JP2023163634A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の目的は、出射部へ付着するスパッタを低減することが可能なレーザ加工装置を提供することである。【解決手段】レーザ加工装置100は、ワークWに向けて第1方向にレーザビームLを出射する出射部1と、レーザビームLが通過する第1孔22を有する第1アパーチャ2と、第1アパーチャ2の出射部1側においてレーザビームLと交差する気体流Fを放出する放出部5と、ワークWにおけるレーザビームLの照射点Pから飛散するスパッタSを捕集するための捕集部6と、を備える。放出部5は、第1方向から視て、レーザビームLを挟んで捕集部6の反対側に配置される。【選択図】図1
Description
本発明は、レーザ加工装置に関する。
産業用の加工ツールとして、レーザ加工装置が知られている。例えば特許文献1には、レーザ光を集光してワークに照射する光学系を備えたレーザ加工装置が記載されている。この装置は、集光レンズ、レーザ光をワークに照射するノズル、アシストガス導入口等を有するトーチ部と、トーチ部の集光レンズとノズルの間に取り付けられるアパーチャとを備え、アパーチャの中央部にレーザ光を透過するセレン化亜鉛(ZnSe)からなるレーザ光透過体を有する。
レーザ加工では、溶融金属の微粒子であるスパッタが飛散する。飛散したスパッタがレーザ加工装置の光学系に付着すると、付着したスパッタがレーザ光を吸収することで付着部の温度が上昇し、光学系に熱歪みが発生し得る。光学系に熱歪みが生じると、レーザ光の集光が阻害されたり、光学系が損傷したりするおそれがある。
特許文献1に記載のレーザ加工装置では、レーザ光が放射され切断加工によって飛散するワークの溶融粉末をアパーチャおよびレーザ光透過体に付着させて、集光レンズを保護する。しかし、この装置では、光透過体に付着したスパッタを取り除くなどのメンテナンスが煩雑であり、アパーチャの外周側から光学系に接近するスパッタを防ぐことが難しいという問題がある。
本発明の目的は、このような課題に鑑みてなされたもので、出射部へ付着するスパッタを低減することが可能なレーザ加工装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のある態様のレーザ加工装置は、ワークに向けて第1方向にレーザビームを出射する出射部と、レーザビームが通過する第1孔を有する第1アパーチャと、第1アパーチャの出射部側においてレーザビームと交差する気体流を放出する放出部と、ワークにおけるレーザビームの照射点から飛散するスパッタを捕集するための捕集部と、を備える。放出部は、第1方向から視て、レーザビームを挟んで捕集部の反対側に配置される。
本発明の別の態様もまた、レーザ加工装置である。この装置は、ワークにレーザビームを出射する出射部と、レーザビームが通過する第1孔を有する第1アパーチャと、レーザビームが通過する第2孔を有し第1アパーチャとワークの間に配置される第2アパーチャと、第1アパーチャの出射部側にレーザビームと交差する気体流を放出する放出部と、を備える。
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明によれば、出射部へ付着するスパッタを低減することが可能なレーザ加工装置を提供することができる。
以下、本発明を好適な実施形態をもとに各図面を参照しながら説明する。実施形態および変形例では、同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
また、第1、第2などの序数を含む用語は多様な構成要素を説明するために用いられるが、この用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ用いられ、この用語によって構成要素が限定されるものではない。
[実施形態]
図面を参照して実施形態に係るレーザ加工装置100の構成を説明する。図1は、レーザ加工装置100の側面視の模式図である。レーザ加工装置100は、金属製の被加工物であるワークWにレーザビームLを照射して、ワークWを加工する装置である。図1はレーザビームLの光軸Laに沿った縦断面を示している。レーザビームLの光軸Laに沿った方向を第1方向(図中で上下方向)という。第1方向で、ワークWに接近する側(図中で下側)を「下」といい、その反対側(図中で上側)を「上」ということがある。このような方向の表記はレーザ加工装置100の姿勢を制限するものではなく、レーザ加工装置100は任意の姿勢で使用されうる。
図面を参照して実施形態に係るレーザ加工装置100の構成を説明する。図1は、レーザ加工装置100の側面視の模式図である。レーザ加工装置100は、金属製の被加工物であるワークWにレーザビームLを照射して、ワークWを加工する装置である。図1はレーザビームLの光軸Laに沿った縦断面を示している。レーザビームLの光軸Laに沿った方向を第1方向(図中で上下方向)という。第1方向で、ワークWに接近する側(図中で下側)を「下」といい、その反対側(図中で上側)を「上」ということがある。このような方向の表記はレーザ加工装置100の姿勢を制限するものではなく、レーザ加工装置100は任意の姿勢で使用されうる。
レーザ加工装置100は、伝送ファイバ12と、出射部1と、第1アパーチャ2と、第2アパーチャ3と、第3アパーチャ4と、放出部5と、捕集部6と、ノズル7とを備える。実施形態におけるワークWの加工は、ワークWの溶接である。なお、ワークWの加工は、穴あけや切断、表面処理等であってもよい。
伝送ファイバ12は、外部のレーザ発振器(図示せず)と出射部1とを接続し、レーザ発振器で発生するレーザ光を出射部1に伝送する。レーザ発振器としては、YAGレーザ発振器、CO2レーザ発振器、エキシマレーザ発振器等の公知のレーザ発振器を用いることができる。実施形態のレーザ加工装置100では、一例として約1000nmの波長域の赤外線レーザ光が用いられる。
出射部1は、ワークWに向けて第1方向にレーザビームLを出射する機構であり、筐体18と、反射ミラー13と、第1レンズ14と、第2レンズ15と、保護ガラス16と、を有する。筐体18は、一端側に開口82を有する有底筒状であり、開口82がワークW側を向くように配置される。筐体18の内部には、反射ミラー13、第1レンズ14および第2レンズ15が収容される。反射ミラー13、第1レンズ14および第2レンズ15は、筐体18に支持される。開口82には、保護ガラス16が取り付けられる。
筐体18の側面には伝送ファイバ12が連結される。伝送ファイバ12から出射部1に伝送されるレーザビームLは、反射ミラー13に照射される。反射ミラー13は、レーザ発振器の出力波長の光を反射する部材である。反射ミラー13は、伝送ファイバ12から照射されるレーザビームLを開口82に向けて反射するように姿勢が定められる。反射ミラー13と保護ガラス16との間には、第1レンズ14および第2レンズ15が配置される。第1レンズ14は、第2レンズ15よりも反射ミラー13側に配置され、第2レンズ15は第1レンズ14よりも保護ガラス16側に配置される。
反射ミラー13によって反射されたレーザビームLは、第1レンズ14に入射する。第1レンズ14は、コリメートレンズであり、入射したレーザビームLを平行光に変換して第2レンズ15に向けて出射する。第2レンズ15は、フォーカスレンズであり、入射したレーザビームLを集光してワークWに向けて出射する。第2レンズ15から出射されたレーザビームLは、保護ガラス16を通過してワークWに照射される。
レーザビームLがワークWの表面に照射されることで、レーザビームLの照射点PにおいてワークWを構成する金属が溶融する。また、ワークWおよび出射部1の少なくとも一方は、移動機構(図示せず)により移動させることができる。移動機構の駆動によりワークWおよび出射部1が相対的に変位することで、照射点Pが移動する。これにより、移動前の照射点Pにおいて溶融した金属が冷却して固化する。この結果、ワークWが溶接される。
第1アパーチャ2は、レーザビームLを通過させつつ、第2アパーチャ3を越えて出射部1に接近するスパッタSを遮るために、出射部1とワークWの間に配置される。第1アパーチャ2の形状に限定はないが、この例の第1アパーチャ2は、中央にレーザビームLが通過する第1孔22を有する円板部材である。この例では、第1アパーチャ2は、レーザビームLの光軸Laを囲む周方向に所定の間隔で配置される複数の支柱52を介して、出射部1のワークW側に所定の間隔で取り付けられる。
第2アパーチャ3は、レーザビームLを通過させつつ、第1アパーチャ2に接近するスパッタSを遮るために、第1アパーチャ2とワークWの間に配置される。第2アパーチャ3の形状に限定はないが、この例の第2アパーチャ3は、中央にレーザビームLが通過する第2孔32を有する円板部材である。この例では、第2アパーチャ3は、レーザビームLの光軸Laを囲む周方向に所定の間隔で配置される複数の支柱53を介して、第1アパーチャ2のワークW側に所定の間隔で取り付けられる。
第3アパーチャ4は、レーザビームLを通過させつつ、第2アパーチャ3に接近するスパッタSを遮るために、第2アパーチャ3とワークWの間に配置される。第3アパーチャ4の形状に限定はないが、この例の第3アパーチャ4は、中央にレーザビームLが通過する第3孔42を有する円板部材である。この例では、第3アパーチャ4は、レーザビームLの光軸Laを囲む周方向に所定の間隔で配置される複数の支柱54を介して、第2アパーチャ3のワークW側に所定の間隔で取り付けられる。
ノズル7は、アルゴンや窒素等の不活性ガス(以下「シールドガスG」という)を照射点Pの周辺に吹きつけるためのノズルである。この例のノズル7は、レーザビームLの光軸Laと同軸の円筒状のシールドガスGを吐出する同軸ノズルである。シールドガスGは、レーザビームLの入熱で溶融した箇所を吹きつけ、レーザビームLの入熱で溶融した箇所の酸化による溶接強度の低下を抑制し、スパッタの飛散を抑制する。シールドガスGは、アシストガスと称されることがある。
ノズル7は、中央にレーザビームLの光軸Laと同軸の出口開口72を有するノズル本体71と、出口開口72を環囲する環状の開口であるガス出口74と、ガス出口74にシールドガスGを供給するガス通路75とを有する。ノズル本体71は、全体としてワークWに近づくにつれて小径になる略円錐台形状を有し、中央にワークWに近づくにつれて小径になる中空部を有する。ノズル本体71のワークW側の端部に出口開口72が設けられ、反対側の端部に外周側に張出すフランジを有する。ガス通路75は、ガス供給パイプ76を通じて外部のガス供給装置(図示せず)からシールドガスGの供給を受ける。この例では、ノズル7は、レーザビームLの光軸Laを囲む周方向に所定の間隔で配置される複数の支柱55を介して、第3アパーチャ4のワークW側に所定の間隔で取り付けられる。
第1孔22、第2孔32、第3孔42および出口開口72(以下、「光通過孔」と総称する)を説明する。光通過孔の形状に制限はないが、この例の光通過孔は、レーザビームLの光軸Laと同軸な円形の貫通孔である。光通過孔がレーザビームLの外径よりも小さいとレーザビームLの一部が遮られるという問題があり、光通過孔が大きすぎるとスパッタSが光通過孔を通り抜ける比率が高くなるという問題がある。このため、実施形態では、光通過孔は、レーザビームLの外径に所定のマージンを加えた大きさを有する。つまり、光通過孔の内径はレーザビームLの外径に対応している。
レーザビームLの外径は、出射部1から照射点Pに近づくにつれて小さくなるため、光通過孔は、出射部1から照射点Pに近づくにつれて小さく形成される。具体的には、第2孔32に内接する円の直径D3は、第1孔22に内接する円の直径D2よりも小さく、第3孔42に内接する円の直径D4は、第2孔32に内接する円の直径D3よりも小さい。また、出口開口72に内接する円の直径D7は、第3孔42に内接する円の直径D4よりも小さい。
第1方向において、第1アパーチャ2と第2アパーチャ3の間の間隔Q23は、第2アパーチャ3と第3アパーチャ4の間の間隔Q34に対して異なっていてもよいが、この例では間隔Q23は、間隔Q34と等しい。
図2、図3も参照して、放出部5および捕集部6を説明する。図2は、レーザ加工装置100の平面視の模式図であり、第1アパーチャ2、放出部5および捕集部6の配置を示す。図3は、スパッタSの飛散軌跡を示す側面視の模式図である。
捕集部6は、ワークWにおけるレーザビームLの照射点Pから飛散したスパッタSを捕集する。この例の捕集部6は、第1アパーチャ2、第2アパーチャ3、第3アパーチャ4またはノズル7の側部近傍に配置される集塵口62を有する。集塵口62は、照射点Pに向いて開口し、照射点Pの近傍の雰囲気をスパッタSとともに吸引する。つまり、捕集部6は集塵ノズルとして機能する。捕集部6が雰囲気を吸引するため、第1アパーチャ2、第2アパーチャ3、第3アパーチャ4およびノズル7の近傍には、捕集部6の集塵口62に向かう空気流(以下、「集塵流R」という)が形成される。
スパッタSの一部は、集塵口62から遠い方向にも飛散する。この方向に飛散したスパッタSは、集塵流Rによって出射部1側に戻り、出射部1に到達することが考えられる。そこで、実施形態では、図2に示すように、放出部5は、第1方向から視て、レーザビームLを挟んで捕集部6の反対側に配置される。
放出部5は、第1アパーチャ2の出射部1側においてレーザビームLと交差する気体流Fを放出する。この例の放出部5は、圧縮空気を気体流FとしてレーザビームLに向けて噴射するエアノズルとして機能する。気体流Fは、レーザビームLの光軸Laと直交してもよい。気体流Fは、放出部5から噴射された圧縮空気により周囲の大気を引き込み、高速で力のある空気のカーテンを形成するエアナイフである。
図2に示すように、気体流Fは、第1アパーチャ2の外側から飛来したスパッタS1と、第1孔22を通過して第1アパーチャ2の出射部1側に飛来したスパッタS2を捕集部6側に吹き飛ばし、出射部1に到達するスパッタSを減少させる。
この例では、気体流Fは、第1アパーチャ2の出射部1側の面に沿って流れるように放出部5が構成されている。このため、気体流Fの拡散が抑制され、スパッタSを効率的に捕集部6側に吹き飛ばせる。また、気体流Fは、第1孔22で主気体流F1と副気体流F2とに分流する。主気体流F1は、第1アパーチャ2の出射部1側の空間を流れ、副気体流F2は、第1孔22を通過して第1アパーチャ2のワークW側の空間を流れる。
図3を参照して、実施形態におけるスパッタSの飛散軌跡の一例を説明する。スパッタSの一部S3、S4、S5は、集塵口62から遠い方向(図中左向き)に飛散した後、集塵流Rによって集塵口62側に戻ってくる。これらのうちスパッタS3は、ノズル7の外周空間を通って第3アパーチャ4のワークW側に至り、ここで第3アパーチャ4に遮られ、第3アパーチャ4とノズル4の間の空間を通って捕集部6に捕集される。
スパッタS4は、第3アパーチャ4の外周空間を通って第2アパーチャ3のワークW側に至り、ここで第2アパーチャ3に遮られ、第2アパーチャ3と第3アパーチャ4の間の空間を通って捕集部6に捕集される。
スパッタS5は、第2アパーチャ3の外周空間を通って第1アパーチャ2のワークW側に至り、ここで第1アパーチャ2に遮られ、第1アパーチャ2と第2アパーチャ3の間の空間を通って捕集部6に捕集される。
スパッタSの一部S6は、第3アパーチャ4の第3孔42を通過し、第2アパーチャ2の第2孔32近傍に飛散し、集塵流Rによって集塵口62に吸引され、捕集部6に捕集される。スパッタSの一部S7は、第3アパーチャ4の第3孔42と、第2アパーチャ2の第2孔32を通過し、第1アパーチャ2の第1孔22近傍に飛散し、気体流Fから分流した副気体流F2によって捕集部6側に吹き飛ばされ、捕集部6に捕集される。
以上のように構成されたレーザ加工装置100の特徴を説明する。レーザ加工装置100は、ワークWに向けて第1方向にレーザビームLを出射する出射部1と、レーザビームLが通過する第1孔22を有する第1アパーチャ2と、第1アパーチャ2の出射部1側においてレーザビームLと交差する気体流Fを放出する放出部5と、ワークWにおけるレーザビームLの照射点Pから飛散するスパッタSを捕集するための捕集部6と、を備える。放出部5は、第1方向から視て、レーザビームLを挟んで捕集部6の反対側に配置される。
この構成によれば、集塵流Rによって出射部1側に戻ったスパッタSを気体流Fによって集塵口62側に吹き飛ばせるため、出射部1に到達するスパッタSを減らせる。この結果、出射部1の保護ガラス16へ付着するスパッタSを低減できる。
実施形態では、気体流Fは、第1アパーチャ2の出射部1側の面に沿って流れる。この場合、第1アパーチャ2によって、気体流Fの拡散が抑制され、スパッタSを効率的に捕集部6側に吹き飛ばせる。また、第1孔22を通過したスパッタSを捕集部6側に吹き飛ばせる。このことによって、出射部1へ付着するスパッタSをさらに低減できる。
実施形態は、レーザビームLが通過する第2孔32を有し第1アパーチャ2とワークWの間に配置される第2アパーチャ3を備える。この場合、第1アパーチャ2に接近するスパッタSを第2アパーチャ3によって遮ることができるため、出射部1へ付着するスパッタSをさらに低減できる。
実施形態は、レーザビームLが通過する第3孔42を有し第2アパーチャ3とワークWの間に配置される第3アパーチャ4を備える。この場合、第2アパーチャ3に接近するスパッタSを第3アパーチャ4によって遮ることができるため、出射部1へ付着するスパッタSをさらに低減できる。
実施形態では、第2孔32に内接する円の直径D3は、第1孔22に内接する円の直径D2よりも小さく、第3孔42に内接する円の直径D4は、第2孔32に内接する円の直径D3よりも小さい。この場合、第1孔22、第2孔32および第3孔42を、これらの孔を通過するレーザビームLの外径よりも大きくした場合でも、これらの孔径を小さくすることができるので、これらの孔を通過するスパッタSを減らし、出射部1へ付着するスパッタSをさらに低減できる。
実施形態では、第1方向において、第1アパーチャ2と第2アパーチャ3の間の間隔Q23は、第2アパーチャ3と第3アパーチャ4の間の間隔Q34と等しい。第2アパーチャ3が、第1アパーチャ2と第3アパーチャ4のいずれか一方に過度に接近する構成では、接近した2つのアパーチャが1つのアパーチャとして作用して全体としてスパッタSを遮る効果が低下するおそれがあるところ、各アパーチャを等間隔に配置することにより、スパッタSを遮る効果の低下を抑制できる。
以上、本発明の実施形態の例について詳細に説明した。前述した実施形態は、いずれも本発明を実施するにあたっての具体例を示したものにすぎない。実施形態の内容は、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、請求の範囲に規定された発明の思想を逸脱しない範囲において、構成要素の変更、追加、削除等の多くの設計変更が可能である。前述の実施形態では、このような設計変更が可能な内容に関して、「実施形態の」「実施形態では」等との表記を付して説明しているが、そのような表記のない内容に設計変更が許容されないわけではない。また、図面に付したハッチングは、ハッチングを付した対象の材質を限定するものではない。
(変形例)
以下、変形例を説明する。変形例の図面および説明では、実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。実施形態と重複する説明を適宜省略し、実施形態と相違する構成について重点的に説明する。
以下、変形例を説明する。変形例の図面および説明では、実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。実施形態と重複する説明を適宜省略し、実施形態と相違する構成について重点的に説明する。
実施形態の説明では、アパーチャの数が3である例を示したが、本発明はこれに限定されず、アパーチャの数は1、2または4以上であってもよい。
実施形態の説明では、集塵口62の上端が第1アパーチャ2に達する例を示したが、本発明はこれに限定されず、集塵口62の上端は、第1アパーチャ2、第2アパーチャ3または第3アパーチャ4よりも下に位置してもよい。
実施形態の説明では、捕集部6の数が1である例を示したが、本発明はこれに限定されず、捕集部は複数設けられてもよい。
実施形態の説明では、放出部5の数が1である例を示したが、本発明はこれに限定されず、放出部は複数設けられてもよい。例えば、放出部5とは別に、第1アパーチャ2と第2アパーチャ3の間に気体流を放出する別の放出部が設けられてもよい
実施形態の説明では、第1アパーチャ2、第2アパーチャ3および第3アパーチャ4の外径が互いに同じである例を示したが、本発明はこれに限定されず、これらの外径は互いに異なっていてもよい。
実施形態の説明では、集塵口62が、単なる開口である例を示したが、本発明はこれに限定されず、集塵口62には編み目やグリル等が設けられてもよい。
これらの各変形例は、実施形態と同様の作用と効果を奏する。
上述した各実施形態と変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施形態は、組み合わされる実施形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。
100 レーザ加工装置、 1 出射部、 2 第1アパーチャ、 3 第2アパーチャ、 4 第3アパーチャ、 5 放出部、 6 捕集部、 22 第1孔、 32 第2孔、 42 第3孔、 L レーザビーム、 P 照射点、 S スパッタ、 W ワーク。
Claims (7)
- ワークに向けて第1方向にレーザビームを出射する出射部と、前記レーザビームが通過する第1孔を有する第1アパーチャと、前記第1アパーチャの前記出射部側において前記レーザビームと交差する気体流を放出する放出部と、前記ワークにおける前記レーザビームの照射点から飛散するスパッタを捕集するための捕集部と、を備え、前記放出部は、前記第1方向から視て、前記レーザビームを挟んで前記捕集部の反対側に配置されるレーザ加工装置。
- 前記気体流は、前記第1アパーチャの前記出射部側の面に沿って流れる請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザビームが通過する第2孔を有し前記第1アパーチャと前記ワークの間に配置される第2アパーチャを備える請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザビームが通過する第3孔を有し前記第2アパーチャと前記ワークの間に配置される第3アパーチャを備える請求項3に記載のレーザ加工装置。
- 前記第2孔に内接する円の直径は、前記第1孔に内接する円の直径よりも小さく、前記第3孔に内接する円の直径は、前記第2孔に内接する円の直径よりも小さい請求項4に記載のレーザ加工装置。
- 前記第1方向において、前記第1アパーチャと前記第2アパーチャの間の間隔は、前記第2アパーチャと前記第3アパーチャの間の間隔と等しい請求項4または5に記載のレーザ加工装置。
- ワークにレーザビームを出射する出射部と、前記レーザビームが通過する第1孔を有する第1アパーチャと、前記レーザビームが通過する第2孔を有し前記第1アパーチャと前記ワークの間に配置される第2アパーチャと、前記第1アパーチャの前記出射部側に前記レーザビームと交差する気体流を放出する放出部と、を備えるレーザ加工装置。
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JP2022074659A JP2023163634A (ja) | 2022-04-28 | 2022-04-28 | レーザ加工装置 |
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2022
- 2022-04-28 JP JP2022074659A patent/JP2023163634A/ja active Pending
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