JP2023109586A - コイル部品の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】電気抵抗を低減し、かつ、工程を簡素化できるコイル部品の製造方法を提供する。【解決手段】コイル部品の製造方法は、シート状の未焼成磁性層の第1方向の上面にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを第1方向に直交する方向の同一層に設けて、未焼成コイル配線層領域を形成する工程と、シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを第1方向に直交する方向の同一層に設けて、未焼成引出配線層領域を形成する工程と、を備える。【選択図】なし

Description

本開示は、コイル部品の製造方法に関する。
従来、コイル部品の製造方法としては、コイルの電気抵抗の低減化が望まれているため、特開2004-142964号公報(特許文献1)に記載されたものが主流になりつつある。この製造方法では、グリーンシート上に内部電極用の導電ペーストを塗布し、その後、導電ペーストの厚みを確保して導電ペースト(コイル)の電気抵抗を低減するために、絶縁体ペーストをグリーンシート上の導電ペーストのない部分に塗布する。この工程を複数回繰り返して、積層体を形成する。
特開2004-142964号公報
ところで、前記従来のようなコイル部品の製造方法では、毎回、グリーンシートを準備する必要があるため、工程の手間数が多くなる課題があった。
そこで、本開示は、電気抵抗を低減しかつ工程を簡素化できるコイル部品の製造方法を提供することにある。
前記課題を解決するため、本開示の一態様であるコイル部品の製造方法は、
第1方向に積層される複数の磁性層を含み、前記第1方向または前記第1方向と逆方向の第2方向に位置する面を有する素体と、
前記素体内に設けられるコイルと、
前記素体内に設けられ、前記コイルの端部に電気的に接続され少なくとも前記第1方向に延在して前記素体の前記面から露出する引出配線と、
前記素体の少なくとも前記面に設けられ、前記引出配線に接続される外部電極と
を備え、
前記コイルは、前記第1方向に直交する方向に延在するコイル配線層を含み、
前記引出配線は、前記第1方向において前記コイル配線層と異なる層に配置される引出配線層を含む、コイル部品の製造方法であり、
シート状の未焼成磁性層の前記第1方向の上面にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを前記第1方向に直交する方向の同一層に設けて、未焼成コイル配線層領域を形成する工程と、
シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを前記第1方向に直交する方向の同一層に設けて、未焼成引出配線層領域を形成する工程と
を備える。
ここで、コイルとは、軸方向に沿って螺旋状に巻回されたものであり、コイルのターン数は、1ターン以上であってもよく、または、1ターン未満であってもよい。引出配線とは、コイルと外部電極を接続するものであり、コイルのターン数に含まれない。
前記態様によれば、シート状の未焼成磁性層上にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、未焼成コイル配線層の厚みを厚くできる。これにより、コイル配線層の厚みを厚くでき、コイルの電気抵抗を低減できる。
一方、シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、工程を簡素化でき製造が容易となる。ここで、引出配線は、コイルの端部から少なくとも第1方向に延在して素体の第1方向または第2方向に位置する面から露出するので、主に、コイル配線層のように第1方向に直交する方向に延在するものでない。このため、引出配線の電気抵抗を低減するために、引出配線層の厚みを厚くする必要性が少ない。このように、電気抵抗を低減する必要性が少ない領域を簡素な工程で製造することができる。
したがって、電気抵抗を低減する必要性がある未焼成コイル配線層領域を、厚みを厚くするための工程にて製造し、かつ、電気抵抗を低減する必要性が少ない未焼成引出配線層領域を、簡素な工程にて製造することで、電気抵抗を低減しかつ工程を簡素化できるコイル部品の製造方法を実現できる。
好ましくは、コイル部品の製造方法の一実施形態では、さらに、前記未焼成コイル配線層領域と前記未焼成引出配線層領域とを前記第1方向に積層する工程を備える。
前記実施形態によれば、未焼成コイル配線層領域と未焼成引出配線層領域とを別工程で製造してから組み合わせることができるので、インダクタンス値の異なる複数種類の未焼成コイル配線層領域を製造できる一方、未焼成引出配線層領域を共用できる。
好ましくは、コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記未焼成コイル配線層領域を形成する工程の後に、前記未焼成引出配線層領域を形成する工程を行い、
前記未焼成引出配線層領域を形成する工程では、前記ペースト状の未焼成コイル配線層の上面に前記ペースト状の未焼成引出配線層を設けることを含む。
前記実施形態によれば、未焼成コイル配線層領域を未焼成引出配線層領域よりも先に形成するため、未焼成コイル配線層の形状が安定し、電気的特性(インダクタンス値等)のばらつきを低減できる。
好ましくは、コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記素体の前記面は、前記第2方向に位置する第1面を含み、
前記引出配線は、第1引出配線と第2引出配線を含み、前記外部電極は、第1外部電極と第2外部電極を含み、
前記第1引出配線と第2引出配線は、同一層に配置され、前記第1引出配線と前記コイルは、前記第1方向に順に、配置され、
前記第1引出配線は、前記素体の前記第1面から露出して、前記第1外部電極に接続され、前記第2引出配線は、前記素体の前記第1面から露出して、前記第2外部電極に接続され、
前記素体の前記第1面は、実装面を構成する。
ここで、「第1引出配線とコイルは第1方向に順に配置される」とは、第1引出配線とコイルの製法の順番を表すのでなく、第1引出配線とコイルの配置の順番を表すものである。
前記実施形態によれば、素体の複数の磁性層は、素体の実装面に対して直交する方向に積層される(いわゆる縦積層である)ため、複数の磁性層が実装面に対して平行な方向に積層される(いわゆる横積層である)場合に比べて、コイル部品の実装時のたわみ強度が向上する。
好ましくは、コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記素体の前記面は、前記第2方向に位置する第1面と、前記第1方向に位置する第2面とを含み、前記素体は、前記第1面と前記第2面の間に位置する第3面を有し、
前記引出配線は、第1引出配線と第2引出配線を含み、前記外部電極は、第1外部電極と第2外部電極を含み、
前記第1引出配線と前記コイルと前記第2引出配線は、前記第1方向に順に、配置され、
前記第1引出配線は、前記素体の前記第1面から露出して、前記第1外部電極に接続され、前記第2引出配線は、前記素体の前記第2面から露出して、前記第2外部電極に接続され、
前記素体の前記第3面は、実装面を構成する。
ここで、「第1引出配線とコイルと第2引出配線は第1方向に順に配置される」とは、第1引出配線とコイルと第2引出配線の製法の順番を表すのでなく、第1引出配線とコイルと第2引出配線の配置の順番を表すものである。
前記実施形態によれば、素体の複数の磁性層は、素体の実装面に対して平行な方向に積層される(いわゆる横積層である)ため、複数の磁性層が実装面に対して直交する方向に積層される(いわゆる縦積層である)場合に比べて、コイルや引出配線と、外部電極との間の浮遊容量を小さくする設計が容易で、高周波特性に優れたコイル部品を実現できる。
好ましくは、コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記引出配線は、前記第1方向に積層された複数の前記引出配線層を含み、
前記第1方向からみて、前記引出配線における前記コイルに接触する第1領域と、前記引出配線における前記外部電極に接触する第2領域とは、重ならない。
前記実施形態によれば、複数の引出配線層のうち、第1方向に直交する方向にずれる引出配線層が存在する。これにより、複数の磁性層の間の剥離やヒビの発生を低減できる。
好ましくは、コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記引出配線は、前記第1方向に積層された複数の前記引出配線層を含み、
前記第1方向からみて、前記引出配線における前記コイルに接触する第1領域と、前記引出配線における前記外部電極に接触する第2領域とは、重なる。
前記実施形態によれば、複数の引出配線層のうち、第1方向からみて重なる少なくとも2つの引出配線層が存在する。これにより、引出配線の電気的経路を短くでき、引出配線の電気抵抗を低減できる。
好ましくは、コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記引出配線は、前記第1方向に積層された複数の前記引出配線層を含み、
前記第1方向からみて、前記複数の引出配線層のそれぞれの前記第1方向に延在する部分は、全ての前記引出配線層において重なる。
前記実施形態によれば、複数の引出配線層は第1方向に直線状に配置される。これにより、引出配線の電気的経路をより短くでき、引出配線の電気抵抗をより低減できる。
本開示の一態様であるコイル部品の製造方法によれば、電気抵抗を低減しかつ工程を簡素化できる。
コイル部品の第1実施形態を示す斜視図である。 コイル部品の分解斜視図である。 コイル部品の製造方法を示す断面図である。 コイル部品の製造方法を示す断面図である。 コイル部品の製造方法を示す断面図である。 コイル部品の製造方法を示す断面図である。 コイル部品の製造方法を示す断面図である。 コイル部品の製造方法を示す断面図である。 コイル部品の製造方法を示す断面図である。 第1引出配線を含むその周囲の拡大断面図である。 第1引出配線の第1変形例を示す拡大断面図である。 第1引出配線の第2変形例を示す拡大断面図である。 コイル部品の第2実施形態を示す斜視図である。 コイル部品の分解斜視図である。 コイル部品の第3実施形態を示す斜視図である。 コイル部品の分解斜視図である。
以下、本開示の一態様であるコイル部品の製造方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。なお、図面は一部模式的なものを含み、実際の寸法や比率を反映していない場合がある。
<第1実施形態>
(構成)
図1は、コイル部品の第1実施形態を示す斜視図である。図2は、コイル部品の分解斜視図である。図1と図2に示すように、コイル部品1は、素体10と、素体10内に設けられたコイル20と、素体10内に設けられコイル20の第1端部21および第2端部22に電気的に接続された第1引出配線61および第2引出配線62と、素体10の表面に設けられ第1引出配線61および第2引出配線62に接続された第1外部電極31および第2外部電極32とを有する。
コイル部品1は、第1、第2外部電極31、32を介して、図示しない回路基板の配線に電気的に接続される。コイル部品1は、例えば、ノイズ除去フィルタとして用いられ、パソコン、DVDプレーヤー、デジタルカメラ、TV、携帯電話、カーエレクトロニクスなどの電子機器に用いられる。
素体10は、長さ、幅および高さを有する。素体10は、略直方体状に形成されている。素体10は、長さ方向の両端側にある第1端面10aおよび第2端面10bと、幅方向の両端側にある第1側面10cおよび第2側面10dと、高さ方向の両端側にある底面10eおよび天面10fとを有する。つまり、素体10の表面は、第1端面10aおよび第2端面10bと、第1側面10cおよび第2側面10dと、底面10eおよび天面10fとを含む。
なお、図面に示すように、以下では、説明の便宜上、素体10の長さ方向(長手方向)であって、第1端面10aから第2端面10bに向かう方向をX方向とする。素体10の幅方向であって、第1側面10cから第2側面10dに向かう方向をY方向とする。素体10の高さ方向であって、底面10eから天面10fに向かう方向をZ向とする。Z方向の順方向を上側といい、Z方向の逆方向を下側ともいう。X方向、Y方向及びZ方向は、互いに直交する方向であって、X,Y,Zの順に並べたとき、左手系を構成する。
素体10は、複数の磁性層11a~11оを含む。複数の磁性層11a~11оは、Z方向に順に積層される。各磁性層11a~11оの厚みは、例えば、5μm以上でかつ30μm以下である。各磁性層11a~11оは、例えば、Ni-Cu-Zn系のフェライト材料などの磁性材料からなる。または、各磁性層11a~11оは、例えば、Fe、Si、Fe-Si-Cr、Fe-Si-Al、Fe-Ni-Al、Fe-Cr-Al、アモルファス等の金属磁性を有する粉末等の金属磁性体からなる。なお、素体10は、部分的に非磁性層を含んでいてもよい。
ここで、第1実施形態では、Z方向は、特許請求の範囲に記載の「第1方向」の一例に相当する。Z方向と逆方向は、特許請求の範囲に記載の「第2方向」の一例に相当する。底面10eおよび天面10fは、特許請求の範囲に記載の「第1方向または第2方向に位置する面」の一例に相当する。底面10eは、特許請求の範囲に記載の「第2方向に位置する第1面」の一例に相当する。天面10fは、特許請求の範囲に記載の「第1方向に位置する第2面」の一例に相当する。
第1外部電極31は、素体10の底面10eの第1端面10a側の端部を覆う。第2外部電極32は、素体10の底面10eの第2端面10b側の端部を覆う。第1外部電極31は、コイル20の第1端部21に電気的に接続され、第2外部電極32は、コイル20の第2端部22に電気的に接続される。
コイル20は、Z方向に沿って、螺旋状に巻回されている。コイル20は、1ターン以上であるが、1ターン未満であってもよい。コイル20は、例えば、AgまたはCuなどの導電性材料からなる。コイル20の第1端部21は、Z方向の下側に位置する。コイル20の第2端部22は、Z方向の上側に位置する。
コイル20は、複数のコイル配線層20a~20jを有する。複数のコイル配線層20a~20jは、Z方向に順に積層される。複数のコイル配線層20a~20jは、図示しないビア配線層を介して直列に接続されて、Z方向に沿った螺旋を形成する。コイル20は、各コイル配線層20a~20jに接続されるビア配線層を含む。
各コイル配線層20a~20jは、各磁性層11e~11n上に配置されている。各コイル配線層20a~20jは、Z方向に直交する方向に沿って延在している。各コイル配線層20a~20jは、平面上に1ターン未満に巻回された形状に形成されている。各コイル配線層20a~20jの厚みは、例えば、10μm以上でかつ40μm以下である。各コイル配線層20a~20jは、1ターン以上であってもよい。
第1引出配線61および第2引出配線62は、コイル20と第1外部電極31および第2外部電極32を電気的に接続する。つまり、第1引出配線61および第2引出配線62は、コイル20のターン数に含まれない。
第1引出配線61は、コイル20の第1端部21に電気的に接続され、少なくともZ方向に延在して素体10の底面10eから露出する。第1引出配線61は、素体10の底面10eから露出して、第1外部電極31に接続される。
第1引出配線61は、複数の引出配線層61a~61dを有する。複数の引出配線層61a~61dは、Z方向に順に積層される。複数の引出配線層61a~61dは、直列に接続されて、Z方向に沿った柱状に形成される。複数の引出配線層61a~61dは、Z方向においてコイル配線層20a~20jと異なる層に配置される。各引出配線層61a~61dの厚みは、例えば、30μmであるが、各コイル配線層20a~20jの厚みより薄くてもよい。各引出配線層61a~61dは、Z方向に延在する部分を含む。なお、各引出配線層61a~61dは、Z方向に直交する方向に延在する部分を含んでいてもよい。
第2引出配線62は、コイル20の第2端部22に電気的に接続され、少なくともZ方向に延在して素体10の底面10eから露出する。第2引出配線62は、素体10の底面10eから露出して、第2外部電極32に接続される。
第2引出配線62は、複数の引出配線層62a~62dを有する。複数の引出配線層62a~62dは、Z方向に順に積層される。複数の引出配線層62a~62dは、直列に接続されて、Z方向に沿った柱状に形成される。複数の引出配線層62a~62dは、Z方向においてコイル配線層20a~20jと異なる層に配置される。各引出配線層62a~62dの厚みは、例えば、30μmであるが、各コイル配線層20a~20jの厚みより薄くてもよい。各引出配線層62a~62dは、Z方向に延在する部分を含む。なお、各引出配線層62a~62dは、Z方向に直交する方向に延在する部分を含んでいてもよい。
第2引出配線62は、接続配線70を介して、コイル20の第2端部22に接続される。接続配線70は、複数の接続配線層70a~70iを有する。複数の接続配線層70a~70iは、Z方向に順に積層される。複数の接続配線層70a~70iは、直列に接続されて、Z方向に沿った柱状に形成される。複数の接続配線層70a~70iは、Z方向においてコイル配線層20a~20jと同一層に配置される。
第1引出配線61と第2引出配線62は、同一層に配置される。第1引出配線61とコイル20は、Z方向に順に、配置される。第2引出配線62とコイル20は、Z方向に順に、配置される。
この実施形態では、素体10の底面10eは、図示しない実装基板に実装される実装面を構成する。これによれば、素体10の複数の磁性層11a~11оは、素体10の実装面に対して直交する方向に積層される(いわゆる縦積層である)ため、複数の磁性層11a~11оが実装面に対して平行な方向に積層される(いわゆる横積層である)場合に比べて、コイル部品1の実装時のたわみ強度が向上する。
(製造方法)
次に、図3Aから図3Dおよび図4Aから図4Cを用いて、コイル部品1の製造方法を説明する。図3Aから図3Dおよび図4Aから図4Cは、図2のYZ断面を示す。
図3Aに示すように、シート状の第1未焼成磁性層111を準備する。第1未焼成磁性層111は、グリーンシートであり、磁性層(図2の磁性層11eに対応)の焼成前の状態である。
図3Bに示すように、第1未焼成磁性層111の所定箇所にレーザ加工によりビアホール111aを形成する。そして、第1未焼成磁性層111のZ方向の上面に、ペースト状の第1未焼成コイル配線層131を設ける。例えば、第1未焼成コイル配線層131をスクリーン印刷により第1未焼成磁性層111の上面に形成する。このとき、ビアホール111aに未焼成ビア配線層135を形成する。第1未焼成コイル配線層131は、コイル配線層(図2のコイル配線層20aに対応)の焼成前の状態であり、未焼成ビア配線層135は、ビア配線層の焼成前の状態である。
図3Cに示すように、第1未焼成磁性層111の上面に、ペースト状の第2未焼成磁性層112を、第1未焼成コイル配線層131とZ方向に直交する方向の同一層に設ける。つまり、第1未焼成磁性層111上の第1未焼成コイル配線層131のない部分に第1未焼成コイル配線層131と同一層に第2未焼成磁性層112を設ける。例えば、第2未焼成磁性層112をスクリーン印刷により第1未焼成磁性層111の上面に形成する。第2未焼成磁性層112は、磁性層の焼成前の状態である。第2未焼成磁性層112に対応する磁性層は、図2では図示を省略している。なお、第1未焼成コイル配線層131を設けた後に第2未焼成磁性層112を設けたが、第2未焼成磁性層112を設けた後に第1未焼成コイル配線層131を設けてもよい。
図3Dに示すように、シート状の第3未焼成磁性層113上にペースト状の第2未焼成コイル配線層132とペースト状の第4未焼成磁性層114とを同一層に設けて積層シート体を形成し、当該積層シート体を第1未焼成コイル配線層131上および第2未焼成磁性層112上に設ける。第3未焼成磁性層113は、グリーンシートであり、磁性層(図2の磁性層11fに対応)の焼成前の状態である。第2未焼成コイル配線層132は、コイル配線層(図2のコイル配線層20bに対応)の焼成前の状態である。第4未焼成磁性層114は、図2では図示省略している磁性層の焼成前の状態である。
その後、図3Aから図3Dの工程を繰り返して、図2のコイル配線層20a~20jに対応する未焼成コイル配線層および図2の磁性層11e~11оに対応する未焼成磁性層から構成される未焼成コイル配線層領域を形成する。このように、未焼成コイル配線層領域は、ペースト状の未焼成磁性層により未焼成コイル配線層の段差を吸収する工法(以下、フラット工法という)で形成される。図示しないが、図2の接続配線層70a~70iに対応する未焼成接続配線層を上記と同様に形成する。
図4Aに示すように、上記のようなシート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の第1未焼成引出配線層141とペースト状の第1未焼成磁性層121とをZ方向に直交する方向の同一層に設ける。例えば、貫通孔121aを含む第1未焼成磁性層121をスクリーン印刷により形成した後に、貫通孔121aを埋めるように第1未焼成引出配線層141をスクリーン印刷により形成する。第1未焼成磁性層121は、磁性層(図2の磁性層11aに対応)の焼成前の状態である。第1未焼成引出配線層141は、引出配線層(図2の引出配線層61aに対応)の焼成前の状態である。
図4Bに示すように、第1未焼成磁性層121上および第1未焼成引出配線層141上に、ペースト状の第2未焼成引出配線層142とペースト状の第2未焼成磁性層122とを同一層に設ける。このとき、第2未焼成引出配線層142が第1未焼成引出配線層141に接触するようにする。第2未焼成磁性層122は、磁性層(図2の磁性層11bに対応)の焼成前の状態である。第2未焼成引出配線層142は、引出配線層(図2の引出配線層61bに対応)の焼成前の状態である。
図4Cに示すように、第2未焼成磁性層122上および第2未焼成引出配線層142上に、ペースト状の第3未焼成引出配線層143とペースト状の第3未焼成磁性層123とを同一層に設ける。このとき、第3未焼成引出配線層143が第2未焼成引出配線層142に接触するようにする。第3未焼成磁性層123は、磁性層(図2の磁性層11cに対応)の焼成前の状態である。第3未焼成引出配線層143は、引出配線層(図2の引出配線層61cに対応)の焼成前の状態である。
その後、第3未焼成磁性層123上および第3未焼成引出配線層143上に、ペースト状の第4未焼成引出配線層144とペースト状の第4未焼成磁性層124とを同一層に設ける。このとき、第4未焼成引出配線層144が第3未焼成引出配線層143に接触するようにする。第4未焼成磁性層124は、磁性層(図2の磁性層11dに対応)の焼成前の状態である。第4未焼成引出配線層144は、引出配線層(図2の引出配線層61dに対応)の焼成前の状態である。これにより、図2の第1引出配線61の引出配線層61a~61dに対応する未焼成引出配線層および図2の磁性層11a~11dに対応する未焼成磁性層から構成される第1引出配線61側の未焼成引出配線層領域を形成する。
図示しないが、図4Aから図4Cにおいて、図2の第2引出配線62の引出配線層62a~62dに対応する未焼成引出配線層を上記と同様に図2の磁性層11a~11dに対応する未焼成磁性層に形成する。これにより、第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域を形成する。この実施形態では、第1引出配線61側の未焼成引出配線層領域と第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域とは、同一層の領域に形成される。未焼成引出配線層領域は、いわゆる、印刷積層工法で形成される。
その後、未焼成コイル配線層領域と未焼成引出配線層領域とをZ方向に積層して積層体を形成する。そして、積層体を焼成して、素体10、コイル20、第1引出配線61および第2引出配線62を形成する。その後、素体10の表面に第1外部電極31および第2外部電極32を形成して、コイル部品1を製造する。
上記実施形態によれば、シート状の未焼成磁性層上にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、未焼成コイル配線層の厚みを厚くできる。これにより、コイル配線層の厚みを厚くでき、コイルの電気抵抗を低減できる。また、シート状の未焼成磁性層上にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、未焼成コイル配線層の延在方向に直交する断面において未焼成コイル配線層を例えば矩形状に形成できる。これにより、コイル配線層の形状を安定したものとできる。
一方、シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、工程を簡素化でき製造が容易となる。ここで、引出配線は、コイルの端部から少なくともZ方向に延在して素体のZ方向と逆方向の面から露出するので、主に、コイル配線層のようにZ方向に直交する方向に延在するものでない。このため、引出配線の電気抵抗を低減するために、引出配線層の厚みを厚くする必要性が少ない。このように、電気抵抗を低減する必要性が少ない領域を簡素な工程で製造することができる。
また、シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、グリーンシートにビアホールを開け、導電ペーストを充填することは不要となり、電気的接続の信頼性が向上する。また、レーザにより未焼成磁性層に貫通孔を設けないので、貫通孔の大きさの自由度が高くなり、積層方向に隣接する引出配線層の間の接続面の面積の大きさの自由度が高くなる。
したがって、電気抵抗を低減する必要性がある未焼成コイル配線層領域を、厚みを厚くするための工程にて製造し、かつ、電気抵抗を低減する必要性が少ない未焼成引出配線層領域を、簡素な工程にて製造することで、電気抵抗を低減しかつ工程を簡素化できるコイル部品の製造方法を実現できる。
上記実施形態によれば、未焼成コイル配線層領域と未焼成引出配線層領域とをZ方向に積層する工程を備える。これによれば、未焼成コイル配線層領域と未焼成引出配線層領域とを別工程で製造してから組み合わせることができるので、インダクタンス値の異なる複数種類の未焼成コイル配線層領域を製造できる一方、未焼成引出配線層領域を共用できる。
ここで、未焼成コイル配線層領域と未焼成引出配線層領域とを別工程で製造してから組み合わせる製造方法でなく、他の製造方法について説明する。
まず、未焼成コイル配線層領域を形成する工程の後に、未焼成引出配線層領域を形成する工程を行う。そして、未焼成引出配線層領域を形成する工程では、ペースト状の未焼成コイル配線層の上面にペースト状の未焼成引出配線層を設けることを含む。これによれば、未焼成コイル配線層領域を未焼成引出配線層領域よりも先に形成するため、未焼成コイル配線層の形状が安定し、電気的特性(インダクタンス値等)のばらつきを低減できる。
具体的に述べると、図2において、Z方向と逆方向(上側から下側)に順に、コイル配線層20a~20jと引出配線層61a~61d、62a~62dを積層する場合、未焼成引出配線層領域を形成する工程では、図2のコイル配線層20aに対応するペースト状の未焼成コイル配線層の上面に、図2の引出配線層61dに対応するペースト状の未焼成引出配線層を設けることを含む。
(引出配線の構成)
図5は、第1引出配線61を含むその周囲の拡大断面図である。図5では、図2において省略した磁性層12a、12bを描いている。磁性層12aは、コイル配線層20aと同一層に配置され、磁性層12bは、コイル配線層20bと同一層に配置されている。
図5に示すように、第1引出配線61は、コイル20に接触する第1領域Z1と、第1外部電極31に接触する第2領域Z2とを有する。Z方向からみて、第1領域Z1と第2領域Z2とは、重なる。第1領域Z1の少なくとも一部と第2領域Z2の少なくとも一部が、重なっていればよい。
第1引出配線61は、Z方向に積層された複数の引出配線層61a~61dを有する。各引出配線層61a~61dは、Z方向に延在する第1部分601と、第1部分601の上面に接続されZ方向に直交する方向に延在する第2部分602とを有する。Z方向を含む断面において、第2部分602の幅は、第1部分601の幅よりも広い。
Z方向からみて、各引出配線層61a~61dの第1部分601は、全ての引出配線層61a~61dにおいて重なる。各引出配線層61a~61dの第1部分601の少なくとも一部は、全ての引出配線層61a~61dにおいて重なっていればよい。
上記構成によれば、複数の引出配線層61a~61dはZ方向に直線状に配置される。これにより、第1引出配線61の電気的経路を短くでき、第1引出配線61の電気抵抗を低減できる。なお、図5では、第1引出配線61の構成について説明したが、第2引出配線62の構成についても同様であってもよい。
(引出配線の第1変形例)
図6は、第1引出配線の第1変形例を示す拡大断面図である。図6は、図5と比較して、第1引出配線61Aの構成が相違する。
図6に示すように、第1引出配線61Aでは、Z方向からみて、第1領域Z1と第2領域Z2とは、重ならない。具体的に述べると、Z方向からみて、第1領域Z1を含む引出配線層61dの第1部分601は、第2領域Z2を含む引出配線層61aの第1部分601に対して、Z方向に直交する方向にずれている。また、全ての第1部分601は、Z方向からみて、Z方向に直交する方向にずれている。
上記構成によれば、複数の引出配線層61a~61dのうち、Z方向に直交する方向にずれる引出配線層が存在する。これにより、引出配線層と磁性層の間の線膨張係数の違いにより発生する応力を分散できる。したがって、複数の磁性層の間の剥離やヒビの発生を低減できる。なお、図6では、第1引出配線61Aの構成について説明したが、第2引出配線の構成についても同様である。
(引出配線の第2変形例)
図7は、第1引出配線の第2変形例を示す拡大断面図である。図7は、図5と比較して、第1引出配線61Bの構成が相違する。
図7に示すように、第1引出配線61Bでは、Z方向からみて、第1領域Z1と第2領域Z2とは、重なる。第1領域Z1の少なくとも一部と第2領域Z2の少なくとも一部が、重なっていればよい。具体的に述べると、Z方向からみて、引出配線層61cの第1部分601は、引出配線層61a、61b、61dの第1部分601に対して、Z方向に直交する方向にずれている。なお、引出配線層61bの第1部分601が、引出配線層61a、61dの第1部分601に対して、Z方向に直交する方向にずれていてもよい。
上記構成によれば、複数の引出配線層61a~61dのうち、Z方向からみて重なる少なくとも2つの引出配線層が存在する。これにより、第1引出配線61Bの電気的経路を短くでき、第1引出配線61Bの電気抵抗を低減できる。
<第2実施形態>
図8は、コイル部品の第2実施形態を示す斜視図である。図9は、コイル部品の分解斜視図である。第2実施形態は、第1実施形態とは、コイルおよび第1、第2引出配線の位置が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第1実施形態と同じ構成であり、第1実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
図8と図9に示すように、第2実施形態のコイル部品1Cでは、素体10は、複数の磁性層11a~11pを含む。複数の磁性層11a~11pは、X方向に順に積層される。第2実施形態では、X方向は、特許請求の範囲に記載の「第1方向」の一例に相当する。X方向と逆方向は、特許請求の範囲に記載の「第2方向」の一例に相当する。第1端面10aおよび第2端面10bは、特許請求の範囲に記載の「第1方向または第2方向に位置する面」の一例に相当する。第1端面10aは、特許請求の範囲に記載の「第2方向に位置する第1面」の一例に相当する。第2端面10bは、特許請求の範囲に記載の「第1方向に位置する第2面」の一例に相当する。底面10eは、特許請求の範囲に記載の「第1面と第2面の間に位置する第3面」の一例に相当する。
第1外部電極31は、底面10eの一部と第1端面10aの一部に連続して形成されるL字形状である。第2外部電極32は、底面10eの一部と第2端面10bの一部に連続して形成されるL字形状である。
コイル20は、X方向に沿って、螺旋状に巻回されている。コイル20は、複数のコイル配線層20a~20hを有する。複数のコイル配線層20a~20hは、X方向に順に積層される。複数のコイル配線層20a~20hは、図示しないビア配線層を介して直列に接続されて、X方向に沿った螺旋を形成する。
各コイル配線層20a~20hは、各磁性層11e~11l上に配置されている。各コイル配線層20a~20hは、X方向に直交する方向に沿って延在している。各コイル配線層20a~20hは、平面上に1ターン未満に巻回された形状に形成されている。
第1引出配線61とコイル20と第2引出配線62は、X方向に順に、配置されている。第1引出配線61は、コイル20の第1端部21に電気的に接続され、少なくともX方向に延在して素体10の第1端面10aから露出する。第1引出配線61は、素体10の第1端面10aから露出して、第1外部電極31に接続される。第2引出配線62は、コイル20の第2端部22に電気的に接続され、少なくともX方向に延在して素体10の第2端面10bから露出する。第2引出配線62は、素体10の第2端面10bから露出して、第2外部電極32に接続される。
第1引出配線61は、複数の引出配線層61a~61dを有する。複数の引出配線層61a~61dは、X方向に順に積層される。複数の引出配線層61a~61dは、直列に接続されて、X方向に沿った柱状に形成される。複数の引出配線層61a~61dは、X方向においてコイル配線層20a~20hと異なる層に配置される。
第2引出配線62は、複数の引出配線層62a~62dを有する。複数の引出配線層62a~62dは、X方向に順に積層される。複数の引出配線層62a~62dは、直列に接続されて、X方向に沿った柱状に形成される。複数の引出配線層62a~62dは、X方向においてコイル配線層20a~20hと異なる層に配置される。
この実施形態では、素体10の底面10eは、図示しない実装基板に実装される実装面を構成する。これによれば、素体10の複数の磁性層11a~11pは、素体10の実装面に対して平行な方向に積層される(いわゆる横積層である)ため、複数の磁性層11a~11pが実装面に対して直交する方向に積層される(いわゆる縦積層である)場合に比べて、コイル20や引出配線61、62と外部電極31、32との間の浮遊容量を小さくする設計が容易で、高周波特性に優れたコイル部品1Cを実現できる。
次に、コイル部品1Cの製造方法について説明する。第2実施形態のコイル部品1Cでは、第1実施形態のコイル部品1の製造方法と同様に製造する。つまり、未焼成コイル配線層領域をフラット工法で形成し、第1引出配線61側の未焼成引出配線層領域を印刷積層工法で形成し、第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域を印刷積層工法で形成する。そして、第1引出配線61側の未焼成引出配線層領域と、未焼成コイル配線層領域と、第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域とをX方向に積層して積層体を形成する。そして、積層体を焼成して、素体10、コイル20、第1引出配線61および第2引出配線62を形成する。その後、素体10の表面に第1外部電極31および第2外部電極32を形成して、コイル部品1Cを製造する。
上記実施形態によれば、第1実施形態と同様に、シート状の未焼成磁性層上にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、未焼成コイル配線層の厚みを厚くできる。これにより、コイル配線層の厚みを厚くでき、コイルの電気抵抗を低減できる。
一方、シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、工程を簡素化でき製造が容易となる。ここで、引出配線は、コイルの端部から少なくともX方向に延在して素体のX方向(またはX方向と逆方向)に位置する面から露出するので、主に、コイル配線層のようにX方向に直交する方向に延在するものでない。このため、引出配線の電気抵抗を低減するために、引出配線層の厚みを厚くする必要性が少ない。このように、電気抵抗を低減する必要性が少ない領域を簡素な工程で製造することができる。
したがって、電気抵抗を低減する必要性がある未焼成コイル配線層領域を、厚みを厚くするための工程にて製造し、かつ、電気抵抗を低減する必要性が少ない未焼成引出配線層領域を、簡素な工程にて製造することで、電気抵抗を低減しかつ工程を簡素化できるコイル部品の製造方法を実現できる。
上記の製造方法では、第1引出配線61側の未焼成引出配線層領域と、未焼成コイル配線層領域と、第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域とを別工程で製造してから組み合わせているが、未焼成コイル配線層領域を形成する工程の後に、第1引出配線61側の未焼成引出配線層領域を形成する工程を行ってもよい。第1引出配線61側の未焼成引出配線層領域を形成する工程では、ペースト状の未焼成コイル配線層の上面にペースト状の未焼成引出配線層を設けることを含む。これによれば、未焼成コイル配線層領域を未焼成引出配線層領域よりも先に形成するため、未焼成コイル配線層の形状が安定し、電気的特性(インダクタンス値等)のばらつきを低減できる。
このとき、第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域を別工程で製造してから未焼成コイル配線層領域に組み合わせてもよい。または、未焼成コイル配線層領域を形成する工程の後に、第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域を形成する工程を行ってもよく、第2引出配線62側の未焼成引出配線層領域を形成する工程では、ペースト状の未焼成コイル配線層の上面にペースト状の未焼成引出配線層を設けることを含む。
<第3実施形態>
図10は、コイル部品の第3実施形態を示す斜視図である。図11は、コイル部品の分解斜視図である。第3実施形態は、第1実施形態とは、コイルおよび第1、第2引出配線の位置が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第1実施形態と同じ構成であり、第1実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
図10と図11に示すように、第3実施形態のコイル部品1Dでは、素体10は、複数の磁性層11を含む。複数の磁性層11は、Z方向に順に積層される。第3実施形態では、Z方向は、特許請求の範囲に記載の「第1方向」の一例に相当する。Z方向と逆方向は、特許請求の範囲に記載の「第2方向」の一例に相当する。底面10eおよび天面10fは、特許請求の範囲に記載の「第1方向または第2方向に位置する面」の一例に相当する。底面10eは、特許請求の範囲に記載の「第2方向に位置する第1面」の一例に相当する。天面10fは、特許請求の範囲に記載の「第1方向に位置する第2面」の一例に相当する。
第3実施形態のコイル部品1Dでは、第1引出配線と第2引出配線は、同一層に配置され、第1引出配線とコイルは、第2方向に順に、配置され、第1引出配線は、素体の第2面から露出して、第1外部電極に接続され、第2引出配線は、素体の第2面から露出して、第2外部電極に接続され、素体の第2面は、実装面を構成する。
具体的に述べると、第1外部電極31は、素体10の天面10fの第1端面10a側の端部を覆う。第2外部電極32は、素体10の天面10fの第2端面10b側の端部を覆う。
コイル20Dは、Y方向の軸に沿って、螺旋状に巻回されている。コイル20Dは、軸に対して天面10f側に平面上に設けられた複数の第1コイル配線26と、軸に対して底面10e側に平面上に設けられた複数の第2コイル配線27と、軸に対して第1端面10a側に設けられたZ方向に延在する複数の第1貫通配線28と、軸に対して第2端面10b側に設けられたZ方向に延在する複数の第2貫通配線29とを有する。
複数の第1コイル配線26は、天面10fに平行な平面上にY方向に並んで配列される。複数の第2コイル配線27は、底面10eに平行な平面上にY方向に並んで配列される。複数の第1貫通配線28は、第1端面10aに平行な平面上にY方向に並んで配列される。複数の第2貫通配線29は、第2端面10bに平行な平面上にY方向に並んで配列される。第1コイル配線26と、第1貫通配線28と、第2コイル配線27と、第2貫通配線29とは、この順に接続されることにより、螺旋状の少なくとも一部を構成する。
第1コイル配線26は、複数の第1コイル配線層261を有する。複数の第1コイル配線層261は、Z方向に順に積層される。複数の第1コイル配線層261は、図示しないビア配線層を介して並列に接続される。各第1コイル配線層261は、各磁性層11上に配置されている。各第1コイル配線層261は、Z方向に直交する方向に沿って延在している。
第2コイル配線27は、複数の第2コイル配線層271を有する。複数の第2コイル配線層271は、Z方向に順に積層される。複数の第2コイル配線層271は、図示しないビア配線層を介して並列に接続される。各第2コイル配線層271は、各磁性層11上に配置されている。各第2コイル配線層271は、Z方向に直交する方向に沿って延在している。
第1貫通配線28は、複数の第1貫通配線層281を有する。複数の第1貫通配線層281は、Z方向に順に積層される。複数の第1貫通配線層281は、直列に接続される。各第1貫通配線層281は、各磁性層11に貫通して配置されている。各第1貫通配線層281は、Z方向に沿って延在している。
第2貫通配線29は、複数の第2貫通配線層291を有する。複数の第2貫通配線層291は、Z方向に順に積層される。複数の第2貫通配線層291は、直列に接続される。各第2貫通配線層291は、各磁性層11に貫通して配置されている。各第2貫通配線層291は、Z方向に沿って延在している。
第1引出配線61と第2引出配線62は、同一層に配置される。コイル20Dと第1引出配線61とは、Z方向に順に、配置される。コイル20Dと第2引出配線62とは、Z方向に順に、配置される。第1引出配線61は、コイル20Dの第1端部21に電気的に接続され、少なくともZ方向に延在して素体10の天面10fから露出する。第1引出配線61は、素体10の天面10fから露出して、第1外部電極31に接続される。第2引出配線62は、コイル20Dの第2端部22に電気的に接続され、少なくともZ方向に延在して素体10の天面10fから露出する。第2引出配線62は、素体10の天面10fから露出して、第2外部電極32に接続される。
第1引出配線61は、複数の引出配線層611を有する。複数の引出配線層611は、Z方向に順に積層される。複数の引出配線層611は、直列に接続されて、Z方向に沿った柱状に形成される。複数の引出配線層611は、Z方向においてコイル配線層261、271と異なる層に配置される。
第2引出配線62は、複数の引出配線層621を有する。複数の引出配線層621は、Z方向に順に積層される。複数の引出配線層621は、直列に接続されて、Z方向に沿った柱状に形成される。複数の引出配線層621は、Z方向においてコイル配線層261、271と異なる層に配置される。
この実施形態では、素体10の天面10fは、図示しない実装基板に実装される実装面を構成する。これによれば、素体10の複数の磁性層11は、素体10の実装面に対して直交する方向に積層される(いわゆる縦積層である)ため、複数の磁性層11が実装面に対して平行な方向に積層される(いわゆる横積層である)場合に比べて、コイル部品1Dの実装時のたわみ強度が向上する。
次に、コイル部品1Dの製造方法について説明する。第3実施形態のコイル部品1Dでは、第1実施形態のコイル部品1の製造方法と同様に製造する。つまり、未焼成コイル配線層領域をフラット工法で形成し、未焼成引出配線層領域を印刷積層工法で形成する。そして、未焼成コイル配線層領域と未焼成引出配線層領域とをZ方向に積層して積層体を形成する。そして、積層体を焼成して、素体10、コイル20D、第1引出配線61および第2引出配線62を形成する。その後、素体10の表面に第1外部電極31および第2外部電極32を形成して、コイル部品1Dを製造する。
上記実施形態によれば、第1実施形態と同様に、シート状の未焼成磁性層上にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、未焼成コイル配線層の厚みを厚くできる。これにより、コイル配線層の厚みを厚くでき、コイルの電気抵抗を低減できる。
一方、シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを同一層に設けるので、工程を簡素化でき製造が容易となる。ここで、引出配線は、コイルの端部から少なくともZ方向に延在して素体のZ方向の面から露出するので、主に、コイル配線層のようにZ方向に直交する方向に延在するものでない。このため、引出配線の電気抵抗を低減するために、引出配線層の厚みを厚くする必要性が少ない。このように、電気抵抗を低減する必要性が少ない領域を簡素な工程で製造することができる。
したがって、電気抵抗を低減する必要性がある未焼成コイル配線層領域を、厚みを厚くするための工程にて製造し、かつ、電気抵抗を低減する必要性が少ない未焼成引出配線層領域を、簡素な工程にて製造することで、電気抵抗を低減しかつ工程を簡素化できるコイル部品の製造方法を実現できる。
上記の製造方法では、未焼成引出配線層領域と未焼成コイル配線層領域を別工程で製造してから組み合わせているが、未焼成コイル配線層領域を形成する工程の後に、未焼成引出配線層領域を形成する工程を行ってもよい。未焼成引出配線層領域を形成する工程では、ペースト状の未焼成コイル配線層の上面にペースト状の未焼成引出配線層を設けることを含む。これによれば、未焼成コイル配線層領域を未焼成引出配線層領域よりも先に形成するため、未焼成コイル配線層の形状が安定し、電気的特性(インダクタンス値等)のばらつきを低減できる。
なお、本開示は上述の実施形態に限定されず、本開示の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、第1から第3実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。コイル配線層の数量や引出配線層の数量の増減は、設計変更可能である。
第1実施形態において、第1外部電極は、底面と第1端面に連続して形成されるL字形状であってもよい。また、第1外部電極は、第1端面、底面、天面、第1側面および第2側面に連続して形成される5面電極であってもよい。
第1実施形態において、第2外部電極は、底面と第2端面に連続して形成されるL字形状であってもよい。また、第2外部電極は、第2端面、底面、天面、第1側面および第2側面に連続して形成される5面電極であってもよい。
1、1C、1D コイル部品
10 素体
10a 第1端面
10b 第2端面
10c 第1側面
10d 第2側面
10e 底面
10f 天面
11、11a~11p、12a、12b 磁性層
20、20D コイル
20a~20j コイル配線層
21 第1端部
22 第2端部
25 ビア配線層
26 第1コイル配線
261 第1コイル配線層
27 第2コイル配線
271 第2コイル配線層
28 第1貫通配線
281 第1貫通配線層
29 第2貫通配線
291 第2貫通配線層
31 第1外部電極
32 第2外部電極
61、61A、61B 第1引出配線
61a~61d、611 第1引出配線層
62 第2引出配線
62a~62d、621 第2引出配線層
70 接続配線
70a~70i 接続配線層
111~114 第1~第4未焼成磁性層
121~124 第1~第4未焼成磁性層
131、132 第1、第2未焼成コイル配線層
135 未焼成ビア配線層
141~144 第1~第4未焼成引出配線層
601 第1部分
602 第2部分
Z1 第1領域
Z2 第2領域

Claims (8)

  1. 第1方向に積層される複数の磁性層を含み、前記第1方向または前記第1方向と逆方向の第2方向に位置する面を有する素体と、
    前記素体内に設けられるコイルと、
    前記素体内に設けられ、前記コイルの端部に電気的に接続され少なくとも前記第1方向に延在して前記素体の前記面から露出する引出配線と、
    前記素体の少なくとも前記面に設けられ、前記引出配線に接続される外部電極と
    を備え、
    前記コイルは、前記第1方向に直交する方向に延在するコイル配線層を含み、
    前記引出配線は、前記第1方向において前記コイル配線層と異なる層に配置される引出配線層を含む、コイル部品の製造方法であり、
    シート状の未焼成磁性層の前記第1方向の上面にペースト状の未焼成コイル配線層とペースト状の未焼成磁性層とを前記第1方向に直交する方向の同一層に設けて、未焼成コイル配線層領域を形成する工程と、
    シート状の未焼成磁性層を設けないで、ペースト状の未焼成引出配線層とペースト状の未焼成磁性層とを前記第1方向に直交する方向の同一層に設けて、未焼成引出配線層領域を形成する工程と
    を備える、コイル部品の製造方法。
  2. さらに、前記未焼成コイル配線層領域と前記未焼成引出配線層領域とを前記第1方向に積層する工程を備える、請求項1に記載のコイル部品の製造方法。
  3. 前記未焼成コイル配線層領域を形成する工程の後に、前記未焼成引出配線層領域を形成する工程を行い、
    前記未焼成引出配線層領域を形成する工程では、前記ペースト状の未焼成コイル配線層の上面に前記ペースト状の未焼成引出配線層を設けることを含む、請求項1に記載のコイル部品の製造方法。
  4. 前記素体の前記面は、前記第2方向に位置する第1面を含み、
    前記引出配線は、第1引出配線と第2引出配線を含み、前記外部電極は、第1外部電極と第2外部電極を含み、
    前記第1引出配線と第2引出配線は、同一層に配置され、前記第1引出配線と前記コイルは、前記第1方向に順に、配置され、
    前記第1引出配線は、前記素体の前記第1面から露出して、前記第1外部電極に接続され、前記第2引出配線は、前記素体の前記第1面から露出して、前記第2外部電極に接続され、
    前記素体の前記第1面は、実装面を構成する、請求項1から3の何れか一つに記載のコイル部品の製造方法。
  5. 前記素体の前記面は、前記第2方向に位置する第1面と、前記第1方向に位置する第2面とを含み、前記素体は、前記第1面と前記第2面の間に位置する第3面を有し、
    前記引出配線は、第1引出配線と第2引出配線を含み、前記外部電極は、第1外部電極と第2外部電極を含み、
    前記第1引出配線と前記コイルと前記第2引出配線は、前記第1方向に順に、配置され、
    前記第1引出配線は、前記素体の前記第1面から露出して、前記第1外部電極に接続され、前記第2引出配線は、前記素体の前記第2面から露出して、前記第2外部電極に接続され、
    前記素体の前記第3面は、実装面を構成する、請求項1から3の何れか一つに記載のコイル部品の製造方法。
  6. 前記引出配線は、前記第1方向に積層された複数の前記引出配線層を含み、
    前記第1方向からみて、前記引出配線における前記コイルに接触する第1領域と、前記引出配線における前記外部電極に接触する第2領域とは、重ならない、請求項1から5の何れか一つに記載のコイル部品の製造方法。
  7. 前記引出配線は、前記第1方向に積層された複数の前記引出配線層を含み、
    前記第1方向からみて、前記引出配線における前記コイルに接触する第1領域と、前記引出配線における前記外部電極に接触する第2領域とは、重なる、請求項1から5の何れか一つに記載のコイル部品の製造方法。
  8. 前記引出配線は、前記第1方向に積層された複数の前記引出配線層を含み、
    前記第1方向からみて、前記複数の引出配線層のそれぞれの前記第1方向に延在する部分は、全ての前記引出配線層において重なる、請求項1から5の何れか一つに記載のコイル部品の製造方法。
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