JP2023105207A - 非直線縁を有するアクチュエータジョイント - Google Patents

Abstract

【課題】ストローク特性を失うことなく衝撃耐性を増加させることのできるサスペンションを提供する。
【解決手段】サスペンションが記載される。サスペンションは、ベースプレートと、ベースプレートに結合されたロードビームと含む。ベースプレートは、遠位長尺要素および近位長尺要素を含む。遠位長尺要素は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含み、近位長尺要素は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含む。ロードビームは、第１取付シェルフおよび第２取付シェルフ含む。ロードビームは、第１取付シェルフが遠位長尺要素に隣接して露出されるとともに、第２取付シェルフが近位長尺要素に隣接して露出されるように、ベースプレートに結合されている。第１取付シェルフおよび第２取付シェルフは、アクチュエータの縁および１つ以上の非直線ベースプレート縁が隙間を形成するように、アクチュエータを受承するよう構成されている。
【選択図】 図５Ａ

Description

本開示は、ハードディスクドライブ用のサスペンションの分野に関する。より具体的には、本開示は、剛性を向上するよう構成された作動式サスペンション上のアクチュエータジョイントの分野に関する。

ダイナミックハードディスク記憶装置では、情報を記憶するために回転ディスクが使用される。ハードディスク記憶装置は通常、他の構成要素用に取付け点および向きを提供するフレームと、ディスクを回転させるためにフレームに取り付けられたスピンドルモータとを含む。読取り／書込みヘッドは、ディスク表面にデータを書き込むとともに、ディスク表面からデータを読み取るための「ヘッドスライダ」上に配置される。ヘッドスライダは、適切なヘッドスライダ動作に必要な力および弾力性の両方を提供するヘッドサスペンションによって、ディスクに対して支持されかつ適切に向けられる。記憶装置内のディスクがヘッドスライダおよびヘッドサスペンションの下で回転すると、ディスクの上の空気も回転することでエアベアリングが生成される。エアベアリングは、ヘッドスライダ上に揚力を発生させるべく、ヘッドスライダの空気力学的設計と共に作用する。揚力は、ヘッドサスペンションのばね力に対抗されることで、ヘッドスライダを、「浮上高さ」と呼ばれるディスク上の所望の高さおよびアラインメントに位置決めする。

ハードディスクドライブ用のヘッドサスペンションは、ロードビームおよびフレクシャを含む。ロードビームは通常、ヘッドサスペンションをディスクドライブのアクチュエータに取り付けるための取付領域と、剛性領域と、取付領域と剛性領域との間のばね領域とを含む。ばね領域は、上述のドライブ動作中にヘッドスライダ上に発生する空力的揚力に対抗するばね力を提供する。フレクシャは通常、ヘッドスライダが取り付けられるスライダ取付面を有するジンバル領域を含む。ジンバル領域は、エアベアリングによって生成される空気力学的な力に応じて、フレクシャの残りの部分に対して弾力的に移動可能である。ジンバル領域は、ヘッドスライダをピッチ方向およびロール方向に移動させることで、ディスク表面の変動に追従することができる。

いくつかの例では、フレクシャは、スポット溶接などの従来の方法を使用してロードビームの遠位端に堅固に取り付けられるロードビーム取付領域を有する別個の部品として形成される。この種類のヘッドサスペンションは通常、フレクシャのロードビームまたはジンバル領域のいずれかに形成されたロードポイントディンプルを含む。ロードポイントディンプルは、ロードビームのばね領域によって生成された負荷の一部、すなわちグラムロードをフレクシャに伝達し、フレクシャとロードビームとの間にクリアランスを提供し、ディスク表面の変動に追従するためにヘッドスライダがピッチ方向およびロール方向にジンバルで支えられる点として機能する。

ディスクドライブ製造業者は、より小型かつより高い記憶容量のドライブを開発し続けている。記憶容量の増加は、ディスク上の情報トラックの密度を増加させることによって（すなわち、より狭いおよび／またはより密な間隔のトラックを使用することによって）部分的に達成される。しかし、トラック密度が増加するにつれて、モータおよびサーボ制御システムが読取り／書込みヘッドを所望のトラック上に迅速かつ正確に位置決めすることがますます困難になる。この状況を改善する試みとして、ヘッドサスペンション自体に取り付けられた圧電アクチュエータ、静電アクチュエータ、電磁アクチュエータまたは微細トラッキングモータ等の、別のまたは二次的なアクチュエータが設けられてきた。これらの種類のアクチュエータは、２段マイクロアクチュエーション装置としても知られており、ベースプレート、ロードビーム、またはフレクシャ上に配置され得る。

トラッキングおよびヘッドスライダ位置決め制御を改善しようとするこれらの試みの一部では、アクチュエータがヘッドスライダ自体に配置されてきた。一般的には、この種類のアクチュエータは、ヘッドスライダと、フレクシャまたは他のサスペンション部品のヘッドスライダ取付面との間に挟まれるか、あるいはヘッドスライダに直接結合される。アクチュエータの動きは一般的に、比較的に直接的なヘッドスライダの動きになるので、ディスクドライブのトラック上で読取り／書込みヘッドの所望の微細な動きを与える。

この種類の構成が有する１つの問題は、特に圧電構成の衝撃耐性である。これらの構成では、衝撃荷重の多くが圧電素子を通過するので、耐えられる衝撃量は圧電材料の破壊限界によって制限される。圧電素子をより厚く、より広く、またはより短くした場合、素子の剛性を増加させることによって衝撃耐性は増加するが、この変更はまた、素子によって与えられるストロークの量の減少にもつながる。ストローク特性を失うことなく衝撃耐性を増加させることは有利なものとなるであろう。

サスペンションが記載される。サスペンションは、ベースプレートと、ベースプレートに結合されたロードビームと含む。ベースプレートは、遠位長尺要素および近位長尺要素を含む。遠位長尺要素は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含み、近位長尺要素は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含む。ロードビームは、第１取付シェルフおよび第２取付シェルフ含む。ロードビームは、第１取付シェルフが遠位長尺要素に隣接して露出されるとともに、第２取付シェルフが近位長尺要素に隣接して露出されるように、ベースプレートに結合されている。第１取付シェルフおよび第２取付シェルフは、アクチュエータの縁および１つ以上の非直線ベースプレート縁が隙間を形成するように、アクチュエータを受承するよう構成されている。

サスペンションのいくつかの実施例では、隙間は、第１接着剤で充填され、第１接着剤は、非導電性接着剤または導電性接着剤である。非直線ベースプレート縁は、アクチュエータの配置および第１接着剤の塗布に関する公差を向上させる。非直線ベースプレート縁のいずれも、１つ以上の直線ベースプレート縁部および１つ以上の凹状部を含んでよい。

ベースプレート装置もまた提供される。ベースプレート装置は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含む遠位長尺要素を含む。ベースプレート装置はまた、アクチュエータ受承空間によって遠位長尺要素から離間した近位長尺要素を含む。いくつかの実施例では、近位長尺要素は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含む。

ベースプレート装置のいくつかの実施例では、非直線ベースプレート縁は、アクチュエータの配置特性および第１接着剤の塗布特性を補償するよう構成されてよい。非直線ベースプレート縁のいずれも、１つ以上の直線ベースプレート縁部および１つ以上の凹状部を含んでよい。

サスペンション装置もまた提供される。サスペンション装置は、ジンバルアセンブリを含む。ジンバルアセンブリは、固定端および固定端の反対側のヒンジ端でサスペンション装置に取り付けられたアクチュエータを含む。ジンバルアセンブリはまた、アクチュエータの上面の第１電極を含む。第２電極は、アクチュエータの底面に配置される。第２電極は、導電性接着剤によってサスペンション装置上の導電層に結合されている。ジンバルアセンブリはまた、ヒンジ端に配置された金属ベース層を含む。金属ベース層は、アクチュエータの縁と金属ベース層との間に隙間を形成するよう構成された非直線金属層縁を含む。隙間は、導電性接着剤と金属ベース層との間の電気的短絡を防止および／またはその可能性を減少させる非導電性接着剤を受承するよう構成されている。

サスペンションのいくつかの実施例では、金属ベース層の非直線縁は、１つ以上の直線縁部および１つ以上の凹状部を含む。導電層は銅層であってよい。金属ベース層は、ステンレス鋼層を含む。

ジンバルアセンブリもまた提供される。ジンバルアセンブリは、固定端および固定端の反対側のヒンジ端でサスペンション装置に取り付けられたアクチュエータを含む。ジンバルアセンブリはまた、アクチュエータの上面の第１電極を含む。第２電極は、アクチュエータの底面に配置される。第２電極は、導電性接着剤によってサスペンション装置上の導電層に結合されている。ジンバルアセンブリはまた、ヒンジ端に配置された金属ベース層を含む。金属ベース層は、アクチュエータの縁と金属層との間に隙間を形成するよう構成された非直線金属層縁を含む。隙間は、導電性接着剤と金属ベース層との間の電気的短絡の可能性を減少させる非導電性接着剤を受承するよう構成されている。

ジンバルアセンブリのいくつかの実施例では、金属ベース層の非直線縁は、１つ以上の直線縁部および１つ以上の凹状部を含む。
複数の実施例が開示されるが、本開示のさらに別の実施例が、本開示の例示的な実施例を示しつつ説明する、以下の詳細な説明から当業者にとって明らかになるであろう。したがって、図面および詳細な説明は、本質的には例示的であり、限定的ではないとみなされるべきである。

従来技術の磁気ディスクドライブユニットの上面斜視図。 図１のディスクドライブのサスペンションの平面図。 本開示の一例による、サスペンションのアクチュエータジョイントを示す図。 本開示の一例による、アクチュエータがない状態の図３のアクチュエータジョイントを示す図。 本開示の一例による、サスペンションのアクチュエータジョイントを示す図。 本開示の一例による、アクチュエータがない状態の図５Ａのアクチュエータジョイントを示す図。 本開示の一例による、サスペンションのジンバルを示す図。 図６の切断線Ｂ－Ｂ’に沿ったアクチュエータ領域の断面図。

図１は、磁気ディスクドライブユニット１００の上面斜視図である。ディスクドライブユニット１００は、ディスクドライブ上に記憶されたデータを構成する磁気的な１と０のパターンを有する、回転磁気ディスク１０１を含む。磁気ディスク１０１は駆動モータによって駆動される。ディスクドライブユニット１００は、ロードビーム１０７の遠位端近くに磁気ヘッドスライダが取り付けられるサスペンション１０５をさらに含む。サスペンションまたはロードビームの「近位」端は、支持される端、つまりアクチュエータアームにスエージ加工またはその他の方法で取り付けられたベースプレートに最も近い端である。サスペンションまたはロードビームの「遠位」端は、近位端の反対側の端、つまり「遠位」端は片持ち端である。

サスペンション１０５はアクチュエータアーム１０３に結合されている。アクチュエータアーム１０３はボイスコイルモータ１１０に結合されている。ボイスコイルモータ１１０は、磁気ディスク１０１の正しいデータトラック上にヘッドスライダを位置決めするためにサスペンション１０５を円弧状に動かすよう構成されている。ヘッドスライダは、回転磁気ディスク１０１上の適切なデータトラックに追従するようスライダをピッチおよびロール可能にするジンバル（図示せず）上に担持されているので、性能を低下させることなくそのような変動に対応できる。変動は通常、ディスクの振動、衝突などの慣性イベント、およびディスク表面の凹凸を含む。

図２は、図１のサスペンション１０５の平面図である。サスペンション１０５は、ベースプレート１２およびロードビーム１０７を含んでよい。ロードビーム１０７は、トレースジンバル１５２を含む。トレースジンバル１５２は、取り付けられたアクチュエータ及びジンバルアセンブリ（図示せず）を含んでよい。アクチュエータは、読取り／書込みヘッドスライダを保持するサスペンション１０５のジンバル領域に直接的に作用するよう動作可能である。

ベースプレート１２は、アクチュエータ１４を受承するよう構成された１つ以上のアクチュエータジョイント１７を含んでよい。ベースプレート１２は、ベースプレート１２の両側に配置された２つのアクチュエータジョイント１７を示す。各アクチュエータジョイント１７は、ロードビーム１０７内に形成されたアクチュエータ取付シェルフ１８を含む。例えば、アクチュエータ取付シェルフ１８は、ロードビーム１０７から一体構造で延在してよい。

各アクチュエータ１４は、アクチュエータジョイント１７における各々の隙間に広がっている。アクチュエータ１４は、接着剤によって取付シェルフ１８に固定されている。接着剤は、アクチュエータの各端部に適切に塗布された導電性または非導電性エポキシ１６を含んでよい。アクチュエータ１４からサスペンション１０５のフレキシブル配線トレースおよび／またはプレートに対して、様々な技術により正負の電気接続が可能である。作動したアクチュエータ１４は伸縮することで、サスペンション１０５の遠位端に取り付けられた読取り／書込みヘッドを微細に移動させるので、取付シェルフ１８間の隙間の長さが変化する。

サスペンション１０５は、１段作動サスペンション、２段作動装置、または３段作動装置として構成されてよい。アクチュエータの任意の変更が、本明細書で開示される実施例のサスペンション１０５に組み込まれてよい。言い換えれば、サスペンション１０５は、本開示の範囲から逸脱することなく、示されるものよりも多いまたは少ない構成要素を含んでよい。しかしながら、示される構成要素は、開示される原理を実施するための例示的な実施例を開示するのに十分である。

図３は、本開示の一例による、サスペンション２０５のアクチュエータジョイント１１７を示す。サスペンション２０５は、ベースプレート１１２およびロードビーム１０７を含む。ロードビーム１０７は、取付シェルフ１１８を含んでよい。ベースプレート１１２は、対向するベースプレート縁１１１を有する２つの延在部を含んでよい。取付シェルフ１１８は、取付シェルフ１１８の対向する縁間の距離がベースプレート縁１１１間の距離よりも狭くなるよう、ベースプレート縁１１１間に露出してよい。アクチュエータジョイント１１７は、ベースプレート１１２とロードビーム１０７との間に配置される。アクチュエータ１１４は、２つのベースプレート縁１１１の間でアクチュエータジョイント１１７に受承されるとともに、ロードビーム１０７の取付シェルフ１１８上に載置される。アクチュエータ１１４は、隙間１０２によって２つのベースプレート縁１１１のうちの１つから離間する。隙間１０２の寸法は、例えば、アクチュエータ１１４の配置特性、接着剤１１６の塗布特性、および他の製造公差等の様々な製造要因を補償するよう構成される。いくつかの製造工程において、接着剤１１６は、アクチュエータ１１４がアクチュエータジョイント１１７内に位置決めおよび設置される前に、最初に取付シェルフ１１８に塗布される。

アクチュエータ１１４と２つのベースプレート縁１１１のうちの１つとの間の隙間１０２の寸法はまた、アクチュエータジョイント１１７の剛性を補償するよう構成される。接着剤の減少により、サスペンション２０５の剛性を高めるためには、より小さな隙間１０２、したがってより大きな断面を有するアクチュエータ１１４が好ましいことが分かっている。図４は、アクチュエータがない状態のアクチュエータジョイント１１７を示す。表１は、異なる寸法および関連するサスペンション性能を有する例示的な隙間を示す。

表１は、接着剤塗布および広がり制御などの製造能力に一般的に制限される公称隙間寸法を示す。小さい寸法（１００μｍ未満）を有する隙間は、図３に示すように、接着剤１１６がロードビーム１０７の開口部に向かってオーバーフローする可能性を増大させる。本開示は、剛性を向上しつつも接着剤１１６がオーバーフローする可能性を減少させるよう構成されたアクチュエータジョイントの追加的な実施例を示す。

図５Ａは、本開示の一例による、サスペンション３０５のアクチュエータジョイント３１７を示す。サスペンション３０５は、ベースプレート３１２およびロードビーム３０７を含む。ベースプレート３１２は、遠位長尺要素３１２Ａおよび近位長尺要素３１２Ｂを含む。遠位長尺要素３１２Ａおよび近位長尺要素３１２Ｂは、アクチュエータ受承空間３１２Ｃによって離間されてよい。ロードビーム３０７は取付シェルフ３１８を含む。第１取付シェルフ３１８Ａは遠位長尺要素３１２Ａに結合されており、第２取付シェルフ３１８Ｂは近位長尺要素３１２Ｂに結合されている。アクチュエータ３１４は、ベースプレート３１２の遠位長尺要素３１２Ａと近位長尺要素３１２Ｂとの間でアクチュエータジョイント３１７に受承されるとともに、ロードビーム３０７の取付シェルフ３１８上に載置される。

アクチュエータジョイント３１７は、ベースプレート３１２の遠位長尺要素３１２Ａおよび近位長尺要素３１２Ｂと、ロードビーム３０７の取付シェルフ３１８との間に形成される。ベースプレート３１２の遠位長尺要素素３１２Ａは、アクチュエータジョイント３１７の非直線ベースプレート縁３１１を有するよう構成されてよい。

近位長尺要素３１２Ｂもまた、非直線ベースプレート縁３１１を有するよう構成される。例えば、非直線縁は、例えば、凹状部、凸状部、傾斜部、反り部、または縁の別の区間と一致しない部分など、１つまたは複数の非直線要素を含む。凹状縁部３１５は、本明細書では、非直線ベースプレート縁３１１に沿って中央に配置されるものとして示されている。凹状縁部３１５の寸法は、接着剤３１６のオーバーフローを減少させるよう構成されてよい。さらに、アクチュエータジョイント３１７は、非直線ベースプレート縁３１１が、凹状縁部３１５に隣接する１つ以上の直線ベースプレート縁部３１３を含むよう構成されてよい。

いくつかの例では、凹状縁部３１５は、アクチュエータ３１４の縁に沿って中央に配置される。アクチュエータジョイント３１７はまた、表２に示すように、剛性を向上するため、アクチュエータ３１４の縁と非直線ベースプレート縁３１１との間に隙間３０２を含む。

凹状縁部３１５の寸法は、例えば、アクチュエータの配置特性、接着剤の塗布特性等の様々な製造要因により、一般的に制限される。製造工程において、接着剤３１６は、アクチュエータ１１４がアクチュエータジョイント３１７内に位置決めおよび設置される前に、最初に取付シェルフ３１８に塗布されてよい。

表２は、非直線ベースプレート縁を含む異なる寸法の例示的な隙間、ならびに隙間の寸法を組み込んだサスペンションのストロークおよび揺れ周波数を示す。凹状縁部３１５は、接着剤３１６がオーバーフローする可能性を減少させるために、非直線ベースプレート縁３１１に沿って配置されてよい。

非直線ベースプレート縁３１１に沿って直線要素と非直線要素とを組み合わせることによって、接着剤３１６のベースプレート３１２に対するより好適な機械的接合が得られる。この直線要素および非直線要素は、接着剤の付着を向上させる特徴を有する。非直線要素によって、接着剤の断面をより大きくすることが可能なので、接着剤が改善された内部強度を得ることに繋がる。特定の実施例において、接着剤の内部強度は、凹状縁部３１５で改善される。アクチュエータジョイント３１７の全体的な強度は、増加した接着剤の内部強度により増加する。

図５Ｂは、図５Ａに示されるアクチュエータがない状態のアクチュエータジョイント３１７を示す。非直線ベースプレート縁３１１の直線要素に沿った接着剤は、アクチュエータが取り付けられた際に、アクチュエータとベースプレートとの間で突出し、接着剤は、アクチュエータの底面でオーバーフローする。接着剤のオーバーフローは、アクチュエータジョイントに追加的な機械的強度を与えるために従来使用されてきたが、接着剤のオーバーフローは、導電性粒子を含みかつ導電性上面まで延在する場合、アクチュエータ３１４を短絡させる可能性がある。

従来は、不完全なボンドパッド状態の可能性を減少させるために、より多くの接着剤が望まれていた。完全なボンドパッドを確保するために接着剤の量が増加するにつれて、潜在的に不良となる接着剤のオーバーフローの数も増加する。接着剤の量が減少すると、不完全なボンドパッドが増加しかねない。本開示は、接着剤のオーバーフローを減少させながら、完全なボンドパッドを確保するために、接着剤を塗布する際のより大きな公差を可能にする。具体的には、非直線ベースプレート縁は、接着剤のオーバーフローとして従来は許容されていた接着剤量を受承するよう構成される。

開示される構成要素の製造が追加的な機械的強度を達成するための、接着剤のオーバーフローの最大高さ公差は規定である。本開示は、各構成要素について、接着剤のオーバーフローの最大高さ公差を超えないことを確実にするために、接着剤を塗布する際のより大きな公差を可能にする。隙間の寸法は、従来は接着剤のオーバーフローで得られた追加的な機械的強度を提供する。

本開示は、本明細書に開示された接着剤の付着を向上させる特徴になるように、接着剤がオーバーフローすることを減少しようとするものである。接着剤の付着を向上させる特徴によって得られる追加的な強度によって、接着剤のオーバーフローを排除または減少することにより生じる強度の損失に対処する。

図６は、例示的な非直線縁のアクチュエータジョイント４６０を組み込んだ、サスペンション５００のジンバルアセンブリ４５２を示す。図７は、図６の切断線Ｂ－Ｂ’に沿ったアクチュエータ４１４の領域の断面図である。図７を参照すると、アクチュエータ４１４は、受承領域６０５に広がっている。アクチュエータ４１４は、固定端Ａおよびヒンジ端Ｂを有する。アクチュエータ４１４の各端は、図６のジンバルアセンブリ４５２に接合されている。

アクチュエータ４１４は、アクチュエータ４１４の上面の第１電極７０１と、アクチュエータ４１４の底面の第２電極７０２とを含む。アクチュエータ４１４の領域のヒンジ端Ｂは、カバー層６６０と、導電層６８０（例えば、銅）と、絶縁層６９０（例えば、ポリイミド）と、金属ベース層６５０（例えば、ステンレス鋼）とを含む。第２電極７０２は、導電性接着剤６７０によって導電層６８０に電気的に結合されている。金属ベース層６５０は、非直線のステンレス鋼縁、例えば図６を参照して本明細書で説明された非直線ベースプレート縁を組み込むよう構成されてよい。非直線のステンレス鋼縁は、隙間６０２を可能にする。隙間６０２は、導電性接着剤６７０と金属ベース層６５０との間の電気的短絡の可能性を減少させる。非導電性接着剤６３０が、隙間６０２を充填するように塗布されている。

固定端Ａにおいて、第１電極７０１は、導電性接着剤６７０によって導電層６８０に電気的に結合されている。上下の電極は、非導電性接着剤６３０によって固定端Ａで離間している。

複数の実施例が開示されたが、本開示の範囲内のさらに別の実施例が、例示的な実施例を示しつつ説明する、本明細書に記載された詳細な説明から当業者にとって明らかになるであろう。したがって、図面および詳細な説明は、本質的には例示的であり、限定的ではないとみなされるべきである。様々な実施例の特徴および変更が、本明細書で論じられるとともに、図面に示された。複数の実施例が開示されたが、本開示のさらに別の実施例が、本開示の例示的な実施例を示しつつ説明する、以下の詳細な説明から当業者にとって明らかになるであろう。したがって、図面および詳細な説明は、本質的には例示的であり、限定的ではないとみなされるべきである。

Claims (12)

1. サスペンションであって、
   遠位長尺要素および近位長尺要素を含むベースプレートであって、前記遠位長尺要素は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含み、前記近位長尺要素は、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含む、ベースプレートと、
   第１取付シェルフが前記遠位長尺要素に隣接して露出されるとともに、第２取付シェルフが前記近位長尺要素に隣接して露出されるように、前記ベースプレートに結合されたロードビームであって、前記第１取付シェルフおよび前記第２取付シェルフは、アクチュエータの縁および１つ以上の前記非直線ベースプレート縁が隙間を形成するように、前記アクチュエータを受承するよう構成されている、ロードビームと、
   を備える、サスペンション。
2. 前記隙間は、第１接着剤で充填され、前記第１接着剤は、非導電性接着剤または導電性接着剤である、請求項１に記載のサスペンション。
3. １つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、前記アクチュエータの配置および前記第１接着剤の塗布に関する公差を向上させる、請求項２に記載のサスペンション。
4. 前記遠位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の直線ベースプレート縁部を含む、請求項１に記載のサスペンション。
5. 前記遠位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の凹状部を含む、請求項１に記載のサスペンション。
6. 前記近位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の直線ベースプレート縁部を含む、請求項１に記載のサスペンション。
7. 前記近位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の凹状部を含む、請求項１に記載のサスペンション。
8. ベースプレートであって、
   １つ以上の非直線ベースプレート縁を含む遠位長尺要素と、
   アクチュエータ受承空間によって前記遠位長尺要素から離間した近位長尺要素であって、１つ以上の非直線ベースプレート縁を含む近位長尺要素と、
   を備える、ベースプレート。
9. 前記遠位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の直線ベースプレート縁部を含む、請求項８に記載のベースプレート。
10. 前記遠位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の凹状部を含む、請求項８に記載のベースプレート。
11. 前記近位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の直線ベースプレート縁部を含む、請求項８に記載のベースプレート。
12. 前記近位長尺要素の１つ以上の前記非直線ベースプレート縁は、１つ以上の凹状部を含む、請求項８に記載のベースプレート。