JP2023166322A - 導波路構造およびそれを用いた表示装置 - Google Patents

導波路構造およびそれを用いた表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2023166322A
JP2023166322A JP2022169058A JP2022169058A JP2023166322A JP 2023166322 A JP2023166322 A JP 2023166322A JP 2022169058 A JP2022169058 A JP 2022169058A JP 2022169058 A JP2022169058 A JP 2022169058A JP 2023166322 A JP2023166322 A JP 2023166322A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveguide
grating
pillar
coupler
refractive index
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2022169058A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7546638B2 (ja
Inventor
柏翰 傅
Po-Han Fu
馨儀 謝
Hsin-Yi Hsieh
唯科 王
Wei-Ko Wang
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VisEra Technologies Co Ltd
Original Assignee
VisEra Technologies Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VisEra Technologies Co Ltd filed Critical VisEra Technologies Co Ltd
Publication of JP2023166322A publication Critical patent/JP2023166322A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7546638B2 publication Critical patent/JP7546638B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1866Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/125Bends, branchings or intersections
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/01Head-up displays
    • G02B27/017Head mounted
    • G02B27/0172Head mounted characterised by optical features
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/01Head-up displays
    • G02B27/0101Head-up displays characterised by optical features
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30Collimators
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1814Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
    • G02B5/1819Plural gratings positioned on the same surface, e.g. array of gratings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1842Gratings for image generation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1866Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
    • G02B5/1871Transmissive phase gratings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0013Means for improving the coupling-in of light from the light source into the light guide
    • G02B6/0023Means for improving the coupling-in of light from the light source into the light guide provided by one optical element, or plurality thereof, placed between the light guide and the light source, or around the light source
    • G02B6/0026Wavelength selective element, sheet or layer, e.g. filter or grating
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12083Constructional arrangements
    • G02B2006/12092Stepped
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/01Head-up displays
    • G02B27/0101Head-up displays characterised by optical features
    • G02B2027/0123Head-up displays characterised by optical features comprising devices increasing the field of view

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

Figure 2023166322000001

【課題】 導波路構造およびそれを用いた表示装置を提供する。
【解決手段】 互いに積層された導波路結合器を含み、各前記導波路結合器は、導波路板、および前記導波路板上に配置された入力カプラを含み、少なくとも1つの前記導波路結合器の前記入力カプラは第1のグレーティングピラーを含み、各前記第1のグレーティングピラーは徐々に変化する屈折率を有する導波路構造。
【選択図】 図1

Description

本発明は、導波路構造およびそれを用いた表示装置に関するものであり、特に、徐々に変化する屈折率を有する入力カプラを含む導波路結合器を含む導波路構造に関するものである。
仮想現実(VR)、拡張現実(AR)、複合現実(MR)装置で用いられるようなニアアイディスプレイは、技術の進歩に伴いますます普及している。ニアアイディスプレイは、仮想オブジェクトを表示、または実オブジェクトを仮想オブジェクトの画像と組み合わせることができる。例えば、ユーザーは、ARシステムで仮想オブジェクト(例えば、コンピューター生成画像(CGI))と周囲の環境の混合画像を同時に見ることができ、医療、教育、物流、e-Health、および製造など様々な分野で幅広く用いられることができる。
しかしながら、仮想オブジェクトの画像がユーザーの視野(FoV)に送信されるとき、色により波長が異なるため、結合効率が低く、視野が十分でないなどの問題がしばしば生じる。これは、例えば、画像表示が不完全、誤った縮尺で表示、または色ずれなど、さまざまな望ましくない状態が生じる可能性がある。
導波路構造およびそれを用いた表示装置を提供する。
本開示のいくつかの実施形態では、表示装置(例えば、AR、VE、またはMR装置)は、互いに積層された導波路結合器を含む導波路構造を含む。導波路結合器の少なくとも1つの入力カプラは、徐々に変化する屈折率を有し、結合効率とユーザーの視野(FoV)を効果的に改善することができる。
本開示のいくつかの実施形態による、導波路構造が提供される。導波路構造は、互いに積層された導波路結合器を含む。各導波路結合器は、導波路板、および導波路板上に配置された入力カプラを含む。少なくとも1つの導波路結合器の入力カプラは第1のグレーティングピラーを含み、各第1のグレーティングピラーは徐々に変化する屈折率を有する。
いくつかの実施形態では、2つ以上の導波路結合器がある。
いくつかの実施形態では、各第1のグレーティングピラーは積層を有し、2~30の積層がある。
いくつかの実施形態では、積層の厚さは異なる。
いくつかの実施形態では、積層の全高は、40nm~1000nmの範囲にある。
いくつかの実施形態では、徐々に変化する屈折率は、最大屈折率および最小屈折率を有し、最大屈折率と最小屈折率との差は0より大きく、2.1以下である。
いくつかの実施形態では、徐々に変化する屈折率は、1.4~3.5の範囲にある。
いくつかの実施形態では、第1のグレーティングピラーは周期的な配列で形成され、この周期的な配列の周期は、250nm~750nmの範囲にある。
いくつかの実施形態では、導波路構造の断面図から見て、各第1のグレーティングピラーのプロファイルは、2つの平行な辺を有する。
いくつかの実施形態では、各第1のグレーティングピラーのプロファイルは台形であり、2つの平行な辺は、上底および下底であり、下底は上底より導波路板に近い。
いくつかの実施形態では、下底は上底より長い。
いくつかの実施形態では、導波路板は、1.5~3.0の範囲で一定の屈折率を有する。
いくつかの実施形態では、各導波路結合器は、導波路板上に配置され、入力カプラに隣接するエキスパンダーをさらに含む。
いくつかの実施形態では、エキスパンダーは第2のグレーティングピラーを含み、2つの隣接する第2のグレーティングピラー間の距離は一定である。
いくつかの実施形態では、第2のグレーティングピラーは異なる幅を有する。
いくつかの実施形態では、第2のグレーティングピラーは異なる厚さを有する。
いくつかの実施形態では、各導波路結合器は、導波路板上に配置された出力カプラをさらに含み、エキスパンダーは、入力カプラと出力カプラとの間に配置される。
いくつかの実施形態では、導波路結合器は、異なる色の光を結合するように用いられ、異なる色の光は、380nm~750nmの波長を有する。
本開示のいくつかの実施形態による、表示装置が提供される。表示装置は、画像ソース、および画像ソースからの光を結合するように構成された導波路構造を含む。導波路構造は、互いに積層された導波路結合器を含む。各導波路結合器は、導波路板、および導波路板上に配置された入力カプラを含む。少なくとも1つの導波路結合器の入力カプラは、第1のグレーティングピラーを含み、各第1のグレーティングピラーは徐々に変化する屈折率を有する。
いくつかの実施形態では、表示装置は、画像ソースと導波路構造との間に配置されたコリメータをさらに含む。
本発明は、結合効率とユーザーの視野(FoV)を効果的に改善できる。
図1は、本開示のいくつかの実施形態による表示装置を示す概略図である。 図2は、本開示のいくつかの実施形態による導波路板およびグレーティングピラー(grating pillars)を示す部分断面図である。 図3Aは、本開示のいくつかの実施形態によるグレーティングピラーを示す拡大図である。 図3Bは、本開示のいくつかの他の実施形態によるグレーティングピラーを示す異なる拡大図である。 図3Cは、本開示のいくつかの他の実施形態によるグレーティングピラーを示す異なる拡大図である。 図3Dは、本開示のいくつかの他の実施形態によるグレーティングピラーを示す異なる拡大図である。 図3Eは、本開示のいくつかの他の実施形態によるグレーティングピラーを示す異なる拡大図である。 図4Aは、本開示のいくつかの実施形態によるエキスパンダー(expander)を示す部分断面図である。 図4Bは、本開示のいくつかの他の実施形態によるエキスパンダーを示す部分断面図である。 図5は、本開示のいくつかの実施形態による導波路板およびグレーティングピラーを示す部分断面図である。 図6は、本開示のいくつかの他の実施形態による表示装置を示す概略図である。
以下の開示は、提供される主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態または例を提供する。本開示を簡潔に説明するために、複数の要素および複数の配列の特定の実施形態が以下に述べられる。これらはもちろん単に例示するためであり、これに限定するという意図はない。例えば、下記の開示において、第1の特徴が第2の特徴の上に形成されるということは、第1と第2の特徴が直接接触して形成される複数の実施形態を含むことができ、且つ第1と第2の特徴が直接接触しないように、付加的な特徴が第1と第2の特徴間に形成される複数の実施形態を含むこともできる。
追加のステップが、例示された方法の前、間、または後に実施されてもよく、例示された方法のその他の実施形態では、いくつかのステップが置き換えられるか、または省略されてもよい。
さらに、(以下の詳細な説明において)、「下の方」、「下方」、「下部」、「上」、「上方」、「上部」およびこれらに類する語のような、空間的に相対的な用語は、図において1つの要素または特徴と、別の(複数の)要素と(複数の)特徴との関係を記述するための説明を簡潔にするために用いられる。空間的に相対的な用語は、図に記載された方向に加えて、使用または操作する装置の異なる方向を包含することを意図している。装置は、他に方向づけされてもよく(90度回転、または他の方向に)、ここで用いられる空間的に相対的な記述は、同様にそれに応じて解釈され得る。
本開示では、「約」、「およそ」、および「実質的に」という用語は、一般的に、記載されている値の+/-20%を意味し、より一般的に、記載されている値の+/-10%を意味し、より一般的に、記載されている値の+/-5%を意味し、より一般的に、記載されている値の+/-3%を意味し、より一般的に、記載されている値の+/-2%を意味し、より一般的に、記載されている値の+/-1%を意味し、さらにより一般的に、記載されている値の+/-0.5%を意味する。本開示に記載されている値は、概算値である。即ち、「約」、「およそ」、「実質的に」の具体的な説明がない場合、「約」、「およそ」、「実質的に」の意味が暗示され得る。
特に定義されない限り、本明細書で使用される全ての用語(技術的及び科学的用語を含む)は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解されるのと同じ意味を有する。本開示の実施形態では、一般的に使用される辞書に定義されている用語は、関連技術の文脈における意味と一致する意味を有するものと解釈されるべきであり、本明細書で明示的に定義されていない限り、理想化された又は過度に形式的な意味で解釈されないことを理解されたい。
本開示は、以下の実施形態において同じ構成要素の符号または文字を繰り返し用いる可能性がある。繰り返し用いる目的は、簡易化した、明確な説明を提供するためのもので、説明される様々な実施形態および/または構成の関係を限定するものではない。
図1は、本開示のいくつかの実施形態による表示装置100を示す概略図である。いくつかの構成要素は、図1では実際の構造で示されておらず、表示装置100のいくつかの構成要素は、簡潔にするために省略されていることに留意されたい。また、表示装置100は、仮想現実(VR)、拡張現実(AR)、または混合現実(MR)に適用可能なニアアイディスプレイであることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。
図1に示すように、いくつかの実施形態では、表示装置100は画像ソース10を含む。例えば、画像ソース10は、仮想オブジェクトの画像を表示するように用いられることができる。画像ソース10は、可視波長範囲(例えば、約380nmから約750nmまでの波長)の異なる色の光を発することができる様々な光源であることができるが、本開示はこれらに限定されない。画像ソース10は、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオード(LED)、有機発光ダイオード(OLED)、アクティブマトリックス有機発光ダイオード(AMOLED)、シリコン上の液晶(LCoS)、デジタル光処理(DLP)、RGBレーザー、その他の適用可能なデバイス、またはそれらの組み合わせを含むことができる。
図1に示すように、いくつかの実施形態では、表示装置100は、画像ソース10からの光(例えば、赤色光R、緑色光G、および/または青色光B)を結合するように構成された導波路構造WSを含む。図1は、導波路構造WSの断面図を示していることに留意されたい。図1に示すように、いくつかの実施形態では、導波路構造WSは、互いに積層された導波路結合器30および導波路結合器40を含む。特に、導波路結合器30は、導波路結合器40上に配置される。
図1に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器30は導波路板31を含む。例えば、導波路板31は、約1.5~約3.0の範囲で一定の屈折率を有する透明な誘電材料(例えば、ガラス)を含むことができるが、本開示はこれに限定されない。さらに、導波路板31は、化学気相堆積(CVD)プロセス、原子層堆積(ALD)プロセス、スピンコーティングプロセス、その他の適用可能なプロセス、またはそれらの組み合わせなどの堆積プロセスによって形成されることができるが、本開示は、これらに限定されない。
図1に示すように、いくつかの実施形態では、導波路結合器30は、導波路板31上に配置された入力カプラ33を含む。図1に示すように、いくつかの実施形態では、導波路結合器30の入力カプラ33はグレーティングピラー331を含み、各グレーティングピラー331は徐々に変化する屈折率を有する。いくつかの実施形態では、徐々に変化する屈折率は、約1.4~約3.5の範囲にある。入力カプラ33に含まれる複数のグレーティングピラー331は、コリメータ20から出力される平行光の一部を導波路板31の内側に向けて屈折させるように構成されてもよい。
図2は、本開示のいくつかの実施形態による導波路板31およびグレーティングピラー331を示す部分断面図である。いくつかの実施形態では、各グレーティングピラー331は積層S1(図2を参照)を有し、2~30の積層S1が存在する。例えば、図2に示されるように、各グレーティングピラー331は積層S1を有し、11の積層S1が存在するが、本開示はこれらに限定されない。また、積層S1は、堆積プロセスによって形成されることができる。堆積プロセスの例は上述されており、ここでは繰り返されない。
いくつかの実施形態では、グレーティングピラー331の積層S1は、異なる材料を含むかまたは異なる濃度を有し、グレーティングピラー331は徐々に変化する屈折率を有するようにする。いくつかの実施形態では、グレーティングピラー331の徐々に変化する屈折率は、最大屈折率(例えば、グレーティングピラー331の底部にあるスタック層S1Bの屈折率)および最小屈折率(例えば、グレーティングピラー331の頂部にあるスタック層S1Tの屈折率)を有し、最大屈折率と最小屈折率との差は0より大きく、約2.1以下である。言い換えると、複数のグレーティングピラー331は、最大屈折率から最小屈折率の差が0より大きく、約2.1以下であり、屈折率が最大屈折率から最小屈折率まで徐々に変化するように、構成されてもよい。
例えば、グレーティングピラー331の上部にある積層S1Tの屈折率は、約1.77であることができ、グレーティングピラー331の底部にある積層S1Bの屈折率は、約2.40であることができ、積層S1Bの屈折率と積層S1Tの屈折率との差は約0.63であるが、本開示はこれに限定されない。
また、積層S1Tと積層S1Bとの間の積層の屈折率は、約1.77~約2.40の範囲にある。即ち、グレーティングピラー331は上部から底部に徐々に増加する屈折率を有することができるが、本開示はこれに限定されない。
図2に示された実施形態では、各積層S1は同一の厚さを有するが、本発明はこれに限定されない。いくつかの他の実施形態では、積層S1の厚さは異なる。図2に示されるように、いくつかの実施形態では、積層S1の全高H331は、約40nm~約1000nmの範囲にある。
図1および図2に示されるように、いくつかの実施形態では、グレーティングピラー331は周期的な配列で形成され、この周期的な配列の周期P33は、約326nmなど、約250nm~約750nmの範囲にある。換言すれば、2つの隣接するグレーティングピラー331間の距離は一定であり得るが、本開示はこれに限定されない。レーティングピラー331は、導波路板31の上面に沿う方向で、周期的に配列されてもよい。
図3Aは、本開示のいくつかの実施形態によるグレーティングピラー331を示す拡大図である。図1および図3Aに示されるように、導波路構造WSの断面図から見て、各グレーティングピラー331のプロファイル(断面形状)は台形である。なお、導波路構造WSの断面は、導波路板31の上面に対して垂直な面である。図3Aに示されるように、いくつかの実施形態では、各グレーティングピラー331のプロファイルは、2つの平行な辺、上底UBおよび下底LBを有し、下底LBは上底UBより導波路板31に近い。
図3Aに示されるように、いくつかの実施形態では、下底LBは上底UBより長い。即ち、下底LBの幅WLBは、上底UBの幅WUBより大きくてもよいが、これに限定されない。図1および図3Aに示されるように、グレーティングピラー331の下底LBは、導波路板31に取り付けられることができるが、本発明はこれに限定されない。
図3B~図3Eは、本開示のいくつかの他の実施形態によるグレーティングピラー331を示す異なる拡大図である。いくつかの実施形態では、導波路構造WSの断面図から見て、各グレーティングピラー331のプロファイルは、2つの平行な辺を有する。
図3Bに示されるように、各グレーティングピラー331のプロファイルは長方形であり、2つの平行な辺は上辺USと下辺LSである。図3Cに示されるように、各グレーティングピラー331のプロファイルは平行四辺形であり、2つの平行な辺は上辺USおよび下辺LSである。図3Dに示されるように、各グレーティングピラー331のプロファイルは等脚台形であり、2つの平行な辺は上底UBと下底LBである。図3Eに示されるように、各グレーティングピラー331のプロファイルは正方形であり、2つの平行な辺は上辺USおよび下辺LSである。各グレーティングピラー331のプロファイルは、図3A~図3Eに限定されず、必要に応じて変更されることができる。
図1に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器30は、導波路板31上に配置され、入力カプラ33に隣接するエキスパンダー35をさらに含む。例えば、エキスパンダー35は、二次元(2D)瞳拡大技術(pupil expansion technique)を用いることができ、表示画像を解放するグレーティング構造を含むことができるが、本開示はこれに限定されない。
図4Aは、本開示のいくつかの実施形態によるエキスパンダー35を示す部分断面図である。図4Aに示すように、いくつかの実施形態では、エキスパンダー35はグレーティングピラー353を含み、2つの隣接するグレーティングピラー353間の距離は一定である。換言すれば、いくつかの実施形態では、グレーティングピラー353は周期的な配列で形成され、この周期的な配列の周期P1は一定である。グレーティングピラー353は、図4Aの導波路板351上に配置されるが、導波路板351は、必要に応じて調整され得る別の導波路板または導波路板31の一部であってもよいことに留意されたい。
いくつかの実施形態では、グレーティングピラー353は異なる幅を有する。例えば、図4Aに示されるように、グレーティングピラー353-1の幅W1は、隣接するグレーティングピラー353-2の幅W2より短いが、本開示はこれに限定されない。
図4Bは、本開示のいくつかの他の実施形態によるエキスパンダー35を示す部分断面図である。同様に、図4Bに示すように、エキスパンダー35はグレーティングピラー353を含み、2つの隣接するグレーティングピラー353間の距離は一定である。換言すれば、いくつかの実施形態では、グレーティングピラー353は周期的な配列で形成され、この周期的な配列の周期P1は一定である。
いくつかの実施形態では、グレーティングピラー353は異なる厚さを有する。例えば、図4Bに示されるように、グレーティングピラー353-1の厚さT1は、隣接するグレーティングピラー353-2の厚さT2より小さいが、本開示はこれに限定されない。なお、図4Bに示すように、各グレーティングピラー353の上面は同じ高さに位置しており、各グレーティングピラー353の下面(底面)は異なる高さに位置してもよい。
図1に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器30は、導波路板31上に配置された出力カプラ37を含む。より詳細には、エキスパンダー35は、導波路板31の上面において、入力カプラ33と出力カプラ37との間に配置される。
図1に示すように、導波路結合器40は、導波路結合器30と同様の構造を有する。図1に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器40は、導波路板41、および導波路板41上に配置された入力カプラ43を含む。図1に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器40の入力カプラ43は、グレーティングピラー431を含む。
図5は、本開示のいくつかの実施形態による導波路板41およびグレーティングピラー431を示す部分断面図である。いくつかの実施形態では、各グレーティングピラー431は積層S2(図5を参照)を有し、2~30の積層S2が存在する。例えば、図5に示されるように、各グレーティングピラー431は積層S2を有し、11の積層S2が存在するが、本開示はこれらに限定されない。いくつかの他の実施形態では、グレーティングピラー431の積層S2の数は、グレーティングピラー331の積層S1の数と異なる。また、積層S2は、堆積プロセスによって形成されることができる。堆積プロセスの例は上述されており、ここでは繰り返されない。
いくつかの実施形態では、グレーティングピラー431の積層S2は、同じ材料を含むかまたは同じ濃度を有し、グレーティングピラー431は一定の屈折率を有するようにする。例えば、グレーティングピラー431の上部にある積層S2Tの屈折率は、約2.40であることができ、グレーティングピラー431の底部にある積層S2Bの屈折率は、約2.40であることができ、積層S2Bの屈折率と積層S2Tの屈折率との差は約0であるが、本発明はこれに限定されない。
いくつかの他の実施形態では、グレーティングピラー431の積層S2は、グレーティングピラー331の積層S1と同様である。即ち、グレーティングピラー431の積層S2は、異なる材料を含むか、または異なる濃度を有し、グレーティングピラー431は徐々に変化する屈折率を有するようにする。
図5に示された実施形態では、各積層S2は同じ厚さを有するが、本発明はこれに限定されない。いくつかの他の実施形態では、積層S2の厚さは異なる。図5に示されるように、いくつかの実施形態では、積層S2の全高H431は、約40nm~約1000nmの範囲にある。
図1および図5に示されるように、いくつかの実施形態では、グレーティングピラー431は周期的な配列で形成され、周期的な配列の周期P43は、約449nmなど、約250nm~約750nmの範囲にある。換言すれば、2つの隣接するグレーティングピラー431間の距離は一定であり得るが、本開示はこれに限定されない。いくつかの他の実施形態では、グレーティングピラー431のプロファイルは、各グレーティングピラー331のプロファイルと異なり、必要に応じて調整されることができる。
図1に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器40は、導波路板41上に配置され、入力カプラ43に隣接するエキスパンダー45をさらに含む。同様に、エキスパンダー45は、二次元(2D)瞳拡大技術を用いることができ、表示画像を解放するグレーティング構造を含むことができるが、本開示はこれに限定されない。この実施形態では、エキスパンダー45は、エキスパンダー35と同様の構造を有するが、本開示はこれに限定されない。
図1に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器40は、導波路板41上に配置された出力カプラ47を含む。より詳細には、エキスパンダー45は、入力カプラ43と出力カプラ47との間に配置される。
いくつかの実施形態では、導波路結合器30および導波路結合器40は、異なる色の光を結合するように用いられ、異なる色の光は、約380nm~約750nmの波長を有する(例えば、可視光)。すなわち、導波路結合器30および導波路結合器40は、それぞれの導波路結合器30,40で異なる色の光を結合するように用いられている。例えば、図1に示されるように、導波路結合器30は緑色光Gと青色光Bを結合するように用いられることができ、導波路結合器40は赤色光Rと緑色光Gを結合するように用いられることができるが、本開示はこれらに限定されない。
図1に示されるように、いくつかの実施形態では、表示装置100は、画像ソース10と導波路構造WSとの間に配置されたコリメータ20をさらに含む。コリメータ20は、画像ソース10からの発散光または他の放射線を平行ビームに変換し、画像ソース10からの光が導波路構造WSに円滑に入ることができるようにする。図1に示されるように、画像ソース10からの画像(光)は、コリメータ20を介して導波路構造WSに入り、次いでユーザーの目Eに伝達されて提示され得る。
従来のニアアイディスプレイに比べ、本開示の実施形態による表示装置100は、導波路構造WSにより、結合効率を、例えば約62%から約83%に効果的に向上させることができる。さらに、ユーザーの視野(FoV)も、例えば約42.5°から約60°に改善され、これは固有の材料の制限に近い値である。
図6は、本開示のいくつかの他の実施形態による表示装置102を示す概略図である。同様に、いくつかの構成要素は、図6においてそれらの実際の構造で示されておらず、表示装置102のいくつかの構成要素は、簡潔にするために省略されている。
図6に示すように、表示装置102は、表示装置100と同様の構造を有する。いくつかの実施形態では、表示装置102の導波路構造WSは、導波路結合器30および導波路結合器40上に積層された導波路結合器50をさらに含む。より詳細には、導波路結合器40は、導波路結合器30と導波路結合器50との間に配置されることができるが、本開示は、これに限定されない。
図6に示すように、導波路結合器50は、導波路結合器30または導波路結合器40と同様の構造を有する。図6に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器50は、導波路板51、および導波路板51上に配置された入力カプラ53を含む。図6に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器50の入力カプラ53は、グレーティングピラー531を含む。
図6に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器50は、導波路板51上に配置され、入力カプラ53に隣接するエキスパンダー55をさらに含む。同様に、エキスパンダー55は、二次元(2D)瞳拡大技術を用いることができ、表示画像を解放するグレーティング構造を含むことができるが、本開示はこれに限定されない。この実施形態では、エキスパンダー55は、エキスパンダー35またはエキスパンダー45と同様の構造を有するが、本開示はこれに限定されない。
図6に示されるように、いくつかの実施形態では、導波路結合器50は、導波路板51上に配置された出力カプラ57を含む。より詳細には、エキスパンダー55は、入力カプラ53と出力カプラ57との間に配置される。
いくつかの実施形態では、導波路結合器30、導波路結合器40、および導波路結合器50は、異なる色の光を結合するように用いられ、異なる色の光は、約380nm~約750nmの波長を有する(例えば、可視光)。例えば、図6に示されるように、導波路結合器30は青色光Bと結合するように用いられることができ、導波路結合器40は緑色光Gと結合するように用いられることができ、導波路結合器50は赤色光Rと結合するように用いられることができるが、本開示はこれらに限定されない。
導波路管結合器の数は、図1に示される実施形態(2つの導波路結合器がある)または図6に示される実施形態(3つの導波路結合器がある)に限定されないことに注意されたい。いくつかの実施形態では、2つ以上の導波路結合器がある。
要約すると、本開示のいくつかの実施形態では、表示装置(例えば、AR、VE、またはMR装置)は、互いに積層された導波路結合器を含む導波路構造を含む。導波路結合器の少なくとも1つの入力カプラは、徐々に変化する屈折率を有し、結合効率とユーザーの視野(FoV)を効果的に改善することができる。
前述の内容は、当業者が本開示の態様をよりよく理解できるように、いくつかの実施形態の特徴を概説している。当業者は、同じ目的を実行するため、および/または本明細書に導入される実施形態の同じ利点を達成するための他のプロセスおよび構造を設計または修正するための基礎として本開示を容易に使用できることを理解できる。当業者はまた、そのような同等の構造が本開示の精神および範囲から逸脱せず、且つそれらは、本開示の趣旨および範囲から逸脱することなく、本明細書で様々な変更、置換、および代替を行うことができることを理解するべきである。従って、保護の範囲は特許請求の範囲を通じて決定される必要がある。さらに、本開示のいくつかの実施形態が上記に開示されているが、それらは、本開示の範囲を限定することを意図していない。
本明細書全体にわたる特徴、利点、または同様の用語への言及は、本開示で実現され得る全ての特徴および利点が、本開示の任意の単一の実施形態で実現されるべきまたは実現され得ることを意味するのではない。むしろ、特徴および利点に言及する用語は、実施形態に関連して説明される特定の特徴、利点、または特性が本開示の少なくとも1つの実施形態に含まれることを意味すると理解される。従って、本明細書全体にわたる特徴および利点、ならびに類似の用語の議論は、必ずしもそうではないが、同じ実施形態を指すことがある。
さらに、1つまたは複数の実施形態では、本開示の説明された特徴、利点、および特性は、任意の適切な方法で組み合わせてもよい。当業者は、本明細書の説明に基づいて、特定の実施形態の1つまたは複数の特定の特徴または利点なしに本開示を実施できることを認識するであろう。他の例では、本開示の全ての実施形態に存在しない可能性がある、追加の特徴および利点が特定の実施形態において認識され得る。
100、102 表示装置
10 画像ソース
20 コリメータ
30、40、50 導波路結合器
31、351、41、51 導波路板
33、43、53 入力カプラ
331、353、353-1、353-2、431、531 グレーティングピラー
35、45、55 エキスパンダー
37、47、57 出力カプラ
B 青色光
E 目
G 緑色光
H331、H431 全高
LB 下底
LS 下辺
P1、P33、P43 周期
R 赤色光
S1、S1B、S1T、S2、S2B、S2T 積層
T1、T2 厚さ
UB 上底
US 上辺
W1、W2 幅
WS 導波路構造
WLB 下底LBの幅
WUB 上底UBの幅

Claims (10)

  1. 互いに積層された導波路結合器を含み、
    各前記導波路結合器は、
    導波路板、および
    前記導波路板上に配置された入力カプラを含み、
    少なくとも1つの前記導波路結合器の前記入力カプラは第1のグレーティングピラーを含み、
    各前記第1のグレーティングピラーは徐々に変化する屈折率を有する導波路構造。
  2. 前記導波路結合器の数は、2つ以上の導波路結合器であり、
    前記導波路結合器は、異なる色の光を結合するように用いられ、
    前記異なる色の光は、380nm~750nmの波長を有する請求項1に記載の導波路構造。
  3. 各前記第1のグレーティングピラーは積層を有し、
    前記積層の数は2以上、30以下であり、
    前記積層の全高は、40nm~1000nmの範囲にある請求項1に記載の導波路構造。
  4. 前記徐々に変化する屈折率は、最大屈折率および最小屈折率を有し、
    前記最大屈折率と前記最小屈折率との差は0より大きく、2.1以下であり、
    前記徐々に変化する屈折率は、1.4~3.5の範囲にあり、
    前記導波路板は、1.5~3.0の範囲で一定の屈折率を有する請求項1に記載の導波路構造。
  5. 前記第1のグレーティングピラーは周期的な配列で形成され、
    前記周期的な配列の周期は、250nm~750nmの範囲にある請求項1に記載の導波路構造。
  6. 前記導波路構造の断面図から見て、各前記第1のグレーティングピラーのプロファイルは、2つの平行な辺を有し、各前記第1のグレーティングピラーの前記プロファイルは台形であり、前記2つの平行な辺は、上底および下底であり、前記下底は前記上底より前記導波路板に近く、前記下底は前記上底より長い請求項1に記載の導波路構造。
  7. 各前記導波路結合器は、
    前記導波路板上に配置され、前記入力カプラに隣接するエキスパンダーをさらに含み、
    前記エキスパンダーは第2のグレーティングピラーを含み、
    2つの隣接する第2のグレーティングピラー間の距離は一定である請求項1に記載の導波路構造。
  8. 各前記導波路結合器は、前記導波路板上に配置された出力カプラをさらに含み、
    前記エキスパンダーは、前記入力カプラと前記出力カプラとの間に配置される請求項7に記載の導波路構造。
  9. 画像ソース、および
    前記画像ソースからの光を結合するように構成された導波路構造を含み、
    前記導波路構造は、互いに積層された導波路結合器を含み、
    各前記導波路結合器は、導波路板、および前記導波路板上に配置された入力カプラを含み、
    少なくとも1つの前記導波路結合器の前記入力カプラは、第1のグレーティングピラーを含み、各前記第1のグレーティングピラーは徐々に変化する屈折率を有する表示装置。
  10. 前記画像ソースと前記導波路構造との間に配置されたコリメータをさらに含む請求項9に記載の表示装置。
JP2022169058A 2022-05-09 2022-10-21 導波路構造およびそれを用いた表示装置 Active JP7546638B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17/739,888 2022-05-09
US17/739,888 US20230359031A1 (en) 2022-05-09 2022-05-09 Waveguide structure and display device using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023166322A true JP2023166322A (ja) 2023-11-21
JP7546638B2 JP7546638B2 (ja) 2024-09-06

Family

ID=82839242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022169058A Active JP7546638B2 (ja) 2022-05-09 2022-10-21 導波路構造およびそれを用いた表示装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20230359031A1 (ja)
EP (1) EP4276514B1 (ja)
JP (1) JP7546638B2 (ja)
KR (1) KR102809547B1 (ja)
CN (1) CN117031616A (ja)
TW (1) TW202414006A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024050384A (ja) * 2022-09-29 2024-04-10 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司 格子装置の形成方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008139618A (ja) * 2006-12-04 2008-06-19 Ricoh Co Ltd 光学素子および光学装置
JP2009186794A (ja) * 2008-02-07 2009-08-20 Sony Corp 光学装置及び画像表示装置
JP2010262320A (ja) * 2003-03-13 2010-11-18 Asahi Glass Co Ltd 回折素子及び光学装置
JP2015118273A (ja) * 2013-12-18 2015-06-25 マイクロソフト コーポレーション 波長通過のためのned偏光システム
JP2017004004A (ja) * 2012-03-26 2017-01-05 旭硝子株式会社 透過型回折素子
US20190227316A1 (en) * 2018-01-23 2019-07-25 Facebook, Inc. Slanted surface relief grating for rainbow reduction in waveguide display
US20200081246A1 (en) * 2017-05-08 2020-03-12 Dispelix Oy Diffractive display, lightguide element and projector therefor, and method for displaying image
US20200225498A1 (en) * 2019-01-11 2020-07-16 North Inc. Single RGB Combiner with Large Field of View
US20200278498A1 (en) * 2016-01-06 2020-09-03 Vuzix Corporation Two channel imaging light guide with dichroic reflector
US20210141146A1 (en) * 2019-11-08 2021-05-13 Magic Leap, Inc. Metasurfaces with light-redirecting structures including multiple materials and methods for fabricating
WO2021133965A1 (en) * 2019-12-26 2021-07-01 Facebook Technologies, Llc Gradient refractive index grating for display leakage reduction
WO2021169383A1 (zh) * 2020-02-28 2021-09-02 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 用于呈现增强现实图像的装置和包含该装置的系统
CN217156853U (zh) * 2021-12-22 2022-08-09 深圳光峰科技股份有限公司 一种显示设备以及衍射光学元件

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3916200B2 (ja) 2000-03-24 2007-05-16 フジノン株式会社 回折型レンズおよびこれを用いた光ピックアップ装置
JP4209154B2 (ja) 2002-08-15 2009-01-14 アルプス電気株式会社 回折光学素子
WO2018039273A1 (en) * 2016-08-22 2018-03-01 Magic Leap, Inc. Dithering methods and apparatus for wearable display device
FI129400B (en) * 2017-12-22 2022-01-31 Dispelix Oy Diffractive waveguide element and diffractive waveguide display
FI129359B (en) * 2018-03-28 2021-12-31 Dispelix Oy Diffractive grating
US11137603B2 (en) * 2019-06-20 2021-10-05 Facebook Technologies, Llc Surface-relief grating with patterned refractive index modulation
US11391950B2 (en) * 2019-06-26 2022-07-19 Meta Platforms Technologies, Llc Techniques for controlling effective refractive index of gratings
US10845526B1 (en) * 2019-08-23 2020-11-24 Facebook Technologies, Llc Outward coupling suppression in waveguide display
JP7420926B2 (ja) * 2019-09-11 2024-01-23 マジック リープ, インコーポレイテッド 低減された偏光感度を有する回折格子を伴うディスプレイデバイス
KR20230060506A (ko) * 2020-09-01 2023-05-04 스냅 인코포레이티드 증강 현실 또는 가상 현실 디스플레이용 회절 격자 설계 방법 및 증강 현실 또는 가상 현실 디스플레이용 회절 격자

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010262320A (ja) * 2003-03-13 2010-11-18 Asahi Glass Co Ltd 回折素子及び光学装置
JP2008139618A (ja) * 2006-12-04 2008-06-19 Ricoh Co Ltd 光学素子および光学装置
JP2009186794A (ja) * 2008-02-07 2009-08-20 Sony Corp 光学装置及び画像表示装置
JP2017004004A (ja) * 2012-03-26 2017-01-05 旭硝子株式会社 透過型回折素子
JP2015118273A (ja) * 2013-12-18 2015-06-25 マイクロソフト コーポレーション 波長通過のためのned偏光システム
US20200278498A1 (en) * 2016-01-06 2020-09-03 Vuzix Corporation Two channel imaging light guide with dichroic reflector
US20200081246A1 (en) * 2017-05-08 2020-03-12 Dispelix Oy Diffractive display, lightguide element and projector therefor, and method for displaying image
US20190227316A1 (en) * 2018-01-23 2019-07-25 Facebook, Inc. Slanted surface relief grating for rainbow reduction in waveguide display
US20200225498A1 (en) * 2019-01-11 2020-07-16 North Inc. Single RGB Combiner with Large Field of View
US20210141146A1 (en) * 2019-11-08 2021-05-13 Magic Leap, Inc. Metasurfaces with light-redirecting structures including multiple materials and methods for fabricating
WO2021133965A1 (en) * 2019-12-26 2021-07-01 Facebook Technologies, Llc Gradient refractive index grating for display leakage reduction
WO2021169383A1 (zh) * 2020-02-28 2021-09-02 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 用于呈现增强现实图像的装置和包含该装置的系统
CN217156853U (zh) * 2021-12-22 2022-08-09 深圳光峰科技股份有限公司 一种显示设备以及衍射光学元件

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024050384A (ja) * 2022-09-29 2024-04-10 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司 格子装置の形成方法
JP7550259B2 (ja) 2022-09-29 2024-09-12 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司 格子装置の形成方法
US12487384B2 (en) 2022-09-29 2025-12-02 Visera Technologies Company Limited Method forming grating device

Also Published As

Publication number Publication date
US20230359031A1 (en) 2023-11-09
CN117031616A (zh) 2023-11-10
EP4276514B1 (en) 2025-07-02
KR102809547B1 (ko) 2025-05-19
JP7546638B2 (ja) 2024-09-06
KR20230157211A (ko) 2023-11-16
EP4276514A1 (en) 2023-11-15
TW202414006A (zh) 2024-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2015298504B2 (en) Exit pupil expanding diffractive optical waveguiding device
JP6960994B2 (ja) 拡張現実システムのための外部結合回折格子
CN110140008B (zh) 采用荧光多束元件的多视图背光照明
JP6633087B2 (ja) 3次元(3d)電子ディスプレイ
US8508848B2 (en) Exit pupil expanders with wide field-of-view
CN111194422A (zh) 用于增强现实或虚拟现实显示器的波导
US12164119B2 (en) Multiview display and method
CN114710965A (zh) 用于耦合入射光的高视场的光学装置
CN113544551A (zh) 光学设备
CN111864119B (zh) 显示器件和近眼显示设备
CN106324847A (zh) 一种三维显示装置
JP7046987B2 (ja) マルチビューバックライト、マルチビューディスプレイおよびオフセットマルチビーム要素の採用方法
US20170176669A1 (en) Directional backlight, 3d image display apparatus having the same, and method of manufacturing the same
EP4127789B1 (en) Unpolarized light grating in-coupler
CN114911058B (zh) 利用衍射光波导实现单片全彩的方法、衍射光波导及设备
JP7546638B2 (ja) 導波路構造およびそれを用いた表示装置
CN115398315A (zh) 具有宽视场的波导显示系统
CN113795780A (zh) 具有移位的色彩子像素的多视图显示器和方法
CN111837070A (zh) 具有倾斜的多光束列的水平视差多视图显示器和方法
CN114578480A (zh) 一种二维光栅、光波导和近眼显示系统
EP4176302A1 (en) Full-color waveguide combiner with embedded metagrating
CN115398284B (zh) 非偏振光光栅入耦合器
CN119126406A (zh) 显示面板及其制备方法和应用、ar近眼显示装置
HK40068557A (en) Multiview display and method having shifted color sub-pixels
WO2013157210A1 (ja) 拡散素子、光学素子、発光装置、および、投射装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221021

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230919

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240220

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240509

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240806

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240827

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7546638

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150