JP2023106682A - Resin sealing device - Google Patents

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秀作 田上
Shusaku Tagami
誠 柳澤
Makoto Yanagisawa
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Abstract

To provide a resin sealing device which can remove dust attached on the surface of workpiece and a molding, and can prevent occurrence of a defective product.SOLUTION: A resin sealing device 1 includes a workpiece stocker 102 for storing workpiece W, a workpiece moving part 130 for moving the workpiece W from the workpiece stocker 102 to a workpiece set part 104, a molded article stocker 108 for storing a molded article Wp, and a molded article moving part 132 for moving the molded article Wp to the molded article stocker 108 from a molded article set part 114, and has at least one of a workpiece dust collection part 116 having a first duct part 117 for making suction force act on at least one of the upper surface and the lower surface of the workpiece W during moving by the workpiece moving part 130, and collecting dust, and a molded article dust collection part 118 having a second duct part 119 for making suction force act on at least one of the upper surface and the lower surface of the molded article Wp during moving by the molded article moving part 132, and collecting dust.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、樹脂封止装置に関する。 The present invention relates to a resin sealing device.

基材に電子部品が搭載されたワークを封止樹脂(以下、単に「樹脂」と称する場合がある)により封止して成形品に加工する樹脂封止装置の例として、トランスファ成形方式や圧縮成形方式によるものが知られている。 As an example of a resin encapsulation device that seals a work having electronic components mounted on a base material with encapsulation resin (hereinafter sometimes simply referred to as “resin”) and processes it into a molded product, there are transfer molding method and compression molding method. A molding method is known.

トランスファ成形方式は、上型と下型とを備えて構成される封止金型に設けられる二個の上下型の封止領域(キャビティ)に所定量の樹脂を供給するポットを設け、当該各封止領域に対応する位置にワークをそれぞれ配置して、上型と下型とでクランプしポットからキャビティに樹脂を流し込む操作によって樹脂封止する技術である。また、圧縮成形方式は、上型と下型とを備えて構成される封止金型に設けられる封止領域(キャビティ)に所定量の樹脂を供給すると共に当該封止領域にワークを配置して、上型と下型とでクランプする操作によって樹脂封止する技術である。一例として、上型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、ワーク上の中心位置に一括して樹脂を供給して成形する技術等が知られている。一方、下型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、当該キャビティを含む金型面を覆うフィルム及び樹脂を供給して成形する技術等が知られている。 In the transfer molding method, a pot is provided to supply a predetermined amount of resin to the sealing region (cavity) of two upper and lower molds provided in a sealing mold configured with an upper mold and a lower mold, and each of the In this technique, each work is placed at a position corresponding to the sealing area, clamped with an upper mold and a lower mold, and resin is sealed by an operation of pouring resin from a pot into a cavity. Also, in the compression molding method, a predetermined amount of resin is supplied to a sealing region (cavity) provided in a sealing mold configured with an upper mold and a lower mold, and a workpiece is placed in the sealing region. It is a technique of resin sealing by clamping with an upper mold and a lower mold. As an example, when using a sealing mold having a cavity in the upper mold, there is known a technique of supplying resin to the central position of the work collectively for molding. On the other hand, when using a sealing mold having a cavity in the lower mold, there is known a technique of supplying a film and a resin covering the mold surface including the cavity for molding.

特開2011-18745号公報JP 2011-18745 A

ここで、従来の樹脂封止装置において、ワークの表面に塵埃が付着すると、成形時(樹脂封止時)に封止金型が噛み込み、成形不良を生じさせるという課題がある。特に、供給機構として複数のワークを一括収容するストッカを備える装置の場合には、ストッカの運搬もしくはセット時に上下反転されることが少なからずあり、その動作に起因して、当該ストッカの内部に収容されたワーク同士で、例えば、ワークの電子部品に付着した塵埃が落下して、別のワークの基材に付着するといったケースが生じ易い。 Here, in the conventional resin sealing apparatus, if dust adheres to the surface of the work, there is a problem that the sealing mold is caught during molding (during resin sealing), resulting in defective molding. In particular, in the case of an apparatus provided with a stocker that collectively stores a plurality of works as a supply mechanism, it is not uncommon for the stocker to be turned upside down when it is transported or set. For example, dust adhering to an electronic component of one work falls off and adheres to the base material of another work.

一方、樹脂封止後の成形品に塵埃が付着すると、当該成形品が組み込まれる製品において動作不良を生じさせるという課題がある。 On the other hand, if dust adheres to the molded product after resin sealing, there is a problem that the product in which the molded product is incorporated may malfunction.

これらの課題に対し、封止金型のクリーニングを行うことによって塵埃を除去しようとする技術等が開示されている(特許文献1:特開2011-18745号公報参照)。 In order to solve these problems, a technique for removing dust by cleaning the sealing mold has been disclosed (Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2011-18745).

本発明は、上記事情に鑑みてなされ、ワークの表面に付着した塵埃を除去して成形不良の発生を防止でき、また、成形品の表面に付着した塵埃を除去して動作不良の発生を防止できる樹脂封止装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and is capable of preventing the occurrence of defective molding by removing dust adhering to the surface of a workpiece, and also preventing the occurrence of defective operation by removing dust adhering to the surface of a molded product. It is an object of the present invention to provide a resin sealing device capable of

本発明は、一実施形態として以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。 The present invention solves the above-described problems by means of solving means described below as one embodiment.

本発明に係る樹脂封止装置は、上型と下型とを有する封止金型を用いて、ワークを樹脂により封止して成形品に加工する樹脂封止装置であって、前記ワークが収容されるワークストッカと、前記ワークストッカに隣接して配設され、前記ワークを前記ワークストッカからワークセット部へ移動させるワーク移動部と、前記成形品が収容される成形品ストッカと、前記成形品ストッカに隣接して配設され、前記成形品を成形品セット部から前記成形品ストッカへ移動させる成形品移動部と、を備え、前記ワーク移動部による移動途中における前記ワークの上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第1ダクト部を有するワーク集塵部、または、前記成形品移動部による移動途中における前記成形品の上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第2ダクト部を有する成形品集塵部、の少なくとも一方を備えることを要件とする。 A resin sealing apparatus according to the present invention uses a sealing die having an upper mold and a lower mold to seal a workpiece with resin and process it into a molded product, wherein the workpiece is a workpiece stocker that stores the workpiece; a workpiece transfer unit that is disposed adjacent to the workpiece stocker and moves the workpiece from the workpiece stocker to a workpiece setting unit; a molded product stocker that stores the molded product; a molded product moving unit disposed adjacent to the product stocker for moving the molded product from the molded product setting unit to the molded product stocker; A workpiece dust collector having a first duct that collects dust by applying a suction force to at least one surface from a position separated by a predetermined distance, or the upper surface of the molded product during movement by the molded product moving unit, or At least one of the molded article dust collection section having a second duct section that collects dust by exerting a suction force on at least one of the lower surfaces from a position separated by a predetermined distance.

ワーク集塵部を備える構成によれば、ワークにおける吸引対象面に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。また、成形品集塵部を備える構成によれば、成形品における吸引対象面に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。 According to the configuration provided with the work dust collector, it is possible to apply a suction force to the suction target surface of the work, and to suction and remove the dust adhering to the surface and the dust floating in the surrounding space. In addition, according to the configuration including the molded product dust collecting unit, the suction force is applied to the suction target surface of the molded product, and the dust adhering to the surface and the dust floating in the surrounding space are removed by suction. be able to.

また、前記ワーク集塵部を備える場合において、前記ワーク移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記ワークを移動させる構成を有し、連続送りの場合には、前記ワークを移動させている状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であり、順送りの場合には、前記ワークを前記第1ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であることが好ましい。また、前記成形品集塵部を備える場合において、前記成形品移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記成形品を移動させる構成を有し、連続送りの場合には、前記成形品を移動させている状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であり、順送りの場合には、前記成形品を前記第2ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であることが好ましい。これによれば、連続送りの際には、吸引対象面に対して移動方向に沿って均等に吸引力を作用させることができ、特に移動方向端部の吸引不足を防ぐことができる。また、順送りの際には、吸引対象面に対して長い時間吸引力を作用させることができ、集塵効果を高めることができる。 In addition, in the case where the work dust collection unit is provided, the work moving unit has a configuration in which the work is moved by continuous feeding or sequential feeding. In the case of forward feeding, the workpiece is stopped at a position coinciding with the first duct portion in a plan view, and the dust is collected by the workpiece dust collecting portion. It is preferable to have a configuration for collecting dust from the work. In addition, in the case where the molded product dust collection unit is provided, the molded product moving unit has a configuration in which the molded product is moved by continuous or sequential feeding, and in the case of continuous feeding, the molded product is moved. In the case of forward feeding, the molded product is stopped at a position coinciding with the second duct portion in plan view. It is preferable that dust of the molded product is collected by the molded product dust collection unit. According to this, during continuous feeding, the suction force can be uniformly applied to the suction target surface along the movement direction, and in particular, insufficient suction at the ends in the movement direction can be prevented. Further, during forward feeding, the suction force can be applied to the surface to be sucked for a long time, and the dust collecting effect can be enhanced.

また、前記ワーク集塵部は、前記第1ダクト部の吸引力によって前記ワークが上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有することが好ましい。また、前記成形品集塵部は、前記第2ダクト部の吸引力によって前記成形品が上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有することが好ましい。これによれば、吸引時に、ワークや成形品が所定の移動経路から逸脱してしまうことが防止できる。 Moreover, it is preferable that the work dust collection section further includes a guard section that regulates the work so that it does not move vertically due to the suction force of the first duct section. Moreover, it is preferable that the molded article dust collection section further includes a guard section that regulates the molded article so that it does not move vertically due to the suction force of the second duct section. According to this, it is possible to prevent the workpiece or the molded product from deviating from the predetermined movement path during suction.

また、前記ワーク集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有することが好ましい。また、成形品集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有することが好ましい。これによれば、吸引のみでは除去困難な塵埃に対しても、こすり取るようにして除去することができる。あるいは、圧縮エアやイオンエアを吹き付けて、もしくは超音波を放射して塵埃を浮かせて除去することができる。 In addition, the work dust collection section may further include a brush section that slides on a surface to be collected to remove dust, a spray section that sprays compressed air or ionized air, or a radiation section that emits ultrasonic waves. preferable. In addition, the molded article dust collection section may further have a brush section that slides on the surface to be collected to remove dust, a spray section that sprays compressed air or ionized air, or a radiation section that emits ultrasonic waves. preferable. According to this, even dust that is difficult to remove only by suction can be removed by rubbing. Alternatively, the dust can be lifted and removed by blowing compressed air or ionized air, or by radiating ultrasonic waves.

本発明によれば、ワークの表面に付着した塵埃を除去して成形不良の発生を防止することができる。また、成形品の表面に付着した塵埃を除去して動作不良の発生を防止することができる。 According to the present invention, it is possible to remove dust adhering to the surface of the workpiece and prevent the occurrence of defective molding. In addition, it is possible to remove dust adhering to the surface of the molded product to prevent malfunction.

本発明の実施形態に係る樹脂封止装置の例を示す平面図である。1 is a plan view showing an example of a resin sealing device according to an embodiment of the invention; FIG. 図1の樹脂封止装置のワーク集塵部の例を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing an example of a work dust collector of the resin sealing device of FIG. 1; 図1の樹脂封止装置のワーク集塵部の他の例を示す側面図である。3 is a side view showing another example of the work dust collector of the resin sealing device of FIG. 1; FIG. 図1の樹脂封止装置のワーク集塵部の他の例を示す側面図である。3 is a side view showing another example of the work dust collector of the resin sealing device of FIG. 1; FIG. 図1の樹脂封止装置の型開閉機構、封止金型、ローダの例を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing an example of a mold opening/closing mechanism, a sealing mold, and a loader of the resin sealing apparatus of FIG. 1; 図1の樹脂封止装置の成形品集塵部の例を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing an example of a molded product dust collecting portion of the resin sealing device of FIG. 1; 図1の樹脂封止装置の成形品集塵部の他の例を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing another example of the molded product dust collecting portion of the resin sealing device of FIG. 1; 図1の樹脂封止装置の成形品集塵部の他の例を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing another example of the molded product dust collecting portion of the resin sealing device of FIG. 1;

(全体構成)
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳しく説明する。図1は、本実施形態に係る樹脂封止装置1の例を示す平面図(概略図)である。尚、説明の便宜上、図中において矢印により樹脂封止装置1における前後、左右、上下の方向を説明する場合がある。また、各実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰返しの説明は省略する場合がある。
(overall structure)
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view (schematic diagram) showing an example of a resin sealing device 1 according to this embodiment. For convenience of explanation, arrows in the drawings may be used to indicate the front/rear, left/right, and up/down directions of the resin sealing device 1 . Further, in all the drawings for explaining each embodiment, members having the same functions are denoted by the same reference numerals, and repeated description thereof may be omitted.

本実施形態に係る樹脂封止装置1として、キャビティが設けられた上型と、下型とを備える封止金型を用いて、複数個(一例として、二個)のワークを一括して樹脂で封止し、複数個(一例として、二個)の成形品を形成する圧縮成形装置を例に挙げて説明する。但し、この構成に限定されるものではない。 As the resin sealing apparatus 1 according to the present embodiment, a sealing mold including an upper mold provided with a cavity and a lower mold is used, and a plurality of (for example, two) works are collectively molded with resin. A compression molding apparatus for forming a plurality of (for example, two) molded products will be described as an example. However, it is not limited to this configuration.

先ず、成形対象であるワークWは、基材に複数個の電子部品が搭載された構成を備えている。より具体的には、基材の例として、長方形状、円形状等に形成された樹脂基板、セラミックス基板、金属基板、キャリアプレート、リードフレーム、ウェハ等の板状部材が挙げられる。また、電子部品の例として、半導体チップ、MEMSチップ、受動素子、放熱板、導電部材、スペーサ等が挙げられる。但し、これらに限定されるものではない。 First, the workpiece W to be molded has a structure in which a plurality of electronic components are mounted on a base material. More specifically, examples of the base material include plate-like members such as resin substrates, ceramic substrates, metal substrates, carrier plates, lead frames, and wafers formed in a rectangular shape, a circular shape, or the like. Examples of electronic components include semiconductor chips, MEMS chips, passive elements, radiator plates, conductive members, spacers, and the like. However, it is not limited to these.

基材に電子部品を搭載する方法の例として、ワイヤボンディング実装、フリップチップ実装等による搭載方法がある。あるいは、樹脂封止後に成形品Wpから基材(ガラス製や金属製のキャリアプレート)を剥離する構成の場合には、熱剥離性を有する粘着テープや紫外線照射により硬化する紫外線硬化性樹脂を用いて電子部品を貼付ける方法もある。 Examples of methods for mounting electronic components on a base material include mounting methods such as wire bonding mounting and flip chip mounting. Alternatively, in the case of a configuration in which the base material (a carrier plate made of glass or metal) is peeled off from the molded product Wp after resin sealing, an adhesive tape having heat peelability or an ultraviolet curable resin that is cured by ultraviolet irradiation is used. There is also a method of affixing electronic components on the substrate.

一方、樹脂Rの例として、顆粒状(円柱状等を含む)、粉砕状、もしくは粉末状(本願において「粒状」と総称する場合がある)の熱硬化性樹脂(例えば、フィラー含有のエポキシ系樹脂等)が用いられる。尚、樹脂Rは、上記の状態に限定されるものではなく、液状、板状、シート状等、他の状態(形状)であってもよく、エポキシ系熱硬化性樹脂以外の樹脂であってもよい。 On the other hand, examples of the resin R include granular (including columnar), pulverized, or powdered thermosetting resins (for example, filler-containing epoxy resin, etc.) is used. The resin R is not limited to the above state, and may be in other states (shapes) such as liquid, plate, sheet, etc., and is a resin other than epoxy thermosetting resin. good too.

続いて、本実施形態に係る樹脂封止装置1の概要について説明する。図1に示すように、樹脂封止装置1は、左から順に、ワークWの供給を主に行うワーク供給ユニット100A、樹脂Rの供給を主に行う樹脂供給ユニット100B、ワークWを樹脂封止して成形品Wpへの加工を主に行うプレスユニット100C(一例として、二台)、及び樹脂封止後の成形品Wpの収納を主に行う成形品収納ユニット100Dを主要構成として備えている。但し、この構成に限定されるものではなく、各ユニットの構成変更や、他のユニットの追加等、適宜、変更することができる。 Next, an outline of the resin sealing device 1 according to this embodiment will be described. As shown in FIG. 1, the resin sealing apparatus 1 includes, from the left, a work supply unit 100A that mainly supplies the work W, a resin supply unit 100B that mainly supplies the resin R, and the work W that is sealed with resin. The press unit 100C (for example, two units) that mainly processes the molded product Wp as a main component, and the molded product storage unit 100D that mainly stores the molded product Wp after resin sealing are provided as main components. . However, the configuration is not limited to this configuration, and changes can be made as appropriate, such as changing the configuration of each unit or adding other units.

また、樹脂封止装置1は、各ユニット間を移動して、ワークW、樹脂R、及び成形品Wpの搬送を行う搬送装置100Eを備えている。一例として、搬送装置100Eは、ガイドレール126及び当該ガイドレール126に沿って往復動するローダ124を備えて構成されている。尚、変形例として、ローダ124とは別に封止金型202への搬入・搬出を行うローダを備える構成としてもよい(不図示)。 The resin sealing apparatus 1 also includes a transport device 100E that moves between the units and transports the work W, the resin R, and the molded product Wp. As an example, the transport device 100E is configured with a guide rail 126 and a loader 124 that reciprocates along the guide rail 126 . As a modified example, a configuration may be provided in which a loader for loading/unloading to/from the sealing mold 202 is provided separately from the loader 124 (not shown).

本実施形態に係るローダ124は、ワークW(本実施形態では、樹脂Rが載置された状態)を保持可能なワーク保持部124A、及び成形品Wpを保持可能な成形品保持部124Bを備えている。ここで、ワーク保持部124A及び成形品保持部124Bには、公知の保持機構(例えば、保持爪を有して挟持する構成、吸引装置に連通する吸引孔を有して吸着する構成、等)が用いられる(不図示)。但し、この構成に限定されるものではない。尚、ローダ124に関して、ワーク保持部124Aとは別の成形品保持部124Bを独立に設けたローダ形状で独立に動くことのできるアンローダを設けてもよい(不図示)。 The loader 124 according to this embodiment includes a work holding portion 124A capable of holding a work W (in this embodiment, a state in which the resin R is placed) and a molded product holding portion 124B capable of holding a molded product Wp. ing. Here, the work holding portion 124A and the molded article holding portion 124B have a known holding mechanism (for example, a structure that has holding claws to hold and hold, a structure that has a suction hole communicating with a suction device and sucks, etc.). is used (not shown). However, it is not limited to this configuration. Regarding the loader 124, an unloader that can move independently in a loader shape having a molded product holding portion 124B that is separate from the workpiece holding portion 124A may be provided (not shown).

(ワーク供給ユニット)
続いて、樹脂封止装置1が備えるワーク供給ユニット100Aについて説明する。ここで、図2にワーク供給ユニット100Aの主要構成の側面図(概略図)を示す。
(work supply unit)
Next, the work supply unit 100A included in the resin sealing apparatus 1 will be described. Here, FIG. 2 shows a side view (schematic diagram) of the main configuration of the work supply unit 100A.

図1、図2に示すように、ワーク供給ユニット100Aは、ワークWの収容に用いられるワークストッカ102と、ワークWを保持(載置)するワークセット部(例えば、テーブル)104と、ワークストッカ102に隣接して配設され、ワークWをワークストッカ102からワークセット部104へ移動させるワーク移動部130と、を備えている。当該ワークストッカ102には、公知のスタックマガジン、スリットマガジン等が用いられ、複数個のワークWを一括して収容可能となっている。尚、ワークセット部104に載置されるワークWの個数は二個に限定されるものではない。 As shown in FIGS. 1 and 2, the work supply unit 100A includes a work stocker 102 used to store the work W, a work setting section (for example, a table) 104 for holding (placing) the work W, and a work stocker. 102 and a work moving unit 130 for moving the work W from the work stocker 102 to the work setting unit 104 . A known stack magazine, slit magazine, or the like is used for the work stocker 102, and a plurality of works W can be stored collectively. The number of works W placed on the work setting unit 104 is not limited to two.

また、ワーク供給ユニット100Aは、ワーク移動部130による移動途中におけるワークWの上面及び下面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第1ダクト部117を有するワーク集塵部116を備えている。具体的に、第1ダクト部117は、管状部材を用いて形成されており、吸引装置(不図示)に接続されると共に、先端の開口部117aがワークWの上面及び下面に対して所定距離離間した位置に配置されている。これにより、ワークWにおける吸引対象面(ここでは、上面及び下面)に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。尚、変形例として、第1ダクト部117は、ワークWの上面もしくは下面の一方の面に対してのみ設ける構成としてもよい(不図示)。また、別の変形例として、上下の一方を清浄エアの吹き付け側とし、他方を吸引する側としてもよい(不図示)。 Further, the work supply unit 100A has a first duct portion 117 that collects dust by applying a suction force from a position separated by a predetermined distance from the upper and lower surfaces of the work W that is being moved by the work moving portion 130. A portion 116 is provided. Specifically, the first duct portion 117 is formed using a tubular member, is connected to a suction device (not shown), and has an opening 117a at its tip that is positioned at a predetermined distance from the upper and lower surfaces of the workpiece W. placed in a spaced apart position. As a result, the suction force is applied to the suction target surface (here, the upper surface and the lower surface) of the work W, and the dust adhering to the surface and the dust floating in the surrounding space can be removed by suction. . As a modification, the first duct portion 117 may be provided only on one of the upper surface and the lower surface of the workpiece W (not shown). As another modification, one of the upper and lower sides may be used as the clean air blowing side, and the other may be used as the suction side (not shown).

上記のように、ワークWに対して吸引力を作用させる構成であるため、ワーク集塵部116は、第1ダクト部117の吸引力によってワークWが上下方向に移動しないように規制するガード部(不図示)を備える構成とすることが好適である。これにより、吸引時に、ワークWが所定の移動経路から逸脱してしまうことが防止できる。尚、ガード部の構成は特に限定されないが、ガードレール、押さえローラ、把持クリップ等を用いることができる。 As described above, since the suction force is applied to the work W, the work dust collecting portion 116 is a guard portion that regulates the work W so that it does not move vertically due to the suction force of the first duct portion 117. (not shown). As a result, it is possible to prevent the work W from deviating from the predetermined movement path during suction. Although the construction of the guard section is not particularly limited, a guard rail, a pressing roller, a gripping clip, or the like can be used.

一方、ワーク移動部130は、レール130A、プッシャ130B、及び牽引グリップ130Cを備えて構成されている。これにより、プッシャ130Bを用いてワークストッカ102からワークWを押し出し、次いで、牽引グリップ130Cを用いてワークWをレール130A上で移動させることができる。但し、ワーク移動部130は、この構成に限定されるものではなく、コンベアを備える構成や、ローラ及びベルトを備える構成等としてもよい。さらに、公知のピックアップやエレベータ等を並設する構成としてもよい(いずれも不図示)。 On the other hand, the work moving part 130 is configured with a rail 130A, a pusher 130B, and a traction grip 130C. Thereby, the work W can be pushed out from the work stocker 102 using the pusher 130B, and then the work W can be moved on the rail 130A using the traction grip 130C. However, the work moving unit 130 is not limited to this configuration, and may have a configuration including a conveyor, a configuration including rollers and a belt, or the like. Furthermore, a configuration in which known pickups, elevators, and the like are arranged side by side (neither is shown) may be used.

本実施形態に係るワーク移動部130は、「連続送り」、及び「順送り」のいずれの移動方式も実施可能に構成されている。したがって、「連続送り」の場合には、ワークWを移動させている状態で(すなわち、移動させながら)、ワーク集塵部116によって当該ワークWの集塵を行うことができる。これにより、ワークWの移動方向に沿って均等に吸引力を作用させることができ、特にワークWにおける移動方向端部の吸引不足を防ぐことができる。また、「順送り」の場合には、ワークWを第1ダクト部117の先端の開口部117aと平面視において一致(一例として、相互の中心が一致)する位置で停止させた状態で、ワーク集塵部116によって当該ワークWの集塵を行うことができる。これにより、ワークWにおける吸引対象面に長い時間吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果を高めることができる。 The workpiece moving unit 130 according to the present embodiment is configured to be able to implement both "continuous feeding" and "progressive feeding". Therefore, in the case of "continuous feeding", the workpiece W can be dust-collected by the workpiece dust collector 116 while the workpiece W is being moved (that is, while being moved). As a result, the suction force can be uniformly applied along the movement direction of the work W, and in particular, insufficient suction at the ends of the work W in the movement direction can be prevented. Further, in the case of "progressive feeding", the workpiece W is stopped at a position where the opening 117a at the tip of the first duct portion 117 and the opening 117a at the tip of the first duct portion 117 match in plan view (for example, their centers match). The work W can be dust-collected by the dust section 116 . As a result, the suction force can be applied to the suction target surface of the workpiece W for a long time, and the dust removal effect can be enhanced.

ここで、ワーク集塵部116の他の実施形態を図3に示す。具体的に、第1ダクト部117の先端の開口部117aが、ワークWの吸引対象面と平面視で同程度の大きさに拡張された構成を備えている。この構成によれば、特に、ワークWを順送りする場合に、ワークWにおける吸引対象面の全域に吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果をより一層、高めることができる。 Here, another embodiment of the work dust collector 116 is shown in FIG. Specifically, the opening 117a at the tip of the first duct portion 117 is expanded to the same size as the suction target surface of the workpiece W in a plan view. According to this configuration, particularly when the work W is forwarded, the suction force can be applied to the entire surface of the work W to be sucked, and the dust removing effect can be further enhanced.

また、ワーク集塵部116の他の実施形態を図4に示す。具体的に、ワークWにおける集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部120を備えている。この構成によれば、吸引のみでは除去困難な塵埃に対しても、こすり取るようにして除去することができる。さらに、別の実施形態として、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部を設けてもよい(いずれも不図示)。この構成によれば、例えば、ブラシ部が設置できない場合や、ブラシ部の摺接が適切でないワークWである場合等において、圧縮エアやイオンエアを吹き付けて、もしくは超音波を放射して塵埃を浮かせて除去することができる。尚、上記のブラシ部120、吹き付け部、放射部は、第1ダクト部117の先端に設けてもよく、あるいは、別個に設けてもよい。 Another embodiment of the work dust collector 116 is shown in FIG. Specifically, a brush portion 120 that removes dust by slidingly contacting the surface of the workpiece W to be collected is provided. According to this configuration, dust that is difficult to remove only by suction can be removed by rubbing. Furthermore, as another embodiment, a blowing portion for blowing compressed air or ionized air or a radiation portion for emitting ultrasonic waves may be provided (neither is shown). According to this configuration, for example, when the brush portion cannot be installed, or when the work W is not suitable for sliding contact with the brush portion, the dust is lifted by blowing compressed air or ionized air or by radiating ultrasonic waves. can be removed by The brush portion 120, the blowing portion, and the radiation portion may be provided at the tip of the first duct portion 117, or may be provided separately.

上記構成を備えるワーク供給ユニット100Aにおける動作概要は次の通りである。先ず、ワーク移動部130によってワークストッカ102からワークWが移動される。当該移動の途中時点で、ワーク集塵部116によって塵埃の除去が行われた後、ワークWがワークセット部104上に載置される。次いで、ワークセット部104上に載置されたワークWが、ローダ124によって保持されて樹脂供給ユニット100Bへ搬送される。 The operation outline of the work supply unit 100A having the above configuration is as follows. First, the workpiece W is moved from the workpiece stocker 102 by the workpiece moving unit 130 . During the movement, the work W is placed on the work setting section 104 after dust is removed by the work dust collector 116 . Next, the work W placed on the work setting section 104 is held by the loader 124 and conveyed to the resin supply unit 100B.

(樹脂供給ユニット)
続いて、樹脂封止装置1が備える樹脂供給ユニット100Bについて説明する。
(resin supply unit)
Next, the resin supply unit 100B included in the resin sealing apparatus 1 will be described.

本実施形態に係る樹脂供給ユニット100Bは、ワークWを保持(載置)するワークセット部(例えば、テーブル)106と、樹脂Rを供給する樹脂供給部140とを備えている。これにより、ワークセット部106上に載置されたワークWの上面に、樹脂供給部140から設定量の樹脂Rが供給される。 The resin supply unit 100B according to this embodiment includes a work setting section (for example, a table) 106 that holds (places) the work W, and a resin supply section 140 that supplies the resin R. As a result, the set amount of resin R is supplied from the resin supply unit 140 to the upper surface of the work W placed on the work setting unit 106 .

尚、他の実施形態として、ワークWとは別に、樹脂Rを直接、封止金型202内へ搬入する樹脂ローダを備える構成としてもよい(不図示)。あるいは、樹脂供給ユニット100Bを個別に設けずに、ワーク供給ユニット100Aのワークセット部104にワークWが載置された状態で、当該ワークW上に樹脂Rを供給する構成としてもよい(不図示)。 As another embodiment, a resin loader for directly loading the resin R into the sealing mold 202 may be provided separately from the workpiece W (not shown). Alternatively, without separately providing the resin supply unit 100B, the resin R may be supplied onto the work W while the work W is placed on the work set portion 104 of the work supply unit 100A (not shown). ).

上記構成を備える樹脂供給ユニット100Bにおける動作概要は次の通りである。先ず、ローダ124によってワーク供給ユニット100Aから搬入されたワークWが、ワークセット部106上に載置される。次いで、ワークセット部106上に載置されたワークWの上面に、樹脂供給部140から設定量の樹脂Rが供給される。次いで、上面に樹脂Rが供給(搭載)されたワークWが、ローダ124によって保持されてプレスユニット100Cへ搬送される。 The operation outline of the resin supply unit 100B having the above configuration is as follows. First, the work W loaded from the work supply unit 100A by the loader 124 is placed on the work setting section 106 . Next, a set amount of resin R is supplied from the resin supply unit 140 to the upper surface of the work W placed on the work setting unit 106 . Next, the work W with the resin R supplied (mounted) on its upper surface is held by the loader 124 and conveyed to the press unit 100C.

(プレスユニット)
続いて、樹脂封止装置1が備えるプレスユニット100Cについて説明する。ここで、図5に樹脂封止装置1の型開閉機構250、封止金型202、及びローダ124の側面図(概略図)を示す。
(press unit)
Next, the press unit 100C included in the resin sealing device 1 will be described. Here, FIG. 5 shows a side view (schematic diagram) of the mold opening/closing mechanism 250, the sealing mold 202, and the loader 124 of the resin sealing apparatus 1. As shown in FIG.

プレスユニット100Cは、開閉される一対の金型として、鉛直方向上方側の上型204と下方側の下型206とを有する封止金型202を備えている。本実施形態においては、上型204の下面にキャビティ208が設けられると共に、対応する下型206の上面にワーク保持部205が設けられている。但し、この構成に限定されるものではなく、上型204に代えて、もしくは、上型204と共に、下型206の上面にキャビティが設けられる構成としてもよい(不図示)。 The press unit 100C includes a sealing mold 202 having an upper mold 204 on the upper side in the vertical direction and a lower mold 206 on the lower side as a pair of dies that are opened and closed. In this embodiment, a cavity 208 is provided on the lower surface of the upper mold 204 and a work holding portion 205 is provided on the upper surface of the corresponding lower mold 206 . However, it is not limited to this configuration, and instead of the upper mold 204, or together with the upper mold 204, a cavity may be provided on the upper surface of the lower mold 206 (not shown).

また、封止金型202は、公知の型開閉機構250によって型開閉が行われる。一例として図5に示すように、型開閉機構250は、一対のプラテン252、254と、一対のプラテン252、254が架設される複数の連結機構256と、プラテン254を可動(昇降)させる駆動源(例えば、電動モータ)260及び駆動伝達機構(例えば、ボールねじやトグルリンク機構)262等を備えて構成されている。 Also, the sealing mold 202 is opened and closed by a known mold opening/closing mechanism 250 . As an example shown in FIG. 5, the mold opening/closing mechanism 250 includes a pair of platens 252 and 254, a plurality of connecting mechanisms 256 on which the pair of platens 252 and 254 are installed, and a drive source for moving (lifting) the platen 254. (for example, an electric motor) 260, a drive transmission mechanism (for example, a ball screw or toggle link mechanism) 262, and the like.

上記構成を備えるプレスユニット100Cにおける動作概要は次の通りである。先ず、ローダ124によって樹脂供給ユニット100Bから搬入されたワークWが、封止金型202内の所定位置(本実施形態では、下型206のワーク保持部205)に保持される。次いで、型閉じを行ってワークWが樹脂封止されて成形品Wpに加工される。次いで、型開きした封止金型202内から取り出され成形品Wpが、ローダ124によって保持されて成形品収納ユニット100Dへ搬送される。尚、樹脂封止の際に、適宜、公知のリリースフィルム(不図示)を用いてもよい。 The operation outline of the press unit 100C having the above configuration is as follows. First, the work W carried in from the resin supply unit 100B by the loader 124 is held at a predetermined position (in this embodiment, the work holding portion 205 of the lower mold 206) inside the sealing mold 202. As shown in FIG. Next, the mold is closed, the work W is sealed with resin, and the molded product Wp is processed. Next, the molded article Wp taken out from the opened sealing mold 202 is held by the loader 124 and transported to the molded article storage unit 100D. Incidentally, a known release film (not shown) may be appropriately used at the time of resin sealing.

(成形品収納ユニット)
続いて、樹脂封止装置1が備える成形品収納ユニット100Dについて説明する。ここで、図6に成形品収納ユニット100Dの主要構成の側面図(概略図)を示す。
(molded product storage unit)
Next, a molded product storage unit 100D included in the resin sealing device 1 will be described. Here, FIG. 6 shows a side view (schematic diagram) of the main configuration of the molded product storage unit 100D.

図1、図6に示すように、成形品収納ユニット100Dは、成形品Wpの収容に用いられる成形品ストッカ108と、成形品Wpを保持(載置)する成形品セット部(例えば、テーブル)114と、成形品ストッカ108に隣接して配設され、ワークWを成形品セット部114から成形品ストッカ108へ移動させる成形品移動部132と、を備えている。当該成形品ストッカ108には、公知のスタックマガジン、スリットマガジン等が用いられ、複数個の成形品Wpを一括して収容可能となっている。尚、成形品セット部114に載置される成形品Wpの個数は二個に限定されるものではない。 As shown in FIGS. 1 and 6, the molded product storage unit 100D includes a molded product stocker 108 used to store the molded product Wp, and a molded product setting section (for example, a table) that holds (places) the molded product Wp. 114 , and a molded product moving section 132 arranged adjacent to the molded product stocker 108 to move the work W from the molded product setting section 114 to the molded product stocker 108 . A known stack magazine, slit magazine, or the like is used for the molded product stocker 108, and a plurality of molded products Wp can be collectively accommodated. The number of molded products Wp placed on the molded product setting unit 114 is not limited to two.

また、成形品収納ユニット100Dは、成形品移動部132による移動途中における成形品Wpの上面及び下面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第2ダクト部119を有する成形品集塵部118を備えている。具体的に、第2ダクト部119は、管状部材を用いて形成されており、吸引装置(不図示)に接続されると共に、先端の開口部119aが成形品Wpの上面及び下面に対して所定距離離間した位置に配置されている。これにより、成形品Wpにおける吸引対象面(ここでは、上面及び下面)に吸引力を作用させて、当該面に付着している塵埃及び近傍の空間を浮遊している塵埃を吸引除去することができる。尚、変形例として、第2ダクト部119は、成形品Wpの上面もしくは下面の一方の面に対してのみ設ける構成としてもよい(不図示)。また、別の変形例として、上下の一方を清浄エアの吹き付け側とし、他方を吸引する側としてもよい(不図示)。 The molded article storage unit 100D also has a second duct section 119 that collects dust by applying a suction force from a position separated by a predetermined distance from the upper and lower surfaces of the molded article Wp during movement by the molded article moving section 132. A molded product dust collector 118 is provided. Specifically, the second duct portion 119 is formed using a tubular member, is connected to a suction device (not shown), and has an opening portion 119a at the tip thereof which is predetermined for the upper and lower surfaces of the molded article Wp. placed at a distance. As a result, the suction force is applied to the suction target surface (here, the upper surface and the lower surface) of the molded product Wp, and the dust adhering to the surface and the dust floating in the surrounding space can be removed by suction. can. As a modification, the second duct portion 119 may be provided only on one of the upper surface and the lower surface of the molded article Wp (not shown). As another modification, one of the upper and lower sides may be used as the clean air blowing side, and the other may be used as the suction side (not shown).

上記のように、成形品Wpに対して吸引力を作用させる構成であるため、成形品集塵部118は、第2ダクト部119の吸引力によって成形品Wpが上下方向に移動しないように規制するガード部(不図示)を備える構成とすることが好適である。これにより、吸引時に、成形品Wpが所定の移動経路から逸脱してしまうことが防止できる。尚、ガード部の構成は特に限定されないが、ガードレール、押さえローラ、把持クリップ等を用いることができる。 As described above, since the suction force is applied to the molded product Wp, the molded product dust collecting unit 118 regulates the vertical movement of the molded product Wp by the suction force of the second duct unit 119. It is preferable to have a configuration provided with a guard portion (not shown) that does so. As a result, it is possible to prevent the molded product Wp from deviating from the predetermined movement path during suction. Although the construction of the guard section is not particularly limited, a guard rail, a pressing roller, a gripping clip, or the like can be used.

一方、成形品移動部132は、レール132A、及びプッシャ132Bを備えて構成されている。これにより、プッシャ132Bを用いて成形品Wpを押してレール132A上から移動させ、成形品ストッカ108へ収容することができる。但し、成形品移動部132は、この構成に限定されるものではなく、コンベアを備える構成や、ローラ及びベルトを備える構成等としてもよい。さらに、公知のピックアップやエレベータ等を並設する構成としてもよい(いずれも不図示)。 On the other hand, the molded product moving section 132 is configured with a rail 132A and a pusher 132B. As a result, the pusher 132B can be used to push the molded product Wp to move it from the rail 132A and store it in the molded product stocker 108 . However, the molded product moving unit 132 is not limited to this configuration, and may be configured to include a conveyor, or may include rollers and belts. Furthermore, a configuration in which known pickups, elevators, and the like are arranged side by side (neither is shown) may be used.

本実施形態に係る成形品移動部132は、「連続送り」、及び「順送り」のいずれの移動方式も実施可能に構成されている。したがって、「連続送り」の場合には、成形品Wpを移動させている状態で(すなわち、移動させながら)、成形品集塵部118によって当該成形品Wpの集塵を行うことができる。これにより、成形品Wpの移動方向に沿って均等に吸引力を作用させることができ、特に成形品Wpにおける移動方向端部の吸引不足を防ぐことができる。また、「順送り」の場合には、成形品Wpを第2ダクト部119の先端の開口部119aと平面視において一致(一例として、相互の中心が一致)する位置で停止させた状態で、成形品集塵部118によって当該成形品Wpの集塵を行うことができる。これにより、成形品Wpにおける吸引対象面に長い時間吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果を高めることができる。 The molded article moving unit 132 according to this embodiment is configured to be able to implement both the "continuous feeding" and the "progressive feeding" moving methods. Therefore, in the case of "continuous feed", the molded article dust collector 118 can collect dust from the molded article Wp while the molded article Wp is being moved (that is, while being moved). As a result, the suction force can be applied uniformly along the moving direction of the molded article Wp, and in particular, insufficient suction at the ends of the molded article Wp in the moving direction can be prevented. Further, in the case of "progressive feeding", the molded product Wp is stopped at a position where it coincides with the opening 119a at the tip of the second duct portion 119 in plan view (for example, the centers of the two coincide). The product dust collector 118 can collect dust from the molded product Wp. As a result, the suction force can be applied to the suction target surface of the molded article Wp for a long time, and the dust removal effect can be enhanced.

ここで、成形品集塵部118の他の実施形態を図7に示す。具体的に、第2ダクト部119の先端の開口部119aが、成形品Wpの吸引対象面と平面視で同程度の大きさに拡張された構成を備えている。この構成によれば、特に、成形品Wpを順送りする場合に、成形品Wpにおける吸引対象面の全域に吸引力を作用させることができ、塵埃の除去効果をより一層、高めることができる。 Here, another embodiment of the molded product dust collecting section 118 is shown in FIG. Specifically, the opening 119a at the tip of the second duct portion 119 is expanded to a size approximately equal to the suction target surface of the molded article Wp in a plan view. According to this configuration, particularly when the molded article Wp is fed forward, the suction force can be applied to the entire suction target surface of the molded article Wp, and the dust removing effect can be further enhanced.

また、成形品集塵部118の他の実施形態を図8に示す。具体的に、成形品Wpにおける集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部121を備えている。この構成によれば、吸引のみでは除去困難な塵埃に対しても、こすり取るようにして除去することができる。さらに、別の実施形態として、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部を設けてもよい(いずれも不図示)。この構成によれば、例えば、ブラシ部が設置できない場合や、ブラシ部の摺接が適切でない成形品Wpである場合等において、圧縮エアやイオンエアを吹き付けて、もしくは超音波を放射して塵埃を浮かせて除去することができる。尚、上記のブラシ部121、吹き付け部、放射部は、第2ダクト部119の先端に設けてもよく、あるいは、別個に設けてもよい。 8 shows another embodiment of the molded product dust collecting section 118. As shown in FIG. Specifically, a brush portion 121 is provided that removes dust by slidingly contacting the surface of the molded article Wp that is to be dust-collected. According to this configuration, dust that is difficult to remove only by suction can be removed by rubbing. Furthermore, as another embodiment, a blowing portion for blowing compressed air or ionized air or a radiation portion for emitting ultrasonic waves may be provided (neither is shown). According to this configuration, for example, when the brush portion cannot be installed, or when the molded product Wp does not have appropriate sliding contact with the brush portion, the dust can be removed by blowing compressed air or ionized air or by radiating ultrasonic waves. Can be lifted and removed. The brush portion 121, the blowing portion, and the radiation portion may be provided at the tip of the second duct portion 119, or may be provided separately.

上記構成を備える成形品収納ユニット100Dにおける動作概要は次の通りである。
先ず、ローダ124によって成形品Wpが成形品セット部114上に載置される。次いで、成形品移動部132によって成形品セット部114上に載置された成形品Wpが移動される。当該移動の途中時点で、成形品集塵部118によって塵埃の除去が行われた後、成形品Wpが成形品ストッカ108へ収容される。
The outline of the operation in the molded article storage unit 100D having the above configuration is as follows.
First, the molded article Wp is placed on the molded article setting section 114 by the loader 124 . Next, the molded product Wp placed on the molded product setting unit 114 is moved by the molded product moving unit 132 . During the movement, the molded product Wp is stored in the molded product stocker 108 after dust is removed by the molded product dust collector 118 .

以上、説明した通り、本発明に係る樹脂封止装置によれば、ワークの表面に付着した塵埃を除去して成形不良の発生を防止することができる。また、成形品の表面に付着した塵埃を除去して動作不良の発生を防止することができる。 As described above, according to the resin sealing apparatus of the present invention, it is possible to remove dust adhering to the surface of the workpiece and prevent the occurrence of defective molding. In addition, it is possible to remove dust adhering to the surface of the molded product to prevent malfunction.

尚、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、上記の実施形態においては、ワーク集塵部及び成形品集塵部の両方を備える構成を例に挙げて説明したが、いずれか一方のみを備える構成としてもよい。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified in various ways without departing from the scope of the present invention. For example, in the above embodiment, the configuration including both the workpiece dust collecting section and the molded product dust collecting section was described as an example, but a configuration including only one of them may be employed.

また、上記の実施形態においては、上型にキャビティを備える圧縮成形装置を例に挙げて説明したが、下型にキャビティを備える圧縮成形装置にも適用可能である。さらに、圧縮成形装置に限定されるものではなく、トランスファ成形装置にも適用可能である。 Further, in the above embodiments, the compression molding apparatus having the cavity in the upper mold has been described as an example, but it is also applicable to the compression molding apparatus having the cavity in the lower mold. Furthermore, the present invention is not limited to compression molding equipment, and can also be applied to transfer molding equipment.

1 樹脂封止装置
116 ワーク集塵部
117 第1ダクト部
118 成形品集塵部
119 第2ダクト部
130 ワーク移動部
132 成形品移動部
1 resin sealing device 116 workpiece dust collection unit 117 first duct unit 118 molded product dust collection unit 119 second duct unit 130 work moving unit 132 molded product moving unit

Claims (7)

上型と下型とを有する封止金型を用いて、ワークを樹脂により封止して成形品に加工する樹脂封止装置であって、
前記ワークが収容されるワークストッカと、
前記ワークストッカに隣接して配設され、前記ワークを前記ワークストッカからワークセット部へ移動させるワーク移動部と、
前記成形品が収容される成形品ストッカと、
前記成形品ストッカに隣接して配設され、前記成形品を成形品セット部から前記成形品ストッカへ移動させる成形品移動部と、を備え、
前記ワーク移動部による移動途中における前記ワークの上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第1ダクト部を有するワーク集塵部、
または、
前記成形品移動部による移動途中における前記成形品の上面もしくは下面の少なくとも一方の面に対し、所定距離離間した位置から吸引力を作用させて集塵する第2ダクト部を有する成形品集塵部、
の少なくとも一方を備えること
を特徴とする樹脂封止装置。
A resin encapsulation device for encapsulating a workpiece with resin and processing it into a molded product using a encapsulation mold having an upper mold and a lower mold,
a work stocker that stores the work;
a work moving section disposed adjacent to the work stocker for moving the work from the work stocker to a work setting section;
a molded product stocker that stores the molded product;
a molded product moving unit disposed adjacent to the molded product stocker for moving the molded product from the molded product setting unit to the molded product stocker;
A workpiece dust collector having a first duct that collects dust by applying a suction force from a position separated by a predetermined distance from at least one of the upper surface and the lower surface of the workpiece during movement by the workpiece moving unit;
or,
A molded article dust collecting section having a second duct section that collects dust by applying a suction force from a position separated by a predetermined distance from at least one of the upper surface and the lower surface of the molded article that is being moved by the molded article moving section. ,
A resin sealing device comprising at least one of
前記ワーク集塵部を備える場合において、
前記ワーク移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記ワークを移動させる構成を有し、
連続送りの場合には、前記ワークを移動させている状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であり、
順送りの場合には、前記ワークを前記第1ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記ワーク集塵部によって前記ワークの集塵を行う構成であること
を特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
In the case of including the work dust collecting part,
The work moving unit has a configuration for moving the work by continuous or sequential feeding,
In the case of continuous feeding, the work dust collection unit collects dust from the work while the work is being moved,
2. In the case of forward feeding, the work is stopped at a position coinciding with the first duct in plan view, and dust is collected from the work by the work dust collector. 2. The resin sealing device according to 1.
前記成形品集塵部を備える場合において、
前記成形品移動部は、連続送りもしくは順送りによって前記成形品を移動させる構成を有し、
連続送りの場合には、前記成形品を移動させている状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であり、
順送りの場合には、前記成形品を前記第2ダクト部と平面視において一致する位置で停止させた状態で前記成形品集塵部によって前記成形品の集塵を行う構成であること
を特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
In the case of including the molded product dust collection part,
The molded product moving unit has a configuration for moving the molded product by continuous or sequential feeding,
In the case of continuous feeding, the dust is collected from the molded product by the molded product dust collecting unit while the molded product is being moved,
In the case of progressive feeding, the dust is collected from the molded article by the molded article dust collecting section while the molded article is stopped at a position coinciding with the second duct section in a plan view. The resin sealing device according to claim 1.
前記ワーク集塵部は、前記第1ダクト部の吸引力によって前記ワークが上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有すること
を特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
2. The resin sealing device according to claim 1, wherein the work dust collection section further has a guard section for regulating the work so that the work is not moved vertically by the suction force of the first duct section.
前記成形品集塵部は、前記第2ダクト部の吸引力によって前記成形品が上下方向に移動しないように規制するガード部をさらに有すること
を特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
2. The resin sealing device according to claim 1, wherein said molded article dust collection section further has a guard section for regulating said molded article so as not to move vertically due to the suction force of said second duct section.
前記ワーク集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有すること
を特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
The work dust collection unit further has a brush unit that slides on a surface to be collected to remove dust, a blow unit that blows compressed air or ion air, or a radiation unit that radiates ultrasonic waves. The resin sealing device according to claim 1.
前記成形品集塵部は、集塵対象となる面に摺接して塵埃を除去するブラシ部、又は、圧縮エアやイオンエアを吹き付ける吹き付け部、もしくは超音波を放射する放射部をさらに有すること
を特徴とする請求項1記載の樹脂封止装置。
The molded product dust collection section further includes a brush section for slidingly contacting a surface to be collected to remove dust, a spray section for spraying compressed air or ionized air, or a radiation section for emitting ultrasonic waves. 2. The resin sealing device according to claim 1.
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