JP2023178889A - 情報処理装置、表示入力装置およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】プローブの研磨内容の設定を共通化することにより、工数の短縮化を図る。【解決手段】情報処理装置は、被検査体に接触するプローブの研磨内容を設定する。情報処理装置は、前記プローブを研磨する研磨部材における研磨エリアを設定するエリア設定部と、前記プローブの研磨時における動作パターンを設定するパターン設定部と、設定された前記研磨エリア、および設定された前記動作パターンに基づき、前記研磨部材と前記プローブとの相対的な軌跡を算出するシミュレーション部と、を有する。【選択図】図４

Description

本開示は、情報処理装置、表示入力装置およびプログラムに関する。

特許文献１には、ウエハ等の被検査体の電気的検査を行う検査装置（プローバ装置）において、検査時に被検査体に接触する複数のプローブの針先を研磨する研磨方法が開示されている。

このプローブの研磨において、研磨部材の形態（例えば、砥石のサイズやレイアウト）および研磨時の動作（例えば、研磨部材の動作パターン）は、検査装置を使用するユーザ毎に要求内容が異なっている。従来は、それぞれのユーザの要求内容に基づき、検査装置の製造時やセッティング時等に個別の設計を行って、ユーザ毎の研磨内容を実施する装置を提供している。

特開２０１０－４８７８９号公報

本開示は、プローブの研磨内容の設定を共通化することにより、工数の短縮化を図ることができる技術を提供する。

本開示の一態様によれば、被検査体に接触するプローブの研磨内容を設定する情報処理装置であって、前記プローブを研磨する研磨部材における研磨エリアを設定するエリア設定部と、前記プローブの研磨時における動作パターンを設定するパターン設定部と、設定された前記研磨エリア、および設定された前記動作パターンに基づき、前記研磨部材と前記プローブとの相対的な軌跡を算出するシミュレーション部と、を有する、情報処理装置が提供される。

一態様によれば、プローブの研磨内容の設定を共通化することにより、工数の短縮化を図ることができる。

一実施形態に係る検査装置および設定用コンピュータの全体構成を示す概略説明図である。 検査装置を有する処理システムの全体構成を示すブロック図である。 制御装置および設定用コンピュータのハードウェア構成を示すブロック図である。 設定用コンピュータにおける研磨内容を設定するための機能ブロックを示すブロック図である。 研磨内容を設定するメイン画面を示す図である。 図６（Ａ）は、研磨メディア選択ボタンを示す図である。図６（Ｂ）は、サイズ入力画面を示す図である。図６（Ｃ）は、別のサイズ入力画面を示す図である。 図７（Ａ）は、設置数選択ボタンを示す図である。図７（Ｂ）は、導通エリア選択ボタンを示す図である。図７（Ｃ）は、複数エリア入力画面を示す図である。 図８（Ａ）は、別の複数エリア入力画面を示す図である。図８（Ｂ）は、さらに別の複数エリア入力画面を示す第１図である。図８（Ｃ）は、さらに別の複数エリア入力画面を示す第２図である。 表示画面の操作に伴う設定入力画面およびパターン設定画面の表示を概略的に示す図である。 設定入力画面を示す図である。 図１１（Ａ）は、研磨部材と各プローブのずれを概略的に示す平面図である。図１１（Ｂ）は、インデックス量に基づく移動により研磨部材と各プローブとを一致させた状態を概略的に示す平面図である。 図１２（Ａ）は、パターン選択ボタンを示す図である。図１２（Ｂ）は、パターン設定画面を示す図である。 図１３（Ａ）は、フリーパターン設定画面を示す第１図である。図１３（Ｂ）は、フリーパターン設定画面を示す第２図である。 図１４（Ａ）は、シミュレーションにおける複数の枠の設定を概略的に示す図である。図１４（Ｂ）は、シミュレーションにおける研磨部材の使用範囲を概略的に示す図である。 シミュレーション時のメイン画面の表示を示す第１図である。 シミュレーション時のメイン画面の表示を示す第２図である。 図１７（Ａ）は、シミュレーションにおける複数の枠と研磨エリアを概略的に示す図である。図１７（Ｂ）は、シミュレーションにおける複数のプロットと研磨エリアを概略的に示す図である。

以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

一実施形態に係る情報処理装置は、図１に示すように、検査において使用する複数のプローブ３３（探針）の研磨を行う検査装置１０に接続されて、研磨内容を設定する設定用コンピュータ８０として構成されている。以下の説明では、各プローブ３３の研磨時における動作等の理解の容易化のため、先に検査装置１０の構成について説明していく。

本実施形態に係る検査装置１０は、例えば、基板の一例であるウエハＷを製造する工場に設置され（図２も参照）、製造したウエハＷの電気的検査を行う。ウエハＷの表面には、各プローブ３３が接触する被検査体（Device Under Test：ＤＵＴ）である複数の半導体デバイス（ＬＳＩ、半導体メモリ等）が形成されている。電気的検査では、半導体デバイスの異常の有無、電気的特性等をテストする。なお、基板は、ウエハＷに限定されず、半導体デバイスが配置されたキャリア、ガラス基板、チップ単体、電子回路基板等でもよい。

検査装置１０は、ウエハＷを搬送するローダ１１と、ローダ１１に隣接して配置される筐体２０と、筐体２０の上方に配置されるテスタ３０と、筐体２０内に収容されるステージ４０と、検査装置１０の各構成を制御する制御装置９０と、を備える。

ローダ１１は、図示しないＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）からウエハＷを取り出して、筐体２０内を移動したステージ４０へ載置する。また、ローダ１１は、検査後のウエハＷをステージ４０から取り出してＦＯＵＰへ収容する。

筐体２０は、略直方状の箱体に形成され、ウエハＷを検査する検査空間２１を内部に有する。検査空間２１の下方側には、ウエハＷを搬送するステージ４０が設置されている。検査空間２１においてローダ１１からステージ４０に載置されたウエハＷが、ステージ４０の動作によって、３次元方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向）に移動する。

筐体２０の上方部には、インタフェース３１を介してプローブカード３２が保持されている。インタフェース３１は、図示しないパフォーマンスボードや多数の接続端子を有し、テストヘッド（不図示）を介してテスタ３０と電気的に接続されている。テスタ３０は、検査装置１０の制御装置９０に接続され、制御装置９０の指令下にウエハＷの検査を行う。

プローブカード３２は、検査空間２１の下方に向かって突出する複数のプローブ３３を有する。各プローブ３３は、検査装置１０の検査において、ステージ４０により適宜の３次元座標位置に移動したウエハＷの各ＤＵＴのパッドや半田バンプに接触する。これにより、テスタ３０の１以上のテストボード（不図示）に形成された適宜の回路が、ウエハＷの各ＤＵＴに電気的に導通する。この導通状態で、テスタ３０は、各プローブ３３が接触している各ＤＵＴに対して電気的検査を行う。

ステージ４０は、筐体２０内に設けられ、検査空間２１においてウエハＷまたはプローブカード３２を搬送する。例えば、ステージ４０は、ローダ１１からプローブカード３２の対向位置にウエハＷを搬送し、プローブカード３２に向かってウエハＷを上昇させることで、複数のプローブ３３にウエハＷを接触させる。また検査後に、ステージ４０は、プローブカード３２から検査後のウエハＷを下降させ、さらにローダ１１に向かってウエハＷを搬送する。

具体的には、ステージ４０は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動可能な移動部４１（Ｘ軸移動機構４２、Ｙ軸移動機構４３、Ｚ軸移動機構４４）、載置台４５およびステージ制御部４９を含む。また、筐体２０は、ステージ４０の移動部４１および載置台４５と、ステージ制御部４９と、を上下二段で支持するフレーム構造２２を備える。なお、移動部４１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に載置台４５を移動させる他に、軸回り（θ方向）に載置台４５を回転させる構成を備えてもよい。

移動部４１のＸ軸移動機構４２は、フレーム構造２２の上面に固定されてＸ軸方向に沿って延在する複数のガイドレール４２ａと、各ガイドレール４２ａ間にわたって配置されるＸ軸可動体４２ｂと、を含む。Ｘ軸可動体４２ｂは、図示しないＸ軸動作部（モータ、ギア機構等）を内部に有し、このＸ軸動作部はステージ制御部４９に接続されている。Ｘ軸可動体４２ｂは、ステージ制御部４９の図示しないモータドライバからの電力供給に基づきＸ軸方向を往復移動する。

同様に、Ｙ軸移動機構４３は、Ｘ軸可動体４２ｂの上面に固定されてＹ軸方向に沿って延在する複数のガイドレール４３ａと、各ガイドレール４３ａ間にわたって配置されるＹ軸可動体４３ｂと、を含む。Ｙ軸可動体４３ｂは、図示しないＹ軸動作部（モータ、ギア機構等）を内部に有し、このＹ軸動作部はステージ制御部４９に接続されている。Ｙ軸可動体４３ｂは、ステージ制御部４９の図示しないモータドライバからの電力供給に基づきＹ軸方向を往復移動する。

Ｚ軸移動機構４４は、Ｙ軸可動体４３ｂに設置される固定体４４ａと、固定体４４ａと相対的にＺ軸方向に沿って昇降するＺ軸可動体４４ｂと、を有し、Ｚ軸可動体４４ｂの上部に載置台４５を保持している。Ｚ軸移動機構４４は、図示しないＺ軸動作部（モータ、ギア機構等）を有し、このＺ軸動作部はステージ制御部４９に接続されている。Ｚ軸可動体４４ｂは、ステージ制御部４９の図示しないモータドライバからの電力供給に基づきＺ軸方向（鉛直方向）に変位し、これに伴い載置台４５に保持されたウエハＷを昇降させる。

載置台４５は、ウエハＷが直接載置される装置であり、適宜の保持手段によりウエハＷを載置面４５ｓに保持する。例えば、ウエハＷを真空吸着する場合、保持手段は、載置台４５内に吸引用の吸引通路を有し、また吸引通路に接続される配管および吸引ポンプを適宜の箇所に備える。

ステージ制御部４９は、制御装置９０に接続され、制御装置９０の指令に基づき、ステージ４０の動作を制御する。ステージ制御部４９は、ステージ４０全体の動作を制御する統合制御部、移動部４１の動作を制御するＰＬＣやモータドライバ、照明制御部、電源ユニット等を有する（共に不図示）。

制御装置９０は、検査装置１０全体を制御する制御本体９１と、制御本体９１に接続される表示入力装置９２（ユーザインタフェース）と、を有する汎用コンピュータを適用することができる。

以上のように構成される検査装置１０は、制御装置９０の制御下に、以下のように動作してウエハＷの電気的検査を行う。まず、検査装置１０は、ローダ１１およびステージ４０の移動の指令をステージ制御部４９に送信し、ローダ１１から載置台４５にウエハＷを受け渡して、検査空間２１内においてウエハＷを搬送する。この際、ステージ制御部４９は、Ｘ軸移動機構４２、Ｙ軸移動機構４３により載置台４５を水平方向に移動してウエハＷの接触位置を各プローブ３３に対向させた後、Ｚ軸移動機構４４により載置台４５を鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って上昇させる。

載置台４５の上昇時に、各プローブ３３がウエハＷに接触することで、テスタ３０とウエハＷとが導通する。その後、テスタ３０は、テストヘッドからウエハＷの各ＤＵＴに電気信号を送信し、各ＤＵＴから応答されたデバイス信号を受信して、各ＤＵＴの異常の有無、電気的特性等を判定する。また、検査装置１０は、ステージ４０によりＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に移動してウエハＷ上の位置をずらしながら各ＤＵＴの検査を順次繰り返すことで、各ＤＵＴを全数検査する。

全てのＤＵＴの検査後に、検査装置１０は、載置台４５を下降して各プローブ３３からウエハＷを離脱させて、このウエハＷをローダ１１に搬送する。ローダ１１は、検査済のウエハＷをステージ４０から受け取って、ＦＯＵＰに収容する。

また、本実施形態に係る検査装置１０は、検査において、各プローブ３３の一部に異物が付着する、または各プローブ３３が部分的に摩耗する場合がある。このため、検査装置１０のメンテナンス時には、上記したようにプローブカード３２の各プローブ３３を研磨する針研処理を行う。例えば、針研処理では、ユーザが研磨部材ＰＭをステージ４０の載置面４５ｓに配置する。そして、制御装置９０は、針研処理のレシピ（研磨内容）に基づき、研磨部材ＰＭを有するステージ４０を動作させる。研磨部材ＰＭは、ステージ４０の動作に伴って、各プローブ３３に接触した後、さらに各プローブ３３に対して水平方向（Ｘ軸‐Ｙ軸方向）に相対移動することで、各プローブ３３を研磨できる。

以上の検査装置１０を有する処理システム１は、各プローブ３３を研磨する針研処理の研磨内容について、ユーザにより任意に設定可能としている。次に図２を参照して、検査装置１０を有する処理システム１について説明すると共に、この処理システム１における針研処理の設定について詳述していく。

一実施形態に係る処理システム１は、１以上の検査装置１０を有する複数の工場２と、各工場２に接続されるインターネット等の外部ネットワーク３と、外部ネットワーク３を介して接続されるサーバ装置４と、を有する。

工場２は、上記したように、ウエハＷを製造する製造場所等であり、検査装置１０を設置することで、製造したウエハＷを直ちに検査可能としている。サーバ装置４は、複数の工場２におけるウエハＷの製造状況、設置した機器の状態等を統括的に管理するコンピュータである。サーバ装置４は、ユーザが保有するコンピュータを適用できる。あるいは、サーバ装置４は、検査装置１０の提供者側のコンピュータであってもよい。なお、処理システム１は、１つの工場２のみでもよいことは勿論であり、また外部ネットワーク３およびサーバ装置４を使用しないシステム構成でもよい。

工場２内には、複数の検査装置１０の他に、複数の検査装置１０の各々に接続されるＬＡＮ等の内部ネットワーク６０と、この内部ネットワーク６０を介して各検査装置１０に接続される管理コンピュータ７０と、が設けられる。また、処理システム１は、工場２内に設置された各種の装置の機能を設定するために、設定用コンピュータ８０を備える。本実施形態では、上記したように設定用コンピュータ８０により検査装置１０の針研処理の研磨内容を設定し、その情報を制御装置９０に送信する。

なお、針研処理の研磨内容の設定は、検査装置１０に通信可能に接続される管理コンピュータ７０を用いてもよい。あるいは、処理システム１は、工場２に通信可能に接続されるサーバ装置４において研磨内容を設定し、検査装置１０の制御装置９０までその研磨内容を送信する構成でもよい。また、検査装置１０の制御装置９０自体において、研磨内容を設定することもできる。換言すれば、検査装置１０の研磨内容を設定する情報処理装置は、サーバ装置４、管理コンピュータ７０、設定用コンピュータ８０および制御装置９０のうち、いずれを用いてもよい。

図１および図３に示すように、本実施形態に係る設定用コンピュータ８０は、通信線６１により検査装置１０の制御装置９０に離脱自在に接続され、制御装置９０との間で情報通信を行う。設定用コンピュータ８０は、例えば、台車６２等に搭載されて、工場２内を自在に移動することが可能となっている。これにより、工場２内に複数の検査装置１０Ａ、１０Ｂ、…、１０Ｎが設置された場合でも、ユーザは、１つの設定用コンピュータ８０を用いて、個々の検査装置１０毎の設定を行うことができる。なお、設定用コンピュータ８０は、通信線６１に代えて無線ＬＡＮ等の通信手段によって、制御装置９０と通信可能に接続されてもよい。

制御装置９０の制御本体９１は、１以上のプロセッサ９６、メモリ９７、入出力インタフェース９８、通信インタフェース９９、および図示しない電子回路を有する。プロセッサ９６は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、複数のディスクリート半導体からなる回路等のうち１つまたは複数を組み合わせたものである。メモリ９７は、揮発性メモリ、不揮発性メモリ（例えば、コンパクトディスク、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ハードディスク、フラッシュメモリ等）を適宜組み合わせたものである。プロセッサ９６は、メモリ９７に記憶されたプログラム９７ｐを読み出して実行することで、検査装置１０の動作を制御する。

一方、制御装置９０の表示入力装置９２は、検査装置１０の稼働状況を可視化して表示すると共に、ユーザにより入力操作を行うことが可能なタッチパネル９３を適用し得る。あるいは、表示入力装置９２は、タッチパネル９３に限定されず、モニタ、キーボードおよびマウス等を適用してもよい。

設定用コンピュータ８０も、制御装置９０と同様の構成をとり得る。すなわち、設定用コンピュータ８０は、制御本体８１と、制御本体８１に接続される表示入力装置８２と、を有する汎用コンピュータを適用することができる。

設定用コンピュータ８０の表示入力装置８２は、モニタ８３、キーボード８４、マウス８５等を含んで構成される。また、表示入力装置８２も、タッチパネルを有するデバイスを適用することができる。設定用コンピュータ８０の制御本体８１は、制御本体９１と同様に、１以上のプロセッサ８６、メモリ８７、入出力インタフェース８８、通信インタフェース８９および図示しない電子回路等を有する。そして、プロセッサ８６は、メモリ８７に記憶されたプログラム８７ｐ（アプリケーション）を読み出して実行することで、針研処理の研磨内容を設定するための機能部を内部に構築する。

図４に示すように、制御本体８１内には、入力情報取得部８０１、表示制御部８０２、表示画面生成部８０３および研磨内容送信部８０４等が形成される。入力情報取得部８０１は、表示入力装置８２上におけるユーザの操作内容（入力情報ＯＩ）を受信して、この入力情報ＯＩを表示画面生成部８０３に伝達する。一方、表示制御部８０２は、表示画面生成部８０３が生成した表示画面１００の上方を表示入力装置８２に送信して、表示入力装置８２に表示させる。

表示画面生成部８０３は、入力情報ＯＩに基づき適宜の処理を行い、操作に応じた表示画面１００を生成すると共に、針研処理の研磨内容に必要な入力情報ＯＩをメモリ８７に記憶する。一方、研磨内容送信部８０４は、ユーザによる研磨内容の設定後に、検査装置１０に送信可能な設定情報ＳＩを生成する。そして、研磨内容送信部８０４は、設定用コンピュータ８０と検査装置１０の接続を監視し、検査装置１０との接続状態で、ユーザの操作に基づき設定情報ＳＩを制御装置９０に送信する。

具体的には、表示画面生成部８０３の内部には、エリア設定部８０５、パターン設定部８０６およびシミュレーション部８０７が構築される。以下、各部の機能について、制御本体８１が表示入力装置８２のモニタ８３に表示する各種の表示画面１００と共に詳述していく。

表示画面生成部８０３は、研磨内容の設定を開始する際（プログラム８７ｐの起動時）に、表示画面１００として、図５に示すような研磨内容の編集を示すメイン画面１１０を生成する。メイン画面１１０は、プローブ３３の研磨エリアを設定するためのエリア設定表示群１１１と、設定した研磨内容のシミュレーションを行うためのシミュレーション表示群１４１と、シミュレーションの結果を示すシミュレーション表示画面１４０と、を含む。

本実施形態に係るメイン画面１１０は、シミュレーションの結果をユーザに視認し易くするために、メイン画面１１０の左側から中央部分を含む約７０％の領域にシミュレーション表示画面１４０を設けている。そして、メイン画面１１０は、シミュレーション表示画面１４０の右方かつ上側にエリア設定表示群１１１を配置し、シミュレーション表示画面１４０の右方かつ下側にシミュレーション表示群１４１を配置している。

エリア設定表示群１１１は、ユーザが所定の操作を行うための複数のボタン画像を有する。複数のボタン画像は、例えば、研磨メディア選択ボタン１１２、入力ボタン１１３、詳細設定ボタン１１４、データボタン１１５があげられる。研磨メディア選択ボタン１１２は、プローブ３３を研磨する研磨部材ＰＭをユーザが設定するボタンである。入力ボタン１１３は、研磨部材ＰＭの研磨エリアを、ユーザがさらに詳細に設定するボタンである。詳細設定ボタン１１４は、当該研磨を編集するアプリケーションについて各種の設定変更を行うボタンである。データボタン１１５は、過去に設定した研磨内容の履歴を表示して、ユーザが選択した過去の研磨内容を読み出すボタンである。

表示画面生成部８０３は、ユーザにより研磨メディア選択ボタン１１２が押されたことを入力情報ＯＩとして受信すると、エリア設定部８０５を動作させる。エリア設定部８０５は、複数種類の研磨部材ＰＭを表示して、研磨部材ＰＭをユーザに選択させる。

研磨メディア選択ボタン１１２は、例えば、図６（Ａ）に示すように、プルダウン式の複数の選択肢２００を有するプルダウン画面１１２Ａを表示することができる。あるいは、研磨メディア選択ボタン１１２は、ユーザの押下に、複数種類の研磨部材ＰＭを示す別画像をポップアップ表示する構成でもよい。プルダウン画面１１２Ａは、ステージ４０の載置面４５ｓに配置可能であり、販売および使用されている複数種類の研磨部材ＰＭを選択肢２００として一覧表示する。

例えば、複数種類の研磨部材ＰＭとしては、正方形の研磨シート、横長の研磨シート、大型の研磨シート、研磨用ウエハ等があげられる。横長の研磨シートは、長方形に形成され、長辺が正方形の研磨シートの一辺よりも長いシートである。大型の研磨シートは、正方形の研磨シートよりも大きな方形状のシートである。研磨用ウエハは、ウエハ状に形成されたまたはダミーウエハに設けられた砥石を適用したものである。なお、検査装置１０は、ステージ４０に研磨部材ＰＭを配置する他に、ステージ４０とは別装置の研磨用の砥石を有するプローバ（不図示）を備え、このプローバをステージ４０と同様に動作させ各プローブ３３を研磨する構成でもよい。この場合、エリア設定部８０５は、研磨部材ＰＭとして、プローバに設置された砥石を選択可能とすればよい。

エリア設定部８０５は、ユーザによる研磨部材ＰＭの選択に伴い、研磨部材ＰＭの情報と共に予め記憶されている研磨部材ＰＭのサイズを自動的にセットする。ただし、研磨部材ＰＭのサイズは、載置面４５ｓに研磨部材ＰＭを配置する際にユーザによって任意に変えることができる。このため、エリア設定部８０５は、研磨部材ＰＭのサイズをユーザに入力させる構成としてもよい。例えば、図６（Ｂ）に示すように、エリア設定部８０５は、研磨部材ＰＭのサイズをユーザが数値で入力可能なサイズ入力画面１１２Ｂ（エリア設定画面）を表示してもよい。サイズ入力画面１１２Ｂは、研磨部材ＰＭの水平方向の平面形状であるＸ軸の寸法およびＹ軸の寸法を入力可能な複数の入力欄２０１を有している。

また図６（Ｃ）に示すように、エリア設定部８０５は、ユーザのマウス８５のドラッグアンドドロップ操作によって、研磨部材ＰＭのサイズを入力可能なサイズ入力画面１１２Ｃ（エリア設定画面）を表示してもよい。例えば、サイズ入力画面１１２Ｃは、ドラッグアンドドロップ操作を行うための操作画面２０２と、操作画面２０２の横方向に研磨部材ＰＭのＸ軸の寸法およびＹ軸の寸法を入力可能な入力欄２０１を有している。入力欄２０１は、ユーザの手動による入力の他に、ドラッグアンドドロップ操作に伴うＸ軸の寸法およびＹ軸の寸法を自動的に表示する構成であるとよい。

操作画面２０２は、ユーザがマウス８５の操作に連動するポインタ２０３を適宜の位置に配置してドラッグアンドドロップ操作を行うことで、方形状の研磨部材ＰＭを表示させる。なお、本明細書におけるドラッグアンドドロップ操作は、マウス８５によるクリックの継続および移動と、当該クリックの解除とを行う操作に限定されない。例えば、表示入力装置８２としてタッチパネルを用いる場合には、パネルのタッチした後、パネル上をスライドさせてタッチを解除する操作でもよい。この際、ドラッグポイントとドロップポイントは、機械的なボタンを利用してもよい。要するに、ドラッグアンドドロップ操作は、情報処理装置の入力において、表示画面上の範囲をユーザの任意に指定することができる種々のユーザ操作を採用し得る。

研磨部材ＰＭ（研磨エリア）のサイズを設定する際に、エリア設定部８０５は、研磨部材ＰＭの外縁ＭＯを設定させる他に、研磨部材ＰＭにおける実際の研磨の有効範囲ＭＭを外縁ＭＯの内側に設定させてもよい。なお、エリア設定部８０５は、研磨部材ＰＭの外縁ＭＯと有効範囲ＭＭとを、１回のドラッグアンドドロップ操作により設定してもよく、別々のドラッグアンドドロップ操作によって設定してもよい。また、操作画面２０２に形成される研磨部材ＰＭの形状は、方形状に限定されず、適宜の選択操作を行うことにより、円形状や他の多角形状等に変更できることが好ましい。

さらに、エリア設定部８０５は、例えば、研磨部材ＰＭである研磨シートを載置面４５ｓに貼り付ける場に、その枚数や導通エリア等を設定する構成としてもよい。針研処理では、複数の研磨部材ＰＭを用いることで、例えば、プローブ３３を先に粗く研磨し、次にプローブ３３を精細に研磨する等の用途を変えた研磨を実施することが可能となる。

研磨部材ＰＭの数を設定するために、エリア設定部８０５は、図７（Ａ）に示すように、プルダウン式の複数の選択肢２１０を有する設置数選択ボタン１１２Ｄを表示するとよい。同様に、図７（Ｂ）に示すように、エリア設定部８０５は、導通エリアの数（ゼロの場合は無し）を設定するためにプルダウン式の複数の選択肢２１１を有する導通エリア選択ボタン１１２Ｅを表示するとよい。例えば、設置数選択ボタン１１２Ｄ、導通エリア選択ボタン１１２Ｅは、メイン画面１１０や後記の設定入力画面１２０に設置さればよい。あるいは、エリア設定部８０５は、プルダウン式に限定されず、研磨部材ＰＭの枚数や導通エリアの数をユーザが手動で入力する図示しない入力欄を表示する構成でもよい。

また例えば、図７（Ｃ）に示すように、エリア設定部８０５は、ユーザのマウス８５のドラッグアンドドロップ操作によって、複数の研磨部材ＰＭおよび／または導通エリアを入力可能な複数エリア入力画面１１２Ｆ（エリア設定画面）を表示してもよい。一例として、複数エリア入力画面１１２Ｆは、載置面４５ｓに設定される全体の研磨エリアのサイズを示す研磨設定枠２１２を表示する。この研磨設定枠２１２において、ユーザは、マウス８５の操作に連動するポインタ２１３のドラッグアンドドロップ操作を行うことで、研磨部材ＰＭの枚数および形状、導通エリア等に応じて、分割した複数の分割エリアのレイアウトを作成する。図７（Ｃ）では、複数エリア入力画面１１２Ｆにおいて、３つの分割エリア（エリアＡ、エリアＢ、エリアＣ）と１つの導通エリアを形成した例を示している。

あるいは、エリア設定部８０５は、図８（Ａ）に示すように、複数の分割エリア（エリアＡ、Ｂ、…、Ｎ）について、そのＸ軸の寸法およびＹ軸の寸法を入力可能な表２２０を有する複数エリア入力画面１１２Ｇ（エリア設定画面）を表示する構成でもよい。複数エリア入力画面１１２Ｇの表２２０は、複数の分割エリアにおけるＸ軸およびＹ軸毎に、ユーザが手動で数値を入力する入力欄２２１を有する。そして、ユーザにより入力欄２２１に数値が入力されると、その入力された寸法に応じた分割エリアを表示する。これにより、ユーザは、載置面４５ｓに配置した研磨部材ＰＭと同じ位置に、研磨部材ＰＭをスムーズに配置することが可能となる。

また、複数の分割エリアを設定する場合も、エリア設定部８０５は、図８（Ｂ）および図８（Ｃ）に示すように、それぞれの分割エリアについて外縁ＭＯと有効範囲ＭＭとを設定してよい。例えば、エリア設定部８０５は、複数エリア入力画面１１２Ｈ（エリア設定画面）を表示して、まず複数の分割エリアの外郭２２２（研磨部材ＰＭの外縁ＭＯ１、ＭＯ２）を、ドラッグアンドドロップ操作により作成させる。さらに、エリア設定部８０５は、複数の分割エリアの外郭２２２の設定後に、各分割エリアの内側でドラッグアンドドロップ操作を行うことで、有効範囲ＭＭ１、ＭＭ２を作成させる。つまり、各分割エリアは、有効範囲ＭＭ１、ＭＭ２と、当該有効範囲ＭＭ１、ＭＭ２の外側に各プローブ３３の研磨に用いない余白領域と、を有するようになる。このように、エリア設定部８０５は、複数の分割エリアを設定する場合でも、有効範囲ＭＭ１、ＭＭ２を簡単に設定できる。

図５に戻り、メイン画面１１０のエリア設定表示群１１１の入力ボタン１１３は、上記の研磨部材ＰＭのサイズや数等の設定と、針研処理時のステージ４０の動作パターンとを設定させるためのボタン画像である。例えば、図９に示すように、表示画面１００は、入力ボタン１１３がユーザにより押されることで、別の画面情報（ウインドウ）である設定入力画面１２０をポップアップ表示する。そして、表示画面１００は、設定入力画面１２０を通して、針研処理の研磨内容に関わる種々の情報をユーザに入力させる。

また、設定入力画面１２０は、針研処理の動作パターンを設定するためのパターン設定項目群１２４を有している。例えば、パターン設定項目群１２４は、設定ボタン１２７を備え、ユーザによりこの設定ボタン１２７が押されると、別の画面情報であるパターン設定画面１３０をポップアップ表示させる。パターン設定画面１３０は、動作パターンに関する種々の情報をユーザに設定させる。

図１０に示すように、設定入力画面１２０は、研磨部材ＰＭのサイズ等の複数種類の設定項目１２１と、各設定項目１２１の横方向に配置されてユーザが入力するための複数の入力欄１２５と、を有する。複数種類の設定項目１２１は、研磨部材ＰＭの設定項目群１２２、プローブカード３２の設定項目群１２３、上記のパターン設定項目群１２４に分けられている。

研磨部材ＰＭの設定項目群１２２としては、例えば、メディアサイズ（研磨部材ＰＭのサイズ）、インデックスサイズ、Ｚ軸方向の位置、有効範囲等があげられる。メディアサイズは、基本的には、上記した研磨メディア選択ボタン１１２（図５参照）の押下によって自動で設定できるが、この設定入力画面１２０でもユーザが入力できるようにしたものである。したがって、設定入力画面１２０は、研磨エリアを設定するエリア設定画面の１つでもある。なお、図１０中では、数値を入力可能な入力欄１２５としているが、入力欄１２５に等に変えて上記した図６（Ａ）～図９（Ｃ）の各画面を選択的または適宜の順で表示してもよい。

研磨部材ＰＭの設定項目群１２２のインデックスサイズは、載置面４５ｓに配置した研磨部材ＰＭ上の目標位置（研磨に使用していない新しい面）と、プローブ３３とのずれ量（インデックス量）を示す数値である。研磨部材ＰＭは、ユーザによりステージ４０の載置面４５ｓに任意に配置されるものである。このため図１１（Ａ）に示すように、インデックス量を設定しない場合は、研磨部材ＰＭ上の目標位置と、プローブカード３２の各プローブ３３とが相互にずれた状態で針研処理を行うことになる。インデックスサイズの設定項目１２１は、載置面４５ｓに研磨部材ＰＭをセットしたユーザにインデックス量を入力させる。これにより、検査装置１０は、インデックス量に基づき研磨部材ＰＭを移動させて、当該研磨部材ＰＭの新しい面にプローブ３３を接触させて研磨を行うことができる。

具体的には、設定情報ＳＩに基づき針研処理の研磨内容をセットした検査装置１０は、設定されたインデックス量に基づきステージ４０の移動位置を制御し、プローブカード３２の各プローブ３３に対する研磨部材ＰＭの相対位置を調整する。例えば図１１（Ｂ）に示すように、検査装置１０は、インデックス量Ｄ（Ｘ軸のインデックスおよびＹ軸のインデックスを合成したベクトル）に基づいて、研磨部材ＰＭの中心と、プローブカード３２の各プローブ３３の中心とを相互に一致させることができる。

図１０に戻り、研磨部材ＰＭの設定項目群１２２におけるＺ軸方向の位置は、針研処理時における各プローブ３３と研磨部材ＰＭとのＺ軸方向の接触状態を設定する項目である。針研処理時に、検査装置１０は、各プローブ３３と研磨部材ＰＭの表面とがちょうど接触するようにステージ４０を上昇させる。エリア設定部８０５は、Ｚ軸方向の研磨部材ＰＭの位置（オーバドライブ）を変更可能とすることで、針研処理時における研磨部材ＰＭと各プローブ３３との接触圧や各プローブ３３の曲がり具合等をユーザに調整させることができる。

また、図１０の研磨部材ＰＭの設定項目群１２２における有効範囲の入力欄１２５は、上記した有効範囲ＭＭの設定（図６（Ｃ）、図８（Ｃ）参照）と同様に、この設定入力画面１２０でもユーザが入力できるようにしたものである。

一方、プローブカード３２の設定項目群１２３としては、ダイサイズ、ダイの番号等の設定項目があげられる。ダイサイズは、各プローブ３３がウエハＷの各半導体デバイス（ＤＵＴ）に接触するために設定された各半導体デバイス同士の間隔である。ダイの番号は、各プローブ３３が接触可能な各半導体デバイスの数である。なお、ダイサイズ、ダイの番号の設定は、プローブカードの識別番号を入力することで、設定用コンピュータ８０が自動的にセットする構成としてもよい。

そして、パターン設定項目群１２４は、ユーザの操作に基づきパターン設定部８０６を動作して、研磨部材ＰＭを有するステージ４０の針研処理時の動作パターンを設定する。設定入力画面１２０のパターン設定項目群１２４としては、動作パターンを選択するプルダウン式のパターン選択ボタン１２６、および上記のパターン設定画面１３０を表示させる設定ボタン１２７等があげられる。次に、針研処理時の動作パターンの設定について詳述していく。

図１２（Ａ）に示すように、パターン設定項目群１２４のパターン選択ボタン１２６は、針研処理時において、研磨部材ＰＭが配置されているステージ４０の動作パターンをユーザに選択させる。パターン選択ボタン１２６の選択肢としては、上下選択肢２３０、左右選択肢２３１、傾斜選択肢２３２、六角形選択肢２３３および方形選択肢２３４があげられる。上下選択肢２３０は、研磨部材ＰＭを上下方向（Ｘ軸方向）に往復移動させる上下動作パターン（第１方向パターン）を設定する。左右選択肢２３１は、研磨部材ＰＭを左右方向（Ｙ軸方向）に往復移動させる左右動作パターン（第２方向パターン）を設定する。傾斜選択肢２３２は、研磨部材ＰＭをＸ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向に往復移動させる傾斜動作パターン（傾斜方向パターン）を設定する。六角形選択肢２３３は、六角形を描くように研磨部材ＰＭを周回移動させる六角形動作パターン（周回方向パターン）を設定する。方形選択肢２３４は、四角形を描くように研磨部材ＰＭを周回移動させる四角形動作パターン（周回方向パターン）を設定する。

図１２（Ｂ）に示すように、パターン設定画面１３０は、研磨部材ＰＭの動作パターンの複数種類のパラメータ１３１と、各パラメータ１３１の下方向に配置されてユーザが入力するための複数の入力欄１３２と、を有する。複数種類のパラメータ１３１としては、例えば、速度、Ｘ軸サイズ、Ｙ軸サイズ、ラインサイズ、角度等があげられる。

速度の入力欄１３２は、パターン選択ボタン１２６で選択された動作パターンの移動速度を設定する欄である。Ｘ軸サイズの入力欄１３２は、パターン選択ボタン１２６で選択された動作パターンのうち、Ｘ軸方向に移動する動作量を設定する欄である。同様に、Ｙ軸サイズの入力欄１３２は、パターン選択ボタン１２６で選択された動作パターンのうち、Ｙ軸方向に移動する動作量を設定する欄である。ラインサイズは、パターン選択ボタン１２６で選択された動作パターンの軌跡の長さ（動作量全体の長さ）を設定する欄である。角度は、パターン選択ボタン１２６で設定された動作パターンのうちＸ軸またはＹ軸に対して傾斜する角度を設定する欄である。このように、パターン設定部８０６は、動作パターンの複数種類のパラメータについて、ユーザにより設定可能とすることで、針研処理時に、各プローブ３３と接触した研磨部材ＰＭを、所望の動作パターンに沿って研磨することができる。

なお、研磨部材ＰＭの動作パターンの設定は、パターン選択ボタン１２６やパターン設定画面１３０を介した設定に限定されず、種々の設定方法をとり得る。例えば、パターン設定部８０６は、図１３（Ａ）および図１３（Ｂ）に示すように、フリーパターン設定画面１３０Ａを表示し、このフリーパターン設定画面１３０Ａにおいてユーザが手動で動作パターンを描く構成としてもよい。これにより針研処理において、検査装置１０は、ユーザが描いた動作パターンに沿って研磨部材ＰＭを動作させることができる。

具体的には、フリーパターン設定画面１３０Ａは、方眼状のグリッドを有する手書き部１３３をフリーパターン設定画面１３０Ａの略全体に表示する。フリーパターン設定画面１３０Ａ上において、例えば、ユーザは、任意のグリッドにポインタ１３４を合わせてドラッグアンドドロップ操作を行うことで、研磨部材ＰＭの動作パターンを作成する。なお、手書き部１３３は、グリッドにとらわれずに、自由な線をユーザに描かせてもよい。

一例として、ユーザは、研磨の開始位置にポインタ１３４を配置して、マウス８５をクリックしたままポインタ１３４を所定方向（図８（Ｂ）では上方向）に移動させ、所望の位置でドロップさせる。これにより、研磨部材ＰＭが上方向に向かう軌跡１３５を設定することができる。また、パターン設定部８０６は、動作パターンにおいて研磨部材ＰＭと各プローブ３３とが非接触（離れた状態）となって、移動する非接触動作を設定することができる。例えば、動作パターンの軌跡を描いてドロップした後に、ポインタ１３４を所望の位置に移動してマウス８５のドラッグアンドドロップ操作を再度行う。これにより、ドロップから再びドラッグするまでの区間を、各プローブ３３から研磨部材ＰＭが離れた非接触動作の軌跡１３６として設定するができる。さらに、ユーザは、再度のドラッグアンドドロップ操作によって、動作パターンの軌跡１３７を描くことができる。

以上のように、手書き部１３３を用いて研磨部材ＰＭの動作パターンを自由に設計することで、この研磨内容を設定した制御装置９０は、針研処理時に、ユーザの動作パターンに沿って研磨部材ＰＭを動作させることができる。これにより、ユーザが所望するように各プローブ３３の研磨を行うことができる。

針研処理の研磨内容は、エリアおよび動作パターンを設定することによって終了する。設定用コンピュータ８０は、検査装置１０に研磨内容の設定情報ＳＩを送る前に、設定した研磨内容についてシミュレーションを可能としている。図４に示すシミュレーション部８０７は、ユーザによるシミュレーションを実行する操作に基づき、設定された研磨内容に基づく研磨のシミュレーションを行う。具体的には、ユーザは、図５に示すメイン画面１１０のシミュレーション表示群１４１を操作する。

シミュレーション表示群１４１は、シミュレーションを開始する開始ボタン１４２と、シミュレーションの実行状況を示す実効状況グラフ１４３と、リセットボタン１４４と、停止および再生ボタン１４５と、を含む。ユーザが開始ボタン１４２を押すことで、シミュレーション部８０７は、設定された研磨内容に沿ったシミュレーションを開始する。

図１４（Ａ）に示すように、シミュレーション部８０７によるシミュレーションでは、各プローブ３３が検査を行うウエハＷの半導体デバイスの単位で複数の枠２４１を形成して、設定した動作パターンに沿ってこの複数の枠２４１を移動させる。また、針研処理では、設定した動作パターンに沿って研磨を行いつつ、各プローブ３３が接触する研磨部材ＰＭの位置を変えていく動作を行う。このため、シミュレーション部８０７は、研磨内容に応じた動作パターンと、研磨部材ＰＭの位置の移動とに応じて、研磨部材ＰＭと相対的に移動することになる複数の枠２４１の移動領域を算出する。

そして、シミュレーション部８０７は、算出した移動領域の軌跡を、シミュレーション表示画面１４０にリアルタイムに表示していく。これにより図１４（Ｂ）に示すように、シミュレーション部８０７は、研磨部材ＰＭにおける実際に使用する使用範囲２４２である複数の枠２４１の移動領域を、ユーザに良好に視認させることができる。

より具体的には、図１５に示すように、シミュレーション表示画面１４０は、シミュレーションにおいて、予め研磨部材ＰＭを示す研磨エリア枠２４３を表示すると共に、各プローブ３３のダイ（ウエハＷの半導体デバイス）の単位に応じた複数のグリッド２４４を形成する。研磨エリア枠２４３の内部は、複数のグリッド２４４によって複数の方眼領域２４５がマトリックス状に並んだ表示形態となっている。シミュレーション部８０７は、研磨内容に応じた動作パターンと、研磨部材ＰＭの位置の移動とに基づく複数の枠２４１（図１４（Ａ）参照）の移動領域について、シミュレーションで算出した軌跡に応じて方眼領域２４５を塗りつぶしていく。これにより、シミュレーション表示画面１４０は、研磨部材ＰＭにおいて実際に使用する範囲をリアルタイムに表示していくことができる。

例えば、シミュレーションを開始した直後は、研磨部材ＰＭが各プローブ３３を最初に研磨する部分として、少ない数の方眼領域２４５を塗りつぶすことになる。また、シミュレーション時に、実効状況グラフ１４３は、シミュレーションの進捗状況を横方向に延びるバーによって表示しており、シミュレーションを開始した直後はこのバーが短い状態となっている。

シミュレーションが進行すると、図１６に示すように、研磨部材ＰＭの移動に伴って各プローブ３３が研磨部材ＰＭ全体に接触するようになる。このため、多くの方眼領域２４５が塗りつぶされる。シミュレーションが終了すると、シミュレーション表示画面１４０は、複数の方眼領域２４５が塗りつぶされた範囲によって、研磨部材ＰＭが研磨に使用した使用範囲２４２（各プローブ３３が接触した範囲）を示すことができる。なお上記したように、ステージ４０に配置された研磨部材ＰＭは、設定された動作パターンに基づき往復移動を繰り返しながら、研磨部材ＰＭの位置を変えていく。このため、シミュレーション表示画面１４０は、研磨部材ＰＭに対する接触頻度に応じて、各方眼領域２４５の塗りつぶし状態を変えてもよい。例えば、接触頻度が少ない場合には、塗りつぶしの色を薄く表示する一方で、接触頻度が多くなるにつれて、塗りつぶしの色を濃く表示することがあげられる。

以上のように、シミュレーション部８０７は、シミュレーションにおいて、ウエハＷの半導体デバイス単位で、研磨部材ＰＭと相対的に移動する複数の枠２４１を形成している（図１７（Ａ）参照）。しかしながら、各枠２４１は、実際に研磨を行う各プローブ３３に対して大きなサイズであり、各枠２４１の移動をシミュレーションした場合に、各プローブ３３を研磨する軌跡よりも大きな領域で軌跡を描くことになる。

そこで、シミュレーション部８０７は、図１７（Ｂ）に示すように、ウエハＷの半導体デバイス単位の枠２４１ではなく、各プローブ３３に応じた軌跡を算出してもよい。例えば、シミュレーション表示画面１４０Ａには、枠２４１の代わりに、各プローブ３３に対応する複数のプロット２５０が配置される。シミュレーション部８０７は、シミュレーションにおいて各プロット２５０の軌跡を算出する。これにより、複数の枠２４１を配置してシミュレーションを行った場合と、複数のプロット２５０を配置してシミュレーションを行った場合とでは、研磨部材ＰＭの使用範囲が異なることになる。

すなわち、図１７（Ａ）に示すように複数の枠２４１を用いた場合は、研磨部材ＰＭの外縁まで枠２４１を移動したとしても、実際のプローブ３３は、研磨部材ＰＭの外縁よりも内側に位置する場合がある。これに対して、図１７（Ｂ）に示すように、複数のプロット２５０を用いた場合は、研磨部材ＰＭの外縁付近まで複数のプロット２５０を移動させて、この位置からシミュレーションを行うことができる。これにより、設定用コンピュータ８０は、研磨部材ＰＭの外縁付近まで研磨に使用する設定情報ＳＩを生成することができ、この設定情報ＳＩを用いることで、研磨部材ＰＭを効率的に使用することが可能となる。

また、シミュレーション部８０７は、シミュレーションに伴って算出された研磨部材ＰＭの使用状態に基づき、ユーザにより設定された研磨内容について異常の有無を判定する構成としてもよい。例えば、シミュレーションにおいて、研磨に使用する使用範囲２４２が、設定された研磨エリアを超えた場合には、研磨内容の異常を判定することがあげられる。あるいは、シミュレーション部８０７は、研磨部材ＰＭの一部の領域に使用範囲２４２が集中し過ぎる場合に、研磨内容の異常を判定してもよい。使用範囲２４２が集中し過ぎた場合、研磨部材ＰＭとしての寿命が短くなるからである。

また、ユーザは、シミュレーションの実施時にシミュレーション表示画面１４０を見ながら、停止および再生ボタン１４５を操作して適宜のタイミングでシミュレーションを停止してもよく、停止後にシミュレーションを再開してもよい。また例えば、シミュレーションの実施時にユーザ自身が異常を判断した場合に、リセットボタン１４４を操作することで、シミュレーションを中止してもよい。

そして、ユーザは、シミュレーションの結果または過程に基づき、エリア設定表示群１１１を操作して、研磨エリアの再設定または動作パターンの再設定を行うことができる。再設定した研磨内容でシミュレーションを再び行うことで、よりユーザが所望する研磨内容に調整していくことが可能となる。すなわち、設定用コンピュータ８０では、研磨エリアの設定、動作パターンの設定およびシミュレーションについて何度も繰り返してよい。このように、設定用コンピュータ８０は、検査装置１０と別の外部装置として、針研処理の研磨内容をユーザ固有の設定とし、この研磨内容（レシピ）を検査装置１０にセットすることができる。

なお、設定用コンピュータ８０は、過去に作成した研磨内容のデータを読み込んで（インポートして）、過去の研磨内容を利用して編集を実施させることもできる。例えば、図５に示すメイン画面１１０のデータボタン１１５を押すことで、過去の研磨内容のデータを記憶しているフォルダにアクセスする画面（不図示）を表示し、過去の研磨内容をユーザに選択させることができる。あるいは、表示画面生成部８０３は、データボタン１１５の操作に基づき、複数の過去の研磨内容の簡易版を一覧表示して、ユーザに研磨内容を選択させてもよい。

また、上記の実施形態では、テスタ３０とステージ４０をそれぞれ１つ備えた検査装置１０について説明した。しかしながら、針研処理を行うことが可能な装置であれば、その構成については特に限定されず、例えば、複数のテスタ３０を有する検査装置（不図示）であってもよい。この場合でも、設定用コンピュータ８０において設定された研磨内容を検査装置に送信することで、検査装置は、各テスタ３０に装着されたプローブカード３２の各プローブ３３に対して研磨内容に沿った針研処理を行うことができる。あるいは、処理システム１は、各プローブ３３の針研処理のみを行う専用装置を備え、設定用コンピュータ８０は、この専用装置に対して研磨内容を設定する構成でもよい。

以上の実施形態で説明した本開示の技術的思想および効果について以下に記載する。

［１］：被検査体に接触するプローブ３３の研磨内容を設定する情報処理装置（設定用コンピュータ８０）であって、プローブ３３を研磨する研磨部材ＰＭにおける研磨エリアを設定するエリア設定部８０５と、プローブ３３の研磨時における動作パターンを設定するパターン設定部８０６と、設定された研磨エリア、および設定された動作パターンに基づき、研磨部材ＰＭとプローブ３３との相対的な軌跡を算出するシミュレーション部８０７と、を有する。

上記によれば、情報処理装置（設定用コンピュータ８０）は、プローブ３３を研磨する針研処理において、研磨内容を簡単かつ詳細に設定することができる。特に、制御装置９０の外部に用意された情報処理装置が、針研処理の研磨内容を設定することによって、装置毎の設定方法に制約や装置毎に開発を行うことによる工数の増加を抑制して、自由度の高い設計が可能となる。すなわち、情報処理装置は、プローブの研磨内容の設定を共通化することができ、工数の短縮化を図ることが可能となる。

［２］：［１］を前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）は、研磨部材ＰＭを３次元方向に移動させるステージ４０と、ステージ４０の動作を制御する制御装置と、を有し、プローブ３３を実際に研磨する検査装置１０に接続され、エリア設定部４０５およびパターン設定部４０６で設定した設定情報ＳＩを検査装置１０に送信する。これにより、情報処理装置は、複数の検査装置１０毎に針研処理の研磨内容を設定した後、この研磨内容の設定情報を検査装置１０に送信することで、検査装置１０は、プローブを研磨する針研処理をスムーズに実施することができる。

［３］：［１］または［２］を前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、エリア設定部８０５は、研磨エリアについて分割した複数の分割エリアを設定可能である。これにより、複数種類の研磨部材ＰＭを用いてプローブを研磨する場合でも、複数の研磨部材ＰＭのエリアを詳細に設定することが可能となる。

［４］：［１］～［３］のいずれか１つを前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、エリア設定部８０５は、研磨部材ＰＭにおけるプローブ３３の研磨に有効な有効範囲を研磨エリアの内側に設定可能である。これにより、研磨部材ＰＭの有効範囲を適切に設定することが可能となり、針研処理において研磨部材ＰＭ全体を効果的に使用することができる。

［５］：［１］～［４］のいずれか１つを前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、エリア設定部８０５は、情報処理装置に接続された表示入力装置８２のドラッグアンドドロップ操作により研磨エリアを設定可能である。これにより、情報処理装置は、研磨エリアを簡単に設定することができる。

［６］：［１］～［５］のいずれか１つを前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、パターン設定部８０６は、複数種類の動作パターンをユーザに選択させる。これにより、情報処理装置は、研磨処理の動作パターンを容易に設定することができる。

［７］：［６］を前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、複数種類の動作パターンは、研磨部材ＰＭを第１方向に往復移動させる第１方向パターン（上下動作パターン）と、研磨部材ＰＭを第１方向と直交する第２方向に往復移動させる第２方向パターン（左右動作パターン）と、研磨部材ＰＭを第１方向および第２方向に対して傾斜する方向に往復移動させる傾斜方向パターンと、研磨部材ＰＭを多角形状に沿って周回移動させる周回方向パターン（六角形動作パターン、方形動作パターン）と、を含む。これにより、情報処理装置は、針研処理において種々の動作パターンを選択的に行うことができる。

［８］：［１］～［７］のいずれか１つを前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、パターン設定部８０６は、情報処理装置に接続された表示入力装置８２のドラッグアンドドロップ操作により動作パターンを設定可能である。これにより、情報処理装置は、ユーザが所望する動作パターンを容易に設定することができる。

［９］：［１］～［８］のいずれか１つを前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、シミュレーション部８０７は、被検査体に応じた複数の枠２４１を形成し、研磨部材ＰＭの動作に伴って相対的に移動する複数の枠２４１の軌跡を算出し、算出した複数の枠２４１の軌跡を情報処理装置に接続された表示入力装置８２に表示する。これにより、シミュレーションの結果を視認したユーザは、研磨部材ＰＭにおいて実際に研磨を行う箇所を容易に把握することができる。

［１０］：［１］～［８］のいずれか１つを前提とする情報処理装置（設定用コンピュータ８０）において、シミュレーション部８０７は、複数のプローブ３３に応じた複数のプロット２５０を形成し、研磨部材ＰＭの動作に伴って相対的に移動する複数のプロット２５０の軌跡を算出し、算出した複数のプロット２５０の軌跡を情報処理装置に接続された表示入力装置８２に表示する。これにより、情報処理装置は、複数のプローブの研磨に対応したシミュレーションを行うことができる。また、設定において、研磨部材ＰＭが各プローブに接触する範囲を広げることができ、研磨部材ＰＭを有効活用することができる。

［１１］：被検査体に接触するプローブ３３の研磨内容を表示する表示画面１００を有し、表示画面１００に基づきユーザの操作がなされることで、研磨内容を設定させる表示入力装置８２であって、表示画面１００は、プローブ３３を研磨する研磨部材ＰＭにおける研磨エリアを設定させるエリア設定画面（設定入力画面１２０）と、プローブ３３の研磨時における動作パターンを設定させるパターン設定画面１３０と、設定された研磨エリア、および設定された動作パターンに基づき算出された研磨部材ＰＭとプローブ３３との相対的な軌跡を表示するシミュレーション表示画面１４０と、を含む。

［１２］：被検査体に接触するプローブ３３の研磨内容を設定するプログラム８７ｐであって、プローブ３３を研磨する研磨部材ＰＭにおける研磨エリアを設定するステップと、プローブ３３の研磨時における動作パターンを設定するステップと、設定された研磨エリア、および設定された動作パターンに基づき、研磨部材ＰＭとプローブ３３との相対的な軌跡を算出するステップと、を情報処理装置（設定用コンピュータ８０）に実行させる。

今回開示された実施形態に係る情報処理装置、表示入力装置およびプログラムは、すべての点において例示であって制限的なものではない。実施形態は、添付の請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形および改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。

１０ 検査装置
３３ プローブ
８０ 設定用コンピュータ
８０５ エリア設定部
８０６ パターン設定部８０６
８０７ シミュレーション部
ＰＭ 研磨部材

Claims (12)

1. 被検査体に接触するプローブの研磨内容を設定する情報処理装置であって、
   前記プローブを研磨する研磨部材における研磨エリアを設定するエリア設定部と、
   前記プローブの研磨時における動作パターンを設定するパターン設定部と、
   設定された前記研磨エリア、および設定された前記動作パターンに基づき、前記研磨部材と前記プローブとの相対的な軌跡を算出するシミュレーション部と、を有する、
   情報処理装置。
2. 前記情報処理装置は、
   前記研磨部材を３次元方向に移動させるステージと、前記ステージの動作を制御する制御装置と、を有し、前記プローブを実際に研磨する検査装置に接続され、前記エリア設定部および前記パターン設定部で設定した設定情報を前記検査装置に送信する、
   請求項１に記載の情報処理装置。
3. 前記エリア設定部は、前記研磨エリアについて分割した複数の分割エリアを設定可能である、
   請求項１に記載の情報処理装置。
4. 前記エリア設定部は、前記研磨部材における前記プローブの研磨に有効な有効範囲を前記研磨エリアの内側に設定可能である、
   請求項１に記載の情報処理装置。
5. 前記エリア設定部は、前記情報処理装置に接続された表示入力装置のドラッグアンドドロップ操作により前記研磨エリアを設定可能である、
   請求項１に記載の情報処理装置。
6. 前記パターン設定部は、複数種類の前記動作パターンをユーザに選択させる、
   請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
7. 複数種類の前記動作パターンは、前記研磨部材を第１方向に往復移動させる第１方向パターンと、前記研磨部材を前記第１方向と直交する第２方向に往復移動させる第２方向パターンと、前記研磨部材を前記第１方向および前記第２方向に対して傾斜する方向に往復移動させる傾斜方向パターンと、前記研磨部材を多角形状に沿って周回移動させる周回方向パターンと、を含む、
   請求項６に記載の情報処理装置。
8. 前記パターン設定部は、前記情報処理装置に接続された表示入力装置のドラッグアンドドロップ操作により前記動作パターンを設定可能である、
   請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
9. 前記シミュレーション部は、前記被検査体に応じた複数の枠を形成し、前記研磨部材の動作に伴って相対的に移動する前記複数の枠の軌跡を算出し、算出した前記複数の枠の軌跡を前記情報処理装置に接続された表示入力装置に表示する、
   請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
10. 前記シミュレーション部は、複数の前記プローブに応じた複数のプロットを形成し、前記研磨部材の動作に伴って相対的に移動する前記複数のプロットの軌跡を算出し、算出した前記複数のプロットの軌跡を前記情報処理装置に接続された表示入力装置に表示する、
    請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
11. 被検査体に接触するプローブの研磨内容を表示する表示画面を有し、前記表示画面に基づきユーザの操作がなされることで、前記研磨内容を設定させる表示入力装置であって、
    前記表示画面は、
    前記プローブを研磨する研磨部材における研磨エリアを設定させるエリア設定画面と、
    前記プローブの研磨時における動作パターンを設定させるパターン設定画面と、
    設定された前記研磨エリア、および設定された前記動作パターンに基づき算出された前記研磨部材と前記プローブとの相対的な軌跡を表示するシミュレーション表示画面と、を含む、
    表示入力装置。
12. 被検査体に接触するプローブの研磨内容を設定するプログラムであって、
    前記プローブを研磨する研磨部材における研磨エリアを設定するステップと、
    前記プローブの研磨時における動作パターンを設定するステップと、
    設定された前記研磨エリア、および設定された前記動作パターンに基づき、前記研磨部材と前記プローブとの相対的な軌跡を算出するステップと、を情報処理装置に実行させる、
    プログラム。

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