JP2023167672A - 流体制御装置、ゼロ点調整方法、及びゼロ点調整用プログラム - Google Patents

流体制御装置、ゼロ点調整方法、及びゼロ点調整用プログラム Download PDF

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Abstract

【課題】流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整を、正しく実行できる環境下において実行させる。【解決手段】流体が流れる流路Ｌに設けられた流体制御バルブ１と、流路Ｌに設けられた圧力センサＰＳと、圧力センサＰＳの出力値が第１閾値以下である第１条件が満たされたか否か、及び、圧力センサＰＳから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第２閾値以下である第２条件が満たされたか否かを判断する条件判断部５１と、第１条件が満たされ、且つ、第２条件が満たされたことが条件判断部５１により判断された場合に、圧力センサＰＳをゼロ点調整するゼロ調実行部５２とを備えるようにした。【選択図】図３

Description

本発明は、流体制御装置、ゼロ点調整方法、及びゼロ点調整用プログラムに関するものである。
従来の流体制御装置としては、特許文献１に示す差圧式のものはもとより、熱式のものにおいても圧力センサを備えるものがある。
かかる流体制御装置は、例えば流量の測定精度を担保するべく、基準となる圧力計若しくは真空計が無い環境で圧力センサをゼロ点調整する必要があり、これまでは、圧力センサが設けられている流路を真空引きしながら、所定の待機時間（例えば３０分）経過するのを待ち、流路を真空状態にしてからゼロ点調整を実行するようにしている。
しかしながら、待機時間が経過したとしても、真空ポンプの引き方によっては流路が真空状態になっているとは限らないし、リークが生じている場合には流路が真空状態にならず、こうした場合、ゼロ点調整が正しく実行されず、しかもそのことに気づかない場合すらある。
特開２０１８－１８３５１号公報
そこで本発明は、上記の問題点を解決すべくなされたものであり、流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整を、正しく実行できる環境下において実行させることをその主たる課題とするものである。
本発明に係る流体制御装置は、流体が流れる流路に設けられた流体制御バルブと、前記流路に設けられた圧力センサと、前記圧力センサの出力値が第１閾値以下である第１条件が満たされたか否か、及び、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第２閾値以下である第２条件が満たされたか否かを判断する条件判断部と、前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされたことが前記条件判断部により判断された場合に、前記圧力センサをゼロ点調整するゼロ調実行部とを備えることを特徴とするものである。
このように構成された流体制御装置によれば、まず、第１条件が満たされることで、流路が真空状態に近い又は近づいていることを担保することができる。
さらに、例えば所定時間において出力される２つの出力値の差分や比率などを指標値として算出し、その指標値が第２閾値以下であることが第２条件として満たされることで、流路が真空状態に到達し、且つ、真空状態を安定して維持できていることを担保することができる。
そして、第１条件が満たされ、且つ、第２条件も満たされた場合にゼロ調実行部によるゼロ点調整が実行されるので、流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整を、正しく実行できる環境下において実行させることができる。
前記流路に設けられた流体抵抗素子をさらに備え、前記圧力センサが、前記流体抵抗素子よりも上流に設けられていることが好ましい。
このような構成であれば、例えば差圧式の流体制御装置のように複数の圧力センサを備えている構成において、より真空状態になりにくい流体抵抗素子の上流に設けられている圧力センサが、ゼロ点調整を実行させるか否かかの判断対象となるので、複数の圧力センサそれぞれのゼロ点調整を、正しく実行できる環境下において実行させることができる。
より具体的な実施態様としては、前記流体抵抗素子が、流体制御バルブの下流に設け得られており、前記圧力センサが、前記流体制御バルブと前記流体抵抗素子との間に設けられている態様を挙げることができる。
前記圧力センサが、前記流体制御バルブと前記流体抵抗素子との間、及び、前記流体抵抗素子の下流それぞれに設けられており、前記ゼロ調実行部が、前記各圧力センサの出力値が前記第１条件を満たし、且つ、全ての前記圧力センサの指標値が前記第２条件を満たす場合に、全ての前記圧力センサをゼロ点調整することが好ましい。
これならば、差圧式の流体制御装置を構成するそれぞれの圧力センサのゼロ点調整を、正しく実行できる環境下において実行させることができる。
前記第２閾値に対応する前記指標値の具体的な実施態様としては、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値のうちの初期値と最終値との差分或いは比率、又は、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値のうちの最大値と最小値との差分或いは比率を挙げることができる。
ところで、圧力センサの出力は温度影響を受けるところ、圧力センサからの出力を温度補正する場合がある。
そこで、前記流体の温度を検出する温度測定部をさらに備え、前記ゼロ調実行部が、前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされ、且つ、前記温度測定部から所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第３閾値以下である第３条件が満たされた場合に、前記圧力センサをゼロ点調整することが好ましい。
これならば、上述した第２条件と同様に、例えば所定時間において出力される２つの出力値の差分や比率などを指標値として算出し、その指標値が第３閾値以下であることが第３条件として満たされることで、流体の温度が安定していることを担保することができ、圧力センサをより正しくゼロ点調整することが可能となる。
前記第３閾値に対応する前記指標値の具体的な実施態様としては、前記温度測定部から所定時間に亘り出力される出力値のうちの初期値と最終値との差分或いは比率、又は、前記温度測定部から所定時間に亘り出力される出力値のうちの最大値と最小値との差分或いは比率を挙げることができる。
前記条件判断部が、前記第１条件が満たされた場合に、その時点から所定の待機時間が経過しているかを判断し、その待機時間が経過した場合に、前記第２条件が満たされているか否かの判断を開始することが好ましい。
これならば、第２条件が満たされたか否かを判断し続ける構成に比べて、ＣＰＵへの負荷を低減させることができる。
また、本発明に係るゼロ点調整方法は、流体が流れる流路に設けられた流体制御バルブとともに流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整方法であって、前記圧力センサの出力値が第１閾値以下である第１条件が満たされたか否か、及び、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第２閾値以下である第２条件が満たされたか否かを判断する条件判断ステップと、前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされたことが前記条件判断ステップにより判断された場合に、前記圧力センサをゼロ点調整するゼロ調実行ステップとを備えることを特徴とする方法である。
さらに、本発明に係るゼロ点調整用プログラムは、流体が流れる流路に設けられた流体制御バルブとともに流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整に用いられるプログラムであって、前記圧力センサの出力値が第１閾値以下である第１条件が満たされたか否か、及び、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第２閾値以下である第２条件が満たされたか否かを判断する条件判断部と、前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされたことが前記条件判断部により判断された場合に、前記圧力センサをゼロ点調整するゼロ調実行部としての機能をコンピュータに発揮させることを特徴とするものである。
このようなゼロ点調整方法及びゼロ点調整用プログラムによれば、上述した流体制御装置と同様の作用効果を奏し得る。
以上に述べた本発明によれば、流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整を、正しく実行できる環境下において実行させることができる。
本発明の一実施形態に係る流体制御装置の構成を示す模式図。 同実施形態の制御部の機能を示す機能ブロック図。 同実施形態の制御部の動作を示すフローチャート。 その他の実施形態の流体制御装置の構成を示す模式図。
以下に、本発明の一実施形態に係る流体制御装置について、図面を参照して説明する。
＜装置構成＞
流体制御装置は、例えば半導体製造プロセスに用いられるものであり、流体が流れる流路に設けられた流体制御バルブと、その流路に設けられた圧力センサとを少なくとも備えている。
ここでの流体制御装置１００は、図１に示すように、上流側から流体制御バルブ１、上流側圧力センサ２１、流体抵抗素子２２、及び下流側圧力センサ２３がこの順で並び設けられており、これらの流体機器２１～２３とともに、流体制御バルブ１の制御を司る制御部Ｃがパッケージ化された差圧式のマスフローコントローラである。
制御部Ｃは、ＣＰＵ、メモリ、Ａ／Ｄコンバータ、Ｄ／Ａコンバータ、各種入出力機器を備えたいわゆるコンピュータであって、図２に示すように、メモリに格納された流体制御装置用プログラムが実行されることにより少なくとも実流量算出部２４及びバルブ制御部３としての機能を発揮する。
実流量算出部２４は、上流側圧力センサ２１により測定された測定圧力Ｐ１及び下流側圧力センサ２３により測定された測定圧力Ｐ２に基づいて流路Ｌを流れる流体の流量を算出する。すなわち、上流側圧力センサ２１、流体抵抗素子２２、下流側圧力センサ２３、及び実流量算出部２４は、差圧式の流量センサを構成するものである。この実流量算出部２４により算出された算出流量はバルブ制御部３へ出力される。
バルブ制御部３は、ユーザにより設定される設定流量と実流量算出部２４により算出される算出流量との偏差が小さくなるように流体制御バルブ１の開度を流量フィードバック制御する。
ここで、本実施形態の流体制御装置１００は、図１に示すように、流路Ｌを流れる流体の温度を検出する温度測定部たる温度センサ４をさらに備えており、上述した測定圧力Ｐ１、Ｐ２それぞれは、温度センサ４からの出力値（以下、測定温度Ｔともいう）を用いて補正された補正後の測定圧力である。なお、温度補正としては、圧力センサＰ１、Ｐ２から出力される指示電圧に基づき算出される温度を用いて測定圧力Ｐ１、Ｐ２を補正しても良く、この場合は、圧力センサＰ１、Ｐ２が温度測定部としての機能を発揮する。
すなわち、上流側圧力センサ２１及び下流側圧力センサ２３から実流量算出部２４に出力される出力値は、この実施形態では補正後の測定圧力Ｐ１、Ｐ２である。ただし、測定圧力Ｐ１、Ｐ２は必ずしも温度補正される必要はなく、この場合、上流側圧力センサ２１及び下流側圧力センサ２３から実流量算出部２４に出力される出力値は、上流側圧力センサ２１及び下流側圧力センサ２３それぞれが測定した測定圧力Ｐ１、Ｐ２そのままの値となる。
本実施形態の流体制御装置１００は、上述した上流側圧力センサ２１及び下流側圧力センサ２３とは別の第３の圧力センサ２０が流体制御バルブ１の上流に設けられたものである。なお、図示していないが、上述した流体制御バルブ１とは別の第２の流体制御バルブが下流側圧力センサ２３の下流に設けられていても良い。
以下では、説明の便宜上、上流側圧力センサ２１、下流側圧力センサ２３、及び第３の圧力センサ２０を区別しない場合、単に圧力センサＰＳと記載する。すなわち、圧力センサＰＳは、上流側圧力センサ２１、下流側圧力センサ２３、又は第３の圧力センサ２０の少なくとも１つを示すものである。
然して、本実施形態の流体制御装置１００は、上述した実流量算出部２４により算出流量の精度を担保するべく、圧力センサＰＳを自動でゼロ点調整する自動ゼロ調機能を備えている。
具体的には制御部Ｃが、図２に示すように、ゼロ点調整の開始を判断する条件判断部５１と、条件判断部５１からの司令を受けて圧力センサのゼロ点調整を実行するゼロ調実行部５２としての機能を備えている。
以下では、これらの機能の説明を兼ねて、図３のフローチャートを参照しながら制御部Ｃによるゼロ点調整動作を説明する。
ゼロ点調整動作を開始するにあたり、流体制御バルブ１を全開にするとともに、流体制御装置１００に接続された真空ポンプ（不図示）などを稼働して、圧力センサＰＳが設けられている流路Ｌを真空引きする（Ｓ１）。なお、後述する条件判断部５１による判断中においても、この真空ポンプによる流路Ｌの真空引きは継続される。
その後、条件判断部５１が、以下に述べる条件が満たされているか否かを判断し、全ての条件が満たされた場合に、ゼロ調実行部５２にゼロ点調整を実行させる。
まず、条件判断部５１は、圧力センサの出力値が所定の第１閾値以下である第１条件が満たされたか否かを判断する。
第１条件は、上述した流路Ｌが真空状態に近い又は近づいている場合に満たされる条件であり、第１閾値は、例えば圧力センサＰＳのゼロ点調整に要求される精度を担保できる程度の真空度に設定されている。
ここでの条件判断部５１は、上流側圧力センサ２１の出力値P1(t)が上流側圧力センサ２１用の第１閾値P1vac以下であるか否かを判断し、下流側圧力センサ２３の出力値P2(t)が下流側圧力センサ２３用の第１閾値P2vac以下であるか否かを判断し、第３の圧力センサ２０の出力値P0(t)が第３の圧力センサ２０用の第１閾値P0vac以下であるか否かを判断する（Ｓ２）。
そして、条件判断部５１は、全ての圧力センサ２１、２３、２０の出力値が第１閾値以下である場合に第１条件が満たされたと判断し、この時の時刻tを時刻t0と設定する（Ｓ３）。
なお、上流側圧力センサ２１用の第１閾値P1vac、下流側圧力センサ２３用の第１閾値P2vac、及び第３の圧力センサ２０用の第１閾値P0vacは、互いに同じ値に設定されていても良いし、例えばそれぞれの圧力センサ２１、２３、２０の分解能や測定レンジなどを加味して一部又は全部が互いに異なる値に設定されていても良い。その一例として、ここでは上流側圧力センサ２１用の第１閾値P1vac、及び、下流側圧力センサ２３用の第１閾値P2vacを、第３の圧力センサ２０用の第１閾値P0vacよりも小さい値としてある。
Ｓ２において第１条件が満たされた場合、条件判断部５１は、次の第２条件が満たされたか否かを判断するが、本実施形態ではその前に、第１条件が満たされた時刻t0から所定の待機時間t stableが経過しているか否かを判断する。
具体的には、Ｓ３における条件判断部５１は、第１条件が満たされた時刻t0から現在の時刻tまでの経過時間t-t0が、待機時間t stableよりも大きいか否かを判断する（Ｓ４）。
そして、条件判断部５１は、Ｓ３において第１条件が満たされた時刻t0から待機時間t stableが経過したと判断した場合に、上述した通り、次の第２条件が満たされたか否かを判断する。
第２条件は、圧力センサＰＳからの出力値が殆ど変動せずに安定している場合に満たされる条件であり、具体的には、圧力センサＰＳから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出された指標値が所定の第２閾値以下である場合に満たされる条件である。
より具体的に説明すると、指標値は、圧力センサＰＳから所定時間に亘り出力される出力値のうち、例えば初期値、最終値、最大値、最小値、及び中央値などの少なくとも２つをパラメータに含む算出式により算出される差分、比率、平均値、又は標準偏差などの算出値であり、条件判断部５１は、算出した指標値が第２閾値以下である場合に第２条件が満たされたと判断する。
本実施形態では、所定時間が上述した待機時間がt stableに設定されており、条件判断部５１は、現状の時刻tにおける圧力センサＰＳの出力値と、待機時間t stableを遡った時刻t-t stableにおける圧力センサＰＳの出力値との差分を指標値として算出し、この差分が第２閾値以下である場合に第２条件が満たされたと判断する。なお、この差分は、絶対差（絶対値）であっても良いし、一方の出力値から他方の出力値を差し引いた正負が表れる値であっても良い。
ここでの条件判断部５１は、上流側圧力センサ２１の出力値から得られる指標値P1(t-t stable)-P1(t)が上流側圧力センサ２１用の第２閾値P1stable以下であるか否かを判断し、下流側圧力センサ２３の出力値から得られる指標値P2(t-t stable)-P2(t)が下流側圧力センサ２３用の第２閾値P2stable以下であるか否かを判断し、第３の圧力センサ２０の出力値から得られる指標値P0(t-t stable)-P0(t)が第３の圧力センサ２０用の第２閾値P0stable以下であるか否かを判断する（Ｓ５）。
そして、条件判断部５１は、全ての圧力センサ２１、２３、２０の出力値から得れた指標値が第２閾値以下である場合に第２条件が満たされたと判断する。
なお、上流側圧力センサ２１用の第２閾値P1stable、下流側圧力センサ２３用の第２閾値P2stable、及び第３の圧力センサ２０用の第２閾値P0stableは、互いに同じ値に設定されていても良いし、例えばそれぞれの圧力センサ２１、２３、２０の分解能や測定レンジなどを加味して一部又は全部が互いに異なる値に設定されていても良い。その一例として、ここでは上流側圧力センサ２１用の第２閾値P1stable、及び、下流側圧力センサ２３用の第２閾値P2stableを、第３の圧力センサ２０用の第２閾値P0stableよりも小さい値としてある。
ここで、本実施形態の条件判断部５１は、上述した第２条件が満たされたか否かの判断をするとともに、以下の第３条件が満たされたか否かを判断するように構成されている。
第３条件は、温度センサ４からの出力値が殆ど変動せずに安定している場合に満たされる条件であり、具体的には、温度センサ４から所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出された指標値が所定の第３閾値以下である場合に満たされる条件である。
より具体的に説明すると、指標値は、温度センサ４から所定時間に亘り出力される出力値のうち、例えば初期値、最終値、最大値、最小値、及び中央値などの少なくとも２つをパラメータに含む算出式により算出される差分、比率、平均値、又は標準偏差などの算出値であり、条件判断部５１は、算出した指標値が第３閾値以下である場合に第３条件が満たされたと判断する。
本実施形態では、所定時間が上述した待機時間がt stableに設定されており、条件判断部５１は、現状の時刻tから待機時間t stableを遡った時刻t-t stableまでの温度センサ４の出力値の最大値T maxと最小値T minとの差分を算出し、この差分が第３閾値T stable以下である場合に第３条件が満たされたと判断する（Ｓ６）。
そして、条件判断部５１は、上述した第１条件、第２条件、及び第３条件のそれぞれが満たされた場合に、ゼロ調実行部５２に圧力センサのゼロ点調整を実行させるための実行司令を送るように構成されており、本実施形態では、上流側圧力センサ２１、下流側圧力センサ２３、及び第３の圧力センサ２０それぞれのゼロ点調整を実行させるように構成されている。
ゼロ調実行部５２は、条件判断部５１からの実行司令を受け付けると、その実行司令を受け付けた時刻における圧力センサＰＳの出力値をゼロ値として設定する（Ｓ７）。すなわち、このゼロ調実行部５２は、第１条件及び第２条件が同時に満たされている状態において、圧力センサＰＳのゼロ点調整を実行するものである。
本実施形態のゼロ調実行部５２は、条件判断部５１からの実行司令を受け付けた時刻における上流側圧力センサ２１の出力値を上流側圧力センサ２１のゼロ値として設定し、同時刻における下流側圧力センサ２３の出力値を下流側圧力センサ２３のゼロ値として設定し、同時刻における第３の圧力センサ２０の出力値を第３の圧力センサ２０のゼロ値として設定する。
＜本実施形態の効果＞
このように構成された流体制御装置１００によれば、まず、第１条件が満たされることで、流路Ｌが真空状態に近い又は近づいていることを担保することができ、第２条件が満たされることで、流路Ｌが真空状態に到達し、且つ、その真空状態を安定して維持できていることを担保することができ、これらの第１条件及び第２条件が満たされた場合にゼロ調実行部５２によるゼロ点調整が実行されるので、流体制御装置１００を構成する圧力センサのゼロ点調整を、正しく実行できる環境下において実行させることができる。
さらに、第３条件が満たされることで、流体の温度が安定していることを担保することができ、第１条件及び第２条件のみならず、第３条件もが満たされた場合にゼロ調実行部５２によるゼロ点調整が実行されるので、流体制御装置１００を構成する圧力センサのゼロ点調整を、より正しく実行できる環境下において実行させることができる。
また、ゼロ調実行部５２が、上流側圧力センサ２１、下流側圧力センサ２３、及び第３の圧力センサ２０の全ての出力値が第１条件及び第２条件を満たす場合に、それら全ての圧力センサ２１、２３、２０をゼロ点調整するので、差圧式の流体制御装置１００を構成するそれぞれの圧力センサ２１、２３、２０をより正しくゼロ点調整することができる。
そのうえ、条件判断部５１が、第１条件が満たされた場合に、その時点から所定の待機時間t stableが経過しているかを判断し、その待機時間t stableが経過した場合に、第２条件が満たされているか否かの判断を開始するので、第２条件が満たされたか否かを判断し続ける構成に比べて、ＣＰＵへの負荷を低減させることができる。
＜その他の実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られない。
例えば、条件判断部５１としては、前記実施形態では上流側圧力センサ２１、下流側圧力センサ２３、及び第３の圧力センサ２０の出力値に対して第１条件が満たされたか否かを判断していたが、これらの圧力センサ２１、２３、３０のうちの一部のみの出力値に対して第１条件が満たされたか否かを判断しても良い。
この場合の条件判断部５１としては、より真空状態になりにくい流体抵抗素子２２の上流に設けられている圧力センサ２１、２０については、第１条件が満たされたか否かを判断することが好ましく、その中でも高い精度が求められる上流側圧力センサ２１についての第１条件が満たされたか否かを判断することがより好ましい。
また、条件判断部５１としては、前記実施形態では上流側圧力センサ２１、下流側圧力センサ２３、及び第３の圧力センサ２０の出力値から得られる指標値に対して第２条件が満たされたか否かを判断していたが、これらの圧力センサ２１、２３、２０のうちの一部のみの出力値から得られる指標値に対して第２条件が満たされたか否かを判断しても良い。
この場合の条件判断部５１としては、より真空状態になりにくい流体抵抗素子２２の上流に設けられている圧力センサ２１、２０については、第２条件が満たされたか否かを判断することが好ましく、その中でも高い精度が求められる上流側圧力センサ２１についての第２条件が満たされたか否かを判断することがより好ましい。
上述した構成、すなわち圧力センサ２１、２３、３０のうちの一部のみの出力値を用いる構成の場合、具体的な一実施態様としては、例えば、上流側圧力センサ２１の出力値に対する第１条件が満たされ、且つ、上流側圧力センサ２１の出力値から得られる指標値に対する第２条件が満たされたと判断された場合に、上流側センサ２１のみならず、下流側センサ２３又は第３の圧力センサ３０の一方又は両方のゼロ点調整もが実行される態様を挙げることができる。
流体制御装置１００としては、前記実施形態で述べた温度センサ４は必ずしも備えている必要はなく、この場合の条件判断部５１においては、前記実施形態で述べた第３条件についての判断は不要となる。
また、流体制御装置１００としては、前記実施形態で述べた第３の圧力センサ２０は必ずしも備えている必要はなく、この場合の条件判断部５１においては、前記実施形態で述べた第３の圧力センサ２０に対する第１条件や第２条件の判断は不要となる。
さらに、前記実施形態では、第１条件が満たされている場合に第２条件が満たされているか否かの判断がなされていたが、第１条件が満たされているか否かの判断と、第２条件が満たされているか否かの判断とを並行して行っても良い。この場合、第１条件又は第２条件の何れかが満たされていなければ、ゼロ点調整は実行されず、第１条件が満たされ、且つ、第２条件が満たされた場合にゼロ点調整が実行される。
さらに加えて、前記実施形態のように第１条件が満たされている場合に第２条件が満たされているか否かを判断する構成においても、第２条件が満たされているかの判断中に第１条件が満たされているかを判断し続けても良い。
なお、前記実施形態における第２条件が満たされているかの判断中に第１条件が満たされているかの判断がなされていない理由は、条件判断部５１による判断中において、真空ポンプによる流路Ｌの真空引きが継続されていることから、第１条件が満たされていると判断された後は、その後においても、第１条件が満たされている状態が継続していると蓋然性が高いと考えられるからである。
加えて、条件判断部５１及びゼロ調実行部５２は、前記実施形態では流体制御装置１００が備える機能として説明したが、流体制御装置１００の外部のコンピュータに備えさせても良い。
さらに、流体制御装置１００は、前記実施形態では差圧式の流量センサを備えるマスフローコントローラとして説明したが、図４に示すように、熱式の流量センサを備えるマスフローコントローラであっても良い。
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や組み合わせを行っても構わない。
１００・・・流体制御装置（マスフローコントローラ）
１ ・・・流体制御バルブ
２１ ・・・上流側圧力センサ
２２ ・・・流体抵抗素子
２３ ・・・下流側圧力センサ
Ｌ ・・・流路
Ｃ ・・・制御部
２４ ・・・実流量算出部
２ ・・・流量センサ
３ ・・・バルブ制御部
４ ・・・温度センサ
５１ ・・・条件判断部
５２ ・・・ゼロ調実行部

Claims (10)

  1. 流体が流れる流路に設けられた流体制御バルブと、
    前記流路に設けられた圧力センサと、
    前記圧力センサの出力値が第１閾値以下である第１条件が満たされたか否か、及び、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第２閾値以下である第２条件が満たされたか否かを判断する条件判断部と、
    前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされたことが前記条件判断部により判断された場合に、前記圧力センサをゼロ点調整するゼロ調実行部とを備える、流体制御装置。
  2. 前記流路に設けられた流体抵抗素子をさらに備え、
    前記圧力センサが、前記流体抵抗素子よりも上流に設けられている、請求項１記載の流体制御装置。
  3. 前記流体抵抗素子が、前記流体制御バルブの下流に設けられており、
    前記圧力センサが、前記流体制御バルブと前記流体抵抗素子との間に設けられている、請求項２記載の流体制御装置。
  4. 前記圧力センサが、前記流体制御バルブと前記流体抵抗素子との間、及び、前記流体抵抗素子の下流それぞれに設けられており、
    前記ゼロ調実行部が、前記各圧力センサの出力値が前記第１条件を満たし、且つ、全ての前記圧力センサの指標値が前記第２条件を満たす場合に、全ての前記圧力センサをゼロ点調整する、請求項３記載の流体制御装置。
  5. 前記第２閾値に対応する前記指標値が、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値のうちの初期値と最終値との差分或いは比率、又は、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値のうちの最大値と最小値との差分或いは比率である、請求項１乃至４のうち何れか一項に記載の流体制御装置。
  6. 前記流体の温度を検出する温度測定部をさらに備え、
    前記ゼロ調実行部が、前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされ、且つ、前記温度測定部から所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第３閾値以下である第３条件が満たされた場合に、前記圧力センサをゼロ点調整する、請求項１乃至５のうち何れか一項に記載の流体制御装置。
  7. 前記第３閾値に対応する前記指標値が、前記温度測定部から所定時間に亘り出力される出力値のうちの初期値と最終値との差分或いは比率、又は、前記温度測定部から所定時間に亘り出力される出力値のうちの最大値と最小値との差分或いは比率である、請求項６記載の流体制御装置。
  8. 前記条件判断部が、前記第１条件が満たされた場合に、その時点から所定の待機時間が経過しているかを判断し、その待機時間が経過した場合に、前記第２条件が満たされているか否かの判断を開始する、請求項１乃至７のうち何れか一項に記載の流体制御装置。
  9. 流体が流れる流路に設けられた流体制御バルブとともに流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整方法であって、
    前記圧力センサの出力値が第１閾値以下である第１条件が満たされたか否か、及び、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第２閾値以下である第２条件が満たされたか否かを判断する条件判断ステップと、
    前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされたことが前記条件判断ステップにより判断された場合に、前記圧力センサをゼロ点調整するゼロ調実行ステップとを備える、ゼロ点調整方法。
  10. 流体が流れる流路に設けられた流体制御バルブとともに流体制御装置を構成する圧力センサのゼロ点調整に用いられるプログラムであって、
    前記圧力センサの出力値が第１閾値以下である第１条件が満たされたか否か、及び、前記圧力センサから所定時間に亘り出力される出力値の少なくとも一部を用いて算出される指標値が第２閾値以下である第２条件が満たされたか否かを判断する条件判断部と、
    前記第１条件が満たされ、且つ、前記第２条件が満たされたことが前記条件判断部により判断された場合に、前記圧力センサをゼロ点調整するゼロ調実行部としての機能をコンピュータに発揮させるゼロ点調整用プログラム。
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