手段とが、同一の基板に形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の分光器。
5. 前記光出射手段と、前記光入射手段とが、同一の基板に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の分光器。
6. 前記第１の基板および第２の基板と、
   前記第１の基板と前記第２の基板との間に配置された介在部材とをさらに備え、
   前記光入射手段と前記反射手段とが、前記第１の基板に形成されており、
   前記光出射手段と前記凹面回折格子とが、前記第２の基板に形成されており、
   前記第１の基板および前記第２の基板の各々が、前記介在部材に接合されている
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の分光器。
7. 前記第１の基板および第２の基板と、
   前記第１の基板と前記第２の基板との間において、前記第１の基板および前記第２の基板に対して非平行に配置された第３の基板とをさらに備え、
   前記反射手段が、前記第１の基板に形成されており、
   前記凹面回折格子が、前記第２の基板に形成されており、
   前記光入射手段と前記光出射手段とが、前記第３の基板に形成されており、
   前記第１の基板および前記第２の基板の各々が、前記第３の基板に接合されている
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の分光器。
8. 前記凹面回折格子の中心部の垂線と、前記凹面回折格子が形成されている基板面とが直交しないように、前記凹面回折格子が形成されている
   ことを特徴とする請求項３、４、６、７のいずれか一項に記載の分光器。
9. 前記光出射手段から出射された前記光を検出する光検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の分光器。
10. 前記光出射手段に代えて、前記反射手段によって反射された前記光を検出する単一の光検出手段を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の分光器。
11. 前記反射手段によって反射された光の特定の波長の光を検出する特定波長検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の分光器。
12. 前記特定波長検出手段と、前記凹面回折格子とが、同一の基板に形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の分光器。
13. 前記特定波長検出手段は、光検出部と、バンドパスフィルタとを有して構成されている
    ことを特徴とする請求項１１または１２に記載の分光器。
14. 前記反射手段によって反射された光を、外部に設けられた前記特定波長検出手段に向けて出射する第２の光出射手段をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の分光器。
15. 前記第２の光出射手段と、前記凹面回折格子とが、同一の基板に形成されていることを特徴とする請求項１４に記載の分光器。
16. 前記特定波長検出手段によって検出された、前記特定の波長の光の検出信号の時間間隔を一定に制御することで、前記反射手段の傾き範囲を一定に制御することを特徴とする請求項１１から１５のいずれか一項に記載の分光器。
17. 光検出手段によって検出される前記光の次数と、前記特定波長検出手段によって検出される前記特定の波長の光の次数とが異なることを特徴とする請求項１１から１６のいずれか一項に記載の分光器。
18. 前記反射手段は、前記回転軸の一端と他端の双方を梁部によって支持されていることを特徴とする請求項１に記載の分光器。
19. 前記駆動手段は圧電駆動方式であることを特徴とする請求項２に記載の分光器。
20. 光源と、
    請求項１から請求項１９のいずれか一項に記載の分光器と
    を備えることを特徴とする分析装置。
21. 光源と、
    請求項１から請求項９、請求項１２から請求項１６、請求項１８、請求項１９のいずれか一項に記載の分光器と
    を備えることを特徴とする波長可変光源。